KR101728316B1 - 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지 - Google Patents

Abstract

핸들 수동 회전에 의해 슬라이딩 부품을 이동시키는 종래의 스테이지에 대해 간단한 기구를 탈착시키는 것으로 자동 및 수동이 선택 자유롭게 되고, 또한, 수동으로 미세 조정이 가능한 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지를 제공한다.
수동 스테이지용 전동화 유닛(1)은 수동 스테이지(10)의 슬라이딩 부품(12) 또는 고정 부품(11)을 끼워 동시 회전을 방지하는 클램프(3)와 핸들축(18)이 대략 동축을 유지하면서 핸들(13)과 결합하는 커플링(9)과, 손잡이부(19)를 파지하는 커플링용 손톱부(7)와, 커플링(9)을 회전시키는 모터를 구비하고, 수동 스테이지(10)에 탈착하여 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되어 수동 스테이지(10)에 장착됨으로써, 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)를 구성한다.

Description

수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지{MOTORIZATION UNIT FOR MANUAL STAGE, AND MANUAL STAGE HAVING MOTORIZATION UNIT}

본 발명은 수동 스테이지용 전동화 장치 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지에 관한 것으로, 특히, 슬라이딩(sliding) 부품 또는 고정 부품을 수동으로 이동시키는 수동 스테이지에 설치되어, 자동으로 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 이동 시키는 전동화 유닛 및 상기 전동화 유닛이 장착된 수동 스테이지에 관한 것이다.

예를 들면, CCD 카메라 및 센서 등의 전기, 전자 기기, 예를 들면 렌즈와 현미경 등의 광학 기기, 예를 들면 LED 등의 조명 기기 등은 설치 시에, 위치 결정 및 초점 맞춤을 위해 위치 조정을 해야 하는 경우가 있다. 또한, 그것들의 설치 후에, 더욱 상기 위치를 조정해야 하는 경우가 있다. 상술한 전기, 전자 기기, 광학 기기, 조명 기기 등은 일반적으로 "스테이지"라는 기계 요소에 상에 설치되고, 위치 조정과 미세 조정이 이루어진다. 또한, 본 명세서에서는 위치와 초점을 위한 위치 조정과 미세 조정을 필요로 하는 기기를 "정밀 기기"라고 총칭한다.

이러한 스테이지 중, 이용자가 핸들 조작에 의해 정밀 기기를 이동시키는 것을 “수동 스테이지” 라고 하고, 슬라이딩 부품, 고정 부품 및 핸들로 구성된다. 이 수동 스테이지는 슬라이딩 부품과 고정 부품이 슬라이딩 기구를 통해 연결되고, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 설치된 손잡이를 축 방향으로 회전 조작하고, 고정 부품에 슬라이딩 부품을 이동시켜 정밀 기기의 위치 조정을 하는 장비이다. 이 수동 스테이지에는 상기 슬라이딩기구에 의해, 예를 들면, 도브테일홈식 스테이지 이송 나사 식 스테이지 리니어 볼식 스테이지 크로스 롤러 식 스테이지, 신속한 볼식 스테이지, 열장 이음 슬라이드 레일 식 스테이지 등이 포함된다. 또한 각각의 스테이지에는 사용 목적에 따라 다양한 형태가 있으며 예를 들면, 열장 이음 홈식 스테이지의 경우에는 한 방향으로 슬라이딩하는 X 축 열장 이음 홈식 스테이지, 대략 직교하는 2 방향으로 슬라이딩 운동하는 XY 축 열장 이음 홈식 스테이지, 상하 방향으로 슬라이딩하는 Z 축 열장 이음 홈 스테이지 등이있다.

도 6 ~ 도 16에서, 상술한 다양한 형태의 실시예를 도면에 나타낸다. 도6은 X 축 스테이지의 실시예이다. 도 7은 X 축 스테이지 (핸들 연장형)의 실시예이다. 도 8은 XY 축 스테이지의 실시 예이다. 도9는 Z 축 스테이지의 실시 예이다. 도 10은 X 축 스테이지의 실시 예이다. 도 11은 Z 축 스테이지의 실시예이다. 도 12은 X 축 스테이지의 실시 예이다. 도 13은 X 축 스테이지 (도브테일 홈 이송 나사형)의 실시 예이다. 도 14은 X 축 스테이지 (도브테일 홈 슬림 이송 나사형)의 실시 예이다. 도 15은 X 축 스테이지 (도브테일 홈 슬림 이송 나사형)의 실시예이다. 그리고 도 16는 X 축 스테이지의 실시예이다.

수동 스테이지는 구동기구에 의해 슬라이딩 부품을 고정 부품에 대해 이동시켜 정밀 기기의 위치 조정한다. 예를 들어, 상기 구동기구는 주로 도브테일 홈식 스테이지에 사용되는 랙앤 피니언, 주로 이송 나사식 스테이지에 이용되는 수나사 봉과 암나사 통 등이 있다. 또한, 구동 메커니즘으로 수동으로 대신 자동 또는 전동으로 조작하는 자동 스테이지 또는 전동 스테이지가 있다.

정밀 기기는 체결구에 의해 스테이지 내부 슬라이딩 부품의 상측에 설치된 정밀 기기 설치 구멍에 설치된다. 또한, 스테이지의 고정 부품은 체결구를 기초 고정 구멍에 나사 체결함으로써, 토대로 고정된다. 이 수동 스테이지는 슬라이딩 부품에 설치된 슬라이딩 고정 나사를 조여 고정 부품 상의 임의의 위치에서 고정되어, 슬라이딩 고정 나사를 느슨하게 하여 고정 부품 상을 이동하는 것이 가능하게 된다.

특허 문헌 1의 도 2를 참조하여 랙 앤 피니언식 수동 스테이지의 구동기구를 설명한다. 랙 앤 피니언에 의한 구동기구는 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 고정된 랙(특허 문헌 1 도 2 부호 13)과, 핸들 및 회전축이 공통으로 연결되어 고정 부품 또는 슬라이딩 부품에 의해 지지된 피니언 기어(같은 부호 14)가 걸어 맞추고, 핸들(같은 부호 9)를 회전하면 피니언 기어가 연동하여 회전 랙 위를 이동하고 슬라이딩 부품이 고정 부품에 슬라이딩하는 구동기구이다. 즉, 핸들을 회전 구동하여 랙 및 피니언 기어가 작동하는 구동기구이다. 상기 랙 앤 피니언 식에 의한 수동 스테이지는 후술하는 도브테일 홈식 스테이지는 슬라이딩기구와 결합되고, 핸들 1 회전에 의해 약 18mm 이동하고 빠르게 큰 움직임이 필요한 경우에 적합한 구동기구이다.

특허 문헌 1의 도 22를 참조하여 이송 나사식 수동 스테이지의 구동기구를 설명한다. 수송 나사 식에 의한 구동기구는 정밀 기기가 설치되는 슬라이딩 부품의 뒷면에 연결되는 암나사 통 (특허 문헌 1의 도22 부호 306)과 바탕에 연결되는 고정 부품에 고정된 블록을 관통하는 수나사 봉 (같은 부호 307)가 교전하고 핸들 (같은 부호 309)의 조작에 의해 수나사 봉을 회전시켜 고정 부품에 슬라이딩 부품을 이동시키는 구동기구이다. 즉, 핸들을 회전 구동함으로써 수나사 봉 및 암나사 통이 작동하는 구동기구이다. 상기 이송 스크류에 의한 수동 스테이지는 후술하는 열장이름 홈 식 스테이지는 슬라이딩기구와 결합되고 핸들 1 회전에 의해 기종에 따라 약 0.5mm 약 1.0mm 약 2.0mm 약 약 4.2mm, 약 5.0mm 약 10.0mm 등의 피치로 이동하고, 견디는 하중성이 요구되는 미세한 조정이 필요한 경우에 적합한 구동기구이다.

특허 문헌 1의 도 1을 참조하여 도브테일 홈에 의한 슬라이딩기구를 설명한다. 랙 앤 피니언식 수동 스테이지 및 수송 나사식 수동 스테이지는 고정 부품에 슬라이딩 부품을 매끄럽게 슬라이딩시키는 슬라이딩기구로 도브테일 홈 식 수동 스테이지를 사용하는 것이 일반적이다. 열장 이음 홈식 수동 스테이지는 사다리꼴에 패인 도브테일 홈(특허 문헌 1 도 1 부호 3)을 갖는 고정 부품과 사다리꼴에 돌출된 도브테일(같은 부호 2)을 갖는 슬라이딩 부품이 맞물려 슬라이딩 부품이 고정 부품에 매끄럽게 슬라이딩하는 수동 스테이지이다.

