KR101964042B1 - 하이브리드 적층기 - Google Patents

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KR101964042B1
KR101964042B1 KR1020170081187A KR20170081187A KR101964042B1 KR 101964042 B1 KR101964042 B1 KR 101964042B1 KR 1020170081187 A KR1020170081187 A KR 1020170081187A KR 20170081187 A KR20170081187 A KR 20170081187A KR 101964042 B1 KR101964042 B1 KR 101964042B1
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(주)이노시엠
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)

Abstract

본 발명은 커버와 제1세라믹 박막 및 상기 제1세라믹 박막과 다른 제2세라믹 박막이 적층되는 적층테이블; 상기 적층테이블의 일측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제1세라믹 박막을 포함하는 제1세라믹시트를 공급하는 제1세라믹시트 공급부; 상기 적층테이블의 타측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 커버를 포함하는 커버부재를 공급하는 커버부재 공급부; 상기 적층테이블의 후단에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제2세라믹 박막을 포함하는 복수개의 제2세라믹시트가 보관되는 트레이유닛; 상기 트레이유닛으로부터 상기 제2세라믹시트를 공급받아 상기 적층테이블의 일측으로 이동시키는 제2세라믹시트 이동테이블; 상기 제1세라믹시트 공급부와 상기 커버부재 공급부 및 제2세라믹시트 이동테이블 사이로 이동하면서 선택적으로 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하여 상기 적층테이블의 상부로 이동시키는 흡착이동유닛; 및 상기 제1세라믹시트 공급부, 상기 커버부재 공급부, 상기 트레이유닛, 상기 제2세라믹시트 이동테이블, 및 상기 흡착이동유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 하이브리드 적층기를 제공한다.
따라서, 제1세라믹 박막 및 다른 패턴 및 두께를 가지는 복수개의 제2세라믹 박막을 일정한 패턴이 아닌 다양한 패턴을 가지도록 선별적으로 커버 사이에 공급한 후 적층하여 초소형 캐피스터를 제작할 수 있고, 다른 패턴 및 두께를 가지는 제2세라믹 박막의 선별적 공급을 자동으로 진행할 수 있어 작업 속도를 향상시킬 수 있다.

Description

하이브리드 적층기{Hybrid laminating machine}
본 발명은 하이브리드 적층기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제1세라믹 박막과 다른 패턴을 가지는 제2세라믹 박막을 선별적으로 공급하면서 적층하여 초소형 캐피스터를 제작할 수 있는 하이브리드 적층기에 관한 것이다.
일반적으로, 초소형 캐피스터(capacitor)인 Multi-layer ceramic capacitor(MLCC)와 같은 캐피스터의 용량을 크게 하기 위해서는 대향 전극 면적을 늘리거나, 전극간 거리를 작게 하거나, 비유전율이 큰 유전재료를 전극 사이에 적용하는 방법이 사용되나, 그 크기를 소형으로 유지하면서 용량을 증대시키기 위해서는 주로 유전물질 필름 또는 박막의 두께를 더욱 얇게 하여 제작한 후, 수십~수백층을 적층하여 병렬로 연결되도록 하고 있으며, 이러한 적층을 위하여 전용 적층기가 사용되게 된다.
이러한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 의하여 제조되는 박막 초소형 MLCC는 IT 제품(휴대폰, PC, D-TV 등) 외에 메모리 모듈, 튜너 등 모바일 기기, 군사용 기기, 의료 기기, 항공기, 자동차 등의 특수 목적으로도 적용되며, 소형의 캐피스터가 요구되는 대단히 다양한 분야에 널리 사용된다. 특히, 내부 인덕턴스(Inductance)가 낮아 다른 캐피스터에 비해 고주파에서 노이즈 제거 효과가 탁월하기 때문에 휴대폰, 위성 등에 적용되며, 초소형으로도 높은 용량을 가지면서 고신뢰성을 가지는 캐스피터로서의 역할을 한다. 일반적으로 MLCC는 휴대폰에 250여 개, 노트북에 300여 개, LCD TV에 700여 개 등이 소요되는 범용성이 높은 부품이다.
한편, 스마트폰 등의 휴대용 통신 기기, 태블릿 피씨, 노트북, 스마트 TV 등의 각종 전자기기의 고성능화에 따라, 그에 사용되는 박막 초소형 MLCC의 사이즈도 점점 소형화 되는 것이 요구되고 있으며, 박막 초소형 MLCC는 resistor와 더불어 회로 구성의 기본 소자로서 그 사용이 필수적인 점을 고려할 때, 이러한 박막 초소형 MLCC의 제조를 위한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 관한 기술은 현재뿐만 아니라 향후에도 중요한 이슈로 부각될 수 밖에 없다.
이러한 시트 적층 공정 및 장치에 관해서는 대한민국공개특허 제10-2007-0035222호(세라믹 그린시트 자동 적층 방법 및 그 장치) 외에도 대한민국등록특허 제10-0631135호(세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법)에 공개되어 실시되고 있다.
한편, 상기한 시트 적층 공정의 선행 단계로는 도 1에 도시된 바와 같이 세라믹 시트(s)를 그 대지 역할을 하는 필름(s2)에서 세라믹 박막(s1)을 박리하는 공정이 필수적인 바, 이러한 박리 공정 및 장치에 관해서는 대한민국등록특허 제10-0631135호에 개시된 구성을 포함하는 다양한 선행 발명들이 공개되어 실시되고 있다.
