KR102252257B1 - X-레이 검사 시스템 및 x-레이 검사 시스템에 의해서 테스트 대상을 회전시키는 방법 - Google Patents

X-레이 검사 시스템 및 x-레이 검사 시스템에 의해서 테스트 대상을 회전시키는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 X-레이 소스(1), 검출기(3) 및 상기 X-레이 소스(1)와 상기 검출기(3) 사이에 배치되며 테스트 대상(2)이 그 위에 고정될 수 있는 회전식 테이블(4)을 갖는 X-레이 검사 시스템에 관한 것이며, 상기 회전식 테이블(4)은 포지셔닝 테이블(6) 상에 배치되며; 상기 포지셔닝 테이블(6)은 상기 X-레이 소스(1)와 상기 검출기(3) 간의 xy-평면에 평행하게 움직일 수 있으며; 상기 xy-평면은 xz-평면에 평행하게 연장하는 상기 검출기(3)의 표면과는 수직이며; 상기 회전식 테이블(4)은 z-축을 중심으로 회전할 수 있다.
또한, 본 발명은 상술한 X-레이 검사 시스템에서 테스트 대상(2)을 회전시키는 방법에 관한 것이며, 상기 테스트 대상(2)은 상기 회전식 테이블(4) 상에 고정되며; 상기 회전식 테이블(4)은 상기 z-축을 중심으로 회전하며, 이와 동시에, 상기 포지셔닝 테이블(6)은 상기 xy-평면에서 움직이며, 상기 회전식 테이블(4)의 회전 각 φ 은 상기 포지셔닝 테이블(6)의 x-위치 및 y-위치에 대하여 하기의 관계식을 갖는다: X = R × cos(φ - φ0)+ X0 및 Y = R × sin(φ - φ0)+ Y0.

Description

X-레이 검사 시스템 및 X-레이 검사 시스템에 의해서 테스트 대상을 회전시키는 방법{X-RAY INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR ROATATING A TEST OBJECT BY MEANS OF SUCH AN X-RAY INSPECTION SYSTEM}
본 발명은 X-레이 소스, 검출기 및 이들 사이에 배치되며, 테스트 대상이 그 위에 고정될 수 있는 회전식 테이블을 갖는 X-레이 검사 시스템, 및 이러한 X-레이 검사 시스템에 의해서 테스트 대상을 회전시키는 방법에 관한 것이다.
X-레이 검사 시스템들에서, 테스트 대상은 촬상 요소들인 X-레이 소스 및 검출기 간의 실제(물리적) 축들에 의해서 움직인다는 것은 알려져 있다. 목표된 화상 섹션을 획득하기 위해서 X-레이 소스 및 검출기 양자를 움직이는 것도 역시 매우 통상적이다. 공지된 해결 방식들에서, 조사될 테스트 대상의 구역이 특정 조사 각(irradiation angle)을 사용하여서 관측될 경우에, 이러한 구역이 필요한 기울임 축 또는 회전 축의 중앙에 또는 적어도 요구된 구역에 위치하지 않는다면 문제가 된다.
이 때문에, 다음과 같은 2가지 해결 방식들이 존재한다:
첫 번째 방식은 테스트 대상을 리스패닝(respanning)하는 방식으로서, 관심 구역이 회전 축의 중앙 내로 수동으로 움직인다.
두 번째 방식은 대응하는 방향으로의 자유도를 확대하기 위해서 추가 축들을 부가하는 것이다.
그러나, 이러한 방식들은 결정적인 단점들, 예를 들어서, 증가된 시간 소모량, 증가된 축 복잡도 및 일정하게 유지되는 설치 공간으로 인한 테스트 체적의 감소를 갖는다.
상술한 조작 및 각도-의존 조작에 따라오는 문제는 모든 X-레이 시스템들, DXR(디지털 X-레이) 및 CT(computed tomography) 및 라미노그래피(laminography)에 관련된다. 이러한 문제는 분해능 요건이 증가할수록 더욱 첨예해진다. 이로써, 예를 들어서, 초고 분해능(very high-resolution) CT 시스템의 경우에, 추가 xy-포지셔닝 테이블들(positioning tables)이 테스트 대상을 회전 축의 중심으로 이동시키기 위해서 CT의 품질을 결정하는 결정적인 회전 축에 대해서 사용된다.
따라서, 발명의 목적은 작은 설치 공간을 가지면서 상술한 바와 같은 사용자의 개입이 적으면서 최대 자유도를 요구하는 X-레이 검사 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은 청구항 제1항의 특징을 갖는 청구대상에 의해서 달성된다. 본 발명에 따른 X-레이 검사 시스템을 사용하여서, 이하에서 보다 더 상세하게 기술될 바와 같은, 본 발명에 따른 회전 방법들 중 하나를 수행할 수 있다. 청구항 제1항에서 기술되는 구성요소들 및 움직임 방식들은 본 발명에 따른 이러한 방법을 단순하게 실행할 수 있게 한다.
본 발명의 유리한 실시예에서는, 회전식 테이블이 z-축을 따라서 이동할 수 있다. 이로써, 고도가 변할 수 있는 테스트 대상의 검사를 또한 실행할 수 있다.
본 발명의 다른 유리한 실시예에서는, 회전식 테이블이 xy-평면에 평행하게 연장되며, 특히, x-축에 평행한 기울임 축(tilting axis)을 중심으로 회전할 수 있다. 이로써, 테스트 대상을 통과하는 X-방사선의 가장 바람직한 가능한 궤적을 선택할 수 있다.
본 발명의 다른 유리한 실시예에서는, X-레이 소스는, 검출기와 함께, 회전식 테이블을 중심으로 회전하고/하거나 xy-평면에 평행한 회전식 테이블에 대해서 이동하고/하거나 z-축에 평행하게 이동하고/하거나 xy-평면에 평행하게 연장되며, 특히, x-축에 평행한 기울임 축(tilting axis)을 중심으로 회전할 수 있다. 이로써, 테스트 대상의 움직임과는 별도로 또는 테스트 대상의 움직임과 더불어서, 또한 촬상 시스템을 이동시킬 수 있으며, 이로써 검사 유연성이 증가한다.
상기 목적은 청구항 제5항의 특징들을 갖는 방법에 의해서 달성된다. 회전식 테이블이 xy-포지셔닝 테이블 상에 고정된다는 사실에 의하여서, x-축 및 y-축의 조합 방향으로 진행할 수 있으며, 이로써 회전식 테이블은 궤도 운동을 하게 된다. 가상 회전 축을 실현하기 위해서, 회전식 테이블의 회전 각이 x- 및 y-축들에 대해서 규정된 관계식에 맞게 포지셔닝되거나 또는 이동되는 것이 필요하다. 이를 위해서, 회전 축은 마스터(master) 축으로서 규정되며, 2개의 축들, 즉 x 축 및 y 축은 두 관계식들에서 규정된 바와 같이, 회전 축의 회전 각에 대응하게 포지셔닝된다.
상기 목적은 청구항 제6항의 특징들을 갖는 방법에 의해서 유사하게 달성된다. 이 청구항 제6항의 방법은 위 단락에서 바로 기술된 청구항 제5항에 따른 방법과는, 테스트 대상을 움직이는 대신에, 촬상 요소들, 즉 X-레이 소스 및 검출기가 움직인다는 점에서 차이가 있다. 여기에 적용되는 관계식은 회전식 테이블 및 포지셔닝 테이블에 의한 테스트 대상의 조합 이동의 경우에서의 관계식들에 대응한다.
본 발명의 유리한 실시예에서는, 상술한 움직임들을 수행하기 이전에, 회전식 테이블은 z 방향으로 움직이고 x 방향과 평행한 기울임 축을 중심으로 회전하며, 이로써 테스트 대상 내에 놓인 관심 구역이 상술한 기울임 운동 및 병진 운동 이전 및 이후에 좌표 시스템에서 동일한 위치에 놓이게 된다. 이로써, 테스트 대상의 경우에, 목표된 바와 같이 정렬된 축 주변의 테스트 대상 내의 임의의 목표된 지점에서 테스트 대상의 검사를 수행할 수 있다. 이로써, 사용자는 어느 파라미터들을 자신이 목표로 하는지를 개별적으로 결정할 수 있으며 최상의 가능한 결과를 달성할 수 있다.
본 발명의 추가 이점들 및 세부사항들이 도면들에서 표현되는 예시적인 실시예들을 참조하여서 설명된다.
도 1은 종래 기술에 따른 방법을 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 X-레이 검사 시스템을 단순하게 표현한다.
도 3은 가상 회전 축을 개략적으로 도시한다.
