CN110261863B - 光学式安全传感器 - Google Patents

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Abstract

本发明经济地实现光学式安全传感器。本发明的光学式安全传感器(1)包括：具备光投射部(21)及光接收部(22)的多个光投射接收器(第一光投射接收器(20A)、第二光投射接收器(20B))、使用从光投射起到光接收为止所需要的时间而测定距离的测距部(31)、以及根据测定结果而侦测多个光投射接收器的任一个所产生的异常的侦测部(32)，多个光投射接收器所具备的光接收部各自接收从所有的多个光投射接收器的光投射部所投射的光的反射光。

Description

光学式安全传感器
技术领域
本发明涉及一种使用飞行时间(Time of Flight，TOF)方式测定距物体的距离，并根据此距离的变化来检测物体对监视区域的侵入的光学式安全传感器。
背景技术
使用TOF方式的传感器已为人所知，所述TOF方式使用从投射光起到接收对所述光的反射光为止的时间，测定距反射光的物体的距离。而且，使用TOF方式根据测距结果的变化来检测物体对监视区域的侵入的光学式安全传感器已为人所知(例如欧洲专利第2315052B号说明书)。但是，使用TOF方式的光学式安全传感器为了满足安全基准，需要设定测试目标(test target)的结构。例如，现有文献1中公开了下述结构，即：具备与用于检测物体对监视区域的侵入的光发送机及光接收器不同的、用于执行安全相关的自我测试(self-test)的基准光发送机及基准光接收器。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]美国专利第2016/0327649A1号说明书(2016年11月10日公开)
发明内容
[发明所要解决的问题]
但是，专利文献1中，基准光发送机及基准光接收器是自我测试专用的结构，并不用于对监视区域的监视，而导致高成本。而且，考虑不使用自我测试专用的基准光发送机及基准光接收器，而使对监视区域进行监视的光学式安全传感器简单地成双的结构。根据此结构，即便任一传感器发生故障也可继续监视，但有产生了异常时无法确定具体的异常部位等问题。
本发明的一方式是鉴于所述问题而成，其目的在于经济地实现光学式安全传感器。
[解决问题的技术手段]
为了解决所述问题，本发明采用以下的结构。
即，本发明的一方面的光学式安全传感器包括：多个光投射接收器，具备向监视区域投射光的光投射部、及接收来自所述监视区域的反射光的光接收部；多个测距部，使用从所述光投射起至所述光接收为止所需的时间，测定距所述监视区域内的对象物的距离；以及多个侦测部，根据所述测距部的测定结果而侦测所述多个光投射接收器的任一个所产生的异常，一个所述光投射接收器与对应的一个所述测距部及对应的一个所述侦测部形成一个组，所述多个光投射接收器所具备的所述光接收部分别接收从所有的所述多个光投射接收器的所述光投射部所投射的光的所述反射光。
根据所述结构，光学式安全传感器利用多个光投射接收器来测定距监视区域内的对象物的距离，因而即便在任一个光投射接收器产生了不良状况时，也能够继续正常监视。而且，将各光投射接收器的距离测定结果进行比较，由此能够在任一个光投射接收器产生了不良状况时侦测出这一情况。而且，能够将以TOF方式动作的市售的模块用作光投射接收器，因而与使用自我测试专用的基准光投射器及基准光接收器的专利文献1所记载的结构相比，能够经济地实现光学式安全传感器。
进而，可在其他光投射接收器中接收来自一个光投射接收器的光投射，因而能够在产生不良状况时诊断各光投射接收器的光投射部及光接收部，确定异常部位。
所述一方面的光学式安全传感器中，也可还包括一个以上的包含与包含所述多个光投射接收器的群不同的多个光投射接收器的群，成为各群的对象的监视区域不同，所述测距部依次切换所述各群而进行所述距离的测定，并且所述侦测部依次切换所述各群而进行所述异常的侦测。根据所述结构，对于监视区域不同的多个群所含的光投射接收器的异常诊断，能够利用一个测距部及侦测部来进行距离测定及异常诊断。因此，能够在通过共用测距部及侦测部而将设备成本抑制得低的状态下，安全地监视更广的区域。
所述一方面的光学式安全传感器中，所述侦测部可在基于从第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器及所述第二光投射接收器的任一个产生了异常，其中所述第一光投射接收器为所述多个光投射接收器中的一个光投射接收器，所述第二光投射接收器与所述第一光投射接收器不同。根据此结构，能够通过比较下述测定距离而判定第一光投射接收器及第二光投射接收器的任一个是否产生异常，所述测定距离是基于第一光投射接收器及第二光投射接收器的从光投射起到光接收为止的时间。
所述一方面的光学式安全传感器中，所述侦测部也可设为如下结构：当基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从所述第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部及所述第二光投射接收器的所述光投射部的任一个产生了异常。根据此结构，能够通过比较下述测定距离而判定第一光投射接收器的光投射部及第二光投射接收器的光投射部的至少任一个是否产生异常，所述测定距离是基于特定的光接收部接收到互不相同的多个光投射部各自进行的光投射为止的时间。
所述一方面的光学式安全传感器中，所述侦测部也可在判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部及所述第二光投射接收器的所述光投射部的任一个产生了异常时，当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部产生了异常，当基于从第一时刻T＝0开始的所述第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第二光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定所述第二光投射接收器的所述光投射部产生了异常。根据此结构，能够使用基于从隔开时间的两次光投射各自起到光接收为止的时间的测定距离之差，来分别判定第一光投射接收器的光投射部有无异常、及第二光投射接收器的光投射部有无异常。
