TWI692591B - 節流單元、設有該節流單元的靜壓軸承裝置及附設溝槽的塊體之製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供節流單元、設有該節流單元的靜壓軸承裝置以及附設溝槽的塊體之製造方法。節流單元（14A）具備：附設溝槽的塊體（24），在平面（15）上具有至少一個微小槽（25）；以及相向塊體（26），具有與微小槽（25）相向的平面（27）。附設溝槽的塊體（24）與相向塊體（26）彼此相向地以可裝卸方式結合，由微小槽（25）和相向塊體（26）的平面（27）形成節流流道（18）。微小槽（25）的至少一個面由相對於附設溝槽的塊體（24）的平面（15）傾斜的斜面或者由曲面構成。

Description

節流單元、設有該節流單元的靜壓軸承裝置及附設溝槽的塊體之製造方法
本發明係關於節流單元、設有該節流單元的靜壓軸承裝置及附設溝槽的塊體之製造方法。
在工具機中，靜壓軸承用作直線軸或者旋轉軸的工作臺的引導裝置。在靜壓軸承中，例如在為直線軸的情況下，向形成於滑動件或者引導件的軸承面的靜壓凹部供給油、空氣等工作流體，利用工作流體的靜壓力而使滑動件從作為固定部的引導件浮起，藉而得以使滑動件沿著引導件以非接觸的方式移動。
通常，為了獲得靜壓軸承的剛性，需要如下構造：在從泵向靜壓凹部供給工作流體的配管的中途設置成為配管阻力的節流單元（配管阻力裝置），對從泵供給的工作流體的流量進行節流。在成為節流的路徑的微小流道的截面積越小或者越長時，配管阻力亦即節流強度越強。使靜壓凹部內的工作流體的壓力成為由泵供給之壓力的0.5倍之節流強度是最佳的節流強度，能夠獲得最大的軸承剛性。
就通常的節流單元而言，存在有使用如注射針的細管的節流單元（以下，稱為「針節流件」）、將外螺紋與內螺紋的間隙的微小流道設為節流件的節流單元（以下，稱為「螺紋節流件」）。關於螺紋節流件，例如在日本特開平11-210905號公報中公開。
就針節流件的問題點而言，能夠舉出如下幾點：用於將針組入的構造複雜且耗費組裝工時；針的內徑的誤差容易體現為節流強度的個體差異且節流強度的個體差異較大；針容易脫落而使可靠度較差，因此存在有節流強度因該影響而隨著時間經過而變化的可能性；針的粗細有其下限，為了實現恒定以上的節流強度而需要形成特殊形狀的較長的細管而使成本變高；在針堵塞垃圾等異物時的清掃較困難。
就螺紋節流件的問題點而言，能夠舉出如下幾點：構成零件較多而構造複雜使耗費組裝工時；必須進行精確的調整且因該調整狀態而使節流強度的個體差異大；存在節流強度因螺紋的鬆弛而隨著時間經過而變化的可能性；零件件數多而使成本高；堵塞有垃圾等異物時的清掃困難。
就克服上述的問題點的一部分的節流單元而言，存在如下節流單元（以下，稱為「槽節流件」）：將在平面進行槽加工的塊體與平面的塊體重疊而形成的微小流道作為節流件。日本特開2006-266358號公報所記載的槽節流件利用截面為大致正方形的簡單的槽形狀與簡單的零件結構形成微小流道，因此存在以下優點：消除了出現於針節流件、螺紋節流件的由構成零件之脫落、位置偏移所引起的組裝後節流強度隨著時間經過而變化的可能性。
另外，日本特開2006-266358號公報所記載的槽節流件藉由層疊在形成微小流道的平面進行槽加工的塊體而使流道（節流的路徑）延長，能夠階段性地變更節流強度，能夠將節流強度的個體差異意抑制在某種程度的範圍內。
如上所述，在成為節流的路徑的微小流道的截面積越小或者越長時，節流強度越強。通常，流道的阻力與流道長度成比例，與流道直徑的四次方（截面積的平方）成反比例。即，在構成截面積的槽寬與槽深中，尤其，對相當於上述的流道直徑的槽深的形成進一步要求正確性。