도 4는 가변 기울임 각을 사용하는 방법을 개략적으로 도시한다.
도 5는 고정된 지점을 중심으로 하는 방법을 개략적으로 도시한다.
도 1은 본 기술 분야의 종래의 공지된 절차를 도시한다. 테스트 대상(2)은 X-레이 검사 시스템 내에 배치된다. X-레이 검사 시스템은 X-레이 소스(1) 및 검출기(3)를 포함한다. 이 X-레이 소스(1) 및 검출기(3) 사이에 회전식 테이블(4)이 배치되며, 이 테이블의 회전 축(5)은 도면의 페이지의 면에 수직하게 연장되며, 이는 z-축에 대응한다. 회전식 테이블(4) 상에, 포지셔닝 테이블(6)이 부착되며, 이 포지셔닝 테이블은 그 위에 배치된 테스트 대상이 도면 페이지의 면, 즉 xy-평면 상에서 변위되는 것을 가능하게 하며, 여기서 x-축은 검출기(3)의 표면에 평행하고, 도 1에서는 도면 페이지의 면에서 횡축이 아닌 종축으로 연장된다. 이에 따라서, y-축은 도면 페이지의 면에서 종축이 아닌 횡축으로 연장된다. X-레이 튜브(1)는 팬 빔(fan beam)(7)을 방출하고, 이 팬 빔의 중앙 빔(8)이 검출기(3)의 중심을 타격한다. 여기서 중앙 빔(8)은 y-축에 대응한다.
상기 테스트 대상(2)은 회전식 테이블(4) 상의 중앙이 아닌 위치에 배치되는데, 즉 테이블의 회전 축(5) 외측에 배치된다. 테스트 대상(2)의 최상의 가능한 영상을 획득하기 위해서, 테스트 대상은 회전 운동의 중앙에 배치되어야 한다. 이로써, 포지셔닝 테이블(6) 상에 배치된 테스트 대상은 테스트 대상이 회전식 테이블(4)의 회전 축(5) 상에 배치될 때까지 x-방향 및 y-방향으로서 포지셔닝 테이블(6)에 의해서 변위된다(도 1의 하부 부분 참조). 이제, 테스트 대상(2)의 회전은 회전식 테이블의 회전 축(5)을 중심으로 운동하는 회전식 테이블(4)의 회전에 의해서 이루어지고, 테스트 대상(2)의 임의의 회전 위치에서, 중앙 빔(8)은 테스트 대상을 통과한다. 이렇게 기술된 표준 CT 스캐닝 방법에서는, 테스트 대상(2)이 팬 빔 7 내에서 회전하여 이로써 적합한 소프트웨어에 의해서 토모그램으로 변환되는 개별 투영 영상들을 얻게 된다. 테스트 대상(2)의 회전 동안에, 테스트 대상(2)이 매 투영 시에 완전하게 표현되는 것이 품질에 있어서 결정적인 요소이다. 엄밀하게는 매우 큰 확대 범위에서는, 관심 구역을 회전 중심, 즉 회전식 테이블(4)의 회전 축(5) 상으로 변위시키는 것은 매우 수고로운 작업이다.
이하에서 기술되는 해결 방식은 DXR 및 CT로부터의 실례들을 참조하여서 예시되지만, 라미노그래피(laminography) 분야에서도 동일한 방식으로 사용될 수 있다. 본 방식은 보편적인 해결방식이며, 수많은 X-레이 검사 시스템 설치 구역들에서 사용될 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 X-레이 검사 시스템을 도시한다. 이 시스템은 도 1을 참조하여서 상술한 X-레이 검사 시스템과 대체적으로 상응한다. 그러나, 차이점은 회전식 테이블(4)이 포지셔닝 테이블(6) 상에 배치되는 것이며, 이는 도 1을 참조하여서 설명된 구성과는 반대되는 구성이다. 또한, 본 발명에 따른 X-레이 검사 시스템은 리프팅 디바이스(lifting device)(10) 및 기울임 축(9)(도 5 참조)을 더 포함한다.
본 발명에 따른 해결 방식은 새로운 가상 축의 이동 거리를 표현하는 공통 위치 방식으로 축들이 관계를 갖도록 하는 것이다. 보다 양호한 이해를 위해서, CT X-레이 기계의 "가상 회전 축"을 참조하여서 본 방법이 표현된다.
