KR101766618B1 - 진공 단열 유리 유닛을 위한 엣지 시일의 국부적 가열 방법 및/또는 이를 완성하기 위한 일체화된 오븐 - Google Patents

진공 단열 유리 유닛을 위한 엣지 시일의 국부적 가열 방법 및/또는 이를 완성하기 위한 일체화된 오븐 Download PDF

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Abstract

본 발명의 한 실시예는 진공 단열 유리(VIG) 유닛을 위한 엣지 실링(edge sealing) 기술에 관한 것이다. 더 구체적으로, 한 실시예는 유닛의 엣지 시일(edge seal)에 국부적으로 가열하기 위한 기술 및/또는 그 기술을 완성하기 위한 일체화된 오븐에 관한 것이다. 한 실시예에서, 유닛은 하나 이상의 중간 온도로 예열되고, 국부적 열은 (예를 들어, 하나 이상의 대체로 선형인 집속된 IR 열원으로부터) 유닛의 주변 엣지(edge) 위에 놓여진 프릿(frit)을 녹이기 위해 유닛의 주변 엣지(edge)에 근접하게 제공되고, 냉각된다. 제한적이지 않은 구현에서, 예열 및/또는 냉각은 하나 이상의 단계로 제공될 수도 있다. 상기 기술을 수행하기 위한 오븐은 상기 언급한 단계들을 수행하기 위하여 다수의 영역들(zones)을 포함할 수도 있고, 각 영역(zone)은 하나 이상의 챔버들(chamber)을 선택적으로 포함하고 있다. 따라서, 한 실시예에서, 유닛의 엣지(edge)에 근접한 온도 기울기(temperature gradient)가 생성되고, 그럼으로써 파손 및/또는 적어도 기판들의 디템퍼링(de-tempering)의 기회가 줄어들게 된다.

Description

진공 단열 유리 유닛을 위한 엣지 시일의 국부적 가열 방법 및/또는 이를 완성하기 위한 일체화된 오븐 {LOCALIZED HEATING OF EDGE SEALS FOR A VACUUM INSULATING GLASS UNIT, AND/OR UNITIZED OVEN FOR ACCOMPLISHING THE SAME}
본원 발명의 한 실시예는 진공 단열 유리(VIG) 유닛에 대한 엣지 실링(edge sealing) 기술에 관한 것이다. 더 구체적으로, 한 실시예는 유닛의 엣지 시일(edge seal)에 국부적으로 가열하기 위한 기술, 및/또는 그 기술을 완성하기 위한 일체화된 오븐에 관한 것이다. 한 실시예에서, 유닛은 하나 이상의 중간 온도(들)로 예열되고, 국부적 열은 (예를 들어, 하나 이상의 대체로 선형인 집속된 적외선(IR) 열원으로부터) 유닛의 주변 엣지(edge) 위에 프릿(frit)(들)을 녹이기 위해 유닛의 주변 엣지(edge)에 근접하게 제공되고, 상기 유닛은 냉각된다. 한 실시 구현에서, 상기 예열 및/또는 냉각은 하나 이상의 단계들로 제공될 수도 있다. 상기 기술을 완성하기 위한 오븐은 상기 언급한 단계들을 수행하기 위하여 다수의 영역들(zones)을 포함할 수도 있고, 각 영역(zone)은 하나 이상의 챔버들(chambers)을 선택적으로 포함하고 있다.
진공 IG 유닛은 종래 기술에서 잘 알려져 있다. 예를 들어, 본 명세서에 참고로서 포함된 U.S. 특허 5,664,395와 5,657,607 및 5,902,652를 참조하면, 상기 모든 개시들이 나와 있다.
도 1 내지 2는 종래의 진공 IG 유닛(진공 IG 유닛 또는 VIG 유닛)을 도시한다. 진공 IG 유닛(1)은 두 개의 이격된 유리 기판들(2 및 3)을 포함하고, 상기 유리 기판들은 그 사이에 비워진(evacuated) 또는 저압 공간(6)을 갖는다. 유리 시트들/기판들(2 및 3)은 융합된 땜납 유리(4)의 주변 또는 엣지 시일(edge seal) 및 지지 기둥(support pillars) 또는 스페이서(spacer)(5)의 배열에 의해 상호 연결된다.
펌프 아웃 튜브(pump out tube)(8)은 유리 시트(2)의 내부 표면에서 시트(2)의 외부 표면에 있는 리세스(recess)(11)의 바닥으로 통과하는 애퍼처(aperture) 또는 구멍(10)에 땜납 유리(9)에 의해 완전히 밀봉된다. 기판들(2 및 3) 사이에 내부 공간이 저압 영역 또는 공간(6)을 생성하기 위해 비워질 수 있도록 진공은 펌프 아웃 튜브(pump out tube)(8)에 부착된다. 진공화(evacuation) 후에, 튜브(8)는 상기 진공을 밀봉하기 위해 용해된다. 리세스(recess)(11)는 밀봉된 튜브(8)를 유지한다. 선택적으로, 화학적 게터(getter)(12)는 리세스(recess)(13) 내에 포함될 수도 있다.
융합된 땜납 유리 주변 시일(4)을 가진 종래의 진공 IG 유닛은 다음과 같이 제조되어 왔다. 용액에서의 유리 프릿(frit)은 (궁극적으로 땜납 유리 엣지 시일(4)을 형성하기 위하여) 처음에 기판(2)의 주변부 주위에 증착된다. 또 다른 기판(3)은 스페이서(spacer)(5) 및 유리 프릿(frit)/용액을 기판 사이에 끼워넣기 위하여 기판(2)의 윗면 위로 떨어뜨린다. 시트들(2 및 3), 스페이서(spacers) 및 시일(seal) 물질을 포함하는 전체 조립체는 그 후 약 500oC의 온도로 가열되는데, 이 시점에서 유리 프릿(frit)은 녹고, 유리 시트들(2 및 3)의 표면을 적시고, 궁극적으로 밀폐된 주변 또는 엣지 시일(edge seal)(4)을 형성한다. 이러한 약 500oC의 온도는 약 1시간 내지 8시간 정도 유지된다. 주변/엣지 시일(4) 및 튜브(8) 주위의 시일(seal)의 형성 이후, 상기 조립체는 실온으로 냉각된다. 미국 특허 5,664,395의 컬럼(column) 2에 종래의 진공 IG 처리 온도가 한 시간동안 약 500oC인 것을 언급한 것이 주지되어 있다. '395특허의 발명자 Collins는, Lenzen, Turner 및 Collins에 의한 "Thermal Outgassing of Vacuum Glazing"에서 "엣지 시일(edge seal) 처리는 현재 매우 느리다: 일반적으로 샘플의 온도는 시간당 200oC로 증가하고, 땜납 유리 조성물에 따라 430oC 및 530oC부터의 범위를 갖는 일정값에서 한 시간 동안 유지한다"고 언급한다. 엣지 시일(4)의 형성 후에, 진공은 저압 공간(6)을 형성하기 위해 상기 튜브를 통해 이동된다.