그러나, 이러한 기존 발명들은 세라믹 시트(s)가 롤투롤 방식으로 공급되며, 공급되는 세라믹 시트(s)에 구비되는 일정한 패턴만으로 형성된 세라믹 박막(s1)을 대지 역할을 하는 필름(s2)로부터 박리한 후 적층함으로써 다양한 패턴을 가지는 세라믹 박막을 공급하지 못하고, 그로 인해 층마다 다른 패턴을 가지는 세라믹 박막의 적층이 불가능하다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 제1세라믹 박막 및 다른 패턴을 가지는 복수개의 제2세라믹 박막을 선별적으로 공급하면서 적층할 수 있어 층마다 서로 상이한 패턴을 가지는 세라믹 박막을 적층하여 초소형 캐피스터를 제작할 수 있는 하이브리드 적층기를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 커버와 제1세라믹 박막 및 상기 제1세라믹 박막과 다른 제2세라믹 박막이 적층되는 적층테이블; 상기 적층테이블의 일측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제1세라믹 박막을 포함하는 제1세라믹시트를 공급하는 제1세라믹시트 공급부; 상기 적층테이블의 타측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 커버를 포함하는 커버부재를 공급하는 커버부재 공급부; 상기 적층테이블의 후단에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제2세라믹 박막을 포함하는 복수개의 제2세라믹시트가 보관되는 트레이유닛; 상기 트레이유닛으로부터 상기 제2세라믹시트를 공급받아 상기 적층테이블의 일측으로 이동시키는 제2세라믹시트 이동테이블; 상기 제1세라믹시트 공급부와 상기 커버부재 공급부 및 제2세라믹시트 이동테이블 사이로 이동하면서 선택적으로 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하여 상기 적층테이블의 상부로 이동시키는 흡착이동유닛; 및 상기 제1세라믹시트 공급부, 상기 커버부재 공급부, 상기 트레이유닛, 상기 제2세라믹시트 이동테이블, 및 상기 흡착이동유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 하이브리드 적층기를 제공한다.
본 발명에 따른 하이브리드 적층기는, 상기 적층테이블에 인접하게 배치되며, 상기 흡착이동유닛에 의해 상기 적층테이블로 이동되는 상기 제2세라믹시트 하측에서 제2캐리어필름을 제거하는 필름 제거유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 필름 제거유닛은, 상기 제2세라믹시트 하측의 제2캐리어필름을 파지하는 그립퍼와, 상기 그립퍼를 회전시켜 상기 제2세라믹시트에서 상기 제2캐리어필름을 박리하는 회전부재와, 상기 그립퍼와 상기 회전부재가 구비되는 본체와, 상기 본체를 상하로 이동시키는 상하이동부재와, 상기 본체가 상하로 이동하도록 가이드하는 가이드프레임을 포함할 수 있다.
상기 제1세라믹시트 공급부는, 롤 형태로 감긴 제1세라믹시트를 공급하는 제1세라믹시트 공급롤과, 상기 제1세라믹시트 공급롤에서 공급되는 상기 제1세라믹시트를 이송시키는 복수개의 제1세라믹시트 이송롤과, 상기 제1세라믹시트 이송롤에 의해 이송되는 상기 제1세라믹시트를 제1세라믹 박막과 제1캐리어필름으로 분리하는 분리편과, 상기 분리편에서 상기 제1세라믹 박막과 분리된 제1캐리어필름을 회수하는 제1캐리어필름 회수롤을 포함할 수 있다.
상기 제1세라믹시트 공급부는, 상기 분리편을 상기 제1세라믹시트 이송방향의 반대방향으로 이동시키는 분리편 이동부재와, 상기 제1캐리어필름 회수롤로 회수되는 상기 제1캐리어필름의 장력을 조절하는 제1캐리어필름 장력조절부재를 더 포함할 수 있다.
상기 커버부재 공급부는, 롤 형태로 감긴 커버부재를 공급하는 커버부재 공급롤과, 상기 커버부재 공급롤에서 공급되는 상기 커버부재를 이송시키는 복수개의 커버부재 이송롤과, 상기 커버부재 이송롤에 의해 이송되는 상기 커버부재를 커버와 이형필름으로 분리하는 분리부재와, 상기 분리부재에서 상기 커버와 분리된 이형필름을 회수하는 이형필름 회수롤을 포함할 수 있다.
상기 커버부재 공급부는, 상기 분리부재를 상기 커버부재 이송방향의 반대방향으로 이동시키는 분리부재 이동부재와, 상기 이형필름 회수롤로 회수되는 상기 이형필름의 장력을 조절하는 이형필름 장력조절부재를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이유닛은, 복수개의 제2세라믹시트가 개별적으로 보관되며 가로방향 및 세로방향으로 이격되게 구비되는 복수개의 보관부와, 상기 복수개의 보관부에 구비되며 상기 제2세라믹시트가 수납되는 복수개의 트레이와, 상기 복수개의 보관부에 구비되어 상기 트레이를 상기 보관부의 외측으로 이동시키는 트레이 이동부재와, 상기 트레이 이동부재에 의해 상기 보관부의 외측으로 이동된 상기 트레이에 수납된 제2세라믹시트를 흡착하여 상기 제2세라믹시트 이동테이블의 상부로 이동시키는 제2세라믹시트 이동수단을 포함할 수 있다.
상기 제2세라믹시트 이동수단은, 상기 트레이유닛의 높이방향으로 구비되는 세로 프레임과, 상기 세로 프레임을 따라 상기 트레이유닛의 높이방향으로 이동하는 제1이동몸체와, 상기 제1이동몸체에 연결되며 상기 트레이유닛의 가로방향으로 구비되는 가로 프레임과, 상기 가로 프레임을 따라 상기 트레이유닛의 가로방향으로 이동하는 제2이동몸체와, 상기 제2이동몸체에 구비되며 상기 트레이 이동부재에 의해 상기 보관부의 외부로 이동된 상기 트레이에 수납된 상기 제2세라믹시트를 흡착하는 복수개의 흡착판을 포함할 수 있다.