所述一方面的光学式安全传感器中，所述侦测部也可在基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部及所述第二光投射接收器的所述光接收部的任一个产生了异常。根据此结构，能够通过比较下述测定距离而判定第一光投射接收器的光接收部及第二光投射接收器的光接收部的至少任一个是否产生异常，所述测定距离是基于利用互不相同的多个光接收部分别接收到特定的光投射部的光投射为止的时间。
所述一方面的光学式安全传感器中，所述侦测部也可在判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部及所述第二光投射接收器的所述光接收部的任一个产生了异常时，当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部产生了异常，当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，与基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第二光投射接收器的所述光接收部产生了异常。根据此结构，能够使用基于从隔开时间的两次光投射各自起到光接收为止的时间的测定距离之差，来分别判定第一光投射接收器的光接收部有无异常、及第二光投射接收器的光接收部有无异常。
所述一方面的光学式安全传感器中，也可将与所述第一光投射接收器形成一个组的所述侦测部的侦测结果、和与所述第二光投射接收器形成一个组的另一所述侦测部的侦测结果相互比较，当侦测结果互不相同时输出错误。根据此结构，能够将第一光投射接收器的侦测结果与第二光投射接收器的侦测结果相互比较。当侦测结果互不相同时，可认为至少任一个的侦测结果产生了异常，因而通过在这种情况下输出错误，能够更高精度地判定有无异常。
[发明的效果]
根据本发明的一方式，能够经济地实现光学式安全传感器。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1的光学式安全传感器的主要部分结构的一例的框图。
图2是表示本发明的适用例的光学式安全传感器的适用场景的一例的示意图。
图3是表示本发明的实施方式1的光学式安全传感器1中第一光投射接收器在异常诊断时进行的光投射控制的一例的时间图，图3的(a)表示在第一时刻T＝0开始光投射，图3的(b)表示从第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始下一次光投射。
图4是表示本发明的实施方式1的光学式安全传感器执行的诊断处理的流程的一例的流程图。
图5是表示本发明的实施方式1的光学式安全传感器在异常诊断处理中执行的处理的流程的一例的流程图。
图6是表示本发明的实施方式1的光学式安全传感器在光投射部诊断处理中执行的处理的流程的一例的流程图。
图7是表示本发明的实施方式1的光学式安全传感器在光接收部诊断处理中执行的处理的流程的一例的流程图。
[符号的说明]
1：光学式安全传感器
10A：第一输出部
10B：第二输出部
20A：第一光投射接收器(光投射接收部)
20B：第二光投射接收器(光投射接收部)
21：光投射部
22：光接收部
30A：第一评价单元
30B：第二评价单元
31：测距部
32：侦测部
100：机械臂
RA、RB：反射光
S：距离
S1～S5、S11～S13、S21～S32、S41～S52：步骤
TA、TB：光
t1、t2：时刻
ΔT：时间
具体实施方式
§1适用例
首先，使用图2对适用本发明的场景的一例进行说明。图2示意性地例示本实施方式的光学式安全传感器1的适用场景的一例。本实施方式的光学式安全传感器1将包含机械臂(robot arm)100进行作业的作业范围的区域作为监视区域，用于避免侵入至此监视区域的用户与所述机械臂100碰撞。
如图2所示，光学式安全传感器1将包含机械臂100的作业范围的区域作为监视区域而进行监视。当光学式安全传感器1根据使用TOF方式所测定的距离的变化而检测出物体侵入至监视区域内时，将检测结果发送至机械臂100。机械臂100从光学式安全传感器1接收检测结果时，使自身的动作减速或停止以不碰撞物体。
光学式安全传感器1具备向相同的监视区域投射光并接收来自此监视区域的反射光的至少两个光投射接收器。光学式安全传感器1根据至少两个光投射接收器中第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B分别算出的距监视区域的距离，来判定有无异常。光学式安全传感器1在判定为产生了异常时，进行异常内容的诊断。具体而言，光学式安全传感器1在经过一定时间后，从第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B的至少任一个执行下一次光投射，基于根据此次光投射及其反射光的接收所测定的距监视区域的距离，来确定异常部位。光学式安全传感器1将诊断结果发送至机械臂100，此机械臂100进行与诊断结果相应的动作。例如，针对所确定的光学式安全传感器1的异常部位，也可使用机械臂100的操作屏等输出装置进行输出。
光学式安全传感器1能够使用至少两个光投射接收器，以TOF方式测定距监视区域及侵入至此监视区域的物体的距离。另外，光学式安全传感器1中，能够在第一光投射接收器20A与第二光投射接收器20B之间分担执行光投射与光接收。由此，例如能够检查各光投射接收器的光投射及光接收是否产生异常，并在产生了异常时确定产生了此异常的部位。而且，能够将以TOF方式动作的市售的模块用作光投射接收器，因而与使用自我测试专用的基准光投射器及基准光接收器的专利文献1所记载的结构相比，能够经济地实现光学式安全传感器1。因此，能够实现抑制了因光投射接收器的异常而对监视区域的监视产生异常的、经济且安全性高的光学式安全传感器1。
§2结构例
以下，使用图1、图3～图7对本发明的一实施方式进行详细说明。
(光学式安全传感器的结构)
使用图1对本发明的一方式的光学式安全传感器1的概要及结构进行说明。图1是表示光学式安全传感器1的主要部分结构的一例的框图。光学式安全传感器1包括第一输出部10A、第二输出部10B、第一光投射接收器20A、第二光投射接收器20B、第一评价单元30A以及第二评价单元30B。第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B具备相同的光投射部21及光接收部22，第一评价单元30A及第二评价单元30B具备相同的测距部31及侦测部32。此外，光学式安全传感器1中，一个光投射接收器与对应的评价单元及输出部形成一个组。图示例中，第一光投射接收器20A与第一评价单元30A及第一输出部10A形成一个组，第二光投射接收器20B与第二评价单元30B及第二输出部10B形成一个组。
