KR101951811B1 - 고유연성 기판을 캐리어에 접합 및 탈접합하는 방법 및 장치 - Google Patents

고유연성 기판을 캐리어에 접합 및 탈접합하는 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

캐리어 기판에/으로부터 유연성 기판을 접합 및/또는 탈접합하는 방법 및 장치는, 캐리어 기판에/으로부터 유연성 기판을 접합 및/또는 탈접합시키기 위하여, 캐리어 기판을 지지하는 제1 플레이트를 유연성 기판을 고정 및 해제하는 제2 플레이트에 대하여 상대 운동시키는것을 포함한다.

Description

고유연성 기판을 캐리어에 접합 및 탈접합하는 방법 및 장치{METHODS AND APPARATUS FOR BONDING AND DE-BONDING A HIGHLY FLEXIBLE SUBSTRATE TO A CARRIER}
본 발명은 고유연성 기판과 같은 유연성 기판을, 더 두껍고 더 강성의 기판을 위하여 설계된 소위 시트 제조 기술을 이용하여, 처리하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
시트 제조 기술들은, 전형적으로, 각각의 시트들을 소스로부터 모든 처리 단계들(가열, 스코어링(scoring), 트리밍(trimming), 커팅, 등)을 거쳐 목적지까지 반송함으로써, 각각의 기판들 (예컨대, 글라스 시트들)을 처리하는데 사용된다. 각 시트의 반송은, 바람직하게는 기판의 어떠한 바람직한 특성들의 열화를 수반하지 않고, 스테이션으로부터 스테이션으로 각 기판을 이동시키기 위하여 협력하는 다수의 구성부들을 포함할 수 있다. 예컨대, 전형적인 운송 기구는 비접촉 지지부들, 접촉 지지부들, 롤러들, 측방 가이드들, 등을 포함하여, 소스로부터 각 공정 스테이션을 거쳐, 종국적으로 목적지까지, 시스템 전체에 걸쳐 기판을 안내한다. 비접촉 지지부들은 에어 베어링, 유체 바(fluid bar(s)), 저마찰 표면(들), 등을 포함할 수 있다. 비접촉 에어 베어링은 운송 중에 기판들을 부유시킬 수 있도록 정 및 부 유체 압력 스트림의 조합을 포함할 수 있다. 접촉 지지부는, 시스템 전체에 걸쳐 운송 중에 기판들을 안정시키는 롤러들을 포함할 수 있다.
시트 제조 시스템을 위한 전술한 운송 기구는 전형적으로, 제조 시스템 전체에 걸쳐 반송 및 처리 중에 기판에 힘이 가해지더라도, 적절한 기계적 치수 특성(mechanical dimensionality)), 소재 완전성(material integrity) 및/또는 기타 특성을 유지하기에 충분한 강성을 보이는 두께와 같은 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 기판을 위하여 설계된 것이다. 예컨대, 액정 디스플레이 (또는 기타 유사 응용 분야)에서 사용되는 커버 글라스를 위한 전형적인 시트 제조 기술들은 글라스 기판이 상대적으로 고강성을 보일 것을 요구하는데, 기판이 대략 0.5mm 이상의 두께를 가질 때가 이에 해당될 수 있다.
상당히 작은 두께 및/또는 강성을 가지는 기판 (예컨대, 고유연성 글라스 기판)을 처리할 때, 이러한 시트 제조 기술들의 사용은 문제를 야기할 수 있다.
고유연성 기판에 종래의 시트 제조 기술을 사용하여 야기될 수 있는 문제들 중 적어도 몇 가지는 그러한 고유연성 기판을 반송하고 처리하기 위한 특수 처리 장비를 설계함으로써 해결될 수 있다. 그러나, 새로운 특수 처리 장비는, 기존의 (아마도, 비용이 모두 지급된) 생산 장비를 구식으로 만들 뿐만 아니라, 시간 및 리소스의 관점에서 회수 불가능한 상당한 비용을 필요로 할 수 있다. 예컨대, 고유연성 기판을 처리할 때, 종래의 시트 제조 기술들은 "롤-투-롤" 반송 및 처리 장비를 위하여 폐기되어야 할 수도 있다. 원칙적으로는, 상기와 같은 대체는 장기적으로는 제조 비용을 낮추게 되는 효과로 이어질 수 있으나, 고유연성 기판 물질을 위한 새로운 롤-투-롤 시스템을 설계하고 실행하기 위한 회수 불가능한 비용은 매우 클 수 있고, 아마도 어떠한 타입들의 유연성 기판들을 처리하기 위해서는 쇄신을 필요로 할지도 모른다.
고유연성 기판의 처리와 관련된 전술한 문제들은 당업계에서 인식되어 왔고, 해결책들이 연구되어 오고 있다. 시트 처리 기술들을 사용하여 고유연성 기판들을 처리할 수 있도록, 유연성 기판에 수정을 가하는 새로운 방법 및 장치에 대한 요구가 당업계에 남아 있다.
논의의 목적으로, 본 명세서는 때로 글라스로 형성되는 기판과 관련된 방법론 및 장치를 언급할 수 있으나, 당업자들은 본 명세서의 방법론 및 장치는 글라스 기판, 결정질 기판, 단결정 기판, 글라스 세라믹 기판, 폴리머 기판, 등 다양한 종류의 기판들에 적용될 수 있음을 알 것이다.
예컨대, 한 가지 타입의 유연성 기판 물질은 코닝® 윌로우® 글라스(Corning® Willow® Glass)로 불리어지는 것인데, 코닝 윌로우 글라스는 다양한 목적에 적합한 글라스 물질이다. 글라스 물질의 강도 및 유연성을 동시에 갖는 상대적으로 얇은 물질 (대략적으로 종이 시트의 두께인 대략 0.1mm 두께)은 종래의 것으로부터 예컨대 장치 또는 구조물 주위를 디스플레이 엘리먼트로 래핑하는 고정밀도의 것에 이르기까지 사용될 수 있다. 코닝 윌로우 글라스는, 고성능 휴대 장치 (예컨대, 스마트 폰, 테블릿, 및 노트북 컴퓨터)에 사용될 수 있는, 유기 발광 다이오드 (OLED) 및 액정 디스플레이 (LCD)용의 매우 얇은 백플레인, 컬러 필터, 등을 위해 사용될 수 있다. 코닝 윌로우 글라스는, 터치 센서와 같은 전자 부품들, OLED 디스플레이 장치를 위한 실(seal) 및 기타 습기 및 산소에 민감한 부품들을 생산하는데 사용될 수 있다. 코닝 윌로우 글라스는 대략 100㎛~200㎛의 두께, 고유연성을 갖고, 다음을 포함하는 글라스 특성을 갖는다: 대략 2.3 ~ 2.5 g/cc의 밀도, 대략 70~80 GPa의 영률, 대략 0.20~0.25의 프와송비 및 대략 185~370 mm의 최소 곡률 반경.
