TWI486465B - 遮罩以及有機發光材料層的製作方法 - Google Patents

Description

遮罩以及有機發光材料層的製作方法

本發明是有關於一種遮罩以及一種發光材料層的製作方法，且特別是有關於一種具有多個開口列的遮罩以及一種使用該遮罩的有機發光材料層的製作方法。

在現行圖案化製程中，常藉由遮罩搭配鍍膜製程來形成圖案化膜層。以用來形成有機發光材料層的遮罩為例，遮罩包括遮罩主體以及配置於遮罩主體中的多個長條狀開口，該些長條狀開口在行方向上排列且各長條狀開口幾乎延伸至遮罩主體的邊緣。當搭配蒸鍍製程時，可經由遮罩的每個長條狀開口蒸鍍出一個長條狀單色圖案，因此製作出包括交替排列的多色圖案的有機發光層。

然而，當遮罩具有如上述之多個開口時，位於中央處的遮罩主體容易因外部拉力及其整體重量而下垂，使得中央處的遮罩主體相較於周邊處的遮罩主體與待鍍物的距離不同。如此一來，導致蒸鍍出來的長條狀單色圖案會有中央寬於兩側的失真形狀，影響圖案的均勻性與精確度。

為解決上述問題，有人提出以多個長度較短但彼此緊鄰的開口來替代單一個長條形開口，使得開口之間具有提供支撐性的遮罩主體，進而避免遮罩發生上述下垂或變形等情況。然而，由於這些開口之間具有遮罩主體，因此經由這些開口蒸鍍出來的多個圖案之間會具有間隙，導致圖 案無法緊密接續配置。如此一來，將此遮罩用於製作有機發光層時，多個單色圖案之間會有顯著的間隙存在，可能影響有機發光裝置的光學品質。

本發明提供一種遮罩，其具有穩固的結構且能用以形成多個緊密接續配置的圖案。

本發明提供一種有機發光材料層的製作方法，其中有機發光材料層包括藉由上述遮罩製作的緊密接續配置的單色圖案。

本發明提出一種遮罩，包括多個第一開口列以及多個第二開口列。各第一開口列包括排成一列的多個第一開口。位於不同第一開口列中的第一開口在行方向上對齊，其中各第一開口具有第一長度，位於同一列的兩相鄰第一開口之間具有第一間距。各第二開口列包括排成一列的多個第二開口。位於不同第二開口列中的第二開口在行方向上對齊，其中各第二開口具有第二長度，位於同一列的兩相鄰第二開口之間具有第二間距。第一開口列與第二開口列交替設置且任一第二開口列位於兩相鄰第一開口列之間，第一開口與第二開口在列方向上交錯。

在本發明之一實施例中，上述之第一間距等於或大於第二長度，第二間距等於或大於第一長度。

在本發明之一實施例中，上述之第一開口具有第一寬度。第二開口列相對於第一開口列於列方向上偏移第一距 離。第一距離大於或等於第一長度，且第一距離小於或等於第一長度加上第一間距與第二長度之差。第二開口列相對於第一開口列於行方向上偏移第二距離。第二距離大於或等於三倍的第一寬度。

本發明提出一種遮罩，包括多個第一開口列以及多個第二開口列。各第一開口列包括排成一列的多個第一開口。位於不同第一開口列中的第一開口在行方向上對齊，其中各第一開口具有第一長度，位於同一列的兩相鄰第一開口之間具有第一間距。各第二開口列包括排成一列的多個第二開口。位於不同第二開口列中的第二開口在行方向上對齊，其中各第二開口具有第二長度，位於同一列的兩相鄰第二開口之間具有第二間距。第一開口列與第二開口列交替設置且任一第二開口列位於兩相鄰第一開口列之間，第一開口與第二開口在列方向上至少部分重疊。

在本發明之一實施例中，上述之第一開口具有第一寬度。第二開口列相對於第一開口列於列方向上偏移第一距離。第一距離小於第一長度。第二開口列相對於第一開口列於行方向上偏移第二距離，第二距離大於或等於三倍的第一寬度。

