KR102204120B1 - 광학식 안전 센서 - Google Patents

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KR102204120B1
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light transmitting
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쇼우광 닝
도시유키 히구치
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오므론 가부시키가이샤
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Abstract

광학식 안전 센서를 저가로 실현한다.
광학식 안전 센서(1)는, 투광부(21) 및 수광부(22)를 구비한 복수의 투수광기(제1 투수광기(20A), 제2 투수광기(20B))와, 투광으로부터 수광까지 필요로 한 시간을 이용하여 거리를 측정하는 측거부(31)와, 측정 결과에 기초하여 복수의 투수광기 중 어느 하나에 발생하는 이상을 검지하는 검지부(32)를 구비하고, 복수의 투수광기가 구비하는 수광부 각각이, 모든 복수의 투수광기의 투광부로부터 투광된 광에 의한 반사광을 수광한다.

Description

광학식 안전 센서 {Optical safety sensor}
본 발명은, TOF 방식을 이용하여 물체까지의 거리를 측정하고, 이 거리의 변화로부터 감시 영역에 대한 물체의 침입을 검출하는 광학식 안전 센서에 관한 것이다.
광을 투광하고 나서 그 광에 대한 반사광을 수광하기까지의 시간을 이용하여, 광을 반사한 물체까지의 거리를 측정하는 TOF(Time of Flight) 방식을 이용한 센서가 알려져 있다. 또한, TOF 방식을 이용하여, 측정 결과의 변화로부터 감시 영역에 대한 물체의 침입을 검출하는 광학식 안전 센서가 알려져 있다(예를 들어, 유럽특허 제2315052B호 명세서). 그러나, TOF 방식을 이용한 광학식 안전 센서에 있어서 안전 기준을 만족시키려면, 테스트 타겟을 설정하는 등의 구성이 필요하였다. 예를 들어, 선행문헌 1에는, 감시 영역에 대한 물체의 침입을 검출하기 위한 광 송신기 및 수광기와 별도의, 안전 관련의 셀프 테스트를 실행하기 위한 기준 광 송신기 및 기준 수광기를 구비하는 구성이 개시되어 있다.
특허문헌 1: 미국특허 제2016/0327649A1호 명세서(2016년 11월 10일 공개)
그러나, 특허문헌 1에 있어서 기준 광 송신기 및 기준 수광기는 셀프 테스트 전용의 구성이며, 감시 영역에 대한 감시에는 이용되지 않아 고비용의 요인이 되었다. 또한, 셀프 테스트 전용의 기준 광 송신기 및 기준 수광기를 이용하지 않고, 감시 영역을 감시하는 광학식 안전 센서를 단순하게 이중화하는 구성을 생각할 수 있다. 이 구성에 의하면, 어느 하나의 센서가 고장나도 감시를 계속하는 것이 가능해지지만, 이상이 발생한 경우에 구체적인 이상 개소를 특정할 수 없다는 문제가 있다.
본 발명의 일 태양은, 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 광학식 안전 센서를 저가로 실현하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 전술한 과제를 해결하기 위해 이하의 구성을 채용한다.
즉, 본 발명의 일 측면에 관한 광학식 안전 센서는, 감시 영역에 광을 투광하는 투광부와, 상기 감시 영역으로부터의 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 복수의 투수광기; 상기 투광으로부터 상기 수광까지 필요로 한 시간을 이용하여, 상기 감시 영역 내의 대상물까지의 거리를 측정하는 복수의 측거부; 및 상기 측거부에 의한 측정 결과에 기초하여 상기 복수의 투수광기 중 어느 하나에 발생하는 이상을 검지하는 복수의 검지부;를 구비하고, 하나의 투수광기는 대응하는 하나의 측거부 및 하나의 검지부와 하나의 세트를 이루며, 상기 복수의 투수광기가 구비하는 상기 수광부 각각이, 모든 상기 복수의 투수광기의 상기 투광부로부터 투광된 광에 의한 상기 반사광을 수광한다.
상기 구성에 의하면, 광학식 안전 센서는, 복수의 투수광기에 의해 감시 영역 내의 대상물까지의 거리를 측정하므로, 어느 하나의 투수광기에 결함이 발생한 경우에서도 정상적인 감시를 계속할 수 있다. 또한, 각각의 투수광기에 의한 거리 측정 결과를 비교함으로써, 어느 하나의 투수광기에 결함이 발생하는 경우에 이를 검지할 수 있다. 또한, TOF 방식으로 동작하는 시판의 모듈을 투수광기로서 사용할 수 있으므로, 셀프 테스트 전용의 기준 투광기 및 기준 수광기를 이용한 특허문헌 1에 기재된 구성에 비해, 광학식 안전 센서를 저가로 실현할 수 있다.
나아가 하나의 투수광기로부터의 투광을 그 밖의 투수광기에서 수광하는 것이 가능해지므로, 결함 발생시에 각각의 투수광기의 투광부 및 수광부를 진단하여 이상 개소를 특정할 수 있다.
상기 일 측면에 관한 광학식 안전 센서에 있어서, 상기 복수의 투수광기로 이루어지는 그룹과는 다른 복수의 투수광기로 이루어지는 그룹을 하나 이상 더 구비하고, 각 그룹의 대상이 되는 감시 영역이 다르며, 상기 측거부가 상기 각 그룹을 순차적으로 전환하여 상기 거리의 측정을 행함과 아울러, 상기 검지부가 상기 각 그룹을 순차적으로 전환하여 상기 이상의 검지를 행해도 된다. 이 구성에 의하면, 감시 영역이 다른 복수의 그룹에 포함되는 투수광기의 이상 진단을, 하나의 측거부 및 검지부에 의해 거리 측정 및 이상 진단을 행할 수 있다. 따라서, 측거부 및 검지부를 공유함으로써 설비 비용을 낮게 억제한 채로 보다 넓은 영역을 안전하게 감시할 수 있다.
상기 일 측면에 관한 광학식 안전 센서에 있어서, 상기 검지부가, 상기 복수의 투수광기 중 하나의 투수광기인 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 투수광기와는 다른 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기 및 상기 제2 투수광기 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정해도 된다. 이 구성에 의하면, 제1 투수광기 및 제2 투수광기에서의 투광으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리를 비교함으로써 제1 투수광기 및 제2 투수광기 중 어느 하나에 이상이 발생하였는지 여부를 판정할 수 있다.
상기 일 측면에 관한 광학식 안전 센서에 있어서, 상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 투광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정하는 구성으로 해도 된다. 이 구성에 의하면, 제1 투수광기의 투광부 및 제2 투수광기의 투광부 중 적어도 어느 하나에 이상이 발생하였는지 여부를, 서로 다른 복수의 투광부가 각각 행한 투광을 특정의 수광부가 수광하기까지의 시간에 기초한 측정 거리를 비교함으로써 판정할 수 있다.
상기 일 측면에 관한 광학식 안전 센서에 있어서, 상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 투광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한 경우에, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 이상이 발생하였다고 판정하고, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 이상이 발생하였다고 판정해도 된다. 이 구성에 의하면, 시간을 둔 2개의 투광 각각으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리의 차를 이용하여, 제1 투수광기의 투광부에서의 이상 유무 및 제2 투수광기의 투광부에서의 이상 유무를 개별적으로 판정할 수 있다.
