KR101968066B1 - 증착용 메탈 마스크 - Google Patents
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Abstract
증착용 메탈 마스크에 있어서, 각 마스크 홀을 구획하는 증착용 메탈 마스크의 요소는, 제 1 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 1 마스크 요소와, 제 2 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 2 마스크 요소로 구성된다. 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값에 대한 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극소값의 비가 70 ％ 이상이다. 각 마스크 홀에 있어서, 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서의 마스크 홀의 폭이 마스크 홀 폭이고, 제 1 개구로부터 제 2 개구까지의 사이에 있어서의 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값의 비가 41 ％ 이상이다.
Description
본 발명은 증착용 메탈 마스크에 관한 것이다.
증착법을 이용하여 제조되는 표시 디바이스의 하나로서 유기 EL 디스플레이가 알려져 있다. 유기 EL 디스플레이가 구비하는 유기층은, 증착 공정에 있어서 승화된 유기 분자의 퇴적물이다. 증착 공정에서 사용되는 메탈 마스크는 복수의 마스크 홀을 갖고, 각 마스크 홀은, 승화된 유기 분자가 통과하는 통로이다.
각 마스크 홀은, 메탈 마스크를 두께 방향을 따라 관통하고 있다. 복수의 마스크 홀이 개구한 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 각 마스크 홀은 장방형상의 영역을 구획하고, 복수의 마스크 홀은, 예를 들어 지그재그 배열상으로 늘어서 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
그런데, 서로 이웃하는 마스크 홀 사이의 폭은, 마스크 홀의 연장 방향과, 그 연장 방향과 교차하는 방향에 있어서, 상호 상이한 크기를 갖는 경우가 있다. 마스크 홀 사이의 폭 중에서 상대적으로 작은 부분은, 메탈 마스크에 있어서의 다른 부분과 비교하여, 강도가 낮은 취약부이다. 두께가 1 ㎜ 에도 미치지 않는 메탈 마스크에 있어서, 이러한 취약부와 마스크 홀이 하나의 방향을 따라 1 개씩 번갈아 반복되면, 취약부가 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘이 메탈 마스크에 있어서 발생하는 경우가 있다.
이러한 사항은, 유기 EL 디스플레이를 포함하는 표시 디바이스의 제조에 사용되는 증착용 메탈 마스크에 한정되지 않고, 각종 디바이스가 구비하는 배선의 형성이나, 각종 디바이스가 구비하는 기능층 등의 증착에 사용되는 증착용 메탈 마스크에도 공통되고 있다. 또, 이러한 사항은, 복수의 마스크 홀이 개구하는 1 개의 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 복수의 마스크 홀이 격자상으로 늘어서는 메탈 마스크나, 각 마스크 홀의 개구가 거의 정방형상을 갖는 구성에 있어서도 공통되고 있다.
본 발명은, 마스크 홀이 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘을 억제하는 것을 가능하게 한 증착용 메탈 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 증착용 메탈 마스크는, 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향을 따라 늘어서는 복수의 마스크 홀을 구비하는 증착용 메탈 마스크이다. 상기 증착용 메탈 마스크는, 제 1 면과 제 2 면을 구비하고, 상기 각 마스크 홀은, 상기 제 1 면에 개구한 제 1 개구와, 상기 제 2 면에 개구한 제 2 개구를 갖는다. 상기 각 마스크 홀을 구획하는 상기 증착용 메탈 마스크의 요소는, 상기 제 1 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 1 마스크 요소와, 상기 제 2 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 2 마스크 요소로 구성된다. 상기 제 1 마스크 요소와 상기 마스크 홀이, 상기 제 1 방향을 따라 1 개씩 번갈아 반복되고, 또한, 상기 제 2 마스크 요소와 상기 마스크 홀이, 상기 제 2 방향을 따라 1 개씩 번갈아 반복된다. 상기 제 1 마스크 요소가 상기 제 1 방향을 따라 갖는 폭은, 상기 제 2 마스크 요소가 상기 제 2 방향을 따라 갖는 폭보다 작다. 상기 제 1 방향과 직교하는 단면 (斷面) 에 있어서, 상기 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값에 대한 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극소값의 비가, 70 ％ 이상이다. 상기 각 마스크 홀에 있어서, 상기 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 마스크 홀의 폭이 마스크 홀 폭이고, 상기 제 1 개구에서의 상기 마스크 홀 폭이, 상기 제 2 개구에서의 상기 마스크 홀 폭보다 작다. 상기 제 1 개구로부터 상기 제 2 개구까지의 사이에 있어서의 상기 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 상기 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 상기 극대값의 비가, 41 ％ 이상이다.
상기 구성에 의하면, 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값과, 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극소값의 차가 30 ％ 보다 작아지도록, 증착용 메탈 마스크 내에서의 두께의 편차가 억제된다. 그 때문에, 제 1 마스크 요소가 이어지는 부분에 있어서 접힘이 발생하는 것이 억제되는 정도로, 증착용 메탈 마스크 중에서, 제 1 마스크 요소가 이어지는 부분과, 그 이외의 부분에 있어서의 강도의 차가 억제된다.
또, 증착용 메탈 마스크에 있어서, 마스크 홀 폭이 클수록, 제 2 방향을 따른 제 1 마스크 요소의 길이가 커진다. 한편, 제 1 마스크 요소의 두께는, 제 2 방향에 있어서 제 1 마스크 요소를 사이에 두는 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값에 의해 대체로 결정되고, 극대값이 클수록, 제 1 마스크 요소의 두께가 커진다.
이 점에서, 상기 구성에 의하면, 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값의 비가 41 ％ 이상이기 때문에, 각 제 1 마스크 요소의 강도가, 증착용 메탈 마스크에 있어서의 다른 부분에 비해, 제 1 마스크 요소에 접힘이 집중하지 않는 크기가 된다.
결과적으로, 마스크 홀이 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘이 증착용 메탈 마스크에 발생하는 것이 억제된다.
상기 증착용 메탈 마스크에 있어서, 복수의 상기 마스크 홀은, 상기 제 1 방향을 따라 일정한 피치로 늘어서고, 상기 피치에 대한 극대값의 비가 6 ％ 이상이고, 당해 극대값은, 상기 제 2 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값인 것이 바람직하다.
제 1 방향을 따른 피치는, 증착용 메탈 마스크를 구성하는 요소, 즉 제 1 마스크 요소와 공간의 최소 단위이다. 이 중, 제 1 마스크 요소는, 증착용 메탈 마스크에 의해 형성하는 유기층의 크기에 상관없이, 거의 소정의 크기로 유지되는 부분이다. 제 1 마스크 요소의 크기는, 예를 들어, 주변 회로 등의 크기에 의해 결정되고, 유기 EL 디스플레이에서의 발광의 효율을 높이는 데 있어서는, 최소한의 크기가 되는 부분이다. 한편, 피치에 포함되는 공간은, 유기 EL 디스플레이에 요구되는 해상도 등에 의해 크기가 바뀌는 부분이다.
이 점에서, 증착용 메탈 마스크에서는, 피치의 크기가 바뀌어도, 즉, 피치에 포함되는 공간의 크기가 바뀌어도, 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값이 소정의 크기 이상으로 유지된다. 그 때문에, 증착용 메탈 마스크 중, 제 1 마스크 요소에 있어서의 접힘의 발생이 억제된다.
상기 증착용 메탈 마스크에 있어서, 상기 마스크 홀 폭이 상기 제 2 방향을 따른 마스크 홀 폭인 제 2 마스크 홀 폭이고, 상기 제 2 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 마스크 홀의 폭이 상기 제 1 방향을 따른 마스크 홀 폭인 제 1 마스크 홀 폭이고, 상기 제 1 개구에서의 상기 제 1 마스크 홀 폭이, 상기 제 2 개구에서의 상기 제 1 마스크 홀 폭보다 작고, 상기 제 1 개구로부터 상기 제 2 개구까지의 사이에 있어서의 상기 제 1 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값의 비가, 7 ％ 이상인 것이 바람직하다.
증착용 메탈 마스크에 있어서, 제 1 방향을 따라 연장되는 공간인 마스크 홀의 폭에 대하여, 제 1 방향에 있어서 마스크 홀을 구획하는 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값이 클수록, 증착용 메탈 마스크의 강도가 높아진다.
이 점에서, 상기 구성에 의하면, 제 1 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값의 비가 7 ％ 이상이기 때문에, 각 제 1 마스크 요소의 강도가, 증착용 메탈 마스크에 있어서의 다른 부위에 비해, 제 1 마스크 요소에 접힘이 보다 집중하지 않는 크기가 된다.
상기 증착용 메탈 마스크에 있어서, 상기 증착용 메탈 마스크가 넓어지는 방향과 직교하는 방향에서 보아, 복수의 상기 마스크 홀은 지그재그 배열상으로 늘어서 있어도 된다.
상기 구성에 의하면, 복수의 마스크 홀이 지그재그 배열상으로 늘어서 있는 증착용 메탈 마스크에 있어서, 마스크 홀이 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘을 억제할 수 있다.
본 발명에 의하면, 마스크 홀이 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘을 억제할 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 증착용 메탈 마스크를 구체화한 일 실시형태에 있어서의 일부 사시 구조를 나타내는 부분 사시도.
도 2 는, 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 증착용 메탈 마스크의 일부 평면 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 3 은, 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 4 는, 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 5 는, 제 2 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 6 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 레지스트층의 형성 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 7 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 레지스트층의 패터닝 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 8 은, 메탈 마스크용 기재의 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 레지스트 패턴의 일부 평면 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 9 는, 메탈 마스크용 기재의 제 2 면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 레지스트 패턴의 일부 평면 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 10 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 메탈 마스크용 기재를 제 1 면으로부터 에칭하는 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 11 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 메탈 마스크용 기재를 제 2 면으로부터 에칭하는 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 12 는, 실시예 1 내지 실시예 3 에 있어서의 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 13 은, 비교예 1, 3, 5 에 있어서의 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 14 는, 비교예 2, 4, 6 에 있어서의 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 15 는, 변형예의 증착용 메탈 마스크에 있어서의 제 1 면과 대향하는 방향에서 본 평면 구조를 나타내는 평면도.
