KR102159933B1 - 스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법 - Google Patents

스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법.
스로틀 유닛 (14A) 은, 평면 (15) 상에 적어도 1 개의 미세 홈 (25) 을 갖는 홈이 형성된 블록 (24) 과, 미세 홈 (25) 에 대향하는 평면 (27) 을 갖는 대향 블록 (26) 을 구비한다. 홈이 형성된 블록 (24) 과 대향 블록 (26) 은, 서로 대향하도록 착탈할 수 있게 결합되고, 미세 홈 (25) 과 대향 블록 (26) 의 평면 (27) 에 의해 스로틀 유로 (18) 가 형성된다. 미세 홈 (25) 의 적어도 1 개의 면이, 홈이 형성된 블록 (24) 의 평면 (15) 에 대해 경사지는 경사면, 또는 곡면으로 구성되어 있다.

Description

스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법{THROTTLE UNIT AND A STATIC PRESSURE BEARING DEVICE EQUIPPED WITH THE THROTTLE UNIT, AND A METHOD OF MANUFACTURING A GROOVED BLOCK}
본 발명은, 스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법에 관한 것이다.
공작 기계에 있어서, 직동축 혹은 회전축의 테이블의 안내 장치로서 정압 베어링이 사용된다. 정압 베어링에 있어서, 예를 들어 직동축의 경우, 슬라이드 또는 가이드의 베어링면에 형성되어 있는 정압 포켓에 오일이나 공기 등의 작동 유체를 공급하고, 작동 유체의 정압력에 의해 슬라이드를 고정부인 가이드로부터 부상시킴으로써, 슬라이드는 가이드를 따라 비접촉으로 이동 가능하다.
일반적으로 정압 베어링의 강성을 얻기 위해서는, 펌프에서 정압 포켓으로 작동 유체를 공급하는 배관 도중에 배관 저항이 되는 스로틀 유닛 (배관 저항 장치) 을 설치하여, 펌프로부터 공급되는 작동 유체의 유량을 줄이는 구조가 필요하다. 배관 저항, 즉 스로틀의 강도는, 스로틀의 경로가 되는 미세 유로의 단면적이 작거나 혹은 길수록 강해진다. 정압 포켓 내의 작동 유체의 압력이 펌프에 의해 공급되는 압력의 0.5 배가 되는 스로틀의 강도가 최적의 스로틀 강도이며, 최대의 베어링 강성이 얻어진다.
일반적인 스로틀 유닛으로서, 주사 바늘과 같은 세관을 사용하는 것 (이하, 「니들 스로틀」이라고 한다) 이나, 수나사와 암나사의 간극의 미세 유로를 스로틀로 하는 것 (이하, 「나사 스로틀」이라고 한다) 이 있다. 나사 스로틀에 대해서는, 예를 들어, 일본 공개특허공보 평11-210905호에 개시되어 있다.
니들 스로틀의 문제점으로서, 니들을 주입하기 위한 구조가 복잡하여 조립 공수가 드는 점, 니들 내경의 오차가 스로틀 강도의 개체차에 나타나기 쉬워 스로틀 강도의 개체차가 큰 점, 니들이 탈락하기 쉬워 신뢰성이 떨어지고, 그 영향으로 스로틀 강도가 계시적 (繼時的) 으로 변화할 가능성이 있는 점, 니들의 가늘기에 한도가 있어, 일정 이상의 스로틀 강도를 실현하기 위해 특수 형상이 되는 긴 세관을 필요로 하여 비용이 높은 점, 니들에 먼지 등의 이물질이 쌓였을 때의 청소가 곤란한 점을 들 수 있다.
나사 스로틀의 문제로는, 구성 부품이 많고 구조가 복잡하여 조립 공수가 드는 점, 엄밀한 조정이 필수이며 그 조정 상태에 따라 스로틀 강도의 개체차가 큰 점, 나사의 헐거워짐에 의해 스로틀 강도가 계시적으로 변화할 가능성이 있는 점, 부품 점수가 많아 비용이 높은 점, 먼지 등의 이물질이 쌓였을 때의 청소가 곤란한 점을 들 수 있다.
상기 문제점의 일부를 극복하는 스로틀 유닛으로서, 평면에 홈 가공된 블록과 평면의 블록을 중첩하여 형성된 미세 유로를 스로틀로 하는 것 (이하, 「홈 스로틀」이라고 한다) 이 있다. 일본 공개특허공보 2006-266358호에 기재된 홈 스로틀은, 단면이 대략 정방형의 단순한 홈 형상과 단순한 부품 구성으로 미세 유로를 형성하고 있기 때문에, 니들 스로틀이나 나사 스로틀에서 보이는 구성 부품의 탈락이나 위치 어긋남에서 기인한, 조립한 후에 스로틀 강도가 계시적으로 변화할 가능성은 없어지는 이점이 있다.
또, 일본 공개특허공보 2006-266358호에 기재된 홈 스로틀은, 미세 유로를 형성하는 평면에 홈 가공된 블록을 겹쳐 쌓아감으로써 유로 (스로틀의 경로) 를 연장하여, 단계적으로 스로틀의 강도를 변경할 수 있어, 스로틀 강도의 개체차를 어느 정도의 범위 내로 억제하는 것을 가능하게 하고 있다.
상기 서술한 바와 같이, 스로틀의 강도는, 스로틀의 경로가 되는 미세 유로의 단면적이 작거나 혹은 길수록 강해진다. 일반적으로 유로의 저항은, 유로 길이에 비례하고, 유로 직경의 4 승 (단면적의 제곱) 에 반비례한다. 즉, 단면적을 이루는 홈 폭과 홈 깊이에 있어서, 특히, 상기 유로 직경에 상당하는 홈 깊이의 형성에는 보다 정확성이 요구된다.
이와 같이, 홈 깊이는 스로틀 강도에 영향을 주는 중요한 요소인데, 일본 공개특허공보 2006-266358호는 단면이 대략 정방형으로 되어 있어, 그 홈 깊이를 검사하는 수단으로서, 현미경을 사용하여 홈을 상방으로부터 관찰하는 일반적인 수법으로는, 홈 폭은 측정할 수 있어도, 현미경 시야의 안쪽 방향이 되는 홈 깊이는 측정할 수 없다.