유감스럽게도, 특히 진공 IG 유닛에서 열 강화된 또는 템퍼링된(tempered) 유리 기판(들)(2 및 3)을 이용하기에 바람직할 때, 엣지 시일(4)의 형성에 이용된 전체 조립체의 상기 언급한 고온 및 긴 가열 시간은 바람직하지 않다. 도 3 내지 4에 도시된 바와 같이, 템퍼링된(tempered) 유리는 가열 시간의 함수로써 고온에 노출될 때 템퍼(temper) 강도를 손실한다. 게다가, 그런 높은 처리 온도는 한 예시에서 하나 또는 양쪽 모두의 유리 기판에 적용될 수도 있는 특정 로이 코팅(들)(low-E coating(s))에 부정적으로 영향을 미칠 수도 있다.
도 3은 충분히 열로 템퍼링된(tempered) 판 유리가 상이한 시간 동안 상이한 온도로 노출될 때 기존 템퍼(temper)를 얼마나 손실하는지와, 어느 곳에서 기존 중심 인장 인력이 인치당 3,200 MU인지를 도시하고 있는 그래프이다. 도 3에서의 X-축은 시간을 (1시간부터 1,000시간까지) 지수적으로 나타낸 반면, Y-축은 열 노출 이후 남아있는 기존 템퍼(temper) 강도의 비율을 나타낸다. 도 4는 도 4의 X-축이 지수적으로 0 내지 1시간으로 확장한 것만 제외하고, 도 3과 유사한 그래프이다.
일곱 개의 상이한 곡선이 도 3에 도시되어 있고, 각각은 화씨(oF)에서의 상이한 온도 노출을 나타낸다. 상기 상이한 곡선/선들은 400oF(도 3 그래프의 맨 위를 가로지름), 500oF, 600oF, 700oF, 800oF, 900oF 및 950oF(도 3 그래프의 맨 밑 곡선)이다. 900oF의 온도는 약 482oC와 동일하고, 이 온도는 도 1 내지 2에서 상기 언급한 종래의 땜납 유리 주변 시일(4)을 형성하기 위해 이용된 범위 내에 있다. 따라서, 참조 번호 18이 붙여진 도 3의 900oF 곡선은 주목을 받는다. 도시된 바와 같이, 이 온도(900oF 또는 482oC)에서 한 시간이 지나면 기존 템퍼(temper) 강도가 20%만이 남는다. 템퍼(temper) 강도의 그러한 중요한 손실 (즉, 80%의 손실)은 당연히 바람직하지 않다.
*도 3 내지 4에서, 한 시간 동안 900oF의 온도와는 대조적으로 한 시간 동안 800oF(약 428oC)의 온도로 가열될 때 열 강화 시트에 더 나은 템퍼(temper) 강도가 남는다고 주지되어 있다. 그러한 유리 시트는 800oF에서 한 시간 후에 기존 템퍼(temper) 강도의 약 70%가 남고, 이는 같은 시간 동안 900oF일 때 20%만 남는 것보다 상당히 좋은 것이다.
너무 오래 동안 전체 유닛을 가열하지 않는 것과 관련된 또다른 이점은 저온 기둥 물질(lower temperature pillar materials)이 사용될 수도 있다는 것이다. 이것은 일부 예시에서 바람직 할 수도 또는 바람직 하지 않을 수도 있다.
비-템퍼링된(non-tempered) 유리 기판이 사용될 때조차, 전체 VIG 조립체에 가해진 상기 고온은 유리를 녹이거나 응력을 도입할 수도 있다. 이러한 응력들은 유리의 변형 및/또는 파손의 가능성을 증가시킬 수 있다.
따라서, 서로 다른 유리 시트들 사이에 구조상 방음 밀폐된 엣지 시일이 제공되는 경우에, 진공 IG 유닛 및 이를 제조하는 상응 방법이 종래 기술에서 필요하다는 것이 인식될 것이다. 템퍼링된(tempered) 유리 시트를 포함하는 진공 IG 유닛에 대해서도 종래 기술에서의 필요성이 존재하는데, 여기서 주변 시일(seal)은 땜납 유리 엣지 시일을 형성하기 위해 전체 유닛이 가열되는 종래의 진공 IG 제조 기술에서보다 더 많은 기존 템퍼(temper) 강도를 유리 시트가 유지하도록 형성된다.
본 발명의 한 실시예의 양상은 유닛의 비주변 영역(non-peripheral areas)의 열을 낮추고 그럼으로써 기판이 깨지는 기회를 줄이기 위해 엣지 시일(edge seal)을 형성하도록 유닛의 주변부에 국부적 가열을 가하는 것에 관한 것이다.
한 실시예의 양상은 일체화된 오븐을 통한 유닛의 단계적 가열, 국부적 가열 및 단계적 냉각을 제공하는 것에 관한 것이고, 상기 국부적 가열은 대체로 선형인 집속된 적외선(IR) 열원에 의해 제공된다.
한 실시예의 다른 양상은, 열 템퍼링된(tempered) 유리 기판들/시트들의 적어도 특정 부분(들)이 종래의 엣지 시일(edge seal)이 땜납 유리 엣지 시일 물질과 함께 사용되었을 때보다 오히려 기존 템퍼(temper) 강도를 더 유지하도록 형성된 주변 또는 엣지 시일(edge seal)을 구비하는 진공 IG 유닛을 제공하는 것에 관한 것이다.
한 실시예의 다른 양상은 진공 IG 유닛과 이를 제조하는 방법을 제공하는 것에 관한 것으로, 여기서 열 템퍼링된(tempered) 유리 기판(들)의 적어도 한 부분이 엣지 시일의 형성 이후에 (예를 들어, 땜납 유리 엣지 시일) 기존 템퍼(temper) 강도의 적어도 약 50%를 유지한다.