光学式安全传感器1能够按照第一评价单元30A及第二评价单元30B的指示而使第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B动作。光学式安全传感器1例如是作为图2所示的机械臂100的一部分而安装于所述机械臂100并动作。
第一输出部10A输出从第一评价单元30A接收的信息，第二输出部10B输出从第二评价单元30B接收的信息。例如，第一输出部10A从第一评价单元30A获取此第一评价单元30A对第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B的至少任一个进行的异常诊断的诊断结果，并输出至外部。此外，第一输出部10A及第二输出部10B也可为通过发光二极管(LightEmitting Diode，LED)的亮灯或熄灭等而通知从各评价单元接收的信息的内容的指示器(indicator)。
第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B是按照第一评价单元30A及第二评价单元30B的指示而动作的模块。具体而言，从光投射部21对监视区域投射光，并利用光接收部22来接收经监视区域反射的反射光。第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B向第一评价单元30A及第二评价单元30B发送与自身进行的光投射及光接收有关的信息。图示例中，第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B为具备相同的光投射部21及光接收部22的结构，但也可为具备互不相同的光投射部及光接收部的结构。
图示例中，将第一光投射接收器20A使用光投射部21向监视区域投射的光设为TA，将使用光接收部22从监视区域接收的反射光设为RA。同样，将第二光投射接收器20B使用光投射部21向监视区域投射的光设为TB，将使用光接收部22从监视区域接收的反射光设为RB。此外，注意有可能RA中包含对TB的反射光，同样RB中包含对TA的反射光。
第一评价单元30A及第二评价单元30B总括控制光学式安全传感器1的各部。第一评价单元30A及第二评价单元30B各自使用测距部31，根据使第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B动作所得的数据，算出(测定)从光学式安全传感器1到监视区域的测定距离。然后，根据测定结果而进行利用侦测部32的异常诊断。而且，第一评价单元30A及第二评价单元30B能够视需要而收发信息。例如，当第二光投射接收器20B的光接收部22接收到对第一光投射接收器20A的光投射部21的光投射的反射光时，第一评价单元30A也可从第二评价单元30B获取与第二光投射接收器20B的光接收有关的信息。相反，第二评价单元30B也可从第一评价单元30A获取与第一光投射接收器20A的光投射有关的信息。另外，第一评价单元30A及第二评价单元30B将与第一光投射接收器20A形成一个组的侦测部32的侦测结果(诊断结果)、和与第二光投射接收器20B形成一个组的侦测部32的侦测结果相互比较。即，第一评价单元30A及第二评价单元30B对一个光投射与光接收的组合进行相同的异常诊断，并比较诊断结果，由此判定评价单元有无故障。若相互比较中诊断结果相同，则第一评价单元30A及第二评价单元30B向第一输出部10A及第二输出部10B各自发送诊断结果并输出。另一方面，当诊断结果互不相同时，向第一输出部10A及第二输出部10B各自发送错误(error)并输出。
测距部31使用从光投射起到光接收为止所需要的时间，测定距监视区域内的对象物的距离。具体而言，测距部31从第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B的至少任一个接收与光投射及光接收有关的信息时，使用所接收到的信息来算出从光学式安全传感器1到监视区域的测定距离。此外，测距部31也可经由与包含自身的评价单元不同的评价单元而接收与光投射及光接收有关的信息。考虑第一光投射接收器20A的光投射部21投射光TA，且第一光投射接收器20A的光接收部22接收到对所述光投射的反射光RA的情况。此时，测距部31使用从投射光TA的开始时刻起到接收反射光RA的开始时刻为止的时间t及光速c，算出从光学式安全传感器1到监视区域的距离S。此外，以下的说明中，
S＝R(T)
是使用投射光T的开始时刻及接收反射光R的开始时刻而算出，且表示从光学式安全传感器1到监视区域的距离。即，当第一光投射接收器20A的光投射部21投射光TA，且第一光投射接收器20A的光接收部22接收到对所述光投射的反射光RA时，测距部31算出
S＝RA(TA)。
而且，第一评价单元30A的测距部31及第二评价单元30B的测距部31对一个光投射与光接收的组合分别算出测定距离。另外，第一评价单元30A的测距部31将所算出的距离发送至此第一评价单元30A的侦测部32，第二评价单元30B的测距部31将所算出的距离发送至此第二评价单元30B的侦测部32。
侦测部32根据测距部31的测定结果，侦测第一光投射接收器20A或第二光投射接收器20B的任一个所产生的异常。更具体而言，侦测部32将第一光投射接收器20A所具备的光投射部21及光接收部22、与第二光投射接收器20B所具备的光投射部21及光接收部22进行各种组合，将测距部31所测定的多个距离进行比较，进行异常的侦测。此外，多个距离的比较是由第一评价单元30A的侦测部32与第二评价单元30B的侦测部32两者分别进行。
(通过控制光投射时机而进行的异常诊断)
使用图3的(a)及图3的(b)对本实施方式的光学式安全传感器1控制光投射时机而进行异常诊断的方法进行说明。图3的(a)及图3的(b)是表示光学式安全传感器1中第一光投射接收器20A在异常诊断时进行的光投射控制的一例的时间图。图3的(a)表示在第一时刻T＝0开始光投射，图3的(b)表示从第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始下一次光投射。
如图3的(a)所示，第一光投射接收器20A使用光投射部21，在第一时刻T＝0开始基于光投射信号的光投射。在光投射的同时，第一光投射接收器20A使用光接收部22接收对光投射的反射光，并以光接收信号的形式进行检测。和光学式安全传感器1与监视区域之间的距离相应地，开始检测出光接收信号的时机与第一时刻T＝0相比而延迟。图示例中，第一光投射接收器20A的光接收部22从时刻T＝t1起开始接收光。光学式安全传感器1利用测距部31，根据从开始光投射的第一时刻T＝0起到最初检测出对此光投射的反射光作为光接收信号的时刻T＝t1为止的时间，算出光学式安全传感器1与监视区域之间的距离S1。