홈 형상을 가공에 의해 형성하는 경우, 홈 깊이는 가공 장치의 기계 정밀도에 의존한다. 기계 가공의 예에서는, 홈 깊이는 목표값에 대해 일반적으로 50 ㎛ 정도의 오차를 포함해 버린다. 그 때문에, 홈 깊이 100 ㎛ 의 단면이 대략 정방형을 얻으려고 해도, 가공 후의 홈 깊이는 75 ㎛ 에서 125 ㎛ 까지 ±25 ％ 의 오차를 가져, 그 홈 단체 (單體) 에서는, 스로틀 강도의 개체차가 ±56 ％ 로 매우 커져 버린다.
상기 개체차를 작게 하기 위해서는, 홈 깊이에 포함하는 50 ㎛ 정도의 오차의 영향을 줄일 필요가 있어, 홈 폭과 홈 깊이를 넓혀 단면적을 넓게 하고, 또한 홈의 길이를 길게 늘릴 필요가 있다. 예를 들어, 홈 깊이의 목표값을 상기 10 배의 1000 ㎛ (1 ㎜) 로 한 단면이 대략 정방형이면, 가공 후의 홈 깊이에서 차지하는 오차는 10 분의 1 인 ±2.5 ％ 가 되어, 그 홈 단체에서는, 스로틀 강도의 개체차를 ±5 ％ 로 억제할 수 있다. 하지만, 홈 스로틀의 강도를 종래와 동등하게 하기 위해서는, 유로 길이를 100 배로 늘릴 필요가 있다.
일본 공개특허공보 2006-266358호는, 홈의 길이를 길게 늘리는 수단으로서, 1 개의 블록 평면에 복수의 직선으로 이루어지는 홈을 형성하거나, 홈을 형성한 블록을 추가하거나 하는 것을 특장으로 하고 있다. 하지만, 가공하는 홈 형상이 복잡해지기 때문에, 가공 공수가 증가하여 비용이 높아지고, 또 먼지 등의 이물질이 쌓이기 쉬워져 스로틀 강도가 계시적으로 변화할 가능성이 있으며, 또한 청소가 곤란해진다고 할 수 있다. 또, 부품 점수가 늘어나는 영향으로서, 비용이 높아지고, 구조가 대형화되어 버린다.
가공 장치의 기계 정밀도에 영향을 주는 요소는, 기계의 분위기 온도의 영향에 의한 열 변위 등이다. 가공 후에 홈 깊이를 측정할 수 있으면, 기계측에 보정 (열 변위 보정 등) 을 가하여 더욱 정확한 가공이 가능해진다. 이 때문에, 가공 후에 홈 깊이를 측정할 수 있는 것은 매우 중요하다고 할 수 있다.
정압 베어링에 사용되는 스로틀 유닛은, 구조가 단순하고, 스로틀의 개체차가 적으며, 스로틀 강도가 계시적으로 변화하지 않고, 저비용이며, 소형이고, 청소가 용이할 것이 요망되지만, 이것들을 모두 만족시키는 스로틀 유닛이 존재하지 않는다. 또, 일본 공개특허공보 2006-266358호의 미세 홈과 같이, 홈의 단면이 대략 정방형인 경우, 가공 장치의 기계 정밀도에 따라 단면 형상의 홈 깊이가 달라도, 상방으로부터의 관찰에 의해 보이는 형상은 동일하다. 이 때문에, 현미경 시야의 안쪽 방향이 되는 홈 깊이는 측정할 수 없으며, 정확하게 홈을 가공하는 것도 곤란하다.
본 발명은, 이와 같은 과제를 고려하여 이루어진 것으로, 현미경을 사용하여 홈을 상방으로부터 관찰하는 일반적인 수법으로, 홈 폭과 함께 홈 깊이를 측정할 수 있게 함으로써, 정확한 홈 가공을 가능하게 하고, 정확한 홈 형상을 얻을 수 있는 스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 적어도 1 개의 공급공으로부터 작동 유체를 유입시키고, 유입된 상기 작동 유체를 미세한 스로틀 유로에 흘려, 상기 스로틀 유로를 통과한 상기 작동 유체를 적어도 1 개의 배출공으로부터 유출시키는 스로틀 유닛으로서, 평면 상에 적어도 1 개의 미세 홈을 갖는 홈이 형성된 블록과, 상기 미세 홈에 대향하는 평면을 갖는 대향 블록을 구비하고, 상기 홈이 형성된 블록과 상기 대향 블록은, 서로 대향하도록 착탈할 수 있게 결합되고, 상기 미세 홈과 상기 대향 블록의 상기 평면에 의해 상기 스로틀 유로가 형성되어 있으며, 상기 미세 홈의 적어도 1 개의 면이, 상기 홈이 형성된 블록의 상기 평면에 대해 경사지는 경사면, 또는 곡면으로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구성을 채용한 본 발명의 스로틀 유닛에 의하면, 미세 홈의 단면 형상을, 예를 들어 삼각형, 사다리꼴, 대략 사각형을 제외한 다각형, 원호형 또는 이들의 조합에 의해 얻어지는 형상으로 함으로써, 현미경을 사용하여 미세 홈을 평면에 수직인 방향으로부터 관찰하는 일반적인 수법으로, 홈 폭과 함께 홈 깊이를 측정할 수 있게 된다. 홈 깊이를 측정할 수 있게 됨으로써, 가공 결과에 기초하여 기계 (가공 장치) 측에 보정을 가하여 보다 정확한 가공이 가능해져, 정확한 홈 형상을 얻을 수 있다.
상기 스로틀 유닛에 있어서, 상기 미세 홈은, 상기 공급공에서부터 상기 배출공까지 직선상으로 연장되어 있으면 된다.
이 구성에 의해, 종래 기술과 같은 복수의 직선상으로 이루어지는 구부러진 미세 홈과 달리, 미세 홈의 제작 (절삭 가공) 이 용이하고, 미세 홈의 모서리 (절곡 지점) 에 이물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있다.
상기 스로틀 유닛에 있어서, 상기 공급공을 개재하여 복수의 상기 미세 홈이 동일 직선 상에 배치되어 있으면 된다.
이 구성에 의해, 미세 홈의 가공시에, 공급공에 걸쳐 1 회의 홈 가공을 실시함으로써, 공급공에 의해 분단된 홈을 각각 독립된 미세 홈으로서 사용할 수 있다. 1 개의 가공 경로에 대해 복수의 미세 홈이 형성되기 때문에, 가공에 필요로 하는 공수를 삭감할 수 있다.
상기 스로틀 유닛에 있어서, 1 개의 상기 공급공에 대해 복수의 상기 스로틀 유로가 연통되어 있고, 복수의 상기 스로틀 유로의 각각에, 서로 독립된 상기 배출공이 연통되어 있으며, 1 개의 상기 공급공에 공급된 상기 작동 유체는, 복수의 상기 스로틀 유로로 분기되어 복수의 상기 배출공으로부터 배출되면 된다.
이 구성에 의해, 정압 베어링 장치에 형성하는 스로틀 유닛의 개수를 삭감할 수 있게 되어, 저비용화, 구조의 단순화, 배관의 생략이 가능해진다. 이 때문에, 스로틀의 강도를 변경하기 위한 추가 부품이 불필요하여, 부품 점수, 시일 지점, 배관이 최소한이어도 된다. 또, 구조가 단순하여, 가공 공수와 조립 공수가 적어도 되고, 스로틀 강도의 개체차가 작고, 비용도 저렴하며, 청소를 용이하게 실시할 수 있다.
상기 스로틀 유닛에 있어서, 상기 홈이 형성된 블록 또는 상기 대향 블록은, 슬라이드의 부품, 가이드의 부품 또는 다른 스로틀 유닛의 부품을 겸하면 된다.
이로써, 실질적으로 1 개의 부품으로 스로틀 유닛을 구성할 수 있기 때문에, 구조의 단순화, 부품 점수 삭감, 공간 절약화, 배관 생략 등의 효과를 기대할 수 있다.
상기 스로틀 유닛에 있어서, 상기 미세 홈은, 상기 공급공에서부터 상기 배출공까지의 유로의 적어도 일부에 있어서, 홈 폭 및 홈 깊이가 연속적으로 변화하고 있으면 된다.
이 구성에 의해, 이물질이 쌓이는 경우에는, 미세 홈에 있어서의 단면 형상이 작은 지점에 이물질이 모이기 쉽다. 이로써, 분해 청소 작업시에 이물질이 어디에 쌓여 있는지의 확인이 용이하여, 이물질을 효율적으로 제거할 수 있다.
상기 스로틀 유닛에 있어서, 상기 미세 홈은, 상기 공급공에서부터 상기 배출공까지의 유로 깊이의 최소값이 1000 ㎛ 이하이면 된다.
또, 본 발명은, 이동부와 고정부를 갖는 직동축 구조 또는 회전축 구조에 있어서, 상기 이동부와 상기 고정부 사이에 정압 베어링이 구성된 정압 베어링 장치로서, 상기 이동부 또는 상기 고정부에 형성되어 있는 정압 포켓에 작동 유체를 공급하는 유체 공급 라인과, 상기 유체 공급 라인에 형성된 스로틀 유닛을 구비하고, 상기 스로틀 유닛은, 상기 어느 것에 기재된 스로틀 유닛인 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은, 평면 상에 적어도 1 개의 미세 홈을 갖는 홈이 형성된 블록의 제조 방법으로서, 상기 홈이 형성된 블록은, 적어도 1 개의 공급공으로부터 작동 유체를 유입시키고, 유입된 상기 작동 유체를 미세한 스로틀 유로에 흘려, 상기 스로틀 유로를 통과한 상기 작동 유체를 적어도 1 개의 배출공으로부터 유출시키는 스로틀 유닛의 구성 부품이고, 상기 스로틀 유닛은, 상기 홈이 형성된 블록과, 상기 미세 홈에 대향하는 평면을 갖는 대향 블록을 구비하고, 상기 홈이 형성된 블록과 상기 대향 블록은 서로 대향하도록 착탈할 수 있게 결합되고, 상기 미세 홈과 상기 대향 블록의 상기 평면에 의해 상기 스로틀 유로가 형성되는 것이고, 상기 홈이 형성된 블록의 제조 방법은, 소재 블록의 평면에, 적어도 1 개의 면이 상기 소재 블록의 상기 평면에 대해 경사지는 경사면, 또는 곡면으로 구성된 미세 홈을 절삭 가공에 의해 형성하는 절삭 공정과, 상기 절삭 공정에 있어서 형성된 상기 미세 홈을 현미경에 의해 상기 소재 블록의 상기 평면에 수직인 방향으로부터 관찰하고, 관찰한 상기 미세 홈의 홈 깊이를 산출하는 깊이 산출 공정과, 산출된 상기 홈 깊이에 기초하여, 절삭 가공을 실시하는 가공 장치에 보정을 가하는 보정 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스로틀 유닛에 의하면, 현미경을 사용하여 미세 홈을 상방으로부터 관찰하는 일반적인 수법으로, 홈 폭과 함께 홈 깊이를 측정할 수 있게 함으로써, 정확한 홈 가공을 가능하게 하고, 정확한 홈 형상을 얻을 수 있다. 따라서, 본 발명의 스로틀 유닛을 탑재함으로써, 부품의 중량 저감, 소형화, 부품 점수와 제조 공정 삭감에 의한 비용 삭감, 신뢰성의 향상, 또한 분해 청소의 용이화에 의한 메인터넌스성의 향상을 도모할 수 있다.
상기 목적, 특징 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 설명되는 이하의 실시형태의 설명으로부터 용이하게 이해될 것이다.
도 1 은, 본 발명의 실시형태에 관련된 정압 베어링 장치의 개략 단면도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타낸 정압 베어링 장치의 스로틀 유닛의 분해 사시도이다.
도 3a 는, 제 1 구성예에 관련된 미세 홈이 형성된 홈이 형성된 블록의 평면도이고, 도 3b 는, 도 3a 에 있어서의 IIIB-IIIB 선을 따른 단면도이다.
도 4a 는, 제 1 구성예에 관련된 미세 홈이 형성된 홈이 형성된 블록 (도 3a 보다 홈 깊이가 깊어진 예) 의 평면도이고, 도 4b 는, 도 4a 에 있어서의 IVB-IVB 선을 따른 단면도이다.
도 5a 는, 제 2 구성예에 관련된 미세 홈이 형성된 홈이 형성된 블록의 평면도이고, 도 5b 는, 도 5a 에 있어서의 VB-VB 선을 따른 단면도이다.
도 6a 는, 제 2 구성예에 관련된 미세 홈이 형성된 홈이 형성된 블록 (도 5a 보다 홈 깊이가 깊어진 예) 의 평면도이고, 도 6b 는, 도 6a 에 있어서의 VIB-VIB 선을 따른 단면도이다.
도 7a 는, 제 3 구성예에 관련된 미세 홈이 형성된 홈이 형성된 블록의 평면도이고, 도 7b 는, 도 7a 에 있어서의 VIIB-VIIB 선을 따른 단면도이다.
도 8a 는, 제 3 구성예에 관련된 미세 홈이 형성된 홈이 형성된 블록 (도 7a 보다 홈 깊이가 깊어진 예) 의 평면도이고, 도 8b 는, 도 8a 에 있어서의 VIIIB-VIIIB 선을 따른 단면도이다.
도 9a 는, 제 4 구성예에 관련된 미세 홈이 형성된 홈이 형성된 블록의 평면도이고, 도 9b 는, 도 9a 에 있어서의 IXB-IXB 선을 따른 단면도이고, 도 9c 는, 도 9a 에 있어서의 IXC-IXC 선을 따른 단면도이다.
도 10a 는, 본 발명의 다른 실시형태에 관련된 정압 베어링 장치의 개략 단면도이고, 도 10b 는, 도 10a 에 나타낸 정압 베어링 장치의 스로틀 유닛의 분해 사시도이다.
도 11 은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 관련된 정압 베어링 장치의 분해 사시도이다.
도 12 는, 도 11 에 나타낸 정압 베어링 장치의 홈이 형성된 블록의 정면도이다.
이하, 본 발명에 관련된 스로틀 유닛 및 이것을 구비한 정압 베어링 장치 그리고 홈이 형성된 블록의 제조 방법에 대하여 바람직한 실시형태를 들어, 첨부한 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1 에 나타내는 정압 베어링 장치 (10A) 는, 베어링 유닛 (12) 과, 베어링 유닛 (12) 에 장착된 스로틀 유닛 (14A) 을 구비한다. 상세한 구조는 도시되지 않지만, 베어링 유닛 (12) 은, 고정부인 가이드와, 가동부인 슬라이드를 갖는 직동축 구조를 구비하고, 슬라이드 또는 가이드의 베어링면에는 복수의 정압 포켓이 형성되어 있다. 정압 포켓에 공기 등의 작동 유체가 공급되면, 작동 유체의 정압력에 의해, 슬라이드가 가이드로부터 부상하여, 슬라이드가 가이드를 따라 비접촉으로 이동할 수 있게 된다. 또한, 베어링 유닛 (12) 은, 회전축 구조를 구비하고 있어도 된다.
스로틀 유닛 (14A) 은, 상기 서술한 베어링 유닛 (12) 의 슬라이드 또는 가이드에 장착되어 있다. 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 스로틀 유닛 (14A) 은, 작동 유체를 유입시키는 공급공 (16) 과, 유입된 작동 유체의 유량을 줄이는 스로틀 유로 (18) 와, 스로틀 유로 (18) 를 통과한 작동 유체를 유출시키는 배출공 (20) 을 구비한다. 공급공 (16) 에는, 유로 공급 라인을 개재하여 작동 유체의 공급원인 펌프 (22) 가 접속되어 있다. 배출공 (20) 은, 상기 서술한 베어링 유닛 (12) 의 정압 포켓과 연통되어 있다.
구체적으로, 스로틀 유닛 (14A) 은, 평면 (15) 과 이 평면 (15) 에 형성된 미세 홈 (25) 을 갖는 홈이 형성된 블록 (24) 과, 홈이 형성된 블록 (24) 에 착탈할 수 있고, 미세 홈 (25) 에 대향하는 평면 (27) 을 갖는 대향 블록 (26) 을 구비한다. 홈이 형성된 블록 (24) 과 대향 블록 (26) 은, 조립 상태에서, 서로 대향하도록 접합되어 있다. 미세 홈 (25) 과 대향 블록 (26) 의 평면 (27) 에 의해 스로틀 유로 (18) 가 형성되어 있다.
공급공 (16) 은 대향 블록 (26) 에 형성되어 있다. 공급공 (16) 은, 대향 블록 (26) 을 두께 방향으로 관통하고 있다. 구체적으로, 공급공 (16) 은, 도입부 (30) 와, 도입부 (30) 보다 하류측 (홈이 형성된 블록 (24) 측) 에 형성된 확산부 (32) 를 갖는다. 확산부 (32) 는, 대향 블록 (26) 의 두께 방향과 수직인 방향 (복수의 미세 홈 (25) 의 상호 이간 방향) 으로 작동 유체를 확산시켜, 후술하는 복수의 스로틀 유로 (18) 에 작동 유체를 공급한다.
스로틀 유로 (18) 는, 작동 유체의 유량을 줄임으로써, 작동 유체의 압력을 감압하도록 구성된 미세 유로이다. 스로틀 유로 (18) (미세 홈 (25)) 는, 공급공 (16) 과 배출공 (20) 사이를 직선상으로 연장하고 있다. 미세 홈 (25) 은, 공급공 (16) 에서부터 배출공 (20) 까지의 유로 깊이의 최소값이 1000 ㎛ 이하이면 된다.
홈이 형성된 블록 (24) 에는, 복수 (도시예에서는 3 개) 의 미세 홈 (25) 이 형성되어 있다. 따라서, 스로틀 유닛 (14A) 은, 서로 독립된 복수 (도시예에서는 3 개) 의 스로틀 유로 (18) 를 갖는다. 1 개의 공급공 (16) 에 대해, 복수의 스로틀 유로 (18) 가 연통되어 있다. 즉, 스로틀 유닛 (14A) 은, 복수의 스로틀 유로 (18) 에 공통되는 1 개의 공급공 (16) 을 갖는다.
배출공 (20) 은 홈이 형성된 블록 (24) 에 형성되어 있다. 배출공 (20) 은, 대향 블록 (26) 을 두께 방향으로 관통하고 있다. 스로틀 유닛 (14A) 은, 스로틀 유로 (18) 와 동수의 배출공 (20) 을 갖는다. 즉, 복수의 스로틀 유로 (18) 의 각각에, 서로 독립된 배출공 (20) 이 연통되어 있다. 따라서, 이 스로틀 유닛 (14A) 에서는, 1 개의 공급공 (16) 에 공급된 작동 유체는, 복수의 스로틀 유로 (18) 로 분기되어, 복수의 배출공 (20) 으로부터 배출되고, 베어링 유닛 (12) 에 형성된 복수의 정압 포켓으로 공급된다.
다음으로, 홈이 형성된 블록 (24) 에 형성된 미세 홈 (25) 의 구성에 대하여 보다 구체적으로 설명한다. 미세 홈 (25) 의 적어도 1 개의 면은, 홈이 형성된 블록 (24) 의 평면 (15) 에 대해 경사지는 경사면, 또는 곡면으로 구성되어 있다. 이와 같은 미세 홈 (25) 의 단면 형상은, 예를 들어 삼각형, 사다리꼴, 대략 사각형을 제외한 다각형, 원호형 또는 이들의 조합에 의해 얻어지는 형상이다. 이로써, 현미경을 사용하여 홈을 상방으로부터 관찰하는 일반적인 수법에 의해, 미세 홈 (25) 의 홈 폭과 함께 홈 깊이를 측정할 수 있게 되어 있다. 미세 홈 (25) 은, 평면을 갖는 금속제 소재 블록을 절삭 가공함으로써 형성할 수 있다.
이하, 미세 홈 (25) 의 단면 형상 패턴에 대하여 몇 가지의 구성을 예시한다. 또한, 도 3 ∼ 도 8 의 각각에 있어서, a 는, 미세 홈 (25) 의 상방으로부터의 관찰예 (평면도) 이고, b 는, 미세 홈 (25) 의 단면 형상을 나타내는 단면도이다. 이들 도면에 있어서, 예를 들어 V 로 둘러싼 범위가 현미경의 시야이다.
미세 홈 (25) 의 일례 (제 1 구성예) 로서 도 3a 및 도 3b 에 나타내는 미세 홈 (25A) 은, 사다리꼴의 단면 형상을 갖는다. 미세 홈 (25A) 에 있어서, 사다리꼴의 하측 바닥에 상당하는 바닥면의 폭은, 사다리꼴의 상측 바닥에 상당하는 개구부의 폭 (홈 폭) 보다 작다. 도시예의 미세 홈 (25A) 에서는, 사다리꼴의 2 개의 레그에 상당하는 측면 (34) 은 양방 모두 홈이 형성된 블록 (24) 의 두께 방향에 대해 경사져 있다. 또한, 미세 홈 (25A) 에 있어서의 어느 일방의 측면 (34) 은, 홈이 형성된 블록 (24) 의 두께 방향과 평행해도 된다. 도 4a 및 도 4b 는, 동일한 형상의 절삭 공구를 사용하여 단면 형상이 사다리꼴인 미세 홈 (25A) 을 가공하였지만, 가공 장치의 기계 정밀도에 따라 단면 형상의 홈 깊이가 도 3a 및 도 3b 의 미세 홈 (25A) 보다 깊어져 버린 예를 나타낸다.
미세 홈 (25) 의 다른 예 (제 2 구성예) 로서 도 5a 및 도 5b 에 나타내는 미세 홈 (25B) 은, 원호형의 단면 형상을 갖는다. 도 6a 및 도 6b 는, 동일한 형상의 절삭 공구를 사용하여 단면 형상이 원호형인 미세 홈 (25B) 을 가공하였지만, 가공 장치의 기계 정밀도에 따라 단면 형상의 홈 깊이가 도 5a 및 도 5b 의 미세 홈 (25B) 보다 깊어져 버린 예를 나타낸다.
미세 홈 (25) 의 또 다른 예 (제 3 구성예) 로서 도 7a 및 도 7b 에 나타내는 미세 홈 (25C) 은, 대략 사각형을 제외한 다각형의 단면 형상을 갖는다. 도 8a 및 도 8b 는, 동일한 형상의 절삭 공구를 사용하여 단면 형상이 대략 사각형을 제외한 다각형의 미세 홈 (25C) 을 가공하였지만, 가공 장치의 기계 정밀도에 따라 단면 형상의 홈 깊이가 도 7a 및 도 7b 의 미세 홈 (25C) 보다 깊어져 버린 예를 나타낸다.
상방으로부터의 관찰예인 도 3a 와 도 4a, 도 5a 와 도 6a, 도 7a 와 도 8a 를 각각 비교해 보면, 동일한 형상의 절삭 공구로 가공한 경우라 하더라도, 홈 깊이의 변화에 따라 관찰되는 홈 폭도 변화하고 있는 것을 알 수 있다. 즉, 동일한 형상의 절삭 공구라면, 홈 깊이가 깊을수록 홈 폭도 커지고 있다.
