KR20200017469A - 유연한 기판을 캐리어에 접착하기 위한 방법 및 기기 - Google Patents

Abstract

유연한 기판을 캐리어 기판에 접착하기 위한 방법 및 기기는 그 사이의 갭이 형성되도록 캐리어 기판에 인접하게, 접촉하지 않고, 유연한 기판을 홀드하는 단계; 제1 접착 전면부가 유도 위치에서 멀어지게 전파되도록 상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이에 접착을 유도하는 단계; 및 상기 유도 위치에서의 제1 접착 전면부의 전파와 동시에 유연한 기판 상에서의 비-접촉 유지를 해제하는 단계;를 포함한다.

Description

유연한 기판을 캐리어에 접착하기 위한 방법 및 기기

본 출원은 2017년 6월 12일에 제출된 미국 가출원 번호 62/518,133의 우선권을 주장하며, 그 전체가 참고로 본원에 포함된다.

본 발명은 매우 유연한 기판과 같은 유연한 기판을 처리하기 위한 방법 및 기기에 대한 것이다.

시트(sheet) 제조 기술은 통상적으로 소스로부터 임의의 수의 처리 단계(가열, 스코어링, 트리밍, 커팅, 등)를 통하여, 목적지로 각각의 시트를 이송함으로써 각각의 기판(예컨대, 유리 시트)을 처리하기 위해 채용된다. 바람직하게, 각각의 시트의 이송은 기판의 임의의 바람직한 특성을 저하시키지 않고, 스테이션에서 스테이션으로 각각의 기판을 이동시키도록 협력하는 다수의 요소를 포함할 수 있다. 예를 들어, 통상적인 수송 메커니즘은 임의의 수의 비접촉 지지 부재, 접촉 지지 부재, 롤러, 측면 가이드 등을 포함하여, 소스로부터 각각의 공정 스테이션을 통하여, 최종적으로 목적지로, 시스템을 통해 기판을 안내할 수 있다. 비-접촉 지지 부재는 에어 베어링(air bearings), 유체 바(fluid bar), 저마찰 표면, 등을 포함할 수 있다. 비-접촉 지지 요소는 이송 중 기판을 "부유"시키기 위한 양유압 및 음유압 스트림(positive and negative fluid pressure streams)의 조합을 포함할 수 있다. 접촉 지지 요소는 시스템을 통한 이송 중 기판을 안정시키기 위한 롤러(roller)를 포함할 수 있다.

시트 제조 시스템을 위한 전술한 수송 메커니즘은 이송 중 및 제조 시스템을 통한 처리 중 기판에 영향을 미칠 수 있는 힘에도 불구하고 적절한 기계적 치수, 재료 무결성, 및/또는 다른 특성을 유지하기에 충분한 강성을 나타내는 두께와 같은, 통상적으로 상대적으로 두꺼운 기판에 대해 디자인된다. 예를 들어, 액정 디스플레이(또는 다른 유사한 적용)에 사용된 커버 유리에 대한 통상적인 시트 제조 기술은 통상적으로 기판이 약 0.5 mm 이상의 두께를 갖는 경우일 수 있는 것처럼, 상대적으로 높은 강성을 유리 기판이 나타내는 것을 필요로 한다.

그러나, 예컨대, 약 200 미크론(㎛) 이하의 유리 기판과 같이, 상당히 낮은 강성을 가진 기판이 처리될 때, 이러한 시트 제조 기술의 사용은 문제가 될 수 있다.

매우 유연한 기판에서의 시트 제조 기술을 사용하여 일어날 수 있는 문제점들의 적어도 일부는 이러한 기판을 이송하고 처리하기 위한 특수 처리 장비를 설계함으로써 극복할 수 있다. 그러나, 이러한 설계는 구식의 기존 생산 장비를 수정하는 것뿐만 아니라 시간 및 자원의 측면에서 상당한 비-반복적 비용을 필요로 할 것이다. 예를 들어, 매우 유연한 기판을 처리할 때, 종래의 시트 제조 기술은 "롤-투-롤(roll-to-roll)" 이송 및 처리 장비를 위하여 폐기될 수 있다. 원칙적으로, 이러한 보완은 장기적으로 더 낮은 제조 비용을 야기할 것이다; 그러나, 매우 유연한 기판 재료에 대한 새로운 롤-투-롤 시스템을 설계하고 시행하기 위한 비-반복적 비용은 매우 충분할 수 있으며, 특정 타입의 유연한 기판을 처리에 대한 혁신이 필요할 수 있다.

따라서, 시트 처리 기술을 이용하여 처리될 수 있도록 유연한 기판을 수정하기 위한 개선된 방법 및 기기를 위한 업계의 요구가 있다.

설명을 위해, 본원 발명은 유리로 형성된 기판을 포함하는 방법론 및 기기를 나타낼 수 있다; 그러나, 당업자들은 본원 방법론 및 기기가 유리 기판, 결정질 기판, 단결정 기판, 유리 세라믹 기판, 중합체 기판 등을 포함하여, 수많은 종류의 기판에 적용됨을 인식할 것이다.

예를 들어, 유연한 기판 재료 중 하나의 타입은 많은 목적에 적합한 유리 재료인, 뉴욕, 코닝의 코닝 코퍼레이티드에서 이용 가능한 디스플레이 등급 유리, Corning® Willow® 유리로 지칭된다. 유리 재료의 강도 및 유연성과 조합된, 상대적으로 얇은 재료(예컨대, 거의 종이 시트 두께인, 약 0.1 mm 두께)는 장치 또는 구조 주위에 디스플레이 요소를 감싸는 것과 같은, 매우 정교한 분야까지 지원한다. Corning® Willow® 유리는, 예를 들어, 고성능 휴대 장치(예컨대, 스마트폰, 태블릿, 및 노트북 컴퓨터)에 사용될 수 있는 것처럼, 유기발광 다이오드(OLED) 및 액정 디스플레이(LCD), 모두에 대해, 매우 얇은 백플래인, 컬러 필터 등에 대해, 사용될 수 있다. Corning® Willow® 유리는 또한, OLED 디스플레이에 대한 터치 센서, 밀봉 및 다른 습기 및 산소 감지 기술과 같은 전기 구성요소를 생산하는데 사용될 수 있다.

Corning® Willow® 유리는 약 100 ㎛ 내지 약 200 ㎛ 두께일 수 있으며, 다음을 포함하는 유리 특성을 가질 수 있다: 약 2.3 - 2.5 g/cc의 밀도, 약 70 - 80 GPa의 영률(Young's Modulus), 약 0.20 - 0.25의 푸아송 비(Poisson Ratio), 및 약 185 - 370 mm의 최소 굴곡 반경을 포함한다.

Corning® Willow® 유리의 각각의 기판이 통상적인 시트 제조 기술을 이용하여 처리되는 경우, 재료의 두께 및 유연성은 유리의 재료 특성의 저하, 유리의 임계 파괴, 및/또는 시트 처리 장비에 대한 중단 또는 손상을 야기할 수 있다. 그러므로, 유연한 기판을 더 두껍고 및/또는 강성의 캐리어 기판으로 일시적으로 접착시켜 유연한 기판을 시트 처리 시스템에서 처리되면서 강성의 기계적 특성을 갖게 함으로써, Corning® Willow® 유리와 같은 유연한 기판을 처리하기 위한 기술이 존재한다. 처리 이후, 일시적인 접착은 해제되고 유연한 기판은 추가의 제조, 처리, 또는 고객에게 이송될 수 있다.

더 두껍고 및/또는 강성의 캐리어 기판에 유연한 기판을 일시적으로 접착하는 현존 기술은 약 370 mm x 470 mm의 기판 크기에 대해 성공적으로 달성되었다. 이러한 성공의 하나의 척도는 원하는 수준의 평탄도를 유지하는 것이다(예컨대, 약 100 ㎛ 이하의 캐리어 기판에 대한 접착된 유연한 기판의 임의의 면외 곡률(out-of-plane curvature)을 유지하는 것). 그러나, 유연한 기판의 크기가 370 mm x 470 mm 너머, 예컨대 1100 mm x 1300 mm 이상으로 증가되면서, 그리고 연속하는 접착 공정의 처리량이 예컨대 35 mm/sec 이상의 속도로 증가되면서, 알려진 평탄도를 유지하는 것의 복잡성 및 어려움이 상당히 증가한다는 것이 밝혀졌다.

첨부한 도면들과 함께 본원 설명으로부터 다른 관점, 특징, 및 장점들이 당업자에게 명백할 것이다.

예시의 목적을 위해, 현재 바람직한 도면에서 도시된 형태가 있지만, 본원에 개시되고 기술된 실시예는 도시된 정확한 배열 및 수단으로 한정되지 않는다는 점을 이해해야 한다.
도 1은 유연한 기판이 종래의 시트 제조 시스템에서 유연한 기판을 처리하기 위한 준비에서의 캐리어 기판에 접착되는 공정에 대한 개략적인 사시도이다.
도 2는 종래의 시트 제조 시스템에서의 유연한 기판을 처리하기 위해 캐리어 기판에 접착된 유연한 기판의 개략적인 측면도이다.
도 3은 접착된 구조체의 돔 형태의 면외 변형을 야기하는, 유연한 기판이 캐리어 기판에 접착될 수 있는 제1 결과에 대한 개략적인 사시도이다.
도 4는 도 3의 접착된 구조체의 면외 변형의 정량적 측정에 대한 그래프이다.
도 5는 접착된 구조체의 실린더형 면외 변형을 야기하는, 유연한 기판이 캐리어 기판에 접착될 수 있는 제2 결과에 대한 개략적인 사시도이다.
도 6은 도 5의 접착된 구조체의 면외 변형의 정량적 측정에 대한 그래프이다.
도 7은 유연한 기판과 캐리어 기판의 소스에서의 연속하는 접착 공정을 수행하기 위한 접착 기기의 사시도이다.
도 8은 도 5의 접착 공정을 특징으로 하는 접착 시작 라인 및 접착 전면부를 초기화하는데 채용될 수 있는 메커니즘의 개략도이다.
도 9는 접착된 구조체에서의 유도된 면외 곡률에 대응하기 위해 캐리어 기판의 면외 변형을 생성하도록 채용될 수 있는 메커니즘의 개략도이다.
도 10은 캐리어 기판에 인접한 유연한 기판의 리프트(lift), 홀드(hold), 및 해제(release)를 제공하도록 채용될 수 있는 메커니즘의 측면 개략도이다.
도 11은 도 10의 메커니즘의 평면 개략도이다.
도 12a- 12f는 캐리어 기판에 인접한 유연한 기판의 리프트, 홀드 및 해제를 제공하는 것과 같이, 도 10의 메너지즘의 작동의 측면 개략도이다.
도 13a-13c는 본원에 개시된 접착 공정을 통해 생성된 접착된 구조체의 정량적 측정의 그래프이다.
도 14a-14c는 본원에 개시된 접착 공정으로 생성된 접착된 구조체의 정량적 측정의 다른 그래프이다.

설명을 위해, 아래에 논의된 실시예는 바람직한 재료인 유리로 형성된 유연한 기판의 처리를 나타낸다. 그러나, 실시예들은 예컨대, 결정질 기판, 단결정 기판, 유리 세라믹 기판, 폴리머 기판 등과 같은 유연한 기판을 시행하기 위해 상이한 재료를 채용할 수 있음을 유의해야 한다.

도 1을 참고하면, 이는 유연한 기판(102)이 종래의 시트 제조 시스템에서 유연한 기판(102)을 처리하기 위한 준비에서 캐리어 기판(104)에 임시로 접착되는 공정의 개략적인 사시도를 나타낸다. 전술한 바와 같이, 유연한 기판(102)을 더 두껍거나 및/또는 강성의 캐리어 기판(104)에 접착하는 이유는 유연한 기판(102)보다 더 강성의 기판을 취급하도록 설계된 시트 처리 시스템에서 처리되면서 유연한 기판(102)이 강성의 기계적 특성을 갖는 것으로 제공하기 위함이다.

도 2를 참고하면, 결과적인 접착된 구조체(100)의 개략도(캐리어 기판(104) 상단에 유연한 기판(102))가 도시된다. 이와 관련하여, 캐리어 기판(104)은 유리 재료와 같은 시트 재료로 형성될 수 있으며, 여기서, 캐리어 기판(104)은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수(직교 좌표계 내에서)를 가진다. 특히, X-축 및 Y-축은 X-Y 평면을 형성하며, 이는 본원에서 면 내인 것 및/또는 면 내 기준으로 나타낼 수 있다. 유사하게, 유연한 기판(102)은 시트 재료로 형성되며, 이는 또한 유리 재료일 수 있으며, 여기서, 유연한 기판(102)은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수를 갖는다. 전술한 것처럼, 유연한 기판(102)은 다음 중 적어도 하나를 나타낸다: (i) 캐리어 기판(104)의 유연성보다 실질적으로 더 유연한 유연성; 및 (ii) 캐리어 기판(104)의 두께보다 실질적으로 덜 두꺼운 두께.

하나 이상의 실시예에서, 유연한 기판(102)은 유리로 형성되고 다음 중 하나의 두께를 가질 수 있다: (i) 약 50 ㎛(microns) 내지 약 300 ㎛, 및 (ii) 약 100 ㎛ 내지 약 200 ㎛. 하나 이상의 다른 실시예에 따라, 유연한 기판(102)은 다음 중 적어도 하나를 가질 수 있다: 약 2.3 - 2.5 g/cc의 밀도; 약 70 - 80 GPa의 영률; 약 0.20 - 0.25의 푸아송 비; 및 약 185 - 370 mm의 최소 굽힘 반경.

유사하게, 하나 이상의 실시예에서, 캐리어 기판(104)은 유리로 형성될 수 있다; 그러나, 캐리어 기판(104)은 바람직하게 약 400 내지 1000 ㎛의 두께를 가지며, 특히 유연한 기판(102)보다 더 두껍다.

유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104) 사이의 접착에 대한 더욱 자세한 설명이 이후 본원에서 제시되겠지만, 접착은 일시적이며 주로 종래의 시트 제조 시스템에서 유연한 기판(102)을 처리하는 목적을 위해 채용되는 것이 바람직하다. 이러한 처리 이후, 임시 접착은 제거될 수 있으며 유연한 기판(102)은 종래의 시트 제조 시스템 밖에서 추가로 처리 및/또는 적용되기 위해 캐리어 기판(104)에서 분리될 수 있다.

이후 본원에 설명된 접착 변수 및 특성이 또한 고려되고 보충되는 한, 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104) 사이의 실제 접착력(임시 또는 그 외)을 달성하기 위한 임의의 수의 메커니즘 및/또는 처리가 채용될 수 있다. 예시의 방법을 통해, 당업자는 본원에 개시된 조건을 달성한 다음의 특허 출원에 개시된 하나 이상의 접착 공정을 채용하거나 및/또는 수정할 수 있다: 2012년 12월 13일에 제출된 미국 가출원 번호 61/736,887; 2014년 1월 27일에 제출된 미국 가출원 번호 61/931924; 2014 년 1월 27일에 출원된 미국 가출원 번호 61/931,912; 2014년 1월 27일에 출원된 미국 가출원 번호 61/931,927; 및 2014년 4월 9일에 출원된 미국 가출원 번호 61/977,364, 그 전체가 참고로서 본원에 포함된다.

본원에 개시된 방법 및 기기를 더욱 완전히 이해하기 위해, 일부 접착 특성 및 현상의 자세한 설명이 도 3 및 4를 참고하여 제시될 것이다. 도 3은 유연한 기판(102)이 캐리어 기판(104)에 접착될 수 있는 결과의 예시의 개략적인 사시도이며, 이는 접착된 구조체(100)의 실질적으로 돔 형상의 면외 변형을 야기한다. 도 4는 도 3의 접착된 구조체(100)의 면외 변형의 정량적 측정의 그래프이다.

또한, 접착 공정 이전 및 적어도 부분적으로 도중, 설명을 위해, 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104)은 각각 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수로 특징지어 진다. 이로써 X-축 및 Y-축은 X-Y 평면을 형성하며, 이는 면내 기준이다(예를 들어, 도 4에서, 그에 대해 접착된 구조체(100)의 평탄도가 비교됨).

도 3을 참고하면, 접착 공정은 캐리어 기판(104)에 인접하여(예를 들어, 위에) 유연한 기판(102)을 위치시키는 단계 및 이후 접착을 유도하는 단계를 포함할 수 있다. 특히, 접착 기판(102)이 캐리어 기판(104)에 인접하여 위치될 때 통상적으로 기판들 사이에 일부 상대적으로 작은 분리를 유지하는 일부 대기 가스(예컨대 공기)가 있을 수 있다. 접착을 개시하기 위해, 시작 구역은 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104)이 함께, 예컨대 기계적 접착력을 통한 것처럼, 국부적 가압(localized urging)을 통해 형성될 수 있다. 예시에서, 화살표(22)로 나타낸 캐리어 기판(104)을 향해, 그리고 접촉되는, 유연한 기판(102)의 집중된 압력을 통해 단일 지점 및/또는 일반적으로 원형 구역이 시작 구역(20)으로서 형성될 수 있다.

당업자는 하나 이상의 다른 접착 기준이 시작 구역 유도에 따라 작용될 수 있음을 이해할 것이다(상기 언급된 미국 특허 출원 공개 참조). 그렇게 함으로써, 시작 구역(20)에서 유도된 접착은 접착 전면부(24)를 따라 전파될 것이다. 예시된 시작 구역(20)의 경우(즉, 단일 지점 및/또는 일반적으로 원형 구역), 접착 전면부(24)는 X-Y 평면의 방향에서 시작 구역(20)으로부터 멀리 확장되는 방사상으로 지향된 벡터를 포함할 것이다. 접착 전면부(24)는 기판의 가장자리에 도달할 때까지 X-Y 평면에서 방사상으로 바깥쪽으로 계속해서 확장되게 되며, 그 때 유연한 기판(102)이 캐리어 기판(104)에 접착된다.

실험을 통해, 전술한 (방사상으로 확장되는) 접착 전면부(24)가 접착된 구조체(100)를 면외 변형(즉, X-Y 평면에 의해 형성된 기준 평면 외로)시키게 되는 것이 밝혀졌다. 특히, 방사상으로 확장하는 접착 전면부(24)는 일반적으로 Z-축의 돔 형태의 면외 곡률을 야기하며, 이는 Z-축을 따른 하향 방향으로서 예시에서 도시된다. 다른 방식으로, 일부 보완 메커니즘 없이, 캐리어 기판(104)에 대한 유연한 기판(102)의 단순한 접착은 바람직하지 않은 면외 곡률을 생성할 것이며, 이는 수정되지 않은 채 남겨지면, 시트 제조 시스템의 하류 공정에서 더욱 바람직하지 않은 영향을 생성할 수 있다. 실제로, 일반적으로 종래의 시트 제조 시스템은 처리될 유입되는 기판이 상대적으로 평평할 때 최적으로 작동하는 것으로 이해된다.

그러나, 도 3의 접착된 구조체(100)는 일반적으로 평평하지 않다. 실제로, 도 4를 참고하면, 도 3의 접착된 구조체(100)의 예시의 면외 변형의 정량적 측정의 그래프가 도시된다. 실험과 관련하여, 도 4의 그래프의 Z-축은 ㎛로 측정되고, X-축 및 Y-축은 mm로 측정된다. 일반적으로 면외 돔 형태의 곡률은 최대 225 - 300 ㎛ 이다. 이러한 곡률은 종래의 시트 제조 시스템에서 허용될 수 없을 수 있으며 및/또는 상업적 적용에 적합하지 않은 결함이 있는 중간 제품을 야기할 수 있다. 본원에서 이후 더 자세히 설명될 것처럼, 이러한 바람직하지 않은 접착 현상의 보완은 본원 실시예에 따라 성취될 수 있다.

캐리어 기판(104)에 대한 유연한 기판(102)의 접착으로 야기된 면외 곡률의 다른 예시는 도 5 및 6을 참고하여 제공될 것이다. 도 5는 유연한 기판(102)이 캐리어 기판(104)에 접착되어, 접착된 구조체(100)의 실질적으로 실린더형 면외 변형을 야기할 수 있는 대안의 결과의 예시의 개략적인 사시도이다. 도 6은 실험을 통해 얻어진 도 5의 접착된 구조체(100)의 면외 변형의 정량적 측정의 그래프이다.

도 5를 참고하면, 접착 공정은 다시 캐리어 기판(104)에 인접하여(예를 들어, 위에) 유연한 기판(102)을 위치시키는 단계와 이후 접착을 유도하는 단계를 포함할 수 있다. 접착을 개시하기 위해, 시작 구역은 다시 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104)을 국부적으로 가압함으로써, 예컨대 기계적 압축력을 통해 가압하여 형성된다. 예시에서, 도 3의 앞선 예시에 비해, 그러나, 일반적으로 선형으로 확장하는 시작 구역(30)은 캐리어 기판(104)을 향해 그리고 접촉하여 유연한 기판(102)의 집중된 압력을 선형으로 확장하는 것을 통해 형성된다. 선형적으로 확장하는 압력을 생성하기 위한 메커니즘 및 결과적인 선형으로 지향되고 확장하는 시작 구역(300)은 이후 본원에서 자세히 설명될 것이다.

예시된 선형으로 지향되고 확장되는 시작 구역(30)의 경우, 접착 전면부(34)는 X-Y 평면에서, 시작 구역(30)의 길이 방향으로부터 횡방향으로 멀어지며 확장되는 선형으로 지향된 벡터를 포함할 것이다. 예를 들어, 시작 구역(30)은 Y-축에 평행한 선을 따라 (예컨대, 도 5의 우측에 도시된 각각의 기판(102, 104)의 인접 가장자리를 따라서) 실질적으로 선형으로 확장할 수 있다. 결과적으로, 접착 전면부(34)는 Y-축에 평행한 선(예컨대 선(30))을 따라 실질적으로 선형으로 이격되는 벡터를 포함하고, Y-축에 대해 횡방향으로(예컨대, X-축에 평행하고, Y-축에 수직인 방향으로) 시작 구역(30)에서 멀어지며 전파하는 것이 발견되었다. 접착 전면부(34)는 기판의 말단에 도달할 때까지 X-Y 평면에서 시작 구역(30)으로부터 선형으로 멀어지며 계속해서 확장될 것이며, 이 때 유연한 기판(102)은 캐리어 기판(104)에 접착된다.

당업자들은 도 5에 도시되고 전술한 공정의 변형이 X-축을 따른 중간 위치에서, 예컨대, 각각의 기판(102, 104)들의 인접한 가장자리들 사이 어딘가에서, 시작 구역(30)을 시작하는 단계를 포함한다. 이 경우, 접착 전면부(34)는 다시 Y-축에 평행한 선(예컨대 선(30))을 따라 실질적으로 선형으로 이격된 벡터를 포함할 것이며, 다시 거기에 평행한 방향으로 시작 구역(30)으로부터 멀어지게 전파될 것이다. 특히, 그러나, 접착 전면부(34)는 두 개의 구성요소, 즉, 하나의 방향으로(예컨대, 도 5의 좌측) 시작 구역(30)에서 멀어지며 선형으로 확장되는 벡터의 하나의 구성요소, 및 다른 대향하는 방향(예컨대, 도 5의 우측)으로 시작 구역(30)으로부터 멀어지며 선형으로 확장하는 벡터의 다른 구성요소를 포함한다. 접착 전면부(34)의 두 구성요소는 이들이 기판의 가장자리에 도달할 때까지 X-Y 평면에서 시작 구역(30)으로부터 멀어지게 선형으로 계속해서 확장하고, 이때 유연한 기판(102)은 캐리어 기판(104)에 접착된다.

실험을 통해, 전술한(선형 확장하는) 접착 전면부(34)가 또한 접착된 구조체(100)를 면외 변형(즉, X-Y 평면에 의해 형성된 기준 평면 외)이 되는 것이 밝혀졌다. 특히, 선형 확장하는 접착 전면부(34)는 Z-축의 일반적으로 실린더형, 면외 곡률을 야기하며, 이는 Z-축을 따른 하향 방향인 것으로 예시에서 도시된다. 다시, 일부 메커니즘 보완 없이, 캐리어 기판(104)에 대한 유연한 기판(102)의 간단한 접착은 바람직하지 않은 면외 곡률을 생성할 것이며, 수정없이 남겨진 경우 종래의 제조 시스템의 하류 공정에 더욱 바람직하지 않은 영향을 생성할 수 있다. 다시, 도 5의 접착된 구조체(100)는 일반적으로 평평하지 않다. 실제로, 도 6을 참고하면, 실험은 평면외, 일반적으로 실린더형 곡률이 최대 200 - 250 ㎛임이 밝혀졌다.

전술한 것처럼, 약 100 ㎛ 이하로 캐리어 기판(104)에 대한 접착된 유연한 기판(102)의 면외 곡률을 유지하는 것이 바람직하다. 캐리어 기판(104)에 대한 유연한 기판(102)의 임시 접착을 위한 일부 존재하는 기술이 약 370 mm x 470 mm의 기판 크기에 대한 원하는 평면도 목적을 달성하는데 성곡적이지만, 예컨대 1100 mm x 1300 mm 또는 그 이상과 같이, 유연한 기판(102)의 크기가 증가하면서, 그리고 35 mm/sec 이상의 속도와 같이, 연속하는 접착 공정의 처리량이 증가되면서, 평탄도를 유지하는 복잡성 및 어려움이 충분히 증가한다.

전술한 관점에서, 도 7을 참고하면, 이는 유연한 기판(102) 및 캐리어 기판(104)의 소스에 대한 연속하는 접착 공정을 수행하기 위한 접착 기기(200)의 사시도를 나타낸다. 접착 기기(200)의 주 기능 중 하나가 접착 공정 그 자체이지만, 추가적인 기능은 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104)의 접착된 구조체(100)에서 일어나는 면외 변형에 대한 경향에 대응하기 위해 접착 이전 캐리어 기판(104)에서의 면외 곡률을 유도하는 단계를 포함한다.

접착 기기(200)는 유연한 기판 수송 메커니즘(202), 캐리어 기판 수송 메커니즘(204), (실린더형) 척(220, chuck), 수송 메커니즘(250), 압축 메커니즘(280)(도 7에 도시되지 않음), 및 제어기(290)를 포함한다. 접착 기기(200)의 요소 중 하나 이상은 제어기(290)에 의해 생성된 신호 명령에 반응하며, 이는 프로그램된 알고리즘(예컨대, 소프트웨어 프로그램을 통한)을 따른 작용을 실행한다. 이와 관련하여, 제어기(290)는, 디지털 회로와 같은, 임의의 공지된 컴퓨터 기술, 소프트웨어 및/또는 펌웨어 프로그램을 실행하도록 작동될 수 있는 임의의 공지된 마이크로프로세서, 프로그램 가능한 읽기 전용 메모리(PROM), 프로그램 가능한 배열 로직 장치(PAL) 등과 같은 하나 이상의 프로그램 가능한 디지털 장치 또는 시스템을 이용하여 실행될 수 있다.

유연한 기판 수송 메커니즘(202)은 적재 존에서 접착 구역으로 유연한 기판(102)을 이동시키도록 작동하며, 상기 유연한 기판(102)은 캐리어 기판(104)에 접착된다. 바람직한 실시예에서, 유연한 기판 수송 메커니즘(202)은 바람직하게 공지된, 예컨대 초음파 시트 수송 기술 또는 유체 부유 수송 기술과 같은, 접촉하지 않고, 또는 적어도 최소 접촉하는 시트 전송 기술을 이용하여 수송 기능성을 달성한다. 유연한 기판 수송 메커니즘(202)이 적재 존에서 접착 구역으로 유연한 기판(102)을 이동시키도록 작동하는 적어도 속도 및/또는 타이밍은 바람직하게 제어기(290)로부터의 신호 명령에 따라 변화된다.

전술한 것처럼, 유연한 기판(102)은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수(도 3 참조)를 가진 것으로 특징지어질 수 있다. 전술한 바와 같이, 유연한 기판(102)은 유리와 같은 임의의 적합한 재료로 형성될 수 있으며, 매우 얇으며, 예컨대 다음 중 하나의 두께를 갖는다: (i) 약 50 ㎛ 내지 약 300 ㎛, 및 (ii) 약 100 ㎛ 내지 약 200 ㎛. 유연한 기판(102)의 유연성은 임의의 수의 방식으로 특징지어질 수 있으며, 예컨대 다음 중 적어도 하나를 갖는다: 약 2.3 - 2.5 g/cc의 밀도, 약 70 - 80 GPa의 영률, 약 0.20 - 0.25의 푸아송 비, 및 약 185 - 370 mm의 최소 굽힘 반경. 또한, 유연한 기판(102)은 상대적으로 큰 표면적을 가질 수 있으며(특히 주어진 매우 얇은 특성), 예컨대 다음 중 하나에 의해 정의된 면적을 갖는다: (i) 약 500 mm 이상의 길이 및 약 500 mm 이상의 폭; 및 (ii) 약 1100 mm의 길이 및 약 1300 mm의 폭.

캐리어 기판 수송 메커니즘(204)은 다른 적재 존으로부터 캐리어 기판(104)의 각 시트를 수용할 수 있으며, 상기 시트는 종래에 공지된 것처럼, 스풀, 리본, 등(도시되지 않음)으로부터 절단된다. 캐리어 기판 수송 메커니즘(204)은, 공지된 초음파 시트 수송 기술 또는 유체 부유 기술과 같은, 바람직하게 접촉 없이, 또는 적어도 최소 접촉하는 시트 수송 기술을 이용하여, 캐리어 기판(104)을 적재 존에서 접착 구역으로 이동시키도록 작동한다. 캐리어 기판 수송 메커니즘(204)이 적재 존에서 접착 구역으로 캐리어 기판(104)을 이동하도록 작동하는 적어도 속도 및/또는 타이밍은 제어기(290)로부터의 신호 명령에 따라 바람직하게 변할 수 있다.

전술한 것처럼, 캐리어 기판(104)은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수(도 3 참조)를 가진 것으로 특징지어질 수 있다. 전술한 것처럼, 캐리어 기판(104)은 유연한 기판(102)보다 실질적으로 더 두껍고, 및/또는 덜 유연한 것으로서, 유리와 같은 임의의 적합한 재료로 형성될 수 있다. 예를 들어, 캐리어 기판(104)은 약 400 내지 약 1000 ㎛의 두께를 가질 수 있다.

실린더형 척(220)은 바람직하게 유연한 기판(102) 아래에서, 접착 구역에서 캐리어 기판(104)을 홀드하도록 작동한다. 실린더형 척(220)의 자세한 설명이 아래에서 제공되지만, 실린더형 척(220)은 바람직하게 종래에 공지된, 진공 기술을 이용하여 전술한 홀드 기능을 달성한다. 실린더형 척(220)이 캐리어 기판(104)를 접착 구역으로/접착 구역으로부터 수용하고, 홀드하고, 및 이후 해제하도록 작동하는 적어도 타이밍 및 정도는 바람직하게 제어기(290)로부터의 신호 명령에 따라 변할 수 있다.

수송 메커니즘(250)은: (i) 바람직하게 유연한 기판(102)과 접촉하지 않고, 수송 메커니즘(202)으로부터 유연한 기판(102)을 이동시키도록, 예를 들어, 리프트시키도록 작동하고; 및 (ii) 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104) 사이의 갭(Gap)이 제어된 방식으로 형성되도록 캐리어 기판(104)에 인접하게 유연한 기판(102)을 홀드(hold)하도록 작동한다. 예를 들어, 갭은 약 100 내지 100 ㎛, 더욱 바람직하게는약 250 ㎛ 내지 500 ㎛일 수 있다. 바람직한 실시예에서, 수송 메커니즘(250)은 초음파 및 진공 메커니즘의 조합을 이용하여 이동, 리프팅(lifting) 및 홀딩(holding) 단계를 수행하며, 이는 하기에 자세히 설명될 것이다. (본원에 이후 자세히 설명될) 적어도 리프팅, 이동, 홀딩, 및 해제 단계, 수송 메커니즘(250)이 유연한 기판(102)을 조작하는 이들의 타이밍, 및/또는 갭의 규모는 바람직하게 제어기(290)로부터의 신호 명령에 따라 변할 수 있다.

압축 메커니즘(280)은 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104) 사이가 접촉할 때까지, 캐리어 기판(104)으로부터 유연한 기판(102)의 대향 측면 상에 아래로 선형으로 확장하는 압력을 제공함으로서, 유연한 기판(102)과 캐리어 기판(104) 사이의 접착을 유도하도록 작동한다. 압축 메커니즘(280)의 더 자세한 설명이 본원에 이후 제공되지만, 일부 실시예에서, 도 5를 참고하여, 접촉은 기다란 시작 구역(예컨대, 선(line))(30)이며 이로부터 접착이 시작되어(실질적으로 Y-축에 평행한 선을 따라 연장되며), 제1 접착 전면부는 시작 선(30)과 Y-축에 실질적으로 가로지르는 제1 방향으로 시작 선(30)으로부터 멀리 전파된다. 도 5는 유연한 기판(102)의 가장자리 근처에서 기다란 시작 선(30)을 도시하지만, 압축 메커니즘(280)은 중간 측면 위치에서(X-축을 따른 유연한 기판(102)의 가장자리들 사이) 접착을 유도하도록 작동하여, 제2 접착 전면부는 또한 시작 선(30) 및 Y-축을 가로지르는, 제1 방향에 실질적으로 대향하는, 제2 방향으로 시작 선(30)으로부터 멀어지게 전파된다. 적어도 접착이 유도되는 위치에서, 접착이 유도되는 속도 등은 제어기(290)로부터 압축 메커니즘(280)으로의 신호 명령에 따라 변할 수 있다.

당업자들은 선형으로 확장하고 결과적인 선형을 지향되고 시작 선(30)을 확장하는 압력을 생성하기 위해 채용될 수 있는 다수의 메커니즘이 있다는 것을 이해할 것이다. 예를 들어, 도 8을 참고하면, 압축 메커니즘(280)은 리프-스프링 변형 요소(282, leaf-spring deflection element)를 포함할 수 있으며, 이는 상대적으로 단단한 프레임 부재(284) 및 상대적으로 유연한 스프링 요소(286)를 포함한다. 유연한 스프링 요소(286)는 각각의 힌지 커플링(284-1, 284-2)을 통해 프레임 부재(284)에 회전하게 연결되어 리프-스프링 변형 요소를 생성한다. 작동 중, 프레임 부재(284) 및 스프링 요소(286)는 유연한 기판(102) 위와 같이, 원하는 시작 선(30)에 평행하게 지향된다. 하향 지향된 힘은 이후 프레임 부재(284)에 적용되어 유연한 스프링 요소(286)는 선을 따라 유연한 기판(102)을 캐리어 기판(104)에 대해 가압하여, 원하는 시작 선(30)을 생성한다.

압축 메커니즘(280)과 관련하여 상당한 수준의 제어능력을 달성하기 위해, 리프-스프링 변형 요소(282)는 프레임 부재(284)를 접착 기기(200)의 릿지부(ridged portion)에 연결하는 하나 이상의 기계적 액추에이터(288-1, 288-2)를 포함할 수 있다. 예시를 통해, 하나 이상의 기계적 액추에이터(288-1, 288-2)는 제어기(290)로부터 신호 명령에 대응하여 변할 수 있도록 압축 메커니즘(280)의 기능을 수행하기 위한 방식으로, 전기-기계 기술(예컨대, 서보 모터 등), 공압 기술, 유압 기술 등을 이용하여 이행될 수 있다.

따라서, 제어기(290)로부터의 신호 명령에 대응으로, 하나 이상의 기계적 액추에이터(288-1, 288-2)는 다음 중 적어도 하나를 위해 유연한 기판(102)에 대해 유연한 스프링 요소(286)를 가압하도록 하향으로 지향된 힘에 영향을 줄 수 있다: (i) 캐리어 기판(104)을 향해 유연한 기판(102)을 압축하기 위해; (ii) 캐리어 기판(104)과 접촉하는 실질적으로 국부적인 구역(예컨대, 최종 시작 선(30)보다 상대적으로 덜 기다란 접촉 구역)을 시작하기 위해, (iii) 기다란 시작 선(30)과 접촉하는 국부 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판(104)과 접촉하는 유연한 기판(102)을 추가로 압축하기 위해, 및 (iv) 제1 및 제2 접착 전면부 중 적어도 하나가 시작 선(30)으로부터 전파된 이후 미리 정해진 시간 동안 캐리어 기판(104)과 접촉된 유연한 기판(102)의 압축을 유지하기 위해.

전술한 것처럼, 도 5를 참고하면, 시작 선(30)에서 전파되는 하나 이상의 기다란 접착 전면부는 X-Y 평면 외의 바람직하지 않은 곡률을 야기할 수 있다. 하나 이상의 실시예에 따라, 바람직하지 않은 접착 현상으로 인한 실린더 형태의 면외 변형의 보완이 달성될 수 있다. 일반적으로, 이러한 보완은 접착 작업 이전에 캐리어 기판(104)을 조정함으로써 달성될 수 있다. 예를 들어, 공정은 캐리어 기판(104)에 응력을 가하고 변형시키는 것 중 적어도 하나를 유도하여 접착 전면부 전파 현상을 통해 일어나는 유도된 X-Y 평면 외 곡률에 대응하는 Z-축을 따른 방향에서의 X-Y 평면 외의 곡률을 유도할 수 있다. 따라서, 예를 들어, 접착 전면부 전파 현상이 도 5에 도시된 것처럼 특징지어진 방향으로(예컨대, 하향 방향 또는 음의 Z-축 방향) X-Y 평면 외의 곡률을 유도하려는 경우, 이때 일반적인 보완 방법론은 대향 방향에서(예컨대, 상향 또는 양의 Z-축 방향)의 X-Y 평면 외의 곡률을 유도하기 위해 캐리어 기판(104)에 응력을 가하고 변형을 가하는 것 중 적어도 하나를 포함한다.

도 9를 참고하면, 실린더형 척(220)은 접착된 구조체(100)에서 일어나는 면외 변형에 대한 경향에 대응하도록 구성될 수 있다. 실린더형 척(220)은 접착 기기(200)의 프레임에 단단하게 연결된 베이스 요소(또는 연결부)(222)를 포함한다. 편향 표면(224, biasing surface)은 전술한 방식으로, 예컨대, 진공 기술을 사용하여, 캐리어 기판(104)을 수용, 홀드, 및 해제한다.

게다가, 제어기(290)로부터의 신호 명령에 대한 대응으로, 편향 표면(224)은, 예컨대 5 미터 내지 25 미터의 곡률 반경 사이와 같이, 실질적으로 평평한 부분(224-1)으로부터 일부 최대 만곡부(224-2)까지 어디서나 변화될 수 있다. 이는 하나 이상의 기계적 액추에이터(226) 및 보완적인 기계적 연결부(230, 232, 234, 236, linkage)를 통해 성취된다. 예시를 통해, 상기 연결부는, Y-축에 일반적으로 평행하게 연장되고 양의 Z-축 방향으로 상향으로 편향 표면(224)을 유지하는 힘을 제공하도록 작동하는, 로드 등과 같은, 편향 부재(230)를 포함할 수 있으며, 반면 편향 표면(224)의 측면 가장자리(X-축 실질적인 극단에서)는, 음의 Z-축 방향으로의 실질적인 힘의 구성요소를 포함하여, 하향으로 가압된다.

상기 연결부는 또한 양의 및 음의 Z-축 방향으로 베이스 요소(222)를 따라 상향으로 및 하향으로 이동하도록 작동하는(바람직하게 제어기(290)의 신호 명령에 대응하여) 조정 메커니즘(226)을 포함한다. 연결부는 또한 제1 및 제2 편향 아암(232, 234)을 포함하며, 이들 각각은 각각의 근위 단부(232-1, 234-1)에서 조정 메커니즘(226)에 연결되고, 각각의 원위 단부(232-2, 234-2)에서 편향 표면(224)의 각각의 측면 가장자리에 연결된다. 전술한 연결은 회전 연결(236-1, 236-2, 236-3, 236-4)을 포함한다. 조정 메커니즘(226)이 음의 Z-방향으로 이동할 때, 제1 및 제2 편향 아암(232, 234)의 근위 단부(232-1, 234-1)는 하향으로 (편향 부재(230)으로부터) 가압되고, 이는 (음의 Z-방향으로) 하향으로 편향 표면(224)의 측면 가장자리를 가압하고 실질적으로 평평한 부분(224-1)으로부터 최대 만곡부(224-2)로 상기 편향 표면(224)을 조정한다. 대향하는 작용은 조정 메커니즘(226)이 양의 Z-축 방향으로 제어기(290)로부터의 신호 명령에 대응하여 이동될 때 성취된다. 예를 들어, 조정 메커니즘(226)은, 도 5에 도시된 바람직하지 않은 곡률의 방향에 대향하는 Z-축 방향으로의 조정 가능한 양의 편향 표면(224)의 실린더형 면외 곡률을 허용하기 위한 방식으로, 전기기계 기술(예컨대, 서보 모터 등), 공압 기술, 유압 기술 등을 사용하여 구현될 수 있다.

작동중, 캐리어 기판(104)이 편향 표면(224)에 배치되어 캐리어 기판(104)의 조작은 접착 작업 이전에 달성될 수 있다. 특히, 편향 표면(224)은 접착 전면부 전파 현상을 통해 일어나게 되는 유도된 X-Y 평면 외의 곡률에 대응하는 Z-축을 따른 방향에서의 실린더형 면외 곡률(X-Y 평면 외)을 유도하기 위해 캐리어 기판(104)에서의 기계적인 응력 및/또는 변형을 유도한다. 예를 들어, 편향 표면(72)을 통해 응력을 받거나 및/또는 변형되는 것 중 하나는 곡률을 유도하기 위해, Z-축 방향으로 X-Y 평면으로부터 떨어져 이격되고 Y-축에 평행한 축을 중심으로 캐리어 기판(104)을 기계적으로 구부리는 것으로 특징지어질 수 있다. 도 9에서, 이러한 축(240)은 편향 부재(230) 아래에, 그리고 평행하게 위치되어, 편향 표면(224) 및 캐리어 기판(104)의 곡률 반경을 정의하며, X-Y 평면 외의 곡률은 Z-축을 따른 양의 방향이다(예컨대, 도시된 것처럼 상향 방향).

캐리어 기판(104)에서 이러한 유도된 곡률이 달성된 이후, 접착 공정은 실린더형 척(220)을 통해, 캐리어 기판(104)의 응력 및 변형 중 적어도 하나를 유지하면서, 수송 메커니즘(250)을 통해, (언급된 갭에서) 캐리어 기판(104)에 인접한 유연한 기판(102)을 위치시키는 전술한 단계를 포함할 수 있다.

도 10을 참고하면, 수송 메커니즘(250)의 추가적인 상세한 설명이 제공될 것이다. 도 10은 하나의 접착 전면부(제1 접착 전면부)가 압축 메커니즘(280) 하에 시작 선(30)으로부터 멀어지는 방향으로(예컨대, 음의 X-축 방향) 유도되고 전파되는 수송 메커니즘(250)의 일부 실시예의 측면도인 것으로 간주될 수 있다. 그러나, 당업자들은 도 10이 수송 메커니즘(250)의 대안 실시예의 측면이 되는 것으로 간주될 수 있으며, 이는 압축 메커니즘(280)의 오직 하나의 측면 상의 특징을 도시하고, 특징의 거울 이미지가 압축 메커니즘(280)의 다른 측면 상에 채용되는 것(미도시)을 이해할 것이다. 이러한 대안 실시예에서, 2개의 접착 전면부(제1 및 제2 접착 전면부)는 시작 선(30)으로부터 대향 방향으로 유도되고 전파된다.

전술한 것처럼, 수송 메커니즘(250)은: (i) 바람직하게 유연한 기판(102)과 접촉하지 않고, 수송 메커니즘(202)으로부터 유연한 기판(102)을 이동시키도록 작동하고, 및 (ii) 갭, (G)가 제어된 방식으로 형성되도록 캐리어 기판(104)에 인접하여 유연한 기판(102)을 홀드하도록 작동한다. 캐리어 기판(104)은 실린더형으로 만곡된 상태에 있기 때문에, 갭(G)의 크기는 갭(G)이 측정되는 특정 측면 위치(X-축 방향을 따라) 및 캐리어 기판(104)의 곡률의 정도의 함수로서 변하게 된다. 또한 언급된 것으로서, 수송 메커니즘(202)은 초음파 및 진공 메커니즘의 조합과 같은 임의의 공지된 기술을 이용하여 이동, 리프팅 및 홀드 작동을 성취할 수 있다.

바람직한 실시예에 따라서, 이송 메커니즘(250)은 (도시된 것처럼) 압축 메커니즘(280)의 일측면 상에 복수의 각 초음파 및 진공 메커니즘(252-1, 252-2, 252-3, 252-4, 252-5)을 포함한다. 제1 및 제2 접착 전면부가 유도되는 (시작 선(30)으로부터 대향 방향으로 전파되는) 대안 실시예에서, (도 10에 도시되지 않는) 상응하는 복수의 각각의 초음파 및 진공 메커니즘(254-1, 254-2, 254-3, 254-4, 254-5)은 압축 메커니즘(280)의 대향하는 측면 상의 거울 이미지에 채용된다. 각각의 초음파 및 진공 메커니즘(252-i, 254-i)은 시작 선(30)으로부터 멀어지게 접착 전면부의 전파와 동기화되어 유연한 기판(102) 상의 비-접촉된 홀드를 동시에 해제하도록 갭(G)을 정밀하게 조정하고 이어서 수송 메커니즘(250)에 명령을 전달하기 위해, 변할 수 있는 양의 리프팅 및/또는 해제를 적용하도록 제어기(290)로부터의 신호 전달(signaling)을 통해 개별적으로 제어될 수 있다.

도 10 및 11을 참고하면, 각각의 초음파 및 진공 메커니즘(252-1, 252-2, 252-3, 252-4, 252-5) 각각은 (도시된) 압축 메커니즘(280)의 일측면 상에서 제1 세트의 존 내에 각각의 존을 형성하도록 고려될 수 있다. 각각의 이러한 존은 Y-축 방향에서 일반적으로 가다랗고, 및 X-축 방향에서 일반적으로 좁다. 따라서, 초음파 및 진공 메커니즘(252-1)은 제1 존(1)에서 리프트/해제 기능을 제공하도록 고려될 수 있고, 초음파 및 진공 메커니즘(252-2)은 제2 존(2)에서 리프트/해제 기능을 제공하도록 고려될 수 있으며, 초음파 및 진공 메커니즘(252-3)은 제3 존(3)에서 리프트/해제 기능을 제공하도록 고려될 수 있으며, 초음파 및 진공 메커니즘(252-4)은 제4 존(4)에서 리프트/해제 기능을 제공하도록 고려될 수 있으며, 및 초음파 및 진공 메커니즘(252-5)은 제5 존(5)에서 리프트/해제 기능을 제공하도록 고려될 수 있다.

양측방향으로, 거울 배열이 채용된 경우, 초음파 및 진공 메커니즘(254-1, 254-2, 254-3, 254-4, 254-5)은 압축 메커니즘(280)의 양측에서, 제1, 제2, 제3, 제4, 및 제5 존(1, 2, 3, 4, 5) 각각(제2 세트의 존)에서, 리프트/해제 기능을 제공하도록 형성될 수 있다. 도 11 참고.

도 12a-12f를 참고하면, 이는 시작 선(30)으로부터 멀어지는 접착 전면부(34, 36)의 전파와 동기화되어 유연한 기판(102) 상의 비-접촉 홀드(non-contact hold)를 동시에 해제하기 위해, 제어기(290)로부터의 신호 전달이 개별 초음파 및 진공 메커니즘(252-i, 254-i)에 영향을 미치는 것에 대한 개략도이다.

도 12a에 도시된 바와 같이, 시작 선(30)은 다음 중 적어도 하나에 하향으로 지향된 힘을 적용하기 위해 제어기(290)로부터 압축 메커니즘(280)으로 신호 명령을 적용함으로써 형성된다: (i) 캐리어 기판(104)을 향해 유연한 기판(102)을 압축하기 위한 힘, (ii) 캐리어 기판(104)과 접촉하는 실질적인 국부적인 구역을 개시하기 위한 힘, (iii) 기다란 시작 선(30)으로 접촉하는 국부적인 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판(104)과 접촉하는 유연한 기판(102)을 추가로 압축하는 힘, 및 (iv) 제1 및 제2 접착 전면부(34, 36)가 시작 선(30)으로부터 멀어지며 전파된 후 미리 정해진 시간동안 캐리어 기판(104)과 접촉된 유연한 기판(102)의 압축을 유지하는 힘.

도 12b에 도시된 것처럼, (Y-축 방향으로 연장된) 제1 접착 전면부(34)가 (제1 세트의 존의) 존(1)을 통한 음의 X-축 방향으로 전파되기 때문에, 제어기(290)는 그러한 존에서 유연한 기판(102)을 동시에 해제하기 위해 수송 메커니즘(250)에 명령을 전달하도록 작동한다. 유사하게, (Y-축 방향으로 또한 연장되는) 제2 접착 전면부(36)가 (제2 세트의 존의) 존(1)을 통한 양의 X-축 방향으로 전파되기 때문에, 제어기(290)는 그러한 존에서 유연한 기판(102)을 동시에 해제하기 위해 수송 메커니즘(250)에 명령을 전달하도록 작동한다.

도 12c, 12d, 및 12e에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 접착 전면부(34, 36)가 (제1 및 제2 세트의 존, 각각의) 존(2, 3, 4)을 통해, 각각, 음 및 양의 X-축 방향으로 전파되기 때문에, 제어기(290)는 그러한 존에서 유연한 기판(102)을 동시에 (및 연속으로) 해제하기 위해 수송 메커니즘(250)에 명령을 전달하도록 작동한다.

도 12f에 도시된 것처럼, 제1 및 제2 접착 전면부(34, 36)는 유연한 기판(102) 및 캐리어 기판(104)이 완전히 함께 접착될 때까지 존(5)을 통해 계속해서 전파된다. 도 12f에 도시되지 않지만, 편향 표면(224)에 의해 접착 공정 동안 캐리어 기판(104)에서의 유도된 곡률은 제어기(290)로부터 신호 명령을 통해 결국 해제되어, 접착으로 인한 X-Y 평면 외의 곡률의 특성은 완화된다.

도 11을 다시 참고하면, 하나 이상의 실시예에 따라서, 수송 메커니즘(250)은 유연한 기판(102)의 4개의 모서리 각각에 근접한 오직 각각의 영역에서 캐리어 기판(104)에 인접하게 유연한 기판(102)을 개별적으로 그리고 독립적으로 홀드하도록 작동하는 복수의 비접촉식 진공 척(256-1, 256-2, 256-3, 256-4)을 더욱 포함할 수 있다. 예를 들어, 비접촉식 진공 척(256-I)은 베르누이 척을 사용하여 구현될 수 있다. 제어기(290)는 N번째 존(예컨대, 제1 및 제2 세트의 존 각각의 제5 존(5))의 동시 해제 이후 미리 정해진 시간동안 유연한 기판(102)의 4개의 모서리 각각에 근접한 각각의 영역에서만 캐리어 기판(104)에 인접하게 유연한 기판(102)의 홀드를 유지하기 위해 복수의 비접촉식 척(256-1, 256-2, 256-3, 256-4)에 명령을 전달하도록 작동한다.

도 11에 또한 예시된 것처럼, 수송 메커니즘(250)을 통한 유연한 기판(102)의 제어된, 동시 및 연속 해제는 전파 방향과 관련하여 바람직한 실질적으로 볼록형 제1 및 제2 접착 전면부(34, 36)를 유지하도록 미세 조정될 수 있다.

도 7 및 11을 또한 참고하면, 접착 기기(200)는 다음 중 적어도 하나를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛(300)을 더욱 포함할 수 있다: (i) 제1 방향으로 제1 접착 전면부(34)의 제1 접착 전면부 속도, 및 (ii) 제2 방향으로의 제2 접착 전면부(36)의 제2 접착 전면부 속도. 적어도 하나의 제1 및 제2 접착 전면부 속도는 접착 기기(200)의 하나 이상의 변수를 조정하도록 작동하는 피드백 제어 루프를 허용하기 위해 제어기(290)로 다시 제공된다. 실제로, 그러한 피드백이 접착된 구조체(100)의 평탄도와 접착 속도의 동시 개선을 허용한다는 것이 밝혀졌다.

예를 들어, 제어기(290)는 적어도 하나의 제1 및 제2 접착 전면부 속도의 함수로서 캐리어 기판(104)에 대해 유연한 기판(102)의 갭(G)을 조정하기 위해 수송 메커니즘(250)에 명령을 전달하도록 작동할 수 있다. 부가적으로 및/또는 대안으로서, 제어기(290)는 적어도 하나의 제1 및 제2 접착 전면부 속도의 함수로서 동시 해제의 타이밍을 조절하기 위해 수송 메커니즘(250)에 명령을 전달하도록 작동할 수 있다. 부가적으로 및/또는 대안으로서, 제어기(290)는 적어도 하나의 제1 및 제2 접착 전면부 속도의 함수로서 유연한 기판(102)의 4개의 모서리 각각에 인접한 각각의 영역에서 홀드를 유지하는 미리 정해진 시간을 조정하기 위해 복수의 비접촉식 척(256-i)에 명령을 전달하도록 작동할 수 있다. 부가적으로 및/또는 대안으로서, 제어기(290)는 적어도 하나의 제1 및 제2 접착 전면부 속도의 함수로서 캐리어 기판(104)의 곡률 반경(242)을 조정하기 위해 실린더형 척(220)에 명령을 전달하도록 작동할 수 있다. 부가적으로 및/또는 대안으로서, 제어기(290)는 다음 중 적어도 하나를 조정하기 위해 압축 메커니즘(280)에 명령을 전달하도록 작동할 수 있다: (i) 리프-스프링 변형 요소(286)가 캐리어 기판(104)과 접촉하는 실질적인 국부적인 구역을 시작하도록 전진되는 속도, (ii) 리프-스프링 변형 요소(286)가 기다란 시작 선(30)으로 접촉된 국부적인 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판(104)과 접촉된 유연한 기판(102)을 더욱 압축하도록 전진되는 속도, 및 (iii) 제1 접착 전면부(34)와 제2 접착 전면부(36) 중 적어도 하나가 적어도 하나의 제1 및 제2 접착 전면부 속도의 함수로서 시작 선(30)으로부터 멀어지며 전파된 이후 미리 정해진 시간.

도 13a는 전술한 보완 방법론 및/또는 기기의 사용을 야기하는 접착된 구조체(100)의 면외 변형(뒤틀림(warp))의 정량적 측정의 그래프이다. 뒤틀림(㎛)은 그래프의 Y-축을 따라 연장되고, 캐리어 기판(104)의 곡률 반경(m)은 그래프의 X-축을 따라 연장된다. 도 13b는 가장자리 기울기의 측정을 보여주고, 도 13c는 모서리 기울기의 측정을 보여준다. 가장자리 기울기는 뒤트림의 지표, 특히 접착된 구조체(100)의 가장자리에 직접 인접한 영역(예컨대, 약 50 mms) 내의 뒤틀림의 경사이다. 모서리 기울기는 뒤틀림의 다른 지표, 특히, 접착된 구조체(100)의 모서리에 직접 인접한 영역(예컨대, 50 mms) 내의 뒤틀림의 경사이다.

도 14a, 14b, 14c는 전술한 보완 방법론 및/또는 기기의 사용을 야기하는 접착된 구조체(100)의 다른 정량적 측정의 그래프이다. 도 14a에서, 면외 변형(뒤틀림)은 그래프의 Y-축을 따라 연장되고, 접착 속도(mm/sec)는 그래프의 X-축을 따라 연장된다. 도 14a는 접착 속도의 함수로서 전술한 뒤틀림의 측정을 보여주며, 도 14b는 가장자리 기울기의 측정을 보여주고, 도 14c는 모서리 기울기의 측정을 보여준다.

본원의 개시가 특정 실시예를 참조하여 설명되었지만, 이들 실시예는 본원의 실시예의 원리 및 응용을 단지 예시하는 것으로 이해되어야 한다. 그러므로, 예시적인 실시예들에 대한 많은 수정들이 이루어질 수 있고 본 출원의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다른 구성들이 고안될 수 있음을 이해해야 한다.

본 개시의 하나 이상의 추가 실시예에 따라, 요소들의 다수의 특정 조합이 아래에 제공된다.

실시예 1: 그 사이에 갭을 형성하도록 캐리어 기판에 인접하여, 접촉하지 않고, 유연한 기판을 홀드하는 단계, 여기서, 상기 캐리어 기판은 시트 재료, X-축에서의 길이 치수, Y-축에서의 폭 치수, 및 Z-축에서의 두께 치수를 포함하되, 상기 X-축 및 Y-축은 X-Y 평면을 형성하고, 상기 유연한 기판은 시트 재료, X-축에서의 길이 치수, Y-축에서의 폭 치수, 및 Z-축에서의 두께 치수를 포함하고, 여기서, 상기 유연한 기판은, (i) 상기 유연한 기판의 유연성은 캐리어 기판의 유연성보다 실질적으로 더 유연함, 및 (ii) 상기 유연한 기판의 두께는 상기 캐리어 기판의 두께보다 실질적으로 더 얇음, 중 적어도 하나를 나타냄; 상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이에 접착을 유도하는 단계, 여기서, 상기 접착은 제1 접착 전면부가 시작 선과 Y-축을 실질적으로 가로지르는 제1 방향으로 시작 선으로부터 멀어지게 전파되도록 상기 Y-축에 평행한 선을 따라 실질적으로 연장되는 기다란 시작 선에서 개시됨; 및 상기 시작 선으로부터 멀어지는 제1 접착 전면부의 전파와 동시에 상기 유연한 기판 상의 비-접착 홀드를 해제하는 단계;를 포함하는, 방법.

실시예 2: 실시예 1에 있어서, 상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하는 단계; 및 상기 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 상기 캐리어 기판에 대한 유연한 기판의 갭을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.

실시예 3: 실시예 1 또는 2에 있어서, 상기 동시에 해제하는 단계는 상기 제1 접착 전면부가 제1 세트의 각각의 존을 통과하여 전파되면서 제1 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상의 비-접촉 홀드를 연속적으로 해제하는 단계를 포함하고; 상기 제1 세트의 각각의 존 각각은 Y-축에 평행하게 연장되고 각각은 X-축에 평행한 제1 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 및 상기 제1 접착 전면부의 전파 방향은 X-축에 평행한, 방법.

실시예 4: 실시예 1 내지 3 중 어느 하나에 있어서, 상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이의 접착의 유도 단계는 제1 방향에 실질적으로 대향하고 상기 시작 선 및 Y-축을 가로지르는 제2 방향으로 상기 시작 선으로부터 멀어지게 전파되는 제2 접착 전면부를 포함하고; 상기 동시에 해제하는 단계는 상기 제2 접착 전면부가 제2 세트의 각각의 존을 통하여 전파되면서 이러한 제2 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상의 비-접촉 홀드를 연속하여 해제하는 단계를 포함하고; 상기 제2 세트의 각각의 존 각각은 Y-축에 평행하게 연장되고 각각은 X-축에 평행한 제2 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 및 상기 제2 접착 전면부의 전파의 방향은 X-축에 평행한, 방법.

실시예 5: 실시예 1 내지 4 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도와 제2 방향으로의 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나를 결정하는 단계; 및 상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나의 함수로서 동시에 해제하는 단계의 타이밍을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.

실시예 6: 실시예 1 내지 5 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 및 제2 세트의 각각의 존 각각은 상기 시작 선으로부터 멀어지는 각각의 제1 및 제2 방향으로 각각 연속으로 배열된 n개의 존(n=1, 2, 3, ... N)을 포함하고; 및 상기 캐리어 기판에 인접하게, 접촉하지 않고, 유연한 기판을 홀드하는 단계는 상기 제1 및 제2 세트의 각각의 존의 각각의 N번째 존의 동시 해제 이후 미리 정해진 시간동안 유연한 기판의 4개의 모서리의 각각에 근접한 각각의 영역에서만 홀드하는 것을 유지하는 단계를 포함하는, 방법.

실시예 7: 실시예 1 내지 6 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도와 제2 방향으로의 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나를 결정하는 단계; 및 상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나의 함수로서 유연한 기판의 4개의 모서리의 각각에 인접한 각각의 영역에서 홀드하는 것을 유지하는 단계의 미리 정해진 시간을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.

실시예 8: 실시예 1 내지 7 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 접착 전면부의 특성이 접착된 유연한 기판과 캐리어 기판을 제1 방향에 대향하는 Z-축을 따라 제2 방향으로 X-Y 평면 외로 굴곡지게 하는 경향을 갖도록, 상기 시작 선을 따라 유연한 기판과 캐리어 기판 사이의 접착을 유도하기 전에 Z-축을 따라 제1 방향으로 X-Y 평면 외로 캐리어 기판에 실린더형 굴곡을 유도하기 위해 캐리어 기판을 기계적으로 구부리는 단계를 더욱 포함하는, 방법.

실시예 9: 실시예 1 내지 8 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하는 단계; 및 상기 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 캐리어 기판의 실린더형 굴곡의 곡률 반경을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.

실시예 10: 실시예 1 내지 9 중 어느 하나에 있어서, 상기 캐리어 기판을 향해 유연한 기판을 압축하기 위해; 상기 캐리어 기판과 접촉하는 실질적인 국부적인 구역을 개시하기 위해; 상기 기다란 시작 선으로 접촉되는 국부 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판과 접촉된 유연한 기판을 추가로 압축하기 위해; 그리고 상기 제1 접착 전면부가 상기 시작 선으로부터 멀리 전파된 이후 미리 정해진 시간동안 캐리어 기판과 접촉된 유연한 기판을 누르는 단계를 유지하기 위해; 상기 유연한 기판에 대해 리프-스프링 변형 요소를 전진시키는 단계를 추가로 포함하는, 방법.

실시예 11: 실시예 1 내지 10 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하는 단계; 및 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 상기 제1 접착 전면부가 시작 선으로부터 멀어지게 전파된 이후 미리 정해진 시간을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.

실시예 12: 실시예 1 내지 11 중 어느 하나에 있어서, 상기 유연한 기판은 유리를 포함하고; 상기 유연한 기판은, (i) 약 50 ㎛ 내지 약 300 ㎛, 및 (ii) 약 100 ㎛ 내지 약 200 ㎛ 중 하나의 두께를 포함하고; 상기 유연한 기판은, (i) 약 500 mm 이상의 길이 및 약 500 mm 이상의 폭, 및 (ii) 약 1100 mm 의 길이 및 약 1300 mm 의 폭 중 하나에 의해 정의된 구역을 포함하고; 상기 유연한 기판은 약 2.3 - 2.5 g/cc의 밀도, 약 70 - 80 GPa의 영률, 약 0.20 - 0.25의 푸아송비, 및 약 185 - 370 mm의 최소 굽힘 반경 중 적어도 하나를 포함하고; 상기 캐리어 기판은 유리를 포함하고; 그리고 상기 캐리어 기판은 약 400 내지 약 1000 ㎛의 두께를 포함하고; 이들 중 적어도 하나를 나타내는, 방법.

실시예 13: 실시예 1 내지 12 중 어느 하나에 있어서, 접착 이후 X-Y 평면 외의 변형 크기는: (i) 약 200 ㎛; (ii) 약 100 ㎛; (iii) 약 75 ㎛; 및 (iv) 약 50 ㎛ 중 적어도 하나 이하인, 방법.

실시예 14: 적재 존에서 접착 존으로 캐리어 기판을 이동시키기 위한 캐리어 기판 수송 메커니즘, 여기서 상기 캐리어 기판은 시트 재료로 형성되고, 캐리어 기판은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수를 가지며, 여기서, 상기 X-축 및 Y-축은 X-Y 평면을 형성함; 상기 접착 존의 캐리어 기판을 홀드하도록 작동하는 척; 다른 적재 존에서 접착 존으로 유연한 기판을 이동시키도록 작동하는 유연한 기판 수송 메커니즘, 여기서 상기 유연한 기판은 시트 재료로 형성되고, 상기 유연한 기판은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수를 가지며, 여기서, (i) 상기 유연한 기판의 유연성은 캐리어 기판의 유연성보다 실질적으로 더 유연하고, 및 (ii) 상기 유연한 기판의 두께는 상기 캐리어 기판의 두께보다 실질적으로 덜 두꺼우며, 이중 적어도 하나임; (i) 상기 유연한 기판과 접착하지 않고 수송 메커니즘 외로 유연한 기판을 이동시키도록, 및 (ii) 그 사이의 갭이 형성되도록 캐리어 기판에 인접하게 유연한 기판을 홀드하도록 작동하는 수송 메커니즘; 상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이에 접착을 유도하도록 작동하는 압축 메커니즘, 여기서, 상기 접착은 제1 접착 전면부가 시작 선 및 Y-축을 실질적으로 가로지르는 제1 방향으로 시작 선으로부터 멀어지게 제1 접착 전면부가 전파되도록 실질적으로 Y-축에 평행한 선을 따라 연장되는 기다란 시작 선을 개시함; 및 상기 시작 선으로부터 멀어지는 제1 접착 전면부의 전파를 통해 유연한 기판 상의 비-접착 홀드를 동시에 해제하기 위해 상기 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동하는 제어기;를 포함하는, 기기.

실시예 15: 실시예 14에 따라, 상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛, 여기서, 상기 제어기는 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 캐리어 기판에 대한 유연한 기판의 갭을 조정하기 위해 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동함;을 더욱 포함하는, 기기.

실시예 16: 실시예 14 또는 15에 따라, 상기 제어기는 상기 제1 접착 전면부가 제1 세트의 각각의 존을 통해 전파되면서 제1 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상에 비-접촉 홀드를 동시에 해제하는 단계를 포함하기 위해 상기 동시 해제 단계에 영향을 미치도록 상기 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동하며; 상기 제1 세트의 각각의 존은 각각 Y-축에 평행하게 연장되고 각각 X-축에 평행한 제1 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 및 제1 접착 전면부의 전파 방향은 X-축에 평행한, 기기.

실시예 17: 실시예 14 내지 16 중 어느 하나에 있어서, 상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이의 접착을 유도하는 단계는 제1 방향에 실질적으로 대향하고 시작 선과 Y-축을 가로지르는 제2 방향으로 시작 선으로부터 멀어지며 전파되는 제2 접착 전면부를 포함하고; 상기 제어기는 상기 제2 접착 전면부가 제2 세트의 각각의 존을 통해 전파되면서 제2 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상에 비-접촉 홀드를 연속으로 해제하는 단계를 포함하도록 상기 동시 해제 단계에 영향을 미치기 위해 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동하고; 상기 제2 세트의 각각의 존은 각각 Y-축에 평행하게 연장되고 각각 X-축에 평행한 제2 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 그리고 상기 제2 접착 전면부의 전파 방향은 X-축에 평행한, 기기.

실시예 18: 실시예 14 내지 17 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도 및 제2 방향으로 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛, 여기서, 상기 제어기는 상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나의 함수로서 상기 동시 해제 단계의 타이밍을 조정하도록 상기 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동함;을 더욱 포함하는, 기기.

실시예 19: 실시예 14 내지 18 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 및 제2 세트의 각각의 존 각각은 상기 시작 선으로부터 멀어지는 각각의 제1 및 제2 방향으로 각각 연속으로 배열된 n개의 존(n=1, 2, 3, ... N)을 포함하고; 상기 기기는 유연한 기판의 4개의 모서리 각각에 근접한 각각의 영역에서만 캐리어 기판에 인접하게 유연한 기판을 분리되고 독립적으로 홀드하도록 작동하는 복수의 비접촉식 진공 척을 더욱 포함하고; 및 여기서 상기 제어기는 제1 및 제2 세트의 각각의 존 각각의 N번째 존의 동시 해제 이후 미리 정해진 시간동안 유연한 기판의 4개의 모서리 각각에 근접한 각각의 영역에서만 홀딩을 유지하는 단계를 포함하기 위해 캐리어 기판에 인접하게 접촉 없이 유연한 기판을 홀드하는데 영향을 주도록 상기 복수의 비접촉식 척에 명령을 전달하도록 작동하는, 기기.

실시예 20: 실시예 14 내지 19 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도 및 제2 방향으로의 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도를 결정하기 위해 작동하는 속도 측정 유닛을 더욱 포함하되, 상기 제어기는 상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도의 함수로서 유연한 기판의 4개의 모서리 각각에 근접한 각각의 영역에서의 홀딩을 유지하는 것의 미리 정해진 시간을 조정하기 위해 상기 복수의 비접촉식 척에 명령을 전달하도록 작동하는, 기기.

실시예 21: 실시예 14 내지 20 중 어느 하나에 있어서, 상기 척은 상기 시작 선을 따라 유연한 기판과 캐리어 기판 사이에 접착을 유도하기 전에 Z-축을 따라 제1 방향으로 X-Y 평면 외의 캐리어 기판에서의 실린더형 곡률을 유도하기 위해 캐리어 기판을 기계적으로 접착하도록 작동하여, 상기 제1 접착 전면부의 특성은 접착된 유연한 기판과 캐리어 기판이 제1 방향에 대향하고, Z-축을 따른 제2 방향으로 X-Y 평면 외로 만곡되게 하는 경향을 갖는, 기기.

실시예 22: 실시예 14 내지 21 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛을 더욱 포함하되, 상기 제어기는 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 상기 캐리어 기판에서 실린더형 곡률의 곡률 반경을 조정하기 위해 상기 척에 명령을 전달하도록 작동하는, 기기.

실시예 23: 실시예 14 내지 22 중 어느 하나에 있어서, 상기 압축 메커니즘은: 상기 캐리어 기판을 향해 유연한 기판을 압축하기 위해; 상기 캐리어 기판과 접촉하는 실질적인 국부적 구역을 개시하기 위해; 상기 기다란 시작 선으로 접촉된 국부 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판으로 유연한 기판을 추가로 압축하기 위해; 그리고 상기 시작 선으로부터 멀어지게 제1 접착 전면부가 전파된 후 미리 정해진 시간동안 캐리어 기판과 접촉된 유연한 기판을 압축하는 단계를 유지하기 위해; 유연한 기판에 대해 전진하도록 작동하는 리프-스프링 변형 요소를 포함하는, 기기.

실시예 24: 실시예 14 내지 23 중 어느 하나에 있어서, 상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛을 더욱 포함하되, 상기 제어기는: (i) 상기 캐리어 기판과 접촉된 실질적인 국부 구역을 개시하도록 리프-스프링 변형 요소가 전진되는 속도; (ii) 리프-스프링 변형 요소가 기다란 시작에 접촉되는 국부 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판과 접촉하는 유연한 기판을 추가로 압축하기 위해 전진되는 속도; 및 (iii) 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 시작 선으로부터 멀러지게 제1 접착 전면부가 전파한 후 미리 정해진 시간; 중 적어도 하나를 조정하기 위해 상기 리프-스프링 변형 요소에 명령을 전달하도록 작동하는, 기기.

실시예 25: 실시예 14 내지 24 중 어느 하나에 있어서, 상기 유연한 기판은 유리로 형성되고; 상기 유연한 기판은, (i) 약 50 ㎛ 내지 약 300 ㎛, 및 (ii) 약 100 ㎛ 내지 약 200 ㎛ 중 하나의 두께를 가지며; 상기 유연한 기판은, (i) 약 500 mm 이상의 길이 및 약 500 mm 이상의 폭, 및 (ii) 약 1100 mm의 길이 및 약 1300 mm의 폭 중 하나로 형성된 구역을 포함하고; 상기 유연한 기판은, 약 2.3 - 2.5 g/cc의 밀도, 약 70 - 80 GPa의 영률, 약 0.20 - 0.25의 프아송 비, 및 약 185 - 370 mm의 최소 굽힘 반경 중 적어도 하나를 포함하고; 상기 캐리어 기판은 유리로 형성되며; 및 상기 캐리어 기판은 약 400 내지 약 1000 ㎛의 두께를 포함하며; 이들 중 적어도 하나를 나타내는 , 기기.

실시예 26: 실시예 14 내지 25 중 어느 하나에 있어서, 접착 이후 X-Y 평면 외의 변형 크기는: (i) 약 200 ㎛; (ii) 약 100 ㎛; (iii) 약 75 ㎛; 및 (iv) 약 50 ㎛ 중 적어도 하나 이하인, 기기.

Claims (26)

1. 그 사이에 갭을 형성하도록 캐리어 기판에 인접하여, 접촉하지 않고, 유연한 기판을 홀드하는 단계, 여기서, 상기 캐리어 기판은 시트 재료, X-축에서의 길이 치수, Y-축에서의 폭 치수, 및 Z-축에서의 두께 치수를 포함하되, 상기 X-축 및 Y-축은 X-Y 평면을 형성하고, 상기 유연한 기판은 시트 재료, X-축에서의 길이 치수, Y-축에서의 폭 치수, 및 Z-축에서의 두께 치수를 포함하고, 여기서, 상기 유연한 기판은, (i) 상기 유연한 기판의 유연성은 캐리어 기판의 유연성보다 실질적으로 더 유연함, 및 (ii) 상기 유연한 기판의 두께는 상기 캐리어 기판의 두께보다 실질적으로 더 얇음, 중 적어도 하나를 나타냄;
   상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이에 접착을 유도하는 단계, 여기서, 상기 접착은 제1 접착 전면부가 시작 선과 Y-축을 실질적으로 가로지르는 제1 방향으로 시작 선으로부터 멀어지게 전파되도록 상기 Y-축에 평행한 선을 따라 실질적으로 연장되는 기다란 시작 선에서 개시됨; 및
   상기 시작 선으로부터 멀어지는 제1 접착 전면부의 전파와 동시에 상기 유연한 기판 상의 비-접착 홀드를 해제하는 단계;를 포함하는, 방법.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하는 단계; 및
   상기 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 상기 캐리어 기판에 대한 유연한 기판의 갭을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 동시에 해제하는 단계는 상기 제1 접착 전면부가 제1 세트의 각각의 존을 통과하여 전파되면서 제1 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상의 비-접촉 홀드를 연속적으로 해제하는 단계를 포함하고;
   상기 제1 세트의 각각의 존 각각은 Y-축에 평행하게 연장되고 각각은 X-축에 평행한 제1 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 및
   상기 제1 접착 전면부의 전파 방향은 X-축에 평행한, 방법.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이의 접착의 유도 단계는 제1 방향에 실질적으로 대향하고 상기 시작 선 및 Y-축을 가로지르는 제2 방향으로 상기 시작 선으로부터 멀어지게 전파되는 제2 접착 전면부를 포함하고;
   상기 동시에 해제하는 단계는 상기 제2 접착 전면부가 제2 세트의 각각의 존을 통하여 전파되면서 이러한 제2 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상의 비-접촉 홀드를 연속하여 해제하는 단계를 포함하고;
   상기 제2 세트의 각각의 존 각각은 Y-축에 평행하게 연장되고 각각은 X-축에 평행한 제2 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 및
   상기 제2 접착 전면부의 전파의 방향은 X-축에 평행한, 방법.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도와 제2 방향으로의 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나를 결정하는 단계; 및
   상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나의 함수로서 동시에 해제하는 단계의 타이밍을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.
6. 청구항 4에 있어서,
   상기 제1 및 제2 세트의 각각의 존 각각은 상기 시작 선으로부터 멀어지는 각각의 제1 및 제2 방향으로 각각 연속으로 배열된 n개의 존(n=1, 2, 3, ... N)을 포함하고; 및
   상기 캐리어 기판에 인접하게, 접촉하지 않고, 유연한 기판을 홀드하는 단계는 상기 제1 및 제2 세트의 각각의 존의 각각의 N번째 존의 동시 해제 이후 미리 정해진 시간동안 유연한 기판의 4개의 모서리의 각각에 근접한 각각의 영역에서만 홀드하는 것을 유지하는 단계를 포함하는, 방법.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도와 제2 방향으로의 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나를 결정하는 단계; 및
   상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나의 함수로서 유연한 기판의 4개의 모서리의 각각에 인접한 각각의 영역에서 홀드하는 것을 유지하는 단계의 미리 정해진 시간을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.
8. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1 접착 전면부의 특성이 접착된 유연한 기판과 캐리어 기판을 제1 방향에 대향하는 Z-축을 따라 제2 방향으로 X-Y 평면 외로 굴곡지게 하는 경향을 갖도록, 상기 시작 선을 따라 유연한 기판과 캐리어 기판 사이의 접착을 유도하기 전에 Z-축을 따라 제1 방향으로 X-Y 평면 외로 캐리어 기판에 실린더형 굴곡을 유도하기 위해 캐리어 기판을 기계적으로 구부리는 단계를 더욱 포함하는, 방법.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하는 단계; 및
   상기 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 캐리어 기판의 실린더형 굴곡의 곡률 반경을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.
10. 청구항 1에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 향해 유연한 기판을 압축하기 위해;
    상기 캐리어 기판과 접촉하는 실질적인 국부적인 구역을 개시하기 위해;
    상기 기다란 시작 선으로 접촉되는 국부 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판과 접촉된 유연한 기판을 추가로 압축하기 위해; 그리고
    상기 제1 접착 전면부가 상기 시작 선으로부터 멀리 전파된 이후 미리 정해진 시간동안 캐리어 기판과 접촉된 유연한 기판을 누르는 단계를 유지하기 위해; 상기 유연한 기판에 대해 리프-스프링 변형 요소를 전진시키는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
11. 청구항 10에 있어서,
    상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하는 단계; 및
    제1 접착 전면부 속도의 함수로서 상기 제1 접착 전면부가 시작 선으로부터 멀어지게 전파된 이후 미리 정해진 시간을 조정하는 단계;를 더욱 포함하는, 방법.
12. 청구항 1에 있어서,
    상기 유연한 기판은 유리를 포함하고;
    상기 유연한 기판은, (i) 약 50 ㎛ 내지 약 300 ㎛, 및 (ii) 약 100 ㎛ 내지 약 200 ㎛ 중 하나의 두께를 포함하고;
    상기 유연한 기판은, (i) 약 500 mm 이상의 길이 및 약 500 mm 이상의 폭, 및 (ii) 약 1100 mm 의 길이 및 약 1300 mm 의 폭 중 하나에 의해 정의된 구역을 포함하고;
    상기 유연한 기판은 약 2.3 - 2.5 g/cc의 밀도, 약 70 - 80 GPa의 영률, 약 0.20 - 0.25의 푸아송비, 및 약 185 - 370 mm의 최소 굽힘 반경 중 적어도 하나를 포함하고;
    상기 캐리어 기판은 유리를 포함하고; 그리고
    상기 캐리어 기판은 약 400 내지 약 1000 ㎛의 두께를 포함하고;
    이들 중 적어도 하나를 나타내는, 방법.
13. 청구항 1에 있어서,
    접착 이후 X-Y 평면 외의 변형 크기는:
    (i) 약 200 ㎛; (ii) 약 100 ㎛; (iii) 약 75 ㎛; 및 (iv) 약 50 ㎛ 중 적어도 하나 이하인, 방법.
14. 적재 존에서 접착 존으로 캐리어 기판을 이동시키기 위한 캐리어 기판 수송 메커니즘, 여기서 상기 캐리어 기판은 시트 재료로 형성되고, 캐리어 기판은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수를 가지며, 여기서, 상기 X-축 및 Y-축은 X-Y 평면을 형성함;
    상기 접착 존의 캐리어 기판을 홀드하도록 작동하는 척;
    다른 적재 존에서 접착 존으로 유연한 기판을 이동시키도록 작동하는 유연한 기판 수송 메커니즘, 여기서 상기 유연한 기판은 시트 재료로 형성되고, 상기 유연한 기판은 X-축의 길이 치수, Y-축의 폭 치수, 및 Z-축의 두께 치수를 가지며, 여기서, (i) 상기 유연한 기판의 유연성은 캐리어 기판의 유연성보다 실질적으로 더 유연하고, 및 (ii) 상기 유연한 기판의 두께는 상기 캐리어 기판의 두께보다 실질적으로 덜 두꺼우며, 이중 적어도 하나임;
    (i) 상기 유연한 기판과 접착하지 않고 수송 메커니즘 외로 유연한 기판을 이동시키도록, 및 (ii) 그 사이의 갭이 형성되도록 캐리어 기판에 인접하게 유연한 기판을 홀드하도록 작동하는 수송 메커니즘;
    상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이에 접착을 유도하도록 작동하는 압축 메커니즘, 여기서, 상기 접착은 제1 접착 전면부가 시작 선 및 Y-축을 실질적으로 가로지르는 제1 방향으로 시작 선으로부터 멀어지게 제1 접착 전면부가 전파되도록 실질적으로 Y-축에 평행한 선을 따라 연장되는 기다란 시작 선을 개시함; 및
    상기 시작 선으로부터 멀어지는 제1 접착 전면부의 전파와 동시에 유연한 기판 상의 비-접착 홀드를 해제하기 위해 상기 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동하는 제어기;를 포함하는, 기기.
15. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛, 여기서, 상기 제어기는 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 캐리어 기판에 대한 유연한 기판의 갭을 조정하기 위해 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동함;을 더욱 포함하는, 기기.
16. 청구항 14에 있어서,
    상기 제어기는 상기 제1 접착 전면부가 제1 세트의 각각의 존을 통해 전파되면서 제1 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상에 비-접촉 홀드를 동시에 해제하는 단계를 포함하기 위해 상기 동시 해제 단계에 영향을 미치도록 상기 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동하며;
    상기 제1 세트의 각각의 존은 각각 Y-축에 평행하게 연장되고 각각 X-축에 평행한 제1 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 그리고
    상기 제1 접착 전면부의 전파 방향은 X-축에 평행한, 기기.
17. 청구항 16에 있어서,
    상기 유연한 기판과 캐리어 기판 사이의 접착을 유도하는 단계는 제1 방향에 실질적으로 대향하고 시작 선과 Y-축을 가로지르는 제2 방향으로 시작 선으로부터 멀어지며 전파되는 제2 접착 전면부를 포함하고;
    상기 제어기는 상기 제2 접착 전면부가 제2 세트의 각각의 존을 통해 전파되면서 제2 세트의 각각의 존에서 유연한 기판 상에 비-접촉 홀드를 연속으로 해제하는 단계를 포함하도록 상기 동시 해제 단계에 영향을 미치기 위해 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동하고;
    상기 제2 세트의 각각의 존은 각각 Y-축에 평행하게 연장되고 각각 X-축에 평행한 제2 방향으로 서로 옆에 연속으로 배열되고; 그리고
    상기 제2 접착 전면부의 전파 방향은 X-축에 평행한, 기기.
18. 청구항 17에 있어서,
    상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도 및 제2 방향으로 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛,
    여기서, 상기 제어기는 상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도 중 적어도 하나의 함수로서 상기 동시 해제 단계의 타이밍을 조정하도록 상기 수송 메커니즘에 명령을 전달하도록 작동함;을 더욱 포함하는, 기기.
19. 청구항 17에 있어서,
    상기 제1 및 제2 세트의 각각의 존 각각은 상기 시작 선으로부터 멀어지는 각각의 제1 및 제2 방향으로 각각 연속으로 배열된 n개의 존(n=1, 2, 3, ... N)을 포함하고;
    상기 기기는 유연한 기판의 4개의 모서리 각각에 근접한 각각의 영역에서만 캐리어 기판에 인접하게 유연한 기판을 분리되고 독립적으로 홀드하도록 작동하는 복수의 비접촉식 진공 척을 더욱 포함하고; 그리고
    여기서 상기 제어기는 제1 및 제2 세트의 각각의 존 각각의 N번째 존의 동시 해제 이후 미리 정해진 시간동안 유연한 기판의 4개의 모서리 각각에 근접한 각각의 영역에서만 홀딩을 유지하는 단계를 포함하기 위해 캐리어 기판에 인접하게 접촉 없이 유연한 기판을 홀드하는데 영향을 주도록 상기 복수의 비접촉식 척에 명령을 전달하도록 작동하는, 기기.
20. 청구항 17에 있어서,
    상기 제1 방향으로의 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도 및 제2 방향으로의 제2 접착 전면부의 제2 접착 전면부 속도를 결정하기 위해 작동하는 속도 측정 유닛,
    여기서, 상기 제어기는 상기 제1 접착 전면부 속도와 제2 접착 전면부 속도의 함수로서 유연한 기판의 4개의 모서리 각각에 근접한 각각의 영역에서의 홀딩을 유지하는 단계의 미리 정해진 시간을 조정하기 위해 상기 복수의 비접촉식 척에 명령을 전달하도록 작동함;을 더욱 포함하는, 기기.
21. 청구항 14에 있어서,
    상기 척은 상기 시작 선을 따라 유연한 기판과 캐리어 기판 사이에 접착을 유도하기 전에 Z-축을 따라 제1 방향으로 X-Y 평면 외의 캐리어 기판에서의 실린더형 곡률을 유도하기 위해 캐리어 기판을 기계적으로 접착하도록 작동하여, 상기 제1 접착 전면부의 특성은 접착된 유연한 기판과 캐리어 기판이 제1 방향에 대향하고, Z-축을 따른 제2 방향으로 X-Y 평면 외로 굴곡지게 하는 경향을 갖는, 기기.
22. 청구항 21에 있어서,
    상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛,
    여기서, 상기 제어기는 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 상기 캐리어 기판에서 실린더형 곡률의 곡률 반경을 조정하기 위해 상기 척에 명령을 전달하도록 작동함;을 더욱 포함하는, 기기.
23. 청구항 14에 있어서,
    상기 압축 메커니즘은:
    상기 캐리어 기판을 향해 유연한 기판을 압축하기 위해;
    상기 캐리어 기판과 접촉하는 실질적인 국부적 구역을 개시하기 위해;
    상기 기다란 시작 선으로 접촉된 국부 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판으로 유연한 기판을 추가로 압축하기 위해; 그리고
    상기 시작 선으로부터 멀어지게 제1 접착 전면부가 전파된 후 미리 정해진 시간동안 캐리어 기판과 접촉된 유연한 기판을 압축하는 단계를 유지하기 위해;
    상기 유연한 기판에 대해 전진하도록 작동하는 리프-스프링 변형 요소를 포함하는, 기기.
24. 청구항 23에 있어서,
    상기 제1 방향으로 제1 접착 전면부의 제1 접착 전면부 속도를 결정하도록 작동하는 속도 측정 유닛을 더욱 포함하되,
    여기서, 상기 제어기는: (i) 상기 캐리어 기판과 접촉된 실질적인 국부 구역을 개시하도록 리프-스프링 변형 요소가 전진되는 속도; (ii) 리프-스프링 변형 요소가 기다란 시작에 접촉되는 국부 구역을 수정하기 위해 캐리어 기판과 접촉하는 유연한 기판을 추가로 압축하기 위해 전진되는 속도; 및 (iii) 제1 접착 전면부 속도의 함수로서 시작 선으로부터 멀러지게 제1 접착 전면부가 전파한 후 미리 정해진 시간; 중 적어도 하나를 조정하기 위해 상기 리프-스프링 변형 요소에 명령을 전달하도록 작동하는, 기기.
25. 청구항 14에 있어서,
    상기 유연한 기판은 유리로 형성되고;
    상기 유연한 기판은, (i) 약 50 ㎛ 내지 약 300 ㎛, 및 (ii) 약 100 ㎛ 내지 약 200 ㎛ 중 하나의 두께를 가지며;
    상기 유연한 기판은, (i) 약 500 mm 이상의 길이 및 약 500 mm 이상의 폭, 및 (ii) 약 1100 mm의 길이 및 약 1300 mm의 폭 중 하나로 형성된 구역을 포함하고;
    상기 유연한 기판은, 약 2.3 - 2.5 g/cc의 밀도, 약 70 - 80 GPa의 영률, 약 0.20 - 0.25의 프아송 비, 및 약 185 - 370 mm의 최소 굽힘 반경 중 적어도 하나를 포함하고;
    상기 캐리어 기판은 유리로 형성되며; 그리고
    상기 캐리어 기판은 약 400 내지 약 1000 ㎛의 두께를 포함하며; 이들 중 적어도 하나를 나타내는, 기기.
26. 청구항 14에 있어서,
    접착 이후 상기 X-Y 평면 외의 변형 크기는: (i) 약 200 ㎛; (ii) 약 100 ㎛; (iii) 약 75 ㎛; 및 (iv) 약 50 ㎛ 중 적어도 하나 이하인, 기기.

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