本發明更提出一種有機發光材料層的製作方法。此製作方法包括於基板上形成第一顏色圖案，此步驟如下所述。首先，提供基板，基板包括多個第一區域，各第一區域包括在列方向上交替配置的多個第一次區域與多個第二次區域。第一次區域與第二次區域之間具有間隙或緊密連 接。接著，於基板上提供前述的遮罩。第一開口與第二開口暴露出第一次區域。第二次區域被遮罩遮蔽。然後，經由第一開口與第二開口，於基板的各第一次區域上形成第一次圖案。而後，於各第二次區域上形成第二次圖案，其中第一次圖案與第二次圖案之間具有間隙或緊密連接。第一顏色圖案包括第一次圖案與第二次圖案。

在本發明之一實施例中，上述之於各第二次區域上形成第二次圖案的步驟如下所述。首先，移動遮罩，使遮罩的第一開口與第二開口暴露出第二次區域，且位於第一次區域的第一次圖案被遮罩遮蔽。接著，經由第一開口與第二開口，於基板的各第二次區域上形成第二次圖案。

在本發明之一實施例中，上述之於各第二次區域上形成第二次圖案的步驟如下所述。首先，移除遮罩。接著，於基板上提供前述的另一遮罩，此遮罩的第一開口與第二開口暴露出第二次區域，且位於第一次區域的第一次圖案被遮罩遮蔽。然後，經由第一開口與第二開口，於基板的各第二次區域上形成第二次圖案。

在本發明之一實施例中，上述之有機發光材料層的製作方法更包括於基板上形成第二顏色圖案，此步驟如下所述。首先，提供基板，基板包括多個第二區域，各第二區域包括在列方向上交替配置的多個第三次區域與多個第四次區域。第三次區域與第四次區域之間具有間隙或緊密連接。接著，於基板上提供前述之遮罩。第一開口與第二開口暴露出第三次區域。第四次區域被遮罩遮蔽。然後，經 由第一開口與第二開口，於基板的各第三次區域上形成一第三次圖案。而後，於各第四次區域上形成第四次圖案，其中第三次圖案與第四次圖案之間具有間隙或緊密連接。第二顏色圖案包括第三次圖案與第四次圖案。

在本發明之一實施例中，上述之間隙的大小為第一間距與第一長度之差值的二分之一。

基於上述，本發明的遮罩具有交替設置的多個第一開口列以及多個第二開口列，位於同一列的相鄰兩個開口之間具有一定的間距，而且第一開口與第二開口於列方向上交錯或重疊設置。在一實施例中，藉由使用多個上述遮罩或移動上述遮罩來進行多次蒸鍍製程，能製作出緊密接續配置的多個單色次圖案，進而形成由該些單色次圖案所構成的單色圖案，以及由多個單色圖案構成的有機發光材料層。由於本發明之遮罩具有不易變形的穩固結構，因此透過本發明之遮罩所製作的有機發光材料層的單色圖案具有緊密接續配置、高均勻度以及高精確度的優點。

為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1至圖7B是依照本發明實施例中的遮罩的上視示意圖。首先，請參照圖1，遮罩100包括多個第一開口列110以及多個第二開口列120。第一開口列110與第二開口列120交替設置。換言之，任一第二開口列120例如是位 於兩相鄰的第一開口列110之間，任一第一開口列110例如是位於兩相鄰的第二開口列120之間。

各第一開口列110包括在列方向D1上排成一列的多個第一開口112。位於不同第一開口列110中的第一開口112在行方向D2上對齊。第一開口112具有第一長度d1，位於同一列的兩個相鄰的第一開口112之間具有第一間距d2。在本實施例中，第一開口112例如是具有第一寬度w1。

