KR20180131312A - Vertical probe pin and probe pin assembly with the same - Google Patents

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KR20180131312A
KR20180131312A KR1020170098816A KR20170098816A KR20180131312A KR 20180131312 A KR20180131312 A KR 20180131312A KR 1020170098816 A KR1020170098816 A KR 1020170098816A KR 20170098816 A KR20170098816 A KR 20170098816A KR 20180131312 A KR20180131312 A KR 20180131312A
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tip
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KR1020170098816A
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김경남
백병선
김학준
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주식회사 새한마이크로텍
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Abstract

The present invention relates to a vertical probe pin and a probe pin assembly including the same. According to the present invention, the probe pin is used in the probe pin assembly including a first support body having first through-holes formed thereon, a second support body having second through-holes formed thereon, and multiple probe pins. The probe pin includes a head unit, a tip unit coming in contact with a subject, and a body which is arranged between the head unit and the tip unit while being elastically deformed when pressure is applied to the tip unit. The tip unit includes a first side surface and a second side surface facing the first side surface. On the first side surface of the tip unit, a protruding tip unit alignment bump is formed to be arranged in the direction toward the inner surface of the second through-holes from the first side surface to align a part of the tip unit while the second side surface is closer to the inner surface of the second through-holes than the first side surface. The body is thinner than the head unit and the tip unit, is wider, and has the center line in the widthwise direction tilted in a direction toward the second side surface from the center line of the tip unit in the widthwise direction.

Description

수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체{Vertical probe pin and probe pin assembly with the same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a vertical probe pin and a probe pin assembly having the same,

본 발명은 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a probe pin and a probe pin assembly having the probe pin, and more particularly, to a vertical probe pin and a probe pin assembly having the same.

액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 발광다이오드(Organic Light Emitting Diode)을 포함한 평판표시장치와 웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자의 성능 검사에는 복수의 프로브핀을 구비한 프로브핀 조립체가 널리 사용되고 있다. 2. Description of the Related Art A probe pin assembly having a plurality of probe pins is widely used for performance testing of a flat panel display device including a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode, and semiconductor devices formed on a wafer .

프로브핀 조립체는 구조에 따라 크게 캔틸레버형과 수직형으로 분류되며 이중 수직형 프로브핀 조립체는 수직형 프로브핀의 양단부를 지지하는 플레이트 형태의 제1 지지체와 제2 지지체를 포함한다. 수직형 프로브핀의 양단부는 제1 지지체와 제2 지지체에 형성된 관통구멍에 삽입된다. 피검사체의 단자를 수직형 프로브핀의 팁부에 대하여 누르면, 수직형 프로브핀은 관통구멍 내에서 미끄러지고, 수직형 프로브핀의 탄성변형부가 구부려진다.The probe pin assembly is categorized largely into a cantilever type and a vertical type according to the structure, and the vertical probe pin assembly includes a first support body and a second support body in the form of plates for supporting both ends of the vertical probe pin. Both ends of the vertical probe pin are inserted into the through holes formed in the first and second supports. When the terminal of the object to be inspected is pressed against the tip portion of the vertical probe pin, the vertical probe pin slides in the through hole, and the elastically deformed portion of the vertical probe pin is bent.

종래의 수직형 프로브핀 조립체에는 금속 와이어의 중심부를 압착하여, 스프링부를 형성한 코브라 핀이 주로 사용되었다. 코브라 핀은 제1 지지체 및 제2 지지체에 각각 끼워진 헤드부와 팁부가 원형 단면을 가지므로, 회전을 방지하기 위해서, 헤드부와 팁부가 오프셋되도록 제1 지지체 및 제2 지지체에 끼워진다.Conventionally, a cobra pin having a spring portion formed by pressing a center portion of a metal wire is mainly used for a vertical probe pin assembly. Since the head portion and the tip portion of the cobra fin sandwiched between the first and second supports respectively have a circular cross-section, the head portion and the tip portion are fitted to the first and second supports so as to be offset from each other.

이러한 구조로 인해서 코브라 핀은 제2 지지체에 팁부를 끼운 후 안내구멍이 형성된 정렬 필름에 헤브부를 끼우고, 다시 헤드부를 제1 지지체에 끼우는 방식으로 지지체에 고정하여야 하므로, 제작이 매우 어렵다는 문제가 있었다.Due to such a structure, there is a problem that it is very difficult to manufacture the cobra fin because the cobra fin must be fixed to the support body by inserting the head portion into the alignment film having the guide hole after inserting the tip portion into the second support body and then sandwiching the head portion with the first support body .

