JPH11229117A - マスキング装置 - Google Patents
マスキング装置Info
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- JPH11229117A JPH11229117A JP10048798A JP4879898A JPH11229117A JP H11229117 A JPH11229117 A JP H11229117A JP 10048798 A JP10048798 A JP 10048798A JP 4879898 A JP4879898 A JP 4879898A JP H11229117 A JPH11229117 A JP H11229117A
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- pattern mask
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 強度があって成膜効率にすぐれ、しかも、内
部応力やコスト高の問題もないパターンマスク板を備え
たマスキング装置を提供する。 【解決手段】 ステンレス（ＳＵＳ）板材にエッチング
加工を施して所定パターンのマスク窓２を開口し、同時
にマスク窓２の内周部全周の上面側をハーフエッチング
して段差部３を形成し、マスク窓２の内周部全周に薄肉
部４を形成する。薄肉部４の厚みｈは、パターンマスク
板１の厚みのほぼ１／２倍程度（ｈ≒ｔ／２）が望まし
い。また、薄肉部４の張り出し長さＬは、パターンマス
ク板１の板厚ｔよりも長い（Ｌ＞ｔ）のが望ましい。
部応力やコスト高の問題もないパターンマスク板を備え
たマスキング装置を提供する。 【解決手段】 ステンレス（ＳＵＳ）板材にエッチング
加工を施して所定パターンのマスク窓２を開口し、同時
にマスク窓２の内周部全周の上面側をハーフエッチング
して段差部３を形成し、マスク窓２の内周部全周に薄肉
部４を形成する。薄肉部４の厚みｈは、パターンマスク
板１の厚みのほぼ１／２倍程度（ｈ≒ｔ／２）が望まし
い。また、薄肉部４の張り出し長さＬは、パターンマス
ク板１の板厚ｔよりも長い（Ｌ＞ｔ）のが望ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマスキング装置に関
する。特に、電子部品の電極パターン等の薄膜を成膜す
るために用いられるマスキング装置に関する。
する。特に、電子部品の電極パターン等の薄膜を成膜す
るために用いられるマスキング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属薄膜を成膜するために用いられる従
来のマスキング装置に用いられているパターンマスク板
の構造を図５に示す。このパターンマスク板２１は、例
えばエッチング等により金属板に所定パターンのマスク
窓２２を開口したものであり、マスク窓２２は金属板に
ストレートに貫通していてマスク窓２２の内周面はパタ
ーンマスク板２１の表面と垂直な平面ないし曲面で構成
されている。そして、金属薄膜２４を形成する場合に
は、このパターンマスク板２１を基板（ワーク）２３の
表面に重ね、パターンマスク板２１のマスク窓２２を通
して、金属材料を蒸着又はスパッタリング法により基板
２３の表面に堆積させることで所望パターンの金属薄膜
２４を形成する。
来のマスキング装置に用いられているパターンマスク板
の構造を図５に示す。このパターンマスク板２１は、例
えばエッチング等により金属板に所定パターンのマスク
窓２２を開口したものであり、マスク窓２２は金属板に
ストレートに貫通していてマスク窓２２の内周面はパタ
ーンマスク板２１の表面と垂直な平面ないし曲面で構成
されている。そして、金属薄膜２４を形成する場合に
は、このパターンマスク板２１を基板（ワーク）２３の
表面に重ね、パターンマスク板２１のマスク窓２２を通
して、金属材料を蒸着又はスパッタリング法により基板
２３の表面に堆積させることで所望パターンの金属薄膜
２４を形成する。
【０００３】このようにして所定パターンの金属薄膜２
４を形成する方法では、蒸着やスパッタリングにより、
パターンマスク板２１のマスク窓２２を通して基板２３
の表面に金属材料を堆積させるので、パターンマスク板
２１による遮蔽効果で、マスク窓２２の内周面近傍では
金属材料が堆積しにくくて膜厚を稼げず、金属薄膜２４
の成膜効率が低下する。その影響は、パターンマスク板
２１の板厚ｔとそのマスク窓２２の開口サイズＷとの関
係により支配されることから、特に微細パターンの金属
薄膜２４を形成するには、パターンマスク板２１の板厚
ｔを小さくして成膜効率を向上させる必要がある。
４を形成する方法では、蒸着やスパッタリングにより、
パターンマスク板２１のマスク窓２２を通して基板２３
の表面に金属材料を堆積させるので、パターンマスク板
２１による遮蔽効果で、マスク窓２２の内周面近傍では
金属材料が堆積しにくくて膜厚を稼げず、金属薄膜２４
の成膜効率が低下する。その影響は、パターンマスク板