한 실시예의 다른 양상은 진공 IG 유닛에서 주변/엣지 시일을 형성하는데 필요한 후템퍼링(post-tempering) 가열 시간을 줄이는 것에 관한 것이다.
본 발명의 한 실시예에서, 진공 단열 유리(VIG) 창문 유닛의 제조 방법을 제공하고, 상기 방법은 제 1 및 제 2의 대체로 평행하게 이격된 유리 기판들, 및 VIG 창문 유닛의 엣지(edge) 부분을 밀봉하기 위한 제 1 및 제 2 유리 기판들 사이에 적어도 부분적으로 제공되는 프릿(frit)을 제공하는 단계; 제 1 및 제 2 기판들의 녹는점보다 낮고 프릿(frit)의 녹는점보다 낮은 적어도 하나의 온도로 유리 기판 및 프릿(frit)을 예열하는 단계; 및 진공 단열 유리(VIG) 창문 유닛을 제조하는 데 있어서 유닛을 냉각시키고 프릿(frit)을 경화시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 한 실시예에서, 엣지 시일(edge seal)을 포함하는 진공 단열 유리 유닛의 제조 방법이 제공된다. 제 1 및 제 2의 대체로 평행하게 이격된 유리 기판들, 밀봉될 제 1 및 제 2 기판들 사이의 하나 이상의 엣지(edge) 부분들, 및 밀봉될 각각의 상기 엣지(edge) 부분을 밀봉하기 위한 프릿(frit)을 포함하는 유닛이 제공된다. 상기 유닛은 적어도 하나의 중간 온도로 전체적으로 예열되고, 각각의 상기 중간 온도는 제 1 및 제 2 기판들의 녹는점보다 낮고 프릿(frit)의 녹는점보다 낮다. 대체로 선형인 근 적외선 열원에 의해 발생되는 근 적외선을 통해, 밀봉될 엣지(edge) 부분에 근접한 유닛에 프릿(frit)의 녹는 온도로 국부적 가열이 제공되고, 상기 프릿(frit)의 녹는 온도는 프릿(frit)을 녹이기에 충분할 정도록 높고, 상기 국부적 가열은 밀봉될 엣지(edge) 부분에 근접하지 않은 유닛의 영역이 중간 온도와 가까운 온도로 유지될 정도로 상기 유닛에 제공된다. 상기 유닛은 적어도 하나의 환산 온도(reduced temperature)로 그 전체를 냉각시키고, 상기 프릿(frit)은 경화된다.
한 실시예에서, 진공 단열 유리 유닛을 위한 엣지 시일(edge seal)의 제조 방법이 제공된다. 입구 영역, 엣지 실링 영역, 및 출구 영역을 포함하는 오븐이 제공된다. 제 1 및 제 2의 대체로 평행하게 이격된 유리 기판들, 밀봉될 제 1 및 제 2 기판들 사이에 하나 이상의 엣지(edge) 부분들, 및 밀봉될 각각의 상기 엣지(edge) 부분을 밀봉하기 위한 프릿(frit)을 포함하는 유닛은 오븐 안으로 삽입된다. 상기 오븐의 입구 영역에서, 상기 유닛은 적어도 하나의 중간 온도로 전체적으로 예열되고, 각각의 상기 중간 온도는 제 1 및 제 2 기판들의 녹는점보다 낮고 프릿(frit)의 녹는점보다 낮다. 상기 오븐의 엣지 실링 영역에서, 국부적 열원을 통해, 밀봉될 엣지(edge) 부분에 근접한 유닛에 프릿(frit)의 녹는 온도로 국부적 가열이 제공되고, 상기 프릿(frit)의 녹는 온도는 프릿(frit)을 녹이기에 충분할 정도록 높고, 밀봉될 엣지(edge) 부분에 근접하지 않은 유닛의 영역이 중간 온도와 가까운 온도로 유지될 수 있도록 상기 국부적 가열이 제공된다. 상기 오븐의 출구 영역에서, 상기 유닛은 적어도 하나의 환산 온도(reduced temperature)로 전체적으로 냉각되고, 상기 프릿(frit)은 경화된다.
한 실시예에서, 진공 단열 유리 유닛을 위한 엣지 시일(edge seal)을 형성하는 장치가 제공된다. 입구 영역은, 제 1 및 제 2의 대체로 평행하게 이격된 유리 기판들, 밀봉될 제 1 및 제 2 기판들 사이에 하나 이상의 엣지(edge) 부분들, 및 밀봉될 각각의 상기 엣지(edge) 부분을 밀봉하기 위한 프릿(frit)을 포함하는 유닛을 받아들이는 단계, 및 상기 유닛을 적어도 하나의 중간 온도로 전체적으로 예열하는 단계가 제공되고, 각각의 상기 중간 온도는 제 1 및 제 2 기판들의 녹는점보다 낮고 프릿(frit)의 녹는점보다 낮다. 국부적 열원을 포함하는 엣지 실링 영역은 밀봉될 엣지(edge) 부분에 근접한 유닛에 프릿(frit)의 녹는 온도로 국부적 가열을 가하는 단계가 제공되고, 상기 프릿(frit)의 녹는 온도는 프릿(frit)을 녹이기에 충분할 정도로 높고, 밀봉될 엣지(edge) 부분에 근접하지 않은 유닛의 영역이 중간 온도와 가까운 온도로 유지되도록 상기 국부적 가열이 제공된다. 오븐의 출구 영역은 적어도 하나의 환산 온도(reduced temperature)로 유닛을 전체적으로 냉각시키고 프릿(frit)을 경화시키는 단계가 제공된다.
본 명세서에 서술된 상기 특징들, 양상들, 이점들 및 실시예들은 추가 실시예들을 구현하기 위해 결합될 수 있다.
본 명세서 내에 포함되어 있음.
이런 특징들을 비롯해 다른 특징들과 이점들은 아래 도면과 함께 다음 상세한 설명을 참조로써 더 잘 이해될 수 있고 더 완전하게 이해될 수 있다.
도 1은 종래 기술의 진공 IG 유닛의 횡단면도.
도 2는 도 1에 도시된 단면선을 따라 취한 종래 기술의 도 1의 밑면 기판, 엣지 시일(edge seal) 및 스페이서(spacer)의 평면도.