또한, 피검사체 패드의 손상을 방지하기 위해서, 접촉 압력을 감소시키려고 스프링부의 두께를 얇게 하면, 스프링부의 폭이 증가해서, 인접하는 코브라 핀과의 간섭이 생겨서 협 피치에 대응하기 어렵다는 문제가 있었다.Further, if the thickness of the spring portion is reduced to reduce the contact pressure in order to prevent damage to the object pad, there is a problem that the width of the spring portion increases and interference with the adjacent cobra pin occurs.

또한, 헤드부와 팁부의 오프셋에 의해서, 스프링부의 압축시에 팁부가 피검사체의 단자 위에서 슬라이딩하도록 하는 횡 방향 힘이 발생하여, 피검사체의 단자를 손상할 수 있다는 문제도 있었다. 이러한 문제는 반도체 소자의 미세화가 진행됨에 따라서 피검사체의 단자가 볼 범프(Ball Bump)에서 구리 기둥(Cu Pillar)으로 변경되면서, 더욱 부각된다.Further, due to the offset between the head portion and the tip portion, there is a problem that a lateral force is generated which causes the tip portion to slide on the terminal of the test subject during compression of the spring portion, thereby damaging the terminal of the test subject. This problem is further exacerbated as the terminal of the test object is changed from a ball bump to a copper pillar (Cu pillar) as a semiconductor device is miniaturized.

이러한 문제를 개선하기 위해서, 사각형 단면을 가지는 직선형 프로브핀이 사용되고 있다. 이러한 프로브핀은 헤드부와 팁부의 축선이 일치하기 때문에, 제1 지지체와 제2 지지체를 조립한 후 제1 지지체의 관통구멍을 통해서, 프로브핀을 삽입하는 방식으로 간단하게 조립이 가능하다는 장점이 있다. In order to solve this problem, a straight probe pin having a rectangular cross section is used. This probe pin has an advantage in that it can be easily assembled by inserting the probe pin through the through hole of the first support body after assembling the first and second support bodies because the axes of the head portion and the tip portion coincide with each other have.

예를 들어, 일본공개특허 제2014-21064호에는 헤드부, 팁부, 헤드부와 팁부 사이에 활 모양의 탄성변형부를 구비하며, 헤드부와 팁부의 축선이 일치하며, 탄성변형부는 팁부가 피검사체에 눌린 상태에서 팁부의 축선 방향으로 가해지는 압축력을 받아서 변형되는 접촉 검사 장치가 개시되어 있다.For example, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2014-21064 discloses a head including a head portion, a tip portion, and an arc-shaped elastic deformation portion between the head portion and the tip portion. The axis of the head portion and the tip portion coincide with each other, And is deformed by receiving a compressive force applied in the axial direction of the tip portion.

일본공개특허 제2014-21064호Japanese Laid-Open Patent Application No. 2014-21064 한국공개특허 제10-2015-0088262호Korean Patent Publication No. 10-2015-0088262

본 발명은 피검사체 패드의 손상을 최소화할 수 있으며, 피검사체 패드의 협 피치화도 대응할 수 있는 새로운 구조의 수직형 프로브핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a vertical probe pin of a new structure capable of minimizing damage of a subject pad and capable of coping with a narrow pitch of the subject pad.

또한, 이러한 수직형 프로브핀들을 구비한 프로브 구조체를 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a probe structure having such vertical probe pins.

상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체 및 복수의 프로브핀을 포함하는 프로브핀 조립체에 사용되는 프로브핀으로서, 헤드부, 피검사체에 접촉하는 팁부 및 헤드부와 팁부 사이에 위치하며, 상기 팁부에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 몸체부를 포함하는 프로브핀을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a probe pin for use in a probe pin assembly including a first support having a first through hole, a second support having a second through hole formed therein, and a plurality of probe pins, And a body portion that is positioned between the head portion and the tip portion and that is elastically deformed when pressure is applied to the tip portion.

상기 팁부는 제1 측면 및 상기 제1 측면에 대향하는 제2 측면을 구비하며, 상기 팁부의 제1 측면에는, 상기 제2 측면이 상기 제1 측면에 비해서 상기 제2 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 팁부의 일부가 상기 제2 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제1 측면에서 제2 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 팁부 정렬 범프가 형성된다.Wherein the tip portion has a first side and a second side opposite the first side, wherein the first side of the tip portion is closer to the inner surface of the second through hole than the first side, A tip aligning bump protruding toward the inner surface of the second through hole at the first side is formed so that a part of the tip portion is aligned inside the second through hole.

그리고 상기 몸체부는 상기 헤드부 및 팁부에 비해서 두께가 얇고, 폭이 넓으며, 상기 몸체부의 폭 방향 중심선은 상기 팁부의 폭 방향 중심선으로부터 제2 측면 방향으로 치우친다.The body portion is thinner and wider than the head portion and the tip portion, and the widthwise center line of the body portion is biased from the widthwise center line of the tip portion toward the second lateral direction.

또한, 상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.A vertical probe pin is provided at an end of the head portion so that the stopper protrudes to one side of the head portion so as to be caught by the first through hole.

또한, 상기 헤드부는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 대향하는 제4 측면을 구비하며, 상기 헤드부의 제3 측면에는, 상기 제4 측면이 상기 제3 측면에 비해서 상기 제1 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 헤드부의 일부가 상기 제1 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제3 측면에서 제1 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 헤드부 정렬 범프가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.The head portion has a third side surface and a fourth side surface opposite to the third side surface, and the fourth side surface is formed on the inner surface of the first through hole as compared to the third side surface, And a head portion alignment bump protruded toward the inner surface of the first through hole at the third side is formed so that a part of the head portion is aligned in the first through hole with a closer state. do.

또한, 상기 제3 측면과 상기 제1 측면은 같은 쪽 측면인 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.The vertical probe pin is characterized in that the third side and the first side are the same side.

또한, 상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성되며, 상기 스토퍼와 상기 헤드부 정렬 범프는 서로 반대 방향으로 돌출된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.In addition, a stopper protruding to one side of the head portion is formed at an end of the head portion so as to be caught by the first through hole, and the stopper and the head portion alignment bump protrude in opposite directions to each other. / RTI >

또한, 상기 헤드부와 상기 팁부의 축선은 일치하며, 상기 몸체부는 상기 축선과 교차하는 방향으로 돌출되도록 굽은 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.Also, the axis of the head part and the tip part coincide with each other, and the body part is curved so as to protrude in a direction intersecting the axis line.

또한, 본 발명에 따르면, 복수의 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와, 상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체와, 상기 제1 관통구멍 및 제2 관통구멍에 삽입되는 복수의 프로브핀을 포함하는 프로브핀 조립체가 제공된다. 여기서 프로브핀은 상술한 프로브핀일 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising: a first support having a plurality of first through holes formed therein; a second support arranged parallel to the first support and spaced apart from each other by a predetermined distance, There is provided a probe pin assembly including a plurality of probe pins inserted into a hole and a second through hole. Here, the probe pin may be the probe pin described above.

본 발명에 따른 프로브핀은 팁부 정렬 범프에 의해서 팁부가 제2 관통구멍 내부에서 한쪽으로 정렬되기 때문에 협 피치에 대응하기 용이하다는 장점이 있다.The probe pin according to the present invention is advantageous in that the tip portion is aligned to one side within the second through hole by the tip portion alignment bump, so that it is easy to cope with the narrow pitch.

또한, 팁부와 인접하는 몸체부도 한쪽으로 정렬되므로, 팁부의 폭 방향 중심선과 오프셋(offset) 된 폭 방향 중심선을 가지도록 한쪽으로 치우친 몸체부가 스토퍼로서의 역할을 더욱 확실하게 수행할 수 있다.Further, since the body portion adjacent to the tip portion is also aligned to one side, it is possible to more reliably perform the role of the body portion biased to one side so as to have a widthwise centerline offset from the widthwise centerline of the tip portion.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 조립체의 일실시예의 측단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 프로브핀을 나타낸 도면이다.
도 3은 팁부 정렬 범프의 다른 예들을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1의 도시된 프로브핀의 다른 실시예의 일부를 나타낸 도면이다.
도 5는 스토퍼의 다른 예들을 나타낸 도면이다.1 is a side cross-sectional view of an embodiment of a probe assembly according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing a probe pin shown in FIG. 1. FIG.
3 is a view showing another example of the tip portion alignment bump.
4 is a view showing a part of another embodiment of the probe pin shown in Fig.
5 is a view showing other examples of the stopper.

이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, etc. of components may be exaggerated for convenience. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 조립체의 일실시예의 측단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 조립체의 일실시예는 제1 지지체(10), 제2 지지체(20) 및 복수의 프로브핀(100)을 구비한다. 제1 지지체(10)와 제2 지지체(20)는 실질적으로 평행하며, 서로 일정한 간격으로 떨어져 있다. 제1 지지체(10)에는 복수의 제1 관통구멍(11)이 형성되며, 제2 지지체(20)에는 복수의 제2 관통구멍(21)이 형성된다. 프로브 조립체에서, 제1 관통구멍(11) 및 이에 대응하는 제2 관통구멍(21)은 서로 일직선으로 정렬되어 있다. 제1 지지체(10)는 프로브 카드의 회로기판(미도시) 쪽에 배치되며, 제2 지지체(20)는 반도체 디바이스와 같은 피검사체(30) 쪽으로 배치된다. 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)은 각각의 지지체의 면에 대체로 수직으로 형성된다. 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)은 레이저가공에 의해서 형성할 수 있다.1 is a side cross-sectional view of an embodiment of a probe assembly according to the present invention. As shown in FIG. 1, an embodiment of the probe assembly according to the present invention includes a first support 10, a second support 20, and a plurality of probe pins 100. The first support 10 and the second support 20 are substantially parallel and spaced apart from one another. A plurality of first through holes 11 are formed in the first support body 10 and a plurality of second through holes 21 are formed in the second support body 20. In the probe assembly, the first through hole (11) and the corresponding second through hole (21) are aligned with each other. The first support body 10 is disposed on the circuit board (not shown) of the probe card and the second support body 20 is disposed toward the subject body 30 such as a semiconductor device. The first through hole (11) and the second through hole (21) are formed substantially perpendicular to the surface of each support. The first through hole (11) and the second through hole (21) can be formed by laser machining.

도 2는 도 1에 도시된 프로브핀을 나타낸 도면이다. 도 2의 (a)는 프로브핀의 정면도이며, (b)는 측면도이며, (c)는 위치별 단면의 형상을 나타내는 도면이다. 도 2의 (a)와 (b)에 도시된 바와 같이, 프로브핀(100)은 프로브 카드의 회로기판에 접하는 헤드부(110), 피검사체에 접촉하는 팁부(130) 및 헤드부(110)와 팁부(130) 사이에 위치하며, 팁부(130)에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 몸체부(120)를 포함한다. 팁부(130)는 제2 관통구멍(21)에 끼워지며, 헤드부(110)는 제1 관통구멍(11)에 끼워진다.FIG. 2 is a view showing a probe pin shown in FIG. 1. FIG. Fig. 2 (a) is a front view of the probe pin, Fig. 2 (b) is a side view, and Fig. 2A and 2B, the probe pin 100 includes a head portion 110 which is in contact with a circuit board of a probe card, a tip portion 130 which contacts the subject and a head portion 110, And a body portion 120 which is positioned between the tip portion 130 and elastically deformed when pressure is applied to the tip portion 130. The tip portion 130 is fitted in the second through hole 21 and the head portion 110 is fitted in the first through hole 11. [

도 1과 2를 참고하면, 헤드부(110), 몸체부(120) 및 팁부(130)는 Z 방향으로 연장되어 있으며, 몸체부(120)는 Y 방향으로 살짝 굽어 있다. 본 발명에서 Z 방향이란 Z축과 나란한 방향을 의미하며, Y 방향이란 Y축과 나란한 방향을 의미한다.1 and 2, the head portion 110, the body portion 120, and the tip portion 130 extend in the Z direction, and the body portion 120 is slightly bent in the Y direction. In the present invention, the Z direction means a direction parallel to the Z axis, and the Y direction means a direction parallel to the Y axis.

팁부(130)의 폭과 두께는 제2 관통구멍(21)의 폭과 두께에 비해서 작아서, 팁부(130)는 제2 관통구멍(21) 내에서 Z 방향으로 이동할 수 있다. 팁부(130)의 끝단(135)이 제2 지지체(20)의 외부로 노출되어야 하므로, 팁부(130)의 길이는 제2 관통구멍(21)의 길이에 비해서 길다. 또한, 헤드부(110)의 폭과 두께는 제1 관통구멍(11)의 폭과 두께에 비해서 작아서, 헤드부(110)는 제1 관통구멍(11) 내에서 Z 방향으로 이동할 수 있다. 헤드부(110)의 끝단(115)이 제1 지지체(10)의 외부로 노출되어야 하므로, 헤브부(110)의 길이는 제1 관통구멍(11)의 길이에 비해서 길다.The width and thickness of the tip portion 130 are smaller than the width and thickness of the second through hole 21 so that the tip portion 130 can move in the Z direction within the second through hole 21. [ The length of the tip portion 130 is longer than the length of the second through hole 21 because the tip 135 of the tip portion 130 should be exposed to the outside of the second support body 20. The width and thickness of the head portion 110 are smaller than the width and thickness of the first through hole 11 so that the head portion 110 can move in the Z direction within the first through hole 11. [ The length of the heave portion 110 is longer than the length of the first through hole 11 since the end portion 115 of the head portion 110 is exposed to the outside of the first support body 10.

도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 헤드부(110)와 팁부(130)는 사각형 단면을 가지며, 몸체부(120)는 헤드부(110)와 팁부(130)에 비해서 납작한 사각형 단면을 가진다. 헤드부(110)와 몸체부(120)는 단면의 형상이 연속적으로 변화하는 제1 전이부(125)에 의해서 연결된다. 몸체부(120)와 팁부(130)도 단면의 형상이 연속적으로 변화하는 제2 전이부(126)에 의해서 연결된다. The head portion 110 and the tip portion 130 have a rectangular cross section and the body portion 120 has a flat rectangular cross-section as compared with the head portion 110 and the tip portion 130, as shown in FIG. 2 (c) I have. The head part 110 and the body part 120 are connected by the first transition part 125 whose cross-sectional shape changes continuously. The body portion 120 and the tip portion 130 are also connected by the second transition portion 126 whose shape changes continuously.

프로브핀(100)은 철, 구리, 니켈, 니켈 코발트, 니켈 구리, 베릴륨 구리, 베릴륨 니켈 등의 전도성 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 서로 다른 전도성 물질로 이루어 복수의 층을 포함하는 다층 구조일 수 있다.The probe pin 100 may be made of a conductive material such as iron, copper, nickel, cobalt, nickel copper, beryllium copper, and beryllium nickel. Further, it may be a multi-layer structure including a plurality of layers made of different conductive materials.

팁부(130)는 제1 측면(131) 및 제1 측면(131)에 대향하는 제2 측면(132)을 구비한다. 제1 측면(131)과 제2 측면(132)은 X 방향과 직교하는 측면들이다. 제1 측면(131)에는 바깥쪽으로 돌출된 팁부 정렬 범프(133)가 형성된다. The tip portion 130 has a first side face 131 and a second side face 132 opposite the first side face 131. [ The first side surface 131 and the second side surface 132 are side surfaces orthogonal to the X direction. The first side surface 131 is formed with a tip alignment bump 133 protruding outward.

팁부 정렬 범프(133)는 제2 측면(132)이 제1 측면(131)에 비해서 제2 관통구멍(21)의 내면에 더 가까운 상태로 팁부(130)의 상당부가 제2 관통구멍(21) 내부에서 정렬되도록 하는 역할을 한다. 모든 프로브핀(100)의 팁부(130)의 제2 측면(132)이 제2 관통구멍(21)의 내면에 가깝게 정렬됨으로써, 협 피치에서도 프로브핀(100) 간의 간섭이 최소화된다는 장점이 있다. 만약, 인접하는 프로브핀의 서로 다른 측면이 제2 관통구멍(21)의 내면에 가까워지도록 정렬된다면, 일부 프로브핀의 팁부 사이의 간격이 너무 좁아져서, 간섭이 생길 수 있다.The tip alignment bump 133 is formed so that a substantial part of the tip portion 130 is in contact with the second through hole 21 with the second side face 132 closer to the inner face of the second through hole 21 as compared to the first side face 131. [ So that they are aligned inside. The second side surface 132 of the tip portion 130 of all the probe pins 100 is arranged close to the inner surface of the second through hole 21 so that the interference between the probe pins 100 is minimized even at the narrow pitch. If the different side surfaces of the adjacent probe pins are aligned so as to be closer to the inner surface of the second through hole 21, the interval between the tip portions of some probe pins becomes too narrow and interference may occur.

도 2의 (c)에 가장 잘 도시된 바와 같이, 몸체부(120)는 헤드부(110) 및 팁부(130)에 비해서 두께가 얇고, 폭이 넓다. 두께는 Y 방향의 길이를 나타내며, 폭은 X 방향의 길이를 나타낸다. 몸체부(120)의 폭 방향 중심선(129)은 팁부(130)의 폭 방향 중심선(139)으로부터 제2 측면(132) 방향(Y 방향)으로 치우친다.As best shown in FIG. 2 (c), the body portion 120 is thinner and wider than the head portion 110 and the tip portion 130. The thickness indicates the length in the Y direction, and the width indicates the length in the X direction. The widthwise center line 129 of the body portion 120 is offset from the widthwise center line 139 of the tip portion 130 in the direction of the second side face 132 (Y direction).

몸체부(120)의 폭이 팁부(130)에 비해서 넓으므로, 몸체부(120)가 팁부(130)에 비해서 제2 측면(132) 쪽으로 더 돌출된다. 그리고 팁부(130)의 제1 측면(131)과 몸체부(120)의 같은 쪽 측면(121)은 대체로 일직선을 이룬다. 이와 같이, 몸체부(120)가 팁부(130)에 비해서 폭이 넓으므로, 제2 관통구멍(21)의 폭이 팁부(130)의 폭에 비해서 크고, 몸체부(120)의 폭에 비해서 작다면, 몸체부(120)와 팁부(130)를 연결한 제2 전이부(126)가 프로브핀(100)이 제2 관통구멍(21)을 통과하지 못하도록 하는 스토퍼 역할을 한다.The width of the body portion 120 is wider than that of the tip portion 130 so that the body portion 120 protrudes further toward the second side surface 132 than the tip portion 130. The first side 131 of the tip 130 and the same side 121 of the body 120 are generally straight. The width of the second through hole 21 is larger than the width of the tip portion 130 and smaller than the width of the body portion 120 because the body portion 120 is wider than the tip portion 130. [ The second transition portion 126 connecting the body portion 120 and the tip portion 130 serves as a stopper for preventing the probe pin 100 from passing through the second through hole 21. [

상술한 바와 같이, 팁부 정렬 범프(133)에 의해서 프로브핀(100)의 팁부(130)의 제2 측면(132)이 제2 관통구멍(21)의 내면에 가깝게 정렬되어 있으며, 몸체부(120)가 제2 측면(132) 쪽으로 돌출되므로, 몸체부(120)와 팁부(130)를 연결하는 제2 전이부(126)가 스토퍼 역할을 충실하게 수행할 수 있다.The second side surface 132 of the tip portion 130 of the probe pin 100 is closely aligned to the inner surface of the second through hole 21 by the tip portion alignment bump 133 and the body portion 120 The second transition portion 126 connecting the body portion 120 and the tip portion 130 can faithfully perform a stopper function.

몸체부(120)는 Y 방향으로 살짝 굽어 있다. 따라서 팁부(130)가 피검사체(30)의 패드(31)에 눌리면서 추가 변형이 일어날 때, 몸체부(120)는 Y 방향으로 더 굽는다. 따라서 동일한 방향으로 프로브핀(100)을 실장한 경우에는 모든 프로브핀(100)이 동일한 방향으로 굽어서, 프로브핀(100) 끼리 접촉되는 것을 방지할 수 있다.The body portion 120 is slightly bent in the Y direction. Therefore, when the tip portion 130 is pushed by the pad 31 of the test object 30 and further deformation occurs, the body portion 120 further bends in the Y direction. Therefore, when the probe pins 100 are mounted in the same direction, all the probe pins 100 are bent in the same direction, thereby preventing the probe pins 100 from contacting each other.

몸체부(120)는 탄성 변형이 가능하도록, 헤드부(110) 및 팁부(130)에 비해서 두께가 얇게 가공되어 있다. 따라서 몸체부(120)의 전기저항을 떨어뜨리기 위해서는 몸체부(120)의 폭을 가능하면 크게 형성하는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 팁부 정렬 범프(133)를 이용하여 프로브핀(100)을 한쪽으로 정렬하므로, 프로브핀(100)이 제2 관통구멍(21)의 내부에서 폭 방향(Y 방향)으로 자유롭게 이동하는 경우에 비해서 몸체부(120)의 폭을 크게 할 수 있다는 장점이 있다.The body portion 120 is thinner than the head portion 110 and the tip portion 130 so as to be elastically deformable. Therefore, in order to lower the electrical resistance of the body part 120, it is preferable to make the width of the body part 120 as large as possible. In the present invention, since the probe pin 100 is aligned on one side by using the tip portion alignment bump 133, when the probe pin 100 moves freely in the width direction (Y direction) inside the second through hole 21 The width of the body 120 can be increased.

이어서, 상술한 프로브핀(100)의 팁부(130)가 피검사체(30)의 패드(31)에 대해서 눌렸을 때, 프로브핀(100)의 동작에 대해서 간단히 설명한다. 프로브핀(100)의 팁부(130)가 피검사체(30)의 패드(31)에 대해서 눌리면, Z 방향의 압축력이 프로브핀(100)에 작용한다. 프로브핀(100)의 팁부(130)가 제2 관통구멍(21)의 내면을 따라서 슬라이딩하면서, 몸체부(120)가 Y 방향으로 변형된다. 이때, 팁부(130)는 제2 측면(132)이 제1 측면(131)에 비해서 제2 관통구멍(21)의 내면에 더 가까운 상태로 정렬된 상태로 움직인다.The operation of the probe pin 100 when the tip portion 130 of the probe pin 100 described above is pressed against the pad 31 of the test object 30 will now be briefly described. When the tip portion 130 of the probe pin 100 is pressed against the pad 31 of the test object 30, a compressive force in the Z direction acts on the probe pin 100. The body portion 120 is deformed in the Y direction while the tip portion 130 of the probe pin 100 slides along the inner surface of the second through hole 21. [ At this time, the tip portion 130 moves in a state in which the second side surface 132 is closer to the inner surface of the second through hole 21 than the first side surface 131.

도 3은 팁부 정렬 범프의 다른 예들을 나타낸 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브핀의 팁부는 다양한 형태의 팁부 정렬 범프를 구비할 수 있으며, 복수 개의 팁부 정렬 범프를 구비할 수도 있다.3 is a view showing another example of the tip portion alignment bump. As shown in FIG. 3, the tip portion of the probe pin may have various types of tip portion alignment bumps, and may have a plurality of tip portion alignment bumps.

도 4는 도 1의 도시된 프로브핀의 다른 실시예의 일부를 나타낸 도면이다.4 is a view showing a part of another embodiment of the probe pin shown in Fig.

도 4에 도시된 바와 같이 본 실시예에서 헤드부(210)의 끝단(215)에는 제1 관통구멍(11)에 걸리도록 일 측으로 돌출된 스토퍼(216)가 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이, 도 2의 몸체부(120)와 팁부(110)를 연결한 제2 전이부(125) 또는 몸체부(120)가 프로브핀(100)이 아래 방향(-Z 방향)으로 빠지는 것을 방지하는 스토퍼 역할을 하지만, 헤드부(210)의 끝단(215)에도 보조적인 스토퍼(216)를 형성할 수 있다. 단, 측정을 위한 압력이 가해지면, 스토퍼(216)의 상당부분이 제1 관통구멍(11)의 내부로 미끄러져 이동한다.4, a stopper 216 protruding in one direction may be formed at the end 215 of the head 210 in the present embodiment so as to be engaged with the first through-hole 11. As described above, the second transition portion 125 or the body portion 120 connecting the body portion 120 and the tip portion 110 of FIG. 2 is inserted in the downward direction (-Z direction) However, an auxiliary stopper 216 may also be formed at the end 215 of the head part 210. [0050] However, when a pressure for measurement is applied, a substantial portion of the stopper 216 slides and moves into the first through hole 11. [

도 5는 스토퍼의 다른 예들을 나타낸 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 헤드부에는 다양한 형태의 스토퍼가 형성될 수 있다.5 is a view showing other examples of the stopper. As shown in FIG. 5, various types of stoppers may be formed in the head portion.

또한, 헤드부(210)는 제3 측면(211) 및 상기 제3 측면(211)에 대향하는 제4 측면(212)을 구비한다. 제3 측면(211)과 제4 측면(212)은 X 방향과 직교한다. 헤드부(210)의 제3 측면(211)에는, 제3 측면(211)에서 제1 관통구멍(11)의 내면을 향해서 돌출된 헤드부 정렬 범프(213)가 형성된다. 헤드부 정렬 범프(213)는 제4 측면(212)이 제3 측면(211)에 비해서 제1 관통구멍(11)의 내면에 더 가까운 상태로 헤드부(210)의 대부분이 제1 관통구멍(11) 내부에서 정렬되도록 한다.The head portion 210 also has a third side 211 and a fourth side 212 opposite the third side 211. The third side surface 211 and the fourth side surface 212 are orthogonal to the X direction. The head side alignment bump 213 protruding from the third side surface 211 toward the inner surface of the first through hole 11 is formed on the third side surface 211 of the head portion 210. The head part alignment bump 213 is formed so that the majority of the head part 210 is formed in the first through hole 11 with the fourth side surface 212 being closer to the inner surface of the first through hole 11 than the third side surface 211 11).

헤드부 정렬 범프(213)는 팁부 정렬 범프(133)와 동일한 방향으로 돌출될 수 있다.The head portion alignment bump 213 can protrude in the same direction as the tip portion alignment bump 133.

헤드부(210)의 스토퍼(216)는 헤드부 정렬 범프(113)의 돌출방향과 반대방향으로 돌출되는 것이 바람직하다.It is preferable that the stopper 216 of the head part 210 protrudes in a direction opposite to the protruding direction of the head part alignment bump 113.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the invention as defined by the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.

예를 들어, 헤드부 정렬 범프도 팁부 정렬 범프와 마찬가지로, 도 3에 예시된 바와 같은 다양한 형태일 수 있다. For example, the head alignment bumps may be of various shapes, as illustrated in FIG. 3, as well as the tip alignment bumps.

10: 제1 지지체 11: 제1 관통구멍
20: 제2 지지체 21: 제2 관통구멍
30: 피검사체 31: 피검사체 패드
40: 금속판 50: 프레스 장치
100: 프로브핀
110, 210: 헤드부 111, 211: 제3 측면
112, 212: 제4 측면 213: 헤드부 정렬 범프
215: 스토퍼 120: 몸체부
125: 제1 전이부 126: 제2 전이부
130: 팁부 131: 제1 측면
132: 제2 측면 133: 팁부 정렬 범프10: first supporting member 11: first through hole
20: second support body 21: second through hole
30: subject 31: subject pad
40: metal plate 50: press apparatus
100: probe pin
110, 210: head part 111, 211: third side
112, 212: fourth side 213: head part alignment bump
215: stopper 120:
125: first transition part 126: second transition part
130: tip portion 131: first side
132: second side 133: tip alignment bump

Claims (7)

제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체 및 복수의 프로브핀을 포함하는 프로브핀 조립체에 사용되는 프로브핀으로서,
헤드부, 피검사체에 접촉하는 팁부 및 헤드부와 팁부 사이에 위치하며, 상기 팁부에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 몸체부를 포함하며,
상기 팁부는 제1 측면 및 상기 제1 측면에 대향하는 제2 측면을 구비하며, 상기 팁부의 제1 측면에는, 상기 제2 측면이 상기 제1 측면에 비해서 상기 제2 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 팁부의 일부가 상기 제2 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제1 측면에서 제2 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 팁부 정렬 범프가 형성되고,
상기 몸체부는 상기 헤드부 및 팁부에 비해서 두께가 얇고, 폭이 넓으며, 상기 몸체부의 폭 방향 중심선은 상기 팁부의 폭 방향 중심선으로부터 제2 측면 방향으로 치우친 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.A probe pin for use in a probe pin assembly including a first support having a first through hole, a second support having a second through hole formed therein, and a plurality of probe pins,
A head portion, a tip portion contacting the subject, and a body portion positioned between the head portion and the tip portion and elastically deformed when pressure is applied to the tip portion,
Wherein the tip portion has a first side and a second side opposite the first side, wherein the first side of the tip portion is closer to the inner surface of the second through hole than the first side, A tip alignment bump protruding from the first side surface toward the inner surface of the second through hole is formed so that a part of the tip portion is aligned inside the second through hole,
Wherein the body portion is thinner and wider than the head portion and the tip portion, and the widthwise center line of the body portion is offset from the center line in the width direction of the tip portion toward the second lateral direction. 제1항에 있어서,
상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.The method according to claim 1,
And a stopper protruding to one side of the head portion is formed at an end of the head portion so as to be caught by the first through hole. 제1항에 있어서,
상기 헤드부는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 대향하는 제4 측면을 구비하며, 상기 헤드부의 제3 측면에는, 상기 제4 측면이 상기 제3 측면에 비해서 상기 제1 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 헤드부의 일부가 상기 제1 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제3 측면에서 제1 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 헤드부 정렬 범프가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.The method according to claim 1,
The head portion has a third side and a fourth side opposite to the third side, and the third side of the head portion has a fourth side surface that is closer to the inner surface of the first through hole than the third side surface Alignment bump protruded toward the inner surface of the first through hole at the third side so that a part of the head portion is aligned inside the first through hole. 제3항에 있어서,
상기 제3 측면과 상기 제1 측면은 같은 쪽 측면인 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.The method of claim 3,
Wherein the third side and the first side are the same side. 제3항에 있어서,
상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성되며,
상기 스토퍼와 상기 헤드부 정렬 범프는 서로 반대 방향으로 돌출된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.The method of claim 3,
A stopper protruding to one side of the head portion is formed at an end of the head portion so as to be caught by the first through hole,
Wherein the stopper and the head portion alignment bump protrude in opposite directions to each other. 제1항에 있어서,
상기 헤드부와 상기 팁부의 축선은 일치하며,
상기 몸체부는 상기 축선과 교차하는 방향으로 돌출되도록 굽은 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.The method according to claim 1,
The axis of the head portion and the tip portion coincide with each other,
And the body portion is bent so as to protrude in a direction intersecting with the axis. 복수의 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와,
상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체와,
상기 제1 관통구멍 및 제2 관통구멍에 삽입되는 복수의 프로브핀을 포함하며,
상기 프로브핀은 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 프로브핀인 프로브핀 조립체.A first support having a plurality of first through holes formed therein,
A second support disposed in parallel with the first support at regular intervals and having a plurality of second through holes formed therein,
And a plurality of probe pins inserted into the first through holes and the second through holes,
Wherein the probe pin is the probe pin of any one of claims 1-6.
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