KR102354979B1 - 반도체 장비 운송용 보조 구조물 - Google Patents

반도체 장비 운송용 보조 구조물 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 장비 운송용 보조 구조물에 관한 것으로서, 반도체 노광용 ASML장비본체의 운송작업시 보조 구조물 부품을 이용하여 조립상태 그대로 운송이 이루어질 수 있도록 하여 장비 운송시 별도의 분해 조립 작업으로 인한 불편이 해소될 수 있고 재조립에 따른 비용이 대폭 절감될 수 있게 된다.
이를 실현하기 위한 본 발명은, 노광용 장비본체(100)의 이송을 위해 설치가 이루어지는 장비 운송용 보조 구조물에 있어서, 상기 장비본체(100)의 각 코너 측 하부에 고정되는 4개의 코너부 고정구(10)와; 상기 장비본체(100)의 일측에 일정 높이로 돌출된 측면 센서플레이트부(110)를 받쳐주기 위해 고정이 이루어지는 2개의 측면 받침구(20)와; 상기 장비본체(100)의 중앙 하부공간(120) 전면 및 배면 측에 인입 고정이 이루어지도록 2개가 쌍을 이루어 구비되는 중앙부 고정프레임(30);을 포함하는 구성을 이루는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 장비 운송용 보조 구조물{Auxiliary structure for transporting semiconductor equipment}
본 발명은 반도체 장비 운송용 보조 구조물에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고중량과 높게 장착된 장비무게의 중심부가 상부측에 쏠려있는 반도체 노광장비 운송작업이 보다 안전하고 용이하게 이루어질 수 있도록 보조적으로 부착하여 활용이 이루어지는 반도체 장비 운송용 보조 구조물에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼를 가공해서 반도체 장치를 생산하기 위해서는 웨이퍼 상에 전기적인 회로 패턴들을 형성해야 하며, 그를 위해서 웨이퍼는 여러 번의 포토리소그라피 기술을 이용한 포토 공정을 거치게 된다.
상기 포토 공정은 웨이퍼 상에 포토레지스트를 도포하고 상기 포토레지스트가 도포된 웨이퍼 상에 선택적으로 광을 조사한 후 광이 조사된 포토레지스트를 현상하여 회로 패턴의 포토레지스트를 웨이퍼 상에 형성하는 공정을 의미한다.
이때, 상기 포토레지스트가 도포된 웨이퍼 상에 선택적으로 광을 조사하는 공정을 노광공정이라 하는데, 상기 노광공정을 위한 ASML 노광장비는 반도체 장비 중 고중량의 대형 구조물로 이루어져 있다.
특히, 부분별 기능 구조의 장비를 하부 받침형 프레임 상부에 부착한 구조를 이루고 있기 때문에 무게 중심부가 상부측에 쏠리면서 지상에서 떠있는 대형 구조물로 이루어져 있기 때문에 이동 작업시 전도되면 완파될 가능성이 많은 고중량의 대형 구조물을 이루고 있다.
그러나, 종래에는 이러한 고중량의 노광장비 이송용 전용 장비가 없기 때문에 장비 이송작업시는 각 부분별로 분해햐여 개별적인 이송이 이루어진 후 이송 완료 후 다시 조립이 이루어지게 되는데, 이러한 분해 조립으로 인한 많은 시간이 소요됨은 물론 장비 기술자가 동행해야 함으로 인한 인건비 상승의 문제점이 있었다.
대한민국 특허등록 제816212호(2008.03.17.등록) 대한민국 특허공개 제2008-1200호(2008.01.03.공개)
본 발명은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로서, 반도체 노광장비의 운송시 분해하지 않고 장비를 조립상태 그대로 운송이 가능하도록 하는 보조 구조물을 제공함으로써 장비 운송효율을 향상시킴과 함께 운송비용을 대폭 절감시키도록 하는데 목적이 있다.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명의 기술특징은, 장비본체(100)의 이송을 위한 반도체 장비 운송용 보조 구조물에 있어서, 상기 장비본체(100)는 반도체 노광을 위한 장비가 분해되지 않고 조립상태 그대로 유지되며, 측면에는 센서플레이트부(110)가 돌출 형성되고, 중앙 하부에는 이송을 위한 하부공간(120)을 가지며, 상기 장비본체(100)의 4개의 코너측 하부에 고정되는 고정구(10); 상기 센서플레이트부(110)를 받쳐주기 위해 상기 장비본체(100)의 측면 하부에 고정되는 받침구(20); 및 상기 장비본체(100)의 하부공간(120)의 전면 및 배면 측에 직사각형 형상으로 인입 고정되는 한 쌍의 고정프레임(30);을 포함하되, 상기 한 쌍의 고정프레임(30)은, 연결플레이트(40)에 의해 서로 연결 지지되고, 외부 노출 방지를 위해 외측에는 커버플레이트(50)가 결합 구성되며, 하부공간 확보 및 상기 장비본체(100)의 하중 지지력 보강을 위한 수평보강대(33)와 수직보강대(34)가 격자 형상을 이루어 일체로 구비되고, 상기 한 쌍의 고정프레임(30) 및 상기 커버플레이트(50)에는 삽입공(35, 51)이 각각 형성됨으로써 상기 삽입공(35, 51)에 지게차의 포크가 삽입되어 이송이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 운송용 보조 구조물을 제공한다.