如上所述，槽深是影響節流強度的重要的因素，但日本特開2006-266358號公報的截面呈大致正方形，就檢查其槽深的方法而言，在使用顯微鏡從上方觀察槽的通常方法中，即使能夠測定槽寬，也無法測定顯微鏡的視野中為深度方向的槽深。
在藉由加工形成槽形狀的情況下，槽深取決於加工裝置的機械精度。在機械加工的例子中，槽深相對於目標值通常包含50μm左右的誤差。因此，即使槽深100μm的截面想做成為大致正方形，加工後的槽深也為75μm~125μm而具有±25％的誤差，在該槽單體中，將會使節流強度的個體差異非常大，達到±56％。
為了縮小上述的個體差異，需要減少槽深所含的50μm左右的誤差的影響，而必須擴大槽寬與槽深來擴大截面積，並且使槽的長度伸長。例如，若將槽深的目標值設為上述的10倍的1000μm（1mm）的截面呈大致正方形，則加工後的槽深所占的誤差成為10分之1的±2.5％，在該槽單體中，節流強度的個體差異能夠抑制為±5％。然而，為了使槽節流強度與以往同等，需要使流道長伸長到100倍。
日本特開2006-266358號公報的特徵在於，作為使槽的長度伸長的方法，在一個塊體平面設置由多個直線構成的槽或者追加設置了槽的塊體。但是，加工的槽形狀變得複雜，因此加工工時增加而成本變高，並且容易堵塞垃圾等異物而存在節流強度隨著時間經過而變化的可能性，另外還使清掃變得困難。另外，作為零件件數增加的影響，導致成本變高、構造大型化。
影響加工裝置的機械精度的因素是機械的環境氣體溫度的影響所引起的熱位移等。若能夠在加工後測定槽深，則能夠在機械側予以修正（熱位移修正等）而進行更加正確的加工。因此，能夠在加工後測定槽深可說是非常重要的。
靜壓軸承所使用的節流單元宜為構造簡單、節流件的個體差異較少、節流強度不會隨著時間經過而變化、低成本且小型、清掃較容易，但完全滿足上述條件的節流單元並不存在。另外，如日本特開2006-266358號公報的微小槽，在槽的截面呈大致正方形的情況下，即使因加工裝置的機械精度而使截面形狀的槽深不同，藉由來自上方的觀察能夠觀察的形狀仍相同。因此，無法測定顯微鏡的視野中為深度方向的槽深，正確地加工槽也較困難。
本發明是考慮上述的課題而完成的，其目的在於提供一種如下節流單元、設有該節流單元的靜壓軸承裝置以及附設溝槽的塊體之製造方法：藉由使用顯微鏡從上方觀察槽的通常的方法，能夠將槽深與槽寬一同測定，藉而得以進行正確的槽加工，進而能夠獲得正確的槽形狀。
為了實現上述的目的，本發明為一種節流單元，使工作流體從至少一個供給孔流入，使所流入的上述工作流體流向微小的節流流道，使通過了上述節流流道的上述工作流體從至少一個排出孔流出，其特徵在於，具備：附設溝槽的塊體，在平面上具有至少一個微小槽；以及相向塊體，具有與上述微小槽相向的平面；且上述附設溝槽的塊體與上述相向塊體彼此相向地以可裝卸方式結合，由上述微小槽和上述相向塊體的上述平面形成上述節流流道，上述微小槽的至少一個面由相對於上述附設溝槽的塊體的上述平面傾斜的斜面或者由曲面構成。
根據採用了上述的構成的本發明的節流單元，藉由將微小槽的截面形狀形成例如三角形、梯形、不含大致方形在內的多邊形、圓弧形或者它們的組合而獲得的形狀，得以藉由使用顯微鏡從與平面垂直的方向觀察微小槽的通常的方法，將槽深與槽寬一同測定。由於能夠測定槽深，藉而得以基於加工結果在機械（加工裝置）側施加修正而進行更加正確的加工，進而能夠獲得正確的槽形狀。
在上述的節流單元中，上述微小槽也可以從上述供給孔至上述排出孔以直線狀延伸。