各第二開口列120包括在列方向D1上排成一列的多個第二開口122。位於不同第二開口列120中的第二開口122在行方向D2上對齊。第二開口122具有第二長度d3，位於同一列的兩個相鄰的第二開口122之間具有第二間距d4。在本實施例中，第二開口122例如是具有第二寬度w2。

在本實施例中，第一開口112與第二開口122在列方向D1上交錯，第一開口112之間的第一間距d2等於或大於第二長度d3，第二間距d4等於或大於第一長度d1。因此，以列方向D1來看，位於同一列的兩個相鄰第一開口112之間配置有一個第二開口122，位於同一列的兩個相鄰第二開口122之間配置有一個第一開口112，且第一開口112與第二開口122在列方向D1上不重疊。因此，以整體觀之，第一開口112與第二開口122例如是呈千鳥格狀排列。

在本實施例中，是以第一間距d2大於第二長度d3以及第二間距d4大於第一長度d1為例，也就是第一間距d2與第二長度d3之間具有第一距離差△d1，第二間距d4與 第一長度d1之間具有第二距離差△d2。因此，第一開口112與第二開口122在列方向D1上不會剛好切齊。第一距離差△d1例如是小於100 μm。第二距離差△d2例如是小於100 μm。在本實施例中，是以第一開口112的第一長度d1等於第二開口122的第二長度d3，第一間距d2等於第二間距d4為例，因此第一開口112與第二開口122例如是具有相同尺寸且具有尺寸相同的間距，且第一距離差△d1例如是等於第二距離差△d2，但本發明不以此為限。

以另一觀點來看，當第一開口112與第二開口122在列方向D1上交錯時，表示遮罩100的第二開口列120是相對第一開口列110於列方向D1上偏移一段第一距離x，其中第一距離x具有d1≦x≦(d1+△d1)的關係。在本實施例中，是以d1<x<(d1+△d1)且x=d1+1/2(△d1)為例，但在其他實施例中，x也可以等於d1、d1+△d1或位於上述兩者之間的其他值，也就是第二開口列120是相對第一開口列110於列方向D1上偏移第一長度d1或第一長度d1加上第一距離差△d1的距離或兩者之間的任意距離。再者，在本實施例中，第一開口112的第一寬度w1例如是等於第二開口122的第二寬度w2，且遮罩100的第二開口列120是相對第一開口列110於行方向D2上偏移一段第二距離y，第二距離y例如是實質上大於或等於三倍的第一寬度w1。

在本實施例中，是以第一間距d2大於第二長度d3以及第二間距d4大於第一長度d1為例，但在另一實施例中， 如圖2之遮罩100a所示，第一間距d2也可以等於第二長度d3以及第二間距d4也可以等於第一長度d1，也就是說，第一間距d2與第二長度d3之間的第一距離差△d1例如是等於0，第二間距d4與第一長度d1之間的第二距離差△d2例如是等於0。如此一來，第二開口列120是相對第一開口列110於列方向D1上偏移的第一距離x等於第一長度d1，使得第一開口112與第二開口122在列方向D1上剛好切齊。

再者，在又一實施例中，如圖3之遮罩100b所示，第一開口112的第一長度d1也可以大於第二開口122的第二長度d3。具體而言，第一開口112的第一長度d1可以等於第二開口122的第二長度d3，或是，第一開口112的第一長度d1也可以不等於第二開口122的第二長度d3，本發明並未對第一開口112與第二開口122的尺寸進行限制，只要第一開口112與第二開口122在列方向D1上交錯時，第一開口112之間的第一間距d2等於或大於第二長度d3，第二間距d4等於或大於第一長度d1即可。

圖4是依照本發明另一實施例的遮罩的上視示意圖。本實施例的遮罩100c與圖1的遮罩100的構件相同，其不同處在於第一開口112與第二開口122在列方向D1上至少部份重疊，以下針對不同處進行說明。請參照圖4，在本實施例中，遮罩100c的第一開口112與第二開口122在列方向D1上至少部份重疊，其中第一開口112之間的第一間距d2等於或大於第二長度d3，第二間距d4等於或 大於第一長度d1。