(더 두껍고 더 강성의 기판을 위하여 설계된) 종래의 시트 제조 기술을 사용하여, 코닝 윌로우 글라스의 각각의 기판들을 처리한다면, 그 물질의 얇고 유연한 특성은 아마도 글라스의 물질 특성의 열화, 글라스의 심각한 파괴(critical failure) 및/또는 시트 처리 장비의 중단 또는 손상을 야기할 수 있다.
본 명세서는, (더 두껍고 더 강성의 기판을 위하여 설계된) 기존의 시트 제조 시스템에서, 얇고 유연한 글라스 기판과 같은 유연성 기판을 처리하는데 따른 문제점을 해결하기 위한 것이다. 특히, 본 방법 및 장치는 유연성 기판을 더 두껍고 및/또는 더 강성의 캐리어 기판에 일시적으로 접합하는데 필요한 방안을 제시하여, 시트 처리 시스템에서 유연성 기판이 처리될 때 캐리어 기판은 캐리어 기판의 더 강성의 기계적 특성을 유연성 기판이 갖고 있는 것처럼 만든다. 처리된 후, 일시 접합은 해제되고, 유연성 기판의 후속 제조, 처리 또는 고객에게로의 배달이 이어진다.
특히, 유연성 기판을 더 두껍고 및/또는 더 강성의 캐리어 기판에 일시적으로 접합하는 개념이 당업계에서 검토되어 왔으나, 이전의 연구의 주안점은 주로 접합 공정에 두어진 것으로 보인다. 예컨대, 일시 접합은, 한 가지 중요 특성으로, 기판들 사이의 에어 버블을 최소화하는 것이었다. 탈접합 공정은, 또 다른 중요 특성으로, 기판들의 분리가 제어되어야 하고, 기판의 분리 도중에 유연성 기판에 가해지는 좋지 못한 모든 특성들을 최소화하는 것이었다. 그러나, 본 명세서의 실시예들은 고유연성 기판의 일시 접합 공정 및 후속 탈접합의 양 특성 모두에 주안점을 둔 공정을 안출한 것이다.
기타 측면, 특징, 장점들은 첨부 도면과 함께 이하의 설명으로부터 당업자에게 명백할 것이다.
예시의 목적으로, 첨부 도면에 바람직한 형태들이 도시되어 있으나, 본 명세서에서 개시되고 기술된 실시예들은 도시된 바와 같은 그 특정한 배치 및 수단에만 한정되는 것이 아님을 이해하여야 한다.
도 1은 종래의 시트 제조 시스템에서 유연성 기판의 처리를 위하여 유연성 기판이 캐리어 기판에 접합되는 매커니즘을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 상기 종래의 시트 제조 시스템에서 유연성 기판을 처리하기 위하여 캐리어 기판에 접합된 유연성 기판을 개략적으로 보여주는 측면도이다.
도 3은 유연성 기판이 캐리어 기판에 접합되는 시퀀스 중에 접합 선단이 진행하는 것을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 4는 유연성 기판을 캐리어 기판에 접합하고, 그 뒤 캐리어 기판으로부터 유연성 기판을 탈접합하는데 사용되는 도구를 개략적으로 표현한 도면이다.
도 5 내지 도 10은 두 개의 공정 시퀀스들을 보여주는데,
첫 번째 시퀀스는 접합 시퀀스로서, 접합 시퀀스에서는 도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9 및 도 10의 순서로 도시되는 바와 같이 상기 도구를 사용하여, 유연성 기판을 캐리어 기판에 접합하고,
두 번째 시퀀스는 탈접합 시퀀스로서, 탈접합 시퀀스에서는 도 10, 도 9, 도 8, 도 7, 도 6 및 도 5의 순서로 도시되는 바와 같이 상기 도구를 사용하여, 유연성 기판을 캐리어 기판에 탈접합한다.
도 11은 유연성 기판을 캐리어 기판에 수작업으로 접합한 정성적 결과를 보여주는 도면이다.
도 12는 상기 도구를 사용하여 유연성 기판을 캐리어 기판에 접합한 정성적 결과를 보여주는 도면이다.
전술한 바와 같이, 본 명세서에서 설명되는 실시예들은 유연성 기판을 더 두껍고 및/또는 더 강성의 캐리어 기판에 일시적으로 접합(bonding)하고, 그 결합 구조물을 처리하고, 그리고 나서 유연성 기판을 캐리어 기판으로부터 탈접합(de-bonding)시키는 것에 관한 것이다. 이러한 일반적인 공정은 이전에도 연구되었으나, 그러한 연구는 주로 접합 공정에 주안점이 두어졌었다. 그러나, 본 명세서의 실시예들은, 고유연성 기판의 일시적 접합 및 후속 분리, 둘 모두에 주안점을 둔 공정을 고려한 것이다.
논의의 목적으로, 이하에서 논의되는 실시예들은 바람직한 재료인 글라스로 형성되는 유연성 기판을 처리하는 것에 관한 것이다. 그러나, 상기 실시예들은, 결정성 기판, 단결정 기판, 글라스 세라믹 기판, 폴리머 기판 등과 같은 유연성 기판을 구현할 수 있는 다양한 물질들을 사용할 수 있다.
도 1은 종래의 시트 제조 시스템에서 유연성 기판(102)을 처리하기 위하여, 유연성 기판(102)이 캐리어 기판(104)에 일시적으로 접합되는 공정을 개략적으로 보여주는 사시도이다. 전술한 바와 같이, 유연성 기판(102)을 더 두껍고 및/또는 더 강성의 캐리어 기판(104)에 접합하는 이유는, 유연성 기판(102)보다 더 강성의 기판을 다루기 위하여 설계된 종래의 시트 처리 시스템에서 처리될 때, 캐리어 기판(104)의 더 강성의 기계적 성질을 유연성 기판(102)이 갖는 것처럼 하기 위함이다.
도 2는, 얻어진 접합 구조물(100) (캐리어 기판(104) 위에 유연성 기판(102))을 개략적으로 보여준다. 캐리어 기판(104)은 글라스 물질과 같은 물질의 시트로 형성될 수 있고, 여기서 캐리어 기판(104)은 (도시된 직각 좌표계 내에서) X 축을 따라 길이를 갖고, Y 축을 따라 폭을 가지며, Z 축을 따라 두께를 갖는다. 특히, X 축과 Y 축은 X-Y 평면을 정의하고, X-Y 평면은 여기서 인-플레인(in-plane)으로, 및/또는 인-플레인 기준(in-plane reference)를 정의하는 것으로 사용될 수 있다.
