KR102199319B1 - 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102199319B1
KR102199319B1 KR1020147016652A KR20147016652A KR102199319B1 KR 102199319 B1 KR102199319 B1 KR 102199319B1 KR 1020147016652 A KR1020147016652 A KR 1020147016652A KR 20147016652 A KR20147016652 A KR 20147016652A KR 102199319 B1 KR102199319 B1 KR 102199319B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
powder
pressure level
gas
providing
vacuum chamber
Prior art date
Application number
KR1020147016652A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140107274A (ko
Inventor
울프 아크켈리드
Original Assignee
아르켐 에이비
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아르켐 에이비 filed Critical 아르켐 에이비
Publication of KR20140107274A publication Critical patent/KR20140107274A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102199319B1 publication Critical patent/KR102199319B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/30—Auxiliary operations or equipment
    • B29C64/364—Conditioning of environment
    • B29C64/371—Conditioning of environment using an environment other than air, e.g. inert gas
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10—Processes of additive manufacturing
    • B29C64/141—Processes of additive manufacturing using only solid materials
    • B29C64/153—Processes of additive manufacturing using only solid materials using layers of powder being selectively joined, e.g. by selective laser sintering or melting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/20—Direct sintering or melting
    • B22F10/28—Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/30—Process control
    • B22F10/32—Process control of the atmosphere, e.g. composition or pressure in a building chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/30—Process control
    • B22F10/36—Process control of energy beam parameters
    • B22F10/362—Process control of energy beam parameters for preheating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/10—Sintering only
    • B22F3/1039—Sintering only by reaction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/10—Sintering only
    • B22F3/105—Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/24—After-treatment of workpieces or articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/34—Laser welding for purposes other than joining
    • B23K26/342—Build-up welding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C67/00—Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00—Processes of additive manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/50—Means for feeding of material, e.g. heads
    • B22F12/52—Hoppers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/50—Means for feeding of material, e.g. heads
    • B22F12/55—Two or more means for feeding material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/70—Gas flow means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2201/00—Treatment under specific atmosphere
    • B22F2201/10—Inert gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2201/00—Treatment under specific atmosphere
    • B22F2201/10—Inert gases
    • B22F2201/11—Argon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2201/00—Treatment under specific atmosphere
    • B22F2201/10—Inert gases
    • B22F2201/12—Helium
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2201/00—Treatment under specific atmosphere
    • B22F2201/20—Use of vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25—Process efficiency
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12014—All metal or with adjacent metals having metal particles
    • Y10T428/12028—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, etc.]

Abstract

파우더 베드의 부분들의 연속적인 융해를 통해 3차원 물품을 형성할 때 레졸루션을 증가시키기 위한 방법으로서, 상기 방법은, 진공 챔버를 제공하는 단계, 전자총을 제공하는 단계, 상기 진공 챔버 내의 작업대 상에 제 1 파우더 층을 제공하는 단계, 상기 3차원 물품의 제 1 단면을 형성하기 위하여 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록 상기 전자총으로부터 상기 작업대 위에 전자빔을 향하게 하는 단계, 상기 작업대 상에 제 2 파우더 층을 제공하는 단계, 상기 3차원 물품의 제 2 단면을 형성하기 위하여 상기 제 2 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록 전자빔을 상기 작업대 위에 향하게 하는 단계, 상기 제 1 파우더 층 및 상기 제 2 파우더 층을 제공하는 사이에 진공 챔버의 압력을 제 1 압력 레벨로부터 제 2 압력 레벨로 감소시키는 단계를 포함한다.