도 2 는, 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 증착용 메탈 마스크의 일부 평면 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 3 은, 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 4 는, 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 5 는, 제 2 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 6 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 레지스트층의 형성 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 7 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 레지스트층의 패터닝 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 8 은, 메탈 마스크용 기재의 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 레지스트 패턴의 일부 평면 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 9 는, 메탈 마스크용 기재의 제 2 면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 레지스트 패턴의 일부 평면 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 10 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 메탈 마스크용 기재를 제 1 면으로부터 에칭하는 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 11 은, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법에 있어서의 메탈 마스크용 기재를 제 2 면으로부터 에칭하는 공정을 설명하기 위한 공정도.
도 12 는, 실시예 1 내지 실시예 3 에 있어서의 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 13 은, 비교예 1, 3, 5 에 있어서의 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 14 는, 비교예 2, 4, 6 에 있어서의 제 1 방향과 직교하는 단면의 일부를 모식적으로 나타내는 부분 단면도.
도 15 는, 변형예의 증착용 메탈 마스크에 있어서의 제 1 면과 대향하는 방향에서 본 평면 구조를 나타내는 평면도.
도 1 내지 도 14 를 참조하여, 본 발명의 증착용 메탈 마스크를 구체화한 일 실시형태를 설명한다. 이하에서는, 증착용 메탈 마스크의 구성, 증착용 메탈 마스크의 제조 방법, 및, 실시예를 순서로 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 증착용 메탈 마스크는, 복수의 유기층을 구비하는 유기 EL 디스플레이의 제조에 사용되는 증착용 메탈 마스크이다.
[증착용 메탈 마스크의 구성]
도 1 내지 도 5 를 참조하여, 증착용 메탈 마스크의 구성을 설명한다.
도 1 이 나타내는 바와 같이, 증착용 메탈 마스크 (10) 는, 제 1 면 (10a) 과 제 2 면 (10b) 을 구비하고 있다. 증착용 메탈 마스크 (10) 는, 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되고, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 제 2 방향 (D2) 을 따라 소정의 폭을 갖는 판상을 가지고 있다.
증착용 메탈 마스크 (10) 는, 제 1 방향 (D1) 과 제 2 방향 (D2) 을 따라 늘어서는 복수의 마스크 홀 (11) 을 구비하고 있다. 제 1 면 (10a) 과 대향하는 방향에서 보아, 제 1 면 (10a) 에는, 복수의 마스크 홀 (11) 이 형성된 영역인 마스크 영역 (R1) 과, 마스크 영역 (R1) 을 둘러싸는 주변 영역 (R2) 이 구획되어 있다. 마스크 영역 (R1) 은, 복수의 마스크 홀 (11) 을 형성하기 위한 가공이 실시된 영역이며, 주변 영역 (R2) 은, 이 가공이 실시되어 있지 않은 영역이다.
제 1 면 (10a) 에는, 제 1 방향 (D1) 을 따라 소정의 간격을 띄우고 복수의 마스크 영역 (R1) 이 구획되어도 되고, 제 1 방향 (D1) 과 제 2 방향 (D2) 의 각각을 따라 소정의 간격을 띄우고 복수의 마스크 영역 (R1) 이 구획되어도 된다.
증착용 메탈 마스크 (10) 는 금속제이고, 인바제인 것이 바람직하다. 또한, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 형성 재료는, 인바 이외의 금속이어도 된다. 증착용 메탈 마스크 (10) 중, 주변 영역 (R2) 에 있어서의 두께 (T) 는, 예를 들어, 20 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
도 2 는, 제 1 면 (10a) 과 대향하는 방향에서 본 증착용 메탈 마스크 (10) 의 평면 구조를 나타내고 있다.
도 2 가 나타내는 바와 같이, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 각 마스크 홀 (11) 을 구획하는 증착용 메탈 마스크 (10) 의 요소는, 제 1 방향 (D1) 에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 1 마스크 요소 (21) 와, 제 2 방향 (D2) 에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 2 마스크 요소 (22) 로 구성되어 있다.
증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 1 마스크 요소 (21) 와 마스크 홀 (11) 이, 제 1 방향 (D1) 을 따라 1 개씩 번갈아 반복되고, 또한, 제 2 마스크 요소 (22) 와 마스크 홀 (11) 이, 제 2 방향 (D2) 을 따라 1 개씩 번갈아 반복되어 있다.
제 1 마스크 요소 (21) 가 제 1 방향 (D1) 을 따라 갖는 폭이 제 1 폭 (W1) 이고, 제 2 마스크 요소 (22) 가 제 2 방향 (D2) 을 따라 갖는 폭이 제 2 폭 (W2)이다. 제 1 마스크 요소 (21) 의 제 1 폭 (W1) 은, 제 2 마스크 요소 (22) 의 제 2 폭 (W2) 보다 작다.
증착용 메탈 마스크 (10) 는 제 1 방향 (D1) 과 제 2 방향 (D2) 에 의해 규정되는 평면을 따라 넓어지고, 증착용 메탈 마스크 (10) 가 넓어지는 방향과 직교하는 방향에서 보아, 복수의 마스크 홀 (11) 은 지그재그 배열상으로 늘어서 있다. 바꿔 말하면, 제 1 면 (10a) 과 대향하는 방향에서 보아, 복수의 마스크 홀 (11) 은 지그재그 배열상으로 늘어서 있다.
제 1 면 (10a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때, 각 마스크 홀 (11) 은 사각형상의 영역을 구획하고, 각 마스크 홀 (11) 이 제 1 방향 (D1) 을 따라 갖는 폭은, 그 마스크 홀 (11) 이 제 2 방향 (D2) 을 따라 갖는 폭보다 크다. 복수의 마스크 홀 (11) 은, 제 1 방향 (D1) 을 따라 일정한 제 1 피치 (P1) 로 늘어서 있다.
복수의 마스크 홀 (11) 에서는, 제 1 방향 (D1) 을 따라 늘어서는 복수의 마스크 홀 (11) 이, 1 개의 열을 구성하고 있다. 각 열을 구성하는 복수의 마스크 홀 (11) 에 있어서, 제 1 방향 (D1) 에 있어서의 위치가 1 열 간격으로 서로 겹친다. 한편, 제 2 방향 (D2) 에 있어서 서로 이웃하는 열에서는, 일방의 열을 구성하는 복수의 마스크 홀 (11) 에 있어서의 제 1 방향 (D1) 에서의 위치에 대하여, 타방의 열을 구성하는 복수의 마스크 홀 (11) 에 있어서의 제 1 방향 (D1) 에서의 위치가, 1/2 피치 어긋나 있다. 복수의 마스크 홀 (11) 중, 제 1 방향 (D1) 에 있어서의 위치가 겹치는 마스크 홀 (11) 은, 제 2 방향 (D2) 을 따라, 일정한 제 2 피치 (P2) 로 늘어서 있다. 제 2 피치 (P2) 는 제 1 피치 (P1) 에 동등한 값이다. 제 1 피치 (P1) 와 제 2 피치 (P2) 는, 일반적으로, 화소 형상을 따라 서로 동등한 값으로 되어 있다.
지그재그 배열상으로 늘어서는 복수의 마스크 홀 (11) 에서는, 제 1 방향 (D1) 에 있어서 이웃하는 2 개의 마스크 홀 (11) 의 사이에 위치하는 1 개의 제 1 마스크 요소 (21) 가, 2 개의 마스크 홀 (11) 의 각각을 구획하는 증착용 메탈 마스크 (10) 의 요소로서 기능한다. 또, 제 2 방향 (D2) 에 있어서 이웃하는 2 개의 마스크 홀 (11) 의 사이에서는, 증착용 메탈 마스크 (10) 중, 일방의 마스크 홀 (11) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 로서 기능하는 부분의 일부와, 타방의 마스크 홀 (11) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 로서 기능하는 부분의 일부가 서로 겹쳐 있다.
또한, 지그재그 배열상으로 늘어서는 복수의 마스크 홀 (11) 에서는, 제 2 방향 (D2) 에 있어서 서로 이웃하는 열에 있어서, 마스크 홀 (11) 에 있어서의 제 1 방향 (D1) 에서의 위치 어긋남이, 1/2 피치보다 작아도 되고, 1/2 피치보다 커도 된다. 또, 각 마스크 홀 (11) 에 있어서, 제 1 방향 (D1) 을 따라 갖는 폭과, 제 2 방향 (D2) 을 따라 갖는 폭이 서로 동일해도 된다.
도 3 은, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면의 구조로서, 제 1 방향 (D1) 에 있어서의 제 1 마스크 요소 (21) 의 중앙을 통과하는 단면의 구조를 나타내고 있다. 도 3 은, 도 2 의 I-I 선을 따른 단면 구조를 나타내고 있다.
도 3 이 나타내는 바와 같이, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께는 극소값 (T1m) 을 갖고, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께는 극대값 (T2M) 을 가지고 있다.
제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 이, 12.5 ㎛ 이상인 것이 바람직하다. 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 의 비가, 70 ％ 이상이다. 즉, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 과, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 은, 이하의 식 (1) 을 만족한다.
T1m/T2M × 100 ≥ 70 … 식 (1)
이러한 증착용 메탈 마스크 (10) 에 의하면, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께가, 12.5 ㎛ 이상으로 확보된다. 그 때문에, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분에 있어서의 접힘이 발생하는 것이 억제되는 정도로, 증착용 메탈 마스크 (10) 중에서, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분과, 그 이외의 부분에 있어서의 강도의 차가 보다 억제된다.
또한, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 과, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 의 차가 30 ％ 보다 작아지도록, 증착용 메탈 마스크 (10) 내에서의 두께의 편차가 억제된다.
그 때문에, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분에 있어서 접힘이 발생하는 것이 억제되는 정도로, 증착용 메탈 마스크 (10) 중에서, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분과, 그 이외의 부분에 있어서의 강도의 차가 억제된다. 결과적으로, 마스크 홀 (11) 이 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘, 특히, 제 1 마스크 요소 (21) 가 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘이 증착용 메탈 마스크 (10) 에 발생하는 것이 억제된다.
각 마스크 홀 (11) 은, 제 1 면 (10a) 에 개구한 제 1 개구 (11a) 와, 제 2 면 (10b) 에 개구한 제 2 개구 (11b) 를 가지고 있다. 각 마스크 홀 (11) 은, 제 1 개구 (11a) 를 포함하는 제 1 홀 요소 (11c) 와, 제 2 개구 (11b) 를 포함하는 제 2 홀 요소 (11d) 로 구성되고, 제 1 홀 요소 (11c) 와 제 2 홀 요소 (11d) 는, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 두께 방향에 있어서 이어져 있다. 제 1 홀 요소 (11c) 와 제 2 홀 요소 (11d) 가 이어지는 부분이, 연속 요소 (11e) 이다.
각 마스크 홀 (11) 에 있어서, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서의 마스크 홀 (11) 의 폭이고, 제 2 방향 (D2) 을 따른 마스크 홀 (11) 의 폭이 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 이다. 제 1 개구 (11a) 에서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 이, 제 2 개구 (11b) 에서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 보다 작다.
제 1 홀 요소 (11c) 에 있어서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 은, 제 1 개구 (11a) 에 있어서 가장 크고, 연속 요소 (11e) 를 향해서 점차 작아지고, 제 2 홀 요소 (11d) 에 있어서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 은, 제 2 개구 (11b) 에 있어서 가장 크고, 연속 요소 (11e) 를 향해서 점차 작아진다. 즉, 각 마스크 홀 (11) 에 있어서, 연속 요소 (11e) 에 있어서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 이 가장 작다. 또, 제 1 홀 요소 (11c) 에 있어서의 증착용 메탈 마스크 (10) 의 두께 방향을 따른 길이는, 제 2 홀 요소 (11d) 에 있어서의 증착용 메탈 마스크 (10) 의 두께 방향을 따른 길이보다 작다.
제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이다. 즉, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 과, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 은, 이하의 식 (2) 를 만족한다.
T2M/Wmm2 × 100 ≥ 41 … 식 (2)
증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 이 클수록, 제 2 방향 (D2) 을 따른 제 1 마스크 요소 (21) 의 길이가 커진다. 한편, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께는, 제 2 방향 (D2) 에 있어서 제 1 마스크 요소 (21) 를 사이에 두는 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 에 의해 대체로 결정되고, 극대값 (T2M) 이 클수록, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께가 커진다.
이 점에서, 상기 서술한 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이기 때문에, 각 제 1 마스크 요소 (21) 의 강도가, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서의 다른 부분에 비해, 제 1 마스크 요소 (21) 에 접힘이 집중하지 않는 크기가 된다.
도 4 가 나타내는 바와 같이, 제 2 홀 요소 (11d) 를 구획하는 면이 제 2 내주면 (11dp) 이고, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 내주면 (11dp) 은, 제 1 호상 (弧狀) 요소 (dp1), 제 2 호상 요소 (dp2), 및, 변곡 요소 (dp3) 를 가지고 있다. 제 2 내주면 (11dp) 에 있어서, 2 개의 제 1 호상 요소 (dp1) 가 제 2 방향 (D2) 에 있어서 대향하고, 2 개의 제 2 호상 요소 (dp2) 가 제 2 방향 (D2) 에 있어서 대향하고, 또한, 2 개의 변곡 요소 (dp3) 가 제 2 방향 (D2) 에 있어서 대향하고 있다.
제 1 호상 요소 (dp1) 는, 연속 요소 (11e) 를 포함하고, 제 2 호상 요소 (dp2) 는, 제 2 개구 (11b) 를 포함하고 있다. 제 1 호상 요소 (dp1) 의 곡률 반경과, 제 2 호상 요소 (dp2) 의 곡률 반경은 서로 상이하고, 제 1 호상 요소 (dp1) 의 곡률 반경이, 제 2 호상 요소 (dp2) 의 곡률 반경보다 크다. 변곡 요소 (dp3) 는, 제 1 호상 요소 (dp1) 와 제 2 호상 요소 (dp2) 가 연결되는 부분이다. 제 1 호상 요소 (dp1) 와 제 2 호상 요소 (dp2) 의 각각은, 각 호상 요소에 있어서의 곡률의 중심이, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 외측에 위치하는 곡률을 가지고 있다.
제 1 홀 요소 (11c) 를 구획하는 면이 제 1 내주면 (11cp) 이고, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 내주면 (11cp) 은, 제 1 개구 (11a) 와 연속 요소 (11e) 를 포함하는 제 1 호상 요소 (cp1) 를 가지고 있다. 제 1 내주면 (11cp) 에 있어서, 2 개의 제 1 호상 요소 (cp1) 가 제 2 방향 (D2) 에 있어서 대향하고 있다. 제 1 호상 요소 (cp1) 는, 제 1 호상 요소 (cp1) 에 있어서의 곡률의 중심이, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 외측에 위치하는 곡률을 가지고 있다.
도 5 는, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면의 구조로서, 제 2 방향 (D2) 에 있어서의 제 1 마스크 요소 (21) 의 중앙을 통과하는 단면의 구조를 나타내고 있다. 도 5 는, 도 2 의 II-II 선을 따른 단면 구조를 나타내고 있다.
도 5 가 나타내는 바와 같이, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 는 극대값 (T1M) 을 가지고 있다. 상기 서술한 제 1 방향 (D1) 을 따른 제 1 피치 (P1) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 의 비가 6 ％ 이상이다. 즉, 제 1 방향 (D1) 을 따른 제 1 피치 (P1) 와 제 1 마스크 요소 (21) 의 극대값 (T1M) 은, 이하의 식 (3) 을 만족한다.
T1M/P1 × 100 ≥ 6 … 식 (3)
제 1 방향 (D1) 을 따른 제 1 피치 (P1) 는, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 구성하는 요소, 즉 제 1 마스크 요소 (21) 와 공간의 최소 단위이다. 이 중, 제 1 마스크 요소 (21) 는, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 의해 형성하는 유기층의 크기에 상관없이, 거의 소정의 크기로 유지되는 부분이다. 제 1 마스크 요소 (21) 의 크기는, 예를 들어, 주변 회로 등의 크기에 의해 결정되고, 유기 EL 디스플레이에서의 발광의 효율을 높이는 데 있어서는, 최소한의 크기가 되는 부분이다. 한편, 제 1 피치 (P1) 에 포함되는 공간은, 유기 EL 디스플레이에 요구되는 해상도 등에 의해 크기가 바뀌는 부분이다.
이 점에서, 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 1 피치 (P1) 의 크기가 바뀌어도, 즉, 제 1 피치 (P1) 에 포함되는 공간의 크기가 바뀌어도, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이 소정의 크기 이상으로 유지된다. 그 때문에, 증착용 메탈 마스크 (10) 중, 제 1 마스크 요소 (21) 에 있어서의 접힘의 발생이 억제된다.
제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 는, 대략 5 각형 형상을 가지고 있다. 그 때문에, 제 1 마스크 요소 (21) 는, 제 1 면 (10a) 을 따른 변으로부터의 거리가 가장 큰 정점에 있어서, 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 을 갖는다.
각 마스크 홀 (11) 에 있어서, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서의 마스크 홀 (11) 의 폭이고, 제 1 방향 (D1) 을 따른 마스크 홀 (11) 의 폭이 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 이다. 제 1 개구 (11a) 에서의 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 이, 제 2 개구 (11b) 에서의 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 보다 작다.
제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 은, 제 1 개구 (11a) 로부터 제 2 개구 (11b) 를 향하는 방향의 도중에 있어서, 최소값 (Wmm1) 을 갖는다. 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 의 비가 7 ％ 이상이다. 즉, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 과 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 은, 이하의 식 (4) 를 만족한다.
T1M/Wmm1 × 100 ≥ 7 … 식 (4)
증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되는 공간인 마스크 홀 (11) 의 폭에 대하여, 제 1 방향 (D1) 에 있어서 마스크 홀 (11) 을 구획하는 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이 클수록, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 강도가 높아진다.
이 점에서, 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 의 비가 7 ％ 이상이기 때문에, 각 제 1 마스크 요소 (21) 의 강도가, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서의 다른 부위에 비해, 제 1 마스크 요소 (21) 에 접힘이 보다 집중하지 않는 크기가 된다.
또한, 이러한 증착용 메탈 마스크 (10) 를 사용한 성막 대상에 대한 유기층의 형성은, 이하와 같이 실시된다. 이하에서는, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서의 제 1 방향 (D1) 및 제 2 방향 (D2) 을, 성막 후의 성막 대상에 있어서의 제 1 방향 (D1) 및 제 2 방향 (D2) 에 대응시켜 설명한다.
예를 들어, 유기층을 형성할 때에는, 먼저, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 사용하여, 청색 유기층이 성막 대상에 형성된다. 이어서, 다른 증착용 메탈 마스크를 사용하여, 제 2 방향 (D2) 에 있어서의 청색 유기층 사이이고, 또한, 제 2 방향 (D2) 에 있어서, 1 개의 청색 유기층과 이웃하는 부위에, 녹색 유기층과 적색 유기층이, 제 1 방향 (D1) 을 따라 늘어서도록 형성된다.
또 예를 들어, 먼저, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 사용하여 청색 유기층이 성막 대상에 형성된다. 이어서, 다른 증착용 메탈 마스크를 사용하여, 제 2 방향 (D2) 에 있어서의 청색 유기층 사이이고, 또한, 제 2 방향 (D2) 에 있어서, 1 개의 청색 유기층과 이웃하는 부위에, 녹색 유기층과 적색 유기층이, 제 2 방향 (D2) 을 따라 늘어서도록 형성된다.
[증착용 메탈 마스크의 제조 방법]
도 6 내지 도 11 을 참조하여, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 제조 방법을 설명한다. 또한, 도 6 내지 도 11 의 각각에는, 도 2 의 I-I 선을 따른 단면에 상당하는 단면 구조로서, 각 제조 공정에 대응하는 단면 구조가 도시되어 있다.
도 6 이 나타내는 바와 같이, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 제조할 때에는, 먼저, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 형성하기 위한 메탈 마스크용 기재 (31) 를 준비한다. 메탈 마스크용 기재 (31) 는, 인바제인 것이 바람직하고, 메탈 마스크용 기재 (31) 가 갖는 두께는, 예를 들어, 20 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
메탈 마스크용 기재 (31) 는 제 1 면 (31a) 과, 제 1 면 (31a) 과는 반대측의 면인 제 2 면 (31b) 을 가지고 있다. 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 은, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 제 1 면 (10a) 에 상당하고, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 2 면 (31b) 은, 증착용 메탈 마스크 (10) 의 제 2 면 (10b) 에 상당한다.
메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 에 제 1 레지스트층 (32) 을 형성하고, 제 2 면 (31b) 에 제 2 레지스트층 (33) 을 형성한다. 각 레지스트층은, 드라이 필름 레지스트를 첩부 (貼付) 함으로써, 메탈 마스크용 기재 (31) 에 형성되어도 되고, 레지스트층의 형성 재료를 포함하는 도액이 표면에 도포됨으로써 형성되어도 된다. 레지스트층의 형성 재료는, 네거티브형의 레지스트 재료인 것이 바람직하지만, 포지티브형의 레지스트 재료여도 된다.
도 7 이 나타내는 바와 같이, 제 1 레지스트층 (32) 의 일부를 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 으로부터 제거함으로써, 제 1 레지스트 패턴 (34) 을 형성한다. 또, 제 2 레지스트층 (33) 의 일부를 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 2 면 (31b) 으로부터 제거함으로써, 제 2 레지스트 패턴 (35) 을 형성한다. 각 레지스트 패턴을 형성할 때에는, 네거티브형의 레지스트층이면, 레지스트층 중, 레지스트 패턴으로서 메탈 마스크용 기재 (31) 상에 남기는 부분만을 노광한다. 그리고, 노광 후의 레지스트층을 현상한다. 또한, 포지티브형의 레지스트층이면, 레지스트층 중, 메탈 마스크용 기재 (31) 로부터 제거하는 부분만을 노광하면 된다.
또한, 제 1 레지스트층 (32) 의 노광과 제 2 레지스트층 (33) 의 노광은 동시에 실시해도 되고, 개별적으로 실시해도 된다. 또, 제 1 레지스트층 (32) 의 현상과 제 2 레지스트층 (33) 의 현상은, 동시에 실시해도 되고, 개별적으로 실시해도 된다.
제 1 레지스트 패턴 (34) 은, 복수의 제 1 패턴 요소 (34a) 와, 복수의 제 2 패턴 요소 (34b) 를 가지고 있다. 제 1 레지스트 패턴 (34) 은, 복수의 마스크 홀 (11) 에 있어서의 제 1 홀 요소 (11c) 를 메탈 마스크용 기재 (31) 에 형성하기 위한 레지스트 패턴이다. 이 중, 각 제 1 패턴 요소 (34a) 는, 메탈 마스크용 기재 (31) 에 제 1 마스크 요소 (21) 를 구획하기 위한 패턴 요소이며, 각 제 2 패턴 요소 (34b) 는, 메탈 마스크용 기재 (31) 에 제 2 마스크 요소 (22) 를 구획하기 위한 패턴 요소이다.
제 2 레지스트 패턴 (35) 은, 복수의 제 1 패턴 요소 (35a) 와, 복수의 제 2 패턴 요소 (35b) 를 가지고 있다. 제 2 레지스트 패턴 (35) 은, 복수의 마스크 홀 (11) 에 있어서의 제 2 홀 요소 (11d) 를 메탈 마스크용 기재 (31) 에 형성하기 위한 레지스트 패턴이다. 제 1 레지스트 패턴 (34) 과 마찬가지로, 각 제 1 패턴 요소 (35a) 는, 메탈 마스크용 기재 (31) 에 제 1 마스크 요소 (21) 를 구획하기 위한 패턴 요소이며, 각 제 2 패턴 요소 (35b) 는, 메탈 마스크용 기재 (31) 에 제 2 마스크 요소 (22) 를 구획하기 위한 패턴 요소이다.
도 8 은, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때의 제 1 레지스트 패턴 (34) 의 평면 구조를 나타내고 있다. 또한, 도 8 에서는, 제 1 레지스트 패턴 (34) 의 형상을 파악하기 쉽게 하는 편의상, 제 1 레지스트 패턴 (34) 에 도트가 부여되어 있다.
도 8 이 나타내는 바와 같이, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 패턴 요소 (34a) 는, 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장되고, 제 1 방향 (D1) 을 따라 일정한 간격을 띄우고 늘어서 있다. 제 1 방향 (D1) 에 있어서, 제 1 패턴 요소 (34a) 가 반복되는 피치는, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 가 제 1 방향 (D1) 을 따라 반복되는 피치에 거의 동등하다.
제 2 패턴 요소 (34b) 는, 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되고, 제 2 방향 (D2) 에 있어서 이웃하는 2 개의 제 2 패턴 요소 (34b) 는, 제 1 패턴 요소 (34a) 의 길이의 분만큼 서로로부터 떨어져 위치하고 있다. 제 1 방향 (D1) 을 따라 제 1 패턴 요소 (34a) 가 갖는 폭 (W34a) 은, 제 2 방향 (D2) 을 따라 제 2 패턴 요소 (34b) 가 갖는 폭 (W34b) 보다 작다.
도 9 는, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 2 면 (31b) 과 대향하는 평면에서 보았을 때의 제 2 레지스트 패턴 (35) 의 평면 구조를 나타내고 있다. 또한, 도 9 에서는, 제 2 레지스트 패턴 (35) 의 형상을 파악하기 쉽게 하는 편의상, 제 2 레지스트 패턴 (35) 에 도트가 부여되어 있다.
도 9 가 나타내는 바와 같이, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 2 면 (31b) 과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 패턴 요소 (35a) 는 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장되고, 제 1 방향 (D1) 을 따라 일정한 간격을 띄우고 늘어서 있다. 제 1 방향 (D1) 에 있어서, 제 1 패턴 요소 (35a) 가 반복되는 피치는, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 가 제 1 방향 (D1) 을 따라 반복되는 피치에 거의 동등하다.
제 2 패턴 요소 (35b) 는, 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되고, 제 2 방향 (D2) 에 있어서 이웃하는 2 개의 제 2 패턴 요소 (35b) 는, 제 1 패턴 요소 (35a) 의 길이의 분만큼 서로로부터 떨어져 위치하고 있다. 제 2 패턴 요소 (35b) 는, 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되는 간극 (35c) 을 갖고, 간극 (35c) 은, 각 제 2 패턴 요소 (35b) 에 있어서의 제 2 방향 (D2) 의 중앙에 위치하고 있다.
제 2 방향 (D2) 을 따라 간극 (35c) 이 갖는 폭 (W35c) 은, 제 2 방향 (D2) 에 있어서의 2 개의 제 2 패턴 요소 (35b) 간의 거리, 즉, 제 2 방향 (D2) 을 따라 제 1 패턴 요소 (35a) 가 갖는 폭 (W35a2) 보다 작다. 또, 제 1 방향 (D1) 을 따라 제 1 패턴 요소 (35a) 가 갖는 폭 (W35a1) 은, 제 2 방향 (D2) 을 따라 제 2 패턴 요소 (35b) 가 갖는 폭 (W35b) 보다 작다.
제 1 패턴 요소 (35a) 는, 제 2 방향 (D2) 을 따라 이웃하는 제 2 패턴 요소 (35b) 의 사이에 위치하고, 제 2 방향 (D2) 에 있어서, 제 1 패턴 요소 (35a) 를 사이에 두는 2 개의 제 2 패턴 요소 (35b) 에 접속하고 있다.
도 10 이 나타내는 바와 같이, 제 1 레지스트 패턴 (34) 을 사용하여 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 1 면 (31a) 으로부터 에칭한다. 또한, 도 10 은, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 1 면 (31a) 으로부터 에칭하고 있는 도중에 있어서의 메탈 마스크용 기재 (31) 의 상태를 나타내고 있다. 메탈 마스크용 기재 (31) 가 인바제이면, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭 용액으로서, 예를 들어 염화제2철액을 사용할 수 있다.
또한, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 1 면 (31a) 으로부터 에칭할 때에는, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭을 개시하기 전에, 제 2 레지스트 패턴 (35) 중, 메탈 마스크용 기재 (31) 에 접하는 면과는 반대측의 면에, 제 2 보호층 (36) 을 형성한다.
제 2 보호층 (36) 은, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 1 면 (31a) 으로부터 에칭할 때에, 메탈 마스크용 기재 (31) 가 제 2 면 (31b) 으로부터 에칭되는 것을 방지하기 위한 층이다. 제 2 보호층 (36) 의 형성 재료는, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭 용액에 대한 내성을 갖는 재료이면 된다.
제 1 레지스트 패턴 (34) 을 사용한 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭이 종료된 후, 제 2 레지스트 패턴 (35) 으로부터 제 2 보호층 (36) 을 떼어내고, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 으로부터 제 1 레지스트 패턴 (34) 을 떼어낸다.
도 11 이 나타내는 바와 같이, 제 2 레지스트 패턴 (35) 을 사용하여 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 2 면 (31b) 으로부터 에칭한다. 또한, 도 11 은, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 2 면 (31b) 으로부터 에칭하고 있는 도중에 있어서의 메탈 마스크용 기재 (31) 의 상태를 나타내고 있다. 메탈 마스크용 기재 (31) 가 인바제이면, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭 용액으로서, 예를 들어 염화제2철액을 사용할 수 있다.
또한, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 2 면 (31b) 으로부터 에칭할 때에는, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭을 개시하기 전에, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 에, 제 1 보호층 (37) 을 형성한다.
제 1 보호층 (37) 은, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 2 면 (31b) 으로부터 에칭할 때에, 메탈 마스크용 기재 (31) 가 제 1 면 (31a) 으로부터 에칭되는 것을 방지하기 위한 층이다. 제 1 보호층 (37) 의 형성 재료는, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭 용액에 대한 내성을 갖는 재료이면 된다.
제 2 레지스트 패턴 (35) 을 사용한 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭이 종료된 후, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 으로부터 제 1 보호층 (37) 을 떼어내고, 제 2 면 (31b) 으로부터 제 2 레지스트 패턴 (35) 을 떼어낸다. 이에 따라, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 얻을 수 있다.
메탈 마스크용 기재 (31) 가 제 2 면 (31b) 으로부터 에칭될 때, 메탈 마스크용 기재 (31) 중, 제 2 레지스트 패턴 (35) 으로부터 노출되는 면적이 큰 부분일 수록 에칭되는 속도가 높다. 그 때문에, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 두께 방향에 있어서, 메탈 마스크용 기재 (31) 중, 제 2 패턴 요소 (35b) 의 간극 (35c) 과 겹치는 부분에서의 에칭 속도보다, 제 2 패턴 요소 (35b) 간에 위치하는 부분에서의 에칭 속도가 높다.
이에 따라, 메탈 마스크용 기재 (31) 에는, 에칭량이 큰 부분과 에칭량이 작은 부분이 형성된다. 결과적으로, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 이상이고, 또한, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상인 증착용 메탈 마스크 (10) 를 얻을 수 있다.
[실시예]
도 12 내지 도 14 를 참조하여, 실시예 및 비교예를 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 실시예 1 내지 실시예 3 에서는, 각 실시예의 증착용 메탈 마스크의 제조에 사용하는 메탈 마스크용 기재의 두께가 서로 상이하다. 단, 각 증착용 메탈 마스크에 있어서의 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비, 및, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비는, 실시예 사이에 있어서 거의 동등한 값이다. 그 때문에, 실시예 1 내지 실시예 3 의 증착용 메탈 마스크를, 편의상, 하나의 도면을 참조하여 설명한다.
또, 비교예 1, 3, 5 에서는, 각 비교예의 증착용 메탈 마스크의 제조에 사용하는 메탈 마스크용 기재의 두께가 서로 상이하다. 단, 각 증착용 메탈 마스크에 있어서의 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비, 및, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비는, 비교예 사이에 있어서 거의 동등한 값이다. 그 때문에, 비교예 1, 3, 5 의 증착용 메탈 마스크를, 편의상, 하나의 도면을 참조하여 설명한다.
또, 비교예 2, 4, 6 에서는, 각 비교예의 증착용 메탈 마스크의 제조에 사용하는 메탈 마스크용 기재의 두께가 서로 상이하다. 단, 각 증착용 메탈 마스크에 있어서의 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비, 및, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비는, 비교예 사이에 있어서 거의 동등한 값이다. 그 때문에, 비교예 2, 4, 6 의 증착용 메탈 마스크를, 편의상, 하나의 도면을 참조하여 설명한다.
[실시예 1]
인바제이고, 또한, 30 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 네거티브형의 드라이 필름 레지스트를 메탈 마스크용 기재의 제 1 면에 첩부함으로써, 메탈 마스크용 기재의 제 1 면에 제 1 레지스트층을 형성하고, 네거티브형의 드라이 필름 레지스트를 메탈 마스크용 기재의 제 2 면에 첩부함으로써, 메탈 마스크용 기재의 제 2 면에 제 2 레지스트층을 형성하였다.
제 1 레지스트층을 패터닝하여, 이하의 형상을 가진 제 1 레지스트 패턴을 형성하였다. 제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 195 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 30.0 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 33.5 ㎛ 였다. 또, 제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 64.0 ㎛ 였다.
제 2 레지스트층을 패터닝하여, 이하의 형상을 가진 제 2 레지스트 패턴을 형성하였다. 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 195 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 16.5 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 58.3 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 39.1 ㎛ 이고, 제 2 패턴 요소가 갖는 간극의 길이가 10.3 ㎛ 였다. 즉, 제 2 패턴 요소 중, 제 2 방향을 따라 간극을 두고 위치하는 2 개의 부분의 각각에 있어서, 제 2 방향을 따른 길이가 14.4 ㎛ 였다.
그리고, 염화제2철액을 사용하여 메탈 마스크용 기재를 에칭함으로써, 실시예 1 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 195 ㎛ 였다.
도 12 가 나타내는 바와 같이, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께가 극소값 (T1m) 을 갖고, 또한, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께가 극대값 (T2M) 을 갖는 것이 확인되고, 극소값 (T1m) 이 12.5 ㎛ 이고, 극대값 (T2M) 이 17.7 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 70.6 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 6.4 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 42.6 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 41.5 ％ 인 것이 확인되었다.
실시예 1 에서는, 도 5 를 사용하여 먼저 설명한 바와 같이, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 가 대략 5 각형 형상을 갖는 것이 확인되었다. 또, 제 1 마스크 요소 (21) 가 극대값 (T1M) 을 갖는 것이 확인되고, 극대값 (T1m) 은 12.5 ㎛ 인 것 확인되었다. 상기 서술한 바와 같이, 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는 195 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 6.4 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 167.9 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 7.4 ％ 인 것이 확인되었다.
[실시예 2]
인바제이고, 또한, 25 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 1 레지스트 패턴의 치수, 및, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법으로 실시예 2 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 162.5 ㎛ 였다.
제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 162.5 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 25 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 27.9 ㎛ 였다. 또, 제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 53.3 ㎛ 였다.
제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 162.5 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 13.8 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 48.6 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 32.6 ㎛ 이고, 제 2 패턴 요소가 갖는 간극의 길이가 8.6 ㎛ 였다. 즉, 제 2 패턴 요소 중, 제 2 방향을 따라 간극을 두고 위치하는 2 개의 부분의 각각에 있어서, 제 2 방향을 따른 길이가 12.0 ㎛ 였다.
도 12 가 나타내는 바와 같이, 실시예 2 의 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 이 10.4 ㎛ 이고, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 이 14.8 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 70.3 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가, 6.4 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 35.8 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 41.3 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 실시예 2 의 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이, 10.4 ㎛ 인 것이 확인되었다. 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀 (11) 이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는 162.5 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 6.4 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 139.0 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 7.5 ％ 인 것이 확인되었다.
[실시예 3]
인바제이고, 또한, 20 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 1 레지스트 패턴의 치수, 및, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법으로 실시예 3 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 130 ㎛ 였다.
제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 130 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 20 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 22.3 ㎛ 였다. 또, 제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 42.7 ㎛ 였다.
제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 130 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 11 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 38.9 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 26.1 ㎛ 이고, 제 2 패턴 요소가 갖는 간극의 길이가 6.9 ㎛ 였다. 즉, 제 2 패턴 요소 중, 제 2 방향을 따라 간극을 두고 위치하는 2 개의 부분의 각각에 있어서, 제 2 방향을 따른 길이가 9.6 ㎛ 였다.
도 12 가 나타내는 바와 같이, 실시예 3 의 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 이 8.8 ㎛ 이고, 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 이 11.9 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 73.9 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 6.8 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 28.4 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 41.9 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 실시예 3 의 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이, 8.8 ㎛ 인 것이 확인되었다. 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀 (11) 이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는 130 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 6.8 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 112.2 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 7.8 ％ 인 것이 확인되었다.
[비교예 1]
인바제이고, 또한, 30 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 1 레지스트 패턴의 치수, 및, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경하고, 또한, 제 2 패턴 요소로서 간극을 갖지 않는 패턴 요소를 갖는 제 2 레지스트 패턴을 형성한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법으로 비교예 1 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 195 ㎛ 였다.
제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 195 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 27.9 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 36.6 ㎛ 였다. 또, 제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 60.9 ㎛ 였다.
제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 195 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 5.2 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 76.9 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 20.6 ㎛ 였다.
도 13 이 나타내는 바와 같이, 비교예 1 의 증착용 메탈 마스크 (40) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (41) 의 두께가 극소값 (T1m) 을 갖고, 또한, 제 2 마스크 요소 (42) 의 두께가 극대값 (T2M) 을 갖는 것이 확인되고, 극소값 (T1m) 이 9.7 ㎛ 이고, 극대값 (T2M) 이 20.8 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 46.6 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 5.0 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 42.3 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 49.2 ％ 인 것이 확인되었다.
비교예 1 에서는, 실시예 1 과 마찬가지로, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (41) 가 대략 5 각형 형상을 갖는 것이 확인되었다. 또, 제 1 마스크 요소 (41) 가 극대값 (T1M) 을 갖는 것이 확인되고, 극대값 (T1M) 은 9.7 ㎛ 인 것이 확인되었다. 상기 서술한 바와 같이, 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는 195 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 5.0 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 165.9 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 5.8 ％ 인 것이 확인되었다.
[비교예 2]
인바제이고, 또한, 30 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법으로 비교예 2 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 195 ㎛ 였다.
즉, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 195 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 16.5 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 58.3 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 39.2 ㎛ 이고, 제 2 패턴 요소가 갖는 간극의 길이가 14.4 ㎛ 였다. 즉, 제 2 패턴 요소 중, 제 2 방향을 따라 간극을 두고 위치하는 2 개의 부분의 각각에 있어서, 제 2 방향을 따른 길이가 12.4 ㎛ 였다.
도 14 가 나타내는 바와 같이, 비교예 2 의 증착용 메탈 마스크 (50) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (51) 의 두께가 극소값 (T1m) 을 갖고, 또한, 제 2 마스크 요소 (52) 의 두께가 극대값 (T2M) 을 갖는 것이 확인되고, 극소값 (T1m) 이 10.4 ㎛ 이고, 극대값 (T2M) 이 12.7 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 81.9 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 5.3 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 42.6 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 29.8 ％ 인 것이 확인되었다.
비교예 2 에서는, 실시예 1 과 마찬가지로, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (51) 가 대략 5 각형 형상을 갖는 것이 확인되었다. 또, 제 1 마스크 요소 (51) 가 극대값 (T1M) 을 갖는 것이 확인되고, 극대값 (T1m) 은 10.4 ㎛ 인 것 확인되었다. 상기 서술한 바와 같이, 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는 195 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 5.3 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 165.6 ㎛ 이고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 6.3 ％ 인 것이 확인되었다.
[비교예 3]
인바제이고, 또한, 25 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 1 레지스트 패턴의 치수, 및, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경하고, 또한, 제 2 패턴 요소로서 간극을 갖지 않는 패턴 요소를 갖는 제 2 레지스트 패턴을 형성한 것 이외에는, 실시예 2 와 동일한 방법으로 비교예 3 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 162.5 ㎛ 였다.
제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 162.5 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 25 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 30.5 ㎛ 였다. 또, 제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 50.8 ㎛ 였다.
제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 162.5 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 4.3 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 64.1 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 17.2 ㎛ 였다.
도 13 이 나타내는 바와 같이, 비교예 3 의 증착용 메탈 마스크 (40) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (41) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 이 8.0 ㎛ 이고, 제 2 마스크 요소 (42) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 이 17.4 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 46.0 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 4.9 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 35.1 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 49.6 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 비교예 3 의 증착용 메탈 마스크 (40) 에서는, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (41) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이, 8.0 ㎛ 인 것이 확인되었다. 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀 (43) 이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는, 162.5 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 4.9 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 138.5 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 5.8 ％ 인 것이 확인되었다.
[비교예 4]
인바제이고, 또한, 25 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 2 와 동일한 방법으로 비교예 4 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 162.5 ㎛ 였다.
즉, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 162.5 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 13.8 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 48.6 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 32.7 ㎛ 이고, 제 2 패턴 요소가 갖는 간극의 길이가 12.0 ㎛ 였다. 즉, 제 2 패턴 요소 중, 제 2 방향을 따라 간극을 두고 위치하는 2 개의 부분의 각각에 있어서, 제 2 방향을 따른 길이가 10.3 ㎛ 였다.
도 14 가 나타내는 바와 같이, 비교예 4 의 증착용 메탈 마스크 (50) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (51) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 이 8.3 ㎛ 이고, 제 2 마스크 요소 (52) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 이 10.4 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 79.8 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 5.1 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 35.2 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 29.5 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 비교예 4 의 증착용 메탈 마스크 (50) 에서는, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (51) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이, 8.3 ㎛ 인 것이 확인되었다. 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀 (53) 이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는 162.5 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 5.1 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 138.0 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 6.0 ％ 인 것이 확인되었다.
[비교예 5]
인바제이고, 또한, 20 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 1 레지스트 패턴의 치수, 및, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경하고, 또한, 제 2 패턴 요소로서 간극을 갖지 않는 패턴 요소를 갖는 제 2 레지스트 패턴을 형성한 것 이외에는, 실시예 3 과 동일한 방법으로 비교예 5 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 130 ㎛ 였다.
제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 130 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 20 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 24.4 ㎛ 였다. 또, 제 1 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 40.6 ㎛ 였다.
제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 130 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 3.5 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 51.3 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 17.2 ㎛ 였다.
도 13 이 나타내는 바와 같이, 비교예 5 의 증착용 메탈 마스크 (40) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (41) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 이 7.0 ㎛ 이고, 제 2 마스크 요소 (42) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 이 13.7 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 51.1 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가, 5.4 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 27.7 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가, 49.5 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 실시예 5 의 증착용 메탈 마스크 (40) 에서는, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (41) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이, 7.0 ㎛ 인 것이 확인되었다. 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀 (43) 이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는, 130 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 5.4 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 110.6 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 6.3 ％ 인 것이 확인되었다.
[비교예 6]
인바제이고, 또한, 20 ㎛ 의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재를 준비하였다. 또, 제 2 레지스트 패턴의 치수를 이하와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 3 과 동일한 방법으로 비교예 6 의 증착용 메탈 마스크를 얻었다. 제 1 면과 대향하는 평면에서 보았을 때, 제 1 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 1 피치 (P1), 및, 제 2 방향을 따라 복수의 마스크 홀이 위치하는 제 2 피치 (P2) 는 130 ㎛ 였다.
즉, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소가 위치하는 피치가 130 ㎛ 이고, 제 1 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 11.0 ㎛ 이고, 제 2 방향을 따른 제 1 패턴 요소의 길이가 38.9 ㎛ 였다. 또, 제 2 레지스트 패턴에 있어서, 제 2 방향을 따른 제 2 패턴 요소의 길이가 26.1 ㎛ 이고, 제 2 패턴 요소가 갖는 간극의 길이가 9.6 ㎛ 였다. 즉, 제 2 패턴 요소 중, 제 2 방향을 따라 간극을 두고 위치하는 2 개의 부분의 각각에 있어서, 제 2 방향을 따른 길이가 8.3 ㎛ 였다.
도 14 가 나타내는 바와 같이, 비교예 6 의 증착용 메탈 마스크 (50) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (51) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 이 7.3 ㎛ 이고, 제 2 마스크 요소 (52) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 이 8.2 ㎛ 인 것이 확인되었다. 요컨대, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 89.0 ％ 인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 5.6 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 이 28.1 ㎛ 이고, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 29.2 ％ 인 것이 확인되었다.
또한, 비교예 6 의 증착용 메탈 마스크 (50) 에서는, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소 (52) 의 극대값 (T1M) 이, 7.3 ㎛ 인 것이 확인되었다. 제 1 방향 (D1) 을 따라 복수의 마스크 홀 (53) 이 늘어서는 제 1 피치 (P1) 는 130 ㎛ 이기 때문에, 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 5.6 ％ 인 것이 확인되었다.
또, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 은, 110.0 ㎛ 인 것이 확인되고, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비가, 6.6 ％ 인 것이 확인되었다.
[평가]
각 증착용 메탈 마스크가 제조된 직후에 있어서, 제 1 마스크 요소가 이어지는 방향에서의 접힘이 증착용 메탈 마스크에 발생되어 있는지 여부를 평가하였다. 상기 서술한 바와 같이, 각 실시예 및 각 비교예에 있어서, 제 1 방향 (D1) 에 직교하는 방향의 단면에 있어서의 극대값 (T2M), 극소값 (T1m), 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2), 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비, 및, 제 2 피치 (P2) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비는, 이하의 표 1 에 나타내는 값이었다. 또, 각 실시예 및 각 비교예에 있어서, 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서의 극대값 (T1M), 제 1 피치 (P1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1), 및, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 극대값 (T1M) 의 비는, 이하의 표 1 에 나타내는 값이었다.
실시예 1 내지 실시예 3 의 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 방향에서의 접힘이 발생되어 있지 않은 것이 확인되었다. 한편, 비교예 1 의 증착용 메탈 마스크 (40), 비교예 3 의 증착용 메탈 마스크 (40), 및, 비교예 5 의 증착용 메탈 마스크 (40) 에서는, 제 1 마스크 요소 (41) 가 이어지는 방향에서의 접힘이, 증착용 메탈 마스크 (40) 의 거의 전체에 있어서 발생되어 있는 것이 확인되었다. 또, 비교예 2 의 증착용 메탈 마스크 (50), 비교예 4 의 증착용 메탈 마스크 (50), 및, 비교예 6 의 증착용 메탈 마스크 (50) 에서는, 제 1 마스크 요소 (51) 가 이어지는 방향에서의 접힘이, 증착용 메탈 마스크 (50) 의 일부에 있어서 발생되어 있는 것이 확인되었다.
이와 같이, 각 실시예의 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 이상이고, 또한, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이면, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 방향에서의 접힘이 억제되는 것이 확인되었다.
이에 반해, 비교예 1 의 증착용 메탈 마스크 (40), 비교예 3 의 증착용 메탈 마스크 (40), 및, 비교예 5 의 증착용 메탈 마스크 (40) 에서는, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이기는 하지만, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 보다 작다. 그 때문에, 각 증착용 메탈 마스크 (40) 에 있어서, 제 1 마스크 요소 (41) 가 이어지는 부분에서의 강도가, 다른 부분의 강도에 비해, 제 1 마스크 요소 (41) 가 이어지는 부분에 접힘이 집중하는 정도로 작아지고, 결과적으로, 증착용 메탈 마스크 (40) 의 전체에 있어서 접힘이 발생한 것으로 생각된다.
또, 비교예 2 의 증착용 메탈 마스크 (50), 비교예 4 의 증착용 메탈 마스크 (50), 및, 비교예 6 의 증착용 메탈 마스크 (50) 에서는, 극대값 (T2M) 에 대한 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 이상이고, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서의 두께의 편차가 억제되어 있기는 하지만, 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 보다 작다. 그 때문에, 각 증착용 메탈 마스크 (50) 에 있어서, 제 1 마스크 요소 (51) 가 이어지는 부분에서의 강도가, 다른 부분의 강도에 비해, 제 1 마스크 요소 (51) 가 이어지는 부분의 일부에서 접힘이 집중하는 정도로 작아지고, 결과적으로, 증착용 메탈 마스크 (50) 의 일부에 있어서 접힘이 발생한 것으로 생각된다.
이상 설명한 바와 같이, 증착용 메탈 마스크의 일 실시형태에 의하면, 이하에 열거하는 효과를 얻을 수 있다.
(1) 증착용 메탈 마스크 (10) 내에서의 두께의 편차가 억제되기 때문에, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분에 있어서 접힘이 발생하는 것이 억제되는 정도로, 증착용 메탈 마스크 (10) 중에서, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분과, 그 이외의 부분에 있어서의 강도의 차가 억제된다. 그 때문에, 마스크 홀 (11) 이 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘이 증착용 메탈 마스크 (10) 에 발생하는 것이 억제된다.
(2) 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이기 때문에, 각 제 1 마스크 요소 (21) 의 강도가, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서의 다른 부분에 비해, 제 1 마스크 요소 (21) 에 접힘이 집중하지 않는 크기가 된다.
(3) 제 1 피치 (P1) 의 크기가 바뀌어도, 즉, 제 1 피치 (P1) 에 포함되는 공간의 크기가 바뀌어도, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 이 소정의 크기 이상으로 유지된다. 그 때문에, 증착용 메탈 마스크 (10) 중, 제 1 마스크 요소 (21) 에 있어서의 접힘의 발생이 억제된다.
(4) 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께가 12.5 ㎛ 이상으로 확보되는 구성에서는, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분에 있어서의 접힘이 발생하는 것이 억제되는 정도로, 증착용 메탈 마스크 (10) 중에서, 제 1 마스크 요소 (21) 가 이어지는 부분과, 그 이외의 부분에 있어서의 강도의 차가 보다 억제된다.
(5) 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 의 비가 7 ％ 이상이기 때문에, 각 제 1 마스크 요소 (21) 의 강도가, 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서의 다른 부위에 비해, 제 1 마스크 요소 (21) 에 접힘이 보다 집중하지 않는 크기가 된다.
(6) 복수의 마스크 홀 (11) 이 지그재그 배열상으로 늘어서 있는 증착용 메탈 마스크 (10) 에 있어서, 마스크 홀 (11) 이 늘어서는 방향을 따라 이어지는 접힘을 억제할 수 있다.
또한, 상기 서술한 실시형태는, 이하와 같이 적절히 변경하여 실시할 수도 있다.
·도 15 가 나타내는 바와 같이, 증착용 메탈 마스크 (60) 에서는, 제 1 면 (60a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때, 복수의 마스크 홀 (61) 은, 제 1 방향 (D1) 및 제 2 방향 (D2) 을 따라 일정한 피치로 늘어서고, 또한, 각 열을 구성하는 복수의 마스크 홀 (61) 의 제 1 방향 (D1) 에 있어서의 위치가, 모든 열에 있어서 동일해도 된다. 즉, 복수의 마스크 홀 (61) 은, 사방 격자상으로 늘어서도 된다.
이러한 구성이더라도, 제 1 마스크 요소 (62) 에 있어서의 제 1 폭 (W1) 이, 제 2 마스크 요소 (63) 에 있어서의 제 2 폭 (W2) 보다 작으면 된다. 그리고, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소 (63) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 에 대한 제 1 마스크 요소 (62) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 이상이고, 또한, 제 1 개구 (11a) 에서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (63) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이면 된다. 이러한 증착용 메탈 마스크 (60) 에 의하면, 상기 서술한 (1) 및 (2) 와 동등한 효과를 얻을 수는 있다.
·제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 홀 폭 (Wm1) 의 최소값 (Wmm1) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T1M) 의 비가 7 ％ 보다 작아도 된다. 이러한 구성이더라도, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소 (22) 의 극대값 (T2M) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 이상이고, 또한, 제 1 개구 (11a) 에서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이면 된다. 이에 따라, 상기 서술한 (1) 및 (2) 와 동등한 효과를 얻을 수는 있다.
·제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 피치 (P1) 에 대한 제 2 방향 (D2) 과 직교하는 단면에 있어서의 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 6 ％ 보다 작아도 된다. 이러한 구성이더라도, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소 (22) 의 극대값 (T2M) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 이상이고, 또한, 제 1 개구 (11a) 에서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이면 된다. 이에 따라, 상기 서술한 (1) 및 (2) 와 동등한 효과를 얻을 수는 있다.
·제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 1 마스크 요소 (21) 의 두께에 있어서의 극소값 (T1m) 은 12.5 ㎛ 보다 작아도 된다. 이러한 구성이더라도, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 마스크 요소 (22) 의 극대값 (T2M) 에 대한 제 1 마스크 요소 (21) 의 극소값 (T1m) 의 비가 70 ％ 이상이고, 또한, 제 1 개구 (11a) 에서의 제 2 마스크 홀 폭 (Wm2) 의 최소값 (Wmm2) 에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이면 된다. 이에 따라, 상기 서술한 (1) 및 (2) 와 동등한 효과를 얻을 수는 있다.
·마스크 홀 (11) 을 구성하는 제 2 홀 요소 (11d) 를 형성하는 공정은, 제 2 레지스트 패턴 (35) 을 사용하여, 변곡 요소 (dp3) 로 이어지는 제 1 호상 요소 (dp1) 와 제 2 호상 요소 (dp2) 가 동시에 형성되는 공정에 한정되지 않고, 이하의 공정으로 구성되어도 된다. 예를 들어, 제 2 홀 요소 (11d) 를 형성하는 공정에서는, 먼저, 1 개의 제 1 호상 요소 (dp1) 를 사이에 두는 2 개의 제 2 호상 요소 (dp2) 를 형성하기 위한 레지스트 패턴을 메탈 마스크용 기재 (31) 에 위치시킨 후에, 이 레지스트 패턴을 사용하여 메탈 마스크용 기재 (31) 를 에칭한다. 이어서, 에칭에 사용한 레지스트 패턴을 메탈 마스크용 기재 (31) 로부터 박리한 후에, 제 1 호상 요소 (dp1) 를 형성하기 위한 레지스트 패턴을 메탈 마스크용 기재 (31) 에 위치시키고, 이 레지스트 패턴을 사용하여 메탈 마스크용 기재 (31) 를 에칭한다. 이에 따라, 제 2 홀 요소 (11d) 를 형성할 수 있다. 이와 같이, 레지스트 패턴의 형성과 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭을 2 회 반복함으로써 제 2 홀 요소 (11d) 를 형성하는 것이 가능하다.
·마스크 홀 (11) 을 구성하는 제 2 홀 요소 (11d) 는, 레지스트 패턴의 형성과 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭을 3 회 이상 반복함으로써 형성하는 것도 가능하다. 예를 들어, 1 개의 제 2 홀 요소 (11d) 를 구성하는 1 개의 제 1 호상 요소 (dp1) 및 2 개의 제 2 호상 요소 (dp2) 의 각각을 각 다른 레지스트 패턴을 사용하여 형성하는 것이 가능하다. 이 경우에는, 레지스트 패턴의 형성과 메탈 마스크용 기재 (31) 의 에칭이 3 회 반복됨으로써, 제 2 홀 요소 (11d) 를 형성할 수 있다.
·메탈 마스크용 기재 (31) 의 두께는, 20 ㎛ 보다 얇아도 되고, 예를 들어, 10 ㎛ 이상 20 ㎛ 미만이어도 된다. 이러한 메탈 마스크용 기재 (31) 를 사용한 경우에는, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 제 2 면 (31b) 으로부터 에칭하는 것만으로, 원하는 형상을 가진 마스크 홀을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 10 ㎛ 이상 20 ㎛ 미만의 두께를 가진 메탈 마스크용 기재 (31) 는, 20 ㎛ 이상의 두께를 가진 메탈 마스크용 기재 (31) 에 의해 형성하는 것이 가능한 증착용 메탈 마스크 (10) 보다 고정세 (高精細) 인 증착용 메탈 마스크 (10) 를 제조하는 데 있어서 바람직한 기재이다.
이러한 메탈 마스크용 기재 (31) 를 사용한 경우에는, 상기 서술한 증착용 메탈 마스크 (10) 의 제조 방법으로부터, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 1 면 (31a) 에 제 1 레지스트층 (32) 을 형성하는 것, 제 1 레지스트층 (32) 으로부터 제 1 레지스트 패턴 (34) 을 형성하는 것을 생략할 수 있다. 또, 이 경우에는, 제 1 레지스트 패턴 (34) 을 사용하여 메탈 마스크용 기재 (31) 를 에칭하는 것을 생략할 수도 있고, 이에 따라, 제 2 보호층 (36) 을 형성하는 것, 및, 제 1 보호층 (37) 을 형성하는 것도 생략할 수 있다.
이와 같이, 10 ㎛ 이상 20 ㎛ 미만의 두께를 갖는 메탈 마스크용 기재 (31) 를 사용한 경우에는, 이하의 공정을 거침으로써, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 얻을 수 있다. 즉, 메탈 마스크용 기재 (31) 의 제 2 면 (31b) 에 레지스트층을 형성하는 것, 레지스트층으로부터 레지스트 패턴을 형성하는 것, 및, 레지스트 패턴을 사용하여 메탈 마스크용 기재를 에칭함으로써, 증착용 메탈 마스크 (10) 를 제조할 수 있다. 또한, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 증착용 메탈 마스크 (10) 에 가공하는 도중에는, 메탈 마스크용 기재 (31) 를 지지하기 위한 지지 부재를 메탈 마스크용 기재 (31) 에 첩합 (貼合) 해도 된다.
이러한 공정을 거쳐 제조된 증착용 메탈 마스크 (10) 에서는, 제 1 방향 (D1) 과 직교하는 단면에 있어서, 제 2 개구에 있어서의 제 2 마스크 홀 폭이 가장 크고, 제 1 개구에 있어서의 제 2 마스크 홀 폭이 가장 작다. 그리고, 제 2 마스크 홀 폭은, 제 2 개구로부터 제 1 개구를 향해서 점차 작아진다. 그 때문에, 제 1 개구에 있어서의 제 2 마스크 홀 폭에 대한 제 2 마스크 요소 (22) 의 두께에 있어서의 극대값 (T2M) 의 비가 41 ％ 이상이면 된다.
·증착용 메탈 마스크는, 유기 EL 디스플레이의 제조에 사용되는 증착용 메탈 마스크에 한정되지 않고, 다른 표시 디바이스의 제조에 사용되는 증착용 메탈 마스크, 각종 디바이스가 구비하는 배선의 형성이나, 각종 디바이스가 구비하는 기능층 등의 증착에 사용되는 증착용 메탈 마스크여도 된다.
10, 40, 50, 60 : 증착용 메탈 마스크
10a, 31a, 60a : 제 1 면
10b, 31b : 제 2 면
11, 43, 53, 61 : 마스크 홀
11a : 제 1 개구
11b : 제 2 개구
11c : 제 1 홀 요소
11cp : 제 1 내주면
11d : 제 2 홀 요소
11dp : 제 2 내주면
11e : 연속 요소
21, 41, 51, 62 : 제 1 마스크 요소
22, 42, 52, 63 : 제 2 마스크 요소
31 : 메탈 마스크용 기재
32 : 제 1 레지스트층
33 : 제 2 레지스트층
34 : 제 1 레지스트 패턴
34a, 35a : 제 1 패턴 요소
34b, 35b : 제 2 패턴 요소
35 : 제 2 레지스트 패턴
35c : 간극
36 : 제 2 보호층
37 : 제 1 보호층
cp1, dp1 : 제 1 호상 요소
dp2 : 제 2 호상 요소
dp3 : 변곡 요소
R1 : 마스크 영역
R2 : 주변 영역
10a, 31a, 60a : 제 1 면
10b, 31b : 제 2 면
11, 43, 53, 61 : 마스크 홀
11a : 제 1 개구
11b : 제 2 개구
11c : 제 1 홀 요소
11cp : 제 1 내주면
11d : 제 2 홀 요소
11dp : 제 2 내주면
11e : 연속 요소
21, 41, 51, 62 : 제 1 마스크 요소
22, 42, 52, 63 : 제 2 마스크 요소
31 : 메탈 마스크용 기재
32 : 제 1 레지스트층
33 : 제 2 레지스트층
34 : 제 1 레지스트 패턴
34a, 35a : 제 1 패턴 요소
34b, 35b : 제 2 패턴 요소
35 : 제 2 레지스트 패턴
35c : 간극
36 : 제 2 보호층
37 : 제 1 보호층
cp1, dp1 : 제 1 호상 요소
dp2 : 제 2 호상 요소
dp3 : 변곡 요소
R1 : 마스크 영역
R2 : 주변 영역
Claims (5)
- 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향을 따라 늘어서는 복수의 마스크 홀을 구비하는 증착용 메탈 마스크로서,
상기 증착용 메탈 마스크는, 제 1 면과 제 2 면을 구비하고,
각 상기 마스크 홀은, 상기 제 1 면에 개구한 제 1 개구와, 상기 제 2 면에 개구한 제 2 개구를 갖고,
상기 각 마스크 홀을 구획하는 상기 증착용 메탈 마스크의 요소는,
상기 제 1 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 1 마스크 요소와, 상기 제 2 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 2 마스크 요소로 구성되고,
상기 제 1 마스크 요소와 상기 마스크 홀이, 상기 제 1 방향을 따라 1 개씩 번갈아 반복되고, 또한, 상기 제 2 마스크 요소와 상기 마스크 홀이, 상기 제 2 방향을 따라 1 개씩 번갈아 반복되고,
상기 제 1 마스크 요소가 상기 제 1 방향을 따라 갖는 폭은, 상기 제 2 마스크 요소가 상기 제 2 방향을 따라 갖는 폭보다 작고,
상기 제 1 방향과 직교하는 단면 (斷面) 에 있어서, 상기 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값에 대한 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극소값의 비가, 70 ％ 이상이고,
상기 각 마스크 홀에 있어서, 상기 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 마스크 홀의 폭이 마스크 홀 폭이고, 상기 제 1 개구에서의 상기 마스크 홀 폭이, 상기 제 2 개구에서의 상기 마스크 홀 폭보다 작고,
상기 제 1 개구로부터 상기 제 2 개구까지의 사이에 있어서의 상기 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 상기 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 상기 극대값의 비가, 41 ％ 이상이고,
복수의 상기 마스크 홀은, 상기 제 1 방향을 따라 일정한 피치로 늘어서고,
상기 피치에 대한 극대값의 비가 6 ％ 이상이고, 당해 극대값은, 상기 제 2 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값인
증착용 메탈 마스크. - 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향을 따라 늘어서는 복수의 마스크 홀을 구비하는 증착용 메탈 마스크로서,
상기 증착용 메탈 마스크는, 제 1 면과 제 2 면을 구비하고,
각 상기 마스크 홀은, 상기 제 1 면에 개구한 제 1 개구를 포함하는 제 1 홀 요소와, 상기 제 2 면에 개구한 제 2 개구를 포함하는 제 2 홀 요소를 갖고,
상기 각 마스크 홀을 구획하는 상기 증착용 메탈 마스크의 요소는,
상기 제 1 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 1 마스크 요소와, 상기 제 2 방향에 있어서 서로 대향하는 2 개의 제 2 마스크 요소로 구성되고,
상기 제 1 마스크 요소와 상기 마스크 홀이, 상기 제 1 방향을 따라 1 개씩 번갈아 반복되고, 또한, 상기 제 2 마스크 요소와 상기 마스크 홀이, 상기 제 2 방향을 따라 1 개씩 번갈아 반복되고,
상기 제 1 마스크 요소가 상기 제 1 방향을 따라 갖는 폭은, 상기 제 2 마스크 요소가 상기 제 2 방향을 따라 갖는 폭보다 작고,
상기 각 마스크 홀에 있어서, 상기 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 마스크 홀의 폭이 마스크 홀 폭이고, 상기 제 1 개구에서의 상기 마스크 홀 폭이, 상기 제 2 개구에서의 상기 마스크 홀 폭보다 작고,
상기 제 1 홀 요소와 상기 제 2 홀 요소가 이어지는 부분이 연속 요소이고, 상기 제 1 홀 요소에 있어서의 상기 마스크 홀 폭은, 상기 제 1 개구에 있어서 가장 크고, 상기 연속 요소를 향해서 점차 작아지고, 또한, 상기 제 2 홀 요소에 있어서의 상기 마스크 홀 폭은, 상기 제 2 개구에 있어서 가장 크고, 상기 연속 요소를 향해서 점차 작아지고,
상기 제 2 홀 요소를 구획하는 면이 제 2 내주면이고, 상기 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서, 상기 제 2 내주면 중에서, 상기 각 제 2 마스크 요소에 속하는 부분은, 제 1 호상 (弧狀) 요소와, 제 2 호상 요소와, 상기 제 1 호상 요소와 상기 제 2 호상 요소가 연결되는 변곡 요소로 구성되고,
상기 제 1 호상 요소와 상기 제 2 호상 요소는, 각 호상 요소에 있어서의 곡률의 중심이 상기 증착용 메탈 마스크의 외측에 위치하는 곡률을 갖고,
상기 제 1 방향과 직교하는 단면에 있어서, 상기 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값에 대한 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극소값의 비가, 70 ％ 이상이고,
상기 제 1 개구로부터 상기 제 2 개구까지의 사이에 있어서의 상기 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 상기 제 2 마스크 요소의 두께에 있어서의 상기 극대값의 비가, 41 ％ 이상인,
증착용 메탈 마스크. - 제 2 항에 있어서,
복수의 상기 마스크 홀은, 상기 제 1 방향을 따라 일정한 피치로 늘어서고,
상기 피치에 대한 극대값의 비가 6 ％ 이상이고, 당해 극대값은, 상기 제 2 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값인
증착용 메탈 마스크. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 마스크 홀에 있어서, 상기 마스크 홀 폭이 상기 제 2 방향을 따른 마스크 홀 폭인 제 2 마스크 홀 폭이고, 상기 제 2 방향과 직교하는 단면에 있어서의 상기 마스크 홀의 폭이 상기 제 1 방향을 따른 마스크 홀 폭인 제 1 마스크 홀 폭이고, 상기 제 1 개구에서의 상기 제 1 마스크 홀 폭이, 상기 제 2 개구에서의 상기 제 1 마스크 홀 폭보다 작고,
상기 제 1 개구로부터 상기 제 2 개구까지의 사이에 있어서의 상기 제 1 마스크 홀 폭의 최소값에 대한 상기 제 1 마스크 요소의 두께에 있어서의 극대값의 비가, 7 ％ 이상인
증착용 메탈 마스크. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 증착용 메탈 마스크가 넓어지는 방향과 직교하는 방향에서 보아, 복수의 상기 마스크 홀은 지그재그 배열상으로 늘어서 있는
증착용 메탈 마스크.
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