KR102338455B1 - 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스 - Google Patents

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Abstract

본체와 덮개가 있는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스로서, 본체의 중앙 부분에는 레티클 거치 구역이 있으며, 덮개는 본체를 덮어 닫는다. 덮개의 가장자리 구역과 본체의 가장자리 구역은 볼록한 부위와 오목한 부위로 서로 결합되며, 오목한 부위와 볼록한 부위는 합쳐서 레티클 거치 구역을 에워 싸는 스포일러 구조를 형성한다. 스포일러 구조에는 오목한 부위와 볼록한 부위 사이의 스포일러 통로가 있으며, 본체의 스포일러 통로를 형성하는 면에는 최소한 한 개의 옴폭한 측벽이 있어 분진 수거 공간이 형성된다. 본 발명의 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스를 사용할 때, 기류에 의해 외부에서 미세입자가 스포일러 통로로 들어오는 경우, 분진 수거 공간에 고이게 됨으로 분진이 레티클 거치 구역으로 들어오는 것을 효과적으로 저지할 수 있다.

Description

스포일러 구조를 지닌 레티클 박스 {RETICLE POD WITH SPOILER STRUCTURE}
본 발명은 레티클 박스에 관한 것으로서, 특히 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스에 관한 것이다.
첨단 포토리소그래피 공정, 특히 극자외선(EUV) 포토리소그래피 공정은 공정 환경에 대해 매우 높은 청결도를 요구한다. 미세입자(particle)가 레티클을 오염시킬 경우, 포토리소그래피 공정에 결함을 일으키게 된다. 그래서 청결 및 레티클 보호 요구를 충족시키기 위해 일반적으로 레티클 박스를 사용하여 외부의 미세입자를 막는다. 하지만 기존의 레티클 박스는 미세입자에 의한 오염을 통제하는 데 있어서 오직 레티클 박스 위 아래 덮개가 닫혀서 기밀 상태가 되는 것에 의지하기 때문에 만약 기밀 상태를 유지하지 못할 경우, 미세입자가 레티클 박스에 매우 쉽게 들어가서 결국 레티클을 오염시키게 된다.
따라서, 기존의 레티클 박스의 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스를 제의한다.
상기 목적 및 기타 목적을 달성하기 위해 본 발명은 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스를 제의한다. 해당 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스에는 중앙 부분에 레티클 거치 구역이 있는 본체와 본체를 덮어 닫는 덮개가 있다. 덮개의 가장자리 구역과 본체의 가장자리 구역은 볼록한 부위와 오목한 부위로 서로 결합되며, 오목한 부위와 볼록한 부위는 합쳐서 레티클 거치 구역을 에워 싸는 스포일러 구조를 형성한다. 스포일러 구조에는 오목한 부위와 볼록한 부위 사이의 스포일러 통로가 있으며, 본체의 스포일러 통로를 형성하는 면에는 최소한 한 개의 옴폭한 측벽이 있어 분진 수거 공간이 형성된다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 오목한 부위는 본체에 설치되며 볼록한 부위는 덮개에 설치된다. 그리고 오목한 부위의 한 쪽에는 옴폭한 측벽이 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 오목한 부위의 양쪽 모두에 옴폭한 측벽이 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 오목한 부위는 덮개에 설치되고 볼록한 부위가 본체에 설치된다. 그리고 볼록한 부위의 한 쪽에는 옴폭한 측벽이 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 볼록한 부위의 양쪽 모두에 옴폭한 측벽이 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 볼록한 부위의 횡단면은 직사각형이다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 볼록한 부위의 횡단면은 둥근 모양이다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 옴폭한 측벽에는 예각 모서리가 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 옴폭한 측벽에는 둥근 모서리가 있다.
이로 인해 본 발명의 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스에는 스포일러 통로가 조성되어 있어 기체 흐름 경로를 효과적으로 연장시켜 기체에 의해 운반되는 미세입자가 레티클 거치 구역에 도달하는 가능성을 대대적으로 감소시킨다. 또한 본체의 스포일러 통로를 형성하는 면에는 최소한 한 개의 옴폭한 측벽이 있어, 기체에 의해 운반되는 미세입자가 이 옴폭한 측벽에 들어가면 옴폭한 측벽을 거슬러서 위로 올라가는 것이 힘들기 때문에 미세입자는 스포일러 통로에 고이게 된다. 이는 더더욱 미세입자가 레티클 거치 구역으로 들어가는 것을 저지한다.
도 1은 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스의 입체 모양을 나타내는 도이다.
도 2는 도 1의 A-A 부분의 단면을 나타내는 도이다.
도 3은 본 발명의 두 번째 실시예에 따른 스포일러 구조의 단면을 나타내는 도이다.
도 4는 본 발명의 세 번째 실시예에 따른 스포일러 구조의 단면을 나타내는 도이다.
도 5는 본 발명의 네 번째 실시예에 따른 스포일러 구조의 단면을 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명의 다섯 번째 실시예에 따른 스포일러 구조의 단면을 나타내는 도이다.
본 발명의 기술적 특징과 실용적인 효능에 대해 충분히 이해할 수 있도록 돕기 위해 아래의 구체적인 실시예를 도면과 함께 제시하여 설명한다. 본 영역의 기술자들은 이 명세서에 설명된 공개 내용에서 본 발명의 목적, 특징, 그리고 효능을 이해할 수 있을 것이다. 다만 주의해야 할 점은, 본 발명은 기타 구체적인 실시예를 통해서 시행하거나 응용할 수 있다는 것이며, 본 명세서의 각 항목별 세부 내용은 별개의 관점과 응용에 기초하여 본 발명의 정신을 위배하지 않는 상황에서 수식하거나 변경할 수 있다. 다음은 실시예를 통해서 보다 상세히 본 발명의 관련 기술 내용을 설명하고자 한다. 하지만 공개된 내용을 본 발명의 특허신청범위를 제한하는 것으로 간주하거나 사용하면 안 될 것이다. 설명은 다음과 같다.
도 1 및 도 2에 표시된 바와 같이, 본 발명의 첫 번째 실시예는 본체(1)와 덮개(2)가 포함되는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스(100)이다.
본체(1)의 중앙에는 레티클(R)을 놓는 레티클 거치 구역(11)이 있으며, 레티클 거치 구역(11)을 감싸는 부분은 본체(1)의 가장자리 구역(12)이다.
덮개(2)는 본체(1)를 덮으며, 본체(1)의 가장자리 구역(12)에 대응하는 덮개(2)의 가장자리 구역(22)과 및 본체(1)의 가장자리 구역(12)은 볼록한 부위(32)와 오목한 부위(31)로 서로 결합된다. 오목한 부위(31)와 볼록한 부위(32)는 서로 합쳐서 레티클 거치 구역(11)을 에워 싸는 스포일러 구조(3)를 형성한다. 본 발명에서, 오목한 부위(31)와 볼록한 부위(32) 중 어느 하나가 반드시 본체(1)나 덮개(2)에 설치되어야 한다는 제한은 없다. 즉, 도 1 및 도 2에 표시된 바와 같이 오목한 부위(31)가 본체(1)에 설치되고 볼록한 부위(32)가 덮개(2)에 설치될 수 있으며, 이와 반대로 도 4 및 도 5에 표시된 바와 같이 오목한 부위(31)는 덮개(2)에 설치되고 볼록한 부위(32)가 본체(1)에 설치될 수도 있다. 본 실시예에서는 오목한 부위(31)가 본체(1)에 설치되고 볼록한 부위(32)가 덮개(2)에 설치되는 방식을 채택한다.
스포일러 구조(3)에는 오목한 부위(31)와 볼록한 부위(32) 사이에 있는 스포일러 통로(33)가 있다. 도 1의 A-A 점선을 따른 단면에서, 스포일러 통로(33)는 선형이 아니다. 기체 흐름이 외부 공간에서 본 발명의 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스(100)로 들어올 때, 우선 덮개(2)의 가장자리 구역(22)과 본체(1)의 가장자리 구역(12) 사이에 형성된 곧은 통로를 통과한 다음 선형이 아닌 스포일러 통로(33)를 통과하게 된다. 기체는 스포일러 통로(33)에서 아래로 내려갔다가 다시 위로 올라와야만 중앙 부위에 있는 레티클 거치 구역(11)에 도달할 수 있다. 따라서 스포일러 통로(33)는 기체 흐름 경로를 효과적으로 연장 시켜, 기체에 의해 운반되는 미세입자가 레티클 거치 구역(11)에 도달하는 가능성을 대대적으로 감소시킨다. 또한 도 2에 표시된 바와 같이, 본 실시예에서, 본체(1)의 스포일러 통로(33)를 형성하는 면에는 최소한 한 개의 옴폭한 측벽(121)이 있어 분진 수거 공간(S)이 형성된다. 기체에 의해 운반되는 미세입자가 옴폭한 측벽(121)에 들어가면 옴폭한 측벽(121)을 거슬러서 위로 올라가는 것이 힘들기 때문에 미세입자는 분진 수거 공간(S)에 고이게 된다. 이를 통해 스포일러 구조(3)는 기류의 상승을 교란하여 미세입자가 레티클 거치 구역(11)으로 들어가는 더더욱 저지한다.
도 3에 표시된 바와 같이, 본 발명의 두 번째 실시예에서, 첫 번째 실시예와의 차이는 본 실시예의 오목한 부위(31)가 본체(1)에 설치되며 볼록한 부위(32)는 덮개(2)에 설치된다는 것이다. 오목한 부위(31)의 한 쪽에만 옴폭한 측벽(121)이 있다. 옴폭한 측벽(121)의 옴폭하게 되는 방향은 기류 방향(화살표로 표시된 방향)을 따른다.
또한 도 2에 표시된 바와 같이, 오목한 부위(31)의 양쪽 모두에 옴폭한 측벽(121)이 있어 분진 수거 및 스포일러 작용을 확대시킬 수 있다.
또한 도 4에 표시된 바와 같이, 본 발명의 세 번째 실시예에서, 첫 번째 실시예와의 차이는 본 실시예의 오목한 부위(31a)는 덮개(2)에 설치되고 볼록한 부위(32a)는 본체(1)에 설치된다는 것이다. 본체(1)에 소재한 볼록한 부위(32a)의 한 쪽에는 옴폭한 측벽(121a)이 있다. 옴폭한 측벽(121a)의 옴폭하게 되는 방향은 기류 방향(화살표로 표시된 방향)을 따른다.
또한 도 5에 표시된 바와 같이, 본 발명의 네 번째 실시예에서, 세 번째 실시예와의 차이는 볼록한 부위(32a)의 양쪽 모두에 옴폭한 측벽(121a)이 있어 분진 수거 및 스포일러 작용을 확대시킬 수 있다.
도 3에 표시된 바와 같이, 본 발명의 두 번째 실시예에서, 볼록한 부위(32)의 횡단면은 작사각형이다. 하지만 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 도 6에 표시된 바와 같이, 본 발명의 다섯 번째 실시에서, 볼록한 부위(32b)의 횡단면은 둥근 모양이다. 다시 말해서, 볼록한 부위의 횡단면은 임의의 모양을 지닐 수 있다.
도 3 및 도 4에 표시된 바와 같이, 옴폭한 측벽(121, 121a)에는 예각 모서리가 있을 수 있다. 하지만 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 도 2, 도 5, 그리고 도 6에 표시된 바와 같이, 옴폭한 측벽(121, 121a)에는 둥근 모서리가 있다. 다시 말래서, 옴폭한 측벽(121, 121a)의 모양과 수량, 그리고 볼록한 부위(32, 32b)의 모양은 임의로 맞출 수 있다.
본 발명에서 상기 실시예들은 일부 예시일 뿐이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 실시예를 참고하여 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형, 변경이 가능하며, 이러한 것들은 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다. 그러므로 본 발명의 보호범위는 특허청구범위에 기재된 것을 준거로 해야 할 것이다.
100 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스
본체
11 레티클 거치 구역
12 가장자리 구역
121 옴폭한 측벽
121a 옴폭한 측벽
덮개
22 가장자리 구역
스포일러 구조
31 오목한 부위
31a 오목한 부위
32 볼록한 부위
32a 볼록한 부위
32b 볼록한 부위
33 스포일러 통로
R 레티클
S 분진 수거 공간