유사하게, 유연성 기판(102)은 예컨대 글라스 물질과 같은 물질의 시트로 형성될 수 있고, 여기서 유연성 기판(102)은 상기 X 축 방향으로 길이 방향을 갖고, 상기 Y 축 방향으로 폭을 가지며, 상기 Z 축 방향으로 두께를 가진다. 전술한 바와 같이, 유연성 기판(102)은 다음 중 적어도 하나를 가진다: i) 캐리어 기판(104)의 유연성보다 실질적으로 더 유연한 유연성, ii) 캐리어 기판(104)의 두께보다 실질적으로 더 작은 두께.
하나 이상의 실시예에서, 유연성 기판(102)은 글라스로 형성될 수 있고, 다음 중 하나의 두께를 가질 수 있다:i) 대략 50㎛ ~ 대략 300㎛, ii) 대략 100㎛ ~ 대략 200㎛. 하나 이상의 다른 실시예에서는, 유연성 기판(102)은 다음 중 적어도 하나를 가질 수 있다 : 대략 2.3~2.5 g/cc의 밀도, 대략 70~80 GPa의 영률(Young's Modulus), 대략 0.20~0.25의 프와송비 (Poisson ratio) 및 대략 185~370mm의 최소 곡률 반경.
유사하게, 하나 이상의 실시예에서, 캐리어 기판(104)은 글라스로 형성될 수 있으나, 캐리어 기판(104)은 바람직하게는 적어도 대략 400㎛ ~ 대략 1000㎛ 의 두께를 갖고, 특히 유연성 기판(102)보다 더 두꺼운 두께를 갖는다. 추가적으로 및/또는 대안으로서, 캐리어 기판(104)은 유연성 기판(102)보다 실질적으로 더 강성을 갖는 물질로 형성될 수 있다.
유연성 기판(102)과 캐리어 기판(104) 사이의 접합은 일시적이고, 주로 종래의 시트 제조 시스템에서 유연성 기판(102)을 처리하기 위한 목적으로 사용된다. 이러한 처리 후에, 상기 일시적인 접합은 해제되고, 유연성 기판(102)은 종래의 시트 제조 시스템 외부에서 이루어지는 추가적인 처리 및/또는 응용을 위하여 캐리어 기판(104)으로부터 분리될 수 있다. 본 명세서에서 실시예들은 유연성 기판(102)을 캐리어 기판(104)에 대하여 정확한 위치에 위치키시키고, 일시적인 접합이 용이하도록 기판들(102, 104)을 접촉시키며, 기판들(102, 104)의 후속 탈접합 및 분리를 위한 장치 및 방법론에 대한 것이다.
유연성 기판(102)과 캐리어 기판(104) 사이의 접합력(bonding attraction)을 얻기 위한 모든 접근법이 사용될 수 있다. 예로서, 당업자는, 여기서 개시된 조건들을 얻는데, 다음의 특허출원들에 개시된 구체적인 접합 기술 중 하나 이상을 사용하거나 변형 사용할 수 있을 것이다 : 미국 가특허출원 번호 61/736,887 (2012.12.13. 출원); 미국 특허출원 번호 14/047,506 (2013.10.07. 출원); 미국 가특허출원 번호 61/931924 (2014.01.27. 출원); 미국 가특허출원 61/931,912 (2014.01.27. 출원); 미국 가특허출원 번호 61/931,927 (2014.01.27. 출원); 및 미국 가특허출원 번호 61/977,364 (2014.04.09. 출원). 이에 의하여 이들의 명세서 기재 내용들은 본 언급에 의하여 본 명세서에 일체화(incorporated by reference)되어야 한다.
본 명세서에서 개시된 방법 및 장치의 이점을 더욱 완전하게 이해하기 위하여, 도 3을 참조하여 일반적인 접합 공정을 상세하게 설명한다. 이 일반적인 접합 공정에서, 유연성 기판(102)은 캐리어 기판(104) 상에 놓여진 뒤, 접합되는 것으로 가정한다. 이와 관련하여, 도 3은 유연성 기판(102)이 캐리어 기판(104)에 접합되는 시퀀스(sequence) 중에 접합 선단(bond front)이 진행되는 것을 개략적으로 보여주는 사시도이다. 명확화와 기술적 배경 논의의 제공을 위하여 접합 선단을 생기게 하는 구체적인 기구를 여기에서는 보여주지 않지만, 본 명세서의 후반부에서 접합 선단을 생성하고 제어하기 위한 구체적인 실시예들을 실제로 보여줄 것이다.
일반적인 접합 공정은 유연성 기판(102)을 캐리어 기판(104) 상에 위치시킨 후, 그 사이에 접합을 야기하는 것을 포함한다. 전술한 바와 같이, 유연성 기판(102)과 캐리어 기판(104)은 X 축 방향의 길이, Y 축 방향의 폭, 및 Z 축 방향의 두께에 의하여 특징 지워진다. 이에 의하여, X 축 및 Y 축은 X-Y 평면을 정의하는데, X-Y 평면은 (접합 구조물(100)의 평탄도와 대비될 수 있는) 인-플레인 기준이 된다. 유연성 기판(102)이 캐리어 기판(104) 상에 놓여질 때, 전형적으로는 기판들(102, 104) 사이에 비교적 작은 분리를 유지하게 하는 (공기와 같은) 주위 기체가 존재할 것이다. 접합을 개시하기 위하여, 예컨대 기계적 가압력(pressing force)을 통한, 유연성 기판(102)과 캐리어 기판(104)이 합체되도록 하는 국부적인 강제(urging)에 의하여 시작 영역(30)이 설정될 수 있다. 도시된 예에서, 상기 시작 영역(30)은, 유연성 기판(102)이 캐리어 기판(104) 쪽으로 접촉되게 선형 집중 압력을 가함으로써 얻어지는, 일반적으로 선형적으로 연장된 시작 영역이다. 전술한 바와 같이, 선형적으로 연장된 압력 및 그 결과 얻어지는 선형 방향으로 연장된 시작 영역(30)을 만들기 위한 하나 이상의 구체적인 구현예가 아래에서 더욱 구체적으로 논의될 것이다.