상기 열장 이음 홈 스테이지는 수동 스테이지용이며 스테이지와 모터 등의 회전 구동기구와 일체화된 자동 스테이지(또는 전동 스테이지)는 아직 개발되어 있지 않다. 한편, 도브테일 홈 스테이지와는 다양한 다른 슬라이딩기구를 갖춘 선형(linear) 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지 등에서는 내부에 모터, 제어 장치 등이 내장된 자동 스테이지가 이미 개발되어있다. 또한, 상기 자동 스테이지(또는 전동 스테이지)는 상기 기구에 의해 자동 조작(또는 전동 조작)만 가능하며, 수동으로 조작할 수 없다.

또한, 특허 문헌 2의 도 11에는 전동기에 의해 핸들의 회전 제어를 수행하는 시스템이 개시되어있다. 여기에서는 제 1 블록에 제 1 와셔를 통해 클램프 부재(도 11의 부호 409)가 연결되고, 클램프 부재에 제 2 와셔를 통해 회전 조작부(도 11의 부호 406)가 연결된다. 또한, 회전 조작부는 커플러(도 11의 부호 31)에 의해 전동기(도 11의 부호 32) 및 제어 장치(도 11의 부호 33)가 연결된다. 즉, 전동기가 커플러를 통해 회전 조작부의 단부에 연결되고, 전동기의 회전 조작에 의해 수나사 봉을 회전시켜 고정 부품에 슬라이딩 부품을 이동시킨다.

또한, 특허 문헌 3에는 수동 스테이지 본체에 부착되는 부품을 쓰기 편리하게 요구되는 기능, 및 사용되는 용도에 맞게 선택할 수 있는 강력한 수동 스테이지 유닛 및 수동 스테이지 구성 시스템이 개시되어 있다. 그리고, 도 6에 나타낸 "수동 스테이지 본체 (도 6의 부호 2)"에서 도 9에 나타낸 바와 같이 "핸들 부품 (군) (도 9의 부호 5a ~ 5e)"가 선택되어 설치되는 것이 공개되어 있다. 이 중 도 9e는 핸들 연결 수단에 연결하는 핸들 부품을 더욱 감싸는 커플러에 의해 전동기 및 제어 장치에 연결하고 전동기에 의해 핸들의 회전 제어를 위한 전동 핸들 부품 (도 9의 부호 5e)를 나타낸다. 이러한 핸들 부품은 모두 수동 스테이지 본체의 손잡이 연결 수단의 단부 나사부에 걸어 맞추도록 구성되어, 전동 핸들 부품을 선택하여 수동 스테이지를 전동 스테이지로 확장 할 수 있다.

특허문헌1: 특허 제4606504호 공보 특허문헌2: 특허 제4890652호 공보 특허문헌3: 특허 제4574716호 공보

상술한 스테이지와 모터 등의 회전 구동 기구와 일체화된 자동 스테이지, 또는 전동 스테이지는 스테이지에 모터 등의 자동화 장치가 내장되어 있기 때문에, 슬라이딩 부품의 이동은 자동 조작으로 제한된다. 따라서, 수동 스테이지에 익숙한 사용자에게는 사용성이 떨어지는 경우가 있다. 예를 들어, 위치 조정을 할 때 미묘한 이동이 필요한 경우이다. 이 경우에는 수동에 의해 조정하는 쪽이 바람직하고, 자동 조작은 수동에 의해 미묘한 핸들 조작을 대체하는 것이 어렵다. 또한, 수동에 의한 미묘한 조정을 자동화(또는 전동화)에 의해 실현하려고하면 더 비싼 제어 장치와 제어 소프트웨어가 필요하게 되는 문제가 있다. 또한, 스테이지의 이용자는 통합된 자동 스테이지를 기존의 수동 스테이지에 설치되지 않기 때문에, 새로운 자동 스테이지를 구입해야 한다는 문제가있다.

또한, 특허 문헌 2에 나타낸 전동기에 의해 핸들의 회전 제어를 수행하는 시스템 및 특허 문헌 3에 나타낸 전동 스테이지 대해, 이를 실용화하고 탈착이 자유로운 유닛으로 하려면, 하기의 세 가지 기술적인 과제를 해결해야 한다.

첫째, 모터의 회전에 의해 전동화 유닛 자체가 동시 회전하는 것을 방지하는 기구가 필요하다는 점이다. 즉, 전동화 유닛을 모터 회전의 영향을 받지 않는 고정된 물체에 설치한다. 그리고, 상기 동시 회전을 방지하는 기구는 수동 스테이지에 쉽게 탈착할 수 있는 기구이어야 한다는 문제가 있다.

둘째, 기존의 수동 스테이지의 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 장착 가능하기 위해서는 다양한 크기의 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 범용적으로 설치되는 기구가 필요하다. 또한, 수동 스테이지의 핸들을 회전시키기 위해서는 다양한 크기의 핸들을 범용적으로 잡을 수 있는 기구가 필요하다. 또한, 슬라이딩 부품, 고정 부품 핸들 등에는 제작 오차가 있기 때문에 제작 오차에 대응해 확실하게 거치되는 기구나 확실하게 잡는기구가 요구된다는 문제가있다.

셋째, 무대를 자동화 또는 전동화한 경우에도 스테이지의 위치 조정을 용이하게 수행할 수 있는 기구가 필요하다. 즉, 수동 스테이지의 장점인 미세 조정이 가능한 점은 자동 스테이지(또는 전동식 스테이지)에서도 요구된다. 이와 관련하여, 자동 스테이지(또는 전동식 스테이지)에서 상기 미세 조정을 하기 위해서는 복잡한 제어기구와 그것을 작동시키는 제어 소프트웨어가 필요하며 경제적이지 않다는 문제가있다.

본 발명의 목적은 이러한 과제를 해결하고, 핸들의 수동 회전에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 이동시키는 종래의 수동 스테이지에 대하여, 간단한 기구를 탈착시키는 것으로 자동 및 수동의 선택이 자유롭고, 또한, 수동으로 미세 조정이 가능한 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전 동화 유닛 장착 수동 스테이지를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛은 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결되어, 핸들축 방향으로 회전 작동에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기계의 위치 조정 수동 스테이지에 장착되어 수동 스테이지의 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼워 동시 회전을 방지하는 회전 방지 지그와, 핸들 축과 대략 동축을 유지 하면서 핸들과 결합하는 핸들 구동용 연결부와, 핸들의 손잡이 부를 파지하는 핸들 파지부와, 핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터를 구비하고, 탈착함으로써 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 수동 스테이지에 전동화 유닛이 탈착이 자유롭게 장착된다. 그리고, 전동화 유닛의 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 이를 통해, 사용자는 이미 구입한 수동 스테이지 대해 새로 구입한 전동화 유닛을 설치하여 자동 조작 모드(또는 전동 작동 모드)로 할 수있다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제거함으로써 수동 조작 모드로 전환 할 수 있으며, 스테이지의 사용성이 좋아진다. 따라서, 사용자는 수동 조작의 이점 및 자동 조작 또는 전동 조작의 각각의 장점을 살려 구분하여 사용할 수 있다.