如图3的(b)所示，图3的(a)后，第一光投射接收器20A在从第一时刻T＝0起经过时间ΔT后，使用光投射部21开始基于光投射信号的光投射。ΔT合适的是相对于光的飞行时间而非常小的值，例如可为几纳秒。图3的(b)中，相对于图3的(a)，光投射的开始时刻变化，因而光接收的开始时刻也变化为时刻T＝t2。光学式安全传感器1利用测距部31，根据从第一时刻T＝0起到最初检测出对光投射的反射光作为光接收信号的时刻T＝t2为止的时间，算出光学式安全传感器1与监视区域之间的距离S2。
然后，光学式安全传感器1的侦测部32判定距离S1与距离S2之间的差、和基于时间ΔT的距离差ΔS是否相等，当相等时判定为第一光投射接收器20A的光投射部21及光接收部22未产生异常。即，侦测部32利用下述情况来进行判定，即：当第一光投射接收器20A的光投射部21及光接收部22的任一个产生了异常时，由所述异常而导致距离S1与距离S2之间的差、和基于时间ΔT的理论上的距离差ΔS不一致。
此外，所述说明中使用第一光投射接收器20A的光投射部21及光接收部22，但光投射部21与光接收部22当然可为任何组合。光学式安全传感器1对与光投射部21及光接收部22有关的若干组合应用所述方法，确定产生了异常的部位。
(诊断处理的流程)
使用图4对本实施方式的光学式安全传感器1执行的诊断处理的流程进行说明。图4是表示光学式安全传感器1执行的诊断处理的流程的一例的流程图。
首先，第一评价单元30A向第一光投射接收器20A指示光投射。受到指示的第一光投射接收器20A使用光投射部21对监视区域投射光TA，并利用光接收部22来接收对所述光投射的反射光RA。第一光投射接收器20A向第一评价单元30A的测距部31发送包含光投射的开始时刻及光接收的开始时刻的数据。测距部31从第一光投射接收器20A接收数据时，使用从所述第一光投射接收器20A开始光投射起到光接收为止所需要的时间来算出距离RA(TA)(S1)。测距部31将所算出的距离RA(TA)发送至侦测部32。
接着，第二评价单元30B向第二光投射接收器20B指示光投射。受到指示的第二光投射接收器20B使用光投射部21对监视区域投射光TB，并利用光接收部22来接收对所述光投射的反射光RB。第二光投射接收器20B向第二评价单元30B的测距部31发送包含光投射的开始时刻及光接收的开始时刻的数据。测距部31从第二光投射接收器20B接收数据时，使用从所述第二光投射接收器20B开始光投射起到光接收为止所需要的时间来算出距离RB(TB)(S2)。测距部31将所算出的距离RB(TB)发送至侦测部32。
然后，第一评价单元30A及第二评价单元30B的侦测部32判定第一评价单元30A的测距部31所算出的距离RA(TA)、与第二评价单元30B的测距部31所算出的距离RB(TB)是否相等(S3)。当判定为相等时(S3中为是(YES))，侦测部32判定为对监视区域的监视无问题。然后，光学式安全传感器1结束一系列处理。
另一方面，当S3中判定为距离RA(TA)与距离RB(TB)不相等时(S3中为否(NO))，第一评价单元30A及第二评价单元30B的侦测部32输出错误(S4)。然后，光学式安全传感器1执行后述的异常诊断处理(S5)。执行异常诊断处理后，光学式安全传感器1结束一系列处理。
(异常诊断处理)
使用图5对本实施方式的光学式安全传感器1执行的异常诊断处理的流程进行说明。图5是表示光学式安全传感器1执行的异常诊断处理的流程的一例的流程图。
首先，光学式安全传感器1执行后述的光投射部诊断处理，诊断第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20各自具备的光投射部21是否产生异常(S11)。
然后，光学式安全传感器1执行后述的光接收部诊断处理，诊断第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B各自具备的光接收部22是否产生异常(S12)。
接着，第一评价单元30A及第二评价单元30B的侦测部32将光投射部诊断处理(S11)及光接收部诊断处理(S12)各自的诊断结果汇总。然后，侦测部32向第一输出部10A及第二输出部10B输出汇总的结果(S13)。然后，处理向异常诊断处理的调出源过渡。
(光投射部诊断处理)
使用图6对本实施方式的光学式安全传感器1执行的光投射部诊断处理的流程进行说明。图6是表示光学式安全传感器1执行的光投射部诊断处理的流程的一例的流程图。
首先，执行与图4的S1同样的处理，算出距离RA(TA)。即，从第一评价单元30A受到光投射指示的第一光投射接收器20A投射光TA，并接收对所述光投射的反射光RA。第一光投射接收器20A向第一评价单元30A的测距部31发送包含光投射的开始时刻及光接收的开始时刻的数据。第一评价单元30A的测距部31从第一光投射接收器20A接收数据时，算出测定距离RA(TA)，此测定距离RA(TA)是基于从所述第一光投射接收器20A开始光投射起到光接收为止的时间(S21)。
接着，第二评价单元30B向第二光投射接收器20B指示光投射。受到指示的第二光投射接收器20B对监视区域投射光TB。然后，第一光投射接收器20A利用光接收部22来接收反射光RA。第一评价单元30A的测距部31经由第二评价单元30B从第二光投射接收器20B获取光投射的开始时刻，从第一光投射接收器20A获取光接收的开始时刻。然后，第一评价单元30A的测距部31算出测定距离RA(TB)，此测定距离RA(TB)是基于从第二光投射接收器20B的光投射部21投射光TB起到第一光投射接收器20A的光接收部22接收反射光RA为止的时间(S22)。
S22之后，第一评价单元30A的侦测部32判定S21中算出的距离RA(TA)、与S22中算出的距离RA(TB)是否一致(S23)。当判定为一致时(S23中为是(YES))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光投射部21及第二光投射接收器20B的光投射部21未产生异常。然后，处理进入S30。
另一方面，当S23中判定为距离RA(TA)与距离RA(TB)不一致时(S23中为否(NO))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光投射部21及第二光投射接收器20B的光投射部21的至少任一个产生了异常。接着，第一评价单元30A将S21中第一光投射接收器20A的光投射部21开始光投射的时刻设为第一时刻T＝0，从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后，向第一光投射接收器20A指示重新开始光投射。受到指示的第一光投射接收器20A对监视区域投射光TA。然后，第一光投射接收器20A利用光接收部22接收反射光RA。第一评价单元30A的测距部31算出基于从第一时刻T＝0起到光接收为止的时间的测定距离RA(TA)(S24)。