도시된 예의 경우, 접합 선단(34)은 선형 방향 벡터들을 포함할 것이고, 그 선형 방향 벡터들은, X-Y 평면에서 시작 영역(30)의 신장(elongate)된 방향을 가로질러 그 신장된 방향과 이격되게 연장될 것이다. 예컨대, 시작 영역(30)은, Y 축과 평행한 선을 따라 (예컨대, 도 3의 좌측에 도시된 각각의 기판들(102, 104)의 인접 변들을 따라) 실질적으로 선형적으로 연장될 수 있다. 그 결과, 접합 선단(34)은 벡터들을 포함하는데, 그 벡터들은 Y 축과 평행한 선 (예컨대 라인 30) 을 따라 실질적으로 선형적으로 상호 이격되고, Y 축을 가로지르는 방향 (예컨대, Y 축과 수직을 이루는 X 축과 평행한 방향) 으로 시작 영역(30)으로부터 이격되게 진행하는 것을 알 수 있다. 접합 선단(34)이 기판들(102, 104)(102, 104)의 끝에 도달하여, 유연성 기판(102)이 캐리어 기판(104)에 접합될 때까지, 접합 선단(34)은 X-Y 평면에서 시작 영역(30)으로부터 이격되게 선형적 확장을 계속할 것이다.
도 4는 유연성 기판(102)을 캐리어 기판(104)에 접합하고 그리고 나서 캐리어 기판(104)으로부터 유연성 기판(102)을 탈접합 시키는데 사용할 수 있는 도구(200)를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도구(200)는, 캐리어 기판(104)을 지지하도록 작동하는 제1 플레이트(202)와, 유연성 기판(102)을 지지하도록 작동하는 제2 플레이트(204)를 포함한다. 제1 및 제2 플레이트(202, 204)의 상대적 운동은 두 플레이트 모두가 운동될 수 있도록 하거나, 적어도 하나의 플레이트가 나머지에 대하여 운동될 수 있도록 함으로써 얻어질 수 있다. 일 예로, 도시한 실시예에서는 (도 2의 X, Y, Z축을 채택할 때) 제1 플레이트(202)가 Z 축을 따라 운동되도록 하고, 제2 플레이트(204)가 적어도 Y 축과 평행한 라인을 중심으로 회전될 수 있다. 즉, 제2 플레이트(204)는 Y 축과 평행한 라인을 중심으로 피봇될 수 있다.
제1 및 제2 플레이트(202, 204)는, 적절한 기계적, 전기적, 공기압의, 유압의, 마그네틱 및/또는 기타의 현 기술 수준의 운동을 얻기 위한 기구를 통하여 서로에 대하여 상대 운동할 수 있다. 운동을 위한 구체적인 기구의 구체적인 설명이, 도시된 실시예를 구현하는데, 중요하지 않기 때문에, 여기서는 도구(200)의 기능에 대하여만 설명한다. 실제, 당업자라면, 잘 알려지고 입수 가능한 콤포넌트에 대한 불필요한 설명의 부담을 지우지 않고서도, 도시된 실시예들을 실현하는데 어려움이 없을 것이다.
제1 플레이트(202)는 제1 접촉 표면(first bearing surface)(212)을 포함하는데, 캐리어 기판(104)은 상기 제1 접촉 표면(212)에 대하여 지지된다. 제2 플레이트(204)는 제2 접촉 표면(214)을 갖는데, 유연성 기판(102)은 상기 제2 접촉 표면(214)에 대하여 고정되고 해제된다. 특히, 제2 접촉 표면(214)은 X-Y 평면으로부터 벗어나 Z 축과 평행하게 실질적으로 원통형으로 만곡된다. 달리 표현하면, 제2 접촉 표면(214)의 곡률은 Y 축에 평행한 라인을 중심으로 한다. 추가적으로 및/또는 대안으로서, 제2 접촉 표면(214)은, 접합 및 탈접합 공정 중 탄성을 제공하기 위하여, 제2 플레이트(204)와 유연성 기판(102) 사이에 고무 코팅 (미도시) 및/또는 기타 중간층을 포함할 수 있다.
제1 플레이트(202)는 제1 접촉 표면(212)을 통과하여 연장되는 흡입공 어레이(222)를 포함할 수 있고, 상기 흡입공 어레이(222)는 흡입 유체가 캐리어 기판(104)을 제1 접촉 표면(212)에 대하여 끌어 당기고 고정하도록 한다. 하나 이상의 실시예에서는, 흡입공 어레이(222) 전체가 동시에 흡입을 제공하고, 동시에 흡입을 제거하도록 제어된다. 대안 실시예는 상기 어레이(222)의 흡입공 중 어떠한 것들은 개별적으로 제어될 수 있다.
제2 플레이트(204)는 제2 접촉 표면(214)을 통과하여 연장되는 흡입공 어레이(224)를 포함할 수 있고, 상기 흡입공 어레이(224)는 복수의 흡입공 세트(226)를 포함하고, 각각의 흡입공 세트(226)는, Y 축과 평행하고, X 축을 따라 서로 인접하게, 배향된다. 도시된 실시예에서, 한 흡입공 세트(226)는 Y 축과 평행하게 제2 접촉 표면(214)을 가로질러 연장된 라인 어레이인 것으로 도시되어 있다. 당업자는, 대안 실시예에서, 흡입공 세트(226)가 하나를 초과하는 라인 어레이를 포함할 수 있음을 이해할 것이다. 추가적으로 및/또는 대안으로, 주어진 세트(226)내의 흡입공의 라인 어레이의 수는 제2 접촉 표면(214)을 가로질러 변화할 수 있다. 하나 이상의 실시예에 따르면, 상기 각 흡입공 세트(226)는 개별적으로 제어되어, 흡입을 제공하고 흡입을 해제한다.
도구(200)는 제어부(206)를 추가적으로 포함할 수 있고, 제어부(206)는 제1 플레이트(202)의 운동, 흡입공 어레이(222)를 통한 흡입의 인가 및 제거, 제2 플레이트(204)의 운동 및 흡입공 어레이(224)의 각 흡입공 세트(226)를 통한 흡입의 인가 및 제거를 제어하도록 작동한다. 제어부(206)로부터 도구(200)의 표시된 엘리먼트들로의 화살표는, 제어부(206)가 그 엘리먼트들을 제어할 수 있게 하는, 제어 신호 전송, 센서 측정, 등을 나타낸다. 제어부(206)는, 여기에 기재된 도구(200)의 기능을 얻기 위하여 협력하여 작동되는 하나 이상의 마이크로프로세서들, 메모리들, 센서들, 입력/출력 회로들, 소프트웨어, 등을 포함할 수 있다.
도구(200)의 작동 및 여기에서 고려된 방법론이 도 5 내지 도 10을 참조하여 예시되어 있다. 특히, 도 5 내지 도 10은 별개의 두 공정 시퀀스들을 도시한다. 첫 번째 시퀀스는 접합 시퀀스로서, 접합 시퀀스에서는, 도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 즉 도 5로부터 도 10까지의 순서로 도시된 바와 같이, 유연성 기판(102)을 캐리어 기판(104)에 접합하기 위하여, 도구(200)가 사용된다. 두 번째 시퀀스는 탈접합 시퀀스로서, 탈접합 시퀀스에서는 도 10, 도 9, 도 8, 도 7, 도 6 및 도 5에 도시된 바와 같이, 즉 도 10으로부터 도 5까지 역 방향 순서로 도시된 바와 같이 유연성 기판(102)을 캐리어 기판(104)에 탈접합하기 위하여 도구(200)가 사용된다.