２１の板厚ｔとそのマスク窓２２の開口サイズＷとの関
係により支配されることから、特に微細パターンの金属
薄膜２４を形成するには、パターンマスク板２１の板厚
ｔを小さくして成膜効率を向上させる必要がある。
【０００４】しかしながら、図５に示したような構造の
パターンマスク板２１にあっては、薄膜パターン２１の
成膜効率を高めるためにパターンマスク板２１の板厚ｔ
を薄くすると、パターンマスク板２１の強度が低下し、
パターンマスク板２１の強度を増すために板厚ｔを厚く
すると、成膜効率（特に、マスク窓の内周面近傍での成
膜効率）が低下するという問題があった。
パターンマスク板２１にあっては、薄膜パターン２１の
成膜効率を高めるためにパターンマスク板２１の板厚ｔ
を薄くすると、パターンマスク板２１の強度が低下し、
パターンマスク板２１の強度を増すために板厚ｔを厚く
すると、成膜効率（特に、マスク窓の内周面近傍での成
膜効率）が低下するという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は叙上の従来例
の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、強度があって成膜効率にすぐれたパターンマス
ク板を備えたマスキング装置を提供することにある。
の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、強度があって成膜効率にすぐれたパターンマス
ク板を備えたマスキング装置を提供することにある。
【０００６】
【発明の開示】請求項１に記載のマスキング装置は、パ
ターンマスク板にマスク窓を開口したマスキング装置に
おいて、マスク窓の内周先端部をパターンマスク板の厚
みよりも薄くしたことを特徴としている。
ターンマスク板にマスク窓を開口したマスキング装置に
おいて、マスク窓の内周先端部をパターンマスク板の厚
みよりも薄くしたことを特徴としている。
【０００７】このマスキング装置にあっては、パターン
マスク板を薄膜形成対象物、例えば基板に密着するよう
に置く際、マスク窓内周の厚みの薄い部分も薄膜形成対
象物に密着するように配置し、マスク窓を通して薄膜形
成対象物の表面に所定パターンの薄膜を形成する。この
ときマスク窓を通して形成される薄膜の成膜効率はマス
ク窓の内周先端部の厚みと相関関係があるので、パター
ンマスク板が充分な強度を有する厚みとなっていても、
マスク窓の内周部の厚みを薄くすることによって成膜効
率を高くすることができる。よって、本発明のマスキン
グ装置によれば、パターンマスク板の全体的な強度劣化
を防止しつつ、パターンマスク板による薄膜形成対象物
に対する成膜効率を向上させることができる。
マスク板を薄膜形成対象物、例えば基板に密着するよう
に置く際、マスク窓内周の厚みの薄い部分も薄膜形成対
象物に密着するように配置し、マスク窓を通して薄膜形
成対象物の表面に所定パターンの薄膜を形成する。この
ときマスク窓を通して形成される薄膜の成膜効率はマス
ク窓の内周先端部の厚みと相関関係があるので、パター
ンマスク板が充分な強度を有する厚みとなっていても、
マスク窓の内周部の厚みを薄くすることによって成膜効
率を高くすることができる。よって、本発明のマスキン
グ装置によれば、パターンマスク板の全体的な強度劣化
を防止しつつ、パターンマスク板による薄膜形成対象物
に対する成膜効率を向上させることができる。
【０００８】また、パターンマスク板は、金属板によっ
て一体に形成したものであることが好ましい。すなわ
ち、金属板の貼り合わせ品でなく、一体品とすれば、温
度変化に伴う内部応力（熱応力）によってパターンマス
ク板が反ったり歪んだりすることがなく、薄膜のパター
ン精度を維持することができる。さらに、パターンマス
ク板のコストも貼り合わせ品のように高価になることも
ない。
て一体に形成したものであることが好ましい。すなわ
ち、金属板の貼り合わせ品でなく、一体品とすれば、温
度変化に伴う内部応力（熱応力）によってパターンマス
ク板が反ったり歪んだりすることがなく、薄膜のパター
ン精度を維持することができる。さらに、パターンマス
ク板のコストも貼り合わせ品のように高価になることも
ない。
【０００９】また、マスク窓の内周先端部の厚みの薄い
領域の張り出し長さを、パターンマスク板の厚みよりも
長くすれば、成膜効率を最良の状態に維持することがで
きる。
領域の張り出し長さを、パターンマスク板の厚みよりも
長くすれば、成膜効率を最良の状態に維持することがで
きる。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態による
マスキング装置に用いられているパターンマスク板１の
構造を示す概略断面図である。このパターンマスク板１
は、一枚もののステンレス（ＳＵＳ）板材にエッチング
加工を施して所定パターンのマスク窓２を開口されてい
る。しかも、マスク窓２をエッチングによって開口する
際同時に、マスク窓２の内周部全周の上面側をハーフエ
