KR102329902B1 - 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 경우에도, 스크라이브 라인의 전체 길이에 걸쳐서 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성한다.
[해결 수단] 마더 기판(G)의 양면의 스크라이브 라인의 개시 위치가 평면에서 보아서 서로 일치하도록, 마더 기판(G)의 상부면의 밀봉재에 대향하는 위치와, 마더 기판(G)의 하부면의 밀봉재에 대향하는 위치에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)을 누른다. 그리고, 스크라이빙 휠(301)이 스크라이빙 휠(401)에 대해서 지연되도록, 스크라이빙 휠(301, 401)을 각각 이동시켜서, 스크라이브 라인을 형성한다. 그 후, 스크라이빙 휠(401)에 대해서 스크라이빙 휠(301)의 이동을 진행시켜서, 스크라이브 라인의 종료 위치에 있어서, 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치를 일치시킨다.

Description

스크라이브 방법 및 스크라이브 장치{SCRIBING METHOD AND SCRIBING APPARATUS}

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해서 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 칼끝(刃先)이, 기판 표면을 누르면서, 소정의 라인을 따라서 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.

이하의 특허문헌 1에는, 마더 기판으로부터 액정 패널을 잘라내는 방법이 기재되어 있다. 이 방법에서는, 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 기판과, 컬러 필터(CF)가 형성된 기판을 밀봉재를 개재해서 접합시킴으로써, 마더 기판이 형성된다. 이 마더 기판이 분단됨으로써 각각의 액정 패널이 취득된다. 밀봉재는, 2개의 기판이 접합된 상태에서 액정 주입 영역으로 되는 공간이 남도록 배치된다.

상기 구성의 마더 기판을 분단시킬 경우에는, 2개의 스크라이브 헤드를 이용해서, 마더 기판의 양면에, 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 방법이 이용된다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). 이 경우, 2개의 스크라이브 헤드 사이에 마더 기판이 삽입되도록 배치된다. 2개의 스크라이빙 휠은, 마더 기판을 평면에서 보았을 때 같은 위치에 위치 부여된다. 이 상태에서, 2개의 스크라이빙 휠이 같은 방향으로 동시에 이동되어서, 마더 기판의 각 면에 스크라이브 라인이 형성된다.

JP 2006-137641 A JP 2012-240902 A

상기 특허문헌 1에도 나타낸 바와 같이, 종전의 마더 기판에는, 이웃하는 액정 주입 영역 사이에, 밀봉재가 개재되지 않은 영역이 존재하고 있었다. 따라서, 상기한 바와 같이 2개의 스크라이브 헤드에 의해서 마더 기판의 양면에 동시에 스크라이브 라인을 형성할 경우에는, 밀봉재가 개재되지 않은 영역에, 스크라이브 라인을 형성할 수 있었다. 이와 같이 스크라이브 라인을 형성해서 마더 기판을 분단시키면, 액정 패널에는, 액정 주입 영역의 주위에 소정 폭의 틀 영역이 남는 것으로 된다.

그러나, 최근, 특히 모바일용의 액정 패널에 있어서, 상기 틀 영역을 극한까지 좁게 하는 것이 주류가 되고 있다. 이 요구에 응하기 위해서는, 마더 기판에 있어서 밀봉재가 개재되지 않은 영역이 생략되고, 이웃하는 액정 주입 영역은, 밀봉재에 의해서만 구획되도록 구성될 필요가 있다. 이 경우, 스크라이브 라인은, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래에 형성되게 된다.

그런데, 이와 같이 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하면, 2개의 유리 기판에 크랙이 충분히 들어가지 않는다고 하는 문제가 본 발명자들에 의해서 확인되었다. 이와 같이 크랙이 불충분한 상태에서 브레이크 공정이 실행되면, 브레이크 후의 기판의 가장자리에 미세한 균열이나 파손이 생겨서 유리 기판의 강도가 저하될 우려가 있다.

이러한 과제를 감안해서, 본 발명은, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 경우에도, 스크라이브 라인의 전체 길이에 걸쳐서 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1의 양상은, 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것이다. 본 양상에 따른 스크라이브 방법은, 상기 제1 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치와 상기 제2 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치가 평면에서 보아서 서로 일치하도록, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치와, 상기 제2 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에, 각각, 제1 칼과 제2 칼을 눌러서, 상기 제1 칼이 상기 제2 칼에 대해서 스크라이브 방향으로 변위되도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼과의 변위가 해소되도록 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 이동시켜서, 상기 제1 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치와 상기 제2 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치를 평면에서 보아서 서로 일치시킨다.

본 양상에 따른 스크라이브 방법에 따르면, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성할 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 마더 기판에 형성할 수 있다. 또, 제1 기판과 제2 기판에 각각 형성된 스크라이브 라인의 개시 위치가, 평면에서 보아서 서로 일치하므로, 분단 공정 시, 스크라이브 라인의 개시 위치에 있어서, 마더 기판에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편이 남는 것이 억제된다. 마찬가지로, 각 기판에 형성된 스크라이브 라인의 종료 위치가, 평면에서 보아서 서로 일치하므로, 분단 공정 시, 스크라이브 라인의 종료 위치에 있어서, 마더 기판에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편이 남는 것이 억제된다. 따라서, 잘라낸 후의 기판 단편의 형상을 적정한 형상으로 조절할 수 있다.

본 양상에 따른 스크라이브 방법에서는, 예를 들면, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 조정함으로써, 제1 칼을 제2 칼에 대해서 변위시킬 수 있다. 예를 들면, 각 개시 위치부터 제1 칼과 제2 칼을 밀봉 부재를 따라서 이동시킬 때에, 제2 칼의 이동 속도를 제1 칼의 이동 속도보다도 느리게 함으로써, 제1 칼을 제2 칼에 대해서 변위시킬 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제1 칼을 제2 칼에 대해서 변위시킬 수 있다.

또, 스크라이브 동작 시에는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 제2 칼에 대한 제1 칼의 변위를 소정 거리로 유지해서, 제1 기판의 표면과 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 마더 기판에 크랙을 불균일 없이 양호하게 형성할 수 있다.

또한, 본 양상에 따른 스크라이브 방법에서는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 종료 위치에 있어서, 제1 칼과 제2 칼의 변위를 해소시키도록 할 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제1 칼과 제2 칼의 변위를 해소시킬 수 있다.

또한, 본 양상에 따른 스크라이브 방법에서는, 제1 기판의 표면의 제2 칼에 대응하는 위치에 제1 누름 부재를 꽉 누르면서 제1 칼과 함께 제1 누름 부재를 밀봉재를 따라서 이동시키고, 제2 기판의 표면의 제1 칼에 대응하는 위치에 제2 누름 부재를 꽉 누르면서 제2 칼과 함께 제2 누름 부재를 밀봉재를 따라서 이동시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 제1 칼과 제2 칼의 압압력에 의해서 마더 기판이 변형되는 것이 억제되므로, 크랙의 깊이를 깊게 유지하면서, 보다 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.