도 3은 상이한 시간 동안 상이한 온도로 노출된 후 유리의 열 템퍼링된(tempered) 시트에 대한 기존 템퍼 강도(temper strength)의 손실을 도시하는, 남아있는 템퍼링 강도(tempering strength) 비율에 대한 시간에 상관하는 그래프.
도 4는 더 적은 시간 기간이 X-축 상에 제공되는 것을 제외하고, 도 3과 유사한 남아있는 템퍼링 강도(tempering strength) 비율에 대한 시간에 상관하는 그래프.
도 5는 실시예에 따른 다섯 개의 챔버(chamber) 오븐의 예시 레이아웃을 도시한 개략적인 측면도.
도 6은 실시예에 따라 일체화된 오븐의 엣지 실링 영역에서의 IR 열원의 집중을 이동시키는 평면도.
도 7은 실시예에 따라 IR 열원에 근접하게 위치한 거울을 집중 및/또는 집속시키는 측면도.
도 8은 실시예에 따라, 일체화된 오븐을 통해 VIG 조립체의 프릿 엣지 시일(frit edge seal)에 국부적 가열을 가하기 위한 과정을 보여주는 예시적인 흐름도.
본 발명의 한 실시예는 진공 IG 창문 유닛에서 개선된 주변 또는 엣지 시일(edge seal), 및/또는 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 명세서에서 "주변" 또는 "엣지(edge)" 시일(seal)은 시일(seal)이 유닛의 완전한 주변부 또는 엣지(edge) 부분에 위치하는 것을 의미하지 않고, 대신에 시일(seal)이 유닛의 적어도 하나의 기판의 엣지(edge) 상에 또는 그 근처에 (예를 들어, 약 2인치 내에) 적어도 부분적으로 위치하는 것을 의미한다. 마찬가지로, 본 명세서에 사용된 "엣지(edge)"는 유리 기판의 완전한 엣지(edge) 부분으로 한정되지 않을 뿐 아니라 기판(들)의 완전한 엣지(edge) 상에 또는 그 근처에 (예를 들어, 약 2인치 내에) 있는 영역을 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에 사용된 "VIG 조립체"라는 용어는 VIG의 엣지(edge) 부분이 밀봉되기 이전의, 그리고 예를 들어, 두 개의 평행하게 이격된 기판들 및 프릿(frit)을 포함하는 리세스(recess)의 진공화(evacuation) 이전의 중간 제품을 인용한다는 것이 인식되고 있다. 또한, 프릿(frit)이 본 명세서에서 하나 이상의 기판들로 인해 "상에" 또는 "지지되는"으로 서술되고 있어도, 이것은 프릿(frit)이 기판(들)과 직접적으로 접촉해야 한다는 것을 의미하지 않는다. 다시 말해서, "상에"라는 단어는 직접적으로 그리고 간접적으로 상(on)을 포함시켜, 상기 프릿(frit)이 다른 물질 (예를 들어, 코팅 및/또는 박막)들이 기판과 프릿(frit) 사이에 제공되는 것 조차 기판 "상에"라고 고려될 수 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 일체화된 영역을 가진 오븐을 이용하는 진공 단열 유리 유닛의 프릿 엣지 시일(frit edge seal)을 위한 우선적인 가열 방법이 제공된다. 선 조립된(pre-assembled) 유닛은 프릿 시일(frit seal)을 녹이는데 필요한 온도(예를 들어, 약 200 내지 300 oC의 온도)보다 낮은 중간 온도로 먼저 가열된다. 그 후, 프릿(frit)이 녹을 때까지 약 350 내지 500oC의 국부적 온도를 가하기 위하여, 근 적외선 파장(예들 들어, 약 0.7 내지 5.0㎛의 파장), 더 바람직하게는, 약 1.1 내지 1.4㎛의 파장으로 IR선을 발생하도록 구성된 대체로 선형인 집속된 적외선(IR) 열원으로부터 국부적 열로 유닛의 엣지(edge) 부분이 추가로 가열된다. 동시에, 템퍼링된(tempered) 또는 열 강화된 유리가 사용되면, 대다수의 영역들이 여전히 중간 온도 하에 있음에 따라, VIG 유닛의 열 템퍼링된(tempered) 유리 시트(들)/기판(들)의 적어도 특정 부분들은 기존 템퍼 강도(temper strength)의 약 50%만을 손실할 것이다. 전체적으로 저온이기 때문에, 한 실시예의 기술들이 샘플들을 냉각시킬 때 유리하게 더 적은 에너지를 소모하고 시간을 절약한다. 국부적 온도가 프릿(frit)을 포함하는 물질(들)에 기초하여 결정될 수 있다고 인식될 것이다. 예를 들어, 납-함유 프릿(lead-inclusive frits)은 은-함유 프릿(silver-inclusive frits)보다 더 저온을 필요로 하는 경향이 있다.
한 실시예의 일체화된 오븐은 다수의 챔버(chamber)를 포함한다. 일반적으로, 상기 챔버들(chambers)는 입구 영역, 엣지 실링 영역 및 출구 영역에 대응할 것이다. 일례가 되는 일체화된 오븐은 단일 영역의 기능을 완수하기 위한 다수의 챔버들(chambers)(예를 들어, 두 개의 입구 챔버(entrance chambers)는 입구 영역 기능을 완수하기 위해 제공될 수 있고, 두 개의 출구 챔버(exit chamnbers)는 출구 영역 기능을 완수하기 위해 제공될 수 있는 등)를 포함 및/또는 단일 챔버(single chamber)는 다수 영역들과 연관된 기능을 완수하도록 제공될 수 있다(예를 들어, 단일 챔버(single chamber)는 입구 및 출구 영역 기능을 제공할 수 있는 등)는 것이 인식될 수 있다.
무제한 예로써, 도 5는 실시예에 따라 다섯 개의 챔버(chamber) 오븐(50)의 예시 레이아웃을 도시하는 개략적인 측면도이다. 그러나, 상기 언급한 바와 같이, 더 많거나 더 적은 챔버들(chambers)이 이용될 수 있는 것이 인식될 것이다. 제한적이지 않은 구현에서, 근접한 챔버들(chambers)는 이들 사이에 위치한 실링 도어(sealing doors)(근접한 챔버들(chambers) 사이에 점선으로 표시됨)에 의해 분리될 수 있다. 링케이지(linkage), 풀리(pulleys), 및/또는 다른 수단들은 그러한 도어를 개폐하기 위해 제공될 수 있다.
한 실시예의 일체화된 오븐(50)은 제품의 흐름(product flow)에 있어서 반연속적(semi-continuous)이다. 롤러 컨베이어(roller conveyer)(52) 또는 다른 운송 기술은, 상기 VIG 조립체 및/또는 그 내용물이 서로에 대해 방해되거나 위치가 바뀌지 않도록, 주어진 VIG 조립체를 한 영역 및/또는 챔버(chamber)에서 다음 영역으로 물리적으로 이동시키는 데 이용될 수 있다. 출발점(52a)에서, 상기 롤러 컨베이어(roller conveyer)(52)는 VIG 조립체를 오븐(50) 안으로, 예를 들어, 첫번째 도어(54)를 통해서, 집어 넣는다. VIG 조립체는 장소가 옮겨질 수 있고 챔버(chamber) 및/또는 영역 내 적절한 위치에 도달했을 때 멈춰질 수 있다. VIG 조립체의 상기 위치는, 예를 들어, 포토-아이(photo-eye) 또는 다른 검출 도구로써 결정될 수 있다. 무제한 예로써, 상기 위치는 특정 챔버(chamber)의 중앙이 될 수도 있고, 특정 수평 및 수직 등의 위치 내에 정렬될 수도 있다 (예를 들어, 도 6과 관련하여 하기 더 상세하게 기술한 것과 같다). 한 실시예에서, VIG 조립체를 특정 위치에, 예를 들어, 상기 VIG 조립체를 충분히 가열시키고, 땜납 프릿(frit)을 녹이게 하는 등, 일시적으로 중단시키기에 유리할 수 있다,.
한 실시예에서, 다수의 VIG 조립체는 일괄적으로 처리될 수 있도록 오븐(50) 안으로 동시에 삽입된다. 예를 들어, 도 5에 도시된 것과 같이 다섯 개 챔버(chamber) 오븐에서, VIG 조립체가 다섯 개까지 각 챔버(chamber)의 과정에 따라 출발하고 중단되는 과정으로 오븐에 의해 한번에 처리될 수 있다. 예를 들어, 상기 엣지 실링 영역은 출구 영역 챔버(exit zone chambers)에서 수행되는 냉각보다 더 많은 시간을 필요로 할 수 있다. 따라서, 상이한 영역 및/또는 챔버(chamber)들의 상이한 처리 시간을 설명하기 위한 과정에 일부 지연이 생길 수 있다.
상기 VIG 조립체가 단계별로 가열되도록 상기 입구 영역(예를 들어, 도 5의 실시예에서의 챔버(chambers)(1 및 2))은 대체로 일정한 열원이 내장되어 있다. 다시 말해서, 상기 전체 VIG 조립체를 대체로 일정하게 가열하기 위하여 대체로 일정한 열이 상기 VIG 조립체에 가해질 수 있다. 가열은 상기 VIG 조립체 또는 그 내용물의 방해를 줄이기 위하여 IR 열원 또는 다른 수단으로부터 IR 선을 통해 이루어질 수 있다.
엣지 실링 영역(예를 들어, 도 5의 챔버(chamber)(3))에서, 상기 VIG 조립체를 전체적으로 미리 정해진 배경 온도로 유지하기 위해 대체로 일정한 열원이 설치된다. 이것은 상기 전체 VIG 조립체를 입구 영역에서부터 중간 온도로 유지 및/또는 입구 영역에서부터 온도를 약간 증가시킴으로써 이루어질 수 있다. 그 동안, 대체로 선형인 집속된 IR 열원(56)은 엣지(edge) 부분에 적용되는 도자기 프릿(ceramic frit)을 녹이기 위하여 상기 VIG 조립체의 주위에 국부적인 가열을 공급한다. IR 열은 주변 엣지(edge) 상에, 예를 들어, 상기 VIG 조립체 맞은 편 엣지(edge) 상에 포물선 거울로써, 집속될 수 있다. 집속시키는 기계장치의 예시에 대한 더 상세한 것은 도 7과 관련하여 하기에 제공된다. 비록 이 특정 영역이 엣지 실링 영역이라고 일컬어지지만, 일부 엣지 실링은 다른 영역들에서 발생할 수 있다는 것을 인식할 것이다. 예를 들어, 비록 상기 엣지(edge) 부분이 출구 영역에 있는 동안 밀봉하는 것을 계속할 수 있지만 (예를 들어, 상기 프릿(frit)은 경화시키기를 시작하거나 계속할 수 있다), 대부분의 용해(melting)는 엣지 실링 영역 내에서 발생할 것이고, 일부 엣지 실링은 IR 선원이 출력을 낮출 때 발생할 것이다,
도 6은 실시예에 따라 일체화된 오븐의 엣지 실링 영역에서의 IR 열원(62 및 64)의 집중을 이동시키는 평면도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 프릿 용해 오븐(frit melting oven)은 다양한 크기의 VIG 조립체가 밀봉될 수 있도록 설계된다. 한 실시예에서, 집속된 IR 뱅크(bank)의 한 코너는(예를 들어, 뱅크(banks)(62a 내지 62b)에 근접한 상기 코너) 제자리에 고정된다. 도 6의 예시에서, 뱅크(banks)(62a 내지 62b)는 제자리에 고정된다. 그러한 예시 배치에서, 완전한 프릿 용해(frit melting)를 보장하기 위해 집속된 IR 뱅크(bank)의 두 측면만이 위치를 바꿀 필요가 있을 것이다. 상기 IR 원 또한 구역들로 분할될 수 있어서, 일부 또는 모든 상기 구역들이 상기 VIG 조립체 크기의 구역에 가열 기간을 조절하기 위해 언제라도 켤 수 있도록 한다. 일부 이런 IR 원 뱅크(banks)(64a' 내지 64b')는, 예를 들어, 암(arms), 레일 상의 롤러(rollers on a rail), 및/또는 다른 링케이지(linkages)와 같은, 기계 수단으로써 상기 VIG 조립체의 주변 주위에 다양한 위치로 이동될 수 있다. 도 6에서, 이것은 뱅크(banks)(64a 내지 64b)가 분할되는 것과 뱅크 구역(bank segments)(64a' 내지 64b')이 처음 자리(뱅크(banks)(64a 내지 64b)에서 점선으로 표시됨)에서 밀봉될 상기 VIG 조립체(1')에 근접한 위치(실선으로 표시됨)로 이동되는 것으로 도시된다. 도 6의 실시예에서, 뱅크(banks)(64a' 내지 64b') 및 일부 뱅크(banks)(62a 내지 62b)에 대응하는 IR 원만이 켜질 것이고; 뱅크(banks)(64a 내지 64b)에서의 나머지 IR 원들 및 뱅크(banks)(62a 내지 62b)에서의 비근접 IR 원들은 켜질 필요가 없다 (예를 들어, 오프(off)로 남아있을 수 있다).
따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 국부적 열원은 적외선 열원 요소의 제 1, 제 2, 제 3, 및 제 4의 뱅크(banks)를 포함하고, 상기 뱅크(banks)는 상기 적외선 열원이 엣지 멜팅 영역(edge melting zone) 내에 대체로 장방형으로 형성되도록 배치된다. 상기 제 1 및 제 2 뱅크(banks)는 제자리에 고정되고 대체로 장방형으로 형성된 적외선 열원의 대체로 수직을 이루는 두 개의 다리를 구성하고, 상기 제 3 및 제 4 뱅크(banks)는 대체로 장방형으로 형성된 적외선 열원의 대체로 수직을 이루는 다른 두 개의 다리를 구성한다. 상기 제 2 및 제 3 뱅크(banks)의 적외선 열원 요소는 밀봉될 엣지(edge) 부분에 더 가까이 이동시키기 위해 유닛의 크기에 따라 이동 가능하다.
뿐만 아니라, 한 실시예에서, 집속시키는 거울의 각도는 열이 상기 VIG 조립체 주변부 상에(도 7과 관련하여 하기 더 상세하게 기술된 바와 같이) 보다 정확하게 집속되도록 하기 위해 조절가능할 수 있다. 한 실시예에서, 상기 IR 분할된 원 이동(IR segmented source movement) 및/또는 집속시키는 것은 각각의 유닛의 결과를 조절하기 위해 컴퓨터 조절될 수 있다. 더 나아가, 밀봉될 상기 VIG 조립체(1')는 상기 IR원에 더 근접하도록 상승될 수 있다. 이것은 IR 뱅크(banks)(62a 내지 62b)에 대해 적절한 X-Y 위치로 이동시키고, 이동가능한 IR 뱅크(banks)(64a 내지 64b)의 부분을 이동시키고, 상기 VIG 조립체(1')를 위치로 들어올림으로써 이루어질 수 있다.
무제한 예로서, 뱅크(banks) 내에 상기 IR 원은 IR 튜브일 수 있다. 상기 IR 튜브는 상기 VIG 조립체의 엣지(edge) 부분을 가로질러 각각에 열을 가할 정도로 가까울 수 있고(예를 들어, "차이"를 남기지 않거나, 가열하지 않거나, 대체로 엣지(edge) 주위 영역을 다르게 가열하면서), 그러한 튜브의 이동을 위해 서로 충분히 멀 수도 있다. 따라서, 무제한 예로서, 상기 IR 튜브는 한 실시예에서 약 5 mm 떨어진 곳에 위치할 수 있다. 뱅크(banks)의 크기는 상기 VIG 유닛 제조 과정의 필요에 따라 변화한다. 또한 무제한 예로서, 약 2 내지 3 미터의 뱅크(banks)는 대부분 표준 VIG 유닛 제조 요건을 수용해야 한다.
도 5를 다시 참조하면, 상기 VIG 조립체는 하나 이상의 챔버(chambers)를 포함하는 출구 영역에서, 예를 들어, 도 5의 챔버(chambers)(4 및 5)를 통해 순차적 방법으로, 냉각될 수 있다. 순차적 출구 영역 배치가 시행될 때, 각 연속적인 출구 영역 챔버(exit zone chamber)는 이전의 출구 영역 챔버(exit zone chamber)보다 더 낮은 온도로 유지될 수 있다. 이 배치는 강제 대류 공기 냉각(forced convective air cooling), 냉각수 파이핑(cooling water piping), 및/또는 특정 출구 영역 챔버(exit zone chamber)로부터 열을 이동시키기에 알맞은 다른 냉각 수단을 이용함으로써 가능하게 할 수 있다. 궁극적으로, 상기 VIG 조립체는 롤러(roller)(52b)를 통한 출구 도어(58)를 통해 오븐(50)에서 흘러 내릴 수 있다.
도 7은 실시예에 따라 IR 열원(74)에 근접하게 위치한 거울(72)을 집중 및/또는 집속시키는 측면도이다. 집중 및/또는 집속시키는 기계장치의 어떤 형태든 다른 실시예와 관련하여 사용될 수 있다는 것을 인식하게 될 것이다. IR 열 요소(74)로부터의 IR 적외선은 땜납 프릿(solder frit)(4) 상에 또는 이에 근접한 포물선 거울(72)에 의해 집속 및/또는 집중된다. 상기 VIG 조립체(1')의 더 많거나 혹은 더 적은 주변 엣지(edge) 부분이 가열되는 것을 야기시키고, 상기 기판들(2 및 3) 등에 또는 이에 멀리 떨어진 곳에 IR 적외선을 집속시키기 위해, 상기 거울(72)은 이동 및/또는 위치가 바뀔 수 있다.
이제 상기 VIG 조립체 엣지 실링(edge sealing) 과정에 관한 더 상세한 설명이 제공될 것이다. 사전 공급된 그리고 연소된 주변 프릿 잉크(perimeter frit ink)를 포함할 수도 있는 선 조립된 VIG 조립체는 오븐에 삽입된다. 상기 입구 영역에서, 상기 VIG 조립체는 약 200 내지 300 oC 사이의 미리 정해진 온도로 가열된다. 이것은 전체 VIG 조립체가 하나 이상의 중간 온도로 예열될 수 있도록, 하나 이상의 입구 챔버(entrance chambers)에서 단계적 열을 사용하여 이루어질 수 있다. 일반적으로, 상기 VIG 조립체는 실온으로 (예를 들어, 보통은 약 23 oC인, 다른 처리 환경 및/또는 조건에서는 상이한 "실온"을 이용할 수 있다고 인식되더라도) 오븐에 삽입된다. 상기 전체 VIG 조립체는 제 1 입구 영역 챔버(a first entrance zone chamber)에서 약 75oC로 그 후에는 제 2 입구 영역 챔버(a second entrance zone chamber)에서 약 150oC로 가열될 수 있다. 상기 예열 온도는 약 ±50oC로 변화할 수 있다고 인식될 수 있다.
상기 엣지 실링 영역에서, 상기 전체 VIG 조립체는 약 200oC로 가열되고, IR 열원 (예를 들어, 컴퓨터 조절되는 대체로 선형인 IR 열원)은 위치가 이동되고 상기 VIG 조립체 주변 주위에 집속된다. 상기 IR 열원은 VIG 조립체의 엣지(edge) 부분에서부터 미리 정해진 거리 (예를 들어, 약 0.5부터 10cm까지)에서 활성화되고, 상기 IR 적외선이 맨 위 및/또는 맨 아래 기판과 "접촉"한 것을 의미하는지, 프릿 등에 근접한 측면들과의 접촉을 의미하는지 등 집속/집중시키는 거울 부분에 따라 활성화된다. 상기 주지된 바와 같이, 상기 IR 열원은, 예를 들어, VIG 조립체 맞은편에 있는 IR 열원의 측면 상에 제공되는 포물선 거울로써, 집속된다. VIG 조립체의 주변부 상의 프릿(frit)의 온도는 약 350 내지 500oC로 조절되고, 이 온도는 프릿(frit)을 녹이기에는 적합하지만 유리 기판의 녹는점보다 낮고, 유리의 구성 물질에 따라 약 600 내지 800oC에서 변화한다. 엣지 실링 영역에서의 국부적 가열 과정 동안, 상기 유리 온도는 배경 온도(background temperature)로 남아 있는다. 따라서, 열 강화된 또는 템퍼링된(tempered) 유리가, 일체화 된다면, 프릿(frit) 가열 및/또는 용해 과정 동안 디템퍼링(tempered) 되거나 디템퍼링(de-tempering)의 양이 줄어들지 않는다.
엣지 실링 영역에서 프릿(frit) 용해 후에, 상기 VIG 조립체는 출구 영역으로 운송된다. 상기 출구 영역은 하나 이상의 온도 강하 영역(ramp-down areas) (또는 챔버(chambers))를 포함할 수 있다. 상기 온도는 상기 VIG 조립체가 오븐 밖으로 나올 때 약 100oC 미만인 온도일 수 있도록 줄어든다. 한 실시예에서, 제 1 출구 챔버(a first exit chamber)에서, 전체 VIG 조립체의 온도는 약 150oC로 감소하고 그 후 제 2 출구 챔버(a second exit chamber)에서 약 75oC로 감소될 것이다. 상기와 같이, 강하 온도(ramp-down temperature)는 이런 특징으로부터 약 ±50oC까지 변화할 수 있다
도 8은 실시예에 따라, 일체화된 오븐을 통해 VIG 조립체의 프릿 엣지 시일(frit edge seal)에 국부적 가열을 가하기 위한 과정을 보여주는 예시적인 흐름도이다. S82 단계에서, 밀봉될 복수의 엣지(edges) 부분을 포함하는 VIG 조립체는 일체화된 오븐 안으로 삽입된다. 롤러 컨베이어(roller conveyer)는 상기 VIG 조립체를 오븐 안으로, 예를 들어, 도어를 통해, 운반할 수 있다. S84 단계에서, 상기 VIG 조립체는 일체화된 오븐의 입구 영역에서 하나 이상의 중간 온도로 예열된다. 상기 중간 온도(들)는 밀봉될 엣지(edge) 부분을 따라 유리 및 프릿(frit)의 녹는점보다 낮다.
S86 단계에서의 일체화된 오븐의 엣지 실링 영역에서 국부적 가열은 밀봉될 상기 VIG 조립체의 엣지(edges) 부분에 (예를 들어, 하나 이상의 대체로 선형인 IR 열원을 사용하고, 근 적외선 파장(예를 들어, 약 0.7 내지 5.0㎛의 파장으로)을, 더 바람직하게는, 약 1.1 내지 1.4 ㎛의 파장을 구비하는 IR 적외선을 발생시킴으로써) 제공된다. 상기 국부적 열은 중간 온도(들)보다 높은 온도이고, 엣지(edges) 부분 주위의 프릿(frit)을 녹이기에 충분하다. 상기 온도는 프릿(frit) 물질의 구성 물질에 따라 선택될 수 있다. 밀봉될 주변 엣지(edges) 부분에 근접한 영역에서 떨어져 있는 상기 VIG 조립체는, 중간 온도에 가까운 온도로 (예를 들어, 유리의 용해를 피하기 위해 충분히 낮은 온도로, 중간 온도에서 약 ±50oC까지 변화하지 않는) 유지된다.
도시되지 않은 단계에서, 국부적 가열을 제공하기 위해, 복수의 열원 (예를 들어, 대체로 선형인 IR 열원)이, 예를 들어, 뱅크(bank) 내에, 제공된다. 적어도 일부 뱅크(banks)는 제자리에 고정될 수 있다. 적어도 일부 밀봉될 엣지(edges) 부분이 고정된 뱅크(banks)에 근접할 수 있도록, 상기 VIG 조립체는 고정된 뱅크(banks)에 근접한 곳에 위치시킬 수 있다. 이동 가능한 열원을 포함하는 추가적인 뱅크(banks)는 상기 고정된 뱅크(banks)에 근접하지 않은 VIG 조립체의 엣지(edges) 부분에 근접한 곳에 열을 제공하기 위해 위치시킬 수 있다. 상기 가열될 영역은 집중 및/또는 집속시키는 거울을 제공함으로써 더 정교하게 조절될 수 있다.
도 8을 다시 참조하면, S88 단계에서, 상기 VIG 조립체는 오븐의 출구 영역에서 냉각된다. 상기 VIG 조립체의 예열 및/또는 냉각은 상기 VIG 조립체의 파손 기회 및/또는 상기 VIG 조립체를 포함하는 기판의 디템퍼링(de-tempering)의 기회를 줄이기 위해 단계적일 수 있다. 한 실시예에서, 다수의 챔버(chambers)는 하나 이상의 영역을 위해 제공될 수 있다. 그러한 실시예와 관련하여, 다수의 챔버(chambers)는 온도의 상승 및/또는 냉각 과정을 위해, 예를 들어, 가열 및/또는 냉각 과정이 단계적일 때, 제공될 수 있다. 다른 실시예에서, 단일 챔버(single chamber)는 다수의 영역의 기능(예를 들어, 단일 챔버(single chamber)는 기판을 예열 및/또는 냉각시킬 수 있고, 단일 챔버(single chamber)는 기판을 예열 및/또는 엣지(edges) 부분에 국부적 가열을 제공할 수 있고, 단일 챔버(single chamber)는 엣지(edges) 부분에 국부적 가열을 제공 및/또는 기판을 냉각시킬 수 있는 등)을 수행하기 위해 구성될 수 있다.
따라서, 한 실시예가 프릿(frit)을 유리하게 신속하게 가열, 용해 및 냉각시킨다. 이것은 상기 VIG 조립체의 엣지(edges) 부분에 근접한 곳에 온도 기울기(temperature gradient)를 생성시키는 것에 도움을 준다. 상기 온도 기울기(temperature gradient)는, 차례 차례, 디템퍼링(de-tempering) 및/또는 유리의 파손 기회를 줄이는 데 도움을 준다. 한 실시예에서, 상기 VIG 유닛의 열 템퍼링된(tempered) 유리 시트(들)/기판(들)의 적어도 특정 부분이 기존 템퍼 강도(temper strength)의 약 50% 이하를 손실한다.
본 명세서에 기재된 실시예들이 다양한 상이한 VIG 조립체 및/또는 다른 유닛들 또는 구성 물질들과 연관되어 사용될 수 있다고 인식될 수 있다. 예를 들어, 상기 기판들은 유리 기판들, 열 강화된 기판들, 템퍼링된(tempered) 기판 등이 될 수 있다.
본 발명이 가장 유용하고 선호되는 실시예가 되기 위해 현재 고려되고 있는 것이 무엇인지에 관련하여 기재하고 있는 동안, 본 발명이 개시된 실시예에 제한을 두지 않는 다는 것이 이해될 것이고, 한편으로 본 발명은, 다양한 보정과 첨부된 청구항의 범위와 목적 내에 포함되는 상응한 배열을 다루려는 경향이 있다.
50 : 오븐
52 : 롤러 컨베이어
54 : 첫번째 도어
56 : IR 열원
58 : 출구 도어
62, 64 : IR 열원
72 : 거울
74 : IR 열 요소

Claims (11)

  1. 진공 단열 유리 창문 유닛을 가열시키기 위한 오븐에 있어서,
    상기 진공 단열 유리 창문 유닛은,
    평행하게 이격된 제 1 및 제 2 유리 기판들과, 프릿(frit)을 포함하는 엣지 시일에 의하여 상기 제 1 및 제 2 유리 기판들 사이가 적어도 부분적으로 밀봉되는 상기 제 1 및 제 2 유리 기판들의 하나 이상의 엣지(edge) 부분들과, 대기압보다 낮은 압력에 있는 상기 제 1 및 제 2 유리 기판들 사이의 차이(gap)와, 상기 제 1 및 제 2 유리 기판들을 서로 이격시키기 위하여 상기 제 1 및 제 2 유리 기판들 사이의 차이에 제공되는 스페이서들의 배열을 포함하고,
    상기 오븐은,
    진공 단열 유리 창문 유닛이 삽입되는 입구 영역;
    상기 진공 단열 유리 창문 유닛이 배출되는 출구 영역;
    상기 입구 영역 및 출구 영역 사이에 배치되고, 상기 프릿을 녹임으로써 상기 진공 단열 유리 창문 유닛의 엣지를 실링하는 엣지 실링 영역; 및
    상기 엣지 실링 영역에 배치되고, 상기 진공 단열 유리 창문 유닛에 대하여 상대적으로 이동 가능한 적어도 하나 이상의 열원 뱅크를 포함하고,
    상기 오븐은 다양한 크기의 진공 단열 유리 창문 유닛을 밀봉시킬 수 있고,
    상기 적어도 하나 이상의 열원 뱅크는,
    상기 엣지 실링 영역의 특정한 위치에 고정되는 고정 열원 뱅크; 및
    상기 고정 열원 뱅크에 대하여 상대적으로 이동하는 이동 열원 뱅크를 포함하고,
    상기 고정 열원 뱅크 및 상기 이동 열원 뱅크는, 상기 고정 열원 뱅크 및 상기 이동 열원 뱅크가 상기 엣지 실링 영역 내에서 장방형을 형성하도록 배열되는 오븐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 엣지 실링 영역은, 상기 입구 영역보다 높은 배경 온도를 갖는 오븐.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 하나 이상의 열원 뱅크는 상기 진공 단열 유리 창문 유닛의 엣지 시일에 국부적인 가열을 공급하는 오븐.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 적어도 하나 이상의 열원 뱅크 중 적어도 일부는, 선택적으로 온 또는 오프 가능한 오븐.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동 열원 뱅크는, 분할 가능한 복수 개의 뱅크들을 포함하고,
    상기 진공 단열 유리 창문 유닛의 크기에 맞추어 상기 분할 가능한 복수 개의 뱅크들 중 일부가 상기 진공 단열 유리 창문 유닛의 엣지 시일에 근접하도록 이동 가능한 오븐.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 분할 가능한 복수 개의 뱅크들 중 상기 진공 단열 유리 창문 유닛에 근접한 일부의 뱅크들은 온되고, 나머지 뱅크들은 오프되는 것을 특징으로 하는 오븐.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 고정 열원 뱅크 및 이동 열원 뱅크는 각각 선형으로 이루어진 오븐.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 고정 열원 뱅크는, 수직을 이루는 2개의 다리를 구성하는 제 1 뱅크 및 제 2 뱅크를 포함하고,
    상기 이동 열원 뱅크는, 수직을 이루는 2개의 다리를 구성하는 제 3 뱅크 및 제 4 뱅크를 포함하는 오븐.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 출구 영역의 온도는 상기 입구 영역의 온도보다 낮은 오븐.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 엣지 실링 영역에 배치되고, 상기 열원 뱅크로부터 발산되는 열을 상기 프릿으로 집속시키기 위한 포물면 거울을 더 포함하는 오븐.
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