根據該構成，與如昔知技術的由多個直線狀構成的彎折的微小槽不同，容易製作（切削加工）微小槽，並能防止在微小槽的角部（彎折位置）積存異物。
在上述的節流單元中，也可以使多個上述微小槽隔著上述供給孔配置在同一直線上。
根據該構成，在微小槽的加工時，橫跨供給孔進行一次槽加工，藉而得以將被供給孔斷開的槽使用為分別獨立的微小槽。因為對於一條加工路徑形成多個微小槽，所以能夠減少加工所需的工時。
在上述的節流單元中，也可以對於一個上述供給孔連通多個上述節流流道，在多個上述節流流道分別連通有相互獨立的上述排出孔，供給至一個上述供給孔的上述工作流體分支到多個上述節流流道而從多個上述排出孔排出。
根據該構成，能夠減少設置於靜壓軸承裝置的節流單元的個數，藉而得以實現低成本化、構造的簡化、配管的省略。因此，不需要用於變更節流強度的追加零件，進而使得零件件數、密封位置、配管為最小限度即可。另外，使得構造簡單，加工工時與組裝工時較少即可，進而使得節流強度的個體差異較小，成本也廉價，能夠容易進行清掃。
在上述的節流單元中，上述附設溝槽的塊體或者上述相向塊體也可以兼作為滑動零件、引導零件或者其他節流單元的零件。
由此，實際上能夠由一個零件構成節流單元，因此能夠期待構造的簡化、零件件數減少、省空間化、配管省略等效果。
在上述的節流單元中，上述微小槽也可以在從上述供給孔至上述排出孔的流道的至少一部分使槽寬以及槽深連續地變化。
根據該構成，當異物會堵塞時，在微小槽的截面形狀較小的位置容易聚集異物。由此，在分解清掃作業時容易確認異物堵塞在何處，藉而得以高效地除去異物。
在上述的節流單元中，也可以使上述微小槽的從上述供給孔至上述排出孔的流道之深度的最小值為1000μm以下。
另外，本發明為一種靜壓軸承裝置，在具有移動部和固定部的直線軸構造或者旋轉軸構造中，靜壓軸承構成於上述移動部與上述固定部之間，其特徵在於，具備：流體供給管路，向形成於上述移動部或者上述固定部的靜壓凹部供給工作流體；以及上述任一者所記載的節流單元，設置於上述流體供給管路。
另外，本發明為一種附設溝槽的塊體之製造方法，該附設溝槽的塊體在平面上具有至少一個微小槽，其特徵在於，上述附設溝槽的塊體為節流單元的構成零件，上述節流單元使工作流體從至少一個供給孔流入，使所流入的上述工作流體流向微小的節流流道，使通過了上述節流流道的上述工作流體從至少一個排出孔流出，上述節流單元具備：上述附設溝槽的塊體；以及相向塊體，具有與上述微小槽相向的平面；上述附設溝槽的塊體與上述相向塊體彼此相向地以可裝卸方式結合，由上述微小槽和上述相向塊體的上述平面形成上述節流流道，上述附設溝槽的塊體之製造方法包括：切削步驟，藉由切削加工而在材料塊體的平面形成微小槽，上述微小槽至少一個面由相對於上述材料塊體的上述平面傾斜的斜面或者由曲面構成；深度計算步驟，利用顯微鏡從與上述材料塊體的上述平面垂直的方向觀察形成於上述切削步驟的上述微小槽，並且對觀察到的上述微小槽的槽深進行計算；以及修正步驟，基於計算出的上述槽深，對進行切削加工的加工裝置予以修正。
根據本發明的節流單元，藉由使用顯微鏡從上方觀察微小槽的通常的方法中，能夠將槽深與槽寬一同測定，藉而得以進行正確的槽加工，進而能夠獲得正確的槽形狀。因此，藉由搭載本發明的節流單元，藉而得以實現零件的重量減少、小型化、零件件數與製造步驟減少所帶來的成本減少、可靠度的提高以及分解清掃的容易化所帶來的維護性的提高。
上述的目的、特徵以及優點能夠根據參照附圖說明的以下的實施形態的說明變得容易理解。