第一開口112與第二開口122在列方向D1上重疊表示第一開口112與第二開口122可以是在列方向D1上部份重疊或完全重疊。若以第一開口列110為基準點來看，第二開口列120是相對第一開口列110實質上於列方向D1上偏移第一距離x，使得第一開口112與第二開口122在列方向D1上至少部份重疊，其中0≦x<d1。在本實施例中，是以第一開口112與第二開口122是在列方向D1上部份重疊，因此(d1-d3)<x<d1。在本實施例中，是以第一開口112的第一長度d1大於第二開口122的第二長度d3，第一間距d2小於第二間距d4為例，但本發明不以此為限。換言之，第一開口112的第一長度d1也可以等於第二開口122的第二長度d3。在本實施例中，第一開口列110與第二開口列120在行方向D2上的第二距離y例如是實質上大於或等於三倍的第一寬度w1。

如圖5所示，在另一實施例之遮罩100d中，第一開口112與第二開口122在列方向D1上可以完全重疊為例，也就是第二開口列120相對第一開口列110實質上於列方向D1上未偏移，即上述關係式0≦x<d1中x=0的情況。再者，在上述實施例中，是以第一間距d2大於第二長度d3以及第二間距d4大於第一長度d1為例。

在另一實施例中，如圖6之遮罩100e所示，第一間距d2也可以等於第二長度d3以及第二間距d4也可以等於第一長度d1。

在又一實施例中，如圖7之遮罩100f所示，第一開口112的第一長度d1也可以大於第二開口122的第二長度d3。

換言之，本發明未對第一開口112與第二開口122的尺寸進行限制，只要第一開口112與第二開口122在列方向D1上重疊時，第一開口112之間的第一間距d2等於或大於第二長度d3，第二間距d4等於或大於第一長度d1即可。再者，在上述的實施例中都是以第二開口列120相對第一開口列110實質上於列方向D1上未偏移為例，但當d1≧d3時，第二開口列120也以是相對第一開口列110偏移x，其中x≦(d1-d3)，如圖7B所示。

在上述的實施例中，由於位於同一列的相鄰兩開口112、122之間具有一定的間距d1、d2，因此開口112、122之間具有提供支撐性的遮罩主體。如此一來，遮罩100~100f具有穩固的結構，能避免架設遮罩100~100f時所產生的中央處下垂或變形的情況。因此，藉由此遮罩的開口所形成的圖案具有較佳的均勻度與精確度。再者，由於第一開口112與第二開口122在列方向D1上交錯或重疊，因此藉由使用多個此遮罩或移動此遮罩來進行多次蒸鍍製程，能製作出緊密接續配置的多個次圖案。這些所形成的次圖案之間不具有間隙或者是具有實質上可忽略的間隙，因此能拼接成諸如長條狀等所需形狀的圖案。

以下將使用前述實施例的遮罩來進行有機發光材料層的製作。

圖8A至圖8M是依照本發明一實施例的有機發光材料層的製作流程示意圖。請參照圖8A，首先，提供基板200。基板200包括多個第一區域210，各第一區域210包括在列方向D1上交替配置的多個第一次區域210a與多個第二次區域210b，第一次區域210a與第二次區域210b之間例如是具有間隙d。在本實施例中，基板200例如是更包括多個第二區域220與多個第三區域230，其中第一區域210、第二區域220以及第三區域230在行方向D2上交替配置。

須說明的是，基板200在此是指用來承載有機發光材料層300的待鍍基板，因此基板200可以例如是有機發光元件中的電極層，本發明不加以限制。

請參照圖8B，接著，於基板200上提供遮罩100，遮罩100的結構可以參照前文所述，於此不贅述。遮罩100的第一開口112與第二開口122暴露出第一次區域210a，並且將第二次區域210b遮蔽。必須說明的是，雖然在本實施例中是以使用遮罩100為例來進行有機發光材料層的製作，但在其他實施例中，也可以使用諸如前述的其他遮罩100a~100f或具有前述特性之其他遮罩來製作有機發光材料層。