상기 일 측면에 관한 광학식 안전 센서에 있어서, 상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 수광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정해도 된다. 이 구성에 의하면, 제1 투수광기의 수광부 및 제2 투수광기의 수광부 중 적어도 어느 하나에 이상이 발생하였는지 여부를, 특정 투광부의 투광을 서로 다른 복수의 수광부에서 각각 수광하기까지의 시간에 기초한 측정 거리를 비교함으로써 판정할 수 있다.
상기 일 측면에 관한 광학식 안전 센서에 있어서, 상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 수광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한 경우에, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 이상이 발생하였다고 판정하고, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 이상이 발생하였다고 판정해도 된다. 이 구성에 의하면, 시간을 둔 2개의 투광 각각으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리의 차를 이용하여, 제1 투수광기의 수광부에서의 이상 유무 및 제2 투수광기의 수광부에서의 이상 유무를 각각 판정할 수 있다.
상기 일 측면에 관한 광학식 안전 센서에 있어서, 상기 제1 투수광기와 하나의 세트를 이루는 검지부에서의 검지 결과를 상기 제2 투수광기와 하나의 세트를 이루는 다른 검지부에서의 검지 결과와 서로 비교하여, 검지 결과가 서로 다른 경우는 에러를 출력해도 된다. 이 구성에 의하면, 제1 투수광기의 검지 결과와 제2 투수광기의 검지 결과를 서로 비교할 수 있다. 검지 결과가 서로 다른 경우는, 적어도 어느 하나의 검지 결과에 이상이 발생하였다고 생각되기 때문에, 이러한 경우는 에러를 출력함으로써, 이상 유무를 보다 고정밀도로 판정할 수 있다.
본 발명의 일 태양에 의하면, 광학식 안전 센서를 저가로 실현할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시형태 1에 관한 광학식 안전 센서의 주요부 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 2는, 본 발명의 적용예에 관한 광학식 안전 센서의 적용 장면의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 3은, 본 발명의 실시형태 1에 관한 광학식 안전 센서(1)에 있어서 제1 투수광기가 이상 진단시에 행하는 투광 제어의 일례를 나타내는 타임 차트로서, (a)는 제1 시각(T=0)에서 투광을 개시한 것을 나타내고, (b)는 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 다음 투광을 개시한 것을 나타낸다.
도 4는, 본 발명의 실시형태 1에 관한 광학식 안전 센서가 실행하는 진단 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 5는, 본 발명의 실시형태 1에 관한 광학식 안전 센서가 이상 진단 처리에서 실행하는 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 6은, 본 발명의 실시형태 1에 관한 광학식 안전 센서가 투광부 진단 처리에서 실행하는 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 7은, 본 발명의 실시형태 1에 관한 광학식 안전 센서가 수광부 진단 처리에서 실행하는 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
§1 적용예
우선, 도 2를 이용하여, 본 발명이 적용되는 장면의 일례에 대해 설명한다. 도 2는, 본 실시형태에 관한 광학식 안전 센서(1)의 적용 장면의 일례를 모식적으로 예시한다. 본 실시형태에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 로봇 아암(100)이 작업하는 작업 범위를 포함한 영역을 감시 영역으로 하고, 이 감시 영역에 침입한 사용자가 상기 로봇 아암(100)과 충돌하는 것을 회피시키기 위해 이용된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 광학식 안전 센서(1)는 로봇 아암(100)의 작업 범위를 포함한 영역을 감시 영역으로서 감시한다. 광학식 안전 센서(1)는, TOF 방식을 이용하여 측정한 거리의 변화로부터 감시 영역 내에 물체가 침입하였음을 검출하면, 검출 결과를 로봇 아암(100)에 송신한다. 로봇 아암(100)은, 광학식 안전 센서(1)로부터 검출 결과를 수신하면, 물체가 충돌하지 않도록 자신의 동작을 감속 또는 정지시킨다.
광학식 안전 센서(1)는, 동일한 감시 영역에 광을 투광하고, 이 감시 영역으로부터의 반사광을 수광하는 적어도 2개의 투수광기를 구비한다. 광학식 안전 센서(1)는, 적어도 2개의 투수광기 중에서 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)가 각각 산출한, 감시 영역까지의 거리에 기초하여 이상 유무를 판정한다. 광학식 안전 센서(1)는, 이상이 발생하였다고 판정한 경우는 이상 내용의 진단을 행한다. 구체적으로, 광학식 안전 센서(1)는, 일정 시간의 경과 후에 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B) 중 적어도 어느 하나로부터 다음 투광을 실행하고, 이 다음 투광 및 그 반사광의 수광으로부터 측정한 감시 영역까지의 거리에 기초하여 이상 개소를 특정한다. 광학식 안전 센서(1)는, 진단 결과를 로봇 아암(100)에 송신하고, 이 로봇 아암(100)은 진단 결과에 따른 동작을 행한다. 예를 들어, 특정된 광학식 안전 센서(1)의 이상 개소에 대해, 로봇 아암(100)의 조작 패널 등의 출력 장치를 이용하여 출력해도 된다.
광학식 안전 센서(1)는, 적어도 2개의 투수광기를 이용하여 감시 영역 및 이 감시 영역에 침입한 물체까지의 거리를 TOF 방식으로 측정할 수 있다. 그리고, 광학식 안전 센서(1)에서는, 제1 투수광기(20A)와 제2 투수광기(20B)의 사이에서 투광과 수광을 분담하여 실행할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 각 투수광기에서의 투광 및 수광에 이상이 있는지 여부를 체크하고, 이상이 발생한 경우는 그 이상이 발생한 개소를 특정할 수 있다. 또한, TOF 방식으로 동작하는 시판의 모듈을 투수광기로서 사용할 수 있으므로, 셀프 테스트 전용의 기준 투광기 및 기준 수광기를 이용한 특허문헌 1에 기재된 구성에 비해, 광학식 안전 센서(1)를 저가로 실현할 수 있다. 따라서, 투수광기의 이상에 따라 감시 영역에 대한 감시에 이상이 발생하는 것을 억제한, 저가이고 안전성이 높은 광학식 안전 센서(1)를 실현할 수 있다.
§2 구성예
이하, 본 발명의 일 실시형태에 대해 도 1, 도 3~도 7을 이용하여 상세하게 설명한다.
(광학식 안전 센서의 구성)
본 발명의 일 태양에 관한 광학식 안전 센서(1)의 개요 및 구성에 대해, 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은, 광학식 안전 센서(1)의 주요부 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 광학식 안전 센서(1)는, 제1 출력부(10A), 제2 출력부(10B), 제1 투수광기(20A), 제2 투수광기(20B), 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)을 구비한다. 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)는 동일한 투광부(21) 및 수광부(22)를 구비하고, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은 동일한 측거부(31) 및 검지부(32)를 구비한다. 또, 광학식 안전 센서(1)에 있어서, 하나의 투수광기는, 대응하는 평가 유닛 및 출력부와 하나의 세트를 이룬다. 도시된 예에서는, 제1 투수광기(20A)는 제1 평가 유닛(30A) 및 제1 출력부(10A)와 하나의 세트를 이루고, 제2 투수광기(20B)는 제2 평가 유닛(30B) 및 제2 출력부(10B)와 하나의 세트를 이룬다.