본 발명의 제2 양상은, 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. 본 양상에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이브 헤드와, 상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2 스크라이브 헤드와, 상기 제1스크라이브 헤드와 상기 제2 스크라이브 헤드를 상기 마더 기판에 평행하게 이동시키는 구동부와, 상기 제1스크라이브 헤드, 상기 제2 스크라이브 헤드 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 구비한다. 상기 제어부는, 상기 제1 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치와 상기 제2 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치가 평면에서 보아서 서로 일치하도록, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치와, 상기 제2 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에, 각각, 상기 제1스크라이브 헤드의 제1 칼과 상기 제2스크라이브 헤드의 제2 칼을 누른다. 그리고, 제어부는, 상기 제1 칼이 상기 제2 칼에 대해서 스크라이브 방향으로 변위되도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼과의 변위가 해소되도록 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 이동시켜서, 상기 제1 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치와 상기 제2 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치를 평면에서 보아서 서로 일치시킨다.

본 양상에 따른 스크라이브 장치에 따르면, 상기 제1 양상에 따른 스크라이브 방법과 마찬가지로, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 마더 기판에 형성할 수 있다. 또, 제1 기판과 제2 기판에 각각 형성된 스크라이브 라인의 개시 위치가, 평면에서 보아서 서로 일치하므로, 분단 공정 시, 스크라이브 라인의 개시 위치에 있어서, 마더 기판에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편이 남는 것이 억제된다. 마찬가지로, 각 기판에 형성된 스크라이브 라인의 종료 위치가, 평면에서 보아서 서로 일치하므로, 분단 공정 시, 스크라이브 라인의 종료 위치에 있어서, 마더 기판에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편이 남는 것이 억제된다. 따라서, 잘라낸 후의 기판 단편의 형상을 적정한 형상으로 할 수 있다.

본 양상에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 제어부는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 제1 칼을 제2 칼에 대해서 변위시키도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제2 칼을 제1 칼에 대해서 늦출 수 있다.

또, 제어부는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 제2 칼에 대한 제1 칼의 변위를 소정 거리로 유지하고, 제1 기판의 표면과 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 마더 기판에 크랙을 불균일 없이 양호하게 형성할 수 있다.

또한, 제어부는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 종료 위치에 있어서, 제1 칼과 제2 칼의 변위를 해소시키도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제2 칼을 제1 칼에 따라 붙게 할 수 있다.

또, 제1스크라이브 헤드는, 제1 칼이 제2 칼에 대해서 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 제2 칼의 압접 위치를 제1 기판의 표면으로부터 누르는 제1 누름 부재를 구비하는 것이 바람직하고, 또한, 제2 스크라이브 헤드는, 제2 칼이 제1 칼에 대해서 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 제1 칼의 압접 위치를 제2 기판의 표면으로부터 누르는 제2 누름 부재를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 제1 칼과 제2 칼의 압압력에 의해서 마더 기판이 변형되는 것이 억제되므로, 크랙의 깊이를 깊게 유지하면서, 보다 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 경우에도, 스크라이브 라인의 전체 길이에 걸쳐서 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것에 하등 제한되는 것은 아니다.

도 1은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 모식적으로 나타낸 도면;
도 2는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타낸 분해 사시도;
도 3은 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타낸 사시도;
도 4는 실시형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면;
도 5는 실시형태에 따른 스크라이브 방법에 의한 실험 결과를 나타낸 도면;
도 6은 실시형태에 따른 다른 스크라이브 방법을 설명하는 도면;
도 7은 실시형태에 따른 다른 스크라이브 방법에 의한 실험 결과를 나타낸 도면;
도 8은 실시형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타낸 사시도;
도 9는 실시형태에 따른 스크라이빙 툴의 장착 방법을 모식적으로 나타낸 도면;
도 10은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 나타낸 블록도 및 마더 기판의 상부면과 하부면에서 스크라이브 라인의 개시 위치가 다른 경우의 문제를 설명하는 도면;
도 11은 실시형태에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 순서도;
도 12는 실시형태에 따른 스크라이브 동작을 나타낸 도면;
도 13은 실시형태에 따른 스크라이브 동작을 나타낸 도면;
도 14는 실시형태에 따른 스크라이브 동작을 나타낸 도면;
도 15는 실시형태에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트;
도 16은 변경예에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트;
도 17은 다른 변경예에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 순서도.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직방향이다.

<스크라이브 장치의 구성>

도 1(a) 및 도 1(b)는 스크라이브 장치(1)의 구성을 모식적으로 나타낸 도면면이다. 도 1(a)는 Y축의 양의 방향 쪽에서 스크라이브 장치(1)을 본 도면이고, 도 1(b)는 X축의 양의 방향 쪽에서 스크라이브 장치(1)의 일부를 본 도면이다.

도 1(a)를 참조하면, 스크라이브 장치(1)는, 컨베이어(11)와, 지주(12a, 12b)와, 가이드(13, 14)와, 슬라이딩 유닛(15, 16)과, 구동 모터(17, 18)와, 카메라(19a, 19b)와, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.

도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 컨베이어(11)는, 스크라이브 헤드(2)가 배치되는 개소를 제외하고, Y축 방향으로 뻗도록 설치되어 있다. 컨베이어(11)에는, 마더 기판(G)을 파지하는 핸드(11a)가 설치되어 있다. 컨베이어(11) 상에는, 핸드(11a)에 가장자리가 파지된 상태로, 마더 기판(G)이 놓인다. 마더 기판(G)은, 1쌍의 유리 기판이 서로 접합된 기판 구조를 갖는다. 마더 기판(G)은, 핸드(11a)에 파지된 상태로, 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이송된다.

지주(12a, 12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 컨베이어(11)를 사이에 두고 수직으로 설치되어 있다. 가이드(13, 14)는, 각각, X축 방향으로 평행하게 되도록, 지주(12a, 12b) 사이에 가설되어 있다. 슬라이딩 유닛(15, 16)은, 각각, 가이드(13, 14)에 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 가이드(13, 14)에는, 각각, 구동 모터(17, 18)가 설치되고, 이들 구동 모터(17, 18)에 의해, 슬라이딩 유닛(15, 16)이 X축 방향으로 구동된다.

슬라이딩 유닛(15, 16)에는, 각각, 스크라이브 헤드(2)가 장착되어 있다. Z축 양의 방향 쪽의 스크라이브 헤드(2)와 Z축 음의 방향 쪽의 스크라이브 헤드(2)에는, 각각, 마더 기판(G)에 대향하도록 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)에 유지된 스크라이빙 휠이 마더 기판(G)의 표면을 누른 상태에서 스크라이브 헤드(2)가 X축 방향으로 이동한다. 이것에 의해, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인이 형성된다.

카메라(19a, 19b)는, 가이드(13)의 위쪽에 배치되어, 마더 기판(G)에 기록된 정렬 마크를 검출한다. 카메라(19a, 19b)로부터의 촬상 화상에 의해서, 컨베이어(11)에 대한 마더 기판(G)의 배치 위치가 검출된다. 이 검출 결과에 의거해서, 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 개시 위치나 스크라이브 종료 위치 등, 스크라이브 동작에 있어서의 스크라이브 헤드(2)의 각 동작 위치가 결정된다.

<스크라이브 헤드>

도 2는 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타낸 일부분해 사시도이고, 도 3은 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타낸 사시도이다.