請參照圖8C，然後，經由第一開口112與第二開口122，於基板200的各第一次區域210a上形成第一次圖案310a。其中，第一次圖案310a的形成方法例如是鍍膜製程。第一次圖案310a例如是紅色次圖案、綠色次圖案或藍 色次圖案。

請同時參照圖8C以及圖8D，而後，對遮罩100進行移動程序M，使遮罩100的第一開口112與第二開口122例如是暴露出第二次區域210b。而且，遮罩100遮蔽位於第一次區域210a的第一次圖案310a。必須說明的是，在本實施例中，移動程序M例如是將遮罩100往右移動的橫向移動，以使遮罩100的第一開口112與第二開口122暴露出第二次區域210b，而且使遮罩100遮蔽位於第一次區域210a的第一次圖案310a。以另一觀點來看，由於移動程序M例如是將遮罩100往右移動的橫向移動，因此在移動遮罩100之前，遮罩100例如是暴露出基板200的右側區域，在移動遮罩100之後，遮罩100例如是暴露出基板200的左側區域。然而，本發明不限於此。在其他實施例中，移動程序M也可以例如是將遮罩100往上或往下移動的縱向移動，或是先橫向移動後再縱向移動，或是先縱向移動後再橫向移動、或是直接移動到所欲對準的區域。換言之，本發明並不限定移動程序M的移動方式，只要能使遮罩100的第一開口112與第二開口122暴露出第二次區域210b，而且使遮罩100遮蔽位於第一次區域210a的第一次圖案310a即可。

請參照圖8E，接著，經由遮罩100的第一開口112與第二開口114，於基板200的各第二次區域210b上形成第二次圖案310b。

請參照圖8F，之後，移除遮罩100，以完成第一顏色 圖案310的製作。在本實施例中，第一次圖案310a與第二次圖案310b之間例如是具有間隙d。第二次圖案310b的形成方法例如是鍍膜製程，第二次圖案310b的顏色例如是與第一次圖案310a的顏色相同。第一次圖案310a以及第二次圖案310b構成第一顏色圖案310。第一顏色圖案310例如是紅色圖案、綠色圖案或藍色圖案，且第一顏色圖案310例如是長條狀圖案。換言之，第一次圖案310a以及第二次圖案310b例如是構成具有間隙d的第一顏色圖案310。

在本實施例中，是藉由移動同一張遮罩100來形成第一顏色圖案310。在形成第二次圖案310b時，例如是將遮罩100移動至適當的位置，並使遮罩100暴露出第二次區域210b，以進行後續的製程。然而，本發明不限於此。在另一實施例中，也可以使用另一與遮罩100的開口圖案互補的遮罩來形成第二次圖案310b。

在本實施例中，第一次圖案310a與第二次圖案310b之間的間隙d大小可透過遮罩100的第一開口112的第一長度d1以及第一開口112之間的第一間距d2來決定。舉例而言，間隙d大小例如是具有以下關係：d=(d2-d1)/2

當第一間距d2大於第一長度d1時，第一顏色圖案310例如是具有間隔的圖案。然而，本發明不限於此。在其他實施例中，第一顏色圖案310也可以是連續性的圖案。舉例來說，當第一間距d2等於第一長度d1時，第一次圖案 310a與第二次圖案310b之間的間距為零且緊密連接。如此一來，便形成緊密接續配置的多個第一次圖案310a以及多個第二次圖案310b，這些第一次圖案310a以及第二次圖案310b可拚接成諸如長條狀的第一顏色圖案310。

再者，本實施例之有機發光材料層300的製作方法可以更包括形成第二顏色圖案320。請參照圖8G，首先，提供前述基板200。基板200包括多個第二區域220，各第二區域220包括在列方向D1上交替配置的多個第三次區域220a與多個第四次區域220b，第三次區域220a與第四次區域220b之間例如是具有間隙d。