광학식 안전 센서(1)는, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)의 지시에 따라 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)를 동작시킬 수 있다. 광학식 안전 센서(1)는, 예를 들어 도 2에 도시된 로봇 아암(100)의 일부로서 그 로봇 아암(100)에 장착되어 동작한다.
제1 출력부(10A)는 제1 평가 유닛(30A)으로부터 수신한 정보를 출력하고, 제2 출력부(10B)는 제2 평가 유닛(30B)으로부터 수신한 정보를 출력한다. 예를 들어, 제1 출력부(10A)는, 제1 평가 유닛(30A)이 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B) 중 적어도 어느 하나에 대해 행한 이상 진단의 진단 결과를 그 제1 평가 유닛(30A)으로부터 취득하여 외부에 출력한다. 또, 제1 출력부(10A) 및 제2 출력부(10B)는, 각 평가 유닛으로부터 수신한 정보의 내용을 LED의 점멸 등에 의해 통지하는 인디케이터이어도 된다.
제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)는, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)의 지시에 따라 동작하는 모듈이다. 구체적으로, 투광부(21)로부터 감시 영역에 대해 광을 투광하고, 수광부(22)에서 감시 영역에서 반사된 반사광을 수광한다. 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)는, 자신이 행한 투광 및 수광에 관한 정보를 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)으로 송신한다. 도시된 예에 있어서, 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)는 동일한 투광부(21) 및 수광부(22)를 구비하는 구성이지만, 서로 다른 투광부와 수광부를 구비하는 구성이어도 된다.
도시된 예에 있어서, 제1 투수광기(20A)가 투광부(21)를 이용하여 감시 영역에 투광한 광을 TA로 하고, 수광부(22)를 이용하여 감시 영역으로부터 수광한 반사광을 RA로 한다. 마찬가지로 제2 투수광기(20B)가 투광부(21)를 이용하여 감시 영역에 투광한 광을 TB로 하고, 수광부(22)를 이용하여 감시 영역으로부터 수광한 반사광을 RB로 한다. 또, RA에는 TB에 대한 반사광이 포함되고, 마찬가지로 RB에는 TA에 대한 반사광이 포함될 가능성이 있는 것에 주의한다.
제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, 광학식 안전 센서(1)의 각 부를 통괄하여 제어한다. 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B) 각각은, 측거부(31)를 이용하여, 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)를 동작시켜 얻어진 데이터로부터 광학식 안전 센서(1)로부터 감시 영역까지의 측정 거리를 산출(측정)한다. 그리고, 측정 결과에 기초하여 검지부(32)에 의한 이상 진단을 행한다. 또한, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, 필요에 따라 정보를 송수신할 수 있다. 예를 들어, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)의 투광에 대한 반사광을 제2 투수광기(20B)의 수광부(22)가 수광한 경우, 제1 평가 유닛(30A)이 제2 평가 유닛(30B)으로부터 제2 투수광기(20B)의 수광에 관한 정보를 취득해도 된다. 반대로, 제2 평가 유닛(30B)이 제1 평가 유닛(30A)으로부터 제1 투수광기(20A)의 투광에 관한 정보를 취득해도 된다. 그리고, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, 제1 투수광기(20A)와 하나의 세트를 이루는 검지부(32)에서의 검지 결과(진단 결과)를 제2 투수광기(20B)와 하나의 세트를 이루는 검지부(32)에서의 검지 결과와 서로 비교한다. 즉, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, 하나의 투광과 수광의 조합에 대해 동일한 이상 진단을 행하고, 진단 결과를 비교함으로써 평가 유닛에서의 고장 유무를 판정한다. 서로 비교에 있어서 진단 결과가 동일하면, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, 제1 출력부(10A) 및 제2 출력부(10B) 각각에 진단 결과를 송신하고 출력시킨다. 한편, 진단 결과가 서로 다른 경우는, 제1 출력부(10A) 및 제2 출력부(10B) 각각에 에러를 송신하고 출력시킨다.
측거부(31)는, 투광으로부터 수광까지 필요로 한 시간을 이용하여, 감시 영역 내의 대상물까지의 거리를 측정한다. 구체적으로, 측거부(31)는 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B) 중 적어도 어느 하나로부터 투광 및 수광에 관한 정보를 수신하면, 수신한 정보를 이용하여 광학식 안전 센서(1)로부터 감시 영역까지의 측정 거리를 산출한다. 또, 측거부(31)는, 자신을 포함한 평가 유닛과는 다른 평가 유닛을 통해 투광 및 수광에 관한 정보를 수신해도 된다. 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)가 광(TA)을 투광하고, 이 투광에 대한 반사광(RA)을 제1 투수광기(20A)의 수광부(22)가 수신한 경우를 생각한다. 이 경우, 측거부(31)는, 광(TA)의 투광의 개시 시각으로부터 반사광(RA)의 수광의 개시 시각까지의 시간(t)과 광속(c)을 이용하여, 광학식 안전 센서(1)로부터 감시 영역까지의 거리(S)를 산출한다. 또, 이하의 설명에 있어서,
S=R(T)
는, 광(T)의 투광의 개시 시각과 반사광(R)의 수광의 개시 시각을 이용하여 산출한, 광학식 안전 센서(1)로부터 감시 영역까지의 거리를 나타내는 것으로 한다. 즉, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)가 광(TA)을 투광하고, 이 투광에 대한 반사광(RA)을 제1 투수광기(20A)의 수광부(22)가 수신한 경우에 측거부(31)는,
S=RA(TA)
를 산출한다. 또한, 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)와 제2 평가 유닛(30B)의 측거부(31)는, 하나의 투광과 수광의 조합에 대해 각각 측정 거리를 산출한다. 그리고, 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는 이 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)에 산출한 거리를 송신하고, 제2 평가 유닛(30B)의 측거부(31)는 이 제2 평가 유닛(30B)의 검지부(32)에 산출한 거리를 송신한다.
검지부(32)는, 측거부(31)에 의한 측정 결과에 기초하여 제1 투수광기(20A) 또는 제2 투수광기(20B) 중 어느 하나에 발생하는 이상을 검지한다. 보다 구체적으로 검지부(32)는, 제1 투수광기(20A)가 구비하는 투광부(21) 및 수광부(22)와, 제2 투수광기(20B)가 구비하는 투광부(21) 및 수광부(22)를 다양하게 조합하여 측거부(31)가 측정한 복수의 거리를 비교하여 이상의 검지를 행한다. 또, 복수의 거리 비교는, 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)와 제2 평가 유닛(30B)의 검지부(32) 양쪽에서 각각 행한다.
(투광 타이밍의 제어에 의한 이상 진단)
본 실시형태에 관한 광학식 안전 센서(1)가 투광 타이밍을 제어하여 이상 진단을 행하는 방법에 대해, 도 3을 이용하여 설명한다. 도 3은, 광학식 안전 센서(1)에 있어서 제1 투수광기(20A)가 이상 진단시에 행하는 투광 제어의 일례를 나타내는 타임 차트이다. 도 3의 (a)는 제1 시각(T=0)에서 투광을 개시한 것을 나타내고, 도 3의 (b)는 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 다음 투광을 개시한 것을 나타낸다.
도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 투수광기(20A)는 투광부(21)를 이용하여 제1 시각(T=0)에서 투광 신호에 기초한 투광을 개시한다. 투광과 동시에, 제1 투수광기(20A)는 수광부(22)를 이용하여 투광에 대한 반사광을 수광하고, 수광 신호로서 검출한다. 광학식 안전 센서(1)와 감시 영역 사이의 거리에 따라, 수광 신호를 검출하기 시작하는 타이밍은 제1 시각(T=0)으로부터 지연된다. 도시된 예에 있어서, 제1 투수광기(20A)의 수광부(22)는 시각(T=t1)으로부터 수광을 개시한다. 광학식 안전 센서(1)는, 측거부(31)에서, 투광을 개시한 제1 시각(T=0)으로부터 그 투광에 대한 반사광을 수광 신호로서 처음으로 검출한 시각(T=t1)까지의 시간에 기초하여, 광학식 안전 센서(1)와 감시 영역 사이의 거리(S1)를 산출한다.
도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 도 3의 (a) 후, 제1 투수광기(20A)는 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 투광부(21)를 이용하여 투광 신호에 기초한 투광을 개시한다. ΔT는, 광의 비행 시간에 대해 매우 작은 값인 것이 적합하며, 예를 들어 수나노초이어도 된다. 도 3의 (b)에서는, 도 3의 (a)에 대해 투광의 개시 시각이 변화하므로, 수광의 개시 시각도 시각(T=t2)으로 변화한다. 광학식 안전 센서(1)는, 측거부(31)에서, 제1 시각(T=0)으로부터 투광에 대한 반사광을 수광 신호로서 처음으로 검출한 시각(T=t2)까지의 시간에 기초하여, 광학식 안전 센서(1)와 감시 영역 사이의 거리(S2)를 산출한다.
그 후, 광학식 안전 센서(1)의 검지부(32)는, 거리(S1)와 거리(S2) 간의 차가 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 동일한지 여부를 판정하고, 동일한 경우는 제1 투수광기(20A)의 투광부(21) 및 수광부(22)에 이상이 발생하지 않았다고 판정한다. 즉 검지부(32)는, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21) 및 수광부(22) 중 어느 하나에 이상이 발생한 경우는, 이 이상에 따라 거리(S1)와 거리(S2) 간의 차가 시간(ΔT)에 기초한 이론상의 거리차(ΔS)와 일치하지 않게 되는 것을 이용하여 판정을 행한다.
또, 전술한 설명에서는 제1 투수광기(20A)의 투광부(21) 및 수광부(22)를 이용하였지만, 투광부(21)와 수광부(22)는 어떠한 조합이어도 되는 것은 물론이다. 광학식 안전 센서(1)는, 전술한 방법을 투광부(21) 및 수광부(22)에 관한 어느 하나의 조합에 대해 적용하고, 이상이 발생한 개소를 특정한다.
(진단 처리의 흐름)
본 실시형태에 관한 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 진단 처리의 흐름에 대해, 도 4를 이용하여 설명한다. 도 4는, 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 진단 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
우선, 제1 평가 유닛(30A)이 제1 투수광기(20A)에 투광을 지시한다. 지시를 받은 제1 투수광기(20A)는, 투광부(21)를 이용하여 광(TA)을 감시 영역에 대해 투광하고, 이 투광에 대한 반사광(RA)을 수광부(22)에서 수광한다. 제1 투수광기(20A)는, 투광의 개시 시각 및 수광의 개시 시각을 포함한 데이터를 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)로 송신한다. 측거부(31)는, 제1 투수광기(20A)로부터 데이터를 수신하면, 이 제1 투수광기(20A)가 투광을 개시하고 나서 수광하기까지 필요로 한 시간을 이용하여 거리(RA(TA))를 산출한다(S1). 측거부(31)는, 산출한 거리(RA(TA))를 검지부(32)에 송신한다.
다음에, 제2 평가 유닛(30B)이 제2 투수광기(20B)에 투광을 지시한다. 지시를 받은 제2 투수광기(20B)는, 투광부(21)를 이용하여 광(TB)을 감시 영역에 대해 투광하고, 이 투광에 대한 반사광(RB)을 수광부(22)에서 수광한다. 제2 투수광기(20B)는, 투광의 개시 시각 및 수광의 개시 시각을 포함한 데이터를 제2 평가 유닛(30B)의 측거부(31)로 송신한다. 측거부(31)는, 제2 투수광기(20B)로부터 데이터를 수신하면, 이 제2 투수광기(20B)가 투광을 개시하고 나서 수광하기까지 필요로 한 시간을 이용하여 거리(RB(TB))를 산출한다(S2). 측거부(31)는, 산출한 거리(RB(TB))를 검지부(32)에 송신한다.
그 후, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)의 검지부(32)는, 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)가 산출한 거리(RA(TA))가, 제2 평가 유닛(30B)의 측거부(31)가 산출한 거리(RB(TB))와 동일한지 여부를 판정한다(S3). 동일하다고 판정한 경우(S3에서 YES), 검지부(32)는 감시 영역에 대한 감시는 문제 없다고 판정한다. 그 후, 광학식 안전 센서(1)는 일련의 처리를 종료한다.
한편, S3에서 거리(RA(TA))가 거리(RB(TB))와 동일하지 않다고 판정한 경우(S3에서 NO), 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)의 검지부(32)는 에러를 출력한다(S4). 그리고, 광학식 안전 센서(1)는, 후술하는 이상 진단 처리를 실행한다(S5). 이상 진단 처리를 실행한 후, 광학식 안전 센서(1)는 일련의 처리를 종료한다.
(이상 진단 처리)
본 실시형태에 관한 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 이상 진단 처리의 흐름에 대해, 도 5를 이용하여 설명한다. 도 5는, 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 이상 진단 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
우선, 광학식 안전 센서(1)는, 후술하는 투광부 진단 처리를 실행하여, 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B) 각각이 구비하는 투광부(21)에 이상이 발생하였는지 여부를 진단한다(S11).
그 후, 광학식 안전 센서(1)는, 후술하는 수광부 진단 처리를 실행하여, 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B) 각각이 구비하는 수광부(22)에 이상이 발생하였는지 여부를 진단한다(S12).
그리고, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)의 검지부(32)는, 투광부 진단 처리(S11) 및 수광부 진단 처리(S12) 각각에서의 진단 결과를 모은다. 그 후, 검지부(32)는 모은 결과를 제1 출력부(10A) 및 제2 출력부(10B)에 출력한다(S13). 그 후, 처리는 이상 진단 처리의 호출원으로 천이한다.
(투광부 진단 처리)
본 실시형태에 관한 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 투광부 진단 처리의 흐름에 대해, 도 6을 이용하여 설명한다. 도 6은, 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 투광부 진단 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
우선, 도 4의 S1과 동일한 처리를 실행하여, 거리(RA(TA))를 산출한다. 즉, 제1 평가 유닛(30A)으로부터 투광 지시를 받은 제1 투수광기(20A)는, 광(TA)을 투광하고, 이 투광에 대한 반사광(RA)을 수광한다. 제1 투수광기(20A)는, 투광의 개시 시각 및 수광의 개시 시각을 포함한 데이터를 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)로 송신한다. 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, 제1 투수광기(20A)로부터 데이터를 수신하면, 이 제1 투수광기(20A)가 투광을 개시하고 나서 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RA(TA))를 산출한다(S21).
다음에, 제2 평가 유닛(30B)이 제2 투수광기(20B)에 투광을 지시한다. 지시를 받은 제2 투수광기(20B)는, 광(TB)을 감시 영역에 대해 투광한다. 그리고, 제1 투수광기(20A)가 수광부(22)에서 반사광(RA)을 수광한다. 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, 제2 평가 유닛(30B)을 통해 제2 투수광기(20B)로부터 투광의 개시 시각을 취득하고, 제1 투수광기(20A)로부터 수광의 개시 시각을 취득한다. 그 후, 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, 제2 투수광기(20B)의 투광부(21)에 의한 광(TB)의 투광으로부터, 제1 투수광기(20A)의 수광부(22)에 의한 반사광(RA)의 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RA(TB))를 산출한다(S22).
S22 후, 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)는, S21에서 산출한 거리(RA(TA))가 S22에서 산출한 거리(RA(TB))와 일치하는지 여부를 판정한다(S23). 일치한다고 판정한 경우(S23에서 YES), 검지부(32)는, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21) 및 제2 투수광기(20B)의 투광부(21)에 이상이 발생하지 않았다고 판정한다. 그 후, 처리는 S30으로 진행된다.
한편, S23에서 거리(RA(TA))가 거리(RA(TB))와 일치하지 않는다고 판정한 경우(S23에서 NO), 검지부(32)는, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21) 및 제2 투수광기(20B)의 투광부(21) 중 적어도 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한다. 그리고, 제1 평가 유닛(30A)은, S21에서 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)가 투광을 개시한 시각을 제1 시각(T=0)으로 하고, 이 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 제1 투수광기(20A)에 다시 투광을 개시하도록 지시한다. 지시를 받은 제1 투수광기(20A)는, 광(TA)을 감시 영역에 대해 투광한다. 그리고, 제1 투수광기(20A)가 수광부(22)에서 반사광(RA)을 수광한다. 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, 제1 시각(T=0)으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RA(TA))를 산출한다(S24).
그 후, 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)는, S21에서 산출한 거리(RA(TA))와, 시간(ΔT) 후의 투광을 이용하여 산출한 측정 거리(RA(TA))의 차(RA(ΔT))가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 일치하는지 여부를 판정한다(S25). RA(ΔT)의 산출은, 도 3을 이용하여 설명한 방법에 따라 행한다. RA(ΔT)가 ΔS와 일치한다고 판정한 경우(S25에서 YES), 검지부(32)는 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)에 이상이 발생하지 않았다고 판정하고, 처리는 S27로 진행된다. 한편, RA(ΔT)가 ΔS와 일치하지 않는다고 판정한 경우(S25에서 NO), 검지부(32)는 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)에 이상이 발생하였다고 판정한다(S26). 그 후, 처리는 S27로 진행된다.
S27에서, 제2 평가 유닛(30B)은, S22에서 제2 투수광기(20B)의 투광부(21)가 투광을 개시한 시각을 제1 시각(T=0)으로 하고, 이 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 제2 투수광기(20B)에 다시 투광을 개시하도록 지시한다. 지시를 받은 제2 투수광기(20B)는, 광(TB)을 감시 영역에 대해 투광한다. 그리고, 제1 투수광기(20A)가 수광부(22)에서 반사광(RA)을 수광한다. 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, S22와 같이 하여 제2 투수광기(20B)가 시간(ΔT) 후에 투광을 개시하고 나서 제1 투수광기(20A)가 수광하기까지의 시간에 기초한 측정 거리(RA(TB))를 산출한다(S27).
그 후, 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)는, S22에서 산출한 거리(RA(TB))와, 시간(ΔT) 후의 투광으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RA(TB))의 차(RA(ΔT))가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 일치하는지 여부를 판정한다(S28). RA(ΔT)가 ΔS와 일치한다고 판정한 경우(S28에서 YES), 검지부(32)는 제2 투수광기(20B)의 투광부(21)에 이상이 발생하지 않았다고 판정한다. 그 후, 광학식 안전 센서(1)는 투광부 진단 처리를 종료하고, 지금까지의 진단 결과를 가지고 이 투광부 진단 처리의 호출원으로 천이한다. 한편, RA(ΔT)가 ΔS와 일치하지 않는다고 판정한 경우(S28에서 NO), 검지부(32)는 제2 투수광기(20B)의 투광부(21)에 이상이 발생하였다고 판정한다(S29). 그 후, 처리는 S30으로 진행된다.
S30에서, 제2 평가 유닛(30B)은, 제1 평가 유닛(30A)이 S21~S29에서 실행한 내용과 동일한 처리를 실행하여, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21) 및 제2 투수광기(20B)의 투광부(21)에 대해 이상 진단을 행한다(S30). 즉, 제2 평가 유닛(30B)은 2개의 측정 거리(RA(TA) 및 RA(TB))를 산출하여 비교하고, 일치하지 않은 경우는 시간(ΔT) 후의 투광을 이용하여 산출한 측정 거리(RA(ΔT))를 거리차(ΔS)와 비교한다. 그리고, 비교 결과로부터 제2 평가 유닛(30B)은, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21) 및 제2 투수광기(20B)의 투광부(21)에 이상이 발생하였는지 여부를 판정한다. 그 후, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, S21~S29의 처리에 의해 제1 평가 유닛(30A)이 진단한 결과를, S30에서 제2 평가 유닛(30B)이 진단한 결과와 일치하는지 여부를 판정한다(S31). 일치한다고 판정한 경우(S31에서 YES), 광학식 안전 센서(1)는 투광부 진단 처리를 종료하고, 지금까지의 진단 결과를 가지고 이 투광부 진단 처리의 호출원으로 천이한다. 한편, 일치하지 않는다고 판정한 경우(S31에서 NO), 광학식 안전 센서(1)는 이상이 발생한 개소가 불명하다는 에러를 설정하고(S32), 투광부 진단 처리의 호출원으로 천이한다.
또, 제1 평가 유닛(30A)이 진단에 이용한 투수광과, 제2 평가 유닛(30B)이 진단에 이용한 투수광은 동일한 것이다. 다시 말하면, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, S21~S29의 처리 및 S30의 처리를 동일한 타이밍에 각각 실행한다. 그리고, S31에서 각각의 평가 유닛에서의 진단 결과를 비교한다. 이에 의해, 광학식 안전 센서(1)는, 평가 유닛이 하나인 구성보다 고정밀도로 투광부에 대한 이상 진단을 행할 수 있다.
(수광부 진단 처리)
본 실시형태에 관한 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 수광부 진단 처리의 흐름에 대해, 도 7을 이용하여 설명한다. 도 7은, 광학식 안전 센서(1)가 실행하는 수광부 진단 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다.
우선, 도 4의 S1과 동일한 처리를 실행하여, 거리(RA(TA))를 산출한다(S41). 다음에, 제1 평가 유닛(30A)이 제1 투수광기(20A)에 투광을 지시한다. 지시를 받은 제1 투수광기(20A)는, 광(TA)을 감시 영역에 대해 투광한다. 그리고, 제2 투수광기(20B)가 수광부(22)에서 반사광(RB)을 수광한다. 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, 제1 투수광기(20A)로부터 투광의 개시 시각을 취득하고, 제2 평가 유닛(30B)을 통해 제2 투수광기(20B)로부터 수광의 개시 시각을 취득한다. 그 후, 측거부(31)는, 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)에 의한 광(TA)의 투광으로부터, 제2 투수광기(20B)의 수광부(22)에 의한 반사광(RB)의 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RB(TA))를 산출한다(S42).
S42 후, 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)는, S41에서 산출한 거리(RA(TA))가 S42에서 산출한 거리(RB(TA))와 일치하는지 여부를 판정한다(S43). 일치한다고 판정한 경우(S43에서 YES), 검지부(32)는, 제1 투수광기(20A)의 수광부(22) 및 제2 투수광기(20B)의 수광부(22)에 이상이 발생하지 않았다고 판정한다. 그 후, 처리는 S50으로 진행된다.
한편, S43에서 거리(RA(TA))가 거리(RB(TA))와 일치하지 않는다고 판정한 경우(S43에서 NO), 검지부(32)는, 제1 투수광기(20A)의 수광부(22) 및 제2 투수광기(20B)의 수광부(22) 중 적어도 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한다. 그리고, 제1 평가 유닛(30A)은, S41에서 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)가 투광을 개시한 시각을 제1 시각(T=0)으로 하고, 이 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 제1 투수광기(20A)에 다시 투광을 개시하도록 지시한다. 지시를 받은 제1 투수광기(20A)는, 광(TA)을 감시 영역에 대해 투광한다. 그리고, 제1 투수광기(20A)가 수광부(22)에서 반사광(RA)을 수광한다. 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, 제1 투수광기(20A)가 시간(ΔT) 후에 투광을 개시하고 나서 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RA(TA))를 산출한다(S44).
그 후, 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)는, S41에서 산출한 거리(RA(TA))와, 시간(ΔT) 후의 투광으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RA(TA))의 차(RA(ΔT))가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 일치하는지 여부를 판정한다(S45). RA(ΔT)가 ΔS와 일치한다고 판정한 경우(S45에서 YES), 검지부(32)는 제1 투수광기(20A)의 수광부(22)에 이상이 발생하지 않았다고 판정하고, 처리는 S47로 진행된다. 한편, RA(ΔT)가 ΔS와 일치하지 않는다고 판정한 경우(S45에서 NO), 검지부(32)는 제1 투수광기(20A)의 수광부(22)에 이상이 발생하였다고 판정한다(S46). 그 후, 처리는 S47로 진행된다.
S47에서, 제1 평가 유닛(30A)은, S42에서 제1 투수광기(20A)의 투광부(21)가 투광을 개시한 시각을 제1 시각(T=0)으로 하고, 이 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 제1 투수광기(20A)에 다시 투광을 개시하도록 지시한다. 지시를 받은 제1 투수광기(20A)는, 광(TA)을 감시 영역에 대해 투광한다. 그리고, 제2 투수광기(20B)가 수광부(22)에서 반사광(RB)을 수광한다. 제1 평가 유닛(30A)의 측거부(31)는, 제1 투수광기(20A)가 시간(ΔT) 후에 투광을 개시하고 나서 제2 투수광기(20B)가 수광하기까지의 시간에 기초한 측정 거리(RB(TA))를 산출한다(S47).
그 후, 제1 평가 유닛(30A)의 검지부(32)는, S42에서 산출한 거리(RB(TA))와, 시간(ΔT) 후의 투광으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리(RB(TA))의 차(RB(ΔT))가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 일치하는지 여부를 판정한다(S48). RB(ΔT)가 ΔS와 일치한다고 판정한 경우(S48에서 YES), 검지부(32)는 제2 투수광기(20B)의 수광부(22)에 이상이 발생하지 않았다고 판정한다. 그 후, 처리는 S50으로 진행된다. 한편, RB(ΔT)가 ΔS와 일치하지 않는다고 판정한 경우(S48에서 NO), 검지부(32)는 제2 투수광기(20B)의 수광부(22)에 이상이 발생하였다고 판정한다(S49). 그 후, 처리는 S50으로 진행된다.
S50에서, 제2 평가 유닛(30B)은, 제1 평가 유닛(30A)이 S41~S49에서 실행한 내용과 동일한 처리를 실행하여, 제1 투수광기(20A)의 수광부(22) 및 제2 투수광기(20B)의 수광부(22)에 대해 이상 진단을 행한다(S50). 즉, 제2 평가 유닛(30B)은 2개의 측정 거리(RA(TA) 및 RB(TA))를 산출하여 비교하고, 일치하지 않은 경우는 시간(ΔT) 후의 투광을 이용하여 산출한 측정 거리(RA(ΔT))를 거리차(ΔS)와 비교한다. 그리고, 비교 결과로부터 제2 평가 유닛(30B)은, 제1 투수광기(20A)의 수광부(22) 및 제2 투수광기(20B)의 수광부(22)에 이상이 발생하였는지 여부를 판정한다. 그 후, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, S41~S49의 처리에 의해 제1 평가 유닛(30A)이 진단한 결과를, S50에서 제2 평가 유닛(30B)이 진단한 결과와 일치하는지 여부를 판정한다(S51). 일치한다고 판정한 경우(S51에서 YES), 광학식 안전 센서(1)는 수광부 진단 처리를 종료하고, 지금까지의 진단 결과를 가지고 이 수광부 진단 처리의 호출원으로 천이한다. 한편, 일치하지 않는다고 판정한 경우(S51에서 NO), 광학식 안전 센서(1)는 이상이 발생한 개소가 불명하다는 에러를 설정하고(S52), 투광부 진단 처리의 호출원으로 천이한다.
또, 제1 평가 유닛(30A)이 진단에 이용한 투수광과, 제2 평가 유닛(30B)이 진단에 이용한 투수광은 동일한 것이다. 다시 말하면, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, S41~S49의 처리 및 S50의 처리를 동일한 타이밍에 각각 실행한다. 그리고, S51에서 각각의 평가 유닛에서의 진단 결과를 비교한다. 이에 의해, 광학식 안전 센서(1)는, 평가 유닛이 하나인 구성보다 고정밀도로 수광부에 대한 이상 진단을 행할 수 있다.
이상의 처리에 의해, 광학식 안전 센서(1)는, 각각의 투수광기에 의한 거리 측정 결과를 비교함으로써, 어느 하나의 투수광기에 결함이 발생한 경우에 이를 검지할 수 있다. 또한, TOF 방식으로 동작하는 시판의 모듈을 투수광기로서 사용할 수 있으므로, 셀프 테스트 전용의 기준 투광기 및 기준 수광기를 이용한 특허문헌 1에 기재된 구성에 비해, 광학식 안전 센서를 저가로 실현할 수 있다.
나아가 하나의 투수광기로부터의 투광을 그 밖의 투수광기에서 수광하는 것이 가능해지므로, 결함 발생시에 각각의 투수광기의 투광부 및 수광부를 진단하여 이상 개소를 특정할 수 있다. 나아가 평가 유닛마다 이상 진단을 행한 결과를 비교하여, 진단 결과의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
〔변형예〕
상기 구성예에 있어서, 광학식 안전 센서(1)는 제1 투수광기(20A) 및 제2 투수광기(20B)로 이루어지는 하나의 그룹만을 구비하는 구성이었다. 그러나, 예를 들어 이 그룹과는 다른 복수의 투수광기로 이루어지고, 이 그룹이 감시하는 감시 영역과는 별도의 영역을 감시의 대상으로 하는 그룹을 하나 이상 더 구비하는 구성이어도 된다. 즉, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은 복수의 영역을 감시하기 위해 복수의 투수광기가 접속되어도 된다. 단, 제1 평가 유닛(30A)이 감시하는 복수의 영역 각각에 대해, 제2 평가 유닛(30B)도 감시 가능할 필요가 있다. 이 경우, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은, 동일한 영역을 감시하는 투수광기의 그룹을 순차적으로 전환하여 거리의 측정 및 이상 진단을 행한다. 구체적으로, 측거부(31)는 각 그룹을 순차적으로 전환하여 감시 영역마다 거리의 측정을 행해도 되고, 검지부(32)는 각 그룹을 순차적으로 전환하여 그룹마다 이상 검지를 행해도 된다. 그리고, 제1 평가 유닛(30A) 및 제2 평가 유닛(30B)은 제1 출력부(10A) 및 제2 출력부(10B)를 이용하여 측정 거리 등을 출력해도 된다.
〔정리〕
본 발명의 태양 1에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 감시 영역에 광을 투광하는 투광부(21)와, 상기 감시 영역으로부터의 반사광을 수광하는 수광부(22)를 구비한 복수의 투수광기(제1 투수광기(20A), 제2 투수광기(20B)); 상기 투광으로부터 상기 수광까지 필요로 한 시간을 이용하여, 상기 감시 영역 내의 대상물까지의 거리를 측정하는 복수의 측거부(31); 및 상기 측거부에 의한 측정 결과에 기초하여 상기 복수의 투수광기 중 어느 하나에 발생하는 이상을 검지하는 복수의 검지부(32);를 구비하고, 하나의 투수광기는 대응하는 하나의 측거부 및 하나의 검지부와 하나의 세트를 이루며, 상기 복수의 투수광기가 구비하는 상기 수광부 각각이, 모든 상기 복수의 투수광기의 상기 투광부로부터 투광된 광에 의한 상기 반사광을 수광하는 구성이다.
상기 구성에 의하면, 복수의 투수광기에 의해 감시 영역 내의 대상물까지의 거리를 측정하므로, 어느 하나의 투수광기에 결함이 발생한 경우에서도 정상적인 감시를 계속할 수 있다. 또한, 각각의 투수광기에 의한 거리 측정 결과를 비교함으로써, 어느 하나의 투수광기에 결함이 발생하는 경우에 이를 검지할 수 있다. 또한, TOF 방식으로 동작하는 시판의 모듈을 투수광기로서 사용할 수 있으므로, 셀프 테스트 전용의 기준 투광기 및 기준 수광기를 이용한 특허문헌 1에 기재된 구성에 비해, 광학식 안전 센서를 저가로 실현할 수 있다.
나아가 하나의 투수광기로부터의 투광을 그 밖의 투수광기에서 수광하는 것이 가능해지므로, 결함 발생시에 각각의 투수광기의 투광부 및 수광부를 진단하여 이상 개소를 특정할 수 있다.
본 발명의 태양 2에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 상기 태양 1에 있어서, 상기 복수의 투수광기(제1 투수광기(20A), 제2 투수광기(20B))로 이루어지는 그룹과는 다른 복수의 투수광기로 이루어지는 그룹을 하나 이상 더 구비하고, 각 그룹의 대상이 되는 감시 영역이 다르며, 상기 측거부(31)가 상기 각 그룹을 순차적으로 전환하여 상기 거리의 측정을 행함과 아울러, 상기 검지부(32)가 상기 각 그룹을 순차적으로 전환하여 상기 이상의 검지를 행하는 구성으로 해도 된다.
상기 구성에 의하면, 감시 영역이 다른 복수의 그룹에 포함되는 투수광기의 이상 진단을, 하나의 측거부 및 검지부에 의해 거리 측정 및 이상 진단을 행할 수 있다. 따라서, 측거부 및 검지부를 공유함으로써 설비 비용을 낮게 억제한 채로 보다 넓은 영역을 안전하게 감시할 수 있다.
본 발명의 태양 3에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 상기 태양 1 또는 2에 있어서, 상기 검지부(32)가, 상기 복수의 투수광기(제1 투수광기(20A), 제2 투수광기(20B)) 중 하나의 투수광기인 제1 투수광기(20A)의 상기 투광부(21)에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부(22)에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 투수광기와는 다른 제2 투수광기(20B)의 상기 투광부(21)에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부(22)에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기 및 상기 제2 투수광기 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정하는 구성으로 해도 된다.
상기 구성에 의하면, 제1 투수광기 및 제2 투수광기에서의 투광으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리를 비교함으로써 제1 투수광기 및 제2 투수광기 중 어느 하나에 이상이 발생하였는지 여부를 판정할 수 있다.
본 발명의 태양 4에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 상기 태양 3에 있어서, 상기 검지부(32)는, 상기 제1 투수광기(20A)의 상기 투광부(21)에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부(22)에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제2 투수광기(20B)의 상기 투광부(21)에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 투광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정하는 구성으로 해도 된다.
상기 구성에 의하면, 제1 투수광기의 투광부 및 제2 투수광기의 투광부 중 적어도 어느 하나에 이상이 발생하였는지 여부를, 서로 다른 복수의 투광부가 각각 행한 투광을 특정의 수광부가 수광하기까지의 시간에 기초한 측정 거리를 비교함으로써 판정할 수 있다.
본 발명의 태양 5에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 상기 태양 4에 있어서, 상기 제1 투수광기(20A)의 상기 투광부(21) 및 상기 제2 투수광기(20B)의 상기 투광부(21) 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한 경우에, 상기 검지부(32)는, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부(22)에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 이상이 발생하였다고 판정하고, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부(22)에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 이상이 발생하였다고 판정하는 구성으로 해도 된다.
상기 구성에 의하면, 시간을 둔 2개의 투광 각각으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리의 차를 이용하여, 제1 투수광기의 투광부에서의 이상 유무 및 제2 투수광기의 투광부에서의 이상 유무를 개별적으로 판정할 수 있다.