이러한 본 발명은, 반도체 노광용 장비본체의 운송작업시 보조 구조물 부품을 이용하여 조립상태 그대로 운송이 이루어질 수 있게 되어 별도의 분해 조립 작업으로 인한 불편이 해소되는 가운데 트레일러 운송차량의 배드하부에 진공백 또는 스프링으로 완충되는 무진동 장치 항온항습 커버되는 차량으로 적재, 운송함으로써 해체 이전의 상태 그대로 안정적인 장비 운송이 이루어질 수 있는 효과를 나타낸다.
도 1은 일반적인 반도체 노광장비의 ASML장비본체 개략적인 정면 형상도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 장비 운송용 보조 구조물이 장비본체에 장착된 상태 개략 구조도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 장비 운송용 보조 구조물이 장비본체에 장착된 상태 측면 구조도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에서 코너부 고정구 외관도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에서 측면 받침구 외관도.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에서 중앙부 고정프레임 분리상태 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 장비 운송용 보조 구조물이 장비본체에 장착된 상태 평면 투시도.
도 8 및 도 9는 본 발명의 보조 구조물이 장착된 장비의 운송과정 사진.
도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 노광장비의 웨이퍼 스테이지 운송용 캐스터구조물 외관 사시도.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 운송용 구조물이 웨이퍼 스테이지에 장착된 상태 개략 구조도.
도 12는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 웨이퍼 스테이지의 운송과정 사진.
이하, 본 발명의 구체적인 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 살펴보기로 한다.
본 발명의 실시 예는 여러 가지 모양과 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시 예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
따라서, 도면에서 표현한 구성요소의 형상 등은 더욱 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 구성은 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기술의 기능 및 구성에 관한 상세한 설명은 생략될 수 있다.
먼저, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 장비 운송용 보조 구조물의 구성을 도 1 내지 도 7을 통해 살펴보면 다음과 같다.
본 실시 예에서의 장비 운송용 보조 구조물은 중량물인 노광용 장비본체(100)의 이송을 위해 설치가 이루어지는 것으로, 상기 장비본체(100)의 각 코너 측 하부에 고정되는 4개의 코너부 고정구(10)와, 상기 장비본체(100)의 일측에 일정 높이로 돌출된 측면 센서플레이트부(110)를 받쳐주기 위해 고정이 이루어지는 2개의 측면 받침구(20)와, 상기 장비본체(100)의 중앙 하부공간(120) 전면 및 배면 측에 인입 고정이 이루어지도록 2개가 쌍을 이루어 구비되는 중앙부 고정프레임(30)으로 구성된다.
이때, 상기 코너부 고정구(10)는 도 4에서와같이 장비본체(100)에 고정을 위한 다수의 볼트 체결공(11a)이 형성된 고정플레이트(11)와, 하부에서 수평상태 조절을 위한 다수의 높이조절볼트(14)가 볼트 체결된 바닥수평 플레이트(13)와, 상기 바닥수평 플레이트(13)와 상기 고정플레이트(11)를 연결하기 위해 수직으로 구비되되 일측에 고리 고정공(12a)이 형성된 수직플레이트(12)로 이루어진다.
또한, 측면 받침구(20)는 도 5에서와같이 측면 받침구(20)는 측면 센서플레이트부(110)의 저면을 받쳐주는 수평플레이트(21)와, 상기 수평플레이트(21)의 일측에 "ㄱ"형태로 연결 구비되는 가운데 장비본체(100)의 측면에 고정을 위한 다수의 볼트 체결공(22a)이 형성된 수직플레이트(22)와, 상기 수직플레이트(22)와 수평플레이트(21)의 지지력 보강을 위해 구비되는 보강플레이트(23)로 이루어진다.