ッチングして段差部３を形成し、マスク窓２の内周部全
周に薄肉部４を形成している。この薄肉部４の厚みｈ
は、図２に示すようにパターンマスク板１の厚みｔより
も薄くなっていることはもちろんであるが、それ以外の
点については、薄肉部４の厚みｈやマスク窓２側への張
り出し長さＬなどは所望するマスク窓２の形状や寸法Ｗ
に応じて適宜決定することができる。もっとも、パター
ンマスク板１の板厚ｔは、作業上必要なマスク強度が得
られるだけの厚みとする必要がある。さらに、成膜効率
を良好にするためには、薄肉部４の厚みｈをパターンマ
スク板１の厚みのほぼ１／２倍程度（ｈ≒ｔ／２）とす
るのが望ましい。また、このパターンマスク板１のマス
ク窓２の厚さｈと板厚が等しい従来のパターンマスク板
と同程度の成膜効率を得るためには、薄肉部４の張り出
し長さＬをパターンマスク板１の板厚ｔよりも長くする
（Ｌ＞ｔ）のが望ましい。なお、パターンマスク板１
は、ステンレス（ＳＵＳ）以外の素材によって形成され
ていてもよい。
マスキング装置に用いられているパターンマスク板１の
構造を示す概略断面図である。このパターンマスク板１
は、一枚もののステンレス（ＳＵＳ）板材にエッチング
加工を施して所定パターンのマスク窓２を開口されてい
る。しかも、マスク窓２をエッチングによって開口する
際同時に、マスク窓２の内周部全周の上面側をハーフエ
ッチングして段差部３を形成し、マスク窓２の内周部全
周に薄肉部４を形成している。この薄肉部４の厚みｈ
は、図２に示すようにパターンマスク板１の厚みｔより
も薄くなっていることはもちろんであるが、それ以外の
点については、薄肉部４の厚みｈやマスク窓２側への張
り出し長さＬなどは所望するマスク窓２の形状や寸法Ｗ
に応じて適宜決定することができる。もっとも、パター
ンマスク板１の板厚ｔは、作業上必要なマスク強度が得
られるだけの厚みとする必要がある。さらに、成膜効率
を良好にするためには、薄肉部４の厚みｈをパターンマ
スク板１の厚みのほぼ１／２倍程度（ｈ≒ｔ／２）とす
るのが望ましい。また、このパターンマスク板１のマス
ク窓２の厚さｈと板厚が等しい従来のパターンマスク板
と同程度の成膜効率を得るためには、薄肉部４の張り出
し長さＬをパターンマスク板１の板厚ｔよりも長くする
（Ｌ＞ｔ）のが望ましい。なお、パターンマスク板１
は、ステンレス（ＳＵＳ）以外の素材によって形成され
ていてもよい。
【００１１】しかして、基板５の表面に所定パターンの
金属薄膜６を形成する場合には、図１に示すように、薄
肉部４を基板５の表面に密着させた状態でパターンマス
ク板１を基板５の上に置き、マスク窓２を通して蒸着や
スパッタリングにより基板５上に金属材料を堆積させ、
マスク窓２内において基板５表面に所定パターンの金属
薄膜６を成膜する。
金属薄膜６を形成する場合には、図１に示すように、薄
肉部４を基板５の表面に密着させた状態でパターンマス
ク板１を基板５の上に置き、マスク窓２を通して蒸着や
スパッタリングにより基板５上に金属材料を堆積させ、
マスク窓２内において基板５表面に所定パターンの金属
薄膜６を成膜する。
【００１２】このパターンマスク板１は、その板厚ｔを
充分に厚くすることによってマスク強度を高くすること
ができる。しかも、薄膜６の成膜効率（薄膜金属材料の
充填量）は、主としてマスク窓２の内周部に形成された
薄肉部４の厚みｈによって決まるので、パターンマスク
板１の板厚ｔを厚くしても、板厚が薄肉部４の厚みｈと
等しい従来のパターンマスク板（図５）と同程度の良好
な成膜効率を得ることができる。従って、このような構
造のパターンマスク板１によれば、パターンマスク板１
の全体的な強度劣化を回避しつつマスク窓２による薄膜
の成膜効率を良好にすることができ、電子部品の電極パ
ターンのように微細なパターンの金属薄膜６を正確に形
成することができる。
充分に厚くすることによってマスク強度を高くすること
ができる。しかも、薄膜６の成膜効率（薄膜金属材料の
充填量）は、主としてマスク窓２の内周部に形成された
薄肉部４の厚みｈによって決まるので、パターンマスク
板１の板厚ｔを厚くしても、板厚が薄肉部４の厚みｈと
等しい従来のパターンマスク板（図５）と同程度の良好
な成膜効率を得ることができる。従って、このような構
造のパターンマスク板１によれば、パターンマスク板１
の全体的な強度劣化を回避しつつマスク窓２による薄膜
の成膜効率を良好にすることができ、電子部品の電極パ
ターンのように微細なパターンの金属薄膜６を正確に形
成することができる。
【００１３】このパターンマスク板１は一枚ものとなっ
ているので、貼り合わせ型のパターンマスク板のよう
に、温度変化により内部応力が発生して反ったり歪んだ
りするおそれもない。また、貼り合わせ型のようにコス
ト高になることもない。さらに、段差部３をマスク窓２
を開口する際同時に形成すれば、薄肉部４を設けること
によりコスト高になることもない。
ているので、貼り合わせ型のパターンマスク板のよう
に、温度変化により内部応力が発生して反ったり歪んだ