본 발명의 태양 6에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 상기 태양 3 내지 5 중 어느 하나에 있어서, 상기 검지부(32)는, 상기 제1 투수광기(20A)의 상기 투광부(21)에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부(22)에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기(20B)의 상기 수광부(22)에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 수광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정하는 구성으로 해도 된다.
상기 구성에 의하면, 제1 투수광기의 수광부 및 제2 투수광기의 수광부 중 적어도 어느 하나에 이상이 발생하였는지 여부를, 특정 투광부의 투광을 서로 다른 복수의 수광부에서 각각 수광하기까지의 시간에 기초한 측정 거리를 비교함으로써 판정할 수 있다.
본 발명의 태양 7에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 상기 태양 6에 있어서, 상기 검지부(32)는, 상기 제1 투수광기(20A)의 상기 수광부(22) 및 상기 제2 투수광기(20B)의 상기 수광부(22) 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한 경우에, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부(21)에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 이상이 발생하였다고 판정하고, 제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 이상이 발생하였다고 판정하는 구성으로 해도 된다.
상기 구성에 의하면, 시간을 둔 2개의 투광 각각으로부터 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리의 차를 이용하여, 제1 투수광기의 수광부에서의 이상 유무 및 제2 투수광기의 수광부에서의 이상 유무를 각각 판정할 수 있다.
본 발명의 태양 8에 관한 광학식 안전 센서(1)는, 상기 태양 3 내지 7 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 투수광기(20A)와 하나의 세트를 이루는 검지부(32)에서의 검지 결과를 상기 제2 투수광기(20B)와 하나의 세트를 이루는 다른 검지부(32)에서의 검지 결과와 서로 비교하여, 검지 결과가 서로 다른 경우는 에러를 출력하는 구성으로 해도 된다.
상기 구성에 의하면, 제1 투수광기의 검지 결과와 제2 투수광기의 검지 결과를 서로 비교할 수 있다. 검지 결과가 서로 다른 경우는, 적어도 어느 하나의 검지 결과에 이상이 발생하였다고 생각되기 때문에, 이러한 경우는 에러를 출력함으로써, 이상 유무를 보다 고정밀도로 판정할 수 있다.
〔소프트웨어에 의한 실현예〕
광학식 안전 센서(1)의 제어 블록(특히 측거부(31) 및 검지부(32))은, 집적 회로(IC칩) 등에 형성된 논리 회로(하드웨어)에 의해 실현해도 되고, 소프트웨어에 의해 실현해도 된다.
후자의 경우, 광학식 안전 센서(1)는, 각 기능을 실현하는 소프트웨어인 프로그램의 명령을 실행하는 컴퓨터를 구비한다. 이 컴퓨터는, 예를 들어 하나 이상의 프로세서를 구비함과 아울러, 상기 프로그램을 기억한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체를 구비한다. 그리고, 상기 컴퓨터에 있어서 상기 프로세서가 상기 프로그램을 상기 기록 매체로부터 판독하여 실행함으로써, 본 발명의 목적이 달성된다. 상기 프로세서로서는, 예를 들어 CPU(Central Processing Unit)를 이용할 수 있다. 상기 기록 매체로서는, 「일시적이 아닌 유형의 매체」, 예를 들어 ROM(Read Only Memory) 등 외에 테이프, 디스크, 카드, 반도체 메모리, 프로그래머블한 논리 회로 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기 프로그램을 전개하는 RAM(Random Access Memory) 등을 더 구비해도 된다. 또한, 상기 프로그램은, 그 프로그램을 전송 가능한 임의의 전송 매체(통신 네트워크나 방송파 등)를 통해 상기 컴퓨터에 공급되어도 된다. 또, 본 발명의 일 태양은, 상기 프로그램이 전자적인 전송에 의해 구현화된, 반송파에 매립된 데이터 신호의 형태로도 실현될 수 있다.
본 발명은 상술한 각 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 청구항에 나타낸 범위에서 여러 가지 변경이 가능하며, 다른 실시형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
1 광학식 안전 센서
20A 제1 투수광기(투수광부)
20B 제2 투수광기(투수광부)
21 투광부
22 수광부
31 측거부
32 검지부

Claims (8)

  1. 감시 영역에 광을 투광하는 투광부와, 상기 감시 영역으로부터의 반사광을 수광하는 수광부를 구비한 복수의 투수광기;
    상기 투광으로부터 상기 수광까지 소요되는 시간을 이용하여, 상기 감시 영역 내의 대상물까지의 거리를 측정하는 복수의 측거부; 및
    상기 측거부에 의한 측정 결과에 기초하여 상기 복수의 투수광기 중 어느 하나에 발생하는 이상을 검지하는 복수의 검지부;를 구비하고,
    하나의 투수광기는, 대응하는 하나의 측거부 및 하나의 검지부와 하나의 세트를 이루며,
    상기 복수의 투수광기가 구비하는 상기 수광부 각각이, 모든 상기 복수의 투수광기의 상기 투광부로부터 투광된 광에 의한 상기 반사광을 수광하며,
    상기 검지부가, 상기 복수의 투수광기 중 하나의 투수광기인 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 투수광기와는 다른 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기 및 상기 제2 투수광기 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정하며,
    상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 투광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정하고,
    상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 투광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한 경우에,
    제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 이상이 발생하였다고 판정하고,
    제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제2 투수광기의 상기 투광부에 이상이 발생하였다고 판정하는 것을 특징으로 하는 광학식 안전 센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 투수광기로 이루어지는 그룹과는 다른 복수의 투수광기로 이루어지는 그룹을 하나 이상 더 구비하고, 각 그룹의 대상이 되는 감시 영역이 다르며,
    상기 측거부가, 상기 각 그룹을 순차적으로 전환하여 상기 거리의 측정을 행함과 아울러,
    상기 검지부가, 상기 각 그룹을 순차적으로 전환하여 상기 이상의 검지를 행하는 것을 특징으로 하는 광학식 안전 센서.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리가 일치하지 않는 경우에, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 수광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정하는 것을 특징으로 하는 광학식 안전 센서.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 검지부는, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부 및 상기 제2 투수광기의 상기 수광부 중 어느 하나에 이상이 발생하였다고 판정한 경우에,
    제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제1 투수광기의 상기 수광부에 이상이 발생하였다고 판정하고,
    제1 시각(T=0)에 개시된 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 상기 투광으로부터, 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리와, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 시간(ΔT) 후에 상기 제1 투수광기의 상기 투광부에 의한 투광을 개시한 경우의, 상기 제1 시각(T=0)으로부터 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 의한 상기 수광까지의 시간에 기초한 측정 거리 간의 차가, 시간(ΔT)에 기초한 거리차(ΔS)와 다른 경우에 상기 제2 투수광기의 상기 수광부에 이상이 발생하였다고 판정하는 것을 특징으로 하는 광학식 안전 센서.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 투수광기와 하나의 세트를 이루는 검지부에서의 검지 결과를 상기 제2 투수광기와 하나의 세트를 이루는 다른 검지부에서의 검지 결과와 서로 비교하여, 검지 결과가 서로 다른 경우는 에러를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학식 안전 센서.
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