然后，第一评价单元30A的侦测部32判定S21中算出的距离RA(TA)与使用时间ΔT后的光投射所算出的测定距离RA(TA)之差RA(ΔT)、和基于时间ΔT的距离差ΔS是否一致(S25)。RA(ΔT)的算出是通过使用图3的(a)及图3的(b)所说明的方法来进行。当判定为RA(ΔT)与ΔS一致时(S25中为是(YES))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光投射部21未产生异常，处理进入S27。另一方面，当判定为RA(ΔT)与ΔS不一致时(S25中为否(NO))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光投射部21产生了异常(S26)。然后，处理进入S27。
S27中，第二评价单元30B将S22中第二光投射接收器20B的光投射部21开始光投射的时刻设为第一时刻T＝0，从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后，向第二光投射接收器20B指示重新开始光投射。受到指示的第二光投射接收器20B对监视区域投射光TB。然后，第一光投射接收器20A利用光接收部22来接收反射光RA。与S22同样，第一评价单元30A的测距部31算出测定距离RA(TB)，此测定距离RA(TB)是基于从第二光投射接收器20B在时间ΔT后开始光投射起到第一光投射接收器20A接收光为止的时间(S27)。
然后，第一评价单元30A的侦测部32判定S22中算出的距离RA(TB)与基于从时间ΔT后的光投射起到光接收为止的时间的测定距离RA(TB)之差RA(ΔT)、和基于时间ΔT的距离差ΔS是否一致(S28)。当判定为RA(ΔT)与ΔS一致时(S28中为是(YES))，侦测部32判定第二光投射接收器20B的光投射部21未产生异常。然后，光学式安全传感器1结束光投射部诊断处理，以到此为止的诊断结果向所述光投射部诊断处理的调出源过渡。另一方面，当判定为RA(ΔT)与ΔS不一致时(S28中为否(NO))，侦测部32判定第二光投射接收器20B的光投射部21产生了异常(S29)。然后，处理进入S30。
S30中，第二评价单元30B执行与第一评价单元30A在S21～S29中执行的内容同样的处理，对第一光投射接收器20A的光投射部21及第二光投射接收器20B的光投射部21进行异常诊断(S30)。即，第二评价单元30B算出两个测定距离RA(TA)及RA(TB)并进行比较，当不一致时，将使用时间ΔT后的光投射所算出的测定距离RA(ΔT)与距离差ΔS进行比较。接着，第二评价单元30B根据比较结果而判定第一光投射接收器20A的光投射部21及第二光投射接收器20B的光投射部21是否产生异常。然后，第一评价单元30A及第二评价单元30B判定第一评价单元30A通过S21～S29的处理所诊断的结果、与S30中第二评价单元30B所诊断的结果是否一致(S31)。当判定为一致时(S31中为是(YES))，光学式安全传感器1结束光投射部诊断处理，以到此为止的诊断结果向所述光投射部诊断处理的调出源过渡。另一方面，当判定为不一致时(S31中为否(NO))，光学式传感器1设定产生异常的部位不明的错误(S32)，向光投射部诊断处理的调出源过渡。
此外，第一评价单元30A用于诊断的光投射接收、与第二评价单元30B用于诊断的光投射接收相同。换言之，第一评价单元30A及第二评价单元30B以相同时机分别执行S21～S29的处理及S30的处理。另外，S31中将各评价单元的诊断结果进行比较。由此，光学式安全传感器1能够较评价单元为一个的结构而更高精度地进行对光投射部的异常诊断。
(光接收部诊断处理)
使用图7对本实施方式的光学式安全传感器1执行的光接收部诊断处理的流程进行说明。图7是表示光学式安全传感器1执行的光接收部诊断处理的流程的一例的流程图。
首先，执行与图4的S1同样的处理，算出距离RA(TA)(S41)。接着，第一评价单元30A向第一光投射接收器20A指示光投射。受到指示的第一光投射接收器20A对监视区域投射光TA。然后，第二光投射接收器20B利用光接收部22来接收反射光RB。第一评价单元30A的测距部31从第一光投射接收器20A获取光投射的开始时刻，经由第二评价单元30B从第二光投射接收器20B获取光接收的开始时刻。然后，测距部31算出测定距离RB(TA)，此测定距离RB(TA)是基于从第一光投射接收器20A的光投射部21投射光TA起到第二光投射接收器20B的光接收部22接收反射光RB为止的时间(S42)。
S42之后，第一评价单元30A的侦测部32判定S41中算出的距离RA(TA)与S42中算出的距离RB(TA)是否一致(S43)。当判定为一致时(S43中为是(YES))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光接收部22及第二光投射接收器20B的光接收部22未产生异常。然后，处理进入S50。
另一方面，当S43中判定距离RA(TA)与距离RB(TA)不一致时(S43中为否(NO))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光接收部22及第二光投射接收器20B的光接收部22的至少任一个产生了异常。然后，第一评价单元30A将S41中第一光投射接收器20A的光投射部21开始光投射的时刻设为第一时刻T＝0，从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后，指示第一光投射接收器20A重新开始投射光。受到指示的第一光投射接收器20A对监视区域投射光TA。然后，第一光投射接收器20A利用光接收部22来接收反射光RA。第一评价单元30A的测距部31算出测定距离RA(TA)，此测定距离RA(TA)是基于从第一光投射接收器20A在时间ΔT后开始光投射起到光接收为止的时间(S44)。
然后，第一评价单元30A的侦测部32判定S41中算出的距离RA(TA)与基于从时间ΔT后的光投射起到光接收为止的时间的测定距离RA(TA)之差RA(ΔT)、和基于时间ΔT的距离差ΔS是否一致(S45)。当判定为RA(ΔT)与ΔS一致时(S45中为是(YES))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光接收部22未产生异常，处理进入S47。另一方面，当判定为RA(ΔT)与ΔS不一致时(S45中为否(NO))，侦测部32判定为第一光投射接收器20A的光接收部22产生了异常(S46)。然后，处理进入S47。