りするおそれもない。また、貼り合わせ型のようにコス
ト高になることもない。さらに、段差部３をマスク窓２
を開口する際同時に形成すれば、薄肉部４を設けること
によりコスト高になることもない。
【００１４】（測定結果）図３は従来例の場合であっ
て、Ｗ＝０.３ｍｍのサイズのマスク窓を開口された図
５のようなパターンマスク板の板厚をｔ＝０.２ｍｍ、
０.４ｍｍ、０.６ｍｍ、０.８ｍｍと変化させ、板厚ｔ
の異なる各パターンマスク板を用いてスパッタリングに
より基板表面に金属材料を堆積させ、金属薄膜を形成し
た後、各パターンマスク板を用いた場合の成膜効率を測
定したものである。すなわち、図３の横軸はマスク窓の
縁からの距離ｘ（図２参照）を示し、縦軸は成膜効率
（膜厚）を示している（つまり、図３の曲線は薄膜表面
のプロファイルを表わす）。
て、Ｗ＝０.３ｍｍのサイズのマスク窓を開口された図
５のようなパターンマスク板の板厚をｔ＝０.２ｍｍ、
０.４ｍｍ、０.６ｍｍ、０.８ｍｍと変化させ、板厚ｔ
の異なる各パターンマスク板を用いてスパッタリングに
より基板表面に金属材料を堆積させ、金属薄膜を形成し
た後、各パターンマスク板を用いた場合の成膜効率を測
定したものである。すなわち、図３の横軸はマスク窓の
縁からの距離ｘ（図２参照）を示し、縦軸は成膜効率
（膜厚）を示している（つまり、図３の曲線は薄膜表面
のプロファイルを表わす）。
【００１５】図４は本発明の実施例の場合であって、Ｗ
＝０.３ｍｍのサイズのマスク窓を開口された板厚ｔ＝
０.４ｍｍのパターンマスク板に厚みｈ＝ｔ／２＝０.２
ｍｍの薄肉部を形成すると共に薄肉部の張り出し長さを
Ｌ＝０.２ｍｍ、０.４ｍｍ、０.８ｍｍと変化させ、張
り出し長さＬの異なる各パターンマスク板を用いてスパ
ッタリングにより基板表面に金属材料を堆積させ、金属
薄膜を形成した後、各パターンマスク板を用いた場合の
成膜効率を測定したものである。図４においても、横軸
はマスク窓の縁からの距離ｘを示し、縦軸は成膜効率
（膜厚）を示している（つまり、図４の曲線は薄膜表面
のプロファイルを表わす）。
＝０.３ｍｍのサイズのマスク窓を開口された板厚ｔ＝
０.４ｍｍのパターンマスク板に厚みｈ＝ｔ／２＝０.２
ｍｍの薄肉部を形成すると共に薄肉部の張り出し長さを
Ｌ＝０.２ｍｍ、０.４ｍｍ、０.８ｍｍと変化させ、張
り出し長さＬの異なる各パターンマスク板を用いてスパ
ッタリングにより基板表面に金属材料を堆積させ、金属
薄膜を形成した後、各パターンマスク板を用いた場合の
成膜効率を測定したものである。図４においても、横軸
はマスク窓の縁からの距離ｘを示し、縦軸は成膜効率
（膜厚）を示している（つまり、図４の曲線は薄膜表面
のプロファイルを表わす）。
【００１６】図３からも分かるように、図５のような構
造の従来のパターンマスク板では、その板厚ｔが大きく
なるにつれ、パターンマスク板による遮蔽効果が大きく
なり、しだいに成膜効率が低下していく様子が確認され
る。
造の従来のパターンマスク板では、その板厚ｔが大きく
なるにつれ、パターンマスク板による遮蔽効果が大きく
なり、しだいに成膜効率が低下していく様子が確認され
る。
【００１７】これに対し、本発明の実施例では、張り出
し長さＬが０.２ｍｍから０.４ｍｍに長くした場合に
は、成膜効率が改善されているが、張り出し長さＬが
０.４ｍｍ以上では成膜効率が飽和していることが分か
る。よって、張り出し長さＬをパターンマスク板の板厚
ｔよりも長くすることにより、成膜効率を最良にできる
ことが確認できる。
し長さＬが０.２ｍｍから０.４ｍｍに長くした場合に
は、成膜効率が改善されているが、張り出し長さＬが
０.４ｍｍ以上では成膜効率が飽和していることが分か
る。よって、張り出し長さＬをパターンマスク板の板厚
ｔよりも長くすることにより、成膜効率を最良にできる
ことが確認できる。
【図１】本発明の一実施形態によるパターンマスク板の
構造を示す断面図である。
構造を示す断面図である。
【図２】同上のパターンマスク板の各部のサイズを示す
図である。
図である。
【図３】パターンマスク板の板厚を種々に変化させた場
合の成膜効率を示す図である。
合の成膜効率を示す図である。
【図４】パターンマスク板に設けた段差部の横幅を種々
に変化させた場合の成膜効率を示す図である。
に変化させた場合の成膜効率を示す図である。
【図５】従来のパターンマスク板の断面図である。
１ パターンマスク板 ２ マスク窓 ３ 段差部 ４ 薄肉部 ５ 基板 ６ 薄膜
Claims (3)
- 【請求項１】 パターンマスク板にマスク窓を開口した
マスキング装置において、 マスク窓の内周先端部をパターンマスク板の厚みよりも
薄くしたことを特徴とするマスキング装置。 - 【請求項２】 前記パターンマスク板が、金属板によっ
て形成された一体品であることを特徴とする、請求項１
に記載のマスキング装置。 - 【請求項３】 前記マスク窓の内周先端部の厚みの薄い
部分の張り出し長さを、パターンマスク板の厚みよりも