이하에서, 도 5 내지 도 10을 순차적으로 참조하여, 접합 공정을 설명한다.
도 5는, 어레이(224)의 흡입공 모두 또는 실질적으로 모두를 활성화시켜 유연성 기판(102)이 제2 플레이트(204)의 제2 접촉 표면(214)에 대하여 고정된 상태를 도시하는데, 제2 플레이트(204)의 중심으로 향하는 복수의 점선 화살표, 즉 흡입 작동에 의하여 생성된 유체 흐름의 방향이 상기 어레이(224)를 표현하고 있다. 더욱 구체적으로는, 실질적으로 모든 흡입공 세트들(226)이 활성화되고, 여기에서 각 흡입공 세트(226)는 페이지 안쪽을 향하여 배향되고 (Y 축과 평행), 점선 화살표 중 하나에 의하여 표현되어 있다. 유사하게, 흡입공 어레이(222)의 모두 또는 실질적으로 모두를 활성화시켜 캐리어 기판(104)을 제1 플레이트(202)의 제1 접촉 표면(212)에 대하여 고정하는데, 제1 플레이트(202)의 중심으로 향하는 복수의 점선 화살표, 즉, 즉 흡입 작동에 의하여 생성된 유체 흐름의 방향이 상기 어레이(222)를 표현하고 있다.
도 5 및 도 6을 참조할 때, 제어부(206) 및 (동작 화살표에 의하여 개략적으로 도시된) 동작 기구는, 제1 및 제2 플레이트(202, 204)를 서로에 대하여 상대 운동시켜, 유연성 기판(102)이 캐리어 기판(104)와 Z 축을 따라 이격되도록 위치시킨다. 더욱 구체적으로는, 제어부(206) 및 동작 기구는, Z 축을 따라 제2 플레이트(204)로부터 멀어지도록 및/또는 제2 플레이트(204) 쪽으로 제1 플레이트(202)를 운동시켜, 제2 플레이트(204)가 요구되는 위치로 회전(피봇)될 수 있도록, 요구되는 이격 관계를 얻는다. 도 6에 도시한 바와 같이, 제어부(206) 및 동작 기구는 계속하여 제1 및 제2 플레이트(202, 204)를 운동시켜, 제1 및 제2 접촉 표면(212, 214)의 각각의 신장된 부분들을 서로를 향하여 밀어, 기판들(102, 104)의 대응되는 신장된 부분들이 예컨대 250에서 각각의 제1 측변을 따라 서로 접촉될 수 있도록 한다. 제1 및 제2 접촉 표면(212, 214)의 각각의 신장된 부분들을 서로를 향하여 계속 밀어 압력존, Pi (예컨대, 초기 압력존 P0)를 생성하는데, 여기서 유연성 기판(102)은 캐리어 기판(104)을 향하여 그리고 캐리어 기판(104)과 접촉되어 기울어져 있다. 각각의 제1 및 제2 플레이트(202, 204)의 전술한 기하학적 구조 때문에, 압력존 PO은 Y 축과 평행하게 선형적으로 연장된다. 압력존 PO은, 신장된 시작 영역 (도 3의 엘리먼트 30을 참조)을 생성하고, 신장된 시작 영역에서 접합은 Y 축을 따라 기판들(102, 104) 사이에서 전체를 가로질러 개시된다.
도 6 및 도 7을 순차적으로 참조할 때, 제어부(206) 및 도구(200)의 동작 기구는 현재의 압력존 Pi (예컨대 P0)을 해제하고, 역시 Y 축과 평행하게 연장된 후속 압력존 Pi+1 (예컨대 P1)을 인가하도록 작동된다. 압력존 P0과 비교되어, 후속 압력존 P1은 X 축을 따라 압력존 P0(과 인접하게) 순차적으로 작동된다. (인가되는) 후속 압력존 P1으로 (제거되는) 압력존 P0의 순차적 작동(indexing)은, X 축과 평행한 방향으로 제1 플레이트(202)를 가로질러 제2 플레이트(204)를 굴리는 제어부(206) 및 동작 기구를 통하여 얻어진다. 단지 논의의 목적으로 예시된 X 축을 따른 압력존 P0, P1의 간격은 약간 크지만 (도 6 및 도 7을 참조할 때), 당업자는 도구(200)의 실제 구현예에서는, 적용 상황에 따라 압력존 P0, P1, P2, 등의 간격을 작거나 크게 만들 수 있음을 이해할 것이다. 각각의 제1 및 제2 플레이트(202, 204)의 기하학적 구조 및 제1 플레이트(202) 상에서 제2 플레이트(204)가 굴러서 움직이는 것 때문에, 당업자는 도구(200)의 도시된 구현예는 압력존 Pi의 연속적인 (단속적이지 않은) 순차적 작동을 야기할 수 있음을 이해할 것이다.
압력존 Pi의 순차적 작동과 동시에, 순차적 압력존 Pi (i = 0, 1, 2, 3 ... n)이 해제됨에 따라 제어부(206) 및 제2 플레이트(204)는 유연성 기판(102)의 각 부분을 해제하도록 작동할 수 있다. 따라서, 도 7에 도시한 바와 같이, (캐리어 기판(104)에 접합된) 유연성 기판(102)의 각 부분, 즉, X 축을 따라 260-1로 표시된 영역 내의 유연성 기판(102)의 부분은 더 이상 제2 플레이트(204)에 고정되어 있지 않는다. 역으로, (캐리어 기판(104)에 아직 접합되지 않은) 유연성 기판(102)의 각 부분, 즉, X 축을 따라 260-2로 표시된 영역 내의 유연성 기판(102)의 부분은 제2 플레이트(204)에 여전히 고정되어 있다.
유연성 기판(102)의 각 부분의 해제는, 대응되는 압력존 Pi가 순차적으로 작동됨에 따라 (즉, 각각의 인접 압력존들이 순차적으로 해제되고 인가됨에 따라) 인접하는 흡입공 세트(226)들을 순차적으로 비활성화시키는 (끄는) 제어부(206)를 통하여 얻어진다. 어떠한 흡입공 세트(226)들의 비활성화는 X 축을 따라 260-1로 표시된 영역 내에서 유체 흐름의 점선 화살표를 제거함으로써 표현된다. 다른 흡입공 세트들(226), 즉, X 축을 따라 260-2로 표시된 영역 내의 흡입공 세트들(226)은, 여전히 활성화되어 (유연성 기판(102)이 제2 플레이트(204)의 접촉 표면에 고정되어 있다. 인접 흡입공 세트들(226)의 순차적 비활성화는, 압력존 Pi의 순차적 작동과 동기화되어, 유연성 기판(102)의 각 부분들을 제2 플레이트(204)의 제2 접촉 표면(214)으로부터 순차적으로 해제한다.