회전식 테이블(4)이 포지셔닝 테이블(6)에 고정되고 포지셔닝 테이블(6)은 xy-평면에서의 선형 운동을 할 수 있다고 가정하면, 이제 x-축 및 y-축의 조합을 따라서 진행할 수 있게 되고, 이로써 회전식 테이블(4)은 궤도 운동을 하게 된다.
가상 회전 축을 실현하기 위해서, 이제, 회전식 테이블(4)의 회전 각이 x-축 및 y-축에 대해서 규정된 관계식에 맞게 포지셔닝되거나 또는 이동되는 것이 필요하다. 이를 위해서, 회전 축(5)은 마스터(master) 축으로서 규정되며, 2개의 축들, 즉, x 축 및 y 축은 회전 축(5)의 회전 각에 대응하게 포지셔닝된다. 이를 위한 관계식이 본 발명에 따라서 다음과 같이 주어진다:
X = R × cos(φ - φ0)+ X0
Y = R × sin(φ - φ0)+ Y0
여기서,
X: x-축의 새로운 목표 값,
X0: 가상 축 결합(coupling)의 시작 시간에서의 x-축의 시작 값,
Y: y-축의 새로운 목표 값,
Y0: 가상 축 결합(coupling)의 시작 시간에서의 y-축의 시작 값
R: 회전 축과 새로운 가상 회전 축 간의 거리
φ: 회전 축의 실제 각, 및
φ0:가상 축 결합(coupling)의 시작 시간에서의 회전 축의 시작 값이다.
이러한 타입의 관계식으로 인해서 이제는, 도 3에서 개략적으로 도시된 바와 같이, x-축 및 y-축의 절대 이동 거리 한계치들을 초과하지 않는다면, x/y-평면 내의 임의의 목표된 지점을 중심으로 회전하는 것이 가능해진다.
다른 검사 방법들의 경우에, 결과적으로 생성된 새로운 가상 회전 축은 실제 회전 축으로서 거동하는데, 즉, X-레이 검사 시에 사용되는 방법들, 예를 들어서, 측정 범위 확대(measurement range enlargement)(DXR) 또는 CT-검사 방법(헬리컬 CT, 등)이 제한 없이 계속 사용될 수 있다.
바로 위에서 기술한 구성과는 달리, 회전식 테이블(4)대신에, 촬상 요소들, 즉, 검출기(3) 및 X-레이 소스(1)가 또한 테스트 대상(2)을 중심으로 회전하거나 xy 방향으로 이동할 수 있다.
가상 회전 축의 방법의 변환은 임의의 목표된 기울임 지점을 사용하여서 시야각의 방법으로서 수정된 형태로 용이하게 실현될 수 있다. 이의 이점은 x-축의 조작에 따른 고정된 초점-대상 거리이다.
도 4(xy-평면으로의 표현)는 그 상부 부분이 표준 사례를 도시하는데, 즉, 테스트 대상(2) 내의 관심 지점 주변의 구역이 상이한 시야각들에서 검사되는 것을 도시한다. 이를 위해서, 이 관심 지점은 회전식 테이블(4)의 회전 축(5)에 위치되어야 한다. 이제는, 회전식 테이블(4)에 의해서, 상이한 시야각들에서 관심 지점을 관측하는 것이 가능해진다. 이 관심 지점이 회전식 테이블(4)의 회전 축(5)에 위치되는 것이 중요하다. 만일에 그렇지 않게 되면, 이 관심 지점 주변의 구역이, 큰 확대 시에는, 검출기(3)의 시계를 벗어나게 되버린다.
도 4의 하부 도면은 x-축 상의 임의의 지점을 중심으로 회전하는 방식을 도시한다. 회전 축(5)을 x-축 및 y-축과 중첩시킴으로써, 관심 지점이 회전식 테이블(4)의 회전 중앙 축에 위치하지 않게 되는 때에도 이 관심 지점을 또한 검사할 수 있게 된다. 이를 위해서, 상술한 바와 동일한 방법이 사용된다. 현 도면에서는, 관심 지점이 중앙 빔(8)에 위치한다. 이러한 위치 및 회전식 테이블(4)의 실제 축 위치로부터, 값 R(상기 참조)을 결정할 수 있으며 및 가상 회전 축을 "활성화"시킬 수 있다. 이로써, 임의의 목표된 시야각들에서 관심 지점을 검사할 수 있게 된다. 이로써, 새로운 회전 각이 설정되면, x-축 및 y-축 각각이 이전에 기술된 수학적 관계식에 따라서 자동적으로 포지셔닝된다.
