KR102058152B1 - Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 핀이 탄성부, 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부가, 연장 방향의 일단부가 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 연장 방향의 일단부가 제1 직선부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부와, 연장 방향의 일단부가 만곡부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부를 갖고, 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.In the present invention, the probe pin has an elastic portion, a first contact portion and a second contact portion. The elastic portion has a first straight portion in which one end in the extending direction is connected to the first contact portion, a curved portion in which one end in the extending direction is connected to the other end in the extending direction of the first straight portion, and one end in the extending direction extends the curved portion. It has a 2nd linear part connected to the other end part of the direction, and is comprised so that the center angle of a curved part may be larger than 90 degree | times and smaller than 180 degree | times.

Description

프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치 {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}Probe Pins, Inspection Jigs, Inspection Units and Inspection Devices {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a probe pin, an inspection jig provided with this probe pin, an inspection unit provided with this inspection jig, and the inspection apparatus provided with this inspection unit.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.In electronic component modules, such as a camera or a liquid crystal panel, conduction test, operation characteristic test, etc. are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting the inspection apparatus with an electrode portion such as an FPC contact electrode for connecting to a main body substrate installed in the electronic component module or a mounted board-to-board connector using a probe pin.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자의 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.As such a probe pin, there exist some which were described in patent document 1, for example. This probe pin is provided with a pair of contacts which can respectively contact the electrode terminal of an electronic component, and the electrode terminal of a to-be-connected electronic component, and the meandering part which connects a pair of contacts through a pair of contacts. In the probe pin, a meandering part ensures contact pressure between each contact, the electrode terminal of the electronic component, and the electrode terminal of the connected electronic component, and the contact reliability of the electrode terminal of the electronic component and the electrode terminal of the connected electronic component. Is raising.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2002-134202

근년, 전자 부품 모듈 사이에서 송수신되는 정보량의 증대 등에 수반하여, 전자 부품 모듈의 검사에 사용하는 프로브 핀에도 고주파 영역의 신호에 대응할 것이 요구되고 있다.In recent years, with the increase in the amount of information transmitted and received between electronic component modules, probe pins used for the inspection of electronic component modules have also been required to respond to signals in the high frequency region.

그러나, 특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 고주파 영역의 신호에 반드시 충분히 대응되었다고는 할 수 없어, 전자 부품 모듈의 검사시에 프로브 핀을 흐르는 고주파 영역의 신호의 손실이 커지는 경우가 있었다.However, in the probe pin of patent document 1, it cannot necessarily correspond fully to the signal of a high frequency region, and the loss of the signal of the high frequency region which flows through a probe pin at the time of the inspection of an electronic component module may become large.

본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a probe pin, an inspection jig provided with the probe pin, an inspection unit provided with the test jig, and a test pin capable of reducing the loss of a signal in the high frequency region while ensuring contact reliability between the inspection object and the inspection device. An object of the present invention is to provide an inspection device having an inspection unit.

본 발명의 일례의 프로브 핀은,The probe pin of an example of the present invention,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,

상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판형 제1 접촉부와, 상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판형 제2 접촉부A plate-shaped first contact portion connected to the first end portion in the longitudinal direction of the elastic portion, and a plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the second end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.

를 구비하고,And

상기 탄성부가,The elastic portion,

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,A first straight portion extending in a direction crossing the longitudinal direction and having one end in the extending direction connected to the first contact portion;

상기 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 상기 제1 접촉부로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 직선부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부와,A curved portion extending in an arc shape projecting in the direction crossing the longitudinal direction and spaced apart from the first contact portion, and having one end in the extending direction connected to the other end in the extending direction of the first straight portion. Wow,

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 만곡부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부A second straight portion extending in a direction crossing the longitudinal direction and having one end in the extending direction connected to the other end in the extending direction of the curved portion;

를 갖고,With

상기 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.It is comprised so that the center angle of the said curved part may be larger than 90 degree | times and smaller than 180 degree | times.

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,In addition, the inspection jig of an example of this invention,

상기 프로브 핀과,The probe pin,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 하우징A housing having a receiving portion for receiving the probe pin

을 구비하고,And

상기 프로브 핀이, 상기 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 상기 수용부에 수용되어 있다.The probe pin is accommodated in the accommodation portion such that the center angle of the curved portion is larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,In addition, the inspection unit of an example of the present invention,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection jig was provided.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,In addition, the inspection apparatus of an example of the present invention,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection unit was provided.

상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 직선부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부와, 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 만곡부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부를 갖고, 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 프로브 핀의 길이 방향에 있어서의 제1 직선부와 제2 직선부의 사이에 거리를 마련할 수 있으므로, 예를 들어 제1 직선부를 흐르는 고주파 영역의 신호의 제2 직선부를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대한 간섭을 저감할 수 있다. 그 결과, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀을 실현할 수 있다.According to the said probe pin, the elastic part extends in the direction which cross | intersects the longitudinal direction of a probe pin, and the 1st linear part whose one end of an extension direction is connected to the 1st contact part, and the direction which cross | intersects the longitudinal direction of a probe pin, and is a 1st A curved portion extending in an arc shape protruding in a direction spaced from the contact portion and having one end portion in the extension direction connected to the other end portion in the extension direction of the first straight portion, and one end in the extension direction extending in a direction crossing the longitudinal direction of the probe pin; The additional curved portion has a second straight portion connected to the other end portion in the extending direction thereof, and is configured such that the center angle of the curved portion is larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees. Thereby, since the distance can be provided between the 1st linear part and the 2nd linear part in the longitudinal direction of a probe pin, for example, in the high frequency area | region which flows the 2nd linear part of the signal of the high frequency area | region which flows through a 1st linear part, Interference to the signal can be reduced. As a result, the probe pin which can reduce the loss of the signal of a high frequency range can be realized, ensuring the contact reliability with respect to a test subject and a test apparatus.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 지그를 실현할 수 있다.In addition, according to the inspection jig, an inspection jig having high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection device by the probe pin and less loss of signals in the high frequency region when connected to the inspection object and the inspection device can be realized.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 유닛을 실현할 수 있다.In addition, according to the inspection unit, the inspection jig can realize an inspection unit having high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection device and low loss of signals in the high frequency region when connected to the inspection object and the inspection device.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 장치를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said inspection apparatus, the inspection unit can implement | achieve the inspection apparatus with high contact reliability with respect to a test | inspection object and a test apparatus, and the loss of the signal of the high frequency area at the time of connecting to a test object and a test apparatus.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 단면 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 프로브 핀의 탄성부의 확대 평면도이다.
도 6은 비교예의 프로브 핀을 사용한 인서션 로스 및 리턴 로스의 측정 결과를 도시하는 도면이다.
도 7은 실시예의 프로브 핀의 프로브 핀을 사용한 인서션 로스 및 리턴 로스의 측정 결과를 도시하는 도면이다.
도 8은 도 3의 프로브 핀의 제1 변형예를 도시하는 탄성부의 확대 평면도이다.
도 9는 도 3의 프로브 핀의 제2 변형예를 도시하는 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional perspective view which shows the inspection unit of one Embodiment of this invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.
It is a perspective view which shows the probe pin of one Embodiment of this invention.
4 is a plan view of the probe pin of FIG. 3.
5 is an enlarged plan view of an elastic part of the probe pin of FIG. 3.
It is a figure which shows the measurement result of the insertion loss and return loss using the probe pin of the comparative example.
It is a figure which shows the measurement result of the insertion loss and return loss using the probe pin of the probe pin of an Example.
8 is an enlarged plan view of an elastic part showing a first modification of the probe pin of FIG. 3.
9 is a plan view illustrating a second modification of the probe pin of FIG. 3.

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, an example of this invention is demonstrated according to attached drawing. In addition, in the following description, although the term which shows a specific direction or position (for example, the term containing "up", "bottom", "right", "left") is used as needed, use of these terms Is to facilitate understanding of the present invention with reference to the drawings, and the technical scope of the present invention is not limited by the meaning of these terms. In addition, the following description is merely exemplary in nature and is not intended to limit the present invention, its application, or its use. In addition, drawing is typical, and the ratio of each dimension etc. does not necessarily correspond with a real thing.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판형 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.The probe pin 10 of one embodiment of the present invention is conductive and used in a state accommodated in the socket 3, for example, as shown in Figs. Configure 2). In this inspection jig 2, a plurality of thin thin plate-shaped probe pins 10 are housed as an example.

또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 일례로서 복수의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체형 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은, 대략 직사각형 판형 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.In addition, the inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1. As shown in FIG. 1, the inspection unit 1 includes a substantially rectangular parallelepiped base housing 4 in which a plurality of inspection jigs 2 are incorporated. This base housing 4 is comprised from the substantially rectangular plate-shaped 1st housing 5 and the 2nd housing 6 laminated | stacked in the plate | board thickness direction of this 1st housing 5. As shown in FIG.

소켓(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 각 프로브 핀(10)을 수용 가능한 복수의 수용부(7)를 갖고, 제1 하우징(5) 및 제2 하우징(6)으로 유지되어 있다. 각 수용부(7)는 소켓(3)과 베이스 하우징(4)의 제2 하우징(6)으로 둘러싸여 있고, 후술하는 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)의 외부로 각각 노출된 상태에서 각 프로브 핀(10)을 수용 가능하게 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the socket 3 has a plurality of housing portions 7 that can accommodate each probe pin 10, and is held by the first housing 5 and the second housing 6. Each receiving portion 7 is surrounded by the second housing 6 of the socket 3 and the base housing 4, and the first contact portion 121 and the second contact portion 131 described later are connected to the socket 3. And each probe pin 10 in a state of being exposed to the outside of the base housing 4, respectively.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 접점부(121)는 일례로서 검사 장치의 기판(예를 들어, PCB 패드)(100)에 설치된 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제2 접점부(131)는 일례로서 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판(BtoB) 커넥터)(110)의 단자(120)에 접촉 가능하게 구성되어 있다.2, the 1st contact part 121 is comprised so that contacting the terminal provided in the board | substrate (for example, PCB pad) 100 of an inspection apparatus as an example is possible. In addition, the second contact portion 131 is configured to be in contact with the terminal 120 of the inspection object (for example, a board-to-board (BtoB) connector) 110 as an example.

각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이 그 길이 방향(즉, 도 3의 상하 방향)을 따라 신축하는 탄성부(11)와, 탄성부(11)의 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판형 제1 접촉부(12)와, 탄성부(11)의 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판형 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다. 이 프로브 핀(10)에서는, 예를 들어 전기 주조법으로 형성되며, 탄성부(11), 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)가 일체로 구성되어 있다.As illustrated in FIG. 3, each of the probe pins 10 includes an elastic portion 11 that stretches along its longitudinal direction (ie, an up-down direction in FIG. 3) and a first end portion in the longitudinal direction of the elastic portion 11. The plate-shaped 1st contact part 12 connected to 111, and the plate-shaped 2nd contact part 13 connected to the 2nd end part 112 of the elastic part 11 in the longitudinal direction are provided. In this probe pin 10, it is formed by the electroforming method, for example, and the elastic part 11, the 1st contact part 12, and the 2nd contact part 13 are comprised integrally.

탄성부(11)는, 도 4에 도시한 바와 같이 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향(즉, 도 4의 지면 관통 방향)으로부터 보아서 사행 형상을 갖고, 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠 형상 탄성편)(21, 22)을 갖고 있다. 각 띠 형상 탄성편(21, 22)은 가늘고 긴 띠 형상을 갖고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 일단부인 제1 단부(211)가 제1 접촉부(12)에 접속되며, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 타단부인 제2 단부(212)가 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.As shown in FIG. 4, the elastic portion 11 has a meandering shape as viewed from the plate thickness direction of the first contact portion 12 (that is, the paper penetrating direction in FIG. 4), and is disposed with a gap 23 therebetween. A plurality of band-shaped elastic pieces (two band-shaped elastic pieces in this embodiment) are provided. Each strip-shaped elastic piece 21 and 22 has an elongate strip | belt shape, the 1st end part 211 which is an end part in the longitudinal direction of the probe pin 10 is connected to the 1st contact part 12, and a probe pin The 2nd end part 212 which is the other end part in the longitudinal direction of (10) is connected to the 2nd contact part 13. As shown in FIG.

상세하게는 도 5에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)은 4개의 띠 형상의 직선부(즉, 제1 직선부(31, 32)와, 제2 직선부(51, 52)와, 제 3직선부(71, 72)와, 제4 직선부(91, 92))와, 3개의 띠 형상의 만곡부(즉, 제1 만곡부(41, 42)와, 제2 만곡부(61, 62)와, 제3 만곡부(81, 82))를 갖고 있다.In detail, as shown in FIG. 5, each of the strip-shaped elastic pieces 21 and 22 has four strip-shaped straight portions (that is, the first straight portions 31 and 32 and the second straight portion 51, 52, the third straight portions 71 and 72, the fourth straight portions 91 and 92, the three band-shaped curved portions (that is, the first curved portions 41 and 42 and the second curved portion ( 61, 62 and third curved portions 81, 82).

제1 직선부(31, 32)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제1 접촉부(12)에 접속되어 제1 단부(211, 221)를 구성하고 있다. 또한, 제1 직선부(31, 32)는, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교하는 방향)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속되어 있다.The first straight portions 31 and 32 extend in a direction (for example, an orthogonal direction) that intersects the longitudinal direction of the probe pin 10, and one end in the extension direction of the first contact portion 12 is extended to the first contact portion 12. It is connected and comprises the 1st edge part 211,221. In addition, the 1st linear parts 31 and 32 are connected to the 1st contact part 12 from the direction (for example, orthogonal direction) which cross | intersects the longitudinal direction of the probe pin 10. FIG.

제1 만곡부(41, 42)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출되고, 또한 90도보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ1에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제1 만곡부(41, 42)는 그 연장 방향의 일단부가 제1 직선부(31, 32)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다.The first curved portions 41 and 42 protrude in a direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10 and are spaced apart from the first contact portion 12, and also have a center angle θ1 greater than 90 degrees and smaller than 180 degrees. It extends along the arc. In addition, one end part of the 1st curved part 41 and 42 in the extension direction is connected to the other end part of the 1st linear part 31 and 32 in the extension direction.

제2 직선부(51, 52)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제1 만곡부(41, 42)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 이 제2 직선부(51, 52)는, 그 연장 방향의 일단부로부터 타단부를 향함에 따라(즉, 제1 만곡부(41, 42)로부터 이격됨에 따라) 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제1 직선부(31, 32)로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다.While the second straight portions 51 and 52 extend in the direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10, one end in the extension direction of the other ends in the extension direction of the first curved portions 41 and 42. Is connected to. The second straight portions 51 and 52 extend in the longitudinal direction of the probe pin 10 as it faces from one end in the extending direction to the other end (that is, away from the first curved portions 41 and 42). In the direction away from the first straight portions 31 and 32, respectively.

제2 만곡부(61, 62)는, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)에 접근하는 방향으로 돌출되고, 또한 90도보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ2에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제2 만곡부(61, 62)는 그 연장 방향의 일단부가 제2 직선부(51, 52)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다.The second curved portions 61 and 62 protrude in a direction intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10 and approaching the first contact portion 12 and at a center angle θ2 larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees. It extends along the arc. In addition, one end part of the 2nd curved part 61 and 62 is connected to the other end part of the 2nd linear part 51 and 52 in the extension direction of the extension direction.

제3 직선부(71, 72)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제2 만곡부(61, 62)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 이 제3 직선부(71, 72)는 그 연장 방향의 일단부로부터 타단부를 향함에 따라(즉, 제2 만곡부(61, 62)로부터 이격됨에 따라) 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제2 직선부(51, 52)로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다.While the third straight portions 71 and 72 extend in the direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10, one end in the extending direction of the other ends in the extending direction of the second curved portions 61 and 62. Is connected to. The third straight portions 71 and 72 extend in the longitudinal direction of the probe pin 10 as it faces the other end from one end in the extending direction thereof (ie, as it is spaced apart from the second curved portions 61 and 62). It extends in the direction spaced apart from the second straight portions 51 and 52.

제3 만곡부(81, 82)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출되고, 또한 90도보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ3에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제3 만곡부(81, 82)는 그 연장 방향의 일단부가 제3 직선부(71, 72)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다.The third curved portions 81 and 82 protrude in a direction intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10 and are spaced apart from the first contact portion 12, and have a center angle θ3 greater than 90 degrees and smaller than 180 degrees. It extends along the arc. In addition, one end part of the 3rd curved part 81 and 82 is connected to the other end part of the 3rd linear part 71, 72 in the extension direction of the extension direction.

제4 직선부(91, 92)는, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제3 만곡부(81, 82)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 이 제4 직선부(91, 92)는, 그 연장 방향의 일단부로부터 타단부를 향함에 따라(즉, 제3 만곡부(81, 82)로부터 이격됨에 따라) 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제3 직선부(71, 72)로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다. 또한, 제4 직선부(91, 92)는 그 연장 방향의 타단부가 제2 접촉부(13)에 접속되어, 제2 단부(212, 222)를 구성하고 있다. 또한, 제4 직선부(91, 92)는 프로브 핀(10)의 길이 방향으로부터 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.The fourth straight portions 91 and 92 extend in a direction intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10 (for example, an orthogonal direction), and one end of the fourth straight portions 91 and 92 extends in the third curved portion 81. It is connected to the other end part of the extension direction of 82. The fourth straight portions 91 and 92 extend in the longitudinal direction of the probe pin 10 as it faces from one end in the extending direction to the other end (that is, away from the third curved portions 81 and 82). In this case, it extends in the direction away from the third straight portions 71 and 72. Moreover, the other end part of the 4th linear part 91 and 92 in the extension direction is connected to the 2nd contact part 13, and comprises the 2nd end parts 212 and 222. As shown in FIG. In addition, the fourth straight portions 91 and 92 are connected to the second contact portion 13 from the longitudinal direction of the probe pin 10.

상기 프로브 핀(10)에서는, 제1 직선부(31, 32) 및 제4 직선부(91, 92)는, 제2 만곡부(61, 62)의 곡률 중심을 통과하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 직선(L1)에 대하여 대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제2 직선부(51, 52) 및 제3 직선부(71, 72)는 직선(L1)에 대하여 대칭으로 배치되고, 제1 만곡부(41, 42) 및 제3 만곡부(81, 82)는 직선(L1)에 대하여 대칭으로 배치되어 있다.In the probe pin 10, the first straight portions 31 and 32 and the fourth straight portions 91 and 92 pass through the center of curvature of the second curved portions 61 and 62 and the It is arrange | positioned symmetrically with respect to the straight line L1 extended in the direction orthogonal to a longitudinal direction. In addition, the second straight portions 51 and 52 and the third straight portions 71 and 72 are disposed symmetrically with respect to the straight line L1, and the first curved portions 41 and 42 and the third curved portions 81 and 82 are also symmetrically disposed. Is arranged symmetrically with respect to the straight line L1.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 제1 단부(211, 221) 및 제2 단부(212, 222) 사이의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W1, W2)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 또한, 도 5에는 일례로서 제1 만곡부(41, 42) 사이의 직선 거리를 최단 거리(W5)로서 나타내고 있다.In addition, the width of each band-shaped elastic piece 21, 22 (that is, the extension of the path between the first end 211, 221 and the second end 212, 222 of each band-shaped elastic piece 21, 22). It is comprised so that length (W1, W2) of the width direction orthogonal to a direction may become smaller than the shortest distance W3 between the strip | belt-shaped elastic pieces 21 and 22 which adjoin. 5, the linear distance between 1st curved part 41 and 42 is shown as the shortest distance W5 as an example.

제1 접촉부(12)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제1 단부(111)에 접속되어 있다. 제1 접촉부(12)의 연장 방향의 타단부에는 제1 접점부(121)가 마련되어 있다. 또한, 제2 접촉부(13)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제2 단부(112)에 접속되어 있다. 제2 접촉부(13)의 연장 방향의 타단부에는 제2 접점부(131)가 마련되어 있다.As shown in FIG. 4, the first contact portion 12 extends along the longitudinal direction of the probe pin 10, and one end in the extension direction thereof is connected to the first end 111 of the elastic portion 11. . The first contact portion 121 is provided at the other end portion in the extending direction of the first contact portion 12. In addition, as shown in FIG. 4, the second contact portion 13 extends along the longitudinal direction of the probe pin 10, and one end in the extension direction thereof is connected to the second end 112 of the elastic portion 11. It is. The second contact portion 131 is provided at the other end in the extending direction of the second contact portion 13.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각은, 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되는 가상 직선(L2)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다. 즉, 도 5에 도시한 바와 같이 탄성부(11)의 각 직선부(31, 32, 51, 52, 71, 72, 91, 92)와, 제1 만곡부(41, 42) 및 제3 만곡부(81, 82)는 가상 직선(L2)에 대하여 동일한 측(즉, 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측)에 배치되고, 제2 만곡부(61, 62)는 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 사이이며 또한 가상 직선(L2)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다.Each of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 is disposed in series along an imaginary straight line L2 extending along the longitudinal direction of the probe pin 10. That is, as shown in FIG. 5, each of the straight portions 31, 32, 51, 52, 71, 72, 91 and 92 of the elastic portion 11, the first curved portions 41, 42 and the third curved portion ( 81 and 82 are arrange | positioned at the same side (namely, one side of the width direction of the 1st contact part 12) with respect to the virtual straight line L2, and the 2nd curved part 61 and 62 are the 1st contact part 12 and It is arrange | positioned in series between the 2nd contact parts 13 along the virtual straight line L2.

도 4에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(12)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 폭 방향의 일방측에는 지지부(122)가 마련되어 있다. 지지부(122)는 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아서, 제1 접촉부(1)로부터 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)이며 또한 가상 직선(L3)에 대한 제1 직선부(31, 32)측을 향해 돌출되어 있다.As shown in FIG. 4, the support part 122 is provided in the one side of the width direction in the middle part of the extension direction of the 1st contact part 12. As shown in FIG. The support part 122 is the direction (for example, orthogonal direction) which crosses the longitudinal direction of the probe pin 10 from the 1st contact part 1 from the plate thickness direction of the 1st contact part 12, and is a virtual straight line ( It protrudes toward the 1st linear part 31, 32 side with respect to L3).

도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)의 수용부(7)에 프로브 핀(10)을 수용했을 때, 제1 접촉부(12)의 지지부(122)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 접점부(121)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 제2 하우징(6)의 제1 하우징(5)에 대향하는 면에 맞닿도록 구성되어 있다. 또한, 프로브 핀(10)은, 그 길이 방향에 있어서의 제2 접점부(131)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 소켓(3)의 제2 하우징(6)에 대향하는 면에 띠 형상 탄성편(21)의 제4 직선부(91)가 맞닿도록 구성되어 있다. 즉, 제1 접촉부(12)의 지지부(122) 및 띠 형상 탄성편(21)의 제4 직선부(91)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, when the probe pin 10 is accommodated in the receiving portion 7 of the socket 3, the support portion 122 of the first contact portion 12 is in the longitudinal direction of the probe pin 10. The surface at the side of the first contact portion 121 of the second contact portion 121 is configured to abut the surface facing the first housing 5 of the second housing 6 constituting the accommodation portion 7. In addition, the probe pin 10 has a surface on the side of the second contact portion 131 in the longitudinal direction opposite to the second housing 6 of the socket 3 constituting the accommodation portion 7. It is comprised so that the 4th linear part 91 of the strip | belt-shaped elastic piece 21 may contact. That is, the probe pin 10 is comprised in the accommodating part 7 by the support part 122 of the 1st contact part 12, and the 4th linear part 91 of the strip | belt-shaped elastic piece 21. FIG. .

소켓(3)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서도, 각 만곡부(41, 42, 61, 62, 81, 82)의 중심각 θ1, θ2, θ3은 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.Also in the state accommodated in the accommodating part 7 of the socket 3, the center angles (theta) 1, (theta) 2, and (theta) 3 of each curved part 41,42,61,62,81,82 are comprised so that it may become larger than 90 degree and smaller than 180 degree. have.

또한, 제1 접촉부(12)의 지지부(122)를 생략하여, 띠 형상 탄성편(21)의 제1 직선부(31)가 제2 하우징(6)의 제1 하우징(5)에 대향하는 면에 맞닿도록 구성해도 된다. 즉, 띠 형상 탄성편(21)의 제1 직선부(31) 및 제4 직선부(91)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성해도 된다.In addition, the support part 122 of the 1st contact part 12 is abbreviate | omitted, and the surface which the 1st linear part 31 of the strip | belt-shaped elastic piece 21 opposes the 1st housing 5 of the 2nd housing 6 is also faced. You may comprise so that it may contact. That is, you may comprise so that the probe pin 10 may be supported in the inside of the accommodating part 7 by the 1st linear part 31 and the 4th linear part 91 of the strip | belt-shaped elastic piece 21. FIG.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 접촉부(13)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 탄성부(11)측의 단부에는 제2 접촉부(13)를 판 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍부(132)가 마련되어 있다. 이 관통 구멍부(132)는 프로브 핀(10)의 긴 방향으로 연장되어, 띠 형상 탄성편(21, 22)의 사이의 간극(23)에 접속되어 있다. 이 관통 구멍부(132)에 의해 제2 접촉부(13)에 발생하는 응력을 분산시키고 있다.In addition, as shown in FIG. 4, the second contact portion 13 penetrates in the plate thickness direction at an end portion of the second contact portion 13 at the elastic portion 11 side in the longitudinal direction of the probe pin 10. The through hole 132 is provided. The through hole 132 extends in the longitudinal direction of the probe pin 10 and is connected to the gap 23 between the strip-shaped elastic pieces 21 and 22. The through hole 132 distributes the stress generated in the second contact portion 13.

그런데, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 90도 이하인 경우, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)를 직렬적으로 배치할 수 없고, 또한 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 탄성력을 구비한 탄성부(11)를 얻는 것이 곤란해진다.By the way, when the center angle (theta) 1 of the 1st curved parts 41 and 42 is 90 degrees or less, the 1st contact part 12 and the 2nd contact part 13 cannot be arrange | positioned in series, and also the contact with a test | inspection object and an inspection apparatus It becomes difficult to obtain the elastic part 11 provided with the elastic force which can ensure reliability.

또한, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 180도 이상인 경우, 제1 직선부(31, 32)와 제2 직선부(51, 52)의 사이에 충분한 거리를 마련할 수 없기 때문에, 예를 들어 제1 직선부(31, 32)를 흐르는 고주파 영역의 신호가 제2 직선부(51, 52)를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대하여 간섭하여, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감하는 것이 곤란해진다.In addition, when the center angle θ1 of the first curved portions 41 and 42 is 180 degrees or more, a sufficient distance cannot be provided between the first straight portions 31 and 32 and the second straight portions 51 and 52. For example, it is difficult for a signal in a high frequency region flowing through the first straight portions 31 and 32 to interfere with a signal in a high frequency region flowing through the second straight portions 51 and 52, thereby reducing the loss of a signal in the high frequency region. Become.

이에 비해, 상기 프로브 핀(10)에서는, 탄성부(11)가 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부(111)가 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32)와, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 직선부(31, 32)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제1 만곡부(41, 42)와, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 만곡부(41, 42)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부(51, 52)를 갖고, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 직선부(31, 32)와 제2 직선부(51, 52)의 사이에 거리를 마련할 수 있으므로, 예를 들어 제1 직선부(31, 32)를 흐르는 고주파 영역의 신호 제2 직선부(51, 52)를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대한 간섭을 저감할 수 있다. 그 결과, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.On the other hand, in the probe pin 10, the elastic portion 11 extends in the direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10 so that one end portion 111 in the extension direction is connected to the first contact portion 12. One end portion in the extending direction extends in an arc shape extending in the direction crossing the first straight portions 31 and 32 and the longitudinal direction of the probe pin 10 and spaced apart from the first contact portion 12. The first curved portions 41 and 42 connected to the other ends of the straight portions 31 and 32 in the extending direction thereof extend in a direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10 so that one end portion in the extending direction is the first curved portion. The second straight portions 51 and 52 connected to the other ends of the extending directions of the 41 and 42 are configured so that the center angle θ1 of the first curved portions 41 and 42 is larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees. have. Thereby, since the distance can be provided between the 1st linear part 31 and 32 and the 2nd linear part 51 and 52 in the longitudinal direction of the probe pin 10, For example, a 1st linear part Interference with the signal in the high frequency region flowing through the signal second straight portions 51 and 52 in the high frequency region flowing through (31, 32) can be reduced. As a result, the probe pin 10 which can reduce the loss of the signal of a high frequency range can be realized, ensuring the contact reliability with respect to a test subject and a test apparatus.

여기서, 각 만곡부(41, 42, 61, 62, 81, 82)의 중심각 θ1, θ2, θ3이 모두 180도인 프로브 핀(10)(이하, 비교예의 프로브 핀이라고 함)과, 각 만곡부(41, 42, 61, 62, 81, 82)의 중심각 θ1, θ2, θ3이 모두 150도인 프로브 핀(10)(이하, 실시예의 프로브 핀이라고 함)에 대하여 인서션 로스 및 리턴 로스를 측정했다.Herein, the probe pins 10 (hereinafter referred to as probe pins of the comparative example) in which the center angles θ1, θ2, and θ3 of the curved portions 41, 42, 61, 62, 81, and 82 are all 180 degrees, and the curved portions 41, Insertion loss and return loss were measured with respect to the probe pin 10 (henceforth a probe pin of an Example) whose center angles (theta) 1, (theta) 2, and (theta) 3 of 42, 61, 62, 81, 82 are all 150 degrees.

도 6에 도시한 바와 같이, 비교예의 프로브 핀에서는 14.28Gbps의 신호에 대하여 -1dB의 인서션 로스가 발생하고, 13.40Gbps의 신호에 대하여 -10dB의 리턴 로스가 발생했다. 한편, 도 7에 도시한 바와 같이, 실시예의 프로브 핀에서는 30.60Gbps의 신호에 대하여 -1dB의 인서션 로스가 발생하고, 30.24Gbps의 신호에 대하여 -10dB의 리턴 로스가 발생했다. 즉, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 프로브 핀(10)을 구성함으로써, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있었다.As shown in Fig. 6, the probe pin of the comparative example generated an insertion loss of -1 dB for a signal of 14.28 Gbps and a return loss of -10 dB for a signal of 13.40 Gbps. On the other hand, as shown in Fig. 7, the probe pin of the embodiment produced an insertion loss of -1 dB for a signal of 30.60 Gbps and a return loss of -10 dB for a signal of 30.24 Gbps. That is, by configuring the probe pin 10 so that the center angle θ1 of the first curved portions 41 and 42 is larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees, the loss of the signal in the high frequency region can be reduced.

또한, 상기 프로브 핀(10)에 의하면 탄성부(11)가 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편으로 구성되고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 폭(W1, W2)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.In addition, according to the probe pin 10, the elastic portion 11 is composed of a plurality of strip-shaped elastic pieces arranged with a gap 23 from each other, the width (W1, It is comprised so that W2) may become smaller than the shortest distance W3 between adjacent strip | belt-shaped elastic pieces 21 and 22. FIG. Thereby, for example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is in contact with the inspection object and the inspection apparatus so that each of the strip-shaped elastic pieces 21 and 22 is connected to the probe pin 10. Even when it is compressed in the longitudinal direction, the contact between the strip-shaped elastic pieces 21 and 22 can be prevented, and the probe pin 10 which can ensure high contact reliability can be realized.

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said test jig 2, the test pin has the high contact reliability with respect to a test object and a test | inspection apparatus by the probe pin 10, and a test jig with little loss of the signal of the high frequency area at the time of connecting to a test target and a test apparatus. (2) can be realized.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 유닛(2)을 실현할 수 있다.Moreover, according to the said inspection unit 1, the inspection jig 2 is a test | inspection unit with high contact reliability with respect to a test | inspection object and a test apparatus, and a loss of the signal of the high frequency area at the time of connecting to a test object and a test apparatus. (2) can be realized.

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 장치를 실현할 수 있다.In addition, the inspection unit 1 may constitute a part of the inspection apparatus. According to such a test apparatus, the test | inspection unit 1 can implement | achieve the test | inspection apparatus with high contact reliability with respect to a test | inspection object and a test apparatus, and the loss of the signal of the high frequency area at the time of connecting to a test object and a test apparatus.

탄성부(11)는, 제1 직선부(31, 32), 제1 만곡부(41, 42) 및 제2 직선부(51, 52)를 갖고, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있으면 된다.The elastic part 11 has the 1st linear part 31 and 32, the 1st curved part 41 and 42, and the 2nd linear part 51 and 52, and the center angle of the 1st curved part 41 and 42 is 90 degrees. What is necessary is just to be comprised so that it may become larger than degree and smaller than 180 degree.

예를 들어, 탄성부(11)는, 도 8에 도시한 바와 같이 제1 직선부(31, 32), 제1 만곡부(41, 42) 및 제2 직선부(51, 52)만으로 구성해도 된다.For example, the elastic portion 11 may be composed of only the first straight portions 31 and 32, the first curved portions 41 and 42, and the second straight portions 51 and 52, as shown in FIG. 8. .

또한, 탄성부(11)는, 서로 간극(23)을 두고 배치된 2개의 띠 형상 탄성편(21, 22)을 갖는 경우로 제한되지 않는다. 탄성부(11)는, 예를 들어 도 9에 도시한 바와 같이 서로 간극을 두고 배치된 4개의 띠 형상 탄성편(21, 22, 24, 25)을 갖고 있어도 되고, 도시하고 있지 않으나 1개의 띠 형상 탄성편을 갖고 있어도 된다.In addition, the elastic part 11 is not limited to the case where it has the two strip | belt-shaped elastic pieces 21 and 22 arrange | positioned with the clearance gap 23 mutually. The elastic part 11 may have four strip | belt-shaped elastic pieces 21, 22, 24, and 25 arrange | positioned at mutually space | interval, for example as shown in FIG. You may have a shape elastic piece.

각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 폭(W1, W2)은, 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작은 경우로 한정되지 않으며, 커도 된다.Width W1 and W2 of each strip | belt-shaped elastic piece 21 and 22 are not limited to the case where it is smaller than the shortest distance W3 between adjacent strip | belt-shaped elastic pieces 21 and 22, and may be large.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제2 접촉부(13)는 도 9에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 다리부(133, 134)의 선단부 각각에 마련해도 된다. 즉, 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.The shape of the 1st contact part 12 and the 2nd contact part 13 can change suitably according to the design of the probe pin 10, etc. For example, the second contact portion 13 may be provided at each of the tip portions of the pair of legs 133 and 134 extending along the longitudinal direction of the probe pin 10 as shown in FIG. 9. That is, each of the 1st contact part 121 and the 2nd contact part 131 can change shape, a position, etc. suitably according to the inspection apparatus or the various forms of an inspection object.

검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.The inspection jig 2 and the base housing 4 can change the structure suitably according to the various forms of a test | inspection apparatus or a test object. That is, the inspection jig 2 and the base housing 4 can be generalized, and the productivity of the inspection unit 1 (the inspection apparatus which goes forward) can be improved.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.As mentioned above, although various embodiment in this invention was described in detail with reference to drawings, various form of this invention is demonstrated at last. In the following description, reference numerals are also added as an example.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the first aspect of the present invention,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부(11)와,An elastic portion 11 that stretches along the longitudinal direction,

상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판형 제1 접촉부(12)와,A plate-shaped first contact portion 12 connected to the first end portion 111 in the longitudinal direction of the elastic portion 11,

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판형 제2 접촉부(13)A plate-shaped second contact portion 13 disposed in series with the first contact portion 12 and connected to the second end portion 112 in the longitudinal direction of the elastic portion 11.

를 구비하고,And

상기 탄성부(11)가,The elastic portion 11,

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부(31)와,A first straight portion 31 extending in a direction crossing the longitudinal direction and having one end in the extending direction connected to the first contact portion;

상기 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 상기 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 직선부(31)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부(41)와,While extending in an arc shape protruding in the direction crossing the longitudinal direction and spaced apart from the first contact portion 12, one end in the extending direction thereof extends in the first straight portion 31. A curved portion 41 connected to the other end of the

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 만곡부(41)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부(51)The second straight portion 51 which extends in the direction crossing the longitudinal direction and whose one end in the extending direction is connected to the other end in the extending direction of the curved portion 41.

를 갖고,With

상기 만곡부(41)의 중심각 θ1이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.The center angle θ1 of the curved portion 41 is configured to be larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees.

제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 직선부(31)와 제2 직선부(51)의 사이에 거리를 마련할 수 있으므로, 예를 들어 제1 직선부(31)를 흐르는 고주파 영역의 신호의 제2 직선부(51)를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대한 간섭을 저감할 수 있다. 그 결과, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the first aspect, a distance can be provided between the first straight portion 31 and the second straight portion 51 in the longitudinal direction of the probe pin 10. For example, interference with a signal in the high frequency region flowing through the second straight portion 51 of the signal in the high frequency region flowing through the first linear portion 31 can be reduced. As a result, the probe pin 10 which can reduce the loss of the signal of a high frequency range can be realized, ensuring the contact reliability with respect to a test subject and a test apparatus.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the 2nd aspect of this invention,

상기 탄성부(11)가 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22)으로 구성되고,The elastic portion 11 is composed of a plurality of strip-shaped elastic pieces (21, 22) arranged with a gap 23,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22)의 각각의 폭(W1, W2)이 인접하는 상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작아지도록 구성되어 있다.The widths W1 and W2 of the plurality of band-shaped elastic pieces 21 and 22 are configured to be smaller than the shortest distance W3 between the plurality of band-shaped elastic pieces 21 and 22 adjacent to each other.

제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the second aspect, for example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is brought into contact with the inspection object and the inspection apparatus so that each of the strip-shaped elastic pieces 21, Even when 22) is compressed in the longitudinal direction of the probe pin 10, the contact between the strip-shaped elastic pieces 21 and 22 can be prevented, and the probe pin 10 which can ensure high contact reliability can be realized. have.

본 발명의 제3 형태의 검사 지그(2)는,Inspection jig 2 of the third aspect of the present invention,

상기 프로브 핀(10)과,The probe pin 10,

상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(7)를 갖는 소켓(3)Socket (3) having a receiving portion (7) for receiving the probe pin (10)

을 구비하고,And

상기 프로브 핀(10)이, 상기 만곡부(41)의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 상기 수용부(7)에 수용되어 있다.The probe pin 10 is accommodated in the housing portion 7 so that the center angle of the curved portion 41 is larger than 90 degrees and smaller than 180 degrees.

제3 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the test jig 2 of the 3rd aspect, the probe pin 10 has high contact reliability with respect to a test object and a test | inspection apparatus, and test | inspection with little loss of the signal of the high frequency area at the time of connecting to a test object and a test apparatus. The jig 2 can be realized.

본 발명의 제4 형태의 검사 유닛(1)은,The inspection unit 1 of the 4th form of this invention,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection jig was provided.

제4 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 유닛(2)을 실현할 수 있다.According to the inspection unit 1 of the 4th aspect, the inspection jig 2 has high contact reliability with respect to a test | inspection object and a test | inspection apparatus, and test | inspection with little loss of the signal of the high frequency area at the time of connecting to a test target and a test apparatus. The unit 2 can be realized.

본 발명의 제5 형태의 검사 장치는,The inspection apparatus of the 5th form of this invention,

상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection unit 1 was provided.

제4 형태의 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection apparatus of the fourth aspect, the inspection unit 1 can realize an inspection apparatus having high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection device and low loss of signals in the high frequency region when connected to the inspection object and the inspection device. Can be.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.Moreover, by combining suitably any embodiment or modification of the said various embodiment or modification, it can be made to exhibit the effect which each has. In addition, combinations of embodiments or combinations of examples or combinations of embodiments and examples are possible, and combinations of features in different embodiments or examples are also possible.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The probe pin of this invention can be applied to the test jig used for the test of a liquid crystal panel, for example.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection jig of this invention can be applied to the inspection unit used for the inspection of a liquid crystal panel, for example.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.The test unit of the present invention can be applied to, for example, a test device for a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다.The inspection apparatus of the present invention can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 탄성부
111 : 제1 단부
112 : 제2 단부
12 : 제1 접촉부
121 : 제1 접점부
13 : 제2 접촉부
131 : 제2 접점부
132 : 관통 구멍부
133, 134 : 다리부
21, 22, 24, 25 : 띠 형상 탄성편
211, 221 : 제1 단부
212, 222 : 제2 단부
23 : 간극
31, 32 : 제1 직선부
41, 42 : 제1 만곡부
51, 52 : 제2 직선부
61, 62 : 제2 만곡부
71, 72 : 제3 직선부
81, 82 : 제3 만곡부
91, 92 : 제4 직선부
100 : 기판
110 : 검사 대상물
120 : 단자
θ1, θ2, θ3 : 중심각
L1, L2 : 직선
Wl, W2 : 폭
W3 : 최단 거리 1: inspection unit
2: inspection jig
3: socket
4 base housing
5: first housing
6: second housing
7: receiving part
10: probe pin
11: elastic portion
111: first end
112: second end
12: first contact portion
121: first contact portion
13: second contact portion
131: second contact portion
132: through hole
133, 134: leg portion
21, 22, 24, 25: strip-shaped elastic piece
211, 221: first end
212, 222: second end
23: gap
31, 32: 1st linear part
41, 42: first curved portion
51, 52: second straight portion
61, 62: second curved portion
71, 72: third straight part
81, 82: 3rd curved part
91, 92: fourth straight portion
100: substrate
110: inspection object
120: terminal
θ1, θ2, θ3: Center Angle
L1, L2: straight line
Wl, W2: Width
W3: shortest distance

Claims (7)

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 일단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되어 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 타단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 길이 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
상기 탄성부는,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 포함하고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각이,
상기 제2 접촉부에 대하여 상기 제2 접촉부의 폭 방향의 일방 단보다 타방 단 측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 상기 제2 접촉부 측의 단부가 상기 탄성부의 상기 타단부를 구성하는 직선부를 포함하고,
상기 직선부가 상기 소켓에 수용될 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,
A plate-shaped first contact portion connected to one end portion in the longitudinal direction of the elastic portion,
A plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the other end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.
Including,
The elastic portion is a probe pin that can be accommodated in the socket in a state that can be stretched in the longitudinal direction,
The elastic portion,
It includes a plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap between each other,
Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,
The second contact portion is disposed on the other end side than the one end in the width direction of the second contact portion, extends in a direction crossing the longitudinal direction, and an end portion of the second contact portion side in the extending direction is elastic. A straight portion constituting the other end of the portion,
A probe pin configured to be able to contact the inside of the socket in the longitudinal direction when the straight portion is received in the socket. 길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 길이 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
상기 탄성부는,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 포함하고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각이,
상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제2 접촉부의 폭 방향의 일방 단보다 타방 단 측에 배치되어 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부를 구성하는 제1 직선부와,
상기 제2 접촉부에 대하여 상기 폭 방향의 상기 타방 단 측에 배치되어 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부를 구성하는 제2 직선부
를 포함하고,
상기 제2 직선부가 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,
A plate-shaped first contact portion connected to the first end portion in the longitudinal direction of the elastic portion,
A plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the second end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.
Including,
The elastic portion is a probe pin that can be accommodated in the socket in a state that can be stretched in the longitudinal direction,
The elastic portion,
It includes a plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap between each other,
Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,
A first end disposed in the other end side in the widthwise direction of the second contact portion relative to the first contact portion, extending in a direction crossing the longitudinal direction, and having one end in the extending direction forming the first end; With a straight part,
A second straight portion that is disposed on the other end side in the width direction with respect to the second contact portion and extends in a direction crossing the longitudinal direction, and one end in the extension direction constitutes the second end portion.
Including,
And the second straight portion is configured to be in contact with the inside of the socket in the longitudinal direction when received by the socket. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 접촉부가, 상기 일방 단보다 상기 타방 단 측에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 지지부를 더 포함하는, 프로브 핀.The probe pin according to claim 1 or 2, wherein the first contact portion further includes a support portion disposed on the other end side than the one end and protruding in a direction crossing the longitudinal direction. 제1항의 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 수용 가능한 상기 소켓
을 포함하고,
상기 소켓에 상기 프로브 핀이 수용되었을 때, 상기 직선부가, 상기 길이 방향에 있어서 상기 소켓의 내면에 접촉하도록 구성된, 검사 지그.The probe pin of claim 1,
The socket to accept the probe pin
Including,
And the straight line is configured to contact the inner surface of the socket in the longitudinal direction when the probe pin is received in the socket. 제2항의 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 수용 가능한 상기 소켓
을 포함하고,
상기 소켓에 상기 프로브 핀이 수용되었을 때, 상기 제1 직선부 및 상기 제2 직선부 중 어느 하나가, 상기 길이 방향에 있어서 상기 소켓의 내면에 접촉하도록 구성된, 검사 지그.The probe pin of claim 2,
The socket to accept the probe pin
Including,
When the probe pin is received in the socket, one of the first straight portion and the second straight portion is configured to contact the inner surface of the socket in the longitudinal direction. 제4항 또는 제5항의 검사 지그를 적어도 1개 구비하는, 검사 유닛.An inspection unit, comprising at least one inspection jig according to claim 4. 제6항의 검사 유닛을 적어도 1개 구비하는, 검사 장치.An inspection apparatus comprising at least one inspection unit of claim 6.
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