請參照圖8H，接著，於基板200上提供遮罩100，以使遮罩100的第一開口112與第二開口122暴露出第三次區域220a，並且將第四次區域220b遮蔽。

請參照圖8I，然後，經由第一開口112與第二開口122，於基板200的各第三次區域220a上形成第三次圖案320a。其中，第三次圖案320a的形成方法例如是鍍膜製程。第三次圖案320a例如是紅色次圖案、綠色次圖案或藍色次圖案。而後，對遮罩100進行移動程序M。

請參考圖8J，移動程序M例如是移動遮罩100，使遮罩100的第一開口112與第二開口122例如是暴露出第四次區域220b。而且，遮罩100遮蔽位於第三次區域220a的第三次圖案320a。在本實施例中，移動程序M例如是將遮罩100往右移動的橫向移動，因此在移動遮罩100之前，遮罩100例如是暴露出基板200的右側區域，在移動 遮罩100之後，遮罩100例如是暴露出基板200的左側區域。必須說明的是，本發明不限定移動程序M的移動方式，只要能使遮罩100的第一開口112與第二開口122暴露出第四次區域220b，而且使遮罩100遮蔽位於第三次區域220a的第三次圖案320a即可。

請參照圖8K，接著，經由遮罩100的第一開口112與第二開口114，於基板200的各第四次區域220b上形成第四次圖案320b。

請參照圖8L，之後，移除遮罩100，以完成第二顏色圖案320的製作。在本實施例中，第三次圖案320a與第四次圖案320b之間例如是具有間隙d。第四次圖案320b的形成方法例如是鍍膜製程，第四次圖案320b的顏色例如是與第三次圖案320a的顏色相同。第三次圖案320a以及第四次圖案320b構成第二顏色圖案320。第二顏色圖案320與第一顏色圖案310的顏色例如是不同，其例如是紅色圖案、綠色圖案或藍色圖案，且第二顏色圖案320例如是長條狀圖案。換言之，第三次圖案320a以及第四次圖案320b例如是構成具有間隙d的第二顏色圖案320。

此外，本實施例有機發光材料層300的製作方法可以更包括形成第三顏色圖案330。第三顏色圖案330的形成方法例如是進行與圖8A至圖8F或是與圖8G至圖8L相似的步驟，以完成如圖8M所示的第三顏色圖案330。詳言之，第三顏色圖案330包括第五次圖案330a與第六次圖案330b，第五次圖案330a與第六次圖案330b之間例如是 具有間隙d。第六次圖案330b的形成方法例如是鍍膜製程，第六次圖案330b的顏色與第五次圖案330a的顏色相同。第一顏色圖案310、第二顏色圖案320以及第三顏色圖案330的顏色例如是不同，第三顏色圖案330例如是紅色圖案、綠色圖案或藍色圖案，且第三顏色圖案330例如是長條狀圖案。換言之，第五次圖案330a以及第六次圖案330b例如是構成具有間隙d的第三顏色圖案330。

在本實施例中，有機發光材料層300例如是由第一顏色圖案310、第二顏色圖案320以及第三顏色圖案330所構成。然而，本發明不限於此。在其他實施例中，有機發光材料層300也可以例如是由一種顏色圖案、兩種顏色圖案或三種以上的顏色圖案所組成，本發明不加以限制。

在本實施例中，例如是透過對遮罩100進行移動程序M，來形成第二次圖案310b。然而，本發明不限於此。在其他實施例中，也可以是透過提供另一與遮罩100的開口圖案互補的遮罩，來形成第二次圖案310b。具體而言，另一遮罩的結構與遮罩100a實質上相同，但另一遮罩的開口圖案與遮罩100a的開口圖案互補，也就是說，另一遮罩的第一開口112對應地位於遮罩100a的第一開口112之間的遮罩主體處，另一遮罩的第二開口122對應地位於遮罩100a的第二開口122之間的遮罩主體處。

綜上所述，本發明的遮罩具有交替設置的多個第一開口列以及多個第二開口列，位於同一列的相鄰兩個開口之間具有一定的間距，而且第一開口與第二開口於列方向上 交錯或重疊設置。在一實施例中，藉由使用多個上述遮罩或移動上述遮罩來進行多次蒸鍍製程，能製作出具有間距或是緊密接續配置的多個單色次圖案，進而形成由該些單色次圖案所構成的單色圖案，以及由多個單色圖案構成的有機發光材料層。此外，由於本發明之遮罩具有不易變形的穩固結構，因此透過本發明之遮罩所製作的有機發光材料層的單色圖案具有緊密接續配置、高均勻度以及高精確度的優點。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100、100a、100b、100c、100d、100e、100f‧‧‧遮罩

110‧‧‧第一開口列

112‧‧‧第一開口

120‧‧‧第二開口列

122‧‧‧第二開口

200‧‧‧基板

210‧‧‧第一區域

210a‧‧‧第一次區域

210b‧‧‧第二次區域

220‧‧‧第二區域

220a‧‧‧第三次區域

220b‧‧‧第四次區域

230‧‧‧第三區域

300‧‧‧有機發光材料層

310‧‧‧第一顏色圖案

310a‧‧‧第一次圖案

310b‧‧‧第二次圖案

320‧‧‧第二顏色圖案

320a‧‧‧第三次圖案

320b‧‧‧第四次圖案

330‧‧‧第三顏色圖案

330a‧‧‧第五次圖案

330b‧‧‧第六次圖案

d‧‧‧間隙

d1‧‧‧第一長度

d2‧‧‧第一間距

d3‧‧‧第二長度

d4‧‧‧第二間距

D1‧‧‧列方向

D2‧‧‧行方向

M‧‧‧移動程序

w1‧‧‧第一寬度

w2‧‧‧第二寬度

x‧‧‧第一距離

y‧‧‧第二距離

圖1是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖2是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖3是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖4是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖5是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖6是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖7A是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖7B是依照本發明一實施例的遮罩的上視示意圖。

圖8A至圖8M是依照本發明一實施例的有機發光材料層的製作流程示意圖。

100a‧‧‧遮罩

110‧‧‧第一開口列

112‧‧‧第一開口

120‧‧‧第二開口列

122‧‧‧第二開口

d1‧‧‧第一長度

d2‧‧‧第一間距

d3‧‧‧第二長度

d4‧‧‧第二間距

D1‧‧‧列方向

D2‧‧‧行方向

x‧‧‧第一距離

y‧‧‧第二距離

w1‧‧‧第一寬度

w2‧‧‧第二寬度

Claims (10)

