KR101185733B1 - 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치 - Google Patents

반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치가 개시된다.
개시되는 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치는 본체; 상기 본체를 이동시키기 위한 이동 부재; 반도체 제조 장비용 튜브가 이송을 위해 결합될 수 있는 집게 부재; 및 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 이동 가능하도록 하는 집게 부재 이송 부재;를 포함하고, 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 전진되어, 상기 집게 부재가 상기 본체 외부로 돌출된 상태에서, 상기 집게 부재에 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 이송을 위해 올려지고, 상기 집게 부재에 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려지면, 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 후진되어, 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 상태인 상기 집게 부재가 상기 본체 상에 얹혀지게 되며, 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 상태인 상기 집게 부재가 상기 본체 상에 얹혀진 상태에서, 상기 이동 부재에 의해 상기 본체가 요구되는 위치까지 이동되고, 상기 본체의 이동이 완료되면, 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 전진되어, 상기 집게 부재가 상기 본체 외부로 돌출된 상태에서, 상기 집게 부재에 올려진 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 내려지는 것을 특징으로 한다.
개시되는 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 의하면, 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치가 반도체 제조 장비용 튜브가 안정적으로 집게 부재에 올려진 상태에서 요구되는 위치까지 이동될 수 있고, 집게 부재가 전진 또는 후진되어 집게 부재 상에 반도체 제조 장비용 튜브가 주변의 간섭없이 안전하고 편리하게 올려질 수 있게 되므로, 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 안전하게 이동될 수 있는 장점이 있다.