Description

첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR INCREASING THE RESOLUTION IN ADDITIVELY MANUFACTURED THREE-DIMENSIONAL ARTICLES}
본 발명은, 청구항 1의 전제부에 따라 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션(resolution)을 증가시키기 위한 방법에 관한 것이다.
프리폼(freeform) 제작 또는 첨가 제조는 작업대(worktable)에 도포된 파우더 층들의 선택된 부분들의 연속적인 융해(fusion)를 통해 3차원 물품들을 형성하기 위한 방법이다.
이러한 장치는 상기 3차원 물품이 형성될 작업대, 파우더 베드(powder bed)의 형성을 위하여 작업대 상에 파우더의 얇은 층을 내려 놓도록 배열된 파우더 디스펜서(dispenser), 파우더에 에너지를 전달하고 그럼으로써 파우더의 융해가 일어나게 하기 위한 에너지 빔, 상기 파우더 베드의 부분들의 융해를 통한 상기 3차원 물품의 단면의 형성을 위해 상기 파우더 베드에 걸쳐 에너지 빔에 의해 발산되는 에너지의 제어를 위한 엘러먼트들, 및 3차원 물품의 연속적인 단면들에 관한 정보가 저장되는 제어 컴퓨터를 포함한다. 3차원 물품은, 파우더 디스펜서에 의해 연속적으로 내려 놓여지는, 파우더 층들의 연속적으로 형성되는 단면들의 연속적인 융해들을 통해 형성된다.
전자빔 형태의 에너지 빔이 파우더에 충돌할 때, 전하 분포가 전자 목표 영역 주위에서 전개된다. 바람직하게, 이러한 전하는, 접지(ground)를 향한 파우더 베드 및/또는 만들어질 물품의 생성된 부분을 통해 야기될 것이다. 전하 분포 밀도가 임계 한계를 초과하는 경우, 미리 결정된 레벨보다 큰 필드 강도를 갖는 전기장이 빔이 방사되는 위치 주위에서 전개될 것이다. 미리 결정된 레벨보다 큰 필드 강도를 갖는 전기장이 Emax로서 지칭될 것이다. 전기장은, 입자들이 입자의 최상위 표면층을 떠나 표면 위에서 부유(float)하는 입자들의 분포를 생성하도록, 파우더 입자들이 서로 밀어내게 할 것이다. 부유하는 입자들은 표면 위에 위치된 구름(cloud)과 유사하다. 전기장이 Emax보다 큰 필드 강도를 갖는 경우, 전기장, 즉, 파우더의 입자 구름 또는 연기(smoke)가 부정적인 방식으로 디바이스의 레졸루션에 영향을 줄 것이다. 이는, 입자 구름 내의 입자들이 전자빔을 발산시킬(diverge) 것이라는 사실에 부분적으로 기인한다. 전기장이 Emax보다 작은 필드 강도를 갖는 경우, 전기장, 즉, 입자 구름이 유의미한 방식으로 디바이스의 레졸루션에 영향을 주지 않을 것이다. 따라서 Emax보다 작은 필드 강도가 바람직하다.
입자들이 대전되기(charged) 때문에, 입자들이 접지 접촉을 탐색할 것이고, 그럼으로써 일부가 구름을 떠날 수 있으며, 그 후 진공 챔버 내부에 위치되어 있는 디바이스의 상이한 부분들을 오염(contaminate)시킬 것이다. 이러한 임계 전기장의 결과는 파우더 표면의 구조가 파괴될 것이라는 것이다.
파우더의 대전을 회피하는 문제에 대한 하나의 해결책이 WO 2008/147306호에 개시된다. 상기 문서에서, 전자빔이 파우더 재료를 조사하는 위치에 근접하여 존재하는 이온들의 양이 제어될 수 있다. 이는, 전자빔에 의해 조사될 때 이온들을 생성할 수 있는 보충 가스를 진공 챔버 내로 도입함으로써 수행되는 하나의 예시적인 실시예에 따른 것이다.
상기 해결책과 연관된 문제는 보충 가스가 전자빔 스팟(spot) 치수를 증가시키며, 그럼으로써 부정적인 방식으로 첨가 제조 프로세스의 레졸루션에 영향을 준다는 것이다.
본 발명의 목적은 자유 부유 입자들이 방지되도록 파우더 재료 내의 전기장 분포를 유지하면서 첨가 제조 프로세스의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
상술된 목적은 청구항 1에 따른 방법의 특징들에 의해 달성된다.
본 발명의 제 1 측면에 있어, 3차원 물품의 연속적인 단면들에 대응하는 부분들인, 파우더 베드의 부분들의 연속적인 융해를 통해 3차원 물품을 형성할 때 레졸루션을 증가시키기 위한 방법이 제공된다. 상기 방법은: 진공 챔버를 제공하는 단계, 전자총을 제공하는 단계, 상기 진공 챔버 내의 작업대 상에 제 1 파우더 층을 제공하는 단계, 상기 3차원 물품의 제 1 단면을 형성하기 위하여 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록 상기 전자총으로부터 상기 작업대 위에 전자빔을 향하게 하는 단계, 상기 작업대 상에 제 2 파우더 층을 제공하는 단계, 상기 3차원 물품의 제 2 단면을 형성하기 위하여 상기 제 2 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록 전자빔을 상기 작업대 위에 향하게 하는 단계로서, 상기 제 2층이 상기 제 1 층에 결합되는, 단계, 상기 제 1 파우더 층 및 상기 제 2 파우더 층을 제공하는 단계들 사이에 진공 챔버의 압력을 제 1 압력 레벨로부터 제 2 압력 레벨로 감소시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 이점들은, 파우더의 연기가 존재할 개연성이 가장 클 때인 예열(preheating) 단계 동안 상대적으로 높은 제 1 압력 레벨을 제공하고, 그 이후 압력을 상대적으로 낮은 제 2 압력 레벨로 감소시킴으로써, 진공 챔버 내의 이온들의 양 및/또는 압력 레벨이 프로세스 단계들에 적응될 수 있다는 것이다. 이렇게 함으로써, 존재하는 이온들의 수가 파우더의 연기를 금지하기 위해 충분히 큰 제 1 압력 레벨에서 예열 단계가 수행된다. 예열이 임의의 종류의 에너지 빔 품질로 수행될 수 있기 때문에, 전자빔과 가스 원자들의 상호작용에 기인하는 에너지 빔의 확산(spread)이 최종 3차원 물품의 품질에 영향을 주지 않을 것이다. 상기 파우더의 실제 융해는 상기 제 1 압력 레벨보다 상당히 작은 제 2 압력 레벨에서 수행되며, 그 결과 전자빔 레졸루션이 가능한 한 높아질 수 있다. 융해 단계 동안의 진공 챔버 내의 가스 원자들의 수가 예열 단계 동안의 가스 원자들의 수보다 훨씬 작다. 파우더가 이미 소결(sinter)되었기 때문에, 입자 연기가 문제되지 않는다. 융해 단계 동안의 감소된 압력 레벨이 전자빔의 품질에 영향을 줄 것이며, 즉, 더 낮은 압력 레벨이 빔 품질을 더 양호하게 할 것이다. 이는 결국 생성될 최종 3차원 물품의 레졸루션을 증가시킬 것이다.
본 발명의 다른 이점은, 첨가 제조 프로세스 동안의 평균 압력이 관련 기술들의 상태에 비하여 감소될 수 있기 때문에, 전자빔 소스의 필라멘트의 수명이 연장될 수 있다는 것이다. 예시적인 실시예에 있어, 상대적으로 높은 제 1 압력 레벨이 단지 각각의 층의 총 프로세스 시간의 20% 미만 동안만 존재할 수 있다. 각각의 층에 대한 프로세스 시간의 나머지 동안 제 2 압력 레벨이 존재하며, 이는 제 1 압력 레벨보다 상당히 낮다. 예시적인 실시예에 있어, 상기 제 2 압력 레벨은 각각의 층의 프로세스 시간의 80%를 초과하는 시간 동안 존재할 수 있다. 상대적으로 높은 제 1 압력 레벨이 단지 예열 단계의 제 1 부분에서만 존재할 수 있다. 상기 제 1 압력 레벨보다 상당히 낮은 제 2 압력 레벨이, 각각의 층에 대한 임의의 다른 프로세스 단계 및 예열 단계의 제 2 부분 및 완전한 융해 단계 동안 존재할 수 있다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 있어, 상기 방법은, 진공 챔버 내로 제 1 보충 가스를 제공하는 단계로서, 제 1 보충 가스는 상기 예열 동안 전자빔에 의해 조사될 때 이온들을 제공할 수 있는, 단계를 더 포함한다.
상기 실시예의 이점은, 파우더의 연기를 억제하기 위해 필요한 것을 초과하지 않는 양의 가스를 제공할 수 있다는 것이다.
본 발명의 또 다른 예시적인 실시예에 있어, 상기 제 1 보충 가스는 적어도 하나의 비활성 가스이며, 여기에서 상기 비활성 가스는: 헬륨, 아르곤, 이산화탄소, 질소, 네온, 크립톤, 제논, 라돈의 그룹 중 하나 이상이다.
본 발명의 이점은, 다른 가스들이 진공 챔버 내에서 사용될 수 있다는 것이다. 더 무거운 원자들을 갖는 가스들이 전자빔을 너무 많이 산란시키며 이는 결국 불량한 레졸루션을 야기하기 때문에, 일반적으로 가벼운 원자들을 갖는 가스들, 예를 들어 헬륨이 사용되었다. 예열 단계로부터 융해 단계로의 압력의 감소가 전자빔의 레졸루션을 유지하면서 더 무거운 원자들을 갖는 가스들의 사용을 가능하게 한다. 헬륨에 비해 더 무거운 원자들을 갖는 아르곤이 파우더의 연기를 방지하는데 더 양호한 가스이다. 예열 동안의 빔의 품질이 중요하지 않기 때문에, 아르곤 또는 이산화 탄소, 질소, 네온, 크립톤, 제논, 라돈 중 하나 또는 이들의 조합들이 예열 동안의 파우더 연기를 방지하는데 사용될 수 있다. 융해 동안의 압력이 충분히 감소되는 경우, 예열 및 융해 동안 압력이 동일한 경우에서 보여지는 바와 같이 전자빔 품질이 저하되지 않을 것이다.
본 발명의 또 다른 예시적인 실시예에 있어, 상기 방법은, 제 2 보충 가스를 진공 챔버 내로 제공하는 단계로서, 제 2 보충 가스는, 적어도 전자 빔에 노출되었을 때, 작업대 상의 파우더 층과 화학적으로 및/또는 물리적으로 반응할 수 있는, 단계를 더 포함한다.
진공 챔버 내의 압력이 융해 단계 동안 10-5 mbar 근처로 또는 이보다 낮게 감소되었기 때문에, 제 2 보충 가스가 융해 단계 동안 챔버 내로 제공될 수 있다. 상기 제 2 보충 가스는 최종 물품의 특성에 영향을 줄 수 있으며, 예로써, 최종 물품의 강도, 연성, 또는 다른 기계적 속성을 증가시킨다.
본 발명의 또 다른 예시적인 실시예에 있어, 상기 제 2 보충 가스는: 수소, 중수소(deuterium), 탄화수소들, 가스상(gaseous) 유기 화합물들, 암모니아, 질소, 산소, 일산화탄소, 이산화탄소, 질소 산화물들 및/또는 아질산 산화물들의 그룹으로부터 선택된 하나 이상일 수 있다.
본 발명이 이하에서 첨부된 도면들을 참조하여 비-제한적인 방식으로 더 설명될 것이다. 동일한 참조부호들이 도면들 중 몇몇 도면들에 걸쳐 대응하는 동일한 부분들을 지시하기 위해 이용된다.
도 1은 본 발명에 따른 방법이 어떻게 구현될 수 있는지에 대한 예시적인 제 1 실시예를 도시한다.
도 2는 진보적인 방법의 제 1 및 제 2 실시예가 적용될 수 있는 3차원 물품을 생성하기 위한 디바이스의 예시적인 일 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 예시적인 제 1 실시예의 압력 대 시간 그래프를 도시한다.
도 4는 대전된 입자 구름을 갖는 파우더 재료의 표면의 일 예를 개략적으로 도시한다.
도 5는 본 발명에 따른 방법이 어떻게 구현될 수 있는지에 대한 예시적인 제 2 실시예를 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 예시적인 제 2 실시예의 압력 대 시간 그래프를 도시한다.
본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여, 복수의 용어들이 이하에서 정의된다. 본 명세서에서 정의되는 용어들은 당업자에 의해 보통 이해되는 바와 같은 의미를 갖는다. "일(a, an)" 및 "그(the)"와 같은 용어들은 단수 개체만을 지칭하도록 의도되지 않으며, 예시를 위하여 특정 예들이 사용될 수 있는 일반적인 클래스를 포함한다. 본 명세서의 용어들이 본 발명의 특정 실시예를 설명하기 위해 사용되지만, 그들의 용법이 청구항들에 서술된 것을 제외하고는 본 발명의 범위를 한정하지 않는다.
본 명세서에서 사용되는 바와 같은 용어 "3차원 구조들" 및 이와 유사한 것은 특정 목적을 위해 사용되도록 의도된, 실제 제조된 또는 의도된 3차원 구성들(예를 들어, 구조적 재료 또는 재료들의)을 전반적으로 지칭한다. 이러한 구조들 등은, 예를 들어, 3차원 CAD 시스템을 이용하여 설계될 수 있다.
다양한 실시예에 있어 본 명세서에서 사용되는 바와 같은 용어 "전자빔"은 임의의 대전된 입자빔을 지칭한다. 대전된 입자빔의 소스들은 전자총, 선형 가속기 등을 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 진보적인 방법이 구현될 수 있는 프리폼(freeform) 제작 또는 첨가 제조 장치(21)의 실시예를 도시한다.
상기 장치(21)는 전자빔 총(6); 편향 코일들(7); 2개의 파우더 호퍼(hopper)들(4, 14); 구축 플랫폼(build platform)(2); 구축 탱크(10); 파우더 분배기(powder distributor)(28); 파우더 베드(powder bed)(5); 및 진공 챔버(20)를 포함한다.
진공 챔버(20)는 진공 시스템을 이용하여 진공 환경을 유지할 수 있으며, 이러한 시스템은, 당업자들에게 잘 알려진 터보 분자 펌프(turbomolecular pump), 스크롤 펌프, 이온 펌프 및 하나 이상의 밸브들을 포함할 수 있으며, 따라서, 이러한 맥락에서 추가적인 설명이 필요하지는 않다. 진공 시스템은 제어 유닛(8)에 의해 제어된다.
전자빔 총(6)은 구축 플랫폼(20) 상에 제공된 파우더 재료를 함께 용융하는데 또는 융해하는데 사용되는 전자빔을 생성한다. 전자빔 총(6)의 적어도 일부분이 진공 챔버(20) 내에 제공될 수 있다. 제어 유닛(8)은 전자빔 총(6)으로부터 방출되는 전자빔을 제어하고 관리하는데 사용될 수 있다. 적어도 하나의 포커싱 코일(미도시), 적어도 하나의 편향 코일(7), 비점수차 정정(astigmatic correction)을 위한 선택적인 코일(미도시) 및 전자빔 전원공급장치가 상기 제어 유닛(8)에 전기적으로 연결될 수 있다. 본 발명의 예시적인 실시예에 있어, 상기 전자빔 총(6)은 약 15~60 kV의 가속 전압 및 3~10 kW 범위의 빔 파워를 갖는 포커싱 가능한 전자빔을 생성한다. 에너지 빔으로 파우더 층과 층을 융해함으로써 3차원 물품을 구축할 때, 진공 챔버 내의 압력이 10-3 mbar이하일 수 있다.
파우더 호퍼들(4, 14)은 구축 탱크(10) 내의 구축 플랫폼(2) 상에 제공될 파우더 재료를 포함한다. 파우더 재료는, 예를 들어, 티타늄, 티타늄 합금들, 알루미늄, 알루미늄 합금들, 스테인리스 강, Co-Cr 합금들, 니켈 기반 초합금들 등과 같은 순수 금속들 또는 금속 합금들일 수 있다.
파우더 분배기(28)은 파우더 재료의 얇은 층을 구축 플랫폼(2) 상에 내려 놓도록 배열된다. 작업 사이클 동안, 구축 플랫폼(2)이 진공 챔버 내의 고정된 지점에 관하여 연속적으로 하강될 것이다. 이러한 움직임을 가능하게 하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 있어 구축 플랫폼(2)이 수직 방향, 즉, 화살표 P에 의해 표시되는 방향으로 움직일 수 있도록 배열된다. 이는, 구축 플랫폼(2)이 필요한 두께의 제 1 파우더 재료층이 내려 놓여지는 초기 위치에서 시작한다는 것을 의미한다. 구축 플랫폼(2)을 하강시키기 위한 수단은, 예를 들어, 기어, 조정 스크루 등이 구비된 서보 엔진을 통할 수 있다.
전자빔이 상기 구축 플랫폼(2) 위에 향하게 할 수 있으며, 이는 상기 3차원 물품의 제 1 단면을 형성하기 위하여 상기 제 1 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록 한다. 빔은 제어 유닛(8)에 의해 주어진 명령들로부터 상기 구축 플랫폼(2) 위로 향해진다. 3차원 물품의 각각의 층에 대하여 어떻게 전자빔을 제어할 것인지에 대한 명령들이 제어 유닛(8)에 저장된다.
제 1 층이 완료된 후, 즉, 3차원 물품의 제 1 층을 만들기 위한 파우더 재료의 융해가 완료된 후, 제 2 파우더 층이 상기 구축 플랫폼(2) 상에 제공된다. 제 2 파우더 층이 이전 층과 동일한 방식으로 바람직하게 분배될 수 있다. 그러나, 동일한 첨가 제조 기계에 있어 작업대 상으로 파우더를 분배하기 위한 대안적인 방법들이 존재할 수 있다. 예를 들어, 제 1 층은 제 1 파우더 분배기(28)를 이용해 제공될 수 있으며, 제 2 층은 다른 파우더 분배기에 의해 제공될 수 있다. 파우더 분배기의 디자인이 제어 유닛(8)으로부터의 명령들에 따라 자동으로 변경된다. 단일 레이크(rake) 시스템 형태의 파우더 분배기(28), 즉, 하나의 레이크가 좌측 파우더 호퍼(4) 및 우측 파우더 호퍼(14) 둘 모두로부터 떨어지는 파우더를 받으며, 레이크가 이와 같이 디자인을 변경할 수 있다.
구축 플랫폼 상에 분배된 제 2 파우더 층을 가진 후, 상기 작업대에 걸쳐 에너지 빔이 보내지며, 이는 상기 3차원 물품의 제 2 단면을 형성하기 위하여 상기 2 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록 한다. 제 2 층의 융해된 부분들이 상기 제 1 층의 융해된 부분들에 결합될 수 있다. 최상위 층의 파우더를 용융할 뿐만 아니라 상기 최상위 층의 바로 아래의 층의 두께의 적어도 일 부분을 재용융함으로써, 제 1 및 제 2 층의 융해된 부분들이 함께 용융될 수 있다.
전자빔이 사용되는 경우에 있어, 전자들이 파우더 베드(5)에 충돌함에 따라 파우더 내에 생성되는 전하 분포를 고려해야 할 필요가 있다. 본 발명은, 적어도 부분적으로, 다음의 파라미터들에 의존하는 전하 분포 밀도의 구현에 기초한다: 빔 전류, 전자 속도(가속 전압으로 주어지는), 빔 스캐닝 속도, 파우더 재료 및 파우더의 전기 전도성, 즉, 주로 파우더 알갱이들 사이의 전기 전도성. 전기 전도성은 결과적으로, 온도, 소결의 정도 및 파우더 알갱이 크기/크기 분포와 같은, 몇몇 파라미터들의 함수이다.
따라서, 주어진 파우더, 즉, 특정 알갱이 크기 분포를 갖는 특정 재료의 파우더, 및 주어진 가속 전압에 대하여, 빔 전류(및 그에 따른 빔 파워) 및 빔 스캐닝 속도를 변화시킴으로써 전하 분포에 영향을 주는 것이 가능하다.
제어되는 방식으로 이러한 파라미터들을 변화시킴으로써, 파우더의 전기 전도성이 파우더의 온도를 증가시킴으로써 점진적으로 증가될 수 있다. 고온을 갖는 파우더는 상당히 높은 전도성을 획득하며, 이는 전하들이 큰 영역에 걸쳐 빠르게 분산될 수 있기 때문에 전하 분포의 더 낮은 밀도를 야기한다. 파우더가 예열 프로세스 동안 약간 소결되도록 허용된 경우 이러한 효과가 증강된다. 전도성이 충분히 높아지게 될 때, 파우더가 빔 전류 및 빔 스캐닝 속도의 미리 결정된 값들로, 함께 융해, 즉, 용융되거나 또는 완전히 소결될 수 있다.
이러한 경로들이 공간 및 시간에서 아주 잘 분리되어 있지 않은 경우, 하나의 스캐닝된 경로를 따라 생성된 전하 밀도가 다른 스캐닝된 경로를 따라 생성된 전하 밀도에 의해 영향을 받을 것이기 때문에, 임의의 스캐닝 절차에서 파우더 내에 전개되는 전하 밀도를 기술하는 일반 함수(general function)는 상당히 복잡한 시간 및 빔 위치의 함수가 될 것이다. 따라서 상이한 경로들 사이의 전하 가중(charge summation) 효과들이 반드시 고려되어야 한다.
도 4는 대전된 입자 구름(41)을 갖는 파우더 재료의 파우더 베드(5)의 상부층(5')을 도시한다. 구름은 전자빔(42)이 파우더 재료를 조사하는 위치 주위에 집중된다. 전기장이 더 커질수록, 더 큰 구름이 조사 지점 주위에 발생할 것이다. 따라서 진공 챔버 내로 도입되거나 또는 진공 챔버 내에서 생성되는 이온들의 수가 파우더 표면의 전하들을 충분히 중성화(neutralize)하기 위하여 미리 정의된 레벨보다 커야 한다. 미리 정의된 레벨은 전기장 강도를 Emax보다 작게 유지하도록 선택되어야 한다. 이렇게 함으로써, 파우더 재료가 충분히 중성화되며 파우더의 리프팅이 방지된다.
도 1은 본 발명에 따른 방법이 어떻게 구현될 수 있는지에 대한 예시적인 제 1 실시예를 도시한다. 도 1은 가스 병(25) 형태의 가스 압력 소스를 도시한다. 가스 병(25)은 파이프(27) 및 밸브(23)를 통해 첨가 제조 장치(21)에 연결 가능하다. 이러한 실시예에 있어 밸브는 제어 유닛(8)에 의해 제어된다. 밸브가 개방될 때 가스 소스(25)로부터의 가스가 주입구(22)를 통해 첨가 제조 디바이스(21) 내로 제공될 것이다. 밸브는 완전 개방과 완전 폐쇄 사이의 임의의 위치로 설정될 수 있으며, 즉, 가스 흐름이 밸브(23)에 의해 조절될 수 있다. 대안적인 실시예에 있어, 압력 및 흐름 조절기(regulator)가 가스 소스(25) 상에 직접적으로 제공될 수 있으며, 이는 밸브(23)의 기능이 단지 첨가 제조 장치(21) 내로의 가스에 대한 개방 및 폐쇄 수단이 되게 할 것이다.
도 3은 본 발명의 도 1에 따른 예시적인 제 1 실시예의 압력 대 시간 그래프를 도시한다. 도 3에 있어, 각기 31, 32, 33 및 34로 표시된 4개의 상이한 프로세스 단계들이 압력 그래프 상에 표시된다. 파우더 분배는 도 3에서 31로 표시된 제 1 프로세스 단계이다. 파우더 분배(31) 동안, 즉, 구축 플랫폼(2)(아무것도 없는 구축 플랫폼 또는 융해된 재료의 하나 또는 몇몇 단면들이 갖춰진 구축 플랫폼) 상에 파우더를 제공하는 동안, 첨가 제조 장치(21) 내의 압력은 파우더 분배가 시작될 때의 초기 압력 레벨(P1)로부터 파우더 분배가 완결될 때의 제 1 압력 레벨(P2)로 증가될 수 있다.
다음 프로세스 단계는 예열 단계(32)이다. 예열 동안 구축 플랫폼(2) 상에 제공된 파우더가 융해 단계(33) 이전에 적절한 온도에 막 도달하려 한다. 이러한 예열 단계는 파우더 연기를 생성하지 않으면서 파우더 베드를 가열하기 위한 적절한 방식으로 파우더 베드에 걸쳐 전자빔을 스캐닝함으로써 수행된다. 이는 2개의 연속적인 스캐닝 라인들 사이에 충분한 간격을 남김으로써 수행되며, 따라서 제 1 스캐닝 라인 내의 전하들의 가중이 제2 스캐닝 라인들 내에 제공되는 전하들에 영향을 미치지 않는다. 예열 동안, 첨가 제조 장치(21) 내의 압력은 제 1 압력 레벨(P2)이며, 이는 파우더의 연기를 억제하거나 또는 소거하는데 충분히 크다. 제 1 압력 레벨(P2)은 대략 10-3 mbar일 수 있다. 압력 레벨이 예열 전체에 걸쳐 일정한 높은 레벨일 수 있다. 대안적으로, 압력 레벨이 상기 예열 동안 변화할 수 있지만, 항상 파우더의 연기를 억제하기에 충분히 높을 수 있다. 도 3에서, 압력은 예열의 제 1 부분에서 높은 레벨인 제 1 압력 레벨(P2)이다. 예열의 제 2 부분에서, 압력이 일정한 레이트(rate)로 제 2 압력 레벨(P3)로 감소되며, 여기에서 제 2 압력 레벨(P3)은 제 1 압력 레벨(P2) 및 초기 압력 레벨(P1)보다 더 낮다. 파우더가 전혀 소결되지 않은 때인 예열의 개시단계에서 파우더의 연기가 존재할 개연성이 가장 크다. 파우더가 더 많이 소결될수록, 파우더 연기의 생성 가능성이 더 낮아진다. 따라서 도 3에 예시된 어떤 시간 후의 예열 단계 동안 압력을 감소시키기 시작할 수 있다.
융해 단계(33) 동안, 첨가 제조 장치(21) 내의 압력이 가능한 한 낮게 유지될 수 있으며, 도 3에서 이는 약 10-5 mbar 이하일 수 있는 제 2 압력 레벨(P3)로 유지된다.
진보적인 방법에 있어, 상기 제 1 파우더 층 및 상기 제 2 파우더 층을 제공하는 단계를 사이에서, 도 3에서 상기 제 1 압력 레벨(P2)로 표시된 제 1 압력 레벨로부터 도 3에서 P3으로 표시된 제 2 압력 레벨로의 상기 첨가 제조 장치의 진공 챔버 내의 압력의 감소가 제공된다.
파우더 베드의 예열이 적어도 부분적으로, 상기 제 2 압력 레벨(P3)보다 더 높은 상기 제 1 압력 레벨(P2)을 이용하여 수행될 수 있다. 상기 파우더 베드는 적어도 부분적으로 상기 제 2 압력 레벨(P3)을 이용하여 상기 선택된 위치들에서 융해될 수 있다.
융해 단계가 완결될 때, 파우더 및 융해된 파우더가 미리 결정된 온도 구간(interval) 내에 있기 위하여 어떤 가열을 필요로 할 수 있다. 이러한 가열 단계는 도 3에서 34로 표시된다. 예열 온도가 재료 의존적이며, 이는 상이한 재료들이 상이한 예열 온도 구간들을 필요로 한다는 것을 의미한다. 상기 예열에 대해 선택된 온도가 최종 3차원 물품의 내부 응력들 및 피로 특성들에 영향을 줄 수 있다. 가열이 완결될 때 또는 가열이 필요하지 않을 때, 프로세스는 다음의 파우더 층을 제공함으로써 전체 단계를 다시 시작한다. 첨가 제조 장치 내의 압력이 예열 단계(32) 동안 필요한 압력에 도달할 수 있도록 하기 위하여 가열 단계 동안 이미 증가되기 시작했을 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 방법이 어떻게 구현될 수 있는지에 대한 예시적인 제 2 실시예를 도시한다. 도 5는 가스 병(52) 형태의 가스 압력 소스, 제 2 밸브(54) 및 저장부(56)를 도시한다. 저장부(56)는 파이프(27) 및 밸브(23)를 통해 첨가 제조 장치(21)에 연결 가능하다. 이러한 실시예에 있어 밸브(23) 및 제 2 밸브(54)가 제어 유닛(8)에 의해 제어된다. 밸브(23 및 54)는 온-오프 밸브들일 수 있다.
제 2 밸브(54)가 개방될 때 상기 밸브(23)가 폐쇄된다. 제 2 밸브(54)가 개방되고 밸브(23)가 폐쇄되어, 가스 소스(52)로부터의 가스가 저장부(56) 내로 제공될 것이다. 저장부(56)의 일정한 체적으로 주어지면, 상기 제 2 밸브가 개방되는 시간 및 압력이 저장부로 제공되는 가스의 양을 결정할 것이다. 예시적인 실시예에 있어 상기 밸브(54)가 개방되는 상기 시간은 1초일 수 있다.
제 2 밸브(54)가 폐쇄될 때, 가스가 저장부로부터 첨가 제조 디바이스(21) 내로 들어가게 하기 위하여 상기 밸브(23)가 개방될 수 있다. 예시적인 실시예에 있어, 상기 밸브(23)가 개방되는 상기 시간은 1초일 수 있다.
도 3의 실시예는 상기 밸브(23) 및 제 2 밸브(54)를 개방 및 폐쇄함으로써 동작된다. 밸브들(23, 54) 둘 모두가 동시에 폐쇄될 수 있다. 하나의 밸브(23, 54)가 개방될 때 다른 밸브(23, 54)가 폐쇄된다. 밸브들(23, 54) 둘 모두가 동시에 개방되지 않을 수 있으며, 이러한 경우에 있어 밸브들 중 적어도 하나가 도 1에서 밸브가 제어되는 방식으로 제어될 필요가 있고, 이는 제 2 밸브(54) 및 저장부(56)가 불필요하게(superfluous) 될 것임을 의미한다.
도 6은 본 발명에 따른 예시적인 제 2 실시예의 압력 대 시간 그래프를 도시한다. 도 6에서, 각기 61, 62, 63 및 64로 표시된 4개의 상이한 프로세스 단계들이 압력 그래프 위에 표시된다. 파우더 분배는 도 6에서 61로 표시된 제 1 프로세스 단계이다. 파우더 분배(61) 동안, 즉, 즉, 구축 플랫폼(2)(아무것도 없는 구축 플랫폼 또는 융해된 재료의 하나 또는 몇몇 단면들이 갖춰진 구축 플랫폼) 상에 파우더를 제공하는 동안, 첨가 제조 장치(21) 내부 압력은 제 2 압력 레벨(P1)일 수 있다.
다음 프로세스 단계는 예열 단계(62)이다. 예열 동안, 구축 플랫폼(2) 상에 제공된 파우더가 융해 단계(63) 이전에 적절한 온도에 막 도달하려 한다. 도 3과 관련되어 설명된 바와 같이, 이러한 예열 단계는 파우더 연기를 생성하지 않으면서 파우더 베드를 가열하기 위한 적절한 방식으로 파우더 베드에 걸쳐 전자빔을 스캐닝함으로써 수행된다. 예열 동안, 첨가 제조 장치(21) 내의 압력이 처음에 제 1 압력 레벨(P2)에 있으며, 이는 파우더의 연기를 억제하기에 충분히 높다. 제 1 압력 레벨(P2)은 대략 10-2 내지 10-3 mbar이다. 저장부 내에 제공된 가스가 진공 챔버 내로 들어가게 되며, 상기 압력 시간 그래프에서 수직 라인으로 표시되는 바와 같이 진공 챔버 내의 압력이 제 1 압력 레벨(P2)로 상대적으로 빠르게 증가된다. 진공 펌프들이 진공 챔버로부터 내용물들을 계속하여 펌핑해서 퍼냄에 따라, 압력이 상기 펌프들의 효율성에 따른 레이트로 강하될 것이며, 이는 상기 제 1 압력 레벨(P2)로부터 상기 제 2 압력 레벨(P1)로의 경사진 라인에 의해 표시된다.
어떠한 파우더도 전혀 소결되지 않는 때인 예열의 개시 단계에서 파우더의 연기가 존재할 개연성이 가장 크기 때문에, 가스 압력의 상기 감소가 파우더의 연기의 억제에 영향을 미치지 않을 것이다.
융해 단계(63) 동안, 첨가 제조 장치(21) 내의 압력이 가능한 한 낮게 유지될 수 있으며, 이는 도 6에서 약 10-5 mbar 이하일 수 있는 제 2 압력 레벨(P1)로 유지된다.
대안적인 실시예에 있어, 제 1 압력 레벨(P2)이 대략 10-2 mbar일 수 있고, 제 2 압력 레벨(P1)은 10-3 mbar 이하일 수 있다. 또 다른 예시적인 실시예에 있어, 제 1 압력 레벨(P2)이 2x10-3 mbar일 수 있고, 제 2 압력 레벨(P1)은 10-4 mbar일 수 있다. 또 다른 예시적인 실시예에 있어, 상기 제 1 압력 레벨(P2)이 2x10-2 mbar일 수 있고, 상기 제 2 압력 레벨(P1)은 2x10-5 mbar일 수 있다. 전자빔의 동일한 파워가 주어지면, 대단히 재료 의존적인 파우더의 연기의 안전한 억제를 보장하기 위하여 제 1 압력 레벨(P2)이 상대적으로 높은 압력으로 유지될 수 있다. 제 2 압력 레벨(P1)은 전자빔 품질을 가능한 한 양호하게, 즉, 전자빔 필라멘트로부터 파우더 베드로의 경로 동안 원자들의 상호작용에 의해 블러링(blur)되는 것을 가능한 한 작게 유지하기 위하여, 상대적으로 낮은 압력으로 유지될 수 있다.
진보적인 방법에 있어, 상기 제 1 파우더 층 및 상기 제 2 파우더 층을 제공하는 단계 사이에서, 도 6에서 상기 제 1 압력 레벨(P2)로 표시된 제 1 압력 레벨로부터 P1로 표시된 제 2 압력 레벨로의 상기 첨가 제조 장치의 진공 챔버 내의 압력의 감소가 제공된다.
도 6에서와 같이, 파우더 베드의 예열이 적어도 부분적으로, 높은 압력인 제 1 압력 레벨(P2)로부터 제 2 압력 레벨(P1)일 수 있는 낮은 압력 레벨로 압력 레벨을 감소시키면서 수행될 수 있다. 상기 파우더 베드는 상기 제 2 압력 레벨(P1)을 이용하여 적어도 부분적으로 상기 선택된 위치들에서 융해될 수 있다.
융해 단계(63)가 완결될 때, 파우더 및 융해된 파우더가 미리 결정된 온도 구간 내에 있도록 하기 위하여 어떤 가열이 필요할 수 있다. 이러한 가열 단계가 도 6에서 64에 의해 표시된다. 도 6에 도시된 실시예에 있어, 상기 가열 단계는 적어도 부분적으로 상기 제 2 압력 레벨(P1) 하에서 수행될 수 있다. 상기 선택적이 가열 단계 이후, 모든 단계들을 다시 시작하며, 즉, 파우더의 다음 층이 파우더의 이전 층의 상단 상에 도포되고, 그 뒤 예열, 융해 및 가열이 이루어진다. 이는 진공 챔버 내의 압력이 융해될 파우더 재료의 제 1 및 제 2 층을 제공하는 사이에 제 1 값으로부터 제 2 값으로 감소된다는 것을 의미한다. 진공 챔버 내의 압력이 프로세스 단계에 따라 상승하거나 또는 하강한다. 예열은 융해 단계에 비하여 더 높은 압력에서 수행된다. 융해가 완료된 후, 진공 챔버 내의 압력이 다음 층의 예열 동안 입자 연기를 억제하기 위하여 다시 증가된다.
진공 챔버 내로 제공되는 제 1 보충 가스는 상기 예열 동안 전자빔에 의해 조사될 때 이온들을 제공할 수 있다. 상기 제 1 보충 가스는 적어도 하나의 비활성 가스일 수 있다. 상기 비활성 가스는: 헬륨, 아르곤, 이산화탄소, 질소, 네온, 크립톤, 제논, 라돈의 그룹 중 하나 이상이다.
상기 제 1 압력 레벨(P2)이 약 10-3 mbar일 수 있다. 제 1 압력 레벨은 선택된 제 1 보충 가스의 유형에 따라 변경될 수 있으며, 더 가벼운 원자는 이상에서 주어진 보충 가스들 사이에서 선택된 더 무거운 원자보다 어느 정도 더 높은 압력을 필요로 할 수 있다.
제 2 보충 가스가 상기 첨가 제조 디바이스(21)의 진공 챔버 내로 제공될 수 있다. 상기 제 2 보충 가스는, 적어도 전자빔에 노출되었을 때, 작업대 상의 파우더 층과 화학적으로 및/또는 물리적으로 반응할 수 있다.
제 1 및 제 2 보충 가스들이 진공 챔버 내에 동시에 존재할 수 있다.
융해 단계 동안 제 2 보충 가스가 상기 첨가 제조 장치(21)의 진공 챔버에 제공될 수 있다. 제 2 보충 가스는 융해 단계 전체에 걸쳐 제 2 보충 가스의 일정하고 충분한 양을 보장하기 위하여 예열 단계의 끝에서 진공 챔버 내로 들어가게 될 수 있다. 이는, 모든 파우더 층이 동일한 양의 제 2 보충 가스에 의해 용융될 것임을 보장하기 위함이며, 이는 결과적으로 생성될 3차원 물품 전체에 걸쳐 동일한 재료 특성을 보장할 것이다.
제 2 보충 가스는: 수소, 중수소(deuterium), 탄화수소들, 가스상(gaseous) 유기 화합물들, 암모니아, 질소, 산소, 일산화탄소, 이산화탄소, 질소 산화물들 및/또는 아질산 산화물들의 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 가스들일 수 있다.
제 2 압력 레벨(P1, P3)이 약 10-5 mbar일 수 있다. 더 무거운 가스 원자는 더 가벼운 원자보다 어느 정도 더 낮은 압력을 요구할 수 있다. 이는, 더 무거운 원자가 더 가벼운 가스 원자보다 전자빔을 더 많이 산란시키며, 따라서 더 가벼운 가스 원자들과 비교하여 전자빔의 동일한 레졸루션에 도달하기 위해 더 무거운 원자들이 더 적게 요구된다는 사실과 관련이 있다.
작업대 상에 제공되는 파우더는 금속으로 만들어질 수 있다.
예열 동안의 평균 압력 레벨이 선택된 위치들의 융해 동안의 평균 압력 레벨보다 더 높을 수 있다. 상기 적어도 제 1 보충 가스가 더 높은 압력 레벨을 갖는 이유는 파우더 연기의 가능성을 감소시키거나 또는 제거하기 위함이다. 이온 빔이 상기 파우더에 충돌할 때 이온 빔에 의해 생성되는 파우더 내의 전하들을 중성화하거나 또는 전하들의 양을 감소시키기 위하여 친공 챔버 내에 특정한 수의 이온들이 요구된다. 이러한 이유로, 이상에서 설명된 바와 같이 상기 제 1 보충 가스를 들어오게 함으로써 또는 상기 예열 단계 동안 이온들이 진공 챔버 내로 들어가게 되는 이온 생성기를 상기 진공 챔버에 공급함으로써 진공 챔버 내에 특정 가스 압력이 존재해야만 한다.
하나의 또는 복수의 파우더 층들에 대하여, 파우더 층 N의 예열이 제 1 압력 레벨에서 수행될 수 있으며, 파우더 층 N의 융해가 제 2 압력 레벨에서 수행될 수 있고, 여기에서 상기 제 1 압력 레벨이 상기 제 2 압력 레벨보다 더 높을 수 있으며, 여기에서 N은 ≥ 1의 임의의 정수일 수 있다.
융해 동안, 가스 원자들이 전자빔의 레졸루션에 다소간 영향을 미칠 수 있으므로, 진공 챔버 내의 가스들의 압력 레벨을 최소로 유지하기를 원한다. 진공 챔버 내에 존재하는 이온들의 유형에 따라, 이상에서 설명된 바와 같은 이유들로 동일한 전자빔 레졸루션을 유지하기 위해 허용되는 압력에 있어 일부 차이들이 존재할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 있어, 3차원 물품의 연속적인 단면들에 대응하는 부분들인, 파우더 베드의 부분들의 연속적인 융해를 통해 3차원 물품을 형성하기 위한 장치가 제공된다. 상기 장치는: 진공 챔버, 전자총, 상기 진공 챔버 내부의 작업대 상에 제 1 파우더 층을 제공하기 위한 파우더 분배기, 상기 3차원 물품의 제 1 단면을 형성하기 위해 상기 제 1 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록 하는, 상기 작업대에 걸친 전자빔 경로를 제어하기 위한 제어 유닛을 포함하고, 상기 제어 유닛은 진공 챔버 내의 압력을, 파우더 층의 예열의 적어도 일 부분 동안 사용되는 제 1 압력 레벨로부터 파우더 층의 융해의 적어도 일 부분 동안 사용되는 제 2 압력 레벨로 감소시키도록 구성된다.
전자빔 경로는 전자빔 총 내에 배열된 하나의 또는 복수의 편향 코일들을 이용해 제어될 수 있으며, 이는 당업자들에게 잘 알려져 있다. 제어 유닛은 상기 파우더 층 상에 융해될 패턴(선택된 위치들)에 따라 편향 코일(들)을 제어할 수 있다.
예열은 파우더 층을 미리 결정된 온도로 가열하는데 사용될 수 있으며, 예열 동안의 진공 챔버 내의 압력이 파우더의 융해가 일어날 때에 비하여 더 높을 수 있다. 제어 유닛은 진공 펌프(들) 및 하나 또는 복수의 가스 공급 밸브들을 제어할 수 있다. 예열 동안 보충 가스가 진공 챔버 내로 들여보내질 수 있다. 상기 보충 가스는, 예를 들어, 상기 예열 동안 전자빔에 의해 조사될 때 이온들을 제공할 수 있는 가스일 수 있다. 상기 보충 가스는, 헬륨, 아르곤, 이산화탄소, 질소, 네온, 크립톤, 제논, 라돈일 수 있다.
제어 유닛은 예열 동안의 상기 제 1 압력 레벨로부터 융해 동안의 제 2 압력 레벨로 진공 챔버 내의 압력을 변경할 수 있다. 제 2 압력 레벨은 제 1 압력 레벨보다 더 낮은 압력을 갖는다. 융해는 진공 챔버 내에 존재하는 분자들에 의한 가능한 한 작은 전자빔의 방해(disturbance)를 가지고 일어날 수 있다. 하나의 또는 복수의 파우더 층들에 대하여, 파우더 층 N의 예열이 제 1 압력 레벨에서 수행될 수 있고, 파우더 층 N의 융해가 제 2 압력 레벨에서 수행될 수 있으며, 여기에서 상기 제 1 압력 레벨이 상기 제 2 압력 레벨보다 더 높을 수 있고, 여기에서 N은 ≥1의 임의의 정수일 수 있다.
본 발명이 이상에서 설명된 실시예들에 한정되지 않으며, 다음의 청구항들의 범위 내에서 다수의 수정예들이 가능하다. 이러한 수정예들은, 예를 들어, 레이저 빔과 같은, 예시된 전자빔과는 상이한 에너지 빔의 소스의 사용을 수반한다. 폴리머들의 파우더 또는 세라믹들의 파우더와 같은, 금속 파우더 외의 다른 재료들이 사용될 수 있다.

Claims (15)

  1. 3차원 물품의 연속적인 단면들에 대응하는 부분들인, 파우더 베드(powder bed)의 부분들의 연속적인 융해(fusion)을 통해 3차원 물품을 형성할 때 레졸루션(resolution)을 증가시키기 위한 방법으로서,
    상기 방법은:
    a. 진공 챔버를 제공하는 단계;
    b. 전자총을 제공하는 단계;
    c. 상기 진공 챔버 내의 작업대(work table) 상에 제 1 파우더 층을 제공하는 단계;
    d. 상기 3차원 물품의 제 1 단면을 형성하기 위하여 상기 제 1 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록, 상기 전자총으로부터 전자빔을 상기 작업대 위에 향하게 하는 단계;
    e. 상기 작업대 상에 제 2 파우더 층을 제공하는 단계;
    f. 상기 3차원 물품의 제 2 단면을 형성하기 위하여 상기 제 2 파우더 층이 선택된 위치들에서 융해되도록, 상기 전자빔을 상기 작업대 위에 향하게 하는 단계로서, 상기 제 2 층은 상기 제 1 층에 결합되는, 단계;를 포함하며,
    상기 방법은:
    g. 적어도 부분적으로 제 1 압력 레벨에서 상기 제 1 파우더 층을 예열(preheat)하는 단계; 및
    h. 상기 제 1 파우더 층을 제공하는 단계 및 상기 제 2 파우더 층을 제공하는 단계 사이에 상기 진공 챔버 내의 압력을 상기 제 1 압력 레벨로부터 제 2 압력 레벨로 감소시키는 단계로서, 상기 제 1 파우더 층의 예열(preheating) 동안의 평균 압력 레벨은 상기 선택된 위치들의 상기 융해 동안의 평균 압력보다 더 높은, 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 파우더 베드는 적어도 부분적으로 상기 제 2 압력 레벨로 상기 선택된 위치들에서 융해되는, 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 챔버 내로 제 1 보충 가스를 제공하는 단계로서, 상기 제 1 보충 가스는 상기 예열 동안 상기 전자빔에 의해 조사(irradiate)될 때 이온들을 제공할 수 있는, 단계를 더 포함하는, 방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제 1 보충 가스는 적어도 하나의 비활성 가스인, 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 비활성 가스는: 헬륨, 아르곤, 이산화탄소, 질소, 네온, 크립톤, 제논, 라돈의 그룹 중 하나 이상인, 방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 압력 레벨은 10-3 mbar인, 방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 챔버 내로 제 2 보충 가스를 제공하는 단계로서, 상기 제 2 보충 가스는, 적어도 상기 전자빔에 노출되었을 때, 상기 작업대 상의 상기 파우더 층과 화학적으로, 또는 물리적으로, 또는 화학적 및 물리적으로 반응할 수 있는, 단계를 더 포함하는, 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제 2 보충 가스는: 수소, 중수소(deuterium), 탄화수소들, 가스상(gaseous) 유기 화합물들, 암모니아, 질소, 산소, 일산화탄소, 이산화탄소, 질소 산화물들 및 아질산 산화물들의 그룹으로부터 선택된 하나 이상인, 방법.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 2 압력 레벨은 10-5 mbar 이하인, 방법.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 작업대 상에 제공되는 상기 파우더는 금속으로 만들어진, 방법.
  12. 청구항 8에 있어서,
    상기 제 2 보충 가스는 상기 선택된 위치들의 상기 융해 동안 제공되는, 방법.
  13. 청구항 8에 있어서,
    상기 진공 챔버 내의 상기 압력 레벨이 미리 결정된 레벨보다 작을 때, 상기 제 2 보충 가스가 삽입되는, 방법.
  14. 청구항 1에 따라 제조된 3차원 물품.
  15. 삭제
KR1020147016652A 2011-12-28 2012-12-04 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치 KR102199319B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161580768P 2011-12-28 2011-12-28
US61/580,768 2011-12-28
PCT/EP2012/074383 WO2013098050A1 (en) 2011-12-28 2012-12-04 Method and apparatus for increasing the resolution in additively manufactured three-dimensional articles

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020207000623A Division KR102182567B1 (ko) 2011-12-28 2012-12-04 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140107274A KR20140107274A (ko) 2014-09-04
KR102199319B1 true KR102199319B1 (ko) 2021-01-06

Family

ID=47294900

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020207000623A KR102182567B1 (ko) 2011-12-28 2012-12-04 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치
KR1020147016652A KR102199319B1 (ko) 2011-12-28 2012-12-04 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020207000623A KR102182567B1 (ko) 2011-12-28 2012-12-04 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9079248B2 (ko)
EP (1) EP2804744B1 (ko)
JP (1) JP6101707B2 (ko)
KR (2) KR102182567B1 (ko)
CN (1) CN103998209B (ko)
BR (1) BR112014012025A2 (ko)
IN (1) IN2014DN03184A (ko)
WO (1) WO2013098050A1 (ko)

Families Citing this family (113)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8992816B2 (en) 2008-01-03 2015-03-31 Arcam Ab Method and apparatus for producing three-dimensional objects
EP2454039B1 (en) 2009-07-15 2014-09-03 Arcam Ab Method for producing three-dimensional objects
EP3479933A1 (en) 2009-09-17 2019-05-08 Sciaky Inc. Electron beam layer manufacturing apparatus
EP2555902B1 (en) 2010-03-31 2018-04-25 Sciaky Inc. Raster methodology for electron beam layer manufacturing using closed loop control
US9073265B2 (en) 2011-01-28 2015-07-07 Arcam Ab Method for production of a three-dimensional body
US10144063B2 (en) 2011-12-28 2018-12-04 Arcam Ab Method and apparatus for detecting defects in freeform fabrication
US10189086B2 (en) 2011-12-28 2019-01-29 Arcam Ab Method and apparatus for manufacturing porous three-dimensional articles
US9126167B2 (en) 2012-05-11 2015-09-08 Arcam Ab Powder distribution in additive manufacturing
CN104781022B (zh) 2012-11-06 2017-10-17 阿卡姆股份公司 用于加成制造的粉末预处理
DE112013006029T5 (de) 2012-12-17 2015-09-17 Arcam Ab Verfahren und Vorrichtung für additive Fertigung
US9718129B2 (en) 2012-12-17 2017-08-01 Arcam Ab Additive manufacturing method and apparatus
US9550207B2 (en) 2013-04-18 2017-01-24 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9676031B2 (en) 2013-04-23 2017-06-13 Arcam Ab Method and apparatus for forming a three-dimensional article
US9415443B2 (en) 2013-05-23 2016-08-16 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9468973B2 (en) 2013-06-28 2016-10-18 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9505057B2 (en) 2013-09-06 2016-11-29 Arcam Ab Powder distribution in additive manufacturing of three-dimensional articles
US9676032B2 (en) 2013-09-20 2017-06-13 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10434572B2 (en) 2013-12-19 2019-10-08 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US9802253B2 (en) 2013-12-16 2017-10-31 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10130993B2 (en) 2013-12-18 2018-11-20 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US9789563B2 (en) 2013-12-20 2017-10-17 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US9789541B2 (en) 2014-03-07 2017-10-17 Arcam Ab Method for additive manufacturing of three-dimensional articles
JP2015174423A (ja) * 2014-03-18 2015-10-05 日本電子株式会社 三次元積層造形装置及び三次元積層造形方法
JP2015182419A (ja) * 2014-03-26 2015-10-22 日本電子株式会社 三次元積層造形装置及び三次元積層造形方法
JP6258739B2 (ja) * 2014-03-26 2018-01-10 日本電子株式会社 ３次元積層造形装置及び３次元積層造形方法
US20150283613A1 (en) * 2014-04-02 2015-10-08 Arcam Ab Method for fusing a workpiece
GB2546016B (en) 2014-06-20 2018-11-28 Velo3D Inc Apparatuses, systems and methods for three-dimensional printing
US9341467B2 (en) 2014-08-20 2016-05-17 Arcam Ab Energy beam position verification
US20160052056A1 (en) * 2014-08-22 2016-02-25 Arcam Ab Enhanced electron beam generation
JP5841650B1 (ja) * 2014-10-20 2016-01-13 株式会社ソディック 積層造形装置
US10786865B2 (en) 2014-12-15 2020-09-29 Arcam Ab Method for additive manufacturing
WO2016110996A1 (ja) * 2015-01-09 2016-07-14 技術研究組合次世代３Ｄ積層造形技術総合開発機構 電子銃、電子銃の制御方法および制御プログラム並びに３次元造形装置
US9721755B2 (en) 2015-01-21 2017-08-01 Arcam Ab Method and device for characterizing an electron beam
US10070962B1 (en) 2015-02-13 2018-09-11 Nextstep Arthropedix, LLC Medical implants having desired surface features and methods of manufacturing
CN104765385A (zh) * 2015-03-29 2015-07-08 西安赛隆金属材料有限责任公司 一种电子束选区熔化气氛调控系统及调控方法
US11014161B2 (en) 2015-04-21 2021-05-25 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US11478983B2 (en) 2015-06-19 2022-10-25 General Electric Company Additive manufacturing apparatus and method for large components
US10449606B2 (en) * 2015-06-19 2019-10-22 General Electric Company Additive manufacturing apparatus and method for large components
EP3341185A1 (en) * 2015-08-28 2018-07-04 SABIC Global Technologies B.V. Additive manufacturing products and processes
US10807187B2 (en) 2015-09-24 2020-10-20 Arcam Ab X-ray calibration standard object
US10583483B2 (en) 2015-10-15 2020-03-10 Arcam Ab Method and apparatus for producing a three-dimensional article
US9676145B2 (en) 2015-11-06 2017-06-13 Velo3D, Inc. Adept three-dimensional printing
US10525531B2 (en) 2015-11-17 2020-01-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10610930B2 (en) 2015-11-18 2020-04-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
EP3178586A1 (en) * 2015-12-10 2017-06-14 Canon Kabushiki Kaisha Method and apparatus for producing powder and method for manufacturing shaped object
US10071422B2 (en) 2015-12-10 2018-09-11 Velo3D, Inc. Skillful three-dimensional printing
JP6797642B2 (ja) * 2015-12-10 2020-12-09 キヤノン株式会社 原料粉体の処理方法、および三次元造形物の製造方法
US20180361665A1 (en) * 2015-12-18 2018-12-20 Aurora Labs Limited 3D Printing Method and Apparatus
US10583532B2 (en) * 2015-12-28 2020-03-10 General Electric Company Metal additive manufacturing using gas mixture including oxygen
US10773340B2 (en) 2015-12-28 2020-09-15 General Electric Company Metal additive manufacturing using gas mixture including oxygen
WO2017115648A1 (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 Ｊｘ金属株式会社 スパッタリングターゲットの製造方法
TWI658920B (zh) * 2015-12-28 2019-05-11 曼瑟森三汽油公司 於建立平台上製造物件之加法製造方法及用於加法製造方法之具有特定表面化學性之金屬基材
US10252374B2 (en) 2016-01-25 2019-04-09 Caterpillar Inc. System and method for laser cladding in controlled environment
US10345786B2 (en) 2016-02-16 2019-07-09 International Business Machines Corporation Method and system for proactive heating-based crack prevention in 3D printing
JP6979963B2 (ja) 2016-02-18 2021-12-15 ヴェロ・スリー・ディー・インコーポレイテッド 正確な３次元印刷
US11247274B2 (en) 2016-03-11 2022-02-15 Arcam Ab Method and apparatus for forming a three-dimensional article
EP3248717B1 (en) * 2016-03-25 2020-09-02 Technology Research Association for Future Additive Manufacturing 3d additive manufacturing device, control method for 3d additive manufacturing device, and control program for 3d additive manufacturing device
WO2017163403A1 (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 技術研究組合次世代３Ｄ積層造形技術総合開発機構 ３次元積層造形装置、３次元積層造形装置の制御方法および３次元積層造形装置の制御プログラム
JP6264622B2 (ja) * 2016-04-18 2018-01-24 株式会社ソディック 積層造形装置
EP3243582A1 (de) * 2016-05-13 2017-11-15 Linde Aktiengesellschaft Verfahren und vorrichtung insbesondere zum generativen fertigen und kodieren eines dreidimensionalen bauteils sowie ein kodierungsgas zum kodieren von bauteilen insbesondere beim generativen fertigen eines dreidimensionalen bauteils
EP3243587A1 (de) 2016-05-13 2017-11-15 Linde Aktiengesellschaft Verfahren und vorrichtung zum herstellen und kodieren von metallpulver sowie ein kodierungsgas zum kodieren von metallpulver
DE102016006383A1 (de) * 2016-05-24 2017-11-30 Messer Group Gmbh Verfahren zum Herstellen metallischer Bauteile mittels generativer Fertigung
WO2017202721A1 (en) * 2016-05-24 2017-11-30 Arcam Ab Method for additive manufacturing using hydrogenated titanium powder in ebm
US11325191B2 (en) 2016-05-24 2022-05-10 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10549348B2 (en) 2016-05-24 2020-02-04 Arcam Ab Method for additive manufacturing
DE112017002704T5 (de) * 2016-05-31 2019-02-14 Hitachi, Ltd. Additive Fertigungsvorrichtung
US10525547B2 (en) 2016-06-01 2020-01-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
WO2018005439A1 (en) 2016-06-29 2018-01-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing and three-dimensional printers
US11691343B2 (en) 2016-06-29 2023-07-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing and three-dimensional printers
JP6026698B1 (ja) * 2016-07-13 2016-11-16 株式会社松浦機械製作所 三次元造形装置
DE102016216682A1 (de) * 2016-09-02 2018-03-08 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren und Vorrichtung zum generativen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
JP7074344B2 (ja) * 2016-10-11 2022-05-24 淳 山崎 立体物形成指示装置、立体物の製造方法、及びプログラム
US10792757B2 (en) 2016-10-25 2020-10-06 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US20180126650A1 (en) 2016-11-07 2018-05-10 Velo3D, Inc. Gas flow in three-dimensional printing
GB201621508D0 (en) * 2016-12-16 2017-02-01 Reliance Rg Ltd Improvements relating to additive manufacture using charged particle beams
US10987752B2 (en) 2016-12-21 2021-04-27 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US20180186080A1 (en) 2017-01-05 2018-07-05 Velo3D, Inc. Optics in three-dimensional printing
US10569364B2 (en) 2017-01-06 2020-02-25 General Electric Company Systems and methods for additive manufacturing recoating
AT15637U1 (de) * 2017-01-17 2018-03-15 Univ Innsbruck Verfahren zur additiven Fertigung
AT15648U1 (de) * 2017-01-17 2018-04-15 Univ Innsbruck Verfahren zur additiven Fertigung
US10442003B2 (en) 2017-03-02 2019-10-15 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing of three-dimensional objects
US11911838B2 (en) 2017-03-10 2024-02-27 Pro-Beam Gmbh & Co. Kgaa Electron beam installation and method for working powdered material
DE102017105193A1 (de) * 2017-03-10 2018-09-13 Pro-Beam Ag & Co. Kgaa Elektronenstrahlanlage sowie Verfahren zum Bearbeiten von pulverförmigem Werkstoff
JP6940862B2 (ja) * 2017-03-15 2021-09-29 株式会社大阪真空機器製作所 排気システムおよびこれを備えた電子ビーム積層造形装置
WO2018183396A1 (en) 2017-03-28 2018-10-04 Velo3D, Inc. Material manipulation in three-dimensional printing
US11059123B2 (en) 2017-04-28 2021-07-13 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
WO2018217646A1 (en) 2017-05-22 2018-11-29 Howmedica Osteonics Corp. Device for in-situ fabrication process monitoring and feedback control of an electron beam additive manufacturing process
US20180339344A1 (en) * 2017-05-23 2018-11-29 Huntington Ingalls Incorporated System and method for in-situ processing of additive manufacturing materials and builds
US11292062B2 (en) 2017-05-30 2022-04-05 Arcam Ab Method and device for producing three-dimensional objects
US10926329B2 (en) 2017-05-31 2021-02-23 General Electric Company Methods and apparatuses to grow compression chambers in powder based additive manufacturing to relieve powder loading on grown part
EP3680044B1 (en) 2017-09-06 2021-12-15 IHI Corporation Three-dimensional shaping device and three-dimensional shaping method
US20190099809A1 (en) 2017-09-29 2019-04-04 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
EP3693164B1 (en) * 2017-10-06 2023-01-11 IHI Corporation Three-dimensional shaping device and three-dimensional shaping method
US10529070B2 (en) 2017-11-10 2020-01-07 Arcam Ab Method and apparatus for detecting electron beam source filament wear
US10821721B2 (en) 2017-11-27 2020-11-03 Arcam Ab Method for analysing a build layer
US11072117B2 (en) 2017-11-27 2021-07-27 Arcam Ab Platform device
US11517975B2 (en) 2017-12-22 2022-12-06 Arcam Ab Enhanced electron beam generation
US10272525B1 (en) 2017-12-27 2019-04-30 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing systems and methods of their use
US10144176B1 (en) 2018-01-15 2018-12-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing systems and methods of their use
US11267051B2 (en) * 2018-02-27 2022-03-08 Arcam Ab Build tank for an additive manufacturing apparatus
US10800101B2 (en) 2018-02-27 2020-10-13 Arcam Ab Compact build tank for an additive manufacturing apparatus
US11413698B2 (en) 2018-03-13 2022-08-16 General Electric Company System and method for monitoring and controlling build quality during electron beam manufacturing
JP7081335B2 (ja) 2018-03-15 2022-06-07 株式会社リコー 立体造形物の製造装置及び立体造形物の製造方法
US11400519B2 (en) 2018-03-29 2022-08-02 Arcam Ab Method and device for distributing powder material
EP3760348A4 (en) * 2018-04-20 2021-12-01 Taiyo Nippon Sanso Corporation PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF A METALLIC MODEL OBJECT
US11117195B2 (en) 2018-07-19 2021-09-14 The University Of Liverpool System and process for in-process electron beam profile and location analyses
US11426818B2 (en) 2018-08-10 2022-08-30 The Research Foundation for the State University Additive manufacturing processes and additively manufactured products
JP7293588B2 (ja) * 2018-08-27 2023-06-20 三菱電機株式会社 積層造形装置及び積層造形方法
CN109268717B (zh) * 2018-09-29 2021-06-04 宁波智正伟盈信息科技有限公司 一种便于固定的led条形灯
JP7155895B2 (ja) * 2018-11-08 2022-10-19 株式会社Ihi 三次元造形装置
US11325302B2 (en) * 2019-01-31 2022-05-10 Xerox Corporation Method and system for composite-based additive manufacturing
KR102252790B1 (ko) * 2019-11-27 2021-05-17 한국생산기술연구원 소재 보충용 호퍼 장치 및 소재 적층 장치
CN116372193B (zh) * 2023-06-05 2023-09-05 西安空天机电智能制造有限公司 大尺寸TiAl合金电子束增材制造设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009253157A (ja) * 2008-04-09 2009-10-29 Toyota Industries Corp 半田付け方法及び半導体装置の製造方法
JP2011052289A (ja) * 2009-09-03 2011-03-17 Nakashima Medical Co Ltd チタン合金製インプラントの製造方法

Family Cites Families (87)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3882477A (en) 1973-03-26 1975-05-06 Peter H Mueller Smoke and heat detector incorporating an improved smoke chamber
JPS56156767A (en) 1980-05-02 1981-12-03 Sumitomo Electric Ind Ltd Highly hard substance covering material
US4863538A (en) 1986-10-17 1989-09-05 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and apparatus for producing parts by selective sintering
US4927992A (en) * 1987-03-04 1990-05-22 Westinghouse Electric Corp. Energy beam casting of metal articles
EP0289116A1 (en) 1987-03-04 1988-11-02 Westinghouse Electric Corporation Method and device for casting powdered materials
US4818562A (en) 1987-03-04 1989-04-04 Westinghouse Electric Corp. Casting shapes
US5876550A (en) 1988-10-05 1999-03-02 Helisys, Inc. Laminated object manufacturing apparatus and method
US5182170A (en) 1989-09-05 1993-01-26 Board Of Regents, The University Of Texas System Method of producing parts by selective beam interaction of powder with gas phase reactant
US5252264A (en) 1991-11-08 1993-10-12 Dtm Corporation Apparatus and method for producing parts with multi-directional powder delivery
DE4400523C2 (de) 1994-01-11 1996-07-11 Eos Electro Optical Syst Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
US5906863A (en) 1994-08-08 1999-05-25 Lombardi; John Methods for the preparation of reinforced three-dimensional bodies
DE19511772C2 (de) 1995-03-30 1997-09-04 Eos Electro Optical Syst Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes
US5837960A (en) 1995-08-14 1998-11-17 The Regents Of The University Of California Laser production of articles from powders
DE19606128A1 (de) 1996-02-20 1997-08-21 Eos Electro Optical Syst Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes
US5883357A (en) 1996-03-25 1999-03-16 Case Western Reserve University Selective vacuum gripper
DE19846478C5 (de) 1998-10-09 2004-10-14 Eos Gmbh Electro Optical Systems Laser-Sintermaschine
DE19853947C1 (de) 1998-11-23 2000-02-24 Fraunhofer Ges Forschung Prozeßkammer für das selektive Laser-Schmelzen
FR2790418B1 (fr) 1999-03-01 2001-05-11 Optoform Sarl Procedes De Prot Procede de prototypage rapide permettant l'utilisation de materiaux pateux, et dispositif pour sa mise en oeuvre
US6391251B1 (en) 1999-07-07 2002-05-21 Optomec Design Company Forming structures from CAD solid models
US6811744B2 (en) 1999-07-07 2004-11-02 Optomec Design Company Forming structures from CAD solid models
DE19939616C5 (de) 1999-08-20 2008-05-21 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung zur generativen Herstellung eines dreidimensionalen Objektes
DE19952998B4 (de) 1999-11-04 2004-04-15 Exner, Horst, Prof. Dr.-Ing. Vorrichtung zur direkten Herstellung von Körpern im Schichtaufbau aus pulverförmigen Stoffen
SE521124C2 (sv) 2000-04-27 2003-09-30 Arcam Ab Anordning samt metod för framställande av en tredimensionell produkt
SE520565C2 (sv) 2000-06-16 2003-07-29 Ivf Industriforskning Och Utve Sätt och apparat vid framställning av föremål genom FFF
AU2001273693A1 (en) 2000-07-26 2002-02-05 Aeromet Corporation Tubular body with deposited features and method of manufacture therefor
US6751516B1 (en) 2000-08-10 2004-06-15 Richardson Technologies, Inc. Method and system for direct writing, editing and transmitting a three dimensional part and imaging systems therefor
DE10047615A1 (de) 2000-09-26 2002-04-25 Generis Gmbh Wechselbehälter
DE10058748C1 (de) * 2000-11-27 2002-07-25 Markus Dirscherl Verfahren zur Herstellung eines Bauteils sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
US6492651B2 (en) 2001-02-08 2002-12-10 3D Systems, Inc. Surface scanning system for selective deposition modeling
US6419203B1 (en) 2001-07-20 2002-07-16 Chi Hung Dang Vibration isolator with parallelogram mechanism
JP3724437B2 (ja) 2002-02-25 2005-12-07 松下電工株式会社 三次元形状造形物の製造方法及びその製造装置
DE10235434A1 (de) 2002-08-02 2004-02-12 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eins dreidimensionalen Objekts mittels eines generativen Fertigungsverfahrens
DE10236697A1 (de) 2002-08-09 2004-02-26 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines dreidimensionalen Objekts mittels Sintern
US20040084814A1 (en) 2002-10-31 2004-05-06 Boyd Melissa D. Powder removal system for three-dimensional object fabricator
US20060147332A1 (en) 2004-12-30 2006-07-06 Howmedica Osteonics Corp. Laser-produced porous structure
US7537664B2 (en) 2002-11-08 2009-05-26 Howmedica Osteonics Corp. Laser-produced porous surface
US20040167663A1 (en) 2002-11-11 2004-08-26 Hiatt William M. Handling system for use with programmable material consolidation systems and associated methods
SE524467C2 (sv) 2002-12-13 2004-08-10 Arcam Ab Anordning för framställande av en tredimensionell produkt, där anordningen innefattar ett hölje
SE524432C2 (sv) 2002-12-19 2004-08-10 Arcam Ab Anordning samt metod för framställande av en tredimensionell produkt
DE20305843U1 (de) 2003-02-26 2003-06-26 Laserinstitut Mittelsachsen E Vorrichtung zur Herstellung von Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern
DE10310385B4 (de) 2003-03-07 2006-09-21 Daimlerchrysler Ag Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Körpern mittels pulverbasierter schichtaufbauender Verfahren
US6815636B2 (en) 2003-04-09 2004-11-09 3D Systems, Inc. Sintering using thermal image feedback
GB0317387D0 (en) 2003-07-25 2003-08-27 Univ Loughborough Method and apparatus for combining particulate material
CA2436267C (en) 2003-07-30 2010-07-27 Control And Metering Limited Vibrating table assembly for bag filling apparatus
DE102004009126A1 (de) * 2004-02-25 2005-09-22 Bego Medical Ag Verfahren und Einrichtung zum Erzeugen von Steuerungsdatensätzen für die Herstellung von Produkten durch Freiform-Sintern bzw. -Schmelzen sowie Vorrichtung für diese Herstellung
DE102004009127A1 (de) 2004-02-25 2005-09-15 Bego Medical Ag Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Produkten durch Sintern und/oder Schmelzen
GB0421469D0 (en) 2004-09-27 2004-10-27 Dt Assembly & Test Europ Ltd Apparatus for monitoring engine exhaust
WO2006091097A2 (en) 2005-01-14 2006-08-31 Cam Implants B.V. Two-dimensional and three-dimensional structures with a pattern identical to that of e.g. cancellous bone
DE102005014483B4 (de) 2005-03-30 2019-06-27 Realizer Gmbh Vorrichtung zur Herstellung von Gegenständen durch schichtweises Aufbauen aus pulverförmigem Werkstoff
DE102005016940B4 (de) 2005-04-12 2007-03-15 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung und Verfahren zum Auftragen von Schichten eines pulverförmigen Materials auf eine Oberfläche
US7807947B2 (en) 2005-05-09 2010-10-05 3D Systems, Inc. Laser sintering process chamber gas curtain window cleansing in a laser sintering system
JP4809423B2 (ja) 2005-05-11 2011-11-09 アルカム・アクチボラゲット 粉末塗布システム
DE102005056260B4 (de) 2005-11-25 2008-12-18 Prometal Rct Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum flächigen Auftragen von fließfähigem Material
US7557491B2 (en) 2006-02-09 2009-07-07 Citizen Holdings Co., Ltd. Electronic component package
DE102006014694B3 (de) 2006-03-28 2007-10-31 Eos Gmbh Electro Optical Systems Prozesskammer und Verfahren für die Bearbeitung eines Werkstoffs mit einem gerichteten Strahl elektromagnetischer Strahlung, insbesondere für eine Lasersintervorrichtung
DE102006023484A1 (de) 2006-05-18 2007-11-22 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung und Verfahren zum schichtweisen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts aus einem pulverförmigen Aufbaumaterial
ATE544548T1 (de) * 2006-07-14 2012-02-15 Avioprop S R L Verfahren zum massenherstellen dreidimensionale gegenstände aus intermetallische verbindungen
WO2008013483A1 (en) 2006-07-27 2008-01-31 Arcam Ab Method and device for producing three-dimensional objects
EP2087031B1 (en) 2006-11-09 2011-09-21 Valspar Sourcing, Inc. Powder compositions and methods of manufacturing articles therefrom
DE102006055078A1 (de) 2006-11-22 2008-06-05 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung zum schichtweisen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
DE102006055052A1 (de) 2006-11-22 2008-05-29 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung zum schichtweisen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
US8691329B2 (en) 2007-01-31 2014-04-08 General Electric Company Laser net shape manufacturing using an adaptive toolpath deposition method
DE102007018126A1 (de) 2007-04-16 2008-10-30 Eads Deutschland Gmbh Herstellverfahren für Hochtemperaturbauteile sowie damit hergestelltes Bauteil
DE102007018601B4 (de) 2007-04-18 2013-05-23 Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh Vorrichtung zum Herstellen von dreidimensionalen Objekten
EP2155421B1 (en) 2007-05-15 2019-07-03 Arcam Ab Method and device for producing three-dimensional objects
DE102007029142A1 (de) 2007-06-25 2009-01-02 3D-Micromac Ag Schichtauftragsvorrichtung zum elektrostatischen Schichtauftrag eines pulverförmigen Werkstoffes sowie Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes
EP2011631B1 (en) 2007-07-04 2012-04-18 Envisiontec GmbH Process and device for producing a three-dimensional object
DE102007056984A1 (de) 2007-11-27 2009-05-28 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts mittels Lasersintern
KR20100120115A (ko) 2007-12-06 2010-11-12 아르켐 에이비 3차원 물체 제조 기기 및 방법
US8992816B2 (en) 2008-01-03 2015-03-31 Arcam Ab Method and apparatus for producing three-dimensional objects
DE102008012064B4 (de) 2008-02-29 2015-07-09 Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh Verfahren sowie Vorrichtung zur Herstellung eines mittels eines Hybridverfahrens hergestellten Hybridformteils und nach dem Verfahren hergestelltes Hybridformteil
DE202008005417U1 (de) 2008-04-17 2008-07-03 Hochschule Mittweida (Fh) Einrichtung zur Herstellung von Gegenständen aus Pulverpartikeln zur sicheren Handhabung einer Menge von Pulverpartikeln
WO2009131103A1 (ja) 2008-04-21 2009-10-29 パナソニック電工株式会社 積層造形装置
US20090283501A1 (en) 2008-05-15 2009-11-19 General Electric Company Preheating using a laser beam
US8308466B2 (en) 2009-02-18 2012-11-13 Arcam Ab Apparatus for producing a three-dimensional object
JP5364439B2 (ja) * 2009-05-15 2013-12-11 パナソニック株式会社 三次元形状造形物の製造方法
EP2454039B1 (en) 2009-07-15 2014-09-03 Arcam Ab Method for producing three-dimensional objects
FR2949667B1 (fr) 2009-09-09 2011-08-19 Obl Structure poreuse a motif controle, repete dans l'espace, pour la realisation d'implants chirurgicaux
US10166316B2 (en) 2009-11-12 2019-01-01 Smith & Nephew, Inc. Controlled randomized porous structures and methods for making same
US9073265B2 (en) 2011-01-28 2015-07-07 Arcam Ab Method for production of a three-dimensional body
US10189086B2 (en) 2011-12-28 2019-01-29 Arcam Ab Method and apparatus for manufacturing porous three-dimensional articles
WO2013159811A1 (en) 2012-04-24 2013-10-31 Arcam Ab Safety protection method and apparatus for additive manufacturing device
US9126167B2 (en) 2012-05-11 2015-09-08 Arcam Ab Powder distribution in additive manufacturing
CN104781022B (zh) 2012-11-06 2017-10-17 阿卡姆股份公司 用于加成制造的粉末预处理
US9718129B2 (en) 2012-12-17 2017-08-01 Arcam Ab Additive manufacturing method and apparatus
DE112013006029T5 (de) 2012-12-17 2015-09-17 Arcam Ab Verfahren und Vorrichtung für additive Fertigung
GB201310762D0 (en) * 2013-06-17 2013-07-31 Rolls Royce Plc An additive layer manufacturing method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009253157A (ja) * 2008-04-09 2009-10-29 Toyota Industries Corp 半田付け方法及び半導体装置の製造方法
JP2011052289A (ja) * 2009-09-03 2011-03-17 Nakashima Medical Co Ltd チタン合金製インプラントの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2014118618A (ru) 2016-02-20
US20140370323A1 (en) 2014-12-18
KR20140107274A (ko) 2014-09-04
WO2013098050A1 (en) 2013-07-04
KR20200009120A (ko) 2020-01-29
CN103998209A (zh) 2014-08-20
US9079248B2 (en) 2015-07-14
JP2015507092A (ja) 2015-03-05
BR112014012025A2 (pt) 2017-06-13
CN103998209B (zh) 2016-08-24
IN2014DN03184A (ko) 2015-05-22
EP2804744B1 (en) 2017-11-08
JP6101707B2 (ja) 2017-03-22
EP2804744A1 (en) 2014-11-26
KR102182567B1 (ko) 2020-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102199319B1 (ko) 첨가적으로 제조되는 3차원 물품들의 레졸루션을 증가시키기 위한 방법 및 장치
US9950366B2 (en) Apparatus for additive manufacturing
US9162394B2 (en) Method and device for producing three-dimensional objects
RU2630096C2 (ru) Способ и устройство для производства с помощью аддитивных технологий
US10421142B2 (en) Method and arrangement for building metallic objects by solid freeform fabrication using plasma transferred arc (PTA) torches
US9561542B2 (en) Powder pre-processing for additive manufacturing
US20180272460A1 (en) Electron beam additive manufacturing
WO2019136523A1 (en) Method and apparatus for increasing the resolution, reducing defect rates and increasing production rates in additively manufactured 3d articles
WO2019087845A1 (ja) 三次元造形装置及び三次元造形方法
WO2021008735A1 (en) Method and device for purging an additive manufacturing space
RU2588207C2 (ru) Способ и устройство для увеличения разрешающей способности в аддитивно выполненных трехмерных изделиях

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL NUMBER: 2020101000097; TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20200113

Effective date: 20200923

GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant