KR102303687B1 - 목시 검사 장치 - Google Patents

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타다시 요코우치
타카시 가와이
히로유키 아베
다이고 스즈키
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 목시 검사 장치에 관한 것이다. 이 목시 검사 장치는, 자동 검사 장치의 하류 측에 설치되어 검사 대상물을 목시 검사하고, 발취 반송 유니트와 목시 검사 유니트를 구비하며, 발취 반송 유니트는, 정상 검사 대상물 반송부와 피검사 대상물 반송부를 가진다. 정상 검사 대상물 반송부는 정상 검사 대상물을 반송하고, 피검사 대상물 반송부는 피검사 대상물을 반송한다. 센서에서 피검사 대상물이 반송되어 오는 것을 검출했을 때, 발취 반송 유니트는 제어장치의 제어에 의해서, 피검사 대상물이 상기 피검사 대상물 반송부에 반송되도록 상하 이동함과 동시에, 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송된 후, 발취 반송 유니트는 제어장치의 제어에 의해서, 정상 검사 대상물을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 이동하고, 피검사 대상물을 목시 검사 유니트에 반송하여, 목시 검사 유니트에 있어서, 조작자가 목시로 반송되어 오는 피검사 대상물을 목시 검사한다. 상기 목시 검사 장치에 의해, 자동 검사 후에, 간단한 구조로 피검사 대상물을 발취하여 목시 검사 유니트에 반송할 수 있다. 코스트를 저감하고 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

목시 검사 장치{Visual Inspection Apparatus}
본 발명은, 목시 검사 장치, 특히 광학 표시장치의 제조 시스템에 이용되는 목시 검사 장치에 관한 것이다.
현재, 광학 표시장치의 보급에 따라서, 광학 표시장치에 대한 수요가 급속히 높아지고 있다. 그 때문에, 광학 표시장치를 고품질 및 고효율로 제조할 수 있는 광학 표시장치(표시 패널)의 제조 시스템이 필요로 되고 있다.
액정표시장치와 같은 광학 표시장치의 제조 라인에 있어서, 롤 형상으로 권취되는 광학 필름을 조출하면서, 개개의 시트로 절단하여, 절단된 광학 필름의 시트를 유리 기판에 첩부하는 방식(Roll to Panel(RTP) 방식)은 주지이며, 이런 종류의 제조 장치는 RTP 첩부 장치로 불리고 있다.
RTP 방식의 광학 표시장치 제조 시스템에 있어서, 광학 필름 첩부 장치의 하류 측에는, 일반적으로 자동 검사 장치가 설치되어, 제품의 품질을 검사한다.
광학 필름 첩부 장치에 있어서는, 광학 필름이 첩부된 유리 기판의 자동 검사 장치, 예를 들면, 광학 표시장치 제조 라인의 자동 검사 장치에 있어서, 광학 필름이 첩부된 광학 표시장치에 대해서, 자동적으로 결점 검사를 행한다. 이 결점 검사를 거쳐, 정상으로 판정된 광학 표시장치는, 하류 장치 측에 반송된다.
현재에는, 생산성을 향상시키기 위해서, 상기 광학 표시장치의 정상 및 불량의 판정은, 매우 중요하다. 그러나, 자동 검사 장치의 정밀도에 의해, 정밀도가 낮은 경우에는 불량 광학 표시장치를 간과하게 되며, 정밀도가 너무 높으면, 정상적인 광학 표시장치를 불량 광학 표시장치로 잘못 판단할 우려가 있다.
그 때문에, 상기 첩부 후의 광학 표시장치에 대해서 자동 결점 검사를 행하는 자동 검사 장치의 뒤에, 목시 검사 장치를 더 설치하는 것을 생각할 수 있다. 즉, 목시 검사 장치로서, 조작자가 목시 검사에 의해, 자동 검사 장치의 판정 결과 정밀도를 재확인하는 기술이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).
또, 종래 기술에 있어서, 특허 문헌 2에는, 검사해야 할 물체를, 검사를 위해서 제조 라인의 보내는 방향과는 다른 방향으로 반송하는 구조가 개시되고 있다. 구체적으로 말하면, 특허 문헌 2에는, 검사해야 할 물체(2)를, 제조 라인의 반송 방향에 따른 컨베이어로부터, 이 제조 라인의 반송 방향에 대해 거의 수직인 방향인 폭 방향으로 반송하기 위해서, 볼 나사(22)를 사용하는 기구가 기재되어 있다. 그러나, 이러한 기구는, 광학 표시장치를 손상할 우려가 있으므로, 광학 표시장치의 반송 장치에 채용하는 것은 바람직하지 않다.
종래의 목시 검사 장치에 있어서는, 목시 검사를 행하기 위해서, 검사해야 할 광학 표시장치(검사 대상물)를 제조 라인으로부터 발취할 필요가 있어, 그러기 위해서는, 많은 시간과 노력이 소요되어, 개량의 여지가 매우 크다.
특개 2009－031141호 공보 특개평 6－064742호 공보
본 발명은, 자동 검사의 후에, 피검사 대상물을 발취하여 목시 검사 유니트에 반송할 수 있는, 간단한 구조로, 코스트를 저감하고 생산 효율을 향상시킬 수 있는 목시 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 태양에 의한 목시 검사 장치(1)는, 자동 검사 장치의 하류 측에 설치되어 피검사 대상물(2)을 목시 검사하는 것이다. 이 목시 검사 장치는, 발취 반송 유니트(10)와 목시 검사 유니트(20)를 구비한다. 상기 발취 반송 유니트(10)는, 자동 검사 장치에 있어서 정상으로 판정된 정상 검사 대상물을 반송하는 정상 검사 대상물 반송부(10a)와, 피검사 대상물 반송부(10b)가 상하 2단으로 배치된 구성이다. 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 정상 검사 대상물(2a)을 반송하는 것이며, 피검사 대상물 반송부(10b)는, 목시 검사해야 할 피검사 대상물(2b)을 반송하는 것이다. 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 발취 반송 유니트(10)가 제어장치의 제어에 의해서 작동하여, 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되도록, 상하로 이동함과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 발취 반송 유니트(10)가 제어장치의 제어에 의해서, 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 이동하고, 피검사 대상물 반송부(10b)상에 옮겨진 피검사 대상물(2b)을 목시 검사 유니트(20)에 반송하며, 상기 목시 검사 유니트(20)에 있어서, 조작자가 목시로 반송되어 오는 피검사 대상물(2b)을 목시 검사한다.
상기 목시 검사 장치에 의하면, 자동 검사 후에, 간단한 구조로 피검사 대상물을 발취하여 목시 검사 유니트에 반송할 수 있다. 이것에 의해, 코스트를 저감하고 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 다른 태양에 의한 목시 검사 장치에 있어서는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 피검사 대상물 반송부(10b)의 상방에 위치하고 있으며, 정상 검사 대상물(2a)이 반송되고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 주반송부와 공면(共面)을 이루는 위치에 위치하고, 피검사 대상물 반송부(10b)는, 상기 주반송부의 하방에 위치하고 있으며, 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 상향으로 이동하게 되어, 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 되며, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서 하향으로 이동하고, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)이 반송 가능한 위치로 되돌려져, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 목시 검사 유니트(20)에 반송되게 된다.
본 발명의 또 다른 태양에 의한 목시 검사 장치에 있어서는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 피검사 대상물 반송부(10b)의 하방에 위치하고 있으며, 정상 검사 대상물(2a)이 반송되고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에 위치하고, 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 상방에 위치하여, 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것을 센서에 의해 검출했을 때, 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 하향으로 이동하고, 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 되어, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)가 제어장치의 제어에 의해서 상향으로 이동하고, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)이 반송 가능한 위치로 되돌려져, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 목시 검사 유니트(20)에 반송된다.
본 발명의 또 다른 태양에 의한 목시 검사 장치는, 흡착 장치(301)를 더 구비하여, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 목시 검사 유니트(20)에 반송될 때는, 상기 흡착 장치(301)에 의해서 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송된다.
본 발명의 상기 구성에 의하면, 흡착 장치(301)에 의해 피검사 대상물(2b)을 반송하므로, 상기 피검사 대상물(2b)을 손상하는 일 없이 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있다.
본 발명의 또 다른 태양에 의하면, 목시 검사 유니트(20)는, 피검사 대상물(2b)이 반송될 때는 수평 상태이며, 검사 시에는 수평 상태로부터 경사 상태로 이동할 수 있는 목시 검사대를 가진다.
본 발명의 상기 구성에 의해, 피검사 대상물을 사람이 손대지 않고 목시 검사할 수 있어, 광학 표시장치가 오손되어, 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은, 종래 기술에 의한 광학 표시장치의 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치만이 설치되는 구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는, 본 발명에 의한 광학 표시장치의 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치에 더해 목시 검사 장치가 더 설치되는 구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은, 본 발명의 목시 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도이며, (a)는 표면도, (b)는 측면도이다.
도 4는, 본 발명의 일실시 형태에 의한 목시 검사 장치에 있어서의 광학 표시장치의 반송 상황을 개략적으로 나타내는 측면도이며, (a)는 정상 검사 대상물이 반송되고 있는 상태를, (b)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송되는 상태를, (c)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송된 후에 발취 반송 유니트가 원래의 위치로 되돌려지는 상태를, 각각 나타낸다.
도 5는, 주반송 방향 반송 장치를 이용하여 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 6은, 수직 방향 반송 장치를 이용하여 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 7은, 본 발명의 목시 검사 장치에 있어서의 목시 검사 유니트를 나타내는 측면도이며, (a)는 검사 대상물을 수취하는 수취 위치를, (b)는 목시 검사 위치를, 각각 개략적으로 나타내는 도이다.
도 8은, 본 발명의 하나의 실시 형태의 목시 검사 장치의 동작을 나타내는 작동 플로우도이다.
도 9는, 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 목시 검사 장치를 나타내는 것이며, (a)는 정상 검사 대상물이 반송되고 있는 상태를, (b)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송되는 상태를, (c)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송된 후에 발취 반송 유니트가 원래의 위치로 되돌려지는 상태를, 각각 나타낸다.
도 10은, 도 9에 나타내는 본 발명의 실시 형태에 의한 목시 검사 장치의 동작을 나타내는 작동 플로우도이다.
이하, 본 발명의 목시 검사 장치를, 도에 나타내는 실시 형태에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은, 종래 기술에 의한 광학 표시장치의 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치만이 설치되는 구성을 개략적으로 나타내는 것이다.
일반적으로, 도 1에 나타나는 바와 같이, 광학 표시장치의 제조 시스템은, 상류 측에 광학 필름 첩부 장치(3)를 구비하며, 이 광학 필름 첩부 장치(3)의 하류 측에 자동 검사 장치(4)가 설치되고 있다.
광학 필름 첩부 장치(3)에 의해, 광학 필름이 첩부된 유리 기판, 즉 광학 표시장치(표시 패널)를 제조한다. 자동 검사 장치(4)에 의해, 광학 필름의 첩부 후의 광학 표시장치에 대해서 자동적으로 결점 검사를 행한다.
이 종래 기술의 시스템에서는, 자동 검사 장치의 검사 결과만으로 제품의 양부를 판정하는 것이기 때문에, 자동 검사 장치의 정밀도에 의해, 정밀도가 낮은 경우에는 불량 광학 표시장치를 간과하여, 불량 광학 표시장치가 정상적인 합격 제품으로서 제조 라인의 하류 측에 반송되며, 한편, 정밀도가 너무 높으면, 정상이라고 판정되어야 할 광학 표시장치이어도, 이것을 불량이라고 잘못 판정하여, 낭비를 일으킬 우려가 있다.
그 때문에, 첩부 후의 광학 표시장치에 대해서 자동 결점 검사를 행하는 자동 검사 장치(4)의 뒤에, 상기 자동 검사 장치(4)의 하류 측에, 목시 검사 장치(1)를 더 설치하여, 목시 검사에 의해 자동 검사 장치의 판정 결과 정밀도를 재차 확인하는 것이 바람직하다.
도 2는, 본 발명에 의한 광학 표시장치 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치에 더해, 목시 검사 장치가 더 설치된 구성을 개략적으로 나타내는 도이다.
구체적으로 말하면, 자동 검사 장치에 의해 불량 광학 표시장치로 판정되어 있지 않은 광학 표시장치에 대해서, 랜덤으로 목시 검사 장치에 의해 목시 검사하는 발취 검사를 행하는 것이 바람직하다. 또, 자동 검사 장치에 의해 이미 불량 광학 표시장치로 판정된 광학 표시장치에 대해서는, 전부에 대해 목시 검사 장치에 의해 목시 검사하는 것이 바람직하다.
이하의 설명에 있어서는, 자동 검사 장치에 의해 불량 광학 표시장치로 판정돼 있지 않고, 랜덤으로 검사되는 광학 표시장치, 및 자동 검사 장치에 의해 이미 불량 광학 표시장치로 판정된 광학 표시장치를, 목시 검사해야 할 광학 표시장치로서, 불량 광학 표시장치 또는 피검사 대상물로 총칭하여, 부호 2b로 표시한다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 의한 목시 검사 장치의 구체적인 구조를, 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
＜제1 실시 형태＞
도 3a, 3b는 본 발명의 목시 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 표면도와 측면도이다.
본 발명의 목시 검사 장치(1)는, 자동 검사공정에 있어서의 자동 검사 장치(4)의 하류 측에 설치되고, 광학 표시장치(검사 대상물)(2)를 목시 검사하는, 발취 반송 유니트(10)와, 목시 검사 유니트(20)를 구비한다.
＜발취 반송 유니트(10)＞
발취 반송 유니트(10)는, 도 3(b)에 나타나는 바와 같이, 정상 광학 표시장치 반송부(정상 검사 대상물 반송부)(10a)와, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)의 하측에 배치된 불량 광학 표시장치 반송부(피검사 대상물 반송부)(10b)로 이루어지는, 상하 2단 배치를 가진다.
정상 광학 표시장치 반송부(정상 검사 대상물 반송부)(10a)는, 정상 광학 표시장치(정상 검사 대상물)(2a)를 반송하는 것이고, 불량 광학 표시장치 반송부(피검사 대상물 반송부)(10b)는, 불량 광학 표시장치(피검사 대상물)(2b)를 반송하는 것이다.
제조 라인 전체에, 광학 표시장치(2)(정상 광학 표시장치(2a)와 불량 광학 표시장치(2b)를 포함한다)의 반송 상황을 즉시 감시하는 센서가 설치된다.
피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것을 센서(도시 없음)에 의해 검출했을 때, 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되도록, 상방으로 이동함과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 이동하여, 흡착 장치(301)에 의해 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 목시 검사 유니트(20)에 반송한다. 그리고, 다음에 상세히 설명하는 목시 검사 유니트(20)에 의해, 목시로 반송되어 오는 피검사 대상물(2b)을 목시 검사한다.
도 4(a)~4(c)는 본 발명의 일실시 형태에 의한 목시 검사 장치(1)에 있어서의 광학 표시장치의 반송 상황을 개략적으로 나타내는 도이다.
본 발명의 제1의 실시 형태에 있어서는, 도 4(a)~4(c)에 나타나는 바와 같이, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 피검사 대상물 반송부(10b)의 상방에 위치하고 있다. 도 4(a)에 나타난 상태에 있어서는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)에 의해 정상 광학 표시장치(2a)를 반송한다. 정상 광학 표시장치(2a)를 반송하고 있을 때, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 생산 라인의 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치에 위치하고, 불량 광학 표시장치 반송부, 즉, 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 하방에 위치하고 있다.
도 4b에 나타나는 바와 같이, 센서에 의해 불량 광학 표시장치 즉 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 검출되었을 때, 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치가 되도록 상향으로 이동하고, 불량 광학 표시장치 즉 피검사 대상물(2b)이 불량 광학 표시장치 반송부, 즉 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된다. 또, 도 4(c)에 나타나는 바와 같이, 불량 광학 표시장치(2b)가 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송된 후에, 발취 반송 유니트(10)는, 제어장치의 제어에 의해서, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)가 주반송부와 거의 공면을 이루어 정상 광학 표시장치(2a)를 반송 가능한 위치로 되돌아오도록, 하향으로 이동한다.
바람직하게는, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)에는, 보통 알려져 있는 단층 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이러한 단층 롤러 구조의 반송 장치는, 광학 표시장치의 주반송부의 상류로부터 하류로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있다. 상기 단층 롤러 구조 반송 장치는, 구조가 간단하고, 가격이 저렴하다.
바람직하게는, 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에는, 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이러한 이중 롤러 구조 반송 장치는, 광학 표시장치의 주반송부의 상류로부터 하류로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있는 것과 동시에, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 수직 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수도 있다. 상기 이중 롤러 구조 반송 장치에 의해, 거의 수직인 2개의 방향에 있어서의 반송을 실현할 수 있다. 상기 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치는, 다음에 상세히 설명한다.
따라서, 목시 검사해야 할 불량 광학 표시장치, 즉 피검사 대상물(2b)은, 이중 롤러 구조 반송 장치를 가지는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 의해, 우선 주반송 방향을 따라서 불량 광학 표시장치 반송부(10b)까지 반송된다. 그리고, 상기 불량 광학 표시장치(2b)는, 여전히 이중 롤러 구조 반송 장치를 가지는 불량 광학 표시장치 반송부, 즉 피검사 대상물 반송부(10b)에 의해, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 수직 방향을 따라서 주반송부로부터 떨어져, 목시 검사를 행하는 목시 검사 유니트(20)에 반송된다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 도시되어 있지 않은 기계 암을 더 구비할 수 있다. 이 기계 암에는 흡착 장치(301)가 설치되어(도 7a), 상기 흡착 장치(301)에 의해, 주반송 방향과 거의 수직 방향으로 반송된 불량 광학 표시장치(2b)를 흡착해, 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있다.
불량 광학 표시장치인 피검사 대상물(2b)을 흡착해 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있는 것이면, 상기 기계 암 및 흡착 장치로서는, 종래의 기계 암 및 흡착 장치를 사용해도 좋다.
＜이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치＞
전술한 것처럼, 바람직하게는, 불량 광학 표시장치 반송부 즉 피검사 대상물 반송부(10b)로서, 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치를, 쌍방향 반송 장치(50)라고 부르기도 한다. 도 5는, 주반송 방향 반송 장치를 이용해 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 것이다. 도 6은, 수직 방향 반송 장치를 이용해 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 5 및 도 6에 나타나는 바와 같이, 쌍방향 반송 장치(50)는, 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치이다. 구체적으로 말하면, 쌍방향 반송 장치(50)는, 주반송 방향으로 광학 표시장치를 반송하는 주반송 방향 반송 장치(501)와, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향으로 광학 표시장치를 반송하는 횡 방향 반송 장치(502)를 구비한다.
주반송 방향 반송 장치(501)는, 일련의 반송 롤러로 이루어지는 롤러 반송 장치이며, 주반송 방향으로 광학 표시장치를 반송할 수 있다. 주반송 방향 반송 장치(501)에 있어서는, 소정 수의 반송 롤러가 회전 가능하게 반송 롤러 축에 설치되어, 반송 롤러 열을 구성한다. 복수의 반송 롤러 열이 주반송 방향을 따라서, 소정 간격을 두고 평행으로 나란히 배치되어, 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송하는 반송 장치를 형성한다.
횡 방향 반송 장치(502)는, 일련의 반송 롤러로 이루어지는 롤러 반송 장치이며, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향으로 광학 표시장치를 반송한다. 상기 횡 방향 반송 장치(502)에 있어서는, 소정 수의 반송 롤러가 회전 가능하게 반송 롤러 축에 설치되어, 반송 롤러 열을 구성한다. 복수의 반송 롤러 열이 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향을 따라서, 소정 간격을 두고 평행으로 나란히 배치되어, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있다.
바꾸어 말하면, 위로부터 봐, 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러 열은, 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러 열과 서로 직교하도록 배치되어 있다.
주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러 열의 사이의 간격 거리는, 적어도 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러의 두께보다 큰 거리이다. 즉, 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러를 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러 열의 사이에 통할 수 있다.
그리고, 상기 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러의 사이의 간격 거리는, 적어도 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러의 직경보다 큰 거리이다. 즉, 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러를 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러 열의 사이에 통할 수 있다.
이것에 의해, 횡 방향 반송 장치(502)는, 주반송 방향 반송 장치(501)로부터 독립해 승강시킬 수 있다.
또한, 횡 방향 반송 장치(502)를 구성하는 반송 롤러의 직경은, 주반송 방향 반송 장치(501)를 구성하는 반송 롤러의 직경보다 크게 한다.
상기 쌍방향 반송 장치(50)는, 주반송 방향 반송 장치(501)와 횡 방향 반송 장치(502)를 절환하는 절환 장치(도시 없음)를 더 구비한다.
도 5에 나타나는 바와 같이, 광학 표시장치의 주반송부의 상류 측으로부터 하류 측으로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송하는 과정에 있어서는, 주반송 방향 반송 장치(501)는, 횡 방향 반송 장치(502)의 상방에 위치하고 있다. 즉, 주반송 방향 반송 장치(501)를 구성하는 반송 롤러의 표면은, 횡 방향 반송 장치(502)를 구성하는 반송 롤러의 표면보다 높은 위치에 있다. 따라서, 주반송 방향에 상류로부터 보내져 오는 광학 표시장치를 주반송 방향 반송 장치(501)에 의해 받아, 하류 측으로 반송할 수 있다.
도 6에 나타나는 바와 같이, 불량 광학 표시장치인 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 쌍방향 반송 장치(50)의 이중 롤러 구조를 절환한다. 즉, 절환 장치에 의해 횡 방향 반송 장치(502)를 상승시켜, 상기 횡 방향 반송 장치(502)를 구성하는 반송 롤러의 표면을 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러의 표면보다 높은 위치로 함으로써, 횡 방향 반송 장치(502)에 의해 주반송 방향과 수직인 방향으로 광학 표시장치를 반송할 수 있게 된다.
이와 같이 구성된 쌍방향 반송 장치(50)에 의해, 주반송 방향을 따르는 반송과, 주반송 방향과 수직인 방향을 따르는 반송이, 동시에 실현될 수 있다.
＜목시 검사 유니트(20)＞
도 7(a), 7(b)은 본 발명의 목시 검사 장치에 있어서의 목시 검사 유니트의 수평 상태 및 경사 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.
상기 목시 검사 유니트(20)는, 목시 관찰 장치로서, 피검사 대상물(2b)이 반송될 때에는 수평 상태로 있고, 검사 시에는 수평 상태로부터 경사 상태로 이동할 수 있는 목시 검사대를 가진다.
상기 목시 검사 유니트(20)는, 비검사 대상물인, 검사해야 할 불량 광학 표시장치(2b)를 보관 유지하기 위한 광학 표시장치 보관 유지부(21)와, 이 광학 표시장치 보관 유지부(21)를 조작자가 목시 검사할 때의 적당한 각도로 경사시키는 요동 기구(도시 없음)와, 불량 광학 표시장치(2b)가 경사 상태로 일어섰을 때에 상기 불량 광학 표시장치(2b)의 배면 측으로부터 빛을 조사하는 백 라이트 유니트(22)를 가진다.
상기한 바와 같은 기계 암에 설치되어 있는 흡착 장치(301)에 의해, 목시 검사해야 할 불량 광학 표시장치(2b)를, 도 7(a)에 나타내는 수평 상태로, 광학 표시장치 보관 유지부(21)에 반송한다. 도시되어 있지 않은 제어 수단에 의해 전술한 요동 기구를 제어해, 불량 광학 표시장치(2b)가 올려져(載置) 있는 광학 표시장치 보관 유지부(21)를 요동시켜, 조작자가 목시 검사하는데 적당한 각도로 경사시켜 일으켜, 경사 상태로 한다. 도 7(b)에 나타나는 바와 같이, 이 경사 상태에 있어서, 광학 표시장치 보관 유지부(21)의 배면 측으로부터 검사용 빛을 조사함으로써, 조작자는 목시로 불량 광학 표시장치(2b)를 검사할 수 있다.
검사 결과가 정상 광학 표시장치(2a)라고 판정된 광학 표시장치는, 검사 후에, 기계 암에 설치되어 있는 흡착 장치를 통해, 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송되며, 상기 불량 광학 표시장치 반송부(10b)가 주반송부와 거의 공면을 이루도록 상향으로 이동해, 정상 광학 표시장치(2a)를 하류 측 공정에 반송한다.
검사 결과가 확실히 불량이라고 판정된 광학 표시장치(2b)는, 검사 후에 배출되어, 리워크 되든지, 폐기된다.
또한, 상기 불량 광학 표시장치(2b)는, 주반송부로부터 목시 검사 유니트(20)에 반송되고, 목시 반송 유니트에서 목시 검사되어, 합격 광학 표시장치가 주반송부에 반송되는 각 과정에 있어서, 일손에 의해 광학 표시장치에 접할 필요가 없어, 광학 검사 장치가 오손되거나 손상되거나 하는 것을 방지할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일실시 형태에 있어서의 목시 검사 장치의 작동 플로우도이다. 이하, 도 8을 참조하면서 본 발명의 상기 실시 형태에 있어서의 목시 검사 장치(1)의 작동을 설명한다.
우선, 스텝(S11)에 있어서, 유리 기판에 광학 필름을 첩부해 광학 표시장치(2)를 형성하고, 상기 광학 표시장치(2)를 자동 검사 장치(1)에 반송한다. 그리고, 스텝(S12)에 있어서, 광학 표시장치(2)를 자동 검사한다(자동 광학 검사). 다음에, 스텝(S13)에 있어서, 자동 검사에 의해 광학 표시장치(2)에 결점이 있는지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S14)으로 이행한다. 스텝(S14)에 있어서, 광학 표시장치(2)에 대해서 랜덤 검사가 필요하게 되는지 아닌지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에는, 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사는 필요하지 않은 경우에는, 스텝(S15)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)는 작동하지 않고, 광학 표시장치를 다음의 공정에 반송한다.
스텝(S13)에 있어서 「예」라고 판정했을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(21)으로 이행한다.
스텝(S14)에 있어서 「예」라고 판정했을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에도, 스텝(21)으로 이행한다.
스텝(S13) 또는 스텝(S14)의 뒤에 스텝(S21)으로 이행하는 경우에 있어서, 목시 검사의 대상으로 여겨지는 광학 표시장치를, 「불량 광학 표시장치(2b)」 또는 「피검사 대상물(2b)」로 총칭한다.
스텝(S21)에서 시작되는 수순에 있어서, 목시 검사 장치(1)에 의해 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 스텝(21)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상류 또한 상기 발취 반송 유니트(10)의 바로 옆의 위치(바로 옆의 상류 위치라고 부른다)에 반송한다. 스텝(S22)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)가 작동한다(즉, 발취 반송 유니트(10)가 상승한다). 스텝(S23)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 발취 반송 유니트(10)의 하단(불량 광학 표시장치 반송부(10b))에 보낸다. 그 후에, 스텝(S24)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 하강한다. 스텝(S25)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사 유니트(20)에 반송한다. 스텝(S26)에 있어서, 목시로 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 스텝(S27)에 있어서, 목시 검사로 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 검출됐는지 아닌지를 판정한다.
스텝(S27)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S31)으로 이행해, 여기서, 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 있다고 판정한다. 그리고 스텝(S32)으로 이행해, 불량 광학 표시장치(2b)를 발취 반송 유니트(10)의 하단(불량 광학 표시장치 반송부(10b))에 반송한다. 스텝(S33)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류에, 다른 광학 표시장치가 있는지를 판정한다.
스텝(S33)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 이 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.
스텝(S33)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 스텝(S41)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 상승하고, 다음에 스텝(S42)으로 이행한다. 스텝(S42)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 불량 광학 표시장치 수납부에 반송한다.
스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S28)으로 이행한다. 스텝(S28)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 하단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송하고, 스텝(S29)으로 이행한다. 스텝(S29)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류에 이미 광학 표시장치가 있는지 아닌지를 판정한다.
스텝(S29)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우에는, 같은 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.
스텝(S29)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우에는, 스텝(S51)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 상승하게 되고, 그 다음에, 스텝(S52)으로 이행한다. 스텝(S52)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 정상 광학 표시장치(2a)로서 다음의 공정에 반송한다. 또한, 스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 그 이후이면 어느 쪽의 타이밍에서도, 피검사 대상물이었던 불량 광학 표시장치(2b)를, 정상 광학 표시장치(2a)로서 인식할 수 있다. 그리고, 스텝(S52)으로 이행한다.
＜제2 실시 형태＞
또, 도 9(a)~9(c)는, 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 목시 검사 장치(1)에 있어서의 광학 표시장치의 반송 상황을 개략적으로 나타내는 도이다.
본 발명의 제2 실시 형태는, 발취 반송 유니트(10)의 구조가 제1 실시 형태와 다른 이외는, 다른 구조는 전부 같다. 여기에서는 같은 부분의 설명을 생략 한다.
구체적으로 말하면, 발취 반송 유니트(10)로서, 본 발명의 제2 실시 형태와 같은 구조를 가지는 것으로 할 수 있다.
제2 실시 형태에 있어서는, 도 9(a)~9(c)에 나타나는 바와 같이, 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 피검사 대상물 반송부(10b)의 하방에 배치된다. 도 9(a)에 나타내는 상태에 있어서, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)에 의해 정상 광학 표시장치(2a)를 반송한다. 정상 광학 표시장치(2a)를 반송하고 있을 때는, 상기 정상 광학 표시장치 반송부(10a)는 생산 라인의 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치에 있고, 불량 광학 표시장치 반송부, 즉 피검사 대상물 반송 장치(10b)는, 주반송부의 상방에 위치하고 있다.
도 9(b)에 나타나는 바와 같이, 센서에서 상기 불량 광학 표시장치(2b)가 반송되어 오는 것이 검출되었을 때, 발취 반송 유니트(10)는, 제어장치의 제어에 의해서, 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치가 되도록 하향으로 이동해, 불량 광학 표시장치(2b)가 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송된다. 또, 도 9(c)에 나타나는 바와 같이, 불량 광학 표시장치(2b)가 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송된 후에, 발취 반송 유니트(10)는, 제어장치의 제어에 의해서, 상기 정상 광학 표시장치 반송부(10a)가 주반송부와 거의 공면을 이루어 정상 광학 표시장치(2a)를 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 상향으로 이동한다.
이 제2 실시 형태에 있어서는, 바람직하게는, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)와 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에, 통상의 단층 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이러한 단층 롤러 구조 반송 장치는, 광학 표시장치의 주반송부의 상류로부터 하류로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있다. 상기 단층 롤러 구조 반송 장치는, 구조가 간단하고, 가격이 저렴하다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태와 같이, 도시되어 있지 않은 기계 암을 구비할 수 있다. 이 기계 암에 흡착 장치(301)가 설치되어, 상기 흡착 장치(301)에 의해, 불량 광학 표시장치 반송부(10b)상의 불량 광학 표시장치(2b)를 흡착해, 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있다.
불량 광학 표시장치(2b)를 흡착해 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있는 구성인 한, 상기 기계 암 및 흡착 장치에는, 종래의 기계 암 및 흡착 장치를 사용할 수 있다.
제2 실시 형태에 있어서는, 상기와 같이, 다른 구조는 제1 실시 형태와 같다. 같은 부분을 같은 부호로 표시해, 그 설명을 생략한다.
도 10은, 본 발명의 제2 실시 형태에 의한 목시 검사 장치의 작동 플로우도이다. 이하, 도 10을 참조하면서 본 발명의 제2 실시 형태의 목시 검사 장치(1)의 작동을 설명한다.
우선, 스텝(S11)에 있어서, 유리 기판에 광학 필름을 첩부해 광학 표시장치(2)를 형성하고, 상기 광학 표시장치(2)를 자동 검사 장치(1)에 반송한다. 스텝(S12)에 있어서, 광학 표시장치(2)를 자동 검사한다(자동 광학 검사). 스텝(S13)에 있어서, 자동 검사로 광학 표시장치(2)에 결점이 있는지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S14)으로 이행한다. 스텝(S14)에 있어서, 광학 표시장치(2)에 대해서 랜덤 검사가 필요하게 되는지 아닌지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에는 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되지 않는 경우에는, 스텝(S15)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)는 작동하지 않고, 광학 표시장치를 다음의 공정에 반송한다.
스텝(S13)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(21)으로 이행한다.
스텝(S14)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에도, 스텝(21)으로 이행한다.
스텝(S13) 또는 스텝(S14)의 뒤에 스텝(S21)으로 이행해, 목시 검사를 하는 광학 표시장치를, 「불량 광학 표시장치(2b)」 또는 「피검사 대상물(2b)」라고 총칭한다.
스텝(S21)에서 시작하는 수순에 따라서, 목시 검사 장치(1)에 의해 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 스텝(S21)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상류 측에서 상기 발취 반송 유니트(10)의 바로 옆의 위치(바로 옆의 상류 위치라고 부른다)에 반송한다. 다음에, 스텝(S22＇)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 하강하게 된다. 그 다음에 스텝(S23＇)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송한다. 그리고, 스텝(S24＇)에 있어서, 상기 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 발취 반송 유니트(10)가 상승하게 된다. 그 후에, 스텝(S25)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사 유니트(20)에 반송해, 스텝(S26)에 있어서, 목시로 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 다음에, 스텝(S27)에 있어서, 목시 검사에 의해 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 검출됐는지 아닌지를 판정한다.
스텝(S27)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S31)으로 이행해, 여기서, 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 있다고 판정한다. 그리고 스텝(S32＇)으로 이행해, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송한다. 스텝(S33＇)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 하단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류 측에 이미 다른 광학 표시장치가 있는지 아닌지를 판정한다.
스텝(S33＇)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우에는, 같은 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.
스텝(S33＇)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우에는, 동작은 스텝(S41＇)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 하강한다. 그리고, 다음에 스텝(S42)으로 이행해, 스텝(S42)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 불량 광학 표시장치 수납부에 반송한다.
스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S28＇)으로 이행한다. 스텝(S28＇)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송한다. 그리고, 스텝(S29＇)으로 이행한다. 스텝(S29＇)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 하단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류 측에 이미 다른 광학 표시장치가 있는지 아닌지를 판정한다.
스텝(S29＇)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우에는, 이 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.
스텝(S29＇)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우에는, 스텝(S51＇)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 발취 반송 유니트(10)가 하강하게 된다. 그리고, 스텝(S52)으로 이행한다. 스텝(S52)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 정상 광학 표시장치(2a)로서 다음의 공정에 반송한다. 또한, 스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 그 이후이면 어느 쪽의 타이밍에서도, 검사 대상물이었던 불량 광학 표시장치(2b)를 정상 광학 표시장치(2a)로서 인식할 수 있다. 그 후, 스텝(S52)으로 이행한다.
본 발명의 목시 검사 장치는 상기한 대로이지만, 이것에 한정된 것이 아니고, 본 발명의 사상의 범위 내에 있어서, 적당하게 변경할 수 있다.
본 발명의 목시 검사 장치는, 시트 형상 부재를 제조하는 각 종류의 제조 장치에 적용할 수 있다.
1: 목시 검사 장치
2: 검사 대상물(광학 표시장치)
2a: 정상 검사 대상물(정상 광학 표시장치)
2b: 피검사 대상물(불량 광학 표시장치)
3: 광학 필름 첩부 장치
4: 자동 검사 장치
10: 발취 반송 유니트
10a: 정상 검사 대상물 반송부(정상 광학 표시장치 반송부)
10b: 피검사 대상물 반송부(불량 광학 표시장치 반송부)
20: 목시 검사 유니트
21: 광학 표시장치 보관 유지부
22: 백 라이트 유니트
301: 흡착 장치
50: 쌍방향 반송 장치
501: 주반송 방향 반송 장치
502: 수직 방향 반송 장치

Claims (5)

  1. 목시 검사 장치(1)에 있어서,
    자동 검사 장치의 하류 측에 설치된, 피검사 대상물(2)을 목시 검사하기 위한, 발취 반송 유니트(10) 및 목시 검사 유니트(20)를 구비하며,
    상기 발취 반송 유니트(10)는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)와 피검사 대상물 반송부(10b)와 상하에 배치된 상하 2단 구성이며,
    상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 정상 검사 대상물(2a)을 반송하는 것이며,
    상기 피검사 대상물 반송부(10b)는, 피검사 대상물(2b)을 반송하는 것이며,
    상기 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에서 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되는 위치에 상하 이동함과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 이동하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송하며,
    상기 목시 검사 유니트(20)에서, 조작자가 목시로 반송되어 오는 피검사 대상물(2b)을 목시 검사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)의 상방에 위치하고 있으며,
    정상 검사 대상물(2a)을 반송하고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는 주반송부와 공면을 이루는 위치에 위치하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 하방에 위치하며,
    상기 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 상향으로 이동하여, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 됨과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 하향으로 이동하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는 상기 피검사 대상물 반송부(10b)의 하방에 위치하고 있으며,
    정상 검사 대상물(2a)을 반송하고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는 주반송부와 공면을 이루는 위치에 위치하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 상방에 위치하고 있으며,
    상기 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 하향으로 이동하고, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 됨과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 상향으로 이동하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 목시 검사 장치는 흡착 장치(301)를 더 구비하며, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)은, 상기 흡착 장치(301)에 의해서 상기 피검사 대상물 반송부(10b)로부터 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송되는 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.
  5. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 목시 검사 유니트(20)는, 상기 피검사 대상물(2b)이 반송될 때는 수평 상태이며, 검사 시에는 수평 상태로부터 경사 상태로 이동할 수 있는 목시 검사대를 가지는 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.
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