S47中，第一评价单元30A将S42中第一光投射接收器20A的光投射部21开始光投射的时刻设为第一时刻T＝0，从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后，指示第一光投射接收器20A重新开始光投射。受到指示的第一光投射接收器20A对监视区域投射光TA。然后，第二光投射接收器20B利用光接收部22来接收反射光RB。第一评价单元30A的测距部31算出测定距离RB(TA)，此测定距离RB(TA)是基于从第一光投射接收器20A在时间ΔT后开始光投射起到第二光投射接收器20B接收光为止的时间(S47)。
然后，第一评价单元30A的侦测部32判定S42中算出的距离RB(TA)与基于从时间ΔT后的光投射起到光接收为止的时间的测定距离RB(TA)之差RB(ΔT)、和基于时间ΔT的距离差ΔS是否一致(S48)。当判定为RB(ΔT)与ΔS一致时(S48中为是(YES))，侦测部32判定为第二光投射接收器20B的光接收部22未产生异常。然后，处理进入S50。另一方面，当判定为RB(ΔT)与ΔS不一致时(S48中为否(NO))，侦测部32判定为第二光投射接收器20B的光接收部22产生了异常(S49)。然后，处理进入S50。
S50中，第二评价单元30B执行与第一评价单元30A在S41～S49中执行的内容同样的处理，对第一光投射接收器20A的光接收部22及第二光投射接收器20B的光接收部22进行异常诊断(S50)。即，第二评价单元30B算出两个测定距离RA(TA)及RB(TA)并进行比较，当不一致时，将使用时间ΔT后的光投射所算出的测定距离RA(ΔT)与距离差ΔS进行比较。接着，第二评价单元30B根据比较结果而判定第一光投射接收器20A的光接收部22及第二光投射接收器20B的光接收部22是否产生异常。然后，第一评价单元30A及第二评价单元30B判定第一评价单元30A通过S41～S49的处理所诊断的结果、与S50中第二评价单元30B所诊断的结果是否一致(S51)。当判定为一致时(S51中为是(YES))，光学式安全传感器1结束光接收部诊断处理，以到此为止的诊断结果向所述光接收部诊断处理的调出源过渡。另一方面，当判定为不一致时(S51中为否(NO))，光学式传感器1设定产生异常的部位不明的错误(S52)，向光投射部诊断处理的调出源过渡。
此外，第一评价单元30A用于诊断的光投射接收、与第二评价单元30B用于诊断的光投射接收相同。换言之，第一评价单元30A及第二评价单元30B以相同时机分别执行S41～S49的处理及S50的处理。另外，S51中将各评价单元的诊断结果进行比较。由此，光学式安全传感器1能够较评价单元为一个的结构而更高精度地进行对光接收部的异常诊断。
通过以上的处理，光学式安全传感器1通过将各光投射接收器的距离测定结果进行比较，能够在任一光投射接收器产生了不良状况时侦测出这一情况。而且，能够将以TOF方式动作的市售的模块用作光投射接收器，因而与使用自我测试专用的基准光投射器及基准光接收器的专利文献1所记载的结构相比，能够经济地实现光学式安全传感器。
进而，可在其他光投射接收器中接收来自一个光投射接收器的光投射，因而能够在产生不良状况时诊断各光投射接收器的光投射部及光接收部，确定异常部位。进而，能够将对每个评价单元进行异常诊断的结果进行比较，提高诊断结果的精度。
[变形例]
所述结构例中，光学式安全传感器1为仅包括包含第一光投射接收器20A及第二光投射接收器20B的一个群的结构。但是，例如也可为以下结构，即：包括一个以上的包含与所述群不同的多个光投射接收器，且将与所述群监视的监视区域不同的区域作为监视对象的群。即，第一评价单元30A及第二评价单元30B也可为了监视多个区域而将多个光投射接收器连接。但是，必须使第二评价单元30B也可监视第一评价单元30A所监视的多个区域各自。此时，第一评价单元30A及第二评价单元30B依次切换监视相同区域的光投射接收器的群而进行距离的测定及异常诊断。具体而言，测距部31可依次切换各群而对每个监视区域进行距离的测定，侦测部32可依次切换各群而对每个群进行异常的侦测。另外，第一评价单元30A及第二评价单元30B也可使用第一输出部10A及第二输出部10B而输出测定距离等。
[总结]
本发明的方式1的光学式安全传感器1构成为包括：多个光投射接收器(第一光投射接收器20A、第二光投射接收器20B)，具备对监视区域投射光的光投射部21、及接收来自所述监视区域的反射光的光接收部22；多个测距部31，使用从所述光投射到所述光接收为止所需要的时间，测定距所述监视区域内的对象物的距离；以及多个侦测部32，根据所述测距部的测定结果而侦测所述多个光投射接收器的任一个所产生的异常，一个光投射接收器与对应的一个测距部及一个侦测部形成一个组，所述多个光投射接收器所具备的所述光接收部分别接收从所有的所述多个光投射接收器的所述光投射部所投射的光的所述反射光。
根据所述结构，利用多个光投射接收器来测定距监视区域内的对象物的距离，因而即便在任一个光投射接收器产生了不良状况时，也能够继续正常监视。而且，通过将各光投射接收器的距离测定结果进行比较，能够在任一个光投射接收器产生了不良状况时侦测出这一情况。而且，能够将以TOF方式动作的市售的模块用作光投射接收器，因而与使用自我测试专用的基准光投射器及基准光接收器的专利文献1所记载的结构相比，能够经济地实现光学式安全传感器。
进而，可在其他光投射接收器中接收来自一个光投射接收器的光投射，因而能够在产生不良状况时诊断各光投射接收器的光投射部及光接收部，确定异常部位。
本发明的方式2的光学式安全传感器1也可设为如下结构：在所述方式1中，还包括一个以上的包含与包含所述多个光投射接收器(第一光投射接收器20A、第二光投射接收器20B)的群不同的多个光投射接收器的群，成为各群的对象的监视区域不同，所述测距部31依次切换所述各群而进行所述距离的测定，并且所述侦测部32依次切换所述各群而进行所述异常的侦测。
根据所述结构，对于监视区域不同的多个群所含的光投射接收器的异常诊断，能够利用一个测距部及侦测部来进行距离测定及异常诊断。因此，能够在通过共享测距部及侦测部而将设备成本抑制得低的状态下，安全地监视更广的区域。
