CN111777961B - 一种uv减粘保护膜的制备方法 - Google Patents

一种uv减粘保护膜的制备方法 Download PDF

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Abstract

一种UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜；S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜；S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥；S4.对基膜表面进行增加表面处理；S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。相对于普通UV减粘膜，紫外减粘层和基膜的接触面积要大的多，剥离强度要大，基膜也不影响紫外减粘层和被粘接物的接触情况，因此不影响其剥离强度，在UV照射后，紫外减粘层进一步交联，部分基膜从紫外减粘层中裸露在并粘接物表面形成支点，进一步降低剥离强度。

Description

一种UV减粘保护膜的制备方法
技术领域
本发明涉及一种UV减粘保护膜的制备方法。
背景技术
减粘保护膜分为热减粘保护膜和UV减粘保护膜，目前减粘保护膜主要用于晶圆切割制程的保护与后期捡取工艺，也有向高性能钢化玻璃（如手机玻璃）制程的保护和手机金属后盖的镭射雕刻工艺保护上转移的趋势。
UV减粘保护膜用作晶圆切割胶带，在晶圆切割时需要粘住晶圆，防止飞片现象的发生，当晶圆切割完成后，又需要降低剥离强度，便于拾取。
UV减粘保护膜在实际应用过程中，会出现以下问题：1.UV照射后，压敏胶和基膜的粘结强度同样下降，导致压敏胶与基膜的脱离造成残胶；2.晶圆拾取前后剥离强度的平衡，要么是拾取前剥离强度不够，要么就是拾取时剥离难，易残胶。
发明内容
为了克服现有UV减粘保护膜的上述不足，本发明提供一种UV减粘保护膜的制备方法，按照该方法制备出的UV减粘保护膜可解决上述问题。
本发明解决其技术问题的技术方案是：一种UV减粘保护膜的制备方法，该UV减粘保护膜包括PET膜、共聚酯层、紫外减粘层、离型膜，其制备方法包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜；
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜；
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边；
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理；
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
优选的，步骤S4中对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理方式为电晕处理或等离子体处理。
优选的，紫外减粘层的组成包括：
40-70质量份聚丙烯酸酯；
10-20质量份多官能团度低聚物或多官能团单体；
0.1-2质量份光引发剂；
0.1-2质量份交联剂；
0.1-2质量份分散剂；
0.1-2质量份流平剂。
优选的，聚丙烯酸酯为丙烯酸丁酯BA、丙烯酸乙酯EA、丙烯酸正辛酯OA、丙烯酸异辛酯2-EHA、甲基丙烯酸异辛酯2-EHMA、甲基丙烯酸十二烷酯LMA、丙烯酸甲酯MA、甲基丙烯酸甲酯MMA、甲基丙烯酸乙酯EMA、甲基丙烯酸正丁酯BMA、醋酸乙烯酯VAc、苯乙烯ST、丙烯酸AA中的一种。
优选的，所述的多官能团低聚物为环氧丙烯酸酯低聚物，或树枝状醚酰胺多官能团(甲基)丙烯酸酯低聚物；所述的多官能团单体为双季戊四醇六丙烯酸酯，或(5)乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯，或双季戊四醇六丙烯酸酯。
优选的，所述的光引发剂为二苯基乙酮，或α-羟烷基苯酮，或双苯甲酰基苯基氧化膦，或二苯甲酮，或异丙基硫杂蒽酮。
优选的，所述的交联剂为DCP，或BPO，或DTBP，或DBHP，或2,5-二甲基-2,5 二叔丁基过氧化己烷。
优选的，所述的分散剂为乙烯基双硬脂酰胺，或硬脂酸单甘油酯，或三硬脂酸甘油酯，或液体石蜡，或硬脂酸锌，或聚乙烯蜡。
优选的，所述的流平剂为聚二甲基硅氧烷，或聚甲基苯基硅氧烷，或梳状结构的有机聚硅氧烷，或紫外线吸收剂UV360。
本发明的有益效果在于：相对于普通UV减粘膜，紫外减粘层和基膜的接触面积要大的多，剥离强度要大，同时在UV减粘膜使用时，基膜也不影响紫外减粘层和被粘接物的接触情况，因此不影响其剥离强度，在UV照射后，紫外减粘层进一步交联，体积收缩，部分基膜从紫外减粘层中裸露在并粘接物表面形成支点，使得紫外减粘层和被粘接物间出现应力，进一步降低剥离强度。
附图说明
图1是本发明的UV减粘保护膜的剖视图。
图2是本发明的UV减粘保护膜的共聚酯层的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
参照图1、图2，UV减粘保护膜包括PET膜1、共聚酯层2、紫外减粘层3、离型膜4。
实施例一，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即电晕处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
60质量份的丙烯酸丁酯BA；
15质量份的环氧丙烯酸酯低聚物；
1质量份的二苯基乙酮；
1质量份的交联剂DCP；
1质量份的乙烯基双硬脂酰胺；
1质量份的聚二甲基硅氧烷。
实施例二，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即等离子体处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
40质量份的丙烯酸乙酯EA；
12质量份的树枝状醚酰胺多官能团(甲基)丙烯酸酯低聚物；
0.5质量份的α-羟烷基苯酮；
0.1质量份的交联剂BPO；
1.3质量份的硬脂酸单甘油酯；
2质量份的聚甲基苯基硅氧烷。
实施例三，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即电晕处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
50质量份的丙烯酸正辛酯OA；
10质量份的双季戊四醇六丙烯酸酯；
0.1质量份的双苯甲酰基苯基氧化膦；
0.5质量份的交联剂DTBP；
2质量份的三硬脂酸甘油酯；
1.8质量份的梳状结构的有机聚硅氧烷。
实施例四，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即等离子体处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
45质量份的丙烯酸异辛酯2-EHA；
20质量份的(5)乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯；
1.2质量份的二苯甲酮；
2质量份的交联剂DBHP；
0.1质量份的液体石蜡；
0.1质量份的紫外线吸收剂UV360。
实施例五，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即电晕处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
70质量份的甲基丙烯酸异辛酯2-EHMA；
16质量份的双季戊四醇六丙烯酸酯；
1.5质量份的异丙基硫杂蒽酮；
0.8质量份的2,5-二甲基-2,5 二叔丁基过氧化己烷；
0.8质量份的硬脂酸锌；
1.5质量份的聚二甲基硅氧烷。
实施例六，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即等离子体处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
65质量份的甲基丙烯酸十二烷酯LMA；
18质量份的环氧丙烯酸酯低聚物；
2质量份的二苯基乙酮；
1.5质量份的交联剂DCP；
0.3质量份的聚乙烯蜡；
0.6质量份的聚二甲基硅氧烷。
实施例七，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即电晕处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
44质量份的丙烯酸甲酯MA；
13质量份的树枝状醚酰胺多官能团(甲基)丙烯酸酯低聚物；
0.2质量份的α-羟烷基苯酮；
0.5质量份的交联剂BPO；
0.6质量份的乙烯基双硬脂酰胺；
1.1质量份的聚甲基苯基硅氧烷。
实施例八，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即等离子体处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
66质量份的甲基丙烯酸甲酯MMA；
17质量份的双季戊四醇六丙烯酸酯；
0.6质量份的双苯甲酰基苯基氧化膦；
1.2质量份的交联剂DTBP；
0.7质量份的硬脂酸单甘油酯；
0.4质量份的梳状结构的有机聚硅氧烷。
实施例九，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即电晕处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
52质量份的甲基丙烯酸乙酯EMA；
11质量份的(5)乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯；
1.7质量份的二苯甲酮；
0.8质量份的2,5-二甲基-2,5 二叔丁基过氧化己烷；
0.75质量份的液体石蜡；
0.45质量份的紫外线吸收剂UV360。
实施例十，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即等离子体处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
55质量份的甲基丙烯酸正丁酯BMA；
19质量份的双季戊四醇六丙烯酸酯；
0.9质量份的异丙基硫杂蒽酮；
1.3质量份的交联剂DCP；
0.6质量份的硬脂酸锌；
1.2质量份的聚二甲基硅氧烷。
实施例十一，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即电晕处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
65质量份的醋酸乙烯酯VAc；
11质量份的(5)乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯；
1.5质量份的二苯基乙酮；
1.3质量份的交联剂BPO；
1.1质量份的聚乙烯蜡；
1.8质量份的聚甲基苯基硅氧烷。
实施例十二，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即等离子体处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
70质量份的苯乙烯ST；
10质量份的双季戊四醇六丙烯酸酯；
2质量份的α-羟烷基苯酮；
0.1质量份的交联剂DTBP；
0.1质量份的乙烯基双硬脂酰胺；
0.2质量份的梳状结构的有机聚硅氧烷。
实施例十三，上述UV减粘保护膜的制备方法，包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜。
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜。
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边。
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理，即电晕处理。
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜。
本实施例中，所述紫外减粘层的组成包括：
50质量份的丙烯酸AA；
15质量份的环氧丙烯酸酯低聚物；
0.1质量份的双苯甲酰基苯基氧化膦；
0.3质量份的2,5-二甲基-2,5 二叔丁基过氧化己烷；
0.2质量份的硬脂酸单甘油酯；
0.1质量份的紫外线吸收剂UV360。

Claims (4)

1.一种UV减粘保护膜的制备方法，该UV减粘保护膜包括PET膜、共聚酯层、紫外减粘层、离型膜，其特征在于其制备方法包括如下步骤：
S1.将共聚酯层原料和PET基层原料分别通过两台挤出机挤出再共挤形成基膜；
S2.基膜再经过纵向拉伸和横向拉伸之后形成拉伸膜；
S3.用具有花纹的已被加热的模压辊在共聚酯层上压出若干矩形分布的四棱锥，每个四棱锥形状及尺寸均相同，每个四棱锥的顶点的投影均位于四棱锥底面的中心，相邻的四棱锥之间共用一条底边；
S4.对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理；
S5.在四棱锥之间的空间中填充紫外减粘层，之后再在紫外减粘层上附上离型膜；在UV照射后，紫外减粘层进一步交联，体积收缩，部分基膜从紫外减粘层中裸露在并粘接物表面形成支点，使得紫外减粘层和被粘接物间出现应力，进一步降低剥离强度；
所述紫外减粘层的组成为：
40-70质量份的丙烯酸丁酯BA、丙烯酸乙酯EA、丙烯酸正辛酯OA、丙烯酸异辛酯2-EHA、甲基丙烯酸异辛酯2-EHMA、甲基丙烯酸十二烷酯LMA、丙烯酸甲酯MA、甲基丙烯酸甲酯MMA、甲基丙烯酸乙酯EMA、甲基丙烯酸正丁酯BMA、醋酸乙烯酯VAc、苯乙烯ST、丙烯酸AA中的一种；
10-20质量份多官能团度低聚物或多官能团单体；
0.1-2质量份光引发剂；
0.1-2质量份交联剂；
0.1-2质量份分散剂；
0.1-2质量份流平剂；
所述的多官能团低聚物为环氧丙烯酸酯低聚物，或树枝状醚酰胺多官能团(甲基)丙烯酸酯低聚物；
所述的多官能团单体为双季戊四醇六丙烯酸酯，或(5)乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯，或双季戊四醇六丙烯酸酯；
所述的光引发剂为二苯基乙酮，或α-羟烷基苯酮，或双苯甲酰基苯基氧化膦，或二苯甲酮，或异丙基硫杂蒽酮；
所述的交联剂为DCP，或BPO，或DTBP，或DBHP，或2,5-二甲基-2,5 二叔丁基过氧化己烷。
2.如权利要求1所述的UV减粘保护膜的制备方法，其特征在于：步骤S4中对基膜表面进行增加表面粗糙度的处理方式为电晕处理或等离子体处理。
3.如权利要求1所述的UV减粘保护膜的制备方法，其特征在于：所述的分散剂为乙烯基双硬脂酰胺，或硬脂酸单甘油酯，或三硬脂酸甘油酯，或液体石蜡，或硬脂酸锌，或聚乙烯蜡。
4.如权利要求1所述的UV减粘保护膜的制备方法，其特征在于：所述的流平剂为聚二甲基硅氧烷，或聚甲基苯基硅氧烷，或梳状结构的有机聚硅氧烷。
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