상기 전동화 유닛은 회전 방지용 지그, 핸들 구동용 연결부, 핸들 파지부 및 모터로 구성된다. 그리고, 수동 스테이지의 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼우는 회전 방지용 지그에 의해 동시 회전을 방지 할 수 있다. 또한, 회전 방지용 지그 따라 크기가 다른 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 대해서 끼우는 것이 가능해진다. 또한, 회전 방지용 지그에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 치수 정밀도의 차이에 대해서도 확실하게 끼워 넣을 수 있다. 또한, 핸들 구동용 연결부에 의해 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 핸들과 결합시킬 수있다. 또한, 핸들 파지부에 의해 치수 정밀도에 차이가 있는 핸들의 손잡이 부분을 확실하게 파지할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 핸들 구동용 연결부가 수동으로 회전 조작 됨으로써, 핸들 파지부에 의해 파지된 핸들의 손잡이 부를 회전시켜 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 것은 바람직하다. 따라서, 상술한 수동 조작 및 자동 조작 이외에, 자동 조작을 중지함으로써, 핸들 구동용 연결부에 의해 수동으로 핸들 미세 조정을 할 수있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 회전 방지용 지그가 한 쌍의 클램프이며 클램프의 선단부를 서로 열거나 닫고 자유롭게 탈착하여 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼우는 개폐기구를 갖추는 것이 바람직하다. 그러면, 간단한 기구에 의해 확실하게 동시 회전을 방지할 수있다. 또한, 회전 방지용 지그 따라 크기가 다른 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 대해서도 끼우는 것이 가능해진다. 또한, 회전 방지용 지그에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 치수 정밀도의 차이에 대해서도 확실하게 끼워넣을 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 개폐기구가 기어를 축방향으로 회전시킴으로써 연결하는 휠을 회전시켜 하나의 클램프의 선단부의 개폐를 수행하고, 휠에 맞물리는 스퍼 기어를 휠의 회전에 연동 하고 회전시켜 다른 클램프의 선단부의 개폐를 수행하고, 한 쌍의 클램프의 선단부를 서로 열거나 닫기 것이 바람직하다. 상기 개폐기구에 의해, 간단한 기구로 확실하게 동시 회전을 방지 할 수 있다. 또한, 회전 방지용 지그 따라 크기가 다른 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 대해서도 끼우는 것이 가능해진다. 또한, 회전 방지용 지그에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 치수 정밀도의 차이에 대해서도 확실하게 끼워 넣을 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 핸들 파지부가 손톱 모양의 척 장치에 의해 핸들의 손잡이 부를 자유롭게 탈착하여 파지하는 것이 바람직하다. 그러면, 간단한 기구로 핸들 손잡이부를 확실하게 파지할 수 있다. 또한, 상기 척기구를 서로 다른 크기의 다른 척기구로 교환하기 위한 다양한 크기의 손잡이부에 대응 가능하다. 또한, 치수 정밀도에 차이가 있는 핸들의 손잡이부를 확실하게 파지할 수있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수동 스테이지는 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결된 핸들 축방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기계의 위치 조정을 수동 스테이지에서 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼워 동시 회전을 방지하는 회전 방지 지그와, 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서 핸들과 결합하는 핸들 구동용 연결부와, 핸들의 손잡이 부분을 파지하는 핸들 파지부와, 핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터를 구비한 전동화 유닛을 설치함으로써, 자동 조작이 선택 가능 해지는 것을 특징으로한다.

상기 구성에 의해, 전동화 유닛이 탈착이 자유롭게 장착된 수동 스테이지는 전동화 유닛의 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 자유 자재로 선택된다. 이를 통해 사용자는 이미 구입한 수동 스테이지 대해 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)할 수있다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제외하면 수동 조작 모드로 전환할 수 있으며, 스테이지의 사용성이 좋아진다. 따라서, 사용자는 수동 조작의 이점 및 자동 조작 또는 전동 조작의 각각의 장점을 살려 구분하여 사용할 수 있다.

상기 전동화 유닛은 회전 방지용 지그, 핸들 구동용 연결부 핸들 파지부 및 모터로 구성된다. 그리고, 수동 스테이지의 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼우는 회전 방지용 지그에 의해 공중 회전을 방지할 수 있다. 또한, 회전 방지용 지그 따라 크기가 다른 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 대해서도 끼우는 것이 가능해진다. 또한, 핸들 구동용 연결부에 의해 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 핸들과 결합시킬 수 있다. 또한, 핸들 파지부에 의해 치수 정밀도에 차이가 있는 핸들의 손잡이 부를 확실하게 파지할 수 있다.

또한, 수동 스테이지는 설치된 전동화 유닛의 핸들 구동용 연결부를 수동으로 회전 조작하여 핸들 파지부에 의해 파지된 핸들의 손잡이 부를 회전시켜 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 것이 바람직하다. 따라서, 상술한 수동 조작 및 자동 조작 이외에, 자동 조작을 중지하여 핸들 구동 용 연결부에 의해 수동으로 핸들의 미세 조정을 할 수 있다.

상기 목적을 달성하기위한 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛은 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결된 핸들 축 방향으로 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수동 스테이지에 장착되어 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼워 고정시키는 끼움 고정부와, 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서 슬라이딩 부품 또는 고정 부품 핸들과 연결하는 전동화 유닛 본체와, 손잡이를 회전시키는 모터를 구비하고, 탈착함으로써 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되는 것을 특징으로한다.

상기 구성에 의해, 수동 스테이지에 전동화 유닛이 자유롭게 탈착하게 장착된다. 그리고, 전동화 유닛의 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 이를 통해 사용자는 이미 구입한 수동 스테이지 대해 새로 구입한 전동화 유닛을 설치하여 자동 조작 모드(또는 전동 작동 모드)로 할 수있다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제외하면 수동 조작 모드로 전환할 수 있으며, 스테이지의 사용성이 좋아진다. 따라서, 사용자는 수동 조작의 이점 및 자동 조작 또는 전동 조작의 각각의 장점을 살려 구분하여 사용할 수 있다.

상기 전동화 유닛은 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼워 고정시키는 끼움 고정부, 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 슬라이딩 부품 또는 고정 부품 핸들과 연결하는 전동화 유닛 본체 및 핸들을 회전시키는 모터로 구성된다. 그리고, 수동 스테이지의 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 고정시키는 끼움 고정부에 의해 동시 회전을 방지할 수있다. 또한, 끼움 고정부에 의해 크기가 다른 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 대해서도 끼우는 것이 가능해진다. 또한, 끼움 고정 부에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 치수 정밀도의 차이에 대해서도 확실하게 끼워 넣을 수 있다. 또한, 전동화 유닛 본체에 의해 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 핸들과 결합시킬 수 있다. 또한, 전동화 유닛 본체에 의해 치수 정밀도에 차이가 있는 핸들의 손잡이 부분을 확실하게 파지할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 끼움 고정 부가 볼트 구멍이 열린 끼움 플레이트와 관통 볼트에 의해 구성된 프레임이며, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 프레임에 끼워 넣고 너트를 조여 슬라이딩 부품 또는 고정 부품이 체결되는 것이 바람직하다. 그러면, 간단한 기구로 확실하게 공회전을 방지할 수 있다. 또한, 상기 프레임에 따라 크기가 다른 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 대해서도 끼우는 것이 가능해진다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 전동화 유닛 본체가 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 핸들을 수동으로 회전시키는 미세 조정 손잡이를 갖는 것이 바람직하다. 따라서, 상술한 수동 조작 및 자동 조작 이외에, 자동 조작 모드를 종료하여 핸들 구동 용 연결부에 의해 수동으로 핸들 미세 조정을 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 전동화 유닛 본체에는 핸들 손잡이 부분이 제거된 핸들 축이 연결되는 것이 바람직하다. 그러면, 간단한 기구에 의해 핸들을 회전시킬 수 있다. 또한, 치수 정밀도가 상대적으로 나쁜 핸들의 손잡이부가 아니라 치수 정밀도가 비교적 좋은 핸들 축을 파지할 수있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수동 스테이지는, 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결되고, 핸들축 방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수동 스테이지에 있어서, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼워 고정시키는 끼움 고정부와, 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 핸들과 연결하는 전동화 유닛 본체와, 핸들를 회전시키는 모터를 구비하는 전동화 유닛을 설치하기 위한 자동 조작이 선택 가능 해지는 것을 특징으로한다.

상기 구성에 의해, 전동화 유닛는 수동 스테이지에 탈착이 자유롭게 장착되고, 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 이를 통해, 사용자는 이미 구입한 수동 스테이지에 대해 새로 구입한 전동화 유닛을 설치하는 것으로 전동 스테이지가 될 수 있다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제거하여 수동 스테이지로 되돌릴 수 있고, 사용하기 편리하다. 또한, 사용자는 수동 조작의 장점 및 전기 작업의 장점을 살려 목적에 따라 사용하는 것이 가능하다.

또한, 수동 스테이지는 설치된 전동화 유닛 본체가 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서 핸들을 수동으로 회전시키는 미세 조정 손잡이를 갖는 것이 바람직하다. 따라서, 상술한 수동 조작 및 자동 조작 이외에, 자동 조작을 중지하고 미세 조정 손잡이에 의해 수동으로 핸들의 미세 조정을 할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛은, 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결된 핸들축 방향으로 회전되어, 슬라이딩 부품을 이동시키고, 정밀 기계의 위지 조정을 수행하는 수송 나사식 수동 스테이지에 설치되고, 핸들의 손잡이부를 파지하는 핸들 파지부와, 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부와, 핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터와, 모터의 공중 회전을 방지하는 회전 방지 지그와, 모터에 연결하여 회전 방지용 지그가 장착되는 모터 연결부를 구비하고, 탈착하는 것으로 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 수동 스테이지에 전동화 유닛이 자유롭게 탈착되게 장착된다. 그리고, 전동화 유닛의 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 이를 통해, 사용자는 이미 구입한 수동 스테이지에 대해 새로 구입 한 전동화 유닛을 설치하여, 자동 조작 모드(또는 전동 작동 모드)로 할 수 있다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제거함으로써, 수동 조작 모드로 전환할 수 있으며, 스테이지의 사용성이 좋아진다. 따라서, 사용자는 수동 조작의 이점 및 자동 조작 또는 전동 조작의 각각의 장점을 살려 목적에 따라 사용하는 것이 가능하다.