Description

반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치{Tube carrying apparatus for semiconductor manufacturing device}
본 발명은 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장비용 튜브는 석영 등의 재질로 이루어지고, 내부가 비어 있으며, 상단이 닫히고 하단이 열린 형태의 튜브로서, 반도체 제조 장비의 여러 요소에 적용될 수 있는 튜브이다.
이러한 반도체 제조 장비용 튜브는 작업자가 수작업으로 들기에는 무거운 하중을 가지고 있고, 재질이 깨지기 쉬운 석영으로 이루어져 있다. 따라서, 이러한 반도체 제조 장비용 튜브를 이동시키는 작업 중에 반도체 제조 장비용 튜브가 파손될 경우, 파손된 조각에 의해 작업자가 상해를 입을 수 있고, 작업장을 오염시킬 수도 있다.
따라서, 반도체 제조 장비용 튜브를 옮기기 위한 장치가 요구되고 있는데, 현재 반도체 제조 장비용 튜브를 단순히 올릴 수 있는 본체와, 본체 하단에 바퀴가 연결된 단순한 카트만이 적용되고 있는 실정이어서, 반도체 제조 장비용 튜브를 안전하게 이동시킬 수 있는 장비가 요구되고 있다.
본 발명은 반도체 제조 장비용 튜브를 안전하게 이동시킬 수 있는 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치는 본체; 상기 본체를 이동시키기 위한 이동 부재; 반도체 제조 장비용 튜브가 이송을 위해 결합될 수 있는 집게 부재; 및 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 이동 가능하도록 하는 집게 부재 이송 부재;를 포함하고,
상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 전진되어, 상기 집게 부재가 상기 본체 외부로 돌출된 상태에서, 상기 집게 부재에 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 이송을 위해 올려지고, 상기 집게 부재에 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려지면, 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 후진되어, 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 상태인 상기 집게 부재가 상기 본체 상에 얹혀지게 되며, 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 상태인 상기 집게 부재가 상기 본체 상에 얹혀진 상태에서, 상기 이동 부재에 의해 상기 본체가 요구되는 위치까지 이동되고, 상기 본체의 이동이 완료되면, 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 전진되어, 상기 집게 부재가 상기 본체 외부로 돌출된 상태에서, 상기 집게 부재에 올려진 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 내려지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 의하면, 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치가 반도체 제조 장비용 튜브가 안정적으로 집게 부재에 올려진 상태에서 요구되는 위치까지 이동될 수 있고, 집게 부재가 전진 또는 후진되어 집게 부재 상에 반도체 제조 장비용 튜브가 주변의 간섭없이 안전하고 편리하게 올려질 수 있게 되므로, 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 안전하게 이동될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치의 집게 부재에 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 모습을 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치를 보이는 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치르 구성하는 집게 부재를 보이는 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 반도체 제조 장비용 튜브가 올려지기 전의 모습을 보이는 측면도.
도 6은 도 5에 도시된 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 모습을 보이는 측면도.
도 7은 도 6에 도시된 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에서 집게 부재가 전진된 모습을 보이는 측면도.
도 8은 도 7에 도시된 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에서 반도체 제조 장비용 튜브가 내려진 모습을 보이는 측면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치의 집게 부재에 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 모습을 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치를 보이는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치르 구성하는 집게 부재를 보이는 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 A부분에 대한 확대도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 반도체 제조 장비용 튜브가 올려지기 전의 모습을 보이는 측면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 모습을 보이는 측면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에서 집게 부재가 전진된 모습을 보이는 측면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에서 반도체 제조 장비용 튜브가 내려진 모습을 보이는 측면도이다.
도 1 내지 도 8을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치(100)는 반도체 제조 장비용 튜브(10)를 이송시키기 위한 것으로, 본체(110)와, 이동 부재와, 집게 부재 이송 부재와, 집게 부재(140)를 포함한다.
상기 본체(110)는 상기 집게 부재 이송 부재가 상단에 장착될 수 있고, 상기 이동 부재가 하단에 장착될 수 있는 것으로, 그 후단에는 대략 수직으로 연결대(115)가 설치되고, 상기 연결대(115) 상에는 제어 부재(120)가 설치된다.
상기 제어 부재(120)는 상기 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치(100)를 제어하기 위한 각종 입력부, 제어 회로 등이 설치되는 것이다.
상기 이동 부재는 상기 본체(110)를 작업장 바닥면을 따라 이동시키기 위한 것으로, 본 실시예에서는 예시적으로 상기 이동 부재가 이동 바퀴(111)와, 상기 이동 바퀴(111)를 회전시키기 위한 이동용 구동 부재(112)로 구성된다.
상기 이동용 구동 부재(112)로는 유압 모터, 전기 모터 등 다양한 구동 부재가 적용될 수 있다.
상기 집게 부재 이송 부재는 이송 패널(113)과, 이송 가이드봉(130)과, 이송용 구동 부재(135)로 구성되고, 상기 집게 부재(140)를 상기 본체(110) 상에서 이동시킬 수 있는 것이다.
상기 이송 패널(113)은 상기 본체(110) 상단에 결합되는 것이고, 상기 이송 가이드봉(130)은 상기 이송 패널(113) 상에 복수 개가 전후 방향으로 결합되는 것이다.
상기 이송용 구동 부재(135)는 유압 모터, 전기 모터, 유압 실린더 등으로서, 상기 집게 부재(140)에 결합되어, 상기 집게 부재(140)가 상기 이송 가이드봉(130)을 따라 전진 또는 후진될 수 있도록 동력을 제공하는 것이다. 예를 들어, 상기 이송용 구동 부재(135)가 전기 모터인 경우, 상기 이송 가이드봉(130)에 나사산이 형성되고, 그러한 나사산에 맞물리는 기어가 상기 전기 모터의 회전축에 연결됨으로써, 상기 전기 모터의 회전축이 회전되어, 상기 집게 부재(140)가 상기 이송 가이드봉(130)을 따라 이동될 수 있도록 할 수 있다.
상기 집게 부재(140)는 상기 이송용 구동 부재(135)에 연결되어, 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 이송을 위해 결합될 수 있는 것이다.
상기 집게 부재(140)의 갈고리 형태의 몸체(141) 중앙부에는 일 측이 개구된 집게 부재 홀(142)이 형성되고, 상기 집게 부재 홀(142) 주변 부분에 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)의 하단이 놓일 수 있도록 단차가 형성된다. 그러면, 상기 집게 부재(140)에 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 안정적으로 올려질 수 있다.
상기 집게 부재(140)에는 상기 집게 부재(140)에 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 요구되는 위치 및 자세로 올려지는지 여부를 감지하는 튜브 감지 부재(145)가 설치된다.
상기 튜브 감지 부재(145)는 일정한 깊이로 함몰된 튜브 감지 홀(146)과, 상기 튜브 감지 홀(146) 상에 형성되는 튜브 감지 센서(147)로 구성된다. 상기 튜브 감지 센서(147)로는, 레이저를 발사하여 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)의 위치 및 자세를 감지할 수 있는 센서 등이 적용될 수 있다.
상기 집게 부재(140)와 상기 제어 부재(120)를 연결하는 전선 등은 전선 보호 덮개(160)에 의해 덮일 수 있다.
도면 번호 150은 상기 이송 가이드봉(130)이 관통되는 집게 부재 연결 부재로서, 상기 집게 부재 연결 부재(150)에 의해 상기 집게 부재(140)가 상기 이송 가이드봉(130)을 따라 이동될 수 있다.
상기와 같이 구성된 상기 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 상에 올려진 상태에서, 상기 이송용 구동 부재(135)가 작동되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 상에서 전진되어, 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 외부로 돌출된다.
상기와 같이, 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 외부로 돌출된 상태에서, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 집게 부재(140)에 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 이송을 위해 올려진다.
상기와 같이, 상기 집게 부재(140)에 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 올려지면, 상기 이송용 구동 부재(135)가 재작동되어, 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 상에서 후진되어, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 올려진 상태인 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 상에 얹혀지게 된다.
상기와 같이, 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 올려진 상태인 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 상에 얹혀진 상태에서, 상기 이동 부재에 의해 상기 본체(110)가 요구되는 위치까지 이동되고, 상기 본체(110)의 이동이 완료되면, 상기 이송용 구동 부재(135)가 작동되어, 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 상에서 다시 전진되어, 상기 집게 부재(140)가 상기 본체(110) 외부로 다시 돌출된 상태에서, 상기 집게 부재(140)에 올려진 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 내려지게 된다.
상기와 같이, 상기 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치(100)가 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 안정적으로 상기 집게 부재(140)에 올려진 상태에서 요구되는 위치까지 이동될 수 있고, 상기 집게 부재(140)가 전진 또는 후진되어 상기 집게 부재(140) 상에 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 주변의 간섭없이 안전하고 편리하게 올려질 수 있게 되므로, 상기 반도체 제조 장비용 튜브(10)가 안전하게 이동될 수 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치에 의하면, 반도체 제조 장비용 튜브를 안전하게 이동시킬 수 있으므로, 그 산업상 이용 가능성이 높다고 하겠다.
10 : 반도체 제조 장비용 튜브 110 : 본체
115 : 연결대 120 : 제어 부재
130 : 이송 가이드봉 140 : 집게 부재

Claims (3)

  1. 본체;
    상기 본체를 이동시키기 위한 이동 부재;
    반도체 제조 장비용 튜브가 이송을 위해 결합될 수 있는 집게 부재; 및
    상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 이동 가능하도록 하는 집게 부재 이송 부재;를 포함하고,
    상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 전진되어, 상기 집게 부재가 상기 본체 외부로 돌출된 상태에서, 상기 집게 부재에 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 이송을 위해 올려지고,
    상기 집게 부재에 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려지면, 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 후진되어, 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 상태인 상기 집게 부재가 상기 본체 상에 얹혀지게 되며,
    상기 반도체 제조 장비용 튜브가 올려진 상태인 상기 집게 부재가 상기 본체 상에 얹혀진 상태에서, 상기 이동 부재에 의해 상기 본체가 요구되는 위치까지 이동되고,
    상기 본체의 이동이 완료되면, 상기 집게 부재가 상기 본체 상에서 전진되어, 상기 집게 부재가 상기 본체 외부로 돌출된 상태에서, 상기 집게 부재에 올려진 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 내려지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 집게 부재에는
    상기 집게 부재에 상기 반도체 제조 장비용 튜브가 요구되는 위치 및 자세로 올려지는지 여부를 감지하는 튜브 감지 부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 튜브 이송 장치.
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