또한, 중앙부 고정프레임(30)은 도 6에서와같이 직사각형의 형상을 이루는 가운데 2개가 상호 연결플레이트(40)에 의해 연결 지지가 이루어지고, 외부 노출 방지를 위해 외측에는 커버플레이트(50)가 결합 구성된다.
이때, 중앙부 고정프레임(30)은 장비본체(100)의 하중 지지력 보강을 위한 수평보강대(33)와 수직보강대(34)가 격자 형상을 이루어 일체로 구비되고, 상기 중앙부 고정프레임(30) 및 커버플레이트(50)에는 지게차 포크 삽입공(35,51)이 형성된 것을 확인할 수 있다. 도면 중 미설명 부호 31, 41은 중앙부 고정프레임(30)과 연결플레이트(40)의 연결을 위한 볼트 체결공이고, 32는 장비본체(100)와 고정을 위한 볼트 체결공을 각각 나타낸다.
이와 같은 구성을 이루는 본 발명 보조 구조물을 이용하여 반도체 노광장비인 ASML 장비본체(100)를 운송하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
본 실시 예에서는 4개의 코너부 고정구(10)와, 2개의 측면 받침구(20), 그리고 2개의 중앙부 고정프레임(30) 부품을 포함하는 보조 구조물을 이용한 장비본체(100)의 운송이 이루어지게 된다.
즉, 4개의 코너부 고정구(10)는 각각 장비본체(100)의 4개소 모서리 코너 부위에 볼트 체결에 의한 고정이 이루어지게 되는데, 이때에는 바닥수평 플레이트(13)에 체결된 높이조절볼트(14)의 조절을 통해 적절한 바닥면 수평상태 조절이 이루어지게 된다.
또한, 2개의 측면 받침구(20)는 장비본체(100)의 일측에 일정 높이로 돌출된 측면 센서플레이트부(110)를 하부에서 받쳐주기 위해 볼트 체결에 의한 고정이 이루어짐으로써, 운송 과정에서 센서플레이트부(110)의 하중으로 인한 쳐짐 현상 발생이 방지될 수 있게 된다.
또한, 장비본체(100)의 중앙 하부공간(120)에는 2개의 중앙부 고정프레임(30)을 각각 전면 측과 후면 측에 인입시키게 되는데, 이때 중앙부 고정프레임(30)은 상호 양측에서 연결플레이트(40)에 의해 연결된 구조를 이루게 되어 장비본체(100)가 운송과정에서 상,하차시 지게차의 인입시 본체 하단 중앙부의 돌출 되어있는 센서플레이트(bottom lens)의 파손을 방지할 수 있게 된다.
이때, 중앙부 고정프레임(30)의 외측에는 커버플레이트(50)를 부착하여 외부로부터 이물질 유입 및 내부 노출을 방지할 수 있게 된다.
도 8은 상기 과정을 통해 장비본체(100)에 보조구조물의 고정이 이루어진 상태를 나타낸 것으로, 이와 같이 보조구조물의 고정 작업이 완료되면 지게차 포크 삽입공(35,51) 부위에 지게차 포크를 삽입하여 무진동 장치 차량에 적재하여 이동이 이루어질 수 있게 되며, 운송 차량에 장비본체(100)를 적재시킨 상태에서는 도 9에서와같이 고정용 고리를 코너부 고정구(10)의 고리 고정공(12a)에 걸어서 적재함 바닥면과의 안정적인 고정상태를 유지할 수 있게 된다.
따라서 본 발명은, 반도체 노광용 장비본체의 운송작업시 보조 구조물 부품을 이용하여 조립상태 그대로 운송이 이루어질 수 있게 되어 별도의 분해 조립 작업으로 인한 불편이 해소되는 가운데 안정적인 장비 운송이 이루어질 수 있는 효과를 나타낸다.
한편, 도 10 내지 도 12는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 노광용 장비인 웨이퍼 스테이지(200) 운송용 보조구조물을 나타낸 것으로서, 웨이퍼 스테이지(200)의 각 코너부에 고정이 이루어지는 4개의 캐스터 구조물(60)이 구성된다.
즉, 본 실시 예에서의 캐스터 구조물(60)은 웨이퍼 스테이지(200)에 볼트 체결을 위한 볼트공(61a)이 형성된 스테이지 고정구(61)와, 상기 스테이지 고정구(61) 일측에 연결 구비된 지지플레이트(62)와, 상기 지지플레이트(62) 양측에 나사 치합이 이루어지되 하부에는 이동바퀴(64)가 구비된 상하 높이 조절용 조절볼트(63)의 구조를 이루는 것을 확인할 수 있다.
이러한 캐스터 구조물(60)은 장비 운송 작업시 웨이퍼 스테이지(200)의 각 모서리 부위에 볼트 체결에 의해 고정이 이루어진 상태에서 지게차를 이용하여 웨이퍼 스테이지(200)를 이동하는 과정에서 보다 안정적이고 바닥면 하부에 돌출되어 있는 캐스터의 고정 고무패드가 훼손되는 것을 방지하면서 이동 및 이송 작업이 이루어질 수 있도록 하는 기능을 수행하게 된다.
그리고 상기에서 본 발명의 특정한 실시 예가 설명 및 도시되었지만 본 발명의 장비 운송용 보조구조물의 구조가 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 수 있음은 자명한 일이다.
예를 들면, 상기 실시 예에서는 장비본체의 이동이 지게차를 이용하여 이루어지는 것으로 설명되었으나, 필요에 따라서는 이동바퀴가 구비된 별도의 이동받침대가 사용될 수도 있게 된다.
따라서 이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상이나 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 첨부된 특허청구범위 내에 포함된다 해야 할 것이다.
10 : 코너부 고정구 11 : 고정플레이트
12 : 수직플레이트 12a: 고리 고정공
13 : 바닥수평 플레이트 14 : 높이조절볼트
20 : 측면 받침구 21 : 수평플레이트
22 : 수직플레이트 23 : 보강플레이트
30 : 중앙부 고정프레임 31,32 : 볼트 체결공
35,51 : 포크 삽입홈 40 : 연결플레이트
50 : 커버플레이트 60 : 캐스터 구조물
100 : 장비본체 200 : 웨이퍼 스테이지

Claims (6)

  1. 장비본체(100)의 이송을 위한 반도체 장비 운송용 보조 구조물에 있어서,
    상기 장비본체(100)는 반도체 노광을 위한 장비가 분해되지 않고 조립상태 그대로 유지되며, 측면에는 센서플레이트부(110)가 돌출 형성되고, 중앙 하부에는 이송을 위한 하부공간(120)을 가지며,
    상기 장비본체(100)의 4개의 코너측 하부에 고정되는 고정구(10);
    상기 센서플레이트부(110)를 받쳐주기 위해 상기 장비본체(100)의 측면 하부에 고정되는 받침구(20); 및
    상기 장비본체(100)의 하부공간(120)의 전면 및 배면 측에 직사각형 형상으로 인입 고정되는 한 쌍의 고정프레임(30);을 포함하되,
    상기 한 쌍의 고정프레임(30)은, 연결플레이트(40)에 의해 서로 연결 지지되고, 외부 노출 방지를 위해 외측에는 커버플레이트(50)가 결합 구성되며, 하부공간 확보 및 상기 장비본체(100)의 하중 지지력 보강을 위한 수평보강대(33)와 수직보강대(34)가 격자 형상을 이루어 일체로 구비되고,
    상기 한 쌍의 고정프레임(30) 및 상기 커버플레이트(50)에는 삽입공(35, 51)이 각각 형성됨으로써 상기 삽입공(35, 51)에 지게차의 포크가 삽입되어 이송이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 운송용 보조 구조물.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 코너부 고정구(10)는 장비본체(100)에 고정을 위한 다수의 볼트 체결공(11a)이 형성된 고정플레이트(11)와, 하부에서 수평상태 조절을 위한 다수의 높이조절볼트(14)가 볼트 체결된 바닥수평 플레이트(13)와, 상기 바닥수평 플레이트(13)와 상기 고정플레이트(11)를 연결하기 위해 수직으로 구비되되 일측에 고리 고정공(12a)이 형성된 수직플레이트(12)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 운송용 보조 구조물.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 측면 받침구(20)는 측면 센서플레이트부(110)의 저면을 받쳐주는 수평플레이트(21)와, 상기 수평플레이트(21)의 일측에 "ㄱ"형태로 연결 구비되는 가운데 장비본체(100)의 측면에 고정을 위한 다수의 볼트 체결공(22a)이 형성된 수직플레이트(22)와, 상기 수직플레이트(22)와 수평플레이트(21)의 지지력 보강을 위해 구비되는 보강플레이트(23)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 운송용 보조 구조물.
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