도 2를 참조하면, 스크라이브 헤드(2)는, 승강 기구(21)와, 스크라이브 라인 형성 기구(22)와, 베이스(base) 플레이트(23)와, 탑(top) 플레이트(24)와, 보텀(bottom) 플레이트(25)와, 고무 프레임(26)과, 커버(27)와, 서보 모터(28)를 구비한다.

승강 기구(21)는, 서보 모터(28)의 구동 축에 연결된 원통 캠(21a)과, 승강부(2lb)의 상부면에 형성된 캠 종동자(21c)를 구비한다. 승강부(2lb)는, 슬라이더(도시 생략)를 개재해서 베이스 플레이트(23)에 상하 방향으로 이동가능하게 지지되고, 용수철(21d)에 의해서 Z축 정방향으로 가압되어 있다. 용수철(21d)의 가압에 의해, 캠 종동자(21c)는 원통 캠(21a)의 하부면에 꽉 눌려 있다. 승강부(2lb)는 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 연결되어 있다. 서보 모터(28)에 의해 원통 캠(21a)가 회동하면, 원통 캠(21a)의 캠 작용에 의해서 승강부(2lb)가 승강하고, 이것에 따라서, 스크라이브 라인 형성 기구(22)가 승강한다. 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에, 스크라이빙 툴(30, 40)이 장착된다.

고무 프레임(26)은 공기를 통과시키지 않는 탄성부재이다. 고무 프레임(26)은, 베이스 플레이트(23)의 홈(23a), 탑 플레이트(24)의 홈(24a) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(25a)에 끼워 넣어지는 형상을 갖고 있다. 고무 프레임(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 장착된 상태에서, 고무 프레임(26)의 표면은, 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 측면보다도 약간 바깥쪽으로 돌출한다.

커버(27)는, 전면부(前面部)(27a), 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 3개의 판부가 절곡된 형상을 갖는다. 전면부(27a)의 상하의 가장자리에는, 2개의 구멍(27f)이 형성되어 있다.

고무 프레임(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 끼워 넣어진 상태에서, 커버(27)의 우측면부(27b)과 좌측면부(27c)가 바깥쪽으로 휘도록 변형되어서, 커버(27)가 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 부착된다. 이 상태에서, 전면부(27a)의 상하의 가장자리에 형성된 2개의 구멍(27f)을 개재해서, 나사가 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 나사 고정된다. 또한, 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(23a, 24a, 25a)의 다소 바깥쪽에 형성된 나사 구멍에, 나사가 나사 고정된다. 이것에 의해, 커버(27)가, 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)와 나사의 머리부에 의해서 끼워져, 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 주변부가 고무 프레임(26)에 눌린다. 이와 같이 해서, 도 3에 나타낸 바와 같이 스크라이브 헤드(2)가 조립된다.

도 1(a)에 나타낸 바와 같이, 2개의 스크라이브 헤드(2)가 마더 기판(G)의 상하에 각각 배치된다. 2개의 스크라이브 헤드(2)는 같은 구성으로 되어 있다. 2개의 스크라이브 헤드(2)에 장착되는 스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이브 방법에 따라서 변경된다. 이하에 나타낸 2가지 스크라이브 방법 중, 스크라이브 방법 1에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)만을 유지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다. 또한, 스크라이브 방법 2에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)을 유지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다.

이하, 이들 2가지 스크라이브 방법에 대해서 설명한다.

<스크라이브 방법 1>

도 4(a) 내지 도 4(c)는 본 실시형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면이다. 도 4(a)는 Y축 음의 방향 쪽에서부터 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도, 도 4(b)는 X축 양의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도, 도 4(c)은 Z축 양의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이다.

도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 위쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(301)이, 아래쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(401)보다도, 스크라이브 방향(X축 양의 방향)으로 거리(W1)만큼 선행하도록 해서, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)이 이동된다. 이것과는 반대로, 스크라이빙 휠(401)이 스크라이빙 휠(301)에 대해서 선행해도 된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 축(301a, 401a)을 회전축으로 해서 회전가능하게 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다.

도 4(b)를 참조하면, 마더 기판(G)은, 밀봉재(SL)를 개재해서 2개의 유리 기판(G1, G2)을 접합시켜서 구성되어 있다. 유리 기판(G1)에는 컬러 필터(CF)가 형성되고, 유리 기판(G2)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 밀봉재(SL)와 2개의 유리 기판(G1, G2)에 의해서, 액정 주입 영역(R)이 형성되고, 이 액정 주입 영역(R)에 액정이 주입된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, Y축 방향으로 서로 어긋나는 일 없이 위치 부여된다. 스크라이빙 휠(301)은, 밀봉재(SL)의 바로 위의 위치에 있어서 유리 기판(G1)의 표면을 누르고, 스크라이빙 휠(401)은, 밀봉재(SL)의 바로 아래의 위치에 있어서 유리 기판(G2)의 표면을 누른다.

도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 밀봉재(SL)는 격자 형상으로 배치되어 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 밀봉재(SL)를 따라서 X축 양의 방향으로 이동된다. 이것에 의해, 도 4(b) 및 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G1, G2)의 표면에, 각각, 스크라이브 라인(L1, L2)이 형성된다.

도 4(a) 내지 (c)에 나타낸 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러는 설치되지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러도 설치되어 있지 않다.

<실험 1>

본원 발명자들은, 도 4(a) 내지 도 4(c)에 나타낸 스크라이브 방법에 따라서 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행하였다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.

실험에서는, 두께가 각각 0.2㎜인 유리 기판(G1, G2)을 밀봉재(SL)를 개재해서 접합시킨 기판(마더 기판)을 이용하였다. 접합시킨 기판(마더 기판)의 사이즈는 118㎜×500㎜이다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 미쓰보시다이야몬도고교 주식회사 제품, 마이크로 페네트(Micro Penett)(미쓰보시다이야몬도고교 주식회사의 등록상표)을 이용하였다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 원판의 외주에 V자 형상의 칼끝이 형성되는 동시에 칼끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 가지는 구조로 되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 직경 3㎜, 칼끝각도 110°, 홈개수 550, 홈깊이 3㎛이다.

이 구성의 스크라이빙 휠(301, 401)을, 각각, 도 4(a) 내지 도 4(c)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(G1, G2)을 누르면서 이동시켜서 스크라이브 동작을 행하였다. 스크라이브 동작 시 스크라이빙 휠(301, 401)에 부여되는 하중은 6.5N으로 제어하였다. 또, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 하였다.

이상의 조건에 기초하여, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)를 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측하였다. 비교예로서, 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)가 0인 경우의 크랙의 침투량도 계측하였다. 각 측정에서는, 크랙의 침투량 외에, 리브 마크량도 아울러서 계측하였다.

도 5(a) 내지 도 5(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 5(a)는 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타낸 도면이고, 도 5(b) 내지 도 5(e)는 스크라이브 라인 상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진이며, 각각, 거리(W1)가 0.4㎜, 0.6㎜, 0.8㎜, 1.0㎜인 경우의 것이다. 도 5(b) 내지 도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.