상기 제2세라믹시트 이동수단은, 상기 제1이동몸체를 상기 세로 프레임에서 이동시키는 세로방향 이동부재와, 상기 제2이동몸체를 상기 가로 프레임에서 이동시키는 가로방향 이동부재와, 상기 복수개의 흡착판이 상기 제2세라믹시트를 흡착하도록 공기를 흡입하는 제1공기흡입부재를 더 포함할 수 있다.
상기 제2세라믹시트 이동테이블은, 상기 트레이유닛에서 공급되는 제2세라믹시트가 안착되는 안착테이블과, 상기 안착테이블이 이송되는 안착테이블 이송레일과, 상기 안착테이블을 상기 적층테이블과 인접하게 이동시키는 안착테이블 이동부재를 포함할 수 있다.
상기 흡착이동유닛은, 상기 제1세라믹시트 공급부와 상기 커버부재 공급부 및 상기 제2세라믹시트 이동테이블로 이동되면서 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하는 흡착부재와, 상기 흡착부재의 이동을 가이드하는 이동레일과, 상기 흡착부재를 상기 이동레일에서 이동시키는 흡착부재 이동부재와, 상기 흡착부재가 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하도록 공기를 흡입하는 제2공기흡입부재를 포함할 수 있다.
상기 적층테이블은, 상기 커버와 상기 제1세라믹 박막 및 상기 제2세라믹시트에서 분리된 제2세라믹 박막이 안착되는 테이블과, 상기 테이블이 상기 흡착이동유닛과 밀착되도록 상기 테이블을 상하로 이동시키는 테이블 상하이동부재와, 상기 테이블에 안착되는 상기 커버를 흡착하기 위해 공기를 흡입하는 제3공기흡입부재를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 하이브리드 적층기는 상기 흡착이동유닛에 구비되며 상기 흡착이동유닛이 흡착하는 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버를 커팅하는 커팅유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 커팅유닛은, 상기 흡착이동유닛에 흡착된 상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 일단을 절단하는 제1절단커터와, 상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 타단을 절단하는 제2절단커터와, 상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 일측단을 절단하는 제3절단커터와, 상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 타측단을 절단하는 제4절단커터와, 상기 제1절단커터 내지 제4절단커터가 슬라이드 이동하는 밀폐된 사각형상의 슬라이드 프레임과, 상기 제1절단커터 내지 제4절단커터를 슬라이드 이동시키는 슬라이드 이동부재를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 하이브리드 적층기는, 상기 적층테이블에 인접하게 위치하며, 상기 흡착이동유닛이 상기 적층테이블로 상기 제1세라믹 박막 을 이송 시 상기 흡착이동유닛에 상기 제1세라믹 박막이 흡착되었는지 여부를 확인하는 비전유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 하이브리드 적층기는 제1세라믹 박막 및 다른 패턴 및 두께를 가지는 복수개의 제2세라믹 박막을 일정한 패턴이 아닌 다양한 패턴을 가지도록 선별적으로 커버 사이에 공급한 후 적층하여 초소형 캐피스터를 제작할 수 있고, 다른 패턴 및 두께를 가지는 제2세라믹 박막의 선별적 공급을 자동으로 진행할 수 있어 작업 속도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 일반적인 세라믹 시트의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 하이브리드 적층기를 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 제1세라믹부재 공급부를 확대하여 도시한 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 커버부재 공급부를 확대하여 도시한 도면이다.
도 5는 제2세라믹부재가 보관되는 트레이유닛을 도시한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 트레이유닛의 측면도이다.
도 7은 제2세라믹부재 이동테이블을 확대하여 도시한 도면이다.
도 8은 흡착이동유닛이 적층테이블로 이동되는 상태를 도시한 도면이다.
도 9는 필름 제거유닛을 확대하여 도시한 도면이다.
도 10은 커팅유닛을 확대하여 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 적층기를 도시한 도면, 도 3은 도 2에 도시된 제1세라믹부재 공급부를 확대하여 도시한 도면, 도 4는 도 2에 도시된 커버부재 공급부를 확대하여 도시한 도면, 도 5는 제2세라믹부재가 보관되는 트레이유닛을 도시한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 트레이유닛의 측면도, 도 7은 제2세라믹부재 이동테이블을 확대하여 도시한 도면, 도 8은 흡착이동유닛이 적층테이블로 이동되는 상태를 도시한 도면, 도 9는 필름 제거유닛을 확대하여 도시한 도면, 도 10은 커팅유닛을 확대하여 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 하이브리드 적층기(1)는 적층테이블(110)과, 제1세라믹시트 공급부(120)와, 커버부재 공급부(130)와, 트레이유닛(140)과, 제2세라믹시트 이동테이블(150)과, 흡착이동유닛(160)과, 제어부(170)를 포함하고, 필름 제거유닛(180)을 더 포함할 수 있다.
도 2 및 도 8을 참조하면, 상기 적층테이블(110)에는 후술되는 제1세라믹시트 공급부(120)에서 공급되는 제1세라믹시트(10)에서 분리되는 제1세라믹 박막(12)과 후술되는 커버부재 공급부(120)에서 공급되는 커버부재(20)에서 분리되는 커버(22) 및 후술되는 트레이유닛(140)에서 공급되는 제2세라믹시트(30)에서 분리되는 제2세라믹 박막(32)이 선택적으로 적층된다.
상기 적층테이블(110)은 테이블(111)과, 테이블 상하이동부재(112)와, 제3공기흡입부재(113)를 포함한다. 상기 테이블(111)은 상기 제1세라믹시트(10)에서 분리된 제1세라믹 박막(12)과 상기 커버부재(20)에서 분리된 커버(22) 및 상기 제2세라믹시트(30)에서 분리된 제2세라믹 박막(32)이 안착되며, 상기 테이블 상하이동부재(112)는 상기 테이블(111)이 후술되는 흡착이동유닛(160)과 밀착되거나 탈착되도록 상기 테이블(111)을 상하로 이동시키는 역할을 하고, 상기 테이블 상하이동부재(112)는 일반적인 서보모터가 사용되는 것이 바람직하다.
상기 제3공기흡입부재(113)은 상기 테이블(111)에 안착되는 상기 제1세라믹 박막(12)을 흡착하기 위해 공기를 흡입하는 역할을 하며, 상기 제3공기흡입부재(113)가 공기를 흡입함으로써 상기 테이블(111)에 안착되는 상기 제1세라믹 박막(12))이 상기 테이블(111)에서 이탈되는 것이 방지된다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 적층테이블(110)의 일측에는 제1세라믹시트 공급부(120)가 위치하며, 상기 제1세라믹시트 공급부(120)는 상기 적층테이블(110)에 적층되는 상기 제1세라믹 박막(12)을 포함하는 제1세라믹시트(10)를 공급하면서 상기 제1세라믹 박막(12)이 분리된 제1캐리어필름(14) 또는 스크랩을 회수하는 역할을 하며, 상기 제1세라믹 박막(12)에는 일정 패턴이 스크린 인쇄공법에 의해 설계되고, 상기 제1세라믹 박막(12)은 본 발명의 기술분야에서 널리 이용되는 세라믹 적층시드와 동일한 바, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 제1세라믹시트 공급부(120)는 제1세라믹시트 공급롤(121)과, 제1세라믹시트 이송롤(122)과, 분리편(123)과, 제1캐리어필름 회수롤(124)을 포함하고, 분리편 이동부재(125)와, 제1캐리어필름 장력조절부재(126)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1세라믹시트 공급롤(121)은 롤 형태로 감긴 제1세라믹시트(10)를 공급하고, 상기 제1세라믹시트 이송롤(122)은 복수개로 구성되어 상기 제1세라믹시트 공급롤(121)에서 공급되는 상기 제1세라믹시트(10)를 이송시킨다.
상기 분리편(123)은 이송되는 제1세라믹시트(10)를 제1세라믹 박막(12)과 제1캐리어필름(14)으로 분리하는 역할을 하며, 상기 분리편(123)을 통과하면서 분리된 상기 제1캐리어필름(14)은 상기 제1캐리어필름 회수롤(124)로 회수되고, 상기 제1캐리어필름(14)과 분리된 상기 제1세라믹 박막(12)은 후술되는 흡착이동유닛(160)에 의해 상기 적층테이블(110)로 이송되게 된다.
상기 분리편(123)은 분리편 이동부재(125)에 의해 상기 제1세라믹시트(10)가 이송되는 방향의 반대방향으로 이동되며, 상기 분리편(123)은 후술되는 흡착이동유닛(160)이 상기 제1세라믹시트(10)에서 제1세라믹 박막(12)을 흡착 시 상기 분리편 이동부재(125)에 의해 상기 제1세라믹시트(10)가 이송되는 반대방향으로 슬라이드 이동됨으로써 흡착이동유닛(160)이 상기 제1세라믹 박막(12)을 원활하게 흡착하게 된다.
상기 제1세라믹시트(10)에서 상기 제1세라믹 박막(12)이 분리된 상기 제1캐리어필름(14) 및 스크랩은 제1캐리어필름 회수롤(124)로 회수되며, 회수되는 상기 제1캐리어필름(14) 및 스크랩은 제1캐리어필름 장력조절부재(126)에 의해 장력이 조절된다. 상기 제1캐리어필름 장력조절부재(126)에 의해 상기 제1캐리어필름(14) 및 스크랩의 장력이 조절됨으로써 상기 제1세라믹시트 공급롤(121)에서 공급되어 상기 제1캐리어필름 회수롤(124)로 회수되는 상기 제1캐리어필름(14) 및 스크랩이 팽팽한 상태로 이송되어 상기 제1세라믹 박막(12)이 펼쳐진 상태로 흡착이동유닛(160)에 흡착되어 상기 적층테이블(110)로 이동되게 된다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 상기 적층테이블(110)의 타측에는 커버부재 공급부(130)가 위치하며, 바람직하게는 상기 적층테이블(110)을 중심으로 상기 제1세라믹시트 공급부(120)와 상기 커버부재 공급부(130)는 대응되게 위치하는 것이 바람직하다.
상기 커버부재 공급부(130)는 상기 적층테이블(110)에 적층되는 상기 커버(22)를 포함하는 커버부재(20)를 공급하는 역할을 한다.
상기 커버부재 공급부(130)는 커버부재 공급롤(131)과, 복수개의 커버부재 이송롤(132)과, 분리부재(133)와, 이형필름 회수롤(134)를 포함하고, 분리부재 이동부재(135)와, 이형필름 장력조절부재(136)를 더 포함할 수 있다.
상기 커버부재 공급롤(131)은 롤 형태로 감긴 커버부재(20)를 공급하고, 복수개의 상기 커버부재 이송롤(132)은 상기 커버부재 공급롤(131)에서 공급되는 상기 커버부재(20)를 이송시시킨다.
상기 분리부재(133)는 상기 커버부재 이송롤(132)에 의해 이송되는 상기 커버부재(20)를 커버(22)과 이형필름(24)으로 분리하는 역할을 하며, 상기 분리부재(133)에서 분리된 상기 이형필름(24)은 상기 이형필름 회수롤(134)로 회수되고, 상기 이형필름(24)과 분리된 상기 커버(22)는 후술되는 흡착이동유닛(160)에 의해 상기 적층테이블(110)로 이송되게 된다.
상기 분리부재(133)는 분리부재 이동부재(135)에 의해 상기 커버부재(20)가 이송되는 방향의 반대방향으로 이동되며, 상기 분리부재(133)는 후술되는 흡착이동유닛(160)이 상기 커버부재(20)에서 커버(22)을 흡착 시 상기 분리부재 이동부재(135)에 의해 상기 커버부재(20)가 이송되는 반대방향으로 슬라이드 이동됨으로써 흡착이동유닛(160)이 상기 커버(12)를 원활하게 흡착하게 된다. 여기서, 상기 분리부재 이동부재(135)와 상기 분리편 이동부재(125)는 일반적인 서보모터를 이용하는 것이 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니며 서보모터와 동일한 기능을 수행하는 다른 물품이 사용될 수 있다.
상기 커버부재(20)에서 상기 커버(22)가 분리된 상기 이형필름(24) 및 스크랩은 이형필름 회수롤(134)로 회수되며, 회수되는 상기 이형필름(24) 및 스크랩은 이형필름 장력조절부재(136)에 의해 장력이 조절되는 것이 바람직하다. 상기 이형필름 장력조절부재(136)는 상기 캐리어필름 장력조절부재(126)와 동일한 바, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2를 참조하면, 상기 적층테이블(110)의 후단에는 트레이유닛(140)이 위치하며, 상기 트레이유닛(140)은 상기 적층테이블(110)에 적층되는 제2세라믹 박막(32)을 포함하는 복수개의 제2세라믹시트(30)를 보관하며, 상기 트레이유닛(140)에 보관된 상기 제2세라믹시트(30)는 제2세라믹시트 이동테이블(150)에 의해 상기 적층테이블(110)의 일측으로 이동되게 된다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 트레이유닛(140)은 복수개의 보관부(141)과, 복수개의 트레이(142)와, 트레이 이동부재(143)와, 제2세라믹부재 이동수단(144)을 포함한다. 상기 복수개의 보관부(141)에는 각각 제2세라믹시트(30)가 개별적으로 수납된 상기 트레이(142)가 구비되며, 상기 복수개의 보관부(141)는 가로방향 및 세로방향으로 이격되게 구비되는 것이 바람직하다.
복수개의 상기 보관부(141)에 구비되는 상기 복수개의 트레이(142)에는 상기 제2세라믹시트(30)가 낱개씩 수납되며, 상기 트레이(142)는 트레이 이동부재(143)에 의해 상기 보관부(141)의 외측으로 이동되게 된다. 상기 트레이 이동부재(143)는 복수개가 상기 보관부(141)에 개별적으로 구비되는 것이 바람직하다. 상기 복수개의 트레이(142)에는 패턴 및 두께가 서로 상이한 제2세라믹시트(30)이 수납되는 것이 바람직하다.
상기 트레이 이동부재(143)에 의해 상기 보관부(141)의 외측으로 이동된 상기 트레이(142)에 수납된 상기 제2세라믹시트(30)는 제2세라믹시트 이동수단(144)에 의해 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150)의 상부로 이동되며, 상기 제2세라믹시트 이동수단(144)은 세로 프레임(144a), 제1이동몸체(144b), 가로 프레임(144c), 제2이동몸체(144d), 복수개의 흡착판(144e)을 포함하고, 세로방향 이동부재(144f), 가로방향 이동부재(144g), 제1공기흡입부재(144h)를 더 포함할 수 있다.
상기 세로 프레임(144a)은 상기 트레이유닛(140)의 높이방향을 구비되고, 상기 세로 프레임(144a)에는 상기 제1이동몸체(144b)가 구비되고 상기 제1이동몸체(144b)는 상기 세로 프레임(144a)을 따라 상기 트레이유닛(140)의 높이방향으로 이동하게 된다.
상기 제1이동몸체(144b)에는 가로 프레임(144c)이 연결되며, 상기 가로 프레임(144c)은 상기 트레이유닛(140)의 가로방향으로 구비되고, 상기 가로 프레임(144c)에는 상기 제2이동몸체(144d)가 구비되며, 상기 제2이동몸체(144d)는 상기 가로 프레임(144c)를 따라 상기 트레이유닛(140)의 가로방향으로 이동하게 된다.
상기 제2이동몸체(144d)에는 복수개의 흡착판(144e)이 구비되며, 상기 흡착판(144e)은 상기 트레이 이동부재(143)에 의해 상기 보관부(141)의 외부로 이동된 상기 트레이(142)에 수납된 제2세라믹시트(30)를 흡착하는 역할을 한다.
상기 제1이동몸체(144b)는 세로방향 이동부재(144f)에 의해 상기 세로 프레임(144a)을 따라 상기 트레이유닛(140)의 높이방향인 상하로 이동되고, 상기 제2이동몸체(144d)는 가로방향 이동부재(144g)에 의해 상기 가로 프레임(144c)을 따라 상기 트레이유닛(140)의 가로방향인 좌우로 이동되게 된다. 상기 복수개의 흡착판(144e)은 제1공기흡입부재(144h)와 연결되며, 상기 제1공기흡입부재(144h)는 상기 흡착판(144e)이 상기 보관부(141)의 외부로 이동된 상기 제2세라믹시트(30)를 흡착하도록 공기를 흡입하게 하는 역할을 한다.
상기 제2세라믹시트 이동수단(144)이 상기 트레이유닛(140)의 상하 및 좌우로 이동함으로써 복수개의 상기 보관홈(141)의 외부로 이동된 상기 트레이(142)에 구비되는 제2세라믹시트(30)의 상부로 이동하여 상기 흡착판(144e)을 이용하여 상기 제2세라믹시트(30)를 흡착한 후 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150)의 상부로 공급하게 된다.
도 7을 참조하면, 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150)은 안착테이블(151)과, 안착테이블 이송레일(152)과, 안착테이블 이동부재(153)를 포함한다. 상기 안착테이블(151)에는 상기 트레이유닛(140)의 제2세라믹시트 이동수단(144)에 의해 공급되는 상기 제2세라믹시트(30)가 안착되며, 상기 제2세라믹시트(30)가 안착된 상기 안착테이블(151)은 안착테이블 이동부재(153)에 의해 안착테이블 이송레일(152)을 따라 상기 적층테이블(110)의 일측으로 이동되게 된다. 상기 안착테이블 이동부재(153)는 일반적인 서보모터가 사용되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며 제작 여건에 따라 서보모터가 아닌 그와 유사한 기능을 하는 물품으로 변경될 수 있다.
상기 제1세라믹시트 공급부(120)와 상기 커버부재 공급부(130) 및 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150)에 의해 공급되는 상기 제1세라믹 박막(12)과 상기 커버(22) 및 상기 제2세라믹시트(30)는 흡착이동유닛(160)에 의해 상기 적층테이블(110)의 상부에 적층되며, 상기 흡착이동유닛(160)은 상기 제1세라믹시트 공급부(120)와 상기 커버부재 공급부(130) 및 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150) 사이를 이동하면서 상기 제1세라믹 박막(12)과 상기 커버(22) 및 상기 제2세라믹시트(30)를 선택적으로 흡착한 후 상기 적층테이블(110)로 공급하게 된다.
도 8을 참조하면, 상기 흡착이동유닛(160)은 흡착부재(161)와, 이동레일(162)와, 흡착부재 이동부재(163)와, 제2공기흡입부재(164)를 포함한다. 상기 흡착부재(161)는 상기 제1세라믹시트 공급부(120)와 상기 커버부재 공급부(130) 및 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150)의 사이를 이동하면서 상기 제1세라믹 박막(12)과 상기 커버(22) 및 상기 제2세라믹시트(30)를 흡착하여 이송한다. 상기 흡착부재(161)는 흡착부재 이동부재(163)에 의해 이동레일(162)를 따라 이동하면서 상기 제1세라믹시트 공급부(120)와 상기 커버부재 공급부(130) 및 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150)의 상부로 이동하게 되고, 상기 흡착부재 이동부재(163)는 서보모터가 사용되는 것이 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니며, 제작여건에 따라 설계변경될 수 있다.
상기 제2공기흡입부재(164)는 상기 흡착부재(161)와 연결되어 상기 흡착부재(161)가 상기 제1세라믹 박막(12)과 상기 커버(22) 및 상기 제2세라믹시트(30)를 흡착하도록 공기를 흡입하는 역할을 한다.
상기 흡착이동유닛(160)에는 커팅유닛(190)이 구비되며, 상기 커팅유닛(190)은 상기 흡착이동유닛(160)이 흡착하는 상기 제1세라믹(12)과 상기 커버(22)를 각각 상기 제1세라믹부재(10)와 상기 커버부재(20)로부터 하프커팅하는 역할을 한다.
도 10을 참조하면, 상기 커팅유닛(190)은 제1절단커터(191)와, 제2절단커터(192)와, 제3절단커터(193)와, 제4절단커터(194)와, 슬라이드 프레임(195)와, 슬라이드 이동부재(196)를 포함한다.
상기 제1절단커터(191)는 상기 흡착이동유닛(160)의 흡착부재(161)에 흡착된 상기 제1세라믹 박막(12) 및 상기 커버(22)의 일단을 커팅하는 역할을 하고, 상기 제2절단커터(192)는 상기 제1절단커터(191)와 대응되게 위치하면서 상기 흡착부재(161)에 흡착된 상기 제1세라믹 박막(12) 및 상기 커버(22)의 타단을 커팅하는 역할을 한다.
상기 제3절단커터(193)는 상기 흡착부재(161)에 흡착되는 상기 제1세라믹 박막(12) 및 상기 커버(22)의 일측단을 커팅하는 역할을 하고, 상기 제4절단커터(194)는 상기 제3절단커터(193)와 대응되게 위치하면서 상기 흡착부재(161)에 흡착된 상기 제1세라믹 박막(12) 및 상기 커버(22)의 타측단을 커팅하는 역할을 한다. 상기 제1절단커터(191) 내지 상기 제4절단커터(194)가 상기 제1세라믹 박막(12) 및 상기 커버(22)를 4면에서 커팅함으로써 상기 제1세라믹 박막(12) 및 상기 커버(22)가 사각형상으로 절단되게 된다.
상기 제1절단커터(191) 내지 제4절단커터(194)는 밀폐된 사각형상을 가지는 슬라이드 프레임(195)에서 슬라이드 이동되면서 상기 제1세라믹 박막(12) 및 상기 커버(22)를 절단하며, 상기 슬라이드 프레임(195)에서 상기 제1절단커터(191) 내지 제4절단커터(194)는 슬라이드 이동부재(196)에 의해 슬라이드 이동된다. 상기 슬라이드 이동부재(196)는 제1슬라이드 이동부재(196a), 제2슬라이드 이동부재(미도시), 제3슬라이드 이동부재(196c), 제4슬라이드 이동부재(196d)를 포함하며, 상기 제1 내지 제4슬라이드 이동부재는 각각 상기 제1절단커터(191) 내지 제4절단커터(194)를 슬라이드 이동시키는 동력을 제공하는 역할을 한다.
상기 적층테이블(110)과 인접하게 필름 제거유닛(180)이 구비되며, 상기 필름 제거유닛(180)은 상기 적층테이블(110)과 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150) 사이에 구비되는 것이 바람직하다. 상기 필름 제거유닛(180)은 상기 흡착이동유닛(160)에 의해 상기 적층테이블(110)로 이동되는 상기 제2세라믹시트(30)의 하측에서 제2캐리어필름(34)를 제거하는 역할을 한다.
도 9를 참조하면, 상기 필름 제거유닛(180)은 그립퍼(181)와, 회전부재(182)와, 본체(183)와, 상하이동부재(184)와, 가이드프레임(185)을 포함한다. 상기 그립퍼(181)는 상기 흡착이동유닛(160)에 흡착되어 이동되는 상기 제2세라믹시트(30)의 하측에 구비되는 제2캐리어필름(34)를 파지하는 역할을 하고, 상기 그립퍼(181)는 회전부재(182)에 의해 회전하면서 상기 제2세라믹시트(30)에서 상기 제2캐리어필름(34)을 박리하게 된다.
상기 그립퍼(181)와 상기 회전부재(182)는 본체(183)에 구비되며, 상기 본체(183)는 상하이동부재(184)에 의해 가이드프레임(185)에서 상하로 슬라이드 이동하는 것이 바람직하다. 상기 그립퍼(181)는 상기 제2캐리어필름(34)을 박리 시에는 상부로 이동하고 상기 제2캐리어필름(34)을 박리 후에는 하부로 이동하는 것이 바람직하다.
상기 적층테이블(110)과 인접하게 비전유닛(미도시)가 구비되는 것이 바람직하며, 상기 비전유닛(미도시)는 상기 흡착이동유닛(160)이 상기 적층테이블(110)로 상기 제1세라믹 박막(12)을 이송 시 상기 흡착이동유닛(160)에 상기 제1세라믹 박막(12)이 흡착되었는지 여부를 확인하는 역할을 한다.
상기 적층테이블(110), 상기 제1세라믹시트 공급부(120), 상기 커버부재 공급부(13), 상기 트레이유닛(140), 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150), 상기 흡착이동유닛(160), 상기 필름 제거유닛(180), 상기 커팅유닛(190)의 동작은 제어부(170)에 의해 제어되는 것이 바람직하며, 상기 제어부(170)는 상기 적층테이블(110), 상기 제1세라믹시트 공급부(120), 상기 커버부재 공급부(13), 상기 트레이유닛(140), 상기 제2세라믹시트 이동테이블(150), 상기 흡착이동유닛(160), 상기 필름 제거유닛(180), 상기 커팅유닛(190)의 동작을 순차적으로 제어함으로써 상기 적층테이블(110)에 상기 커버(22)를 공급한 후 서로 다른 제1세라믹 박막(12)과 제2세라믹 박막(32)을 일정한 패턴이 아닌 다양한 패턴을 가지도록 선별적으로 공급하면서 적층하고 마지막으로 상기 커버(22)를 적층하여 초소형 캐피스터(capacitor)를 제작하게 된다.
따라서, 제1세라믹 박막(12) 및 다른 패턴 및 두께를 가지는 복수개의 제2세라믹 박막(32)을 일정한 패턴이 아닌 다양한 패턴을 가지도록 선별적으로 커버(22) 사이에 공급한 후 적층하여 초소형 캐피스터를 제작할 수 있고, 다른 패턴 및 두께를 가지는 제2세라믹 박막(32)의 선별적 공급을 자동으로 진행할 수 있어 작업 속도를 향상시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1 : 하이브리드 적층기 110 : 적층테이블
120 : 제1세라믹부재 공급부 130 : 커버부재 공급부
140 : 트레이유닛 150 : 제2세라믹부재 이동테이블
160 : 흡착이동유닛 170 : 제어부
180 : 필름 제거유닛 190 : 커팅유닛

Claims (16)

  1. 커버와 제1세라믹 박막 및 상기 제1세라믹 박막과 다른 제2세라믹 박막이 적층되는 적층테이블;
    상기 적층테이블의 일측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제1세라믹 박막을 포함하는 제1세라믹시트를 공급하는 제1세라믹시트 공급부;
    상기 적층테이블의 타측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 커버를 포함하는 커버부재를 공급하는 커버부재 공급부;
    상기 적층테이블의 후단에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제2세라믹 박막을 포함하는 복수개의 제2세라믹시트가 보관되는 트레이유닛;
    상기 트레이유닛으로부터 상기 제2세라믹시트를 공급받아 상기 적층테이블의 일측으로 이동시키는 제2세라믹시트 이동테이블;
    상기 제1세라믹시트 공급부와 상기 커버부재 공급부 및 제2세라믹시트 이동테이블 사이로 이동하면서 선택적으로 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하여 상기 적층테이블의 상부로 이동시키는 흡착이동유닛; 및
    상기 제1세라믹시트 공급부, 상기 커버부재 공급부, 상기 트레이유닛, 상기 제2세라믹시트 이동테이블, 및 상기 흡착이동유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 하이브리드 적층기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 적층테이블에 인접하게 배치되며, 상기 흡착이동유닛에 의해 상기 적층테이블로 이동되는 상기 제2세라믹시트 하측에서 제2캐리어필름을 제거하는 필름 제거유닛을 더 포함하는 하이브리드 적층기.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 필름 제거유닛은,
    상기 제2세라믹시트 하측의 제2캐리어필름을 파지하는 그립퍼와,
    상기 그립퍼를 회전시켜 상기 제2세라믹시트에서 상기 제2캐리어필름을 박리하는 회전부재와,
    상기 그립퍼와 상기 회전부재가 구비되는 본체와,
    상기 본체를 상하로 이동시키는 상하이동부재와,
    상기 본체가 상하로 이동하도록 가이드하는 가이드프레임을 포함하는 하이브리드 적층기.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1세라믹시트 공급부는,
    롤 형태로 감긴 제1세라믹시트를 공급하는 제1세라믹시트 공급롤과,
    상기 제1세라믹시트 공급롤에서 공급되는 상기 제1세라믹시트를 이송시키는 복수개의 제1세라믹시트 이송롤과,
    상기 제1세라믹시트 이송롤에 의해 이송되는 상기 제1세라믹시트를 제1세라믹 박막과 제1캐리어필름으로 분리하는 분리편과,
    상기 분리편에서 상기 제1세라믹 박막과 분리된 제1캐리어필름을 회수하는 제1캐리어필름 회수롤을 포함하는 하이브리드 적층기.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1세라믹시트 공급부는,
    상기 분리편을 상기 제1세라믹시트 이송방향의 반대방향으로 이동시키는 분리편 이동부재와,