本发明的方式3的光学式安全传感器1也可设为如下结构：在所述方式1或2中，所述侦测部32在基于从第一光投射接收器20A的所述光投射部21的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部22的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从第二光投射接收器20B的所述光投射部21的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部22的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器及所述第二光投射接收器的任一个产生了异常，其中所述第一光投射接收器20A为所述多个光投射接收器(第一光投射接收器20A、第二光投射接收器20B)中的一个光投射接收器，所述第二光投射接收器20B与所述第一光投射接收器不同。
根据所述结构，能够通过比较下述测定距离而判定第一光投射接收器及第二光投射接收器的任一个是否产生异常，所述测定距离是基于第一光投射接收器及第二光投射接收器的从光投射起到光接收为止的时间。
本发明的方式4的光学式安全传感器1也可设为如下结构：在所述方式3中，所述侦测部32在基于从所述第一光投射接收器20A的所述光投射部21的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部22的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从所述第二光投射接收器20B的所述光投射部21的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部及所述第二光投射接收器的所述光投射部的任一个产生了异常。
根据所述结构，能够通过比较下述测定距离而判定第一光投射接收器的光投射部及第二光投射接收器的光投射部的至少任一个是否产生异常，所述测定距离是基于特定的光接收部接收到互不相同的多个光投射部各自进行的光投射为止的时间。
本发明的方式5的光学式安全传感器1也可设为如下结构：在所述方式4中，当判定为所述第一光投射接收器20A的所述光投射部21及所述第二光投射接收器20B的所述光投射部21的任一个产生了异常时，所述侦测部32在基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部22的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部产生了异常，当基于从第一时刻T＝0开始的所述第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部22的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第二光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第二光投射接收器的所述光投射部产生了异常。
根据所述结构，能够使用基于从隔开时间的两次光投射各自起到光接收为止的时间的测定距离之差，来分别判定第一光投射接收器的光投射部有无异常、及第二光投射接收器的光投射部有无异常。
本发明的方式6的光学式安全传感器1也可设为如下结构：在所述方式3至5的任一个中，所述侦测部32在基于从所述第一光投射接收器20A的所述光投射部21的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部22的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器20B的所述光接收部22的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部及所述第二光投射接收器的所述光接收部的任一个产生了异常。
根据所述结构，能够通过比较下述测定距离而判定第一光投射接收器的光接收部及第二光投射接收器的光接收部的至少任一个是否产生异常，所述测定距离是基于利用互不相同的多个光接收部接收到特定的光投射部的光投射为止的时间。
本发明的方式7的光学式安全传感器1也可设为如下结构：在所述方式6中，所述侦测部32在判定为所述第一光投射接收器20A的所述光接收部22及所述第二光投射接收器20B的所述光接收部22的任一个产生了异常时，当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部21的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部产生了异常，当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第二光投射接收器的所述光接收部产生了异常。
根据所述结构，能够使用基于从隔开时间的两次光投射各自起到光接收为止的时间的测定距离之差，来分别判定第一光投射接收器的光接收部有无异常、及第二光投射接收器的光接收部有无异常。
本发明的方式8的光学式安全传感器1也可设为如下结构：在所述方式3至7的任一个中，将与所述第一光投射接收器20A形成一个组的侦测部32的侦测结果、和与所述第二光投射接收器20B形成一个组的另一侦测部32的侦测结果相互比较，当侦测结果互不相同时输出错误。
根据所述结构，能够将第一光投射接收器的侦测结果与第二光投射接收器的侦测结果相互比较。当侦测结果互不相同时，可认为至少任一个侦测结果产生异常，因而通过在这种情况下输出错误，能够更高精度地判定有无异常。
[借由软件的实现例]
光学式安全传感器1的控制块(特别是测距部31及侦测部32)既可由形成为集成电路(集成电路(Integrated Circuit，IC)芯片)等的逻辑电路(硬件)来实现，也可由软件来实现。
后者的情况下，光学式安全传感器1包括计算机，此计算机执行作为实现各功能的软件的程序的命令。所述计算机例如具备一个以上的处理器，并且具备存储有所述程序的计算机可读取的记录介质。而且，所述计算机中，通过所述处理器从所述记录介质读取所述程序并执行，而达成本发明的目的。所述处理器例如能够使用中央处理器(CentralProcessing Unit，CPU)。作为所述记录介质，除了“非临时的有形介质”、例如只读存储器(Read Only Memory，ROM)等以外，还能够使用带(tape)、盘(disk)、卡(card)、半导体存储器、可编程的逻辑电路等。而且，也可还具备展开所述程序的随机存取存储器(RandomAccess Memory，RAM)等。而且，所述程序也可经由可传输所述程序的任意传输介质(通信网络或广播波等)而提供给所述计算机。此外，本发明的一方式也能以通过电子传输来将所述程序具现化的、被嵌入载波中的数据信号的形态来实现。
