JP2019159860A

JP2019159860A - 補正量取得装置、送り機構制御装置、補正量取得方法および送り機構の制御方法

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Publication number: JP2019159860A
Application number: JP2018046196A
Authority: JP
Inventors: 宏充門倉; Hiromitsu Kadokura
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2018-03-14
Filing date: 2018-03-14
Publication date: 2019-09-19
Anticipated expiration: 2038-03-14
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Abstract

【課題】移動対象物の第１軸方向に直交する第２軸方向の振動を抑制する補正量を取得することができる補正量取得装置を提供する。【解決手段】補正量取得装置４１は、移動対象物１１を第１軸方向に移動させたときの、移動対象物１１の第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を取得し、取得された第２軸方向の振動をフーリエ変換して位置周波数特性を取得し、移動対象物１１の第１軸方向の位置に依存せずに発生する、第２軸方向の振動の位置周波数を非位置依存周波数の成分を、位置周波数特性から除去して逆フーリエ変換し、移動対象物１１の第２軸方向の振動に戻したものを位置依存振動として取得し、位置依存振動を打ち消す、移動対象物１１の第２軸方向の位置の補正量を取得する。【選択図】図３

Description

本発明は、移動対象物を第１軸方向に移動させるときに、移動対象物の第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を打ち消す補正量を取得する補正量取得装置、補正量取得方法、および、取得された補正量に基づいて第２駆動部を駆動する送り機構制御装置、送り機構の制御方法に関する。

下記特許文献１には、加工機において、ワークをＸ軸方向やＹ軸方向に移動させる軸送り機構において、Ｘ軸リニアガイドに沿って移動されるＸ軸キャレッジのＸ軸方向の移動にともなうＹ軸方向の変位量を求めるものが開示されている。そして、制御装置によりＹ軸方向の変位量を打ち消すようにＹ軸リニアガイドに沿って移動されるＹ軸キャレッジのＹ軸方向に移動を制御している。

特開平１０−２８３０３３号公報

移動対象物の第１の軸方向の移動にともない発生する、移動対象物の第１軸方向に直交する第２軸方向の振動には、移動対象物の第１軸方向の位置に依存する振動と、第１軸方向の位置に依存しない振動とがある。上記特許文献１に記載の技術を適用して、移動対象物の第２軸方向の振動を打ち消すように移動対象物を移動させるようにしても、移動対象物の第１軸方向の位置に依存しない振動については、振動を低減することができないばかりか、却って振動を増幅するおそれがある。

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、移動対象物の第１軸方向の移動にともなう、移動対象物の第２軸方向の振動を抑制する補正量を取得することができる補正量取得装置および補正量取得方法、移動対象物の第２軸方向の振動を抑制することができる送り機構制御装置および送り機構の制御方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様の補正量取得装置は、移動対象物を第１軸方向に移動させたときの、前記移動対象物の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を取得する振動取得部と、前記振動取得部において取得された前記第２軸方向の前記振動をフーリエ変換して位置周波数特性を取得する位置周波数特性取得部と、前記移動対象物の前記第１軸方向の位置に依存せずに発生する、前記第２軸方向の前記振動の位置周波数を非位置依存周波数として記憶する非位置依存周波数記憶部と、前記位置周波数特性から前記非位置依存周波数の成分を除去して逆フーリエ変換し、前記移動対象物の前記第２軸方向の前記振動に戻したものを位置依存振動として取得する位置依存振動取得部と、前記位置依存振動を打ち消す、前記移動対象物の前記第２軸方向の位置の補正量を取得する補正量取得部と、を有する。

本発明の第２の態様の送り機構制御装置は、移動対象物を第１軸方向に移動させる第１駆動部と、前記移動対象物を前記第１軸方向に直交する第２軸方向に移動させる第２駆動部と、前記第１駆動部により前記移動対象物が前記第１軸方向に移動されているときに、上記の補正量取得装置により取得された前記補正量に基づいて前記第２駆動部を駆動する第２駆動制御部と、を有する。

本発明の第３の態様の補正量取得方法は、移動対象物を第１軸方向に移動させたときの、前記移動対象物の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を取得する振動取得ステップと、前記振動取得ステップにおいて取得された前記第２軸方向の前記振動をフーリエ変換して位置周波数特性を取得する位置周波数特性取得ステップと、前記移動対象物の前記第１軸方向の位置に依存せずに発生する、前記第２軸方向の前記振動の位置周波数を非位置依存周波数として記憶する非位置依存周波数記憶ステップと、前記位置周波数特性から前記非位置依存周波数の成分を除去して逆フーリエ変換し、前記移動対象物の前記第２軸方向の前記振動に戻したものを位置依存振動として取得する位置依存振動取得ステップと、前記位置依存振動を打ち消す、前記移動対象物の前記第２軸方向の位置の補正量を取得する補正量取得ステップと、を有する。

本発明の第４の態様の送り機構の制御方法は、移動対象物を第１軸方向に移動させる第１駆動部と、前記移動対象物を前記第１軸方向と直交する第２軸方向に移動させる第２駆動部と、を有する、送り機構の制御方法であって、前記第１駆動部により前記移動対象物が前記第１軸方向に移動されているときに、上記の補正量取得方法によって取得された補正量に基づいて前記第２駆動部を駆動する第２駆動制御ステップを有する。

本発明の補正量取得装置および補正量取得方法は、移動対象物の第１の軸方向の移動にともなう、移動対象物の第２軸方向の振動を抑制する補正量を取得することができる。また、本発明の送り機構制御装置および送り機構の制御方法は、移動対象物の第２軸方向の振動を抑制することができる。

ワークテーブルの送り機構を示す模式図である。ワークテーブルの送り機構制御装置を示すブロック図である。補正量取得装置の構成を示すブロック図である。ワークテーブルのＹ軸方向の振動を示すグラフである。ワークテーブルのＹ軸方向の振動の位置周波数特性を示すグラフである。非位置依存周波数の成分が除去された位置周波数特性を示すグラフである。

〔第１の実施の形態〕
［ワークテーブルの送り機構の構成］
本実施の形態のワークテーブル１０の送り機構１２は、ワイヤ放電加工機に用いられる。ワークテーブル１０は、移動対象物１１を構成している。図１は、ワークテーブル１０の送り機構１２を示す模式図である。図１は、ワークテーブル１０と送り機構１２の構成を模式的に示したものであって、加工槽等は記載されていない。ワークテーブル１０は、送り機構１２によって、Ｘ軸方向と、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に移動される。送り機構１２は、サドル１４に設置されたＸ軸送り機構１６と、ベッド１８に設置されたＹ軸送り機構２０から構成されている。

Ｘ軸送り機構１６は、リニアガイドレール２２、図示しないリニアガイド、ボールねじ軸２４、図示しないボールねじナットおよびＸ軸モータ２６を有している。リニアガイドレール２２は、サドル１４にねじ止めされており、Ｘ軸方向に延びて設置されている。ワークテーブル１０にはリニアガイドが設けられており、リニアガイドがリニアガイドレール２２に沿って移動することにより、ワークテーブル１０をＸ軸方向に案内している。ボールねじ軸２４は、長手方向の軸を中心に回動可能であって、サドル１４にＸ軸方向に延びて設置されている。ワークテーブル１０にはボールねじナットが回動不能に固定されている。Ｘ軸モータ２６は、ボールねじ軸２４を回動させる。ボールねじ軸２４が回動することにより、ボールねじナットはワークテーブル１０とともにＸ軸方向に移動する。なお、Ｘ軸モータ２６は、第１駆動部２７または第２駆動部３３を構成している。

Ｙ軸送り機構２０は、リニアガイドレール２８、図示しないリニアガイド、ボールねじ軸３０、図示しないボールねじナットおよびＹ軸モータ３２を有している。リニアガイドレール２８は、ベッド１８にねじ止めされており、Ｙ軸方向に延びて設置されている。ワークテーブル１０にはリニアガイドが設けられており、リニアガイドがリニアガイドレール２８に沿って移動することにより、ワークテーブル１０をＹ軸方向に案内している。ボールねじ軸３０は、長手方向の軸を中心に回動可能であって、ベッド１８にＹ軸方向に延びて設置されている。ワークテーブル１０にはボールねじナットが回動不能に固定されている。Ｙ軸モータ３２は、ボールねじ軸３０を回動させる。ボールねじ軸３０が回動することにより、ボールねじナットはワークテーブル１０とともにＹ軸方向に移動する。なお、Ｙ軸モータ３２は、第２駆動部３３または第１駆動部２７を構成している。

［ワークテーブルの送り機構制御装置の構成］
図２は、ワークテーブル１０の送り機構制御装置３４を示すブロック図である。送り機構制御装置３４は、ワイヤ放電加工機を制御するＣＮＣである。送り機構制御装置３４は、ＮＣプログラム記憶部３６、ワークテーブル移動指令部３８、移動指令補正部４０、Ｘ軸モータ駆動制御部４２およびＹ軸モータ駆動制御部４４を有している。

ＮＣプログラム記憶部３６は、ＣＡＭ等によってあらかじめ作成されたＮＣプログラムを記憶している。ワークテーブル移動指令部３８は、ＮＣプログラムにより規定されている図示しないワイヤ電極の移動経路、移動速度に応じて、ワークテーブル１０のＸ軸方向の移動量および移動速度をＸ軸移動指令値として出力し、Ｙ軸方向の移動量および移動速度をＹ軸移動指令値として出力する。移動指令補正部４０は、Ｘ軸移動指令値の補正量をＸ軸補正量として、Ｙ軸移動指令値の補正量をＹ軸補正量として出力する。Ｘ軸補正量およびＹ軸補正量については、後に詳述する。

Ｘ軸モータ駆動制御部４２は、Ｘ軸移動指令値およびＸ軸補正量にしたがってＸ軸モータ２６に供給する電力を制御する。Ｙ軸モータ駆動制御部４４は、Ｙ軸移動指令値およびＹ軸補正量にしたがってＹ軸モータ３２に供給する電力を制御する。なお、Ｙ軸モータ駆動制御部４４は、第２駆動制御部４５を構成している。

［補正量取得装置の構成］
ボールねじ軸２４の軸芯のブレやリニアガイドレール２２の歪み等により、ワークテーブル１０をＸ軸方向に移動させたときに、ワークテーブル１０にはＹ軸方向の振動が生じる。同様に、ワークテーブル１０をＹ軸方向に移動させたときにも、ワークテーブル１０にはＸ軸方向の振動が生じる。本実施の形態のワークテーブル１０の送り機構制御装置３４では、ワークテーブル１０のＸ軸方向およびＹ軸方向の振動を打ち消すようにＸ軸モータ２６およびＹ軸モータ３２を制御する。

図３は、補正量取得装置４１の構成を示すブロック図である。補正量取得装置４１は、例えばパーソナルコンピュータ等であって、振動取得部４６、位置周波数特性取得部４８、非位置依存周波数記憶部５０、位置依存振動取得部５２および補正量取得部５４を有している。

振動取得部４６は、ワークテーブル１０をＸ軸方向に移動させたときのワークテーブル１０のＹ軸方向の振動を取得する。図４は、ワークテーブル１０のＹ軸方向の振動を示すグラフである。図４の横軸はワークテーブル１０のＸ軸方向の位置を示し、縦軸は振動の変位を示している。

ワークテーブル１０のＹ軸方向の振動は、次のようにして取得される。図１に示すように、オペレータがワークテーブル１０にＸ軸と平行となるようにストレートエッジ５６を固定する。さらに、オペレータは、ダイヤルゲージ５８を図示しない主軸等に固定し、ストレートエッジ５６の端部に測定子を接触させる。オペレータは、ワークテーブル１０をＸ軸方向に移動させて、振動取得部４６はダイヤルゲージ５８により測定された測定値から、Ｙ軸方向の基準位置に対する振動を取得する。

位置周波数特性取得部４８は、振動取得部４６において取得されたワークテーブル１０のＹ軸方向の振動に対してフーリエ変換を行い、位置周波数特性を取得する。図５は、図４に示す振動の位置周波数特性を示すグラフである。図５の横軸は位置周波数を示し、縦軸は振動の強度を示している。

非位置依存周波数記憶部５０は、ワークテーブル１０のＸ軸方向の位置に依存せずに発生するワークテーブル１０のＹ軸方向の振動の位置周波数を非位置依存周波数として記憶している。本実施の形態では、非位置依存周波数は、例えば０．１２［１／ｍｍ］である。ワークテーブル１０のＹ軸方向の振動の原因は、前述のボールねじ軸２４の軸芯のブレ、リニアガイドレール２２の歪み以外にも、リニアガイドやボールねじナット内のボールの出入り等がある。ボールねじ軸２４の軸芯のブレ、リニアガイドレール２２の歪みに起因するワークテーブル１０のＹ軸方向の振動は、ワークテーブル１０のＸ軸方向において同じ位置で発生する。一方、リニアガイドやボールねじナット内のボールの出入りに起因するワークテーブル１０のＹ軸方向の振動は、ワークテーブル１０のＸ軸方向において同じ位置で発生するわけではない。これは、リニアガイドやボールねじナット内でボールの位置が頻繁にずれるからである。

リニアガイドやボールねじナット内のボールの出入りに起因するワークテーブル１０のＹ軸方向の振動は、ワークテーブル１０がＸ軸方向に移動するときに、略等距離間隔（位置周期）で発生するため、その振動の位置周波数をあらかじめ求めることができる。

位置依存振動取得部５２は、位置周波数特性取得部４８で取得された位置周波数特性から、非位置依存周波数記憶部５０で記憶されている非位置依存周波数の成分を除去する。図６は、非位置依存周波数の成分が除去された位置周波数特性を示すグラフである。位置依存振動取得部５２は、位置周波数特性から、非位置依存周波数を中心として所定周波数内の周波数帯の成分を除去する。または、位置依存振動取得部５２は、非位置依存周波数が複数あり、２つの非位置依存周波数の差が所定周波数以下であるときには、その２つの非位置依存周波数の間の周波数帯の成分を除去するようにしてもよい。

さらに、位置依存振動取得部５２は、位置周波数の成分を除去された位置周波数特性を逆フーリエ変換し、ワークテーブル１０のＸ軸方向の位置領域におけるワークテーブル１０のＹ軸方向の振動に戻して、位置依存振動として取得する。

補正量取得部５４は、位置依存振動を打ち消すように、ワークテーブル１０のＹ軸方向の位置のＹ軸補正量を算出して取得する。補正量取得部５４で取得されたＹ軸補正量は、Ｙ軸モータ駆動制御部４４に出力される。上記では、Ｙ軸補正量について説明したが、Ｘ軸補正量も移動指令補正部４０において、同様にして求められる。なお、補正量取得装置４１は、パーソナルコンピュータ等に限らずＣＮＣであってもよい。

［作用効果］
本実施の形態のワークテーブル１０の送り機構制御装置３４では、ワークテーブル１０のＸ軸方向およびＹ軸方向の振動を打ち消すようにＸ軸モータ２６およびＹ軸モータ３２を制御する。ワークテーブル１０をＸ軸方向に移動させているときのワークテーブル１０のＹ軸方向の振動には、Ｘ軸方向の位置に依存して発生する振動と、Ｘ軸方向の位置に依存せずに発生する振動とがある。Ｘ軸方向の位置に依存せずに発生する振動は、ワークテーブル１０のＸ軸方向において同じ位置で発生するわけではない。そのため、振動取得部４６において取得されたワークテーブル１０のＹ軸方向の振動を打ち消すようにＹ軸モータ駆動制御部４４がＹ軸モータ３２を制御してしまうと、振動を抑制することができないばかりか、振動を増幅するおそれがある。

そこで、本実施の形態のワークテーブル１０の送り機構制御装置３４は、振動取得部４６において取得されたワークテーブル１０のＹ軸方向の振動から、非位置依存周波数成分の振動を除去したのちの位置依存振動を打ち消すようにＸ軸モータ２６およびＹ軸モータ３２を制御する。これにより、本実施の形態のワークテーブル１０の送り機構制御装置３４は、ワークテーブル１０をＸ軸方向に移動させるときの、ワークテーブル１０のＹ軸方向の振動を抑制することができる。同様にして、本実施の形態のワークテーブル１０の送り機構制御装置３４は、ワークテーブル１０をＹ軸方向に移動させるときの、ワークテーブル１０のＸ軸方向の振動を抑制することができる。

本実施の形態では、ワイヤ放電加工機に用いられるワークテーブル１０の送り機構１２について説明したが、工作機械において用いられるワークテーブルの送り機構についても、同様にして、ワークテーブルの振動を抑制することができる。

また、本実施の形態のワークテーブル１０の送り機構１２は、ワークテーブル１０のＸ軸方向の振動とＹ軸方向の振動を抑制しているが、工作機械の主軸ようにＺ軸の要素を持っているものに用いられるワークテーブルの送り機構については、ワークテーブルをＸ軸方向に移動させているとき、またはＹ軸方向に移動させているときの、ワークテーブルのＺ軸方向の振動を抑制することができる。この場合、Ｘ軸モータまたはＹ軸モータが第１駆動部２７を構成し、主軸をＺ軸方向の移動させるＺ軸モータが第２駆動部３３を構成する。

〔実施の形態から得られる技術的思想〕
上記実施の形態から把握しうる技術的思想について、以下に記載する。

補正量取得装置（４１）は、移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させたときの、前記移動対象物（１１）の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を取得する振動取得部（４６）と、前記振動取得部（４６）において取得された前記第２軸方向の前記振動をフーリエ変換して位置周波数特性を取得する位置周波数特性取得部（４８）と、前記移動対象物（１１）の前記第１軸方向の位置に依存せずに発生する、前記第２軸方向の前記振動の位置周波数を非位置依存周波数として記憶する非位置依存周波数記憶部（５０）と、前記位置周波数特性から前記非位置依存周波数の成分を除去して逆フーリエ変換し、前記移動対象物（１１）の前記第２軸方向の前記振動に戻したものを位置依存振動として取得する位置依存振動取得部（５２）と、前記位置依存振動を打ち消す、前記移動対象物（１１）の前記第２軸方向の位置の補正量を取得する補正量取得部（５４）と、を有する。これにより、補正量取得装置（４１）は、移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させるときの、移動対象物（１１）の第２軸方向の振動を抑制する補正量を取得することができる。

上記の補正量取得装置（４１）であって、前記位置依存振動取得部（５２）は、前記位置周波数特性から、前記非位置依存周波数を含む所定周波数内の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換してもよい。これにより、移動対象物（１１）の送り機構制御装置（３４）は、移動対象物（１１）の位置依存振動を取得することができる。

上記の補正量取得装置（４１）であって、前記位置依存振動取得部（５２）は、２つの前記非位置依存周波数の差が所定周波数以下であるときには、前記位置周波数特性から、２つの前記非位置依存周波数の間の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換してもよい。これにより、移動対象物（１１）の送り機構制御装置（３４）は、移動対象物（１１）の位置依存振動を取得することができる。

送り機構制御装置（３４）は、移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させる第１駆動部（２７）と、前記移動対象物（１１）を前記第１軸方向に直交する第２軸方向に移動させる第２駆動部（３３）と、前記第１駆動部（２７）により前記移動対象物（１１）が前記第１軸方向に移動されているときに、上記の補正量取得装置（４１）により取得された前記補正量に基づいて前記第２駆動部（３３）を駆動する第２駆動制御部（４５）と、を有する。これにより、送り機構制御装置（３４）は、移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させるときの、移動対象物（１１）の第２軸方向の振動を抑制することができる。

補正量取得方法は、移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させたときの、前記移動対象物（１１）の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を取得する振動取得ステップと、前記振動取得ステップにおいて取得された前記第２軸方向の前記振動をフーリエ変換して位置周波数特性を取得する位置周波数特性取得ステップと、前記移動対象物（１１）の前記第１軸方向の位置に依存せずに発生する、前記第２軸方向の前記振動の位置周波数を非位置依存周波数として記憶する非位置依存周波数記憶ステップと、前記位置周波数特性から前記非位置依存周波数の成分を除去して逆フーリエ変換し、前記移動対象物（１１）の前記第２軸方向の前記振動に戻したものを位置依存振動として取得する位置依存振動取得ステップと、前記位置依存振動を打ち消す、前記移動対象物（１１）の前記第２軸方向の位置の補正量を取得する補正量取得ステップと、を有する。この補正量取得方法により、移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させるときの、移動対象物（１１）の第２軸方向の振動を抑制する補正量を取得することができる。

上記の補正量取得方法であって、前記位置依存振動取得ステップは、前記位置周波数特性から、前記非位置依存周波数を含む所定周波数内の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換してもよい。この補正量取得方法により、移動対象物（１１）の送り機構制御装置（３４）は、移動対象物（１１）の位置依存振動を取得することができる。

上記の補正量取得方法であって、前記位置依存振動取得ステップは、２つの前記非位置依存周波数の差が所定周波数以下であるときには、前記位置周波数特性から、２つの前記非位置依存周波数の間の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換してもよい。この補正量取得方法により、移動対象物（１１）の送り機構制御装置（３４）は、移動対象物（１１）の位置依存振動を取得することができる。

移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させる第１駆動部（２７）と、前記移動対象物（１１）を前記第１軸方向と直交する第２軸方向に移動させる第２駆動部（３３）と、を有する送り機構の制御方法であって、前記第１駆動部（２７）により前記移動対象物（１１）が前記第１軸方向に移動されているときに、上記の補正量取得方法によって取得された補正量に基づいて前記第２駆動部（３３）を駆動する第２駆動制御ステップを有する。この送り機構の制御方法により、移動対象物（１１）を第１軸方向に移動させるときの、移動対象物（１１）の第２軸方向の振動を抑制することができる。

１１…移動対象物２７…第１駆動部
３３…第２駆動部３４…送り機構制御装置
４１…補正量取得装置４５…第２駆動制御部
４６…振動取得部４８…位置周波数特性取得部
５０…非位置依存周波数記憶部５２…位置依存振動取得部
５４…補正量取得部

Claims

移動対象物を第１軸方向に移動させたときの、前記移動対象物の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を取得する振動取得部と、
前記振動取得部において取得された前記第２軸方向の前記振動をフーリエ変換して位置周波数特性を取得する位置周波数特性取得部と、
前記移動対象物の前記第１軸方向の位置に依存せずに発生する、前記第２軸方向の前記振動の位置周波数を非位置依存周波数として記憶する非位置依存周波数記憶部と、
前記位置周波数特性から前記非位置依存周波数の成分を除去して逆フーリエ変換し、前記移動対象物の前記第２軸方向の前記振動に戻したものを位置依存振動として取得する位置依存振動取得部と、
前記位置依存振動を打ち消す、前記移動対象物の前記第２軸方向の位置の補正量を取得する補正量取得部と、
を有する、補正量取得装置。
請求項１に記載の補正量取得装置であって、
前記位置依存振動取得部は、前記位置周波数特性から、前記非位置依存周波数を含む所定周波数内の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換する、補正量取得装置。
請求項１に記載の補正量取得装置であって、
前記位置依存振動取得部は、２つの前記非位置依存周波数の差が所定周波数以下であるときには、前記位置周波数特性から、２つの前記非位置依存周波数の間の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換する、補正量取得装置。
移動対象物を第１軸方向に移動させる第１駆動部と、
前記移動対象物を前記第１軸方向に直交する第２軸方向に移動させる第２駆動部と、
前記第１駆動部により前記移動対象物が前記第１軸方向に移動されているときに、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の補正量取得装置により取得された前記補正量に基づいて前記第２駆動部を駆動する第２駆動制御部と、
を有する、送り機構制御装置。
移動対象物を第１軸方向に移動させたときの、前記移動対象物の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の振動を取得する振動取得ステップと、
前記振動取得ステップにおいて取得された前記第２軸方向の前記振動をフーリエ変換して位置周波数特性を取得する位置周波数特性取得ステップと、
前記移動対象物の前記第１軸方向の位置に依存せずに発生する、前記第２軸方向の前記振動の位置周波数を非位置依存周波数として記憶する非位置依存周波数記憶ステップと、
前記位置周波数特性から前記非位置依存周波数の成分を除去して逆フーリエ変換し、前記移動対象物の前記第２軸方向の前記振動に戻したものを位置依存振動として取得する位置依存振動取得ステップと、
前記位置依存振動を打ち消す、前記移動対象物の前記第２軸方向の位置の補正量を取得する補正量取得ステップと、
を有する、補正量取得方法。
請求項５に記載の補正量取得方法であって、
前記位置依存振動取得ステップは、前記位置周波数特性から、前記非位置依存周波数を含む所定周波数内の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換する、補正量取得方法。
請求項５に記載の補正量取得方法であって、
前記位置依存振動取得ステップは、２つの前記非位置依存周波数の差が所定周波数以下であるときには、前記位置周波数特性から、２つの前記非位置依存周波数の間の周波数帯の成分を除去したものを逆フーリエ変換する、補正量取得方法。
移動対象物を第１軸方向に移動させる第１駆動部と、
前記移動対象物を前記第１軸方向と直交する第２軸方向に移動させる第２駆動部と、
を有する、送り機構の制御方法であって、
前記第１駆動部により前記移動対象物が前記第１軸方向に移動されているときに、請求項５〜７のいずれか１項に記載の補正量取得方法によって取得された補正量に基づいて前記第２駆動部を駆動する第２駆動制御ステップを有する、送り機構の制御方法。