도 5(a)를 참조하면, 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 거리(W1)가 0㎜인 경우에 비해서, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 커지고 있다. 유리 기판(G1, G2) 중 어느 것인가 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적절하게 분단시키는 것이 가능하다.

예를 들면, 비교예(W1=0㎜)과 같이, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙량이 모두 유리 기판(G1, G2)의 두께(0.2㎜)의 반정도이면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)의 양측으로부터 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크시킬 필요가 있다. 이와 같이 마더 기판(G)의 양측으로부터 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크시키는 동작이 행해지면, 유리 기판(G1, G2)의 가장자리에 미세한 균열이나 파손이 생겨서, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 저하될 우려가 있다.

이것에 대해서, 거리(W1)가 0.6㎜ 내지 1.4㎜일 경우에는, 유리 기판(G2)에 있어서의 크랙의 침투량은 작지만, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 크다. 이와 같이 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 클 경우, 브레이크 공정에서는, 크랙의 침투량이 작은 유리 기판(G2)을 마더 기판(G)의 한쪽으로부터만 브레이크시키는 동작이 행해지면 되고, 이 브레이크 동작 시, 깊게 크랙이 들어간 유리 기판(G1)도 동시에 크랙을 따라서 분단된다. 이와 같이 마더 기판(G)의 한쪽으로부터만 유리 기판(G1, G2)을 브레이크시키면, 유리 기판(G1, G2)의 가장자리에 미세한 균열이나 파손이 생기는 일이 없어, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 높게 유지된다.

이상의 이유로, 마더 기판(G)의 분단에 있어서는, 유리 기판(G1, G2)의 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가 있는 것이 바람직하다. 본 실험에서는, 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 비교예(W1=0㎜)에 비해서, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 커지고 있다. 이것으로부터, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)는 0.6㎜ 이상인 것이 바람직하다고 말할 수 있다. 이와 같이 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)를 설정함으로써, 마더 기판(G)의 브레이크를 적절하게 행할 수 있다.

*<스크라이브 방법 2>

도 4(a) 내지 도 4(c)에 나타낸 스크라이브 방법(스크라이브 방법 1)에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면이 롤러로 눌리지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면도 롤러로 눌리지 않고 있다. 이것에 대해서, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면과, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면이, 각각, 롤러에 의해서 눌리고 있다. 또, 스크라이빙 휠(301, 401)과 반대쪽의 면을 누르는 누름 부재로서, 롤러 이외의 다른 부재가 이용되어도 된다.

도 6(a) 및 도 6(b)는 스크라이브 방법 2를 설명하는 도면이다. 도 6(a)는 Y축 음의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이고, 도 6(b)는 X축 양의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이다.

도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면이 2개의 롤러(402)로 눌리고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면도 2개의 롤러(302)로 눌리고 있다. 2개의 롤러(302)는, 스크라이빙 휠(301)을 끼우는 것처럼 배치되어, 축(302a)을 회전축으로 해서 회전 가능하게 되어 있다. 또한, 2개의 롤러(402)는, 스크라이빙 휠(401)을 끼우는 것처럼 배치되어, 축(402a)을 회전축으로 해서 회전 가능하게 되어 있다.

스크라이브 방법 1과 마찬가지로 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 스크라이브 방향(X축 방향)으로 거리(W1)만큼 어긋나 있다. 스크라이브 방법 2의 경우에도, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이 위쪽 스크라이빙 휠(301)에 대해서 선행해도 된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 유리 기판(G1, G2)을 누르면서, 밀봉재(SL)를 따라서 이동한다. 스크라이빙 휠(301)과 2개의 롤러(302) 사이에는 Y축 방향의 간극이 있고, 스크라이빙 휠(401)과 2개의 롤러(402) 사이에도 Y축 방향의 간극이 있다. 이 때문에, 롤러(302, 402)는, 스크라이빙 휠(301, 401)에 의해서 형성되는 스크라이브 라인(L1, L2)을 넘도록 해서 X축 양의 방향으로 이동한다.

<실험 2>

본원 발명자들은, 도 6(a) 및 도 6(b)에 나타낸 스크라이브 방법에 따라서 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행하였다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.

본 실험에서 이용한 마더 기판(G)과 스크라이빙 휠(301, 401)은, 상기 실험 1과 같은 것으로 하였다. 본 실험에서는, 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)가 2.2㎜로 설정되었다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 하였다. 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(301)의 편심량은 1.0㎜이고, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(401)의 편심량은 3.2㎜였다.

스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치는, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 롤러(302, 402)의 직경은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경과 같이 3㎜로 설정하였다.

이상의 조건에 기초하여, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측하였다.

도 7(a) 내지 도 7(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 7(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타낸 도면이고, 도 7(b) 내지 도 7(e)는, 스크라이브 라인 상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면사진이며, 각각, 하중이 6N, 7N, 8N, 9N인 경우의 것이다. 도 5(b) 내지 도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.

도 7(a)를 참조하면, 하중이 5N으로부터 6N으로 변화되면, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 급격히 증가하는 것을 알 수 있다. 또, 하중이 6N을 초과하면, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 유리 기판(G1)의 두께(0.2㎜)의 80%를 초과하여, 유리 기판(G1)에 큰 침투량으로 크랙이 들어간다. 상기한 바와 같이, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한 방향에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적절하게 분단시킬 수 있다. 따라서, 스크라이브 방법 2에 있어서는, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 6N 이상으로 설정하는 것이 바람직하다고 말할 수 있다.

또, 본 실험에서는, 상기 실험 1에 비해서, 유리 기판(G1)에 대한 크랙의 침투량이 더 커지고 있다. 또한, 본 실험에서는, 스크라이빙 휠(301)의 아래쪽이 롤러(402)에 의해서 지지되고, 또한, 스크라이빙 휠(401)의 위쪽이 롤러(302)에 의해서 지지되므로, 스크라이빙 휠(301, 401)의 칼의 압압력에 의해서 마더 기판(G)이 변형되는 것이 억제된다. 따라서, 크랙의 침투량을 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성하기 위해서는, 스크라이브 방법 2와 같이, 마더 기판(G)의 스크라이빙 휠(301, 401)과 반대쪽의 면을 롤러(402, 302)로 누르도록 하는 것이 바람직하다고 말할 수 있다.

<스크라이빙 툴>

도 8(a) 및 도 8(b)는, 각각, 상기 스크라이브 방법 2에 있어서 이용하는 스크라이빙 툴(30, 40)의 구성 예를 나타내는 사시도이다.

스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 배열 순서를 제외하고 마찬가지 구성을 구비하고 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)을 유지하는 홀더(303, 403)를 구비한다. 홀더(303, 403)은, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착되는 홈(303a, 403a)과, 롤러(302, 402)가 장착되는 홈(303b, 403b)과, 경사면(303c, 403c)을 구비한다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 축(301a, 401a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워 넣음으로써 장착된다. 롤러(302, 402)는 축(302a, 402a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워 넣음으로써 장착된다.

도 9(a) 및 도 9(b)는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 대한 스크라이빙 툴(30)의 설치 방법을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 9(a) 및 도 9(b)에서는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 내부가 투시된 상태가 제시되어 있다.