［實施發明之較佳形態］ 以下，針對本發明的節流單元、設有該節流單元的靜壓軸承裝置以及附設溝槽的塊體之製造方法，舉出較佳實施形態，並參照圖式來進行說明。
圖1所示的靜壓軸承裝置10A具備軸承單元12以及安裝於軸承單元12的節流單元14A。詳細構造雖未圖示，但軸承單元12具備：直線軸構造，具有作為固定部的引導件以及作為可動部的滑動件；且在滑動件或者引導件的軸承面設置有多個靜壓凹部。若向靜壓凹部供給空氣等工作流體，則能夠利用工作流體的靜壓力使滑動件從引導件浮起，從而使滑動件沿著引導件以非接觸的方式移動。此外，軸承單元12也可以具備旋轉軸構造。
節流單元14A安裝於上述的軸承單元12的滑動件或者引導件。如圖1以及圖2所示，節流單元14A具備：供給孔16，使工作流體流入；節流流道18，對所流入的工作流體的流量進行節流；以及排出孔20，使通過了節流流道18的工作流體流出。在供給孔16經由流道供給管路而連接有作為工作流體的供給源的泵22。排出孔20與上述的軸承單元12的靜壓凹部連通。
具體而言，節流單元14A具備：附設溝槽的塊體24，具有平面15與形成於該平面15的微小槽25；以及相向塊體26，能夠裝卸於附設溝槽的塊體24且具有與微小槽25相向的平面27。附設溝槽的塊體24與相向塊體26在組裝狀態下接合為彼此相向。由微小槽25與相向塊體26的平面27形成節流流道18。
供給孔16形成於相向塊體26。供給孔16沿厚度方向貫穿相向塊體26。具體而言，供給孔16具有：導入部30；以及擴散部32，形成於比導入部30更靠下游側（附設溝槽的塊體24側）。擴散部32使工作流體向與相向塊體26的厚度方向垂直的方向（多個微小槽25的相互分離方向）擴散，向後述的多個節流流道18供給工作流體。
節流流道18是構成為藉由對工作流體的流量進行節流而對工作流體的壓力進行減壓的微小流道。節流流道18（微小槽25）在供給孔16與排出孔20之間呈直線狀延伸。就微小槽25而言，從供給孔16至排出孔20的流道的深度的最小值只要為1000μm以下即可。
在附設溝槽的塊體24形成有多個（在圖示例中為三個）微小槽25。因此，節流單元14A具有相互獨立的多個（在圖示例中為三個）節流流道18。對於一個供給孔16連通有多個節流流道18。即，節流單元14A具有與多個節流流道18共通的一個供給孔16。
排出孔20形成於附設溝槽的塊體24。排出孔20在厚度方向上貫穿相向塊體26。節流單元14A具有與節流流道18數目相同的排出孔20。即，在多個節流流道18的各者連通有相互獨立的排出孔20。因此，在該節流單元14A中，供給至一個供給孔16的工作流體分支到多個節流流道18，而從多個排出孔20排出，向設置於軸承單元12的多個靜壓凹部供給。
接下來，對形成於附設溝槽的塊體24的微小槽25的構成更加具體地進行說明。微小槽25的至少一個面由相對於附設溝槽的塊體24的平面15傾斜的斜面或者由曲面構成。上述的微小槽25的截面形狀例如是三角形、梯形、不含大致方形在內的多邊形、圓弧形或者它們的組合而獲得的形狀。由此，藉由使用顯微鏡從上方觀察槽的通常的方法，能夠將槽深與微小槽25的槽寬一同測定。微小槽25能夠藉由對具有平面的金屬製的材料塊體進行切削加工而形成。
以下，針對微小槽25的截面形狀圖案，例示幾個構成。此外，在圖3~圖8的各者中，A是從微小槽25的上方觀察的例子（俯視圖），B是表示微小槽25的截面形狀的剖視圖。在這些圖中，例如由V包圍的範圍是顯微鏡的視野。
就微小槽25的一例（第一構成例）而言，圖3A以及圖3B所示的微小槽25A具有梯形的截面形狀。在微小槽25A中，相當於梯形的下底的底面的寬度小於相當於梯形的上底的開口部的寬度（槽寬）。在圖示例的微小槽25A中，相當於梯形的兩個腰的側面34雙方均相對於附設溝槽的塊體24的厚度方向傾斜。此外，微小槽25A的任一方的側面34也可以與附設溝槽的塊體24的厚度方向平行。圖4A以及圖4B表示雖使用相同的形狀的切削工具對截面形狀為梯形的微小槽25A進行了加工，但因加工裝置的機械精度不同而使截面形狀的槽深較圖3A以及圖3B的微小槽25A更深的例子。
就微小槽25的其他之例（第二構成例）而言，圖5A以及圖5B所示的微小槽25B具有圓弧形的截面形狀。圖6A以及圖6B表示雖使用相同的形狀的切削工具對截面形狀為圓弧形的微小槽25B進行了加工，但因加工裝置的機械精度不同而使截面形狀的槽深較圖5A以及圖5B的微小槽25B更深的例子。
就微小槽25的又一其他之例（第三構成例）而言，圖7A以及圖7B所示的微小槽25C具有不含大致方形在內的多邊形的截面形狀。圖8A以及圖8B表示雖使用相同的形狀的切削工具對截面形狀為不含大致方形在內的多邊形的微小槽25C進行了加工，但因加工裝置的機械精度不同而使截面形狀的槽深較圖7A以及圖7B的微小槽25C更深的例子。
若將從上方觀察之例亦即圖3A與圖4A、圖5A與圖6A、圖7A與圖8A分別相比，則能明白，即使在利用相同的形狀的切削工具進行了加工之情況下，觀察到的槽寬仍會與槽深的變化對應地變化。即，若為相同的形狀的切削工具，則槽深越深，槽寬也越大。
對於具有這些截面形狀的微小槽25A~25C而言，由於切削工具的形狀為已知，所以若知曉槽寬，則能夠計算槽深。例如，在具有梯形的截面形狀的微小槽25A（圖3B）的情況下，能夠基於槽寬W1計算槽深D。或者，在微小槽25A的情況下，能夠基於傾斜的寬度W2（從上方觀察時的傾斜的側面34的寬度）計算槽深D。具有其他的截面形狀的微小槽25也能夠基於槽寬或者與構成微小槽25的面中的槽深對應地變化的部分的寬度計算槽深。
如以上說明地，在節流單元14A中，微小槽25的至少一個面由相對於附設溝槽的塊體24的平面15傾斜的斜面或者由曲面構成。因此，藉由將微小槽25的截面形狀形成例如三角形、梯形、不含大致方形在內的多邊形、圓弧形或者它們的組合而獲得的形狀，而能藉由使用顯微鏡從上方（與平面15垂直的方向）觀察微小槽25的通常的方法，將槽深與槽寬一同測定。由於能夠測定微小槽25的槽深，藉而得以基於加工結果對加工裝置予以修正（熱位移修正等），由此進行更加正確的加工，進而能夠獲得正確的槽形狀。
如上所述，附設溝槽的塊體24之製造方法包括切削步驟、計算步驟以及修正步驟。在切削步驟中，在材料塊體的平面藉由切削加工形成：微小槽25，至少一個面由相對於材料塊體的平面傾斜的斜面或者由曲面構成。在計算步驟中，藉由顯微鏡從與材料塊體（附設溝槽的塊體24）的平面垂直的方向觀察在切削步驟中形成的微小槽25，並計算觀察到的微小槽25的槽深。在修正步驟中，基於在計算步驟中計算出的槽深，對進行切削加工的加工裝置施加修正。
在上述的日本特開2006-266358號公報中，連接延伸方向相互不同的多個直線狀的微小槽，從而獲得流道長度，因此容易在微小槽的角部（彎折位置）堵塞異物。與此相對，在本實施形態的節流單元14A中，即使縮小節流流道18的截面形狀，並縮短流道長，也能夠獲得所希望的節流強度，因此能夠將節流流道18形成為從供給孔16延伸至排出孔20的簡單的直線狀。由此，微小槽25的製作（切削加工）變得容易，並且能夠抑制在微小槽25堵塞異物。
另外，在該節流單元14A中，對於一個供給孔16連通有多個節流流道18，在多個節流流道18的各者連通有相互獨立的排出孔20，供給至一個供給孔16的工作流體分支到多個節流流道18而從多個排出孔20排出。根據該構成，能夠減少設置於靜壓軸承裝置10A的節流單元14A的個數，藉而得以實現低成本化、構造的簡化、配管的省略。因此，不需要用於變更節流強度的追加零件，從而使得零件件數、密封位置、配管為最小限度即可。另外，能夠實現構造簡單，使得加工工時與組裝工時較少即可，節流強度的個體差異較小，成本也廉價，容易進行清掃。
因此，藉由搭載節流單元14A，藉而得以實現零件的重量減少、小型化、零件件數與製造步驟減少所帶來的成本減少、可靠度的提高以及分解清掃的容易化所帶來的維護性的提高。
在此，如上所述，微小槽25能夠形成簡單的直線形狀，從而垃圾等異物難以堵塞。然而，也存在節流流道18（微小槽25）的截面形狀較小的情況，有時因為所供給的工作流體的清洗度而無法將異物堵塞的可能性完全消除。因此，在分解清掃作業時需要確認異物堵塞在何處並將該異物除去。
因此，就微小槽25的又一其他之例（第四構成例）而言，在圖9A~圖9C所示的微小槽25D中，在其全長（供給孔16至排出孔20之間）的至少一部分，槽寬以及槽深連續地變化。在微小槽25D中，槽寬以及槽深也可以遍佈其全長連續地變化。在圖9A~圖9C中，例示了具有梯形的截面形狀的微小槽25D。具體而言，如圖9A所示，在微小槽25D中，槽寬沿著微小槽25D的延伸方向連續地變化。如圖9B以及圖9C所示，在不同位置的截面中，截面形狀的大小（槽寬以及槽深）不同。
此外，槽寬以及槽深連續地變化的微小槽25D的截面形狀可以呈與圖5A~圖6B所示的微小槽25B相同的圓弧形，或者也可以呈與圖7A~圖8B所示的微小槽25C相同的不含大致方形在內的多邊形。
藉由採用上述的槽寬以及槽深連續地變化的微小槽25D，在異物會堵塞的情況下，能夠容易使異物在微小槽25D的截面形狀較小的部位聚集。由此，在分解清掃作業時容易確認異物堵塞在何處，能夠高效地除去異物。
圖10A以及圖10B所示的節流單元14B具備：附設溝槽的塊體24a，具有平面並且形成有供給孔16、微小槽25及排出孔20；以及相向塊體26a，具有與微小槽25相向的平面27。即，就該節流單元14B而言，相當於在上述的節流單元14A中，不是在相向塊體26而是在附設溝槽的塊體24上設置了供給孔16的節流單元。各微小槽25能夠是上述的微小槽25A~25D的任一個。圖10B所示的靜壓軸承裝置10B具備軸承單元12以及能夠裝卸於軸承單元12的節流單元14B。藉由如上述方式構成的節流單元14B，也能夠獲得與上述的節流單元14A相同的效果。
圖11所示的靜壓軸承裝置10C具備軸承單元12以及以可裝卸方式固定於軸承單元12的附設溝槽的塊體24b。在圖11中，示出了附設溝槽的塊體24b從軸承單元12被取下的狀態。軸承單元12具有作為固定部的引導件38以及作為可動部的滑動件（省略圖示）。在引導件38設置有多個靜壓凹部40。
引導件38具有：平面27，在附設溝槽的塊體24b安裝（固定）於軸承單元12的狀態下與設置於附設溝槽的塊體24b的多個微小槽25相向。在附設溝槽的塊體24b安裝（固定）於軸承單元12的狀態下，由多個微小槽25與平面27形成多個節流流道18。因此，軸承單元12的引導件38的零件兼作為：相向塊體26b，具有與多個微小槽25相向的平面27。此外，多個靜壓凹部40也可以設置於作為可動部的滑動件。
在附設溝槽的塊體24b設置有：一個供給孔16；多個（在圖示例中為六個）微小槽25，分別與該一個供給孔16連通；以及多個排出孔20，分別與多個微小槽25連通。微小槽25能夠採用上述的微小槽25A~25D的任一者之形態。
如圖12所示，多個微小槽25的各者從供給孔16至排出孔20呈直線狀延伸。隔著供給孔16將兩個微小槽25配置於同一直線上。配置於同一直線上的兩個微小槽25的組設置有多組（在圖示例中為三組）。對於一個供給孔16連通有多個微小槽25（節流流道18）。供給至一個供給孔16的工作流體分支到多個節流流道18而從多個排出孔20排出。
如圖11所示，節流單元14C由下述者構成：如上述方式構成的附設溝槽的塊體24b；以及相向塊體26b，兼作引導件38的零件。因此，能夠僅藉由將附設溝槽的塊體24b，安裝於具有平面27的靜壓軸承零件即引導件38，而構成節流單元14C。
此外，附設溝槽的塊體24b也可以兼作引導零件。或者，附設溝槽的塊體24b或者相向塊體26b也可以兼作軸承單元12的滑動零件或者其他節流單元的零件。
藉由該節流單元14C，也能夠獲得與上述的節流單元14A相同的效果。另外，根據該節流單元14C，能夠在微小槽25的加工時，橫跨供給孔16進行一次槽加工，從而將被供給孔16斷開的槽用作分別獨立的微小槽25。因為對於一條加工路徑形成多個微小槽25，所以能夠減少加工所需的工時。
另外，因為附設溝槽的塊體24b或者相向塊體26b兼作為滑動零件、引導零件或者其他節流單元的零件，所以實際上能夠由一個零件構成節流單元14C。由此，能夠期待構造的簡化、零件件數減少、省空間化、配管省略等的效果。
本發明不限定於上述的實施形態，能夠在不脫離本發明的主旨的範圍內，進行各種改變。
10A~10C‧‧‧靜壓軸承裝置12‧‧‧軸承單元14A~14C‧‧‧節流單元15‧‧‧平面16‧‧‧供給孔18‧‧‧節流流道20‧‧‧排出孔24、24a、24b‧‧‧附設溝槽的塊體25、25A~25D‧‧‧微小槽26、26a、26b‧‧‧相向塊體27‧‧‧平面30‧‧‧導入部32‧‧‧擴散部34‧‧‧側面38‧‧‧引導件40‧‧‧靜壓凹部D‧‧‧槽深W1、W2‧‧‧寬度V‧‧‧顯微鏡視野
圖1是本發明的實施形態的靜壓軸承裝置的簡要剖視圖。 圖2是圖1所示的靜壓軸承裝置的節流單元的分解立體圖。 圖3A是設置有第一構成例的微小槽的附設溝槽的塊體的俯視圖，圖3B是沿著圖3A的IIIB-IIIB線的剖視圖。 圖4A是設置有第一構成例的微小槽的附設溝槽的塊體（槽深較圖3A更深之例）的俯視圖，圖4B是沿著圖4A的IVB-IVB線的剖視圖。 圖5A是設置有第二構成例的微小槽的附設溝槽的塊體的俯視圖，圖5B是沿著圖5A的VB-VB線的剖視圖。 圖6A是設置有第二構成例的微小槽的附設溝槽的塊體（槽深較圖5A更深之例子）的俯視圖，圖6B是沿著圖6A的VIB-VIB線的剖視圖。 圖7A是設置於第三構成例的微小槽的附設溝槽的塊體的俯視圖，圖7B是沿著圖7A的VIIB-VIIB線的剖視圖。 圖8A是設置有第三構成例的微小槽的附設溝槽的塊體（槽深較圖7A更深之例）的俯視圖，圖8B是沿著圖8A的VIIIB-VIIIB線的剖視圖。 圖9A是設置有第四構成例的微小槽的附設溝槽的塊體的俯視圖，圖9B是沿著圖9A的IXB-IXB線的剖視圖，圖9C是沿著圖9A的IXC-IXC線的剖視圖。 圖10A是本發明的其他的實施形態的靜壓軸承裝置的簡要剖視圖，圖10B是圖10A所示的靜壓軸承裝置的節流單元的分解立體圖。 圖11是本發明的又一其他的實施形態的靜壓軸承裝置的分解立體圖。 圖12是圖11所示的靜壓軸承裝置的附設溝槽的塊體的主視圖。
15‧‧‧平面
24‧‧‧附設溝槽的塊體
25、25A‧‧‧微小槽
34‧‧‧側面
D‧‧‧槽深
W1、W2‧‧‧寬度

Claims (9)

  1. 一種節流單元，使工作流體從至少一個供給孔流入，使所流入的該工作流體流向微小的節流流道，使通過了該節流流道的該工作流體從至少一個排出孔流出，該節流單元的特徵在於，具備：呈平板狀之附設溝槽的塊體，在平面上具有至少一個微小槽；以及呈平板狀之相向塊體，具有與該微小槽相向的平面；且該附設溝槽的塊體與該相向塊體彼此相向地以可裝卸方式結合，由該微小槽和該相向塊體的該平面形成該節流流道，該微小槽的至少一個面係由相對於該附設溝槽的塊體的該平面傾斜之斜面構成，並且該微小槽的截面之形狀為藉由從垂直於該平面之方向觀察而能夠測定槽寬與槽深的梯狀，且該截面之面積係沿著該微小槽之延伸方向為一定。
  2. 如申請專利範圍第1項之節流單元，其中，該微小槽係從該供給孔至該排出孔成直線狀延伸。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之節流單元，其中，多個該微小槽隔著該供給孔配置於同一直線上。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之節流單元，其中，對於一個該供給孔連通有多個該節流流道， 在多個該節流流道分別連通有相互獨立的該排出孔，供給至一個該供給孔的該工作流體分支到多個該節流流道而從多個該排出孔排出。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之節流單元，其中，該附設溝槽的塊體或者該相向塊體兼作為滑動零件、引導零件或者其他節流單元的零件。
  6. 如申請專利範圍第1或2項之節流單元，其中，就該微小槽而言，在從該供給孔至該排出孔的流道的至少一部分，其槽寬以及槽深連續地變化。
  7. 如申請專利範圍第1或2項之節流單元，其中，該微小槽的從該供給孔至該排出孔的流道之深度的最小值為1000μm以下。
  8. 一種靜壓軸承裝置，在具有移動部和固定部的直線軸構造或者旋轉軸構造中，靜壓軸承構成於該移動部與該固定部之間，該靜壓軸承裝置的特徵在於，具備：流體供給管路，向形成於該移動部或者該固定部的靜壓凹部供給工作流體；以及如申請專利範圍第1~7項中任一項之節流單元，設置於該流體供給管路。
  9. 一種附設溝槽的塊體之製造方法，呈平板狀之該附設溝槽的塊體在平面上具有至少一個微小槽，該附設溝槽的塊體為節流單元的構成零件，該節流單元使工作流體從至少一個供給孔流入，使所流入的該工作流體流向微小的節流流道，使通過了該節流流道的該工作流體從至少一個排出孔流出，該節流單元具備：該附設溝槽的塊體；以及呈平板狀之相向塊體，具有與該微小槽相向的平面；且該附設溝槽的塊體與該相向塊體彼此相向地以可裝卸方式結合，由該微小槽和該相向塊體的該平面形成該節流流道，該附設溝槽的塊體之製造方法的特徵在於包括：切削步驟，藉由切削加工而在材料塊體的平面形成微小槽，該微小槽的至少一個面由相對於該材料塊體的該平面傾斜的斜面構成，並且該微小槽的垂直於其延伸方向之方向上的截面之形狀為藉由從垂直於該平面之方向觀察而能夠測定槽寬與槽深的梯狀，且該截面之面積係沿著該微小槽之延伸方向為一定；深度計算步驟，利用顯微鏡從與該材料塊體的該平面垂直的方向觀察於該切削步驟中形成的該微小槽，並且對觀察到的該微小槽的槽深進行計算；以及修正步驟，基於計算出的該槽深，對進行切削加工的加工裝置予以修正。
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