1. 一種遮罩，包括：多個第一開口列，各該第一開口列包括排成一列的多個第一開口，位於不同第一開口列中的該些第一開口在行方向上對齊，其中各該第一開口具有一第一長度，位於同一列的兩相鄰的該些第一開口之間具有一第一間距；以及多個第二開口列，各該第二開口列包括排成一列的多個第二開口，位於不同第二開口列中的該些第二開口在行方向上對齊，其中各該第二開口具有一第二長度，位於同一列的兩相鄰的該些第二開口之間具有一第二間距，該些第一開口列與該些第二開口列交替設置且任一該第二開口列位於兩相鄰的該些第一開口列之間，該些第一開口與該些第二開口在列方向上交錯，其中該第一開口具有一第一寬度，該第二開口列相對於該第一開口列於行方向上偏移一第二距離，該第二距離大於或等於三倍的該第一寬度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩，其中該第一間距等於或大於該第二長度，該第二間距等於或大於該第一長度。
3. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩，其中該第二開口列相對於該第一開口列於列方向上偏移一第一距離，該第一距離大於或等於該第一長度，且該第一距離小於或等於該第一長度加上該第一間距與該第二長度之差。
4. 一種遮罩，包括： 多個第一開口列，各該第一開口列包括排成一列的多個第一開口，位於不同第一開口列中的該些第一開口在行方向上對齊，其中各該第一開口具有一第一長度，位於同一列的兩相鄰的該些第一開口之間具有一第一間距；以及多個第二開口列，各該第二開口列包括排成一列的多個第二開口，位於不同第二開口列中的該些第二開口在行方向上對齊，其中各該第二開口具有一第二長度，位於同一列的兩相鄰的該些第二開口之間具有一第二間距，該些第一開口列與該些第二開口列交替設置且任一該第二開口列位於兩相鄰的該些第一開口列之間，該些第一開口與該些第二開口在列方向上至少部分重疊，其中該第一間距等於或大於該第二長度，以及該第二間距等於或大於該第一長度。
5. 如申請專利範圍第4項所述之遮罩，其中該第一開口具有一第一寬度，該第二開口列相對於該第一開口列於列方向上偏移一第一距離，該第一距離小於該第一長度，該第二開口列相對於該第一開口列於行方向上偏移一第二距離，該第二距離大於或等於三倍的該第一寬度。
6. 一種有機發光材料層的製作方法，包括：於一基板上形成一第一顏色圖案，包括：提供該基板，該基板包括多個第一區域，各該第一區域包括在列方向上交替配置的多個第一次區域與多個第二次區域，該些第一次區域與該些第二次區域之間具有 一間隙或緊密連接；於該基板上提供如申請專利範圍第1項或第4項所述之一遮罩，其中該些第一開口與該些第二開口暴露出該些第一次區域，以及該些第二次區域被該遮罩遮蔽；經由該些第一開口與該些第二開口，於該基板的各該第一次區域上形成一第一次圖案；以及於各該第二次區域上形成一第二次圖案，其中該些第一次圖案與該些第二次圖案之間具有該間隙或緊密連接，該第一顏色圖案包括該些第一次圖案與該些第二次圖案。
7. 如申請專利範圍第6項所述之有機發光材料層的製作方法，其中於各該第二次區域上形成該第二次圖案的方法包括：移動該遮罩，使該遮罩的該些第一開口與該些第二開口暴露出該些第二次區域，且位於該些第一次區域的該些第一次圖案被該遮罩遮蔽；以及經由該些第一開口與該些第二開口，於該基板的各該第二次區域上形成該第二次圖案。
8. 如申請專利範圍第6項所述之有機發光材料層的製作方法，其中於各該第二次區域上形成該第二次圖案的方法包括：移除該遮罩；於該基板上提供如申請專利範圍第1項或第4項所述之另一遮罩，其中該另一遮罩的該些第一開口與該些第二開口暴露出該些第二次區域，以及位於該些 第一次區域的該些第一次圖案被該遮罩遮蔽；以及經由該些第一開口與該些第二開口，於該基板的各該第二次區域上形成該第二次圖案。
9. 如申請專利範圍第6項所述之有機發光材料層的製作方法，更包括：於一基板上形成一第二顏色圖案，包括：提供該基板，該基板包括多個第二區域，各該第二區域包括在列方向上交替配置的多個第三次區域與多個第四次區域，該些第三次區域與該些第四次區域之間具有一間隙或緊密連接；於該基板上提供如申請專利範圍第1項或第4項所述之一遮罩，其中該些第一開口與該些第二開口暴露出該些第三次區域，以及該些第四次區域被該遮罩遮蔽；經由該些第一開口與該些第二開口，於該基板的各該第三次區域上形成一第三次圖案；以及於各該第四次區域上形成一第四次圖案，其中該些第三次圖案與該些第四次圖案之間具有該間隙或緊密連接，該第二顏色圖案包括該些第三次圖案與該些第四次圖案。
10. 如申請專利範圍第6項所述之有機發光材料層的製作方法，其中該間隙的大小為該第一間距與該第一長度之差值的二分之一。