스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에는, 스크라이빙 툴(30)을 유지하는 유지부(221)가 설치되고, 이 유지부(221)에, 스크라이빙 툴(30)을 삽입가능한 구멍(222)이 형성되어 있다. 구멍(222)의 밑바닥에는 자석(224)이 설치되고, 구멍(222)의 중간 위치에 핀(223)이 설치되어 있다. 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)는 강자성체로 이루어져 있다. 또한, 유지부(221)는, 도시하지 않은 베어링에 의해서, 수평방향으로 360도 회전가능하게 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 지지되어 있다.

스크라이브 라인 형성 기구(22)에 스크라이빙 툴(30)을 부착할 경우, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)가 유지부(221)의 구멍(222)에 삽입된다. 홀더(303)의 상단이 자석(224)에 접근하면 홀더(303)가 자석(224)에 흡착된다. 이때, 홀더(303)의 경사면(303c)이 핀(223)에 맞닿고, 홀더(303)가 정규의 위치에 위치 결정된다. 이와 같이 해서, 도 9(b)에 나타낸 바와 같이, 스크라이빙 툴(30)이 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다.

스크라이빙 툴(40)도 마찬가지로 해서 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다. 이와 같이 해서, 스크라이빙 툴(30, 40)이, 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착되면, 도 6(a) 및 도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)에 대응하는 위치에 롤러(402)가 위치 부여되고, 스크라이빙 휠(401)에 대응하는 위치에 롤러(302)가 위치 부여된다. 도 8(a) 및 도 8(b)에 나타낸 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하면, 스크라이빙 툴(30, 40)을 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착하는 것만으로, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)의 거리(W1)를 소정의 거리로 유지하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(402, 302)을 서로 마주 향하게 할 수 있다.

또, 상기 실험 2는, 도 8(a) 및 도 8(b)에 나타낸 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용해서 행하였다. 또한, 상기 실험 1은, 홀더(303, 403)로부터 홈(303b, 403b)이 생략되어, 홈(303a, 403a)만을 가진 홀더(303, 403)에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)만이 장착된 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용해서 행하였다.

<스크라이브 제어>

다음에, 스크라이브 장치(1)에 있어서의 스크라이브 제어에 대해서 설명한다.

도 10(a)는 스크라이브 장치(1)의 구성을 나타낸 블록도이다.

스크라이브 장치(1)는, 제어부(101)와, 검출부(102)와, 구동부(103)와, 입력부(104)와, 표시부(105)를 구비한다.

제어부(101)는, CPU 등의 프로세서와, ROM이나 RAM 등의 메모리를 구비하고, 메모리에 기억된 제어 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다. 또한, 메모리는, 각 부를 제어할 때의 작업 영역으로서도 이용된다. 검출부(102)는, 도 1(a)에 나타낸 카메라(19a, 19b) 외에, 각종 센서를 포함한다. 구동부(103)는, 도 1(a)에 나타낸 스크라이브 장치(1)의 기구부나 구동 모터(17, 18)를 포함한다. 입력부(104)는, 마우스 및 키보드를 구비한다. 입력부(104)는, 스크라이브 라인의 개시 위치 및 종료 위치나, 스크라이브 라인의 간격 등, 스크라이브 동작에 있어서의 각종 파라계측값의 입력에 이용된다. 표시부(105)는, 모니터를 포함하고, 입력부(104)에 의한 입력 시, 소정의 입력 화면이 표시된다.

도 10(b) 및 도 10(c)는, 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 각각 형성되는 스크라이브 라인의 개시 위치가 마더 기판(G)의 평면에서 보아서 일치하고 있지 않을 경우의 문제점을 설명하는 도면이다. 도 10(b)는 마더 기판(G)의 일부를 옆쪽에서부터 본 도면이고, 도 10(c)는 마더 기판(G)의 일부를 위쪽에서부터 본 도면이다.

상기 상기 실험 1 및 2에서 검증한 바와 같이, 마더 기판(G)의 양면에 동시에 스크라이브 라인을 형성할 경우, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)을 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하는 것이 바람직하다. 그러나, 이 스크라이브 방법을 스크라이브 라인의 개시 타이밍부터 적용하면, 도 10(b)에 나타낸 바와 같이, 마더 기판(G)의 상부면의 스크라이브 라인(L1)의 개시 위치(SP1)와 마더 기판(G)의 하부면의 스크라이브 라인(L2)의 개시 위치(SP2) 사이에 소정 거리(W)의 어긋남이 생긴다.

이와 같이 개시 위치(SP1, SP2)가 어긋나 있으면, 스크라이브 라인(L1, L2)에 따른 분단 공정에 있어서, 도 10(c)에 나타낸 바와 같이, 마더 기판(G)의 아래쪽의 유리 기판(G2)에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편(Gb)이 남는 일이 일어날 수 있다. 예를 들면, 개시 위치(SP1)의 위치에서 스크라이브 라인(L1, L2)에 수직인 크랙이 형성되어서 마더 기판(G)의 가장자리가 절취된 후, 스크라이브 라인(L1, L2)에 따른 분단 공정이 행해지면, 아래쪽의 스크라이브 라인(L2)이 아래쪽의 유리 기판(G2)의 단부까지 뻗고 있지 않으므로, 유리 기판(G2)의 거리(W)의 부분이 깨끗하게 분단되지 않고, 이 부분에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편(Gb)이 남을 수 있다. 이와 같이 되면, 잘라낸 후의 액정 패널의 윤곽이 소기의 윤곽과 일치하지 않고, 액정 패널을 제품 측의 설치 영역에 적정하게 설치할 수 없게 되어 버린다. 이 문제는, 스크라이브 라인의 종료 위치에 있어서도 마찬가지로 일어날 수 있다.

그래서, 본 실시형태에서는, 스크라이브 라인(L1, L2)의 개시 위치와 종료 위치를 마더 기판(G)의 평면에서 보아서 일치시켜, 개시 위치와 종료 위치 사이에 있어서 위쪽의 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)을 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나도록 제어된다. 또, 이 제어에서는, 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)이 위쪽의 스크라이빙 휠(301)에 대해서 스크라이브 방향으로 선행하도록 제어된다.

도 11은, 스크라이브 제어를 나타낸 순서도이다. 또, 도 11에 나타낸 스크라이브 제어는, 도 1(a)의 컨베이어(11)를 이동시키는 일 없이, 스크라이빙 툴(30, 40)을 이동시켜서, 마더 기판(G)의 양면에 스크라이브 라인을 형성할 때의 제어이다. 도 11에 나타낸 스크라이브 제어와는 별도로, 스크라이빙 툴(30, 40)을 이동시키는 일 없이, 컨베이어(11)를 이동시켜서, 마더 기판(G)의 양면에 스크라이브 라인을 형성하는 제어가 행해진다.

도 11에 나타낸 스크라이브 제어는, 도 10(a)의 제어부(101)에 의해서 행해진다. 도 12(a) 내지 도 14(b)는, 소정의 제어 타이밍에 있어서의 스크라이빙 툴(30, 40)의 위치를 모식적으로 나타낸 도면이다. 여기에서는, 도 8(a) 및 도 8(b)에 나타낸 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용되고 있다. 이 대신에, 롤러(302, 402)가 생략된 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용되어도 된다.

도 11을 참조하면, 제어부(101)는, 카메라(19a, 19b)의 촬상 화상을 처리하고, 마더 기판(G)의 위치를 검출한다(S11). 이 검출 결과에 의거해서, 제어부(101)는, 각 스크라이브 라인에 대한 상하의 스크라이브 헤드(2)(스크라이빙 툴(30, 40))의 초기 위치와, 각 스크라이브 헤드(2)에 대한 이송 제어의 전환 타이밍을 설정한다(S12).

다음에, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)를, 형성 대상의 스크라이브 라인(L1, L2)의 개시 위치로 이동시킨다(S13). 도 12(a)는, 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다. 이 상태에서는, X축 방향에 있어서 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 일치하고 있다. 이 상태에서, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 서보 모터(28)를 구동해서, 스크라이빙 툴(30, 40)을, 각각, 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 소정의 하중으로 압접시킨다(S14). 도 12(b)는, 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다. 이 상태에서는, 마더 기판(G)의 평면에서 보아서, 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 서로 일치하도록, 마더 기판(G)의 상부면의 밀봉재(SL)에 대향하는 위치와, 마더 기판(G)의 하부면의 밀봉재(SL)에 대향하는 위치에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)이 압접된다.

이와 같이 해서 스크라이빙 툴(30, 40)을 마더 기판(G)의 양면에 압접시킨 상태에서, 제어부(101)는, 구동 모터(17, 18)를 구동하고, 상하의 스크라이브 헤드(2)를 각각 같은 속도(Vn)로 이동시킨다(S15). 속도(Vs)는 속도(Vn)보다도 느리게 설정된다. 이 때문에, 위쪽의 스크라이빙 툴(30)은 아래쪽의 스크라이빙 툴(40)에 대해서 서서히 후퇴하여, 스크라이브 방향에 있어서, 스크라이빙 툴(30, 40) 사이에 간격이 벌어진다. 도 13(a)는 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다.

그 후, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동 개시로부터 시간(T1)이 경과하는 것을 기다린다(S16). 그리고, 시간(T1)이 경과하면(S16: 예), 제어부(101)는, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도를 속도(Vs)로부터 속도(Vn)로 높인다(S17).

도 13(b)는 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다. 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동 개시로부터 시간(T1)이 경과한 타이밍(S16: 예)에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이에 소기의 간격이 벌어지고, 이들 스크라이빙 휠(301, 401)에 대해서 롤러(402, 302)이 대략 대향한다. 이 상태에서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도가 위쪽의 스크라이브 헤드(2)와 같은 속도(Vn)로 높아짐으로써, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소기의 간격으로 유지된 상태에서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 스크라이브 방향으로 이동된다.

그 후, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동 개시로부터 시간(T2)(T2 > T1)이 경과하는 것을 기다린다(S18). 그리고, 시간(T2)이 경과하면(S18: 예), 제어부(101)는, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도를 속도(Vn)로부터 속도(Vs)로 저하시킨다(S19). 이것에 의해, 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)이 위쪽의 스크라이빙 휠(301)에 서서히 접근한다. 도 14(a)는, 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다.

또한, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동 개시로부터 시간(T3)(T3 > T2)이 경과하는 것을 기다린다(S20). 시간(T3)이 경과한 타이밍에서는(S20: 예), 스크라이브 방향에 있어서, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙는다. 도 14(b)는 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다.

이와 같이 해서, 시간(T3)이 경과하면(S20: 예), 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이송을 종료하고, 상하의 스크라이브 헤드(2)을 정지시킨다(S21). 그리고, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 서보 모터(28)를 구동해서, 스크라이빙 툴(30, 40)을, 각각, 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면으로부터 이간시킨다(S22). 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)를 이동시키는 것에 의한 처리가, 미리 설정된 모든 스크라이브 라인에 대해서 완료되었는지의 여부를 판정한다(S23). 모든 스크라이브 라인에 대한 처리가 완료되어 있지 않을 경우(S23: 아니오), 제어부(101)는, 처리를 S13으로 되돌려, 다음 스크라이브 라인에 대한 처리를 실행한다. 이와 같이 해서, 모든 스크라이브 라인에 대한 처리가 완료되면(S23: 예), 제어부(101)는 처리를 종료한다.

도 15는 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트이다. 도 15의 하단에는, 위쪽 스크라이브 헤드(2)에 대한 구동 신호와, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)에 대한 구동 신호가 표시되어 있다. 이들 구동 신호는, 각각, 도 1(a)에 나타낸 구동 모터(17, 18)에 인가된다. 또한, 도 15의 상단에는, 스크라이브 방향에 있어서의 마더 기판(G) 상의 위치와, 스크라이빙 휠(301, 401)의 상대위치가 표시되어 있다. 위치(P0, P3)는, 각각, 스크라이브 라인의 개시 위치와 종료 위치이다.

스크라이브 개시 타이밍(T0)에 있어서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호와 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가, 각각, 수준(Ds, Dn)으로 설정된다. 이것에 의해, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)이, 각각, 속도(Vs, Vn)로 이동된다. 그 후, 시간(T1)이 경과하면, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Dn)으로 높아진다. 이것에 의해, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)이, 각각, 같은 속도(Vn)로 이동된다.

스크라이브 개시 타이밍(T0)으로부터 시간(T2)이 경과하면, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Ds)으로 저하된다. 이것에 의해, 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)의 속도가 속도(Vs)로 저하된다. 그리고, 스크라이브 개시 타이밍(T0)으로부터 시간(T2)이 경과하면, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호와 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가, 각각, 0 수준으로 된다. 이것에 의해, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)이 정지한다.

상기 스크라이브 제어에 따르면, 위치(P0) 내지 위치(P1)까지의 범위(R1)에 있어서, 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)이 위쪽의 스크라이빙 휠(301)에 대해서 서서히 선행한다. 또, 위치(P1) 내지 위치(P2)까지의 범위(R2)에 있어서, 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)과 위쪽의 스크라이빙 휠(301)의 간격이 소정 거리로 유지된다. 그 후, 위치(P2) 내지 위치(P3)까지의 범위(R3)에 있어서, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)에 서서히 접근해간다. 그리고, 스크라이브 라인의 종료 위치(P3)에서는, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙어, 양자의 위치가 일치한다. 이와 같이 해서, 해당 스크라이브 라인에 대한 제어가 종료된다.

<실시형태의 효과>

본 실시형태에 따르면, 이하의 효과가 발휘된다.

실험 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 밀봉재(SL)의 바로 위의 위치에, 깊은 크랙으로 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 특히, 스크라이브 방법 2와 같이, 스크라이빙 휠(301, 401)의 반대쪽을 롤러(302, 402)로 누름으로써, 크랙의 침투량을 더욱 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.

또, 마더 기판(G)의 양면에 각각 형성된 스크라이브 라인의 개시 위치가, 평면에서 보아서 서로 일치하므로, 분단 공정 시, 스크라이브 라인의 개시 위치에 있어서, 마더 기판(G)에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편이 남는 것이 억제된다. 마찬가지로, 마더 기판(G)의 양면에 각각 형성된 스크라이브 라인의 종료 위치가, 평면에서 보아서 서로 일치하므로, 분단 공정 시, 스크라이브 라인의 종료 위치에 있어서, 마더 기판(G)에 깔쭉깔쭉한 형태의 돌출편이 남는 것이 억제된다. 따라서, 잘라낸 후의 액정 패널의 형상을 적정한 형상으로 조절할 수 있다.

또한, 도 15의 범위(R1)에 있어서는, 스크라이빙 휠(301)의 이동 속도를 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도보다도 늦춤으로써, 스크라이빙 휠(301)이 스크라이빙 휠(401)에 대해서 지연된다. 이 때문에, 마더 기판(G)의 양면에 크랙을 형성하면서, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)의 사이에 간격을 둘 수 있다.

또한, 도 15의 범위(R2)에 있어서는, 스크라이빙 휠(301)의 이동 속도와 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 스크라이빙 휠(401)에 대한 스크라이빙 휠(301)의 지연이 소정 거리로 유지된다. 이 때문에, 마더 기판(G)에 크랙을 불균일 없이 양호하게 형성할 수 있다.

또한, 도 15의 범위(R3)에 있어서는, 스크라이빙 휠(301)의 이동 속도를 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도보다도 빠르게 함으로써, 스크라이브 라인의 종료 위치에 있어서, 스크라이빙 휠(301)이 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙는다. 이 때문에, 마더 기판(G)의 양면에 크랙을 형성하면서, 스크라이빙 휠(301)을 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙게 할 수 있다.

<변경예>

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것은 아니고, 또한, 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 각종 변경이 가능하다.

예를 들면, 스크라이빙 휠(301)을 스크라이빙 휠(401)에 대해서 변위시키는 방법은, 상기 실시형태에 나타낸 방법으로 한정되는 것은 아니고, 다른 방법으로 하는 것도 가능하다.

예를 들면, 도 16(a)에 나타낸 바와 같이, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)에 대해서 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 이동 개시 타이밍을 ΔT만큼 늦춤으로써, 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)을 위쪽의 스크라이빙 휠(301)에 대해서 소정 거리만큼 선행시키고, 또한, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)에 대해서 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 이동 종료 타이밍을 ΔT만큼 빠르게 함으로써, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)을 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙게 하도록 해도 된다. 이 경우, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)와 아래쪽의 스크라이브 헤드의 구동 신호는, 모두 수준(Dn)으로 되고, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는 같게 된다. 이와 같이 하면, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽의 스크라이빙 휠(401) 간격이 소정 거리로 유지되는 범위를, 상기 실시형태에 비해서 넓게 할 수 있다.

단, 이 변경예에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 개시 타이밍이 같지 않기 때문에, 후속의 스크라이빙 휠(301)의 이동 개시 시에, 해당 스크라이빙 휠(301)에 있어서, 걸림 불량의 발생률이 높아질 염려가 있다. 따라서, 후속의 스크라이빙 휠(301)에 있어서의 걸림 불량을 억제하기 위해서는, 상기 실시형태와 같이, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 개시 타이밍을 같게 해서, 이동 개시 후에, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격을 서서히 넓히도록 제어하는 것이 바람직하다.

또한, 도 16(b)에 나타낸 바와 같이, 시간(T0)으로부터 스크라이브 라인의 중간 위치에 대응하는 시간(Tc)까지의 사이에는, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호와 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호를 각각 Ds, Dn으로 설정하고, 시간(Tc) 내지 시간(T3)까지의 사이에는, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호와 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호를 각각 Dn, Ds으로 설정해도 된다. 이와 같이 하면, 시간(T0) 내지 (Tc)까지의 사이에는, 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)이 위쪽의 스크라이빙 휠(301)에 대해서 서서히 선행하고, 시간(Tc) 내지 (T3)까지의 사이에는, 위쪽의 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)에 대해서 서서히 따라 붙는다.

단, 이 변경예에서는, 스크라이브 라인 전체에서 리브 마크량이 변화되게 된다. 이것에 대해서, 상기 실시형태에서는, 도 15의 범위(R2)에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소정 거리로 유지되므로, 리브 마크량이 거의 일정해진다. 따라서, 리브 마크량을 될 수 있는 한 균일화해서 분단 공정을 안정화시키는 관점에서는, 상기 실시형태와 같이, 스크라이브 라인의 개시 위치 부근과 종료 위치 부근에서만 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 속도를 다르게 하고, 나머지의 범위에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 속도를 균일화하는 것이 바람직하다.

그 밖에, 시간(T0) 내지 시간(T3) 사이에 있어서의 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이송 속도는, 스크라이브 라인의 종료 위치에 있어서 위쪽의 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)에 거의 따라 붙는 것을 조건으로 해서, 각종 변경 가능하다.

또, 도 11에 나타낸 제어에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 압접되는 하중이, 스크라이브 라인의 전체 길이에 있어서 불변으로 되었다. 그러나, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 압접되는 하중이, 스크라이브 라인의 위치에 따라서 변화되도록 제어되어도 된다. 예를 들면, 스크라이브 라인의 개시 위치에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 압접 하중이 낮게 설정되고, 그 후, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 이동하는 것에 따라서 서서히 압접 하중이 소기의 하중에 가깝게 되도록 제어되어도 된다.

도 17은 압접 하중을 변화시킬 경우의 제어 순서도의 일례이다. 도 17의 순서도에서는, 도 11의 S14가 S31로 치환되고, 또한, S32 내지 S35가 추가되어 있다. 그 밖의 단계는, 도 11과 마찬가지이다.

S13에 있어서, 상하의 스크라이브 헤드(2)가 형성 대상의 스크라이브 라인의 초기 위치로 이동되면, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 서보 모터(28)를 구동해서, 스크라이빙 툴(30, 40)을, 각각, 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 하중(N0)으로 압접시킨다(S31). 그 후, 제어부(101)는, 시간(T1)이 경과할 때까지, 상하의 스크라이브 헤드(2)를, 각각, 속도(Vs, Vn)로 이동시키면서(S15), 마더 기판(G)에 대한 스크라이빙 툴(30, 40)의 압접 하중을 서서히 증가시킨다(S32). 이와 같이 해서, 시간(T1)이 경과하면(S16: 예), 제어부(101)는, 마더 기판(G)에 대한 스크라이빙 툴(30, 40)의 압접 하중의 증가를 종료하고, 이들 압접 하중을, 시간(T1) 경과 시의 하중으로 유지한다(S33). 그리고, 제어부(101)는, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 속도를 속도(Vn)로 높이고, 스크라이브 동작을 진행시킨다(S17).

그 후, 경과 시간이 시간(T2)에 도달하면(S18: 예), 제어부(101)는, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도를 Vs로 변경하고(S18), 마더 기판(G)에 대한 스크라이빙 툴(30, 40)의 압접 하중을 서서히 감소시킨다(S34). 이와 같이 해서, 경과 시간이 시간(T3)에 도달하면(S20: 예), 제어부(101)는, 마더 기판(G)에 대한 스크라이빙 툴(30, 40)의 압접 하중의 감소를 종료하고(S35), 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동을 정지시킨다. 그 후, 제어부(101)는, S22에 있어서, 스크라이빙 툴(30, 40)을 마더 기판(G)으로부터 이간시켜, 해당 스크라이브 라인의 형성 동작을 종료시킨다.

이와 같이 스크라이빙 툴(30, 40)의 압접 하중을 조정함으로써, 스크라이브 라인의 개시 위치와 종료 위치에 있어서, 마더 기판(G)에 과도한 하중이 가해지는 것이 회피된다. 스크라이브 라인의 개시 위치와 종료 위치에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 일치하므로, 마더 기판(G)은, 스크라이빙 휠(301, 401)에 의해 직접 끼워져 있는 것으로 된다. 이 때문에, 마더 기판(G)은, 스크라이빙 휠(301, 401)이 스크라이브 방향으로 서로 변위되고 있을 경우에 비해서, 스크라이빙 휠(301, 401)로부터 큰 힘을 받는다. 도 17의 제어에 의해, 스크라이브 라인의 개시 위치와 종료 위치에 있어서, 하중이 약화됨으로써, 마더 기판(G)이, 스크라이빙 휠(301, 401)로부터 과도한 힘을 받는 것이 회피된다. 따라서, 스크라이브 라인의 개시 위치와 종료 위치에 있어서, 마더 기판(G)에 대해서, 파손 없이, 적정한 깊이의 크랙을 형성할 수 있다. 또, S33에 있어서의 하중은, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소정 거리에 있을 때 소망의 깊이의 크랙이 형성되도록 조정된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 칼끝의 능선에 일정 간격으로 홈이 형성된 스크라이빙 휠이 이용되었지만, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠을 이용해도 마찬가지 효과가 발휘되는 것이 상정될 수 있다. 스크라이빙 휠(칼끝)의 크기나 형상은, 상기 실시형태에 기재된 것으로 한정되는 것은 아니고, 다른 크기나 형상, 종류의 칼끝을 적당히 이용할 수 있다.

또한, 도 11에 나타낸 제어에서는, 마더 기판(G)의 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)을 위쪽의 스크라이빙 휠(301)에 대해서 스크라이브 방향으로 선행시켰지만, 마더 기판(G)의 위쪽의 스크라이빙 휠(301)을 아래쪽의 스크라이빙 휠(401)에 대해서 스크라이브 방향으로 선행시켜도 된다.

또한, 도 11에 나타낸 제어에서는, 스크라이브 동작의 개시 타이밍(T0)으로부터의 경과 시간에 의해, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도가 전환되었지만, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 위치를 검출하는 수단이 설치될 경우에는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 위치에 의해, 제어가 실행되어도 된다. 예를 들면, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)가 도 15의 위치(P1)에 도달한 것이 검출됨에 따라서 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 속도가 Vn으로 높아지고, 또한, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)가 도 15의 위치(P2)에 도달한 것이 검출된 것에 따라서 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 속도가 Vs로 저하되어도 된다. 또, 상하의 스크라이브 헤드(2)가 위치(P3)에 도달한 것이 검출됨에 따라서 상하의 스크라이브 헤드(2)가 정지되어도 된다.

또한, 도 6(a), (b) 및 도 8(a), (b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치가, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와 Z축 방향에 있어서 일치하고, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경이, 각각, 롤러(302, 402)의 직경과 동일한 것으로 하였다. 그렇지만, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 관계는, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 기타 각종 변경이 가능하다.

또한, 도 6(a), (b) 및 도 8(a), (b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 양쪽에 1쌍의 롤러(302, 402)가 배치되었지만, 스크라이빙 휠(301, 401)의 한쪽에만 1개의 롤러(302, 402)가 배치되는 구성도 상정될 수 있다.

그 밖에, 마더 기판(G)의 구성, 두께, 재질 등은, 상기 실시형태에 나타낸 것으로 한정되는 것은 아니고, 다른 구성의 마더 기판(G)의 절단에도, 상기 스크라이브 방법 1, 2 및 스크라이브 장치를 이용할 수 있다.

본 발명의 실시형태는, 특허청구범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게 각종 변경이 가능하다.

1: 스크라이브 장치 2: 스크라이브 헤드
30, 40: 스크라이빙 툴 101: 제어부
301, 401: 스크라이빙 휠 302, 402: 롤러
G: 마더 기판 G1, G2: 유리 기판

Claims (10)

1. 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서,
   상기 제1 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치와 상기 제2 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치가 평면에서 보아서 서로 일치하도록, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치와, 상기 제2 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에, 각각, 제1 칼과 제2 칼을 누르고,
   상기 제1 칼이 상기 제2 칼에 대해서 스크라이브 방향으로 변위되도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 스크라이브 라인을 형성하고,
   상기 제1 칼과 상기 제2 칼과의 변위가 해소되도록 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 이동시켜서, 상기 제1 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치와 상기 제2 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치를 평면에서 보아서 서로 일치시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 제1 칼을 상기 제2 칼에 대해서 변위시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 상기 제2 칼에 대한 상기 제1 칼의 변위를 소정 거리로 유지하고, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 상기 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 종료 위치에 있어서, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼의 변위를 해소시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 기판의 표면의 상기 제2 칼에 대응하는 위치에 제1 누름 부재를 누르면서 상기 제1 칼과 함께 상기 제1 누름 부재를 상기 밀봉재를 따라서 이동시키고,
   상기 제2 기판의 표면의 상기 제1 칼에 대응하는 위치에 제2 누름 부재를 누르면서 상기 제2 칼과 함께 상기 제2 누름 부재를 상기 밀봉재를 따라서 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
6. 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
   상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이브 헤드;
   상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이브 헤드;
   상기 제1스크라이브 헤드와 상기 제2스크라이브 헤드를 상기 마더 기판에 평행하게 이동시키는 구동부; 및
   상기 제1스크라이브 헤드, 상기 제2스크라이브 헤드 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하되,
   상기 제어부는,
   상기 제1 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치와 상기 제2 기판의 스크라이브 라인의 개시 위치가 평면에서 보아서 서로 일치하도록, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치와, 상기 제2 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에, 각각, 상기 제1스크라이브 헤드의 제1 칼과 상기 제2스크라이브 헤드의 제2 칼을 누르고,
   상기 제1 칼이 상기 제2 칼에 대해서 스크라이브 방향으로 변위되도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 스크라이브 라인을 형성하고,
   상기 제1 칼과 상기 제2 칼과의 변위가 해소되도록 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 이동시켜서, 상기 제1 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치와 상기 제2 기판의 상기 스크라이브 라인의 종료 위치를 평면에서 보아서 서로 일치시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 제1 칼을 상기 제2 칼에 대해서 변위시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 상기 제2 칼에 대한 상기 제1 칼의 변위를 소정 거리로 유지하고, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 상기 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
9. 제6항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 종료 위치에 있어서, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼의 변위를 해소시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
10. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1스크라이브 헤드는, 상기 제1 칼이 상기 제2 칼에 대해서 상기 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 상기 제2 칼의 압접 위치를 상기 제1 기판의 표면으로부터 누르는 제1 누름 부재를 구비하고,
    상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제2 칼이 상기 제1 칼에 대해서 상기 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 상기 제1 칼의 압접 위치를 상기 제2 기판의 표면으로부터 누르는 제2 누름 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.

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