테스트 대상(2)을 (검출기(3)에 대한) z-방향으로 움직일 수 있는 추가적인 가능성으로 인해서, 평편형 테스트 대상(2)의 경우에는, xy-평면에 수직인 축 주변의 임의의 목표된 지점에서 회전이 가능해진다. 이는 도 5를 참조하여서 설명된다.
회전식 테이블(4)의 추가 기울임 축(9)으로 인해서(이와 달리, 이는 검출기-조사 기하구조(detector-irradiation geometry)의 회전 운동을 통해서도 가능함), 그리고 z-축을 따라서 회전식 테이블(4)을 이동시키는 리프팅 디바이스(10)의 협력으로서, 테스트 대상(2)의 경우에, 관심 구역(11)로서 표현되는 임의의 목표된 지점에서, 임의의 목표된 위치에서의 축을 중심으로 하는 회전이 가능해진다. 편평하고 직사각형인 샘플이 회전식 테이블(4)의 중앙 상에서 테스트 대상(2)으로서 장착된다고 가정하면, 상술한 방법을 사용하여서, x-축을 따라서 그리고 z-축과 협력하면서, z-축을 중심으로 샘플의 임의의 지점을 회전시킬 있다. 추가의 기울임 축(9)과 함께, 추가의 회전 축이 형성되지만, 이제는 x 방향으로, 즉, 이제는 추가적으로 x-축을 중심으로 임의의 지점을 또한 회전시킬 수 있다. 이로써, 이제는 x 축 및 z 축을 중심으로 하는 모든 시야각들에서 샘플 내의 지점 주변의 관심 구역(11)에서의 검사를 수행하기 위한 최대 자유도가 존재하게 된다.
좌표 시스템의 임의의 목표된 배향은 원칙적으로 가능하다.
1: X-레이 소스
2: 테스트 대상
3: 검출기
4: 회전식 테이블
5: 회전 축
6: 포지셔닝 테이블
7: 팬 빔
8: 중앙 빔
9: 기울임 축
10: 리프팅 디바이스
11: 관심 구역

Claims (10)

  1. X-레이 검사 시스템에서 테스트 대상을 회전시키는 방법으로서, 상기 X-레이 검사 시스템은: y-축과 평행하게 진행하는 중앙 빔을 갖는 X-레이 소스; 검출기; 및 상기 X-레이 소스와 상기 검출기 사이에 배치되는 회전식 테이블을 포함하고,
    상기 회전식 테이블은,
    z-축을 정의하는 회전 축을 가지고, 상기 z-축을 중심으로 회전하도록 구성되며,
    x-축과 y-축에 대응하는 표면을 가지고 상기 표면 위에 테스트 대상이 고정될 수 있게 구성되며,
    포지셔닝 테이블 상에 배치되고, 상기 포지셔닝 테이블은 상기 X-레이 소스와 상기 검출기 사이의 xy-평면에 평행하게 움직일 수 있고, 상기 xy-평면은 xz-평면에 평행하게 연장하는 상기 검출기의 표면과는 수직이며;
    상기 방법은:
    상기 테스트 대상을 상기 회전식 테이블 상에 고정시키는 단계; 및
    상기 회전식 테이블을 상기 z-축을 중심으로 회전시키는 것과 동시에, 상기 포지셔닝 테이블을 상기 xy-평면에서 움직이는 단계;를 포함하고,
    상기 회전식 테이블의 회전 각 φ은 상기 포지셔닝 테이블의 x-위치 및 y-위치에 대하여 하기의 관계식:
    X = R × cos(φ - φ0)+ X0
    Y = R × sin(φ - φ0)+ Y0 을 가지며,
    X: x-축의 새로운 목표 값,
    X0: 가상 축 결합의 시작 시간에서의 x-축의 시작 값,
    Y: y-축의 새로운 목표 값,
    Y0: 가상 축 결합의 시작 시간에서의 y-축의 시작 값
    R: 회전 축과 새로운 가상 회전 축 간의 거리
    φ: 회전 축의 실제 각, 및
    φ0: 가상 축 결합의 시작 시간에서의 회전 축의 시작 값인, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  2. X-레이 검사 시스템에서 테스트 대상을 회전시키는 방법으로서, 상기 X-레이 검사 시스템은: y-축과 평행하게 진행하는 중앙 빔을 갖는 X-레이 소스; 검출기; 및 상기 X-레이 소스와 상기 검출기 사이에 배치되는 회전식 테이블을 포함하고,
    상기 회전식 테이블은,
    z-축을 정의하는 회전 축을 가지고, 상기 z-축을 중심으로 회전하도록 구성되며,
    x-축과 y-축에 대응하는 표면을 가지고 상기 표면 위에 테스트 대상이 고정될 수 있게 구성되며,
    포지셔닝 테이블 상에 배치되고, 상기 포지셔닝 테이블은 상기 X-레이 소스와 상기 검출기 사이의 xy-평면에 평행하게 움직일 수 있고, 상기 xy-평면은 xz-평면에 평행하게 연장하는 상기 검출기의 표면과는 수직이며;
    상기 방법은:
    상기 테스트 대상을 상기 회전식 테이블 상에 고정시키는 단계; 및
    상기 X-레이 소스를 상기 검출기와 함께 상기 테스트 대상을 중심으로 그리고 상기 z-축에 평행한 회전 축을 중심으로 회전시키는 것과 동시에, 상기 X-레이 소스를 상기 xy-평면에 평행하게 이동시키는 단계;를 포함하고,
    상기 회전식 테이블의 회전 각 φ은 상기 포지셔닝 테이블의 x-위치 및 y-위치에 대하여 하기의 관계식:
    X = R × cos(φ - φ0)+ X0
    Y = R × sin(φ - φ0)+ Y0 을 가지며,
    X: x-축의 새로운 목표 값,
    X0: 가상 축 결합의 시작 시간에서의 x-축의 시작 값,
    Y: 상기 y-축의 새로운 목표 값,
    Y0: 가상 축 결합의 시작 시간에서의 y-축의 시작 값
    R: 회전 축과 새로운 가상 회전 축 간의 거리
    φ: 회전 축의 실제 각, 및
    φ0: 가상 축 결합의 시작 시간에서의 회전 축의 시작 값인, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상술한 움직임들을 수행하기 이전에, 상기 회전식 테이블은 z-축을 따라 움직이고 x-축과 평행하게 연장된 기울임 축을 중심으로 기울어지며, 이로써 상기 테스트 대상 내에 놓인 관심 구역이 상술한 기울임 운동 및 병진 운동 이전 및 이후에 좌표 시스템에서 동일한 위치에 놓이게 되는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  4. 제2항에 있어서,
    상술한 움직임들을 수행하기 이전에, 상기 회전식 테이블은 z-축을 따라 움직이고 x-축과 평행하게 연장된 기울임 축을 중심으로 기울어지며, 이로써 상기 테스트 대상 내에 놓인 관심 구역이 상술한 기울임 운동 및 병진 운동 이전 및 이후에 좌표 시스템에서 동일한 위치에 놓이게 되는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 회전식 테이블을 상기 z-축을 따라서 이동시키는 단계를 더 포함하는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 xy-평면에 평행하게 연장하거나, 또는 상기 x-축에 평행하게 연장하는 기울임 축을 중심으로 상기 회전식 테이블을 기울이는 단계를 더 포함하는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 X-레이 소스는, 상기 검출기와 함께, 상기 회전식 테이블을 중심으로 회전하기, 상기 회전식 테이블에 대해 상기 xy-평면에 평행하게 이동하기, 상기 z-축에 평행하게 이동하기, 및 상기 xy-평면에 평행하게 연장하는 기울임 축을 중심으로 기울이기 중 적어도 하나를 수행하는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 회전식 테이블을 상기 z-축을 따라서 이동시키는 단계를 더 포함하는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 xy-평면에 평행하게 연장하거나, 또는 상기 x-축에 평행하게 연장하는 기울임 축을 중심으로 상기 회전식 테이블을 기울이는 단계를 더 포함하는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 X-레이 소스는, 상기 검출기와 함께, 상기 회전식 테이블을 중심으로 회전하기, 상기 회전식 테이블에 대해 상기 xy-평면에 평행하게 이동하기, 상기 z-축에 평행하게 이동하기, 및 상기 xy-평면에 평행하게 연장하는 기울임 축을 중심으로 기울이기 중 적어도 하나를 수행하는, 테스트 대상을 회전시키는 방법.
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