Claims (9)

  1. 중앙 부위에 레티클 거치 구역이 있는 본체, 그리고
    본체를 덮어 닫는 덮개로 구성되며, 덮개의 가장자리 구역과 본체의 가장자리 구역은 볼록한 부위와 오목한 부위로 서로 결합하며, 오목한 부위와 볼록한 부위가 합쳐서 레티클 거치 구역을 에워 싸는 스포일러 구조를 형성하며, 스포일러 구조에는 오목한 부위와 볼록한 부위 사이의 스포일러 통로가 있으며, 스포일러 통로의 입구측 레벨은 스포일러 통로의 출구측 레벨보다 낮고, 스포일러 구조에서는 스포일러 통로의 입구측을 향하는 본체 측벽의 바닥이 기류가 들어가는 방향을 따라 오목하고, 측벽의 리세스는 분진 수거 공간을 형성하는 것인, 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 오목한 부위는 본체에 설치되고 볼록한 부위는 덮개에 설치되며, 오목한 부위의 한 쪽에는 옴폭한 측벽이 있는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 오목한 부위의 양쪽 모두에 옴폭한 측벽이 있는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 오목한 부위는 덮개에 설치되고 볼록한 부위는 본체에 설치되며, 볼록한 부위의 한 쪽에는 옴폭한 측벽이 있는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 볼록한 부위의 양쪽 모두에 옴폭한 측벽이 있는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 볼록한 부위의 횡단면이 직사각형인 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 볼록한 부위의 횡단면이 둥근 모양인 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 본체 측벽에 예각 모서리가 있는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 본체 측벽에 둥근 모서리가 있는 스포일러 구조를 지닌 레티클 박스.
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