도 6, 7 및 8에 순차적으로 도시된 바와 같이, 압력존의 순차적 작동은 복수의 압력존 Pi (i = 0, 1, 2, 3 ... n)에 대하여 반복되고, 이와 동시에 (각각의 흡입공 세트(226)의 비활성화를 통한) 유연성 기판(102)의 순차적인 해제가 수행된다. 이러한 작동은 접합 선단(전술한 도 3의 엘리먼트(34) 및 신장된 시작 영역(30)으로부터 이격되게 가로지르고 X 축과 평행하게 연장되는 선형 벡터를 참조)을 진행시킨다. 접합 선단(34)이 기판들(102, 104)의 끝단까지 도달할 때까지 접합은 계속해서 진행된다.
도 9 및 10에 도시한 바와 같이, 도구(200)의 제어부(206) 및 동작 기구는, 전술한 접합 선단이 기판들(102, 104)의 먼쪽 측변에 도달하도록 작동하고, 이때 유연성 기판(102)은 캐리어 기판(104)에 완전히 접합된다. 그리고 나서, 도구(200)의 제어부(206) 및 동작 기구는 제2 플레이트(204)를 접합된 구조물(100)로부터 이격시키고, 그 구조물(100)을 하류 공정 및/또는 목적지 (예컨대, 전술한 종래의 시트 제조 공정 및 기법)로 이동시킨다.
전술한 도구(200) 및 방법론과 관련하여 실험이 실시되었다. 0.7mm 두께의 글라스로 형성된 캐리어 기판(104)과 0.1mm 두께의 (초박(ultra-thin)) 글라스로 형성된 유연성 기판(102)을 수작업 및 본 명세서에서 기술된 도구(200)를 사용하여 접합하였다. 도 11은, 캐리어 기판(104)에 유연성 기판(102)을 수작업으로 접합하여 얻어진 샘플(100-1)의 정성적 결과를 보여주는 도면이다. 도 12는, 캐리어 기판(104)에 유연성 기판(102)을 도구(200)를 이용하여 접합하여 얻어진 샘플(100-2)의 정성적 결과를 보여주는 도면이다.
샘플의 정성적 결과는 각 경우의 두 기판들(102, 104) 사이에 트랩된 공기의 양과 관련된다. 수작업으로 접합된 샘플(100-1)에서는, 접합 선단(34)이 확장되는 방식으로 인하여, 접합 면적이 자연적으로 확장되고, 상당한 양의 공기(300-1)가 트랩되었다. 반면, 접합 도구(200)를 사용한 경우, 샘플(100-2)의 기판들(102, 104) 사이의 접합은, 접합 선단(34)이 X 축을 따라 순차적으로 작동되며 한 라인 한 라인 단계적으로 진행되도록, 제어됨으로써, 기판들(102, 104) 사이에 트랩된 공기(300-2)의 양이 상당히 감소된 결과를 얻을 수 있었다. 트랩된 공기의 양의 감소는 대략 10:1 정도이었다.
역으로 도 10으로부터 도 5의 순으로 참조하여, 탈접합을 설명한다. 특히, 도 10에 도시된 접합 구조물(100)의 상태에서부터 캐리어 기판(104)으로부터 유연성 기판(102)을 탈접합하는 것과 관련된 구체적인 단계들은 접합 공정의 단계들의 리버스 단계들이다. 제어부(206) 및 동작 기구는 제1 및 제2 플레이트(202, 204)들을 서로에 대하여 도 9의 이격 위치와 같이 이동시키도록 작동된다. 도 9 및 도 8을 순차적으로 참조할 때, 제어부(206) 및 동작 기구는, 제2 접촉 표면(214)의 신장된 부분이 유연성 기판(102)의 대응되는 신장된 부분과 접촉되게, 제2 플레이트(204)가 제1 플레이트(202)에 대하여 상대 위치되도록 한다. 동시에, 제어부(206)는, 제2 플레이트(204)의 흡입공 세트들(226) 중 유연성 기판(102)의 상기 대응되는 신장된 부분과 가장 인접한 적어도 하나의 흡입공 세트(즉, X 축을 따른 영역(260-2) 내의 하나 이상의 흡입공 세트)를 통하여 흡입을 실행할 것을 명령한다.
도 8, 도 7 및 도 6을 순차적으로 참조할 때, 제어부(206) 및 동작 기구는 제2 플레이트(204)를 유연성 기판(102)을 가로질러 X 축과 평행한 X 방향 (접합 시 굴러서 움직이는 방향과 반대 방향) 으로 굴러서 움직이도록 하고, 동시에 흡입공의 세트(226)들 중 각각의 인접 세트들을 통하여 순차적으로 흡입이 실행되도록 한다. 이러한 굴러서 움직이는 작동은 유연성 기판(102)을 캐리어 기판(104)으로부터 벗겨낸다. 굽힘 각도의 변화 (즉, 벗겨낼 때 굽힙 각도의 증가) 및 굽힘에 따라 인가되는 스트레스의 변화를 최소화 (또는 제거)함으로써, 유연성 기판(102)의 파괴를 방지할 수 있다. 탈접합을 위한 개시된 도구(200) 및 방법론은, 벗겨낼 때, 일정한 굽힘 각도 및 일정한 탈접합 속도를 보장하여, 전술한 파괴를 방지한다. 또한, 정전기 방지 이오나이징 공기가 제1 플레이트(202) 내의 슬릿(미도시)을 통하여 공급될 수 있고, 여기서 상기 슬릿은 탈접합 방향을 따라 위치되고, 이는 정전기 방지력에 의하여 탈접합을 돕고 또한 유연성 초박 글라스와 캐리어 글라스가 재접합되는 것을 방지한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 제어부(206) 및 동작 기구는, 캐리어 기판(104)으로부터 유연성 기판(102)을 완전히 탈접합한 후, 제1 플레이트(202)로부터 제2 플레이트(204)를 이격 이동시키도록 작동한다.
상기 설명은 특정 실시예와 관련되어 설명하였으나, 이러한 실시예들은 단순히 그 실시예들의 원리 및 적용을 예시하기 위한 것일 뿐이다. 따라서, 많은 변형이 상기 예시 실시예들에 가해질 수 있고, 본 출원의 사상과 범위에 벗어남이 없이 다른 배치가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (21)

  1. 시트재로 형성되는 캐리어 기판을 지지하고, X 축 방향으로 길이를 갖고, Y 축방향으로 폭을 갖고, Z 축 방향으로 두께를 가지며, 상기 X 축 및 상기 Y 축은 X-Y 평면을 형성하는 제1 플레이트;
    시트재로 형성되는 유연성 기판을 고정 및 해제하고, 상기 X 축 방향으로 길이를 갖고, 상기 Y 축 방향으로 폭을 가지고, 상기 Z 축 방향으로 두께를 가지며, i) 상기 유연성 기판의 유연성은 상기 캐리어 기판의 유연성보다 더 유연한 것 및 ii) 상기 유연성 기판의 두께는 상기 캐리어 기판의 두께보다 더 작은 것 중 적어도 어느 하나를 만족하는 제2 플레이트; 및
    동작 기구를 포함하고, 상기 동작 기구는,
    (a) 상기 Z 축을 따라 상기 캐리어 기판과 이격되도록 상기 유연성 기판을 위치시키고,
    (b) 압력존 P0을 인가하여, 상기 압력존 P0에서 상기 유연성 기판은 상기 캐리어 기판을 향하여 접촉이 되도록 하고, 상기 압력존 P0은 Y 축과 평행하게 선형적으로 연장되어 신장된(elongate) 시작 영역을 생성하여, 상기 신장된 시작 영역에서는 상기 기판들 사이에서 상기 Y 축을 따라 완전히 가로질러 접합이 개시되고,
    (c) 현 압력존 Pi를 해제하고, 상기 Y 축과 평행하게 연장되고 상기 X 축을 따라 상기 현 압력존과 인접하게 순차적으로 작동되는 후속 압력존 (Pi+1)을 인가하고,
    (d) 복수의 압력존 Pi, i = 1, 1, 2, 3 ... n에 대하여 상기 (c)를 반복하여 선형 벡터들을 갖는 접합 선단을 순차적으로 진행시키고, 상기 선형 벡터들은 상기 X 축과 평행하게 상기 X-Y 평면에서 상기 신장된 시작 영역으로부터 가로질러 이격되게 연장되고, 상기 접합 선단이 상기 기판들의 끝단에 도달하여 상기 유연성 기판이 상기 캐리어 기판에 완전히 접합될 때까지 상기 접합 선단의 진행을 계속시키는
    것을 순차적으로 수행하도록, 상기 제1 및 제2 플레이트를 서로에 대하여 상대 운동시키고,
    상기 동작 기구는, 접합을 완료한 후, 상기 캐리어 기판으로부터 상기 유연성 기판을 탈접합하도록 동작되되,
    상기 제1 플레이트는 상기 캐리어 기판이 지지되는 제1 접촉 표면을 가지고,
    상기 제2 플레이트는 상기 유연성 기판이 고정 및 해제되는 제2 접촉 표면을 갖고, 상기 제2 접촉 표면은 상기 X-Y 평면으로부터 벗어나 상기 Z 축과 평행하게 원통형으로 만곡되고,
    상기 제2 플레이트는 상기 제2 접촉 표면을 통과하여 연장된 흡입공 어레이를 포함하고, 상기 어레이는 복수의 흡입공 세트를 포함하고, 각 세트는 상기 X 축을 따라 서로에 인접하고 상기 Y 축과 평행하게 배향되고,
    상기 흡입공의 각각의 세트는 별개로 제어되어 흡입을 제공 및 해제할 수 있고,
    상기 압력존 Pi가 순차적으로 해제되고 인가됨에 따라 인접하는 흡입공 세트들이 순차적으로 꺼져, 이와 동기화 되어 상기 유연성 기판의 각각의 부분들이 상기 제2 접촉 표면으로부터 순차적으로 해제되고, 상기 접합이 완료될 때 상기 유연성 기판의 전체가 상기 제2 플레이트로부터 해제되도록, 제어할 수 있으며,
    상기 동작 기구는,
    (a) 상기 제2 접촉 표면의 신장된 부분이 상기 유연성 기판의 대응되는 신장된 부분과 접촉하도록, 상기 유연성 기판이 완전히 접합된 상기 캐리어 기판을 지지하는 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 상대 위치시키고,
    (b) 상기 흡입공 세트들 중 상기 유연성 기판의 상기 대응되는 신장된 부분과 가장 근접한 적어도 하나의 흡입공 세트를 통하여 흡입을 인가하도록 하고,
    (c) 상기 제2 플레이트를 상기 X 축과 평행한 X 방향으로 상기 유연성 기판을 가로질러 굴림과 동시에 상기 유연성 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 벗겨내도록, 상기 흡입공 세트들 중 각각의 인접 흡입공 세트들을 통하여 순차적으로 흡입을 인가하도록 하고,
    (d) 상기 캐리어 기판으로부터 상기 유연성 기판을 완전히 탈접합 시킨 후, 상기 제2 플레이트가 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록 운동시키는,
    것을 순차적으로 수행하도록, 상기 제1 및 제2 플레이트를 서로에 대하여 상대 운동시키도록 작동하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 순차적 압력존 Pi, i = 0, 1, 2, 3 ... n이 해제됨에 따라, 상기 제2 플레이트가 상기 유연성 기판의 각각의 부분들을 해제시켜, 상기 접합이 완료될 때 상기 유연성 기판 전체가 상기 제2 플레이트로부터 해제되는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 동작 기구는, 상기 제1 및 제2 접촉 표면의 대응되는 각각의 신장된 부분들을 서로를 향하여 가압되도록 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 상대 운동시켜, 상기 순차적 압력존 (Pi, i =0, 1, 2, 3 ... n)을 인가하고, 상기 순차적 압력존에서 상기 유연성 기판은 상기 캐리어 기판을 향하여 접촉되도록 하여, 상기 유연성 기판과 상기 캐리어 기판의 각각의 제1 변들에 가장 인접한 상기 신장된 시작 영역 및 상기 접합 선단의 후속 진행을 생성하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 동작 기구는 상기 압력존 (Pi, i = 0, 1, 2, 3 ... n)을 순차적으로 작동하기 위하여 상기 X 축과 평행한 X 방향으로 상기 제1 플레이트를 가로질러 상기 제2 플레이트를 굴러서 움직이도록 작동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. (a) 시트재로 형성되고, X 축 방향으로 길이를 갖고, Y 축 방향으로 폭을 가지고, Z 축 방향으로 두께를 가지며, 상기 X 축과 Y 축은 X-Y 평면을 형성하는, 캐리어 기판을 지지하도록 작동하는 제1 플레이트를 제공하고,
    (b) 시트재로 형성되고, 상기 X 축 방향으로 길이를 가지고, 상기 Y 축 방향으로 폭을 가지고, 상기 Z 축 방향으로 두께를 가지며, (i) 상기 캐리어 기판의 유연성보다 더 유연한 유연성을 가지는 것 및 (ii) 상기 캐리어 기판의 두께보다 더 작은 두께를 가지는 것 중 적어도 하나를 만족하는 유연성 기판을 고정 및 해제하도록 작동하는 제2 플레이트를 제공하고,
    (c) 상기 제2 플레이트에 대한 상기 제1 플레이트의 상대 운동을 통하여, 상기 Z 축을 따라 상기 캐리어 기판과 이격되도록 상기 유연성 기판을 위치시키고,
    (d) 압력존 P0을 인가하고, 상기 압력존 P0에서는 상기 제2 플레이트에 대한 상기 제1 플레이트의 상대 운동을 통하여, 상기 유연성 기판이 상기 캐리어 기판 쪽으로 접촉되게 상기 유연성 기판이 이동되고, 상기 압력존 P0은 상기 Y 축과 평행하게 선형적으로 연장되어 신장된 시작 영역을 생성하고, 상기 신장된 시작 영역에서는 상기 기판들 사이에서 상기 Y 축을 따라 상기 기판들을 완전히 가로질러 접합이 개시되고,
    (e) 현 압력존 Pi를 해제하고, 상기 제2 플레이트에 대한 상기 제1 플레이트의 상대 운동을 통하여, 상기 Y 축과 평행하게 연장되고, 상기 X 축을 따라 상기 현 압력존 Pi와 인접하게 순차적으로 후속 압력존 (Pi+1)을 인가하고,
    (f) 복수의 압력존 Pi, i = 0, 1, 2, 3, ... n에 대하여 상기 제1 플레이트를 상기 제2 플레이트에 대하여 상대 운동시켜 상기 (e)를 반복하여, 상기 X-Y 평면내에서 상기 신장된 시작 영역으로부터 가로질러 이격되게 상기 X 축과 평행하게 연장된 선형 벡터들을 갖는 접합 선단을 순차적으로 진행시키고, 상기 접합 선단이 상기 기판들의 끝단에 도달하여 상기 유연성 기판이 상기 캐리어 기판에 완전히 접합될 때까지 상기 접합 선단의 진행을 계속시키고
    완전한 접합 후에 상기 캐리어 기판으로부터 상기 유연성 기판을 탈접합하는 것을 추가적으로 포함하되,
    상기 제1 플레이트는 상기 캐리어 기판이 지지되는 제1 접촉 표면을 갖고,
    상기 제2 플레이트는 상기 유연성 기판이 고정 및 해제되는 제2 접촉 표면을 갖고, 상기 제2 접촉 표면은 상기 X-Y 평면으로부터 벗어나 상기 Z 축과 평행하게 원통형으로 만곡되고,
    상기 제2 플레이트는 상기 제2 접촉 표면을 통과하여 연장되는 흡입공 어레이를 포함하고, 상기 어레이는 복수의 흡입공 세트를 포함하고, 각 세트는 상기 X 축을 따라 서로에게 인접하고 상기 Y 축과 평행하게 배향되고,
    각 흡입공 세트는 개별로 제어되어 흡입을 제공 및 해제하고,
    상기 압력존 Pi가 순차적으로 해제 및 인가됨에 따라 인접하는 흡입공 세트들이 순차적으로 꺼짐되어, 이와 동기화 되어 상기 제2 접촉 표면으로부터 상기 유연성 기판의 각각의 부분들이 순차적으로 해제되고, 상기 접합이 완료될 때 상기 유연성 기판의 전체가 상기 제2 플레이트로부터 해제되도록, 흡입의 제공 및 해제를 제어하는 것을 추가적으로 포함하며,
    (a)상기 제2 접촉 표면의 신장된 부분이 상기 유연성 기판의 대응되는 신장된 부분과 접촉하도록, 상기 유연성 기판이 완전히 접합된 상기 캐리어 기판을 지지하는 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 상대 위치시키고,
    (b) 상기 유연성 기판의 상기 흡입공의 세트들 중 상기 대응되는 신장된 부분과 가장 근접한 적어도 하나의 세트를 통하여 흡입이 인가되도록 하고,
    (c) 상기 X 축과 평행한 X 방향으로 상기 유연성 기판을 가로질러 상기 제2 플레이트를 굴림과 동시에 상기 캐리어 기판으로부터 상기 유연성 기판을 벗겨내기 위하여, 상기 흡입공 세트들 중 각각의 인접하는 세트들을 통하여 흡입이 순차적 인가되도록 하고,
    (d) 상기 캐리어 기판으로부터 상기 유연성 기판을 완전히 탈접합시킨 후, 상기 제1 플레이트로부터 상기 제2 플레이트를 이격 이동시키는,
    것이 순차적으로 수행되도록, 상기 제1 및 제2 플레이트들 서로에 대하여 상대 운동시키는 것을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 접합이 완료될 때 상기 유연성 기판의 전체가 상기 제2 플레이트로부터 해제되도록 상기 순차적인 압력존 Pi, i = 0, 1, 2, 3 ... n, 이 해제됨에 따라, 상기 제2 플레이트로부터 상기 유연성 기판의 각각의 부분들을 해제시키는 것을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 삭제
  12. 제9항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 접촉 표면의 대응되는 각각의 신장된 부분들을 서로를 향하여 가압되도록 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 상대 운동시키는 것을 추가적으로 포함하여, 상기 순차적 압력존 (Pi, i = 0, 1, 2, 3 ... n)을 인가하고, 상기 순차적 압력존에서 상기 유연성 기판은 상기 캐리어 기판 쪽으로 접촉되게 이동하여, 상기 유연성 기판 및 상기 캐리어 기판의 각각의 제1 변들과 가장 근접한 상기 신장된 시작 영역을 생성하고 상기 접합 선단의 후속 진행이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 압력존 (Pi, i = 0, 1, 2, 3 ... n에 대하여)을 순차적으로 작동되도록, 상기 X 축과 평행한 X 방향으로 상기 제1 플레이트를 가로질러 상기 제2 플레이트를 굴리는 것을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 제9항에 있어서,
    상기 유연성 기판은 글라스로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 유연성 기판은, 50 ㎛ ~ 300 ㎛ 및 100 ㎛ ~ 200 ㎛의 두께 중 하나의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 유연성 기판은, 2.3~2.5 g/cc의 밀도, 70~80 GPa의 영률, 0.20~0.25의 프와송비 및 185~370 mm의 최소 곡률 중 적어도 하나를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. 제9항에 있어서,
    상기 캐리어 기판은 글라스로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 캐리어 기판은 400 ~ 1000 ㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
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