이들의 단면 형상을 갖는 미세 홈 (25A ∼ 25C) 은, 절삭 공구의 형상이 이미 알려져 있기 때문에, 홈 폭을 알 수 있으면 홈 깊이를 산출할 수 있다. 예를 들어, 사다리꼴의 단면 형상을 갖는 미세 홈 (25A) (도 3b) 의 경우, 홈 폭 (W1) 에 기초하여 홈 깊이 (D) 를 산출할 수 있다. 혹은, 미세 홈 (25A) 의 경우, 경사진 폭 (W2) (상방으로부터 관찰했을 때의, 경사진 측면 (34) 의 폭) 에 기초하여 홈 깊이 (D) 를 산출할 수 있다. 다른 단면 형상을 갖는 미세 홈 (25) 에 대해서도, 홈 폭, 혹은 미세 홈 (25) 을 구성하는 면 중 홈 깊이에 따라 변화하는 부분의 폭에 기초하여 홈 깊이를 산출할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 스로틀 유닛 (14A) 에서는, 미세 홈 (25) 의 적어도 1 개의 면이, 홈이 형성된 블록 (24) 의 평면 (15) 에 대해 경사지는 경사면, 또는 곡면으로 구성되어 있다. 따라서, 미세 홈 (25) 의 단면 형상을, 예를 들어 삼각형, 사다리꼴, 대략 사각형을 제외한 다각형, 원호형 또는 이들의 조합에 의해 얻어지는 형상으로 함으로써, 현미경을 사용하여 미세 홈 (25) 을 상방 (평면 (15) 에 수직인 방향) 으로부터 관찰하는 일반적인 수법으로 홈 폭과 함께 홈 깊이를 측정할 수 있게 된다. 미세 홈 (25) 의 홈 깊이를 측정할 수 있게 됨으로써, 가공 결과에 기초하여 가공 장치에 보정 (열 변위 보정 등) 을 가하여 보다 정확한 가공이 가능해져, 정확한 홈 형상을 얻을 수 있다.
이와 같이, 홈이 형성된 블록 (24) 의 제조 방법은, 절삭 공정과 산출 공정과 보정 공정을 포함한다. 절삭 공정에서는, 소재 블록의 평면에, 적어도 1 개의 면이 소재 블록의 평면에 대해 경사지는 경사면, 또는 곡면으로 구성된 미세 홈 (25) 을 절삭 가공에 의해 형성한다. 산출 공정에서는, 절삭 공정에 있어서 형성된 미세 홈 (25) 을 현미경에 의해 소재 블록 (홈이 형성된 블록 (24)) 의 평면에 수직인 방향으로부터 관찰하여, 관찰한 미세 홈 (25) 의 홈 깊이를 산출한다. 보정 공정에서는, 산출 공정에서 산출된 홈 깊이에 기초하여, 절삭 가공을 실시하는 가공 장치에 보정을 가한다.
상기 서술한 일본 공개특허공보 2006-266358호에서는, 연장 방향이 서로 상이한 복수의 직선상의 미세 홈을 연결함으로써 유로 길이를 벌고 있기 때문에, 미세 홈의 모서리 (절곡 지점) 에 이물질이 쌓이기 쉽다. 이에 대해, 본 실시형태에 관련된 스로틀 유닛 (14A) 에서는, 스로틀 유로 (18) 의 단면 형상을 작게 하고, 유로 길이를 짧게 해도 원하는 스로틀 강도를 얻을 수 있기 때문에, 스로틀 유로 (18) 를, 공급공 (16) 에서부터 배출공 (20) 까지 연장하는 단순한 직선상으로 할 수 있다. 이로써, 미세 홈 (25) 의 제작 (절삭 가공) 이 용이하고, 미세 홈 (25) 에 이물질이 쌓이는 것을 억제할 수 있다.
또, 이 스로틀 유닛 (14A) 에서는, 1 개의 공급공 (16) 에 대해 복수의 스로틀 유로 (18) 가 연통되어 있고, 복수의 스로틀 유로 (18) 의 각각에, 서로 독립된 배출공 (20) 이 연통되어 있으며, 1 개의 공급공 (16) 에 공급된 작동 유체는, 복수의 스로틀 유로 (18) 로 분기되어 복수의 배출공 (20) 으로부터 배출된다. 이 구성에 의해, 정압 베어링 장치 (10A) 에 형성하는 스로틀 유닛 (14A) 의 개수를 삭감할 수 있게 되어, 저비용화, 구조의 단순화, 배관의 생략이 가능해진다. 이 때문에, 스로틀의 강도를 변경하기 위한 추가 부품이 불필요하여, 부품 점수, 시일 지점, 배관이 최소한이어도 된다. 또, 구조가 단순하여, 가공 공수와 조립 공수가 적어도 되어, 스로틀 강도의 개체차가 작고, 비용도 저렴하며, 청소를 용이하게 실시할 수 있다.
따라서, 스로틀 유닛 (14A) 을 탑재함으로써, 부품의 중량 저감, 소형화, 부품 점수와 제조 공정 삭감에 의한 비용 삭감, 신뢰성의 향상, 또한 분해 청소의 용이화에 의한 메인터넌스성의 향상을 도모할 수 있다.
그런데, 상기 서술한 바와 같이, 미세 홈 (25) 은 단순한 직선 형상으로 하는 것이 가능하며, 먼지 등의 이물질은 잘 쌓이지 않게 된다. 하지만, 스로틀 유로 (18) (미세 홈 (25)) 의 단면 형상이 작은 경우도 있어, 공급되는 작동 유체의 세정도에 따라서는 이물질이 쌓일 가능성을 완전히 제로로 하는 것은 불가능하다. 그 때문에 분해 청소 작업시에는 이물질이 어디에 쌓여 있는지 확인하여 제거할 필요가 있다.
그래서, 미세 홈 (25) 의 또 다른 예 (제 4 구성예) 로서 도 9a ∼ 도 9c 에 나타내는 미세 홈 (25D) 에서는, 그 전체 길이 (공급공 (16) 에서부터 배출공 (20) 사이) 의 적어도 일부에 있어서 홈 폭 및 홈 깊이가 연속적으로 변화하고 있다. 미세 홈 (25D) 에서는, 그 전체 길이에 걸쳐 홈 폭 및 홈 깊이가 연속적으로 변화하고 있어도 된다. 도 9a ∼ 도 9c 에서는, 사다리꼴의 단면 형상을 갖는 미세 홈 (25D) 을 예시하고 있다. 구체적으로는, 도 9a 에 나타내는 바와 같이, 미세 홈 (25D) 에서는, 미세 홈 (25D) 의 연장 방향을 따라, 홈 폭이 연속적으로 변화하고 있다. 도 9b 및 도 9c 에 나타내는 바와 같이, 상이한 위치의 단면에 있어서는, 단면 형상의 크기 (홈 폭 및 홈 깊이) 가 상이하다.
또한, 홈 폭 및 홈 깊이가 연속적으로 변화하는 미세 홈 (25D) 의 단면 형상은, 도 5a ∼ 도 6b 에 나타내는 미세 홈 (25B) 과 동일한 원호형이어도 되고, 혹은 도 7a ∼ 도 8b 에 나타내는 미세 홈 (25C) 과 동일한 대략 사각형을 제외한 다각형이어도 된다.
상기와 같은 홈 폭 및 홈 깊이가 연속적으로 변화하는 미세 홈 (25D) 을 채용함으로써, 이물질이 쌓이는 경우에는, 미세 홈 (25D) 에 있어서의 단면 형상이 작은 지점에 이물질이 모이기 쉽게 할 수 있다. 이로써, 분해 청소 작업시에 이물질이 어디에 쌓여 있는지의 확인이 용이하여, 이물질을 효율적으로 제거할 수 있다.
도 10a 및 도 10b 에 나타내는 스로틀 유닛 (14B) 은, 평면을 가지고 또한 공급공 (16), 미세 홈 (25) 및 배출공 (20) 이 형성된 홈이 형성된 블록 (24a) 과, 미세 홈 (25) 에 대향하는 평면 (27) 을 갖는 대향 블록 (26a) 을 구비한다. 즉, 이 스로틀 유닛 (14B) 은, 상기 서술한 스로틀 유닛 (14A) 에 있어서, 대향 블록 (26) 이 아니라 홈이 형성된 블록 (24) 에 공급공 (16) 을 형성한 것에 상당한다. 각 미세 홈 (25) 은, 상기 서술한 미세 홈 (25A ∼ 25D) 중 어느 것일 수 있다. 도 10b 에 나타내는 정압 베어링 장치 (10B) 는, 베어링 유닛 (12) 과, 베어링 유닛 (12) 에 착탈할 수 있는 스로틀 유닛 (14B) 을 구비한다. 상기와 같이 구성된 스로틀 유닛 (14B) 에 의해서도, 상기 서술한 스로틀 유닛 (14A) 과 동일한 효과가 얻어진다.
도 11 에 나타내는 정압 베어링 장치 (10C) 는, 베어링 유닛 (12) 과, 베어링 유닛 (12) 에 착탈할 수 있게 고정되는 홈이 형성된 블록 (24b) 을 구비한다. 도 11 에서는, 홈이 형성된 블록 (24b) 이 베어링 유닛 (12) 으로부터 분리된 상태를 나타내고 있다. 베어링 유닛 (12) 은, 고정부인 가이드 (38) 와, 가동부인 슬라이드 (도시 생략) 를 갖는다. 가이드 (38) 에는 복수의 정압 포켓 (40) 이 형성되어 있다.
가이드 (38) 는, 홈이 형성된 블록 (24b) 이 베어링 유닛 (12) 에 장착 (고정) 된 상태로 홈이 형성된 블록 (24b) 에 형성된 복수의 미세 홈 (25) 에 대향하는 평면 (27) 을 갖는다. 홈이 형성된 블록 (24b) 이 베어링 유닛 (12) 에 장착 (고정) 된 상태에서는, 복수의 미세 홈 (25) 과 평면 (27) 에 의해, 복수의 스로틀 유로 (18) 가 형성된다. 따라서, 베어링 유닛 (12) 의 가이드 (38) 의 부품은, 복수의 미세 홈 (25) 에 대향하는 평면 (27) 을 갖는 대향 블록 (26b) 을 겸하고 있다. 또한, 복수의 정압 포켓 (40) 은 가동부인 슬라이드에 형성되어 있어도 된다.
홈이 형성된 블록 (24b) 에는, 1 개의 공급공 (16) 과, 각각이 이 1 개의 공급공 (16) 에 연통된 복수 (도시예에서는 6 개) 의 미세 홈 (25) 과, 각각이 복수의 미세 홈 (25) 과 연통된 복수의 배출공 (20) 이 형성되어 있다. 미세 홈 (25) 은, 상기 서술한 미세 홈 (25A ∼ 25D) 중 어느 형태를 취할 수 있다.
도 12 에 나타내는 바와 같이, 복수의 미세 홈 (25) 의 각각은, 공급공 (16) 에서부터 배출공 (20) 까지 직선상으로 연장되어 있다. 공급공 (16) 을 개재하여 2 개의 미세 홈 (25) 이 동일 직선 상에 배치되어 있다. 동일 직선 상에 배치된 2 개의 미세 홈 (25) 의 세트가, 복수 세트 (도시예에서는 3 세트) 형성되어 있다. 1 개의 공급공 (16) 에 대해 복수의 미세 홈 (25) (스로틀 유로 (18)) 이 연통되어 있다. 1 개의 공급공 (16) 에 공급된 작동 유체는, 복수의 스로틀 유로 (18) 로 분기되어 복수의 배출공 (20) 으로부터 배출된다.
도 11 에 나타내는 바와 같이, 스로틀 유닛 (14C) 은, 상기와 같이 구성된 홈이 형성된 블록 (24b) 과, 가이드 (38) 의 부품을 겸한 대향 블록 (26b) 에 의해 구성되어 있다. 따라서, 홈이 형성된 블록 (24b) 을, 평면 (27) 을 갖는 정압 베어링 부품인 가이드 (38) 에 장착하는 것만으로 스로틀 유닛 (14C) 을 구성할 수 있다.
또한, 홈이 형성된 블록 (24b) 이, 가이드의 부품을 겸하고 있어도 된다. 혹은, 홈이 형성된 블록 (24b) 또는 대향 블록 (26b) 이, 베어링 유닛 (12) 의 슬라이드의 부품 또는 다른 스로틀 유닛의 부품을 겸하고 있어도 된다.
이 스로틀 유닛 (14C) 에 의해서도, 상기 서술한 스로틀 유닛 (14A) 과 동일한 효과가 얻어진다. 또, 이 스로틀 유닛 (14C) 에 의하면, 미세 홈 (25) 의 가공시에, 공급공 (16) 에 걸쳐 1 회의 홈 가공을 실시함으로써, 공급공 (16) 에 의해 분단된 홈을 각각 독립된 미세 홈 (25) 으로서 사용할 수 있다. 1 개의 가공 경로에 대해 복수의 미세 홈 (25) 이 형성되기 때문에, 가공에 필요로 하는 공수를 삭감할 수 있다.
또한, 홈이 형성된 블록 (24b) 또는 대향 블록 (26b) 은, 슬라이드의 부품, 가이드의 부품 또는 다른 스로틀 유닛의 부품을 겸하기 때문에 실질적으로 1 개의 부품으로 스로틀 유닛 (14C) 을 구성할 수 있다. 이로써, 구조의 단순화, 부품 점수 삭감, 공간 절약화, 배관 생략 등의 효과를 기대할 수 있다.
본 발명은 상기 서술한 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지의 개변이 가능하다.

Claims (9)

  1. 적어도 1 개의 공급공으로부터 작동 유체를 유입시키고, 유입된 상기 작동 유체를 미세한 스로틀 유로에 흘려, 상기 스로틀 유로를 통과한 상기 작동 유체를 적어도 1 개의 배출공으로부터 유출시키는 스로틀 유닛으로서,
    평면 상에 적어도 1 개의 미세 홈을 갖는 평판상의 홈이 형성된 블록과,
    상기 미세 홈에 대향하는 평면을 갖는 평판상의 대향 블록을 구비하고,
    상기 홈이 형성된 블록과 상기 대향 블록은, 서로 대향하도록 착탈할 수 있게 결합되고,
    상기 미세 홈과 상기 대향 블록의 상기 평면에 의해 상기 스로틀 유로가 형성되어 있으며,
    상기 미세 홈의 적어도 1 개의 면이, 상기 홈이 형성된 블록의 상기 평면에 대해 경사지는 경사면으로 구성되어 있고,
    상기 미세 홈의 단면의 형상은, 상기 평면에 수직인 방향으로부터의 관찰에 의해 홈 폭 및 홈 깊이를 측정 가능하게 하는 사다리꼴로 형성되고, 상기 단면의 면적은, 상기 미세 홈이 연장하는 방향에 따라 일정하고,
    상기 사다리꼴의 하측 바닥면의 폭은 사다리꼴의 상측의 개구부의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 스로틀 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 홈은, 상기 공급공에서부터 상기 배출공까지 직선상으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 스로틀 유닛.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 공급공을 개재하여 복수의 상기 미세 홈이 동일 직선 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스로틀 유닛.
  4. 제 1 항에 있어서,
    1 개의 상기 공급공에 대해 복수의 상기 스로틀 유로가 연통되어 있고,
    복수의 상기 스로틀 유로의 각각에, 서로 독립된 상기 배출공이 연통되어 있고,
    1 개의 상기 공급공에 공급된 상기 작동 유체는, 복수의 상기 스로틀 유로로 분기되어 복수의 상기 배출공으로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 스로틀 유닛.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 홈이 형성된 블록 또는 상기 대향 블록은, 슬라이드의 부품, 가이드의 부품 또는 다른 스로틀 유닛의 부품을 겸하는 것을 특징으로 하는 스로틀 유닛.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 홈은, 상기 공급공에서부터 상기 배출공까지의 유로의 적어도 일부에 있어서, 홈 폭 및 홈 깊이가 연속적으로 변화하고 있는 것을 특징으로 하는 스로틀 유닛.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 홈은, 상기 공급공에서부터 상기 배출공까지의 유로의 깊이의 최소값이 1000 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 스로틀 유닛.
  8. 이동부와 고정부를 갖는 직동축 구조 또는 회전축 구조에 있어서, 상기 이동부와 상기 고정부 사이에 정압 베어링이 구성된 정압 베어링 장치로서,
    상기 이동부 또는 상기 고정부에 형성되어 있는 정압 포켓에 작동 유체를 공급하는 유체 공급 라인과,
    상기 유체 공급 라인에 형성된 스로틀 유닛을 구비하고,
    상기 스로틀 유닛은, 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 스로틀 유닛인 것을 특징으로 하는 정압 베어링 장치.
  9. 평면 상에 적어도 1 개의 미세 홈을 갖는 평판상의 홈이 형성된 블록의 제조 방법으로서,
    상기 홈이 형성된 블록은, 적어도 1 개의 공급공으로부터 작동 유체를 유입시키고, 유입된 상기 작동 유체를 미세한 스로틀 유로에 흘려, 상기 스로틀 유로를 통과한 상기 작동 유체를 적어도 1 개의 배출공으로부터 유출시키는 스로틀 유닛의 구성 부품이고,
    상기 스로틀 유닛은, 상기 홈이 형성된 블록과, 상기 미세 홈에 대향하는 평면을 갖는 평판상의 대향 블록을 구비하고, 상기 홈이 형성된 블록과 상기 대향 블록은 서로 대향하도록 착탈할 수 있게 결합되고, 상기 미세 홈과 상기 대향 블록의 상기 평면에 의해 상기 스로틀 유로가 형성되는 것이고,
    상기 홈이 형성된 블록의 제조 방법은,
    소재 블록의 평면에, 적어도 1 개의 면이 상기 소재 블록의 상기 평면에 대해 경사지는 경사면으로 구성된 홈이고, 상기 홈이 연장되는 방향에 직교하는 방향의 단면의 형상이 상기 평면에 수직한 방향으로부터의 관찰에 의해 홈 폭 및 홈 깊이를 측정 가능하게 하는 사다리꼴이고, 상기 사다리꼴의 하측 바닥면의 폭은 사다리꼴의 상측의 개구부의 폭보다 작고, 상기 홈이 연장되는 방향에 따라 상기 단면의 면적이 일정한 미세 홈을 절삭 가공에 의해 형성하는 절삭 공정과,
    상기 절삭 공정에 있어서 형성된 상기 미세 홈을 현미경에 의해 상기 소재 블록의 상기 평면에 수직인 방향으로부터 관찰하고, 관찰한 상기 미세 홈의 홈 깊이를 산출하는 깊이 산출 공정과,
    산출된 상기 홈 깊이에 기초하여, 절삭 가공을 실시하는 가공 장치에 보정을 가하는 보정 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 홈이 형성된 블록의 제조 방법.
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