長くしたことを特徴とする、請求項１に記載のマスキン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10048798A JPH11229117A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | マスキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10048798A JPH11229117A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | マスキング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11229117A true JPH11229117A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12813255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10048798A Pending JPH11229117A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | マスキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11229117A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017179677A1 (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着用メタルマスク |
| US10196732B2 (en) | 2014-11-24 | 2019-02-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly for thin film deposition that includes a partially etched area and method of manufacturing the mask assembly |
| CN114361374A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-15 | 云谷（固安）科技有限公司 | 掩膜板修复方法及掩膜板组件 |
| CN115572943A (zh) * | 2022-09-02 | 2023-01-06 | 南京国兆光电科技有限公司 | 一种有机蒸镀掩膜版及其制作方法 |
-
1998
- 1998-02-12 JP JP10048798A patent/JPH11229117A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10196732B2 (en) | 2014-11-24 | 2019-02-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly for thin film deposition that includes a partially etched area and method of manufacturing the mask assembly |
| WO2017179677A1 (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着用メタルマスク |
| JPWO2017179677A1 (ja) * | 2016-04-15 | 2018-07-05 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着用メタルマスク |
| CN114361374A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-15 | 云谷（固安）科技有限公司 | 掩膜板修复方法及掩膜板组件 |
| CN114361374B (zh) * | 2021-12-31 | 2024-02-09 | 云谷（固安）科技有限公司 | 掩膜板修复方法及掩膜板组件 |
| CN115572943A (zh) * | 2022-09-02 | 2023-01-06 | 南京国兆光电科技有限公司 | 一种有机蒸镀掩膜版及其制作方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050126 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070116 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070123 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20070313 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |