KR102156519B1 - 보정량 취득 장치, 이송 기구 제어 장치, 보정량 취득 방법 및 이송 기구의 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

보정량 취득 장치 (41) 는, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시켰을 때의, 이동 대상물 (11) 의 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 취득하고, 취득된 제 2 축 방향의 진동을 푸리에 변환하여 위치 주파수 특성을 취득하고, 이동 대상물 (11) 의 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는, 제 2 축 방향의 진동의 위치 주파수의 비위치 의존 주파수의 성분을, 위치 주파수 특성으로부터 제거하여 역푸리에 변환하고, 이동 대상물 (11) 의 제 2 축 방향의 진동으로 되돌린 것을 위치 의존 진동으로서 취득하고, 위치 의존 진동을 없애는, 이동 대상물 (11) 의 제 2 축 방향의 위치의 보정량을 취득한다.

Description

보정량 취득 장치, 이송 기구 제어 장치, 보정량 취득 방법 및 이송 기구의 제어 방법{COMPENSATION QUANTITY ACQUISITION DEVICE, FEED MECHANISM CONTROL DEVICE, COMPENSATION QUANTITY ACQUIRING METHOD AND FEED MECHANISM CONTROL METHOD}
본 발명은, 이동 대상물을 제 1 축 방향으로 이동시킬 때, 이동 대상물의 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 없애는 보정량을 취득하는 보정량 취득 장치, 보정량 취득 방법, 및 취득된 보정량에 기초하여 제 2 구동부를 구동시키는 이송 기구 제어 장치, 이송 기구의 제어 방법에 관한 것이다.
일본 공개특허공보 평10-283033호에는, 가공기에 있어서, 워크를 X 축 방향이나 Y 축 방향으로 이동시키는 축 이송 기구에 있어서, X 축 리니어 가이드를 따라 이동되는 X 축 캐리지의 X 축 방향의 이동에 수반되는 Y 축 방향의 변위량을 구하는 것이 개시되어 있다. 그리고, 제어 장치에 의해 Y 축 방향의 변위량을 없애도록 Y 축 리니어 가이드를 따라 이동되는 Y 축 캐리지의 Y 축 방향으로 이동을 제어하고 있다.
이동 대상물의 제 1 축 방향의 이동에 수반되어 발생하는, 이동 대상물의 제 1 축 방향에 직교하는 제 2 축 방향의 진동에는, 이동 대상물의 제 1 축 방향의 위치에 의존하는 진동과, 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않는 진동이 있다. 일본 공개특허공보 평10-283033호에 기재된 기술을 적용하여, 이동 대상물의 제 2 축 방향의 진동을 없애도록 이동 대상물을 이동시키도록 해도, 이동 대상물의 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않는 진동에 대해서는, 진동을 저감시킬 수 없을 뿐만 아니라, 오히려 진동을 증폭시킬 우려가 있다.
본 발명은, 상기의 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 이동 대상물의 제 1 축 방향의 이동에 수반되는, 이동 대상물의 제 2 축 방향의 진동을 억제하는 보정량을 취득할 수 있는 보정량 취득 장치 및 보정량 취득 방법, 이동 대상물의 제 2 축 방향의 진동을 억제할 수 있는 이송 기구 제어 장치 및 이송 기구의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제 1 양태의 보정량 취득 장치는, 이동 대상물을 제 1 축 방향으로 이동시켰을 때의, 상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 취득하는 진동 취득부와, 상기 진동 취득부에 있어서 취득된 상기 제 2 축 방향의 상기 진동을 푸리에 변환하여 위치 주파수 특성을 취득하는 위치 주파수 특성 취득부와, 상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는, 상기 제 2 축 방향의 상기 진동의 위치 주파수를 비위치 의존 주파수로서 기억하는 비위치 의존 주파수 기억부와, 상기 위치 주파수 특성으로부터 상기 비위치 의존 주파수의 성분을 제거하여 역푸리에 변환하고, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 상기 진동으로 되돌린 것을 위치 의존 진동으로서 취득하는 위치 의존 진동 취득부와, 상기 위치 의존 진동을 없애는, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 위치의 보정량을 취득하는 보정량 취득부를 갖는다.