本发明不限定于所述各实施方式，可在权利要求所示的范围内进行各种变更，将不同实施方式中分别公开的技术部件适当组合而获得的实施方式也包含于本发明的技术范围内。

Claims (6)

1.一种光学式安全传感器，其特征在于包括：
多个光投射接收器，具备对监视区域投射光的光投射部、及接收来自所述监视区域的反射光的光接收部；
多个测距部，使用从所述光投射起到所述光接收为止所需要的时间，测定距所述监视区域内的对象物的距离；以及
多个侦测部，根据所述测距部的测定结果而侦测所述多个光投射接收器的任一个所产生的异常，
一个所述光投射接收器与对应的一个所述测距部及对应的一个所述侦测部形成一个组，
所述多个光投射接收器所包括的所述光接收部分别接收从所有的所述多个光投射接收器的所述光投射部所投射的光的所述反射光，
所述侦测部在基于从第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器及所述第二光投射接收器的任一个产生了异常，其中所述第一光投射接收器是所述多个光投射接收器中的一个光投射接收器，所述第二光投射接收器与所述第一光投射接收器不同，
所述侦测部在基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从所述第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部及所述第二光投射接收器的所述光投射部的任一个产生了异常，
所述侦测部在判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部及所述第二光投射接收器的所述光投射部的任一个产生了异常时，
当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第一光投射接收器的所述光投射部产生了异常，
当基于从第一时刻T＝0开始的所述第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第二光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第二光投射接收器的所述光投射部产生了异常。
2.根据权利要求1所述的光学式安全传感器，其特征在于，还包括一个以上的包含与包含所述多个光投射接收器的群不同的多个光投射接收器的群，成为各群的对象的监视区域不同，
所述测距部依次替换所述各群而进行所述距离的测定，并且
所述侦测部依次替换所述各群而进行所述异常的侦测。
3.根据权利要求1所述的光学式安全传感器，其特征在于，所述侦测部在基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部及所述第二光投射接收器的所述光接收部的任一个产生了异常。
4.根据权利要求3所述的光学式安全传感器，其特征在于，所述侦测部在判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部及所述第二光投射接收器的所述光接收部的任一个产生了异常时，
当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，与基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部产生了异常，
当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第二光投射接收器的所述光接收部产生了异常。
5.根据权利要求1所述的光学式安全传感器，其特征在于，将与所述第一光投射接收器形成一个组的所述侦测部的侦测结果、和与所述第二光投射接收器形成一个组的另一所述侦测部的侦测结果相互比较，当侦测结果互不相同时输出错误。
6.一种光学式安全传感器，其特征在于包括：
多个光投射接收器，具备对监视区域投射光的光投射部、及接收来自所述监视区域的反射光的光接收部；
多个测距部，使用从所述光投射起到所述光接收为止所需要的时间，测定距所述监视区域内的对象物的距离；以及
多个侦测部，根据所述测距部的测定结果而侦测所述多个光投射接收器的任一个所产生的异常，
一个所述光投射接收器与对应的一个所述测距部及对应的一个所述侦测部形成一个组，
所述多个光投射接收器所包括的所述光接收部分别接收从所有的所述多个光投射接收器的所述光投射部所投射的光的所述反射光，
所述侦测部在基于从第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从第二光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器及所述第二光投射接收器的任一个产生了异常，其中所述第一光投射接收器是所述多个光投射接收器中的一个光投射接收器，所述第二光投射接收器与所述第一光投射接收器不同，
所述侦测部在基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与基于从所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离不一致时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部及所述第二光投射接收器的所述光接收部的任一个产生了异常，
所述侦测部在判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部及所述第二光投射接收器的所述光接收部的任一个产生了异常时，
当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第一光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，与基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第一光投射接收器的所述光接收部产生了异常，
当基于从第一时刻T＝0开始的所述第一光投射接收器的所述光投射部的所述光投射起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离、与从所述第一时刻T＝0起经过时间ΔT后开始所述第一光投射接收器的所述光投射部的光投射时的、基于从所述第一时刻T＝0起到所述第二光投射接收器的所述光接收部的所述光接收为止的时间的测定距离之间的差，和基于时间ΔT的距离差ΔS不同时，判定为所述第二光投射接收器的所述光接收部产生了异常。
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