    상기 제1캐리어필름 회수롤로 회수되는 상기 제1캐리어필름의 장력을 조절하는 제1캐리어필름 장력조절부재를 더 포함하는 하이브리드 적층기.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 커버부재 공급부는,
    롤 형태로 감긴 커버부재를 공급하는 커버부재 공급롤과,
    상기 커버부재 공급롤에서 공급되는 상기 커버부재를 이송시키는 복수개의 커버부재 이송롤과,
    상기 커버부재 이송롤에 의해 이송되는 상기 커버부재를 커버와 이형필름으로 분리하는 분리부재와,
    상기 분리부재에서 상기 커버와 분리된 이형필름을 회수하는 이형필름 회수롤을 포함하는 하이브리드 적층기.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 커버부재 공급부는,
    상기 분리부재를 상기 커버부재 이송방향의 반대반향으로 이동시키는 분리부재 이동부재와,
    상기 이형필름 회수롤로 회수되는 상기 이형필름의 장력을 조절하는 이형필름 장력조절부재를 더 포함하는 하이브리드 적층기.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 트레이유닛은,
    복수개의 제2세라믹시트가 개별적으로 보관되며 가로방향 및 세로방향으로 이격되게 구비되는 복수개의 보관부와,
    상기 복수개의 보관부에 구비되며, 상기 제2세라믹시트가 수납되는 복수개의 트레이와,
    상기 복수개의 보관부에 구비되어 상기 트레이를 상기 보관부의 외측으로 이동시키는 트레이 이동부재와,
    상기 트레이 이동부재에 의해 상기 보관부의 외측으로 이동된 상기 트레이에 수납된 제2세라믹시트를 흡착하여 상기 제2세라믹시트 이동테이블의 상부로 이동시키는 제2세라믹시트 이동수단을 포함하는 하이브리드 적층기.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제2세라믹시트 이동수단은,
    상기 트레이유닛의 높이방향으로 구비되는 세로 프레임과,
    상기 세로 프레임을 따라 상기 트레이유닛의 높이방향으로 이동하는 제1이동몸체와,
    상기 제1이동몸체에 연결되며 상기 트레이유닛의 가로방향으로 구비되는 가로 프레임과,
    상기 가로 프레임을 따라 상기 트레이유닛의 가로방향으로 이동하는 제2이동몸체와,
    상기 제2이동몸체에 구비되며 상기 트레이 이동부재에 의해 상기 보관부의 외부로 이동된 상기 트레이에 수납된 상기 제2세라믹시트를 흡착하는 복수개의 흡착판을 포함하는 하이브리드 적층기.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제2세라믹시트 이동수단은,
    상기 제1이동몸체를 상기 세로 프레임에서 이동시키는 세로방향 이동부재와,
    상기 제2이동몸체를 상기 가로 프레임에서 이동시키는 가로방향 이동부재와,
    상기 복수개의 흡착판이 상기 제2세라믹시트를 흡착하도록 공기를 흡입하는 제1공기흡입부재를 더 포함하는 하이브리드 적층기.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2세라믹시트 이동테이블은,
    상기 트레이유닛에서 공급되는 제2세라믹시트가 안착되는 안착테이블과,
    상기 안착테이블이 이송되는 안착테이블 이송레일과,
    상기 안착테이블을 상기 적층테이블과 인접하게 이동시키는 안착테이블 이동부재를 포함하는 하이브리드 적층기.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡착이동유닛은,
    상기 제1세라믹시트 공급부와 상기 커버부재 공급부 및 상기 제2세라믹시트 이동테이블로 이동되면서 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하는 흡착부재와,
    상기 흡착부재의 이동을 가이드하는 이동레일과,
    상기 흡착부재를 상기 이동레일에서 이동시키는 흡착부재 이동부재와,
    상기 흡착부재가 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하도록 공기를 흡입하는 제2공기흡입부재를 포함하는 하이브리드 적층기.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 적층테이블은,
    상기 커버와 상기 제1세라믹 박막 및 상기 제2세라믹시트에서 분리된 제2세라믹 박막이 안착되는 테이블과,
    상기 테이블이 상기 흡착이동유닛과 밀착되도록 상기 테이블을 상하로 이동시키는 테이블 상하이동부재와,
    상기 테이블에 안착되는 상기 커버를 흡착하기 위해 공기를 흡입하는 제3공기흡입부재를 포함하는 하이브리드 적층기.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡착이동유닛에 구비되며 상기 흡착이동유닛이 흡착하는 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버를 커팅하는 커팅유닛을 더 포함하는 하이브리드 적층기.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 커팅유닛은,
    상기 흡착이동유닛에 흡착된 상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 일단을 절단하는 제1절단커터와,
    상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 타단을 절단하는 제2절단커터와,
    상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 일측단을 절단하는 제3절단커터와,
    상기 제1세라믹 박막 및 상기 커버의 타측단을 절단하는 제4절단커터와,
    상기 제1절단커터 내지 제4절단커터가 슬라이드 이동하는 밀폐된 사각형상의 슬라이드 프레임과,
    상기 제1절단커터 내지 제4절단커터를 슬라이드 이동시키는 슬라이드 이동부재를 포함하는 하이브리드 적층기.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 적층테이블에 인접하게 위치하며, 상기 흡착이동유닛이 상기 적층테이블로 상기 제1세라믹 박막을 이송 시 상기 흡착이동유닛에 상기 제1세라믹 박막이 흡착되었는지 여부를 확인하는 비전유닛을 더 포함하는 하이브리드 적층기.
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