본 발명의 제 2 양태의 이송 기구 제어 장치는, 이동 대상물을 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 구동부와, 상기 이동 대상물을 상기 제 1 축 방향에 직교하는 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 구동부와, 상기 제 1 구동부에 의해 상기 이동 대상물이 상기 제 1 축 방향으로 이동되고 있을 때, 상기의 보정량 취득 장치에 의해 취득된 상기 보정량에 기초하여 상기 제 2 구동부를 구동시키는 제 2 구동 제어부를 갖는다.
본 발명의 제 3 양태의 보정량 취득 방법은, 이동 대상물을 제 1 축 방향으로 이동시켰을 때의, 상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 취득하는 진동 취득 스텝과, 상기 진동 취득 스텝에 있어서 취득된 상기 제 2 축 방향의 상기 진동을 푸리에 변환하여 위치 주파수 특성을 취득하는 위치 주파수 특성 취득 스텝과, 상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는, 상기 제 2 축 방향의 상기 진동의 위치 주파수를 비위치 의존 주파수로서 기억하는 비위치 의존 주파수 기억 스텝과, 상기 위치 주파수 특성으로부터 상기 비위치 의존 주파수의 성분을 제거하여 역푸리에 변환하고, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 상기 진동으로 되돌린 것을 위치 의존 진동으로서 취득하는 위치 의존 진동 취득 스텝과, 상기 위치 의존 진동을 없애는, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 위치의 보정량을 취득하는 보정량 취득 스텝을 갖는다.
본 발명의 제 4 양태의 이송 기구의 제어 방법은, 이동 대상물을 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 구동부와, 상기 이동 대상물을 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 구동부를 갖는, 이송 기구의 제어 방법으로서, 상기 제 1 구동부에 의해 상기 이동 대상물이 상기 제 1 축 방향으로 이동되고 있을 때, 상기의 보정량 취득 방법에 의해 취득된 보정량에 기초하여 상기 제 2 구동부를 구동시키는 제 2 구동 제어 스텝을 갖는다.
본 발명의 보정량 취득 장치 및 보정량 취득 방법은, 이동 대상물의 제 1 축 방향의 이동에 수반되는, 이동 대상물의 제 2 축 방향의 진동을 억제하는 보정량을 취득할 수 있다. 또, 본 발명의 이송 기구 제어 장치 및 이송 기구의 제어 방법은, 이동 대상물의 제 2 축 방향의 진동을 억제할 수 있다.
상기의 목적, 특징 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 설명되는 이하의 실시형태의 설명으로부터 용이하게 이해될 것이다.
도 1 은, 워크 테이블의 이송 기구를 나타내는 모식도이다.
도 2 는, 워크 테이블의 이송 기구 제어 장치를 나타내는 블록도이다.
도 3 은, 보정량 취득 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4 는, 워크 테이블의 Y 축 방향의 진동을 나타내는 그래프이다.
도 5 는, 워크 테이블의 Y 축 방향의 진동의 위치 주파수 특성을 나타내는 그래프이다.
도 6 은, 비위치 의존 주파수의 성분이 제거된 위치 주파수 특성을 나타내는 그래프이다.
〔제 1 실시형태〕
[워크 테이블의 이송 기구의 구성]
본 실시형태의 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 (12) 는, 와이어 방전 가공기에 사용된다. 워크 테이블 (10) 은, 이동 대상물 (11) 을 구성하고 있다. 도 1 은, 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 (12) 를 나타내는 모식도이다. 도 1 은, 워크 테이블 (10) 과 이송 기구 (12) 의 구성을 모식적으로 나타낸 것으로서, 가공조 등은 기재되어 있지 않다. 워크 테이블 (10) 은, 이송 기구 (12) 에 의해, X 축 방향과, X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 이동된다. 이송 기구 (12) 는, 새들 (14) 에 설치된 X 축 이송 기구 (16) 와, 베드 (18) 에 설치된 Y 축 이송 기구 (20) 로 구성되어 있다.
X 축 이송 기구 (16) 는, 리니어 가이드 레일 (22), 도시되지 않은 리니어 가이드, 볼 나사축 (24), 도시되지 않은 볼 나사 너트 및 X 축 모터 (26) 를 가지고 있다. 리니어 가이드 레일 (22) 은, 새들 (14) 에 나사 고정 되어 있고, X 축 방향으로 연장되어 설치되어 있다. 워크 테이블 (10) 에는 리니어 가이드가 형성되어 있고, 리니어 가이드가 리니어 가이드 레일 (22) 을 따라 이동함으로써, 워크 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 안내하고 있다. 볼 나사축 (24) 은, 길이 방향의 축을 중심으로 회동 (回動) 가능하고, 새들 (14) 에 X 축 방향으로 연장되어 설치되어 있다. 워크 테이블 (10) 에는 볼 나사 너트가 회동 불가능하게 고정되어 있다. X 축 모터 (26) 는, 볼 나사축 (24) 을 회동시킨다. 볼 나사축 (24) 이 회동함으로써, 볼 나사 너트는 워크 테이블 (10) 과 함께 X 축 방향으로 이동한다. 또한, X 축 모터 (26) 는, 제 1 구동부 (27) 또는 제 2 구동부 (33) 를 구성하고 있다.
Y 축 이송 기구 (20) 는, 리니어 가이드 레일 (28), 도시되지 않은 리니어 가이드, 볼 나사축 (30), 도시되지 않은 볼 나사 너트 및 Y 축 모터 (32) 를 가지고 있다. 리니어 가이드 레일 (28) 은, 베드 (18) 에 나사 고정 되어 있고, Y 축 방향으로 연장되어 설치되어 있다. 워크 테이블 (10) 에는 리니어 가이드가 형성되어 있고, 리니어 가이드가 리니어 가이드 레일 (28) 을 따라 이동함으로써, 워크 테이블 (10) 을 Y 축 방향으로 안내하고 있다. 볼 나사축 (30) 은, 길이 방향의 축을 중심으로 회동 가능하고, 베드 (18) 에 Y 축 방향으로 연장되어 설치되어 있다. 워크 테이블 (10) 에는 볼 나사 너트가 회동 불가능하게 고정되어 있다. Y 축 모터 (32) 는, 볼 나사축 (30) 을 회동시킨다. 볼 나사축 (30) 이 회동함으로써, 볼 나사 너트는 워크 테이블 (10) 과 함께 Y 축 방향으로 이동한다. 또한, Y 축 모터 (32) 는, 제 2 구동부 (33) 또는 제 1 구동부 (27) 를 구성하고 있다.
[워크 테이블의 이송 기구 제어 장치의 구성]
도 2 는, 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 를 나타내는 블록도이다. 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 와이어 방전 가공기를 제어하는 CNC 이다. 이송 기구 제어 장치 (34) 는, NC 프로그램 기억부 (36), 워크 테이블 이동 지령부 (38), 이동 지령 보정부 (40), X 축 모터 구동 제어부 (42) 및 Y 축 모터 구동 제어부 (44) 를 가지고 있다.
NC 프로그램 기억부 (36) 는, CAM 등에 의해 미리 작성된 NC 프로그램을 기억하고 있다. 워크 테이블 이동 지령부 (38) 는, NC 프로그램에 의해 규정되어 있는 도시되지 않은 와이어 전극의 이동 경로, 이동 속도에 따라, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향의 이동량 및 이동 속도를 X 축 이동 지령치로서 출력하고, Y 축 방향의 이동량 및 이동 속도를 Y 축 이동 지령치로서 출력한다. 이동 지령 보정부 (40) 는, X 축 이동 지령치의 보정량을 X 축 보정량으로서, Y 축 이동 지령치의 보정량을 Y 축 보정량으로서 출력한다. X 축 보정량 및 Y 축 보정량에 대해서는, 이후에 상세하게 서술한다.
X 축 모터 구동 제어부 (42) 는, X 축 이동 지령치 및 X 축 보정량에 따라 X 축 모터 (26) 에 공급하는 전력을 제어한다. Y 축 모터 구동 제어부 (44) 는, Y 축 이동 지령치 및 Y 축 보정량에 따라 Y 축 모터 (32) 에 공급하는 전력을 제어한다. 또한, Y 축 모터 구동 제어부 (44) 는, 제 2 구동 제어부 (45) 를 구성하고 있다.
[보정량 취득 장치의 구성]
볼 나사축 (24) 의 축심의 흔들림이나 리니어 가이드 레일 (22) 의 변형 등에 의해, 워크 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 이동시켰을 때에, 워크 테이블 (10) 에는 Y 축 방향의 진동이 발생한다. 동일하게, 워크 테이블 (10) 을 Y 축 방향으로 이동시켰을 때에도, 워크 테이블 (10) 에는 X 축 방향의 진동이 발생한다. 본 실시형태의 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 에서는, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향 및 Y 축 방향의 진동을 없애도록 X 축 모터 (26) 및 Y 축 모터 (32) 를 제어한다.
도 3 은, 보정량 취득 장치 (41) 의 구성을 나타내는 블록도이다. 보정량 취득 장치 (41) 는, 예를 들어 퍼스널 컴퓨터 등으로서, 진동 취득부 (46), 위치 주파수 특성 취득부 (48), 비위치 의존 주파수 기억부 (50), 위치 의존 진동 취득부 (52) 및 보정량 취득부 (54) 를 가지고 있다.
진동 취득부 (46) 는, 워크 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 이동시켰을 때의 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동을 취득한다. 도 4 는, 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동을 나타내는 그래프이다. 도 4 의 가로축은 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향의 위치를 나타내고, 세로축은 진동의 변위를 나타내고 있다.
워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동은, 다음과 같이 하여 취득된다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터가 워크 테이블 (10) 에 X 축과 평행해지도록 스트레이트 에지 (56) 를 고정시킨다. 또한, 오퍼레이터는, 다이얼 게이지 (58) 를 도시되지 않은 주축 등으로 고정시키고, 스트레이트 에지 (56) 의 단부에 측정자를 접촉시킨다. 오퍼레이터는, 워크 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 이동시키고, 진동 취득부 (46) 는 다이얼 게이지 (58) 에 의해 측정된 측정치로부터, Y 축 방향의 기준 위치에 대한 진동을 취득한다.
위치 주파수 특성 취득부 (48) 는, 진동 취득부 (46) 에 있어서 취득된 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동에 대해 푸리에 변환을 실시하고, 위치 주파수 특성을 취득한다. 도 5 는, 도 4 에 나타내는 진동의 위치 주파수 특성을 나타내는 그래프이다. 도 5 의 가로축은 위치 주파수를 나타내고, 세로축은 진동의 강도를 나타내고 있다.
비위치 의존 주파수 기억부 (50) 는, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동의 위치 주파수를 비위치 의존 주파수로서 기억하고 있다. 본 실시형태에서는, 비위치 의존 주파수는, 예를 들어 0.12 [1/㎜] 이다. 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동의 원인은, 전술한 볼 나사축 (24) 의 축심의 흔들림, 리니어 가이드 레일 (22) 의 변형 이외에도, 리니어 가이드나 볼 나사 너트 내의 볼의 출입 등이 있다. 볼 나사축 (24) 의 축심의 흔들림, 리니어 가이드 레일 (22) 의 변형에서 기인되는 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동은, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향에 있어서 동일한 위치에서 발생한다. 한편, 리니어 가이드나 볼 나사 너트 내의 볼의 출입에서 기인되는 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동은, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향에 있어서 동일한 위치에서 발생하는 것은 아니다. 이것은, 리니어 가이드나 볼 나사 너트 내에서 볼의 위치가 빈번하게 어긋나기 때문이다.
리니어 가이드나 볼 나사 너트 내의 볼의 출입에서 기인되는 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동은, 워크 테이블 (10) 이 X 축 방향으로 이동할 때에, 대략 등거리 간격 (위치 주기) 으로 발생하기 때문에, 그 진동의 위치 주파수를 미리 구할 수 있다.
위치 의존 진동 취득부 (52) 는, 위치 주파수 특성 취득부 (48) 에서 취득된 위치 주파수 특성으로부터, 비위치 의존 주파수 기억부 (50) 에서 기억되어 있는 비위치 의존 주파수의 성분을 제거한다. 도 6 은, 비위치 의존 주파수의 성분이 제거된 위치 주파수 특성을 나타내는 그래프이다. 위치 의존 진동 취득부 (52) 는, 위치 주파수 특성으로부터, 비위치 의존 주파수를 중심으로 하여 소정 주파수 내의 주파수대의 성분을 제거한다. 또는, 위치 의존 진동 취득부 (52) 는, 비위치 의존 주파수가 복수 있고, 2 개의 비위치 의존 주파수의 차가 소정 주파수 이하일 때에는, 그 2 개의 비위치 의존 주파수 사이의 주파수대의 성분을 제거하도록 해도 된다.
또한, 위치 의존 진동 취득부 (52) 는, 비위치 의존 주파수의 성분이 제거된 위치 주파수 특성을 역푸리에 변환하고, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향의 위치 영역에 있어서의 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동으로 되돌려, 위치 의존 진동으로서 취득한다.
보정량 취득부 (54) 는, 위치 의존 진동을 없애도록, 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 위치의 Y 축 보정량을 산출하여 취득한다. 보정량 취득부 (54) 에서 취득된 Y 축 보정량은, Y 축 모터 구동 제어부 (44) 에 출력된다. 상기에서는, Y 축 보정량에 대해 설명했지만, X 축 보정량도 이동 지령 보정부 (40) 에 있어서, 동일하게 하여 구해진다. 또한, 보정량 취득 장치 (41) 는, 퍼스널 컴퓨터 등에 한정되지 않고 CNC 여도 된다.
[작용 효과]
본 실시형태의 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 에서는, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향 및 Y 축 방향의 진동을 없애도록 X 축 모터 (26) 및 Y 축 모터 (32) 를 제어한다. 워크 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 이동시키고 있을 때의 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동에는, X 축 방향의 위치에 의존하여 발생하는 진동과, X 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는 진동이 있다. X 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는 진동은, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향에 있어서 동일한 위치에서 발생하는 것은 아니다. 그 때문에, 진동 취득부 (46) 에 있어서 취득된 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동을 없애도록 Y 축 모터 구동 제어부 (44) 가 Y 축 모터 (32) 를 제어해 버리면, 진동을 억제할 수 없을 뿐만 아니라, 진동을 증폭시킬 우려가 있다.
그래서, 본 실시형태의 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 진동 취득부 (46) 에 있어서 취득된 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동으로부터, 비위치 의존 주파수 성분의 진동을 제거한 후의 위치 의존 진동을 없애도록 X 축 모터 (26) 및 Y 축 모터 (32) 를 제어한다. 이로써, 본 실시형태의 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 워크 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 이동시킬 때의, 워크 테이블 (10) 의 Y 축 방향의 진동을 억제할 수 있다. 동일하게 하여, 본 실시형태의 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 워크 테이블 (10) 을 Y 축 방향으로 이동시킬 때의, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향의 진동을 억제할 수 있다.
본 실시형태에서는, 와이어 방전 가공기에 사용되는 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 (12) 에 대해 설명했지만, 공작 기계에 있어서 사용되는 워크 테이블의 이송 기구에 대해서도, 동일하게 하여, 워크 테이블의 진동을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태의 워크 테이블 (10) 의 이송 기구 (12) 는, 워크 테이블 (10) 의 X 축 방향의 진동과 Y 축 방향의 진동을 억제하고 있지만, 공작 기계의 주축과 같이 Z 축의 요소를 가지고 있는 것에 사용되는 워크 테이블의 이송 기구에 대해서는, 워크 테이블을 X 축 방향으로 이동시키고 있을 때, 또는 Y 축 방향으로 이동시키고 있을 때의, 워크 테이블의 Z 축 방향의 진동을 억제할 수 있다. 이 경우, X 축 모터 또는 Y 축 모터가 제 1 구동부 (27) 를 구성하고, 주축을 Z 축 방향의 이동시키는 Z 축 모터가 제 2 구동부 (33) 를 구성한다.
〔실시형태로부터 얻어지는 기술적 사상〕
상기 실시형태로부터 파악할 수 있는 기술적 사상에 대해, 이하에 기재한다.
보정량 취득 장치 (41) 는, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시켰을 때의, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 취득하는 진동 취득부 (46) 와, 상기 진동 취득부 (46) 에 있어서 취득된 상기 제 2 축 방향의 상기 진동을 푸리에 변환하여 위치 주파수 특성을 취득하는 위치 주파수 특성 취득부 (48) 와, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는, 상기 제 2 축 방향의 상기 진동의 위치 주파수를 비위치 의존 주파수로서 기억하는 비위치 의존 주파수 기억부 (50) 와, 상기 위치 주파수 특성으로부터 상기 비위치 의존 주파수의 성분을 제거하여 역푸리에 변환하고, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 2 축 방향의 상기 진동으로 되돌린 것을 위치 의존 진동으로서 취득하는 위치 의존 진동 취득부 (52) 와, 상기 위치 의존 진동을 없애는, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 2 축 방향의 위치의 보정량을 취득하는 보정량 취득부 (54) 를 갖는다. 이로써, 보정량 취득 장치 (41) 는, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시킬 때의, 이동 대상물 (11) 의 제 2 축 방향의 진동을 억제하는 보정량을 취득할 수 있다.
상기의 보정량 취득 장치 (41) 로서, 상기 위치 의존 진동 취득부 (52) 는, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 상기 비위치 의존 주파수를 포함하는 소정 주파수 내의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환해도 된다. 이로써, 이동 대상물 (11) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 이동 대상물 (11) 의 위치 의존 진동을 취득할 수 있다.
상기의 보정량 취득 장치 (41) 로서, 상기 위치 의존 진동 취득부 (52) 는, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수의 차가 소정 주파수 이하일 때에는, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수 사이의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환해도 된다. 이로써, 이동 대상물 (11) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 이동 대상물 (11) 의 위치 의존 진동을 취득할 수 있다.
이송 기구 제어 장치 (34) 는, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 구동부 (27) 와, 상기 이동 대상물 (11) 을 상기 제 1 축 방향에 직교하는 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 구동부 (33) 와, 상기 제 1 구동부 (27) 에 의해 상기 이동 대상물 (11) 이 상기 제 1 축 방향으로 이동되고 있을 때, 상기의 보정량 취득 장치 (41) 에 의해 취득된 상기 보정량에 기초하여 상기 제 2 구동부 (33) 를 구동시키는 제 2 구동 제어부 (45) 를 갖는다. 이로써, 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시킬 때의, 이동 대상물 (11) 의 제 2 축 방향의 진동을 억제할 수 있다.
보정량 취득 방법은, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시켰을 때의, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 취득하는 진동 취득 스텝과, 상기 진동 취득 스텝에 있어서 취득된 상기 제 2 축 방향의 상기 진동을 푸리에 변환하여 위치 주파수 특성을 취득하는 위치 주파수 특성 취득 스텝과, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는, 상기 제 2 축 방향의 상기 진동의 위치 주파수를 비위치 의존 주파수로서 기억하는 비위치 의존 주파수 기억 스텝과, 상기 위치 주파수 특성으로부터 상기 비위치 의존 주파수의 성분을 제거하여 역푸리에 변환하고, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 2 축 방향의 상기 진동으로 되돌린 것을 위치 의존 진동으로서 취득하는 위치 의존 진동 취득 스텝과, 상기 위치 의존 진동을 없애는, 상기 이동 대상물 (11) 의 상기 제 2 축 방향의 위치의 보정량을 취득하는 보정량 취득 스텝을 갖는다. 이 보정량 취득 방법에 의해, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시킬 때의, 이동 대상물 (11) 의 제 2 축 방향의 진동을 억제하는 보정량을 취득할 수 있다.
상기의 보정량 취득 방법으로서, 상기 위치 의존 진동 취득 스텝은, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 상기 비위치 의존 주파수를 포함하는 소정 주파수 내의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환해도 된다. 이 보정량 취득 방법에 의해, 이동 대상물 (11) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 이동 대상물 (11) 의 위치 의존 진동을 취득할 수 있다.
상기의 보정량 취득 방법으로서, 상기 위치 의존 진동 취득 스텝은, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수의 차가 소정 주파수 이하일 때에는, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수 사이의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환해도 된다. 이 보정량 취득 방법에 의해, 이동 대상물 (11) 의 이송 기구 제어 장치 (34) 는, 이동 대상물 (11) 의 위치 의존 진동을 취득할 수 있다.
이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 구동부 (27) 와, 상기 이동 대상물 (11) 을 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 구동부 (33) 를 갖는 이송 기구의 제어 방법으로서, 상기 제 1 구동부 (27) 에 의해 상기 이동 대상물 (11) 이 상기 제 1 축 방향으로 이동되고 있을 때, 상기의 보정량 취득 방법에 의해 취득된 보정량에 기초하여 상기 제 2 구동부 (33) 를 구동시키는 제 2 구동 제어 스텝을 갖는다. 이 이송 기구의 제어 방법에 의해, 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시킬 때의, 이동 대상물 (11) 의 제 2 축 방향의 진동을 억제할 수 있다.

Claims (8)

  1. 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시켰을 때의, 상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 취득하는 진동 취득부 (46) 와,
    상기 진동 취득부에 있어서 취득된 상기 제 2 축 방향의 상기 진동을 푸리에 변환하여 위치 주파수 특성을 취득하는 위치 주파수 특성 취득부 (48) 와,
    상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는, 상기 제 2 축 방향의 상기 진동의 위치 주파수를 비위치 의존 주파수로서 기억하는 비위치 의존 주파수 기억부 (50) 와,
    상기 위치 주파수 특성으로부터 상기 비위치 의존 주파수의 성분을 제거하여 역푸리에 변환하고, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 상기 진동으로 되돌린 것을 위치 의존 진동으로서 취득하는 위치 의존 진동 취득부 (52) 와,
    상기 위치 의존 진동을 없애는, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 위치의 보정량을 취득하는 보정량 취득부 (54) 를 갖는, 보정량 취득 장치 (41).
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 의존 진동 취득부는, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 상기 비위치 의존 주파수를 포함하는 소정 주파수 내의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환하는, 보정량 취득 장치 (41).
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 의존 진동 취득부는, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수의 차가 소정 주파수 이하일 때에는, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수 사이의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환하는, 보정량 취득 장치 (41).
  4. 이동 대상물을 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 구동부 (27) 와,
    상기 이동 대상물을 상기 제 1 축 방향에 직교하는 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 구동부 (33) 와,
    상기 제 1 구동부에 의해 상기 이동 대상물이 상기 제 1 축 방향으로 이동되고 있을 때, 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 보정량 취득 장치에 의해 취득된 상기 보정량에 기초하여 상기 제 2 구동부를 구동시키는 제 2 구동 제어부 (45) 를 갖는, 이송 기구 제어 장치 (34).
  5. 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시켰을 때의, 상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향의 진동을 취득하는 진동 취득 스텝과,
    상기 진동 취득 스텝에 있어서 취득된 상기 제 2 축 방향의 상기 진동을 푸리에 변환하여 위치 주파수 특성을 취득하는 위치 주파수 특성 취득 스텝과,
    상기 이동 대상물의 상기 제 1 축 방향의 위치에 의존하지 않고 발생하는, 상기 제 2 축 방향의 상기 진동의 위치 주파수를 비위치 의존 주파수로서 기억하는 비위치 의존 주파수 기억 스텝과,
    상기 위치 주파수 특성으로부터 상기 비위치 의존 주파수의 성분을 제거하여 역푸리에 변환하고, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 상기 진동으로 되돌린 것을 위치 의존 진동으로서 취득하는 위치 의존 진동 취득 스텝과,
    상기 위치 의존 진동을 없애는, 상기 이동 대상물의 상기 제 2 축 방향의 위치의 보정량을 취득하는 보정량 취득 스텝을 갖는, 보정량 취득 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 위치 의존 진동 취득 스텝은, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 상기 비위치 의존 주파수를 포함하는 소정 주파수 내의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환하는, 보정량 취득 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 위치 의존 진동 취득 스텝은, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수의 차가 소정 주파수 이하일 때에는, 상기 위치 주파수 특성으로부터, 2 개의 상기 비위치 의존 주파수 사이의 주파수대의 성분을 제거한 것을 역푸리에 변환하는, 보정량 취득 방법.
  8. 이동 대상물 (11) 을 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 구동부 (27) 와,
    상기 이동 대상물을 상기 제 1 축 방향과 직교하는 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 구동부 (33) 를 갖는, 이송 기구의 제어 방법으로서,
    상기 제 1 구동부에 의해 상기 이동 대상물이 상기 제 1 축 방향으로 이동되고 있을 때, 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 보정량 취득 방법에 의해 취득된 보정량에 기초하여 상기 제 2 구동부를 구동시키는 제 2 구동 제어 스텝을 갖는, 이송 기구의 제어 방법.
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