상기 전동화 유닛은 회전 방지용 지그, 핸들 구동용 연결부, 핸들 파지부, 모터 및 모터 접속부로 구성된다. 상기 모터 연결부에 의해 모터 회전 방지용 지그가 연결된다. 또한, 회전 방지용 지그가 수동 스테이지에 연결됨으로써 모터의 동시 회전이 방지된다. 또한, 핸들 구동용 연결부에 의해 핸들축과 모터축이 대략 동축을 유지하면서 연동된다. 또한, 핸들 파지부에 의해, 치수 정밀도에 차이가있는 핸들의 손잡이부를 확실하게 파지 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 회전 방지용 지그가 수송 나사식 수동 스테이지의 고정 부품 단부의 블록에 설치된 복수의 고정용 구멍에 끼워지는 연결축인 것이 바람직하다. 이처럼 수송 나사식 수동 스테이지에 일반적으로 설치되어있는 고정용 구멍을 이용하여 적어도 2 개의 연결 샤프트를 삽입함으로써 모터의 동시 회전을 용이하게 방지할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 핸들 파지부가 수동으로 회전 조작됨으로써 핸들 파지부에 의해 파지된 핸들의 손잡이부를 회전시켜 정밀 기계의 위치 미세 조정을하는 것이 바람직하다. 이를 통해, 사용자는 모터의 사용을 중지하고, 핸들 파지부를 회전시킴으로써 수동으로 핸들의 미세 조정을 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 핸들 구동용 연결부가 핸들 파지부와 결합되어 일체가 되어 핸들축과 모터축을 연동시키는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. 그것에 의해, 핸들 파 지부를 회전시킴으로써 모터의 회전을 확실하게 핸들의 회전에 연결할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수동 스테이지는, 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결되어, 핸들축 방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시키고, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수송 나사식 수동 스테이지이며, 핸들의 손잡이 부를 파지하는 핸들 파지부와, 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부와, 핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터와, 모터의 공중 회전을 방지하는 회전 방지 지그와, 모터에 연결하여 회전 방지용 지그가 장착되는 모터 연결부를 구비한 전동화 유닛을 설치하기 위한 자동 조작이 선택 가능해지는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 전동화 유닛은 수동 스테이지에 탈착이 자유롭게 장착되어 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 이를 통해, 사용자는 이미 구입한 수동 스테이지 대해 새로 구입한 전동화 유닛을 설치함으로써, 전동 스테이지라고 하는 것이 가능하다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제거하여 수동 스테이지로 되돌릴 수 있고, 사용하기 편리하다. 또한, 사용자는 수동 조작의 장점 및 전기 작업의 장점을 살려 목적에 따라 사용할 수 있다.

또한, 수동 스테이지는 설치된 전동화 유닛 핸들 파지부를 수동으로 회전 조작하여 핸들 파지부에 의해 파지된 핸들의 손잡이부를 회전시키고, 정밀 기계의 위치 미세 조정을 수행하는 것을 특징으로하는 것이 바람직하다. 이를 통해, 사용자는 모터의 사용을 중지하고 핸들 파지부를 회전시킴으로써 수동으로 핸들 조정을 할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛은 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결되어, 핸들축 방향으로 회전 조작에 의해, 슬라이딩 부품을 이동시키고, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수송 나사식 수동 스테이지에 설치된 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부와, 핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터와, 모터의 동시 회전을 방지하는 회전 방지부와, 모터와 연결하는 모터 연결부를 구비하고, 탈착하는 것으로 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되는 것을 특징으로한다.

상기 구성에 의해, 수동 스테이지에 전동화 유닛이 탈착 자유롭게 장착된다. 그리고, 전동화 유닛의 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 이를 통해, 사용자는 이미 구입 한 수동 스테이지 대해 새로 구입한 전동화 유닛을 설치하여 자동 조작 모드(또는 전동 작동 모드)로 할 수 있다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제거함으로써, 수동 조작 모드로 전환할 수 있으며, 스테이지의 사용성이 좋아진다. 따라서, 사용자는 수동 조작의 이점 및 자동 조작 또는 전동 조작의 각각의 장점을 살려 목적에 따라 사용될 수 있다.

상기 전동화 유닛은 회전 방지용 지그, 핸들 구동용 연결부, 모터 및 모터 접속부로 구성된다. 상기 모터 연결부에 의해 모터 회전 방지용 지그가 연결된다. 또한, 회전 방지용 지그가 수동 스테이지에 연결됨으로써, 모터의 동시 회전이 방지된다. 또한, 핸들 구동용 연결부에 의해 핸들축과 모터축이 대략 동축을 유지하면서 연동된다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 수동 스테이지의 고정 부품 단부에 설치된 복수의 고정 용 구멍에 체결구에 의해 고정되는 것이 바람직하다. 이처럼, 수송 나사식 수동 스테이지에 일반적으로 설치되어 있는 고정용 구멍을 이용하여 체결구에 의해 고정함으로써, 모터의 동시 회전을 용이하게 방지할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 핸들 구동용 연결부가 수동으로 회전 조작는 것에 의해, 수동 스테이지 핸들축을 회전시켜 정밀 기계의 위치 미세 조정을 수행하는 것이 바람직하다. 이를 통해, 사용자는 모터의 사용을 중지하고, 핸들 구동용 연결부를 회전시킴으로써, 수동으로 핸들 조정을 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은, 핸들 구동용 연결부가 핸들 손잡이 부분이 제거된 핸들 축에 연결되는 것이 바람직하다. 그러면, 간단한 기구에 의해 핸들을 회전시킬 수 있다. 또한, 치수 정밀도가 상대적으로 나쁜 핸들의 손잡이 부분이 아니라 치수 정밀도가 비교적 좋은 핸들축을 회전시킬 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은, 핸들 구동용 연결부가 핸들 축에 연결된 연결축을 통해 핸들축에 연결되는 것이 바람직하다. 따라서, 수동 스테이지 핸들축 크기에 맞게 연결 축을 선택할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은, 회전 방지부가 모터 연결부 및 핸들축 지지대와 일체적으로 형성되고, 핸들 구동용 연결부를 끼워 넣은 것이 바람직하다. 즉, 회전 방지부와 모터 연결부가 고정된다. 또한, 핸들축이 핸들축 지지대에 의해 확실하게 유지된다. 이를 통해, 모터 연결부 및 회전 방지부가 확실하게 모터에 연결한 상태에서 모터의 동시 회전을 방지 할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수동 스테이지는 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결되어, 핸들 축 방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시키고, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수송 나사식 수동 스테이지이며, 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부와, 핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터와, 모터의 동시 회전을 방지하는 회전 방지부와, 모터와 연결하는 모터 연결부를 구비하는 전동화 유닛을 설치하기 위한 자동 조작이 선택 가능해지는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 전동화 유닛은 수동 스테이지에 탈착이 자유롭게 장착되어, 탈착에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 이를 통해, 사용자는 이미 구입한 수동 스테이지 대해 새로 구입한 전동화 유닛을 설치함으러써, 전동 스테이지라고 하는 것이 가능하다. 또한, 설치된 전동화 유닛을 제거하여 수동 스테이지로 되돌릴 수 있고 사용하기 편리하다. 또한, 사용자는 수동 조작의 장점 및 전기 작업의 장점을 살려 목적에 따라 사용할 수 있다.

또한, 수동 스테이지는 설치된 전동화 유닛의 핸들 구동용 연결부를 수동으로 회전 조작하여 핸들축을 회전시키고, 정밀 기계의 위치 미세 조정을 수행하는 것이 바람직하다. 이를 통해, 사용자는 모터의 사용을 중지하고, 핸들 파지부를 회전시킴으로써 수동으로 핸들 조정을 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 슬라이딩 부품 또는 고정 부품 양측의 끼움 고정부는 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼우는 측면에 각각 탄성체를 구비하고, 탄성체의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측으로부터 밀어 넣어 고정시키는 것이 바람직하다. 이와 같이, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측의 끼움 고정부에 의해 끼우는 경우에, 탄성체라는 간단한 기구에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 눌러, 확실하게 동시 회전을 방지할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 슬라이딩 부품 또는 고정 부품 양측의 끼움 고정부는, 서로를 연결하는 스프링을 구비하고, 스프링의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양쪽에서 눌러 고정시키는 것이 바람직하다. 이와 같이, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측의 끼움 고정부에 의해 끼우 넣은 경우에, 스프링이라는 간단한 기구에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 눌러, 확실하게 동시 회전을 방지할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은, 전동화 유닛 본체가 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서, 핸들을 수동으로 회전시키는 미세 조정 손잡이를 갖는 것이 바람직하다. 따라서, 상술한 수동 조작 및 자동 조작 이외에, 자동 조작 모드를 종료함으로써, 핸들 구동용 연결부에 의해 수동으로 핸들를 미세 조정할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 전동화 유닛 본체가 핸들 손잡이부가 제거된 핸들축이 연결되는 것이 바람직하다. 이를 통해, 쉬운기구에 의해 핸들을 회전시킬 수 있다. 또한, 치수 정밀도가 상대적으로 나쁜 핸들의 손잡이부뿐만 아니라 치수 정밀도가 비교적 좋은 핸들축을 파지 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지용 전동화 유닛은 전동화 유닛 본체가 끼움 고정부가 분리되는 것을 방지하는 스토퍼를 구비하는 것이 바람직하다. 그것을 통해, 끼움 고정부를 지나치게 벌어져, 분리되어 버리는 상태를 피할 수 것이 바람직하다.

또한, 수동 스테이지는, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 양측의 끼움 고정부가 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼우는 측면에 각각 탄성체를 구비하고, 탄성체의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 눌러 고정시키는 것이 바람직하다. 이와 같이, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양쪽의 끼움 고정부에 의해 끼워 넣는 경우, 탄성체라는 간단한 기구에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 눌러, 확실하게 동시 회전을 방지 할 수 있다. 이와 같이, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측의 끼움 고정부에 의해 끼워 넣는 경우, 탄성체라는 간단한 기구에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 눌러서, 확실하게 동시 회전을 방지 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지는 슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 양측에 끼움 고정부가 서로를 연결하는 스프링을 구비하고, 스프링의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 눌러 고정시키는 것이 바람직하다. 이와 같이, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측 끼움 고정부에 의해 끼워 넣는 경우, 스프링라는 간단한 기구에 의해 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 눌러, 확실하게 동시 회전을 방지 할 수 있다.

또한, 수동 스테이지는 설치된 전동화 유닛 본체가 슬라이딩 부품 또는 고정 부품 핸들축과 대략 동축을 유지하면서 핸들을 수동으로 회전시키는 미세 조정 손잡이를 갖는 것이 바람직하다. 따라서, 상술한 수동 조작 및 자동 조작 이외에, 자동 조작 모드를 종료함으로써, 핸들 구동용 연결부에 의해 수동으로 핸들의 미세 조정을 할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지에 의하면, 핸들 수동 회전에 의해 슬라이딩 부품을 이동시키는 종래의 수동 스테이지에 대한 간단한 기구를 탈착시키는 것으로 자동 및 수동의 선택이 자유롭게 되고, 수동으로 조정도 가능한 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 1 실시 형태의 대략적인 구성을 나타내는 사시도이며, 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 1 실시 형태의 대략적인 구성을 나타내는 분해된 사시도이다.
도 2는 도 1의 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 다른 제 2 실시형태의 대략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3의 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 평면도이다.
도 5는도 3의 A-A 방향에서 본 측면도 및 B-B 방향에서 본 측면도이다.
도 6은 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지의 평면도 및 측면도이다.
도 7은 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지 (핸들 연장형)의 평면도 및 측면도이다.
도 8은 본 발명의 대상이되는 XY 축 스테이지의 평면도 및 측면도이다.
도 9는 본 발명의 대상이되는 Z 축 스테이지의 평면도 및 측면도이다.
도 10은 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지의 평면도, 저면도 및 측면도이다.
도 11은 본 발명의 대상이되는 Z 축 스테이지의 평면도, 저면도 및 측면도이다.
도 12는 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지의 평면도, 저면도 및 측면도이다.
도 13은 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지 (도브테일 홈 이송 나사형)의 평면도, 저면도 및 측면도이다.
도 14은 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지 (도브테일 홈 슬림 이송 나사형)의 평면도, 저면도 및 측면도이다.
도 15는 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지 (도브테일 홈 슬림 이송 나사형)의 평면도, 저면도 및 측면도이다.
도 16은 본 발명의 대상이되는 X 축 스테이지의 평면도, 저면도 및 측면도이다.
도 17은 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 3 실시 형태의 대략적인 구성을 나타내는 사시도이며, 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 3 실시 형태의 대략적인 구성을 나타내는 분해된 사시도이다.
도 18는 도 17의 전동화 유닛의 회전 방지용 지그 모터 연결부 및 모터의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 19는 수송 나사식 수동 스테이지와 전동화 유닛에 연결하는 방법을 나타내는 사시도이다.
도 20은 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 A-A 단면 (부분)이다.
도 21은 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 4 실시 형태의 대략적인 구성을 나타내는 사시도이며, 전 동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 4 실시 형태의 대략적인 구성을 나타내는 일부 분해된 사시도이다.
도 22는 도 21에 나타내는 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 23은 전동화 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 24는 수송 나사식 수동 스테이지와 전동화 유닛에 연결하는 방법을 나타내는 사시도이다.
도 25는 도 22에서 나타낸 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 B-B 단면도이다.
도 26은 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 2 실시 형태를 변형한 제 1 실시예의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 27은 도 26의 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 평면도이다.
도 28은 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 2 실시 형태를 변형한 제 2 실시 예의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 29는 도 28의 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 평면도이다.
도 30는 도 28의 수동 스테이지용 전동화 유닛 및 전동화 유닛 장착 수동 스테이지를 수동 스테이지 측면에서 본 사시도이다.

(수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 1 실시예의 구성)

하기에서 도면을 이용하여 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(1)의 제 1 실시예에 대해 상세히 설명한다. 도 1에 수동 스테이지용 전동화 유닛(1)의 제 1 실시 형태의 개략적인 구성을 사시도로 나타낸다. 수동 스테이지용 전동화 유닛(1)은 수동 스테이지(10)에 장착되어, 수동 스테이지(10)의 기능이 자동 스테이지의 기능이 발휘된다. 또한, 도 2는 도 1의 수동 스테이지 용 전동화 유닛(1)의 측면도를 보여준다.

예를 들어, 수동 스테이지(10)는 슬라이딩 부품(12)와 고정 부품(11)이 랙 앤 피니언식 이송 스크류 등의 구동기구를 통해 연결된다. 도 1은 랙(15) 및 피니언 기어(16)(도 2 참조)가 서로 맞물려 슬라이딩하는 랙 앤 피니언식의 수동 스테이지의 경우를 나타내지만, 예를 들면, 이송 나사식의 수동 스테이지 등 다른 수동 스테이지라도 된다. 그리고, 도 1에서 나타낸 수동 스테이지(10)의 경우에는 핸들(13) 및 핸들 손잡이부(19)가 슬라이딩 부품(12)에 장착된다. 그리고, 핸들(13)의 회전에 의해 슬라이딩 부품(12)에 연결된 피니언 기어(16)가 회전하여 고정부품에 장착된 랙(15) 위를 이동한다. 또한, 핸들(13)이 고정 부품(11)에 설치된 경우에는 핸들(13)의 회전에 의해 고정부품 (11)에 연결된 피니언 기어(16)가 회전하고, 슬라이딩 부품(12)에 장착된 랙(15) 위를 이동한다. 수동 스테이지(10)의 이용자는 핸들 손잡이(19)를 축 방향으로 회전 조작시켜 고정 부품(11)에 슬라이딩 부품(12)을 이동시켜 정밀 기계를 정렬한다. 또한, 수동 스테이지(10)는 도 2에 나타낸 슬라이딩 고정 나사(5)가 조임으로써, 슬라이딩 부품(12)을 고정 부품(11) 상의 임의의 위치에 고정한다. 그리고, 슬라이딩 고정 나사(5)를 풀며 슬라이딩 부품(12)을 이동시킨다. 또한, 정밀 기계 (미도시)가 정밀 기계 설치 구멍(14)에서 체결구에 의해 설치된다. 또한, 고정 부품(11)는 체결구를 토대로 고정 구멍 (17)에 나사를 체결하여 토대(미도시)에 고정된다.

본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(1)이 수동 스테이지(10)에 장착되어 수동 스테이지(10)의 슬라이딩 부품(12)의 이동을 전동화시키는 장치이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 전 동화 유닛(1)은, 회전 방지용 지그인 클램프(3), 핸들 구동용 연결부인 커플링(9), 핸들 파지부인 커플링용 손톱부(7) 및 전동화 유닛 본체(2)에 내장되는 모터(미도시)로 구성된다. 또한, 전동화 유닛 본체(2)에는 배선이 묶인 와이어 하네스(4)가 장착된다. 또한, 수동 스테이지(10)는 상기 슬라이딩기구에 의해, 예를 들면, 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사 식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일 식 스테이지 등이 포함되지만, 본 발명의 전동화 유닛(1)은 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지 이외에도 상술한 수동 스테이지(10)에서 전동화 유닛(1)이 부착되는 수동 스테이지(10)에 적용된다.

클램프(3)는 수동 스테이지(10)의 슬라이딩 부품(12) 또는 고정 부품(11)을 양측에서 끼워, 모터의 회전에 의해 생기는 토크에 반력을 발생시켜, 전동화 유닛(1)의 동시 회전을 방지한다. 또한, 커플링(9)은 핸들축(18)과 대략 동축을 유지하면서 핸들(13)과 결합한다. 그리고, 상기 커플링(9)은 모터(미도시)에 의해 회전된다. 또한, 커플링용 손톱부(7)는, 핸들(13)의 손잡이부(19)를 파지하고, 커플링(9)의 회전을 핸들(13)에 전달한다. 상기 커플링용 손톱부(7)에는 "손톱" 모양의 척 장치가 설치되어 핸들(13)의 손잡이부(19)를 끼워 탈착이 자유롭게 파지한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 클램프(3)는 선단부를 서로 열거나 닫고, 탈착이 자유롭게 슬라이딩 부품(12) 또는 고정 부품(11)을 끼워 넣는 개폐기구가 된다. 상기 개폐기구는 클램프 개폐 용 나사(8)에 의해 기어(21)를 축방향으로 회전시킴으로써, 연결하는 휠(23)을 회전시키고, 하나의 클램프(3)의 선단부의 개폐를 수행한다. 또한, 휠 (23)에 맞물리는 스퍼 기어(22)를 휠(23)의 회전에 연동하여 회전시키고, 다른 클램프(3)의 선단부를 개폐시킨다. 그리고, 상기 한 쌍의 클램프(3)의 선단부의 개폐 방향 및 개폐 정도는 전동화 유닛 본체(2)에 설치된 클램프 개폐용 나사(8)의 회전 방향 및 회전량에 의해 조정된다. 이와 같이, 한 쌍의 클램프(3)의 선단부를 서로 열거나 닫으면 간단하게 슬라이딩 부품(12) 또는 고정 부품(11)을 끼우는 것이 가능해진다. 또한, 개폐기구에 의해 크기가 다른 슬라이딩 부품(12) 또는 고정 부품(11)에 대해서도 끼우는 것이 가능해진다. 또한, 개폐기구에 의해 슬라이딩 부품(12) 또는 고정 부품(11)의 치수 정밀도의 차이에 대해서도 확실하게 끼워넣을 수 있다.

커플링(9)은 핸들(13)과 결합하는 기구이며, 상기 원형의 외주에 손잡이부인 롤렛(6)을 구비한다. 커플링용 손톱부(7)가 핸들(13)의 손잡이부(19)를 파지하고 있는 상태라면, 수동으로 롤렛(6)를 회전하여 핸들(13)의 손잡이 부(19)를 회전시키고, 정밀 기계의 위치 조정을 할 수 있게 된다.

이와 같이, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(1)은 수동 스테이지(10)에 자유롭게 탈착한다. 그리고, 전동화 유닛(1)을 수동 스테이지(10)에 설치하여 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)로 전환한다. 또한, 전동화 유닛(1)을 수동 스테이지(10)에서 제거하기 위한 수동 조작 모드로 바뀐다. 즉, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(1)에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 또한, 전동화 유닛(1)을 수동 스테이지(10)에 장착된 자동 조작 모드 (또는 전동 조작 모드)도 롤렛(6)을 수동으로 회전시킴으로써, 정밀 기계의 위치를 조정할 수 있다. 그러면, 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드) 시에 수동 조작 모드의 장점을 실시할 수 있다.

（수동 스테이지용 전동화 유닛の第２?施形態の構成）(수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 2 실시 형태의 구성)

하기에 도면을 이용하여 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)의 제 2 실시 예에 대해 상세히 설명한다. 도 3은 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)의 제 2 실시 형태의 개략 구성을 사시도로 나타낸다. 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)은 수동 스테이지(10)에 장착되어 수동 스테이지(10) 자동 스테이지의 기능이 발휘된다. 또한, 도 4는 도 3의 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)의 평면도를 나타낸다. 또한, 도 5는 도 4의 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)의 측면도를 보여준다.

예를 들어, 수동 스테이지(10)는 슬라이딩 부품(31)과 고정 부품(44)이 랙 앤 피니언, 이송 나사 등의 구동기구를 통해 연결된다. 도 3은 랙(41) 및 피니언 기어(미도시)가 맞물려서 슬라이딩하는 랙 앤 피니언식 수동 스테이지의 경우를 나타낸다. 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛 (30)이 수동 스테이지(10)에 장착되어 수동 스테이지(10)의 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)의 이동을 전동화시키는 장치이다. 또한, 수동 스테이지(10)는 상기 슬라이딩기구에 의해, 예를 들면, 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일 식 스테이지 등이 포함된다 하지만, 본 발명의 수동 스테이지(10)는 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지 이외에도 상술한 수동 스테이지(10)에서 전동화 유닛(30)의 장착이 가능한 수동 스테이지(10)에도 적용된다.

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 전동화 유닛(30)은 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품 (44)을 끼워 고정시키는 끼엄 고정부(24)와 핸들축(45)과 거의 동축을 유지하면서 슬라이딩 부품 (31) 또는 고정 부품(44)의 핸들과 연결하는 전동화 유닛 본체(40)와 핸들을 회전시키는 모터(미도시)로 구성된다. 또한, 전동화 유닛 본체(40)에는 배선이 묶인 와이어 하네스(WIRE HARNESS)(43)가 장착된다.

끼움 고정부(24)는 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)의 전면에서 전동화 유닛 본체(40)와의 사이에 설치되는 끼움 플레이트(36a), 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)의 후면에 설치되는 끼움 플레이트(36b), 끼움 플레이트(36a, 36b)를 연결하는 관통 볼트(34a, 34b) 및 관통 볼트(34a, 34b)에 연결하는 캡 너트(35a, 35b)로 이루어지고, 프레임이 구성된다. 전동화 유닛 본체(40)는 고정 볼트(42)에 의해 끼움 플레이트(36a)에 연결된다. 상기 프레임 캡 너트(35) 및 전동화 유닛 본체(40)에 형성된 관통 볼트 조임 나사(39)를 조여 넣어, 전동화 유닛 본체(40)는 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)에 밀착하여 연결된다. 그리고, 상기 프레임은 간단한 기구로 확실하게 동시 회전을 방지할 수 있다. 또한, 크기가 다른 슬라이딩 부품 또는 고정 부품에 대해서도 끼우는 것이 가능해진다.

도 4에 도시된 바와 같이, 전동화 유닛 본체(40)는 핸들 손잡이 부가 제거된 핸들축(45)이 연결된다. 상기 핸들축(45)은 전동화 유닛 본체(40) 내에 설치된 모터(미도시)에 연동된 기어(46)에 연결되어 전기에 의해 회전한다. 상기 기어(46)는 고정 나사(47)에 의해 핸들축(45)에 고정된다. 또한, 전동화 유닛 본체(40)는 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)의 핸들축(45)과 대략적으로 동축을 유지하면서 핸들을 수동으로 회전시키는 미세 조정 손잡이(37)를 가진다. 상기 미세 조정 손잡이(37)를 수동으로 회전 시키면, 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)의 핸들축(45)이 연동하여 회전한다.

이와 같이, 전동화 유닛 본체(40)는 기어(46)에 의해 핸들축(45)을 회전시킨다. 이를 통해, 전동화 유닛 본체(40)는 핸들축(45)과 거의 동축을 유지하면서 핸들과 결합시킬 수 있다. 또한, 전동화 유닛 본체(40)는 치수 정밀도에 차이가 있는 핸들의 손잡이부가 아니라 핸들축(45)을 직접 파지하여 확실하게 모터의 회전을 수동 스테이지(10)에 전달할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)은 수동 스테이지(10)에 자유롭게 탈착한다. 그리고, 전동화 유닛(30)을 수동 스테이지(10)에 설치하여 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)로 바뀐다. 또한, 전동화 유닛(30)을 수동 스테이지(10)에서 제거하기 위한 수동 조작 모드로 바뀐다. 즉, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 또한, 전동화 유닛(30)을 수동 스테이지(10)에 장착된 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)에도 미세 조정 손잡이 (37)를 수동으로 회전시킴으로써, 정밀 기계의 위치를 조정할 수있다. 그러면, 자동 조작 모드 시, 수동 조작 모드의 장점을 수행할 수있다.

(전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 1 실시예의 구성)

하기의 도면을 이용하여 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)의 제 1 실시 형태에 대해 상세히 설명한다. 도 1은 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)의 제 1 실시 형태를 분해한 사시도로 나타낸다. 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)는 수동 스테이지용 전동화 유닛(1)이 도 1 중에서 일점 쇄선 방향으로 수동 스테이지(10)에 결합된 스테이지이다. 또한, 도 2는 도 1의 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)의 측면도를 나타낸다.

또한, 예를 들면, 수동 스테이지(10)는 상기 슬라이딩 기구에 의해, 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일식 스테이지 등이 포함되지만, 본 발명의 수동 스테이지(10)은 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지 이외에도 상술한 수동 스테이지(10) 중에서 전동화 유닛(1)의 설치가 가능한 수동 스테이지(10)에도 적용된다.

본 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)는 수동 스테이지(10)에서 전동화 유닛(1)이 내장된 기기이다. 그리고, 전동화 유닛(1)은, 회전 방지용 지그인 클램프(3), 핸들 구동용 연결부인 커플링(9), 핸들 파지부인 커플링용 손톱부(7) 및 전동화 유닛 본체(2)에 내장된 모터(미도시)로 구성된다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 커플링(9)은 원형의 외주에 손잡이부인 롤렛(6)을 구비한다. 커플링 용 손톱부(7)가 핸들(13)의 손잡이부(19)를 파지하고 있는 상태라면, 수동으로 롤렛(6)을 회전하여 핸들(13)의 손잡이부(19)를 회전시키고, 정밀 기계의 위치 조정을 할 수있게 된다.

이와 같이, 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)는 전동화 유닛(1)이 수동 스테이지(10)에 설치된 것으로 자동 조작 모드가 된다. 또한, 전동화 유닛(1)을 수동 스테이지(10)에서 제거하기 위한 수동 조작 모드로 바뀐다. 즉, 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(20)는 수동 조작 또는 자동 조작(또는 전동 조작 모드) 중 하나가 선택된다. 또한, 전동화 유닛(1)이 수동 스테이지 (10)에 장착된 "자동 조작" 모드도 롤렛(6)을 수동으로 회전시킴으로써, 정밀 기계의 위치를 미세 조정할 수 있다. 그러면, 자동 조작 (또는 전동 조작 모드) 모드시, 수동 조작 모드의 장점을 수행할 수 있다.

(전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 2 실시 형태의 구성)

하기 도면을 이용하여 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(50)의 제 2 실시 예에 대해 상세히 설명한다. 도 3은 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(50)의 제 2 실시예를 사시도로 나타낸다. 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(50)는 수동 스테이지용 전동화 유닛(30)이 수동 스테이지(10)에 결합된 스테이지이다. 또한, 도 4는 도 3의 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(50)의 정면도를 나타낸다. 또한, 도 5는 도 3의 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(50)의 측면도을 나타낸다.

전동화 유닛(30)은 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)을 끼워 넣어, 고정시키는 끼움 고정부 (24)와, 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)의 핸들과 연결하는 전동화 유닛 본체(40)와, 핸들을 회전시키는 모터(미도시)로 구성된다.

또한, 예를 들면, 수동 스테이지(10)는 상기 슬라이딩기구에 의해, 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일식 스테이지 등이 포함되지만, 본 발명의 수동 스테이지(10)는 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지 이외에도 상술한 수동 스테이지(10) 중에서 전동화 유닛(30)의 장착이 가능한 수동 스테이지(10)에도 적용된다.

설치된 전동화 유닛 본체(40)는 슬라이딩 부품(31) 또는 고정 부품(44)의 핸들 축과 대략 동축을 유지하면서 핸들을 수동으로 회전시키는 미세 조정 손잡이(37)를 가진다.

(전동화 유닛의 제어방법)

상술한 전동화 유닛(1, 30)의 제어 방법은, 제어반(制御盤)(미도시)에 의해 수행되고, 간단한 ON / OFF 스위치에 의한 조작뿐만 아니라, 조이스틱에 의한 다단계(무단계) 속도 지시가 가능한 조작 키패드에 의해 이동량 지정에 의한 조작이 가능하며, 이용자에 의해 조작 방법이 지정 되어도 된다.

(수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 3 실시예의 구성)

하기에서, 도면을 이용하여 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(200)의 제 3 실시 형태에 대해 상세히 설명한다. 도17은 수동 스테이지용 전동화 유닛(200)의 제 3 실시 형태의 개략적인 구성을 사시도로 나타낸다. 또한, 도 18, 도 17의 수동 스테이지용 전동화 유닛(200)의 회전 방지용 지그(203), 모터 연결부(208) 및 기어드 모터(geared motor)(248)의 구성을 사시도로 나타낸다. 또한, 도 19에서, 수동 스테이지(210)와 회전 방지용 지그(203)와의 연결하는 방법을 사시도로 나타낸다. 또한, 도 20은 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)의 일부 단면도이다. 수동 스테이지용 전동화 유닛(200)은 수동 스테이지(210)에 장착되어 수동 스테이지(210)에 자동 스테이지의 기능이 발휘된다.

수동 스테이지(210)는 슬라이딩 부품(212)과 고정 부품(211)이 수나사 및 암나사로 구성된 구동기구를 통해 연결된다. 그리고, 도 17에 나타낸 바와 같이, 수동 스테이지(210)는 핸들(213) 및 핸들 손잡이부(219)가 슬라이딩 부품(212)에 장착된다. 수동 스테이지(210)의 이용자는 핸들 손잡이 부(219)를 축 방향으로 회전 조작한다. 수나사인 핸들축(218)은 상기 핸들 손잡이부(219)의 회전에 연동하여 회전하고, 슬라이딩 부품(212)에 고정된 암나사를 이동시킨다. 이와 같이, 고정 부품(211)에 슬라이딩 부품(212)을 이동시켜 정밀 기계를 정렬한다. 또한, 수동 스테이지(210)는 도 17에 나타내는 슬라이딩 고정 나사(205) 조여 넣어, 슬라이딩 부품(212)을 고정 부품(211) 상의 임의의 위치에서 고정한다. 그리고, 슬라이딩 고정 나사(205)를 풀어서, 슬라이딩 부품(212)을 슬라이딩이 가능하게 한다. 또한, 정밀 기계(미도시)가 정밀 기계 장착 구명(214)에 체결구에 의해 설치된다. 또한, 고정 부품(211)은 체결구를 토대로 고정 구멍(217)에 나사 체결에 의해 토대(미도시)에 고정된다.

본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(200)이 수동 스테이지 (210)에 장착되어 수동 스테이지(210)의 슬라이딩 부품(212)의 이동을 전동화시키는 장치이다. 도 17과 같이, 상기 전동화 유닛(200)은 모터의 동시 회전을 방지하는 회전 방지 지그(203), 핸들 축(218)과 거의 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부(209), 핸들(213)의 손잡이부(219)를 파지하는 핸들 파지부 (207), 핸들 구동용 연결부(209)를 회전시키는 기어드 모터(248) 및 모터에 연결하여 회전 방지 지그(203)가 장착되는 모터 연결(208)로 구성된다. 또한, 본 발명에서는 모터로서 기어드 모터 248가 이용되지만, 상기 기어드 모터(248)에 한정하지 않고, 다른 모터도 된다.

또한, 예를 들면, 수동 스테이지(210)는 상기 슬라이딩 기구에 의해, 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일식 스테이지 등이 포함되지만, 본 실시 형태의 전동화 유닛(200)은 이송 나사 식 스테이지에 적용된다.

도17과 나타낸 바와 같이, 회전 방지용 지그(203)는 본 실시 형태에서는 2 개의 연결 샤프트(249)이다. 도 18에서와 같이, 이러한 연결 샤프트(249)는 모터 연결부(208)에 설치된 연결 샤프트 고정용 구멍(256)에 삽입된 연결 샤프트 고정용 나사(254)에 의해 고정된다. 또한, 모터 연결부(208)는 모터 연결부 고정용 나사(255)가 모터 연결부 고정용 구멍(257)을 관통 모터 장착용 구멍(258)에 체결됨으로써, 기어드 모터(248)에 고정된다. 그리고, 도 19에 나타낸 바와 같이, 연결 샤프트(249)는 수동 스테이지(210)의 고정 부품(211)의 단부 블록(251)에 설치된 고정용 구멍(252)에 각각 끼워진다. 이를 통해, 모터 연결부(208)에 고정된 기어드 모터(248)는 2 개의 연결 샤프트(249)에 의해 수동 스테이지(210)에 고정된다. 이와 같이, 전동화 유닛(200)은 이러한 구성에 의해 수동 스테이지(210)에 고정된 모터축(253) 회전의 영향을 받지 않고 동시 회전이 방지된다.

핸들 구동용 연결부(209)는 핸들축(218)과 모터축(253)을 연동시킨다. 도 20에 단면에서 나타낸바와 같이, 핸들 구동용 연결부(209)는 일단이 기어드 모터(248)로부터 돌출되는 모터축(253)에 연결하고, 다른 한쪽의 돌출부가 핸들(213)의 핸들축(218)에 연결한다. 그리고, 핸들 구동 용 연결부(209)는 핸들축(218)과 모터축(253)과 동축으로 연결하기 위해 기어드 모터(248)에 의한 모터축(253)의 회전을 핸들(213)의 핸들축(218)으로 연동시킬 수있다.

핸들 파지부(207)는 핸들 구동용 연결부(209)가 결합되어 일체가 된다. 그리고, 핸들 파지부( 207)에 의해 파지된 핸들(213) 손잡이부(219)를 회전시킨다. 따라서, 핸들 파지부(207)는, 예를 들어, 엘라스토머 등의 고무와 같은 마찰 계수가 높은 소재가 이용되지만, 그것에 한정하지 않고, 알루미늄 등의 금속과 같은 소재가 사용 되어도 된다. 또한, 상기 핸들 파지부(207)는 수동으로 회전 조작됨으로써, 정밀 기계의 위치를 조정할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(200)은 수동 스테이지(210)에 자유롭게 탈착한다. 그리고, 전동화 유닛(200)을 수동 스테이지(210)에 설치함으로써, 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)로 바뀐다. 또한, 전동화 유닛(200)을 수동 스테이지(210)로부터 제거함으로써, 수동 조작 모드로 바뀐다. 즉, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(200)에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 또한, 전동화 유닛(200)을 수동 스테이지(210)에 설치된 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)에도 핸들 파지부(207)를 수동으로 회전시킴으로써 정밀 기계의 위치를 조정할 수있다. 이에 따라, 자동 조작 모드 (또는 전동 조작 모드)시, 수동 조작 모드의 장점을 수행할 수 있다.

(수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 4 실시 형태의 구성)

하기의 도면을 이용하여 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)의 제 4 실시 형태에 대해 상세히 설명한다. 도 21은 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)의 제 4 실시 형태의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이며, 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)의 제 4 실시 형태의 개략적인 구성을 나타내는 일부 분해된 사시도이다. 또한, 도 22는 도 21에서 나타낸 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)의 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 23은 전 동화 유닛(300)의 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 24는 수송 나사식 수동 스테이지(310)와 전동화 유닛(300)의 연결 방법을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 25은 도 22에서 나타낸 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)의 B-B 단면도이다. 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)은 수동 스테이지(310)에 장착되어, 수동 스테이지(310)에 자동 스테이지의 기능이 발휘된다.

수동 스테이지(310)는 슬라이딩 부품(312)과 고정 부품(311)이 수나사 및 암나사로 구성된 구동기구를 통해 연결된다. 그리고, 도 21에서 나타낸 수동 스테이지(310)는 슬라이딩 부품(312)에 장착되어 핸들 (도 17 참조) 및 핸들 손잡이부 (도 17 참조)를 분리하고, 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)이 장착된다. 수동 스테이지(310)의 이용자는 핸들 손잡이부(219)를 축 방향으로 회전 조작시킨다. 수나사인 핸들 축(318)이 핸들 손잡이부(219)의 회전에 연동하여 회전하고, 슬라이딩 부품 (312)에 고정된 암나사를 이동시킨다. 이와 같이, 고정 부품(311)에 슬라이딩 부품(312)을 이동시켜 정밀 기계를 정렬한다. 또한, 수동 스테이지(310)는 도 21에 나타내는 슬라이딩 고정 나사 (305)가 조여 넣어, 슬라이딩 부품(312)을 고정 부품(311) 상의 임의의 위치에 있어서 고정한다. 그리고, 슬라이딩 고정 나사(305)를 풀음으로서, 슬라이딩 부품(312)을 이동시킨다. 또한, 정밀 기계(미도시)가 정밀 기계 설치 구멍(314)에 체결구에 의해 설치된다. 또한, 고정 부품(311)은 체결 구를 토대로 고정 구멍(317)에 나사 체결에 의해 토대(미도시)에 고정된다.

본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)이 수동 스테이지(310)에 장착되어 수동 스테이지(310)의 슬라이딩 부품(312)의 이동을 전동화시키는 장치이다. 도 21과 같이, 상기 전동화 유닛(300)은 핸들축(318)과 대략 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부(309), 핸들 구동 용 연결부(309)를 회전시키는 기어드 모터(348), 기어드 모터(348)의 동시 회전을 방지하는 회전 방지부(303) 및 기어드 모터(348)와 연결하는 모터 연결부(308)로 구성된다. 또한, 수동 스테이지 (310)는 상기 슬라이딩 기구에 의해, 예를 들면, 도브테일 홈식 스테이지, 이송 나사식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일 식 스테이지 등이 포함되지만, 본 실시 형태의 전동화 유닛(300)은 이송 나사식 스테이지에 적용된다.

핸들 구동용 연결부(309)는 핸들축 (318)과 모터축(353)과 연동시킨다. 도 25에 단면에서 나타낸 바와 같이, 핸들 구동용 연결부(309)는 일단이 기어드 모터(348)에서 돌출되는 모터축(353)에 연결하고, 다른 한쪽은 핸들의 핸들축(318)에 연결한다. 그리고, 핸들 구동용 연결부(309)는 핸들 축(318)과 모터축(353)과 동축으로 연결하기 위해, 기어드 모터(348)에 의한 모터축(353)의 회전 핸들의 핸들축(318)에 연동시킬 수 있다.

도 23에 나타낸 바와 같이, 회전 방지부(303)는 모터 연결부(308)와 핸들축 지지대(359) 일체적으로 형성되고, L 자 모양이된다. 그리고, 상기 L자에 핸들 구동용 연결부(309)를 안정적으로 끼워 넣을 수 있다. 이에 따라, 소형 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)이 된다.

또한, 도 24에 나타낸 바와 같이, 회전 방지부(303)는 회전 방지부 고정 나사(364)에 의해 수동 스테이지(310)의 고정 부품 (311)의 단부에 설치된 2 곳의 블록 고정용 구멍(352)에 고정된다. 상기 회전 방지부 고정 나사(364)는 수동 스테이지(310)의 고정 부품(311)의 단부의 두 곳에 회전이 구속된다. 또한, 도 23에 나타낸 바와 같이, 모터 연결부(308)는 모터 연결부 고정용 나사(362)에 의해 모터 연결부 고정용 구멍(363)을 관통하여 모터 장착용 구멍(358)에 고정된다. 상기 모터 연결부 고정용 나사(362)는 3 개가 모터 연결부(308)에 설치된 모터 장착용 구멍(358)을 관통하지만, 하단 1 개는 회전 방지부(303) 및 모터 연결부(308)를 관통한다. 이와 같이, 회전 방지부(303)는 수동 스테이지(310) 및 모터(348)에 고정되는 구성은 모터(348)의 공중 회전이 방지된다.

핸들 구동용 연결부(309)는 핸들 손잡이 부가 제거된 핸들축(318)에 연결된다. 그리고, 핸들 구동용 연결부(309)는 핸들축(318)에 연결된 연결축(368)을 통해 핸들축(318)에 연결된다. 즉, 핸들 축(318)은 수동 스테이지(310)의 기종에 따라 크기가 다를 수 있다. 그 경우에는 상기 수동 스테이지(310) 기종의 핸들축(318)의 적합한 연결축(368)을 이용하여 핸들 구동용 연결부(309)에 연결할 수 있다. 이렇게 필요한 연결축(368)을 갖추어 두면 종류가 다른 수동 스테이지(310)에 대응할 수 있다. 또한, 핸들 구동용 연결부(309)는 수동으로 회전 조작됨으로써, 수동 스테이지 핸들축 (318)을 회전시켜 정밀 기계의 위치 조정을 할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)은 수동 스테이지(310)에 탈착 자재이다. 그리고, 전동화 유닛(300)을 수동 스테이지(310)에 설치하여 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)으로 바뀐다. 또한, 전동화 유닛(300)을 수동 스테이지(310)에서 제거함으로써, 수동 조작 모드로 바뀐다. 즉, 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)에 의해 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택된다. 또한, 전동화 유닛(300)을 수동 스테이지 (310)에 장착된 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)도 핸들 구동용 연결부(309)을 수동으로 회전시킴으로써 정밀 기계의 위치를 조정할 수 있다. 이에 따라, 자동 조작 모드(또는 전동 조작 모드)시, 수동 조작 모드의 장점을 수행할 수 있다.

(전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 3 실시형태의 구성)

하기의 도면을 이용하여 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)의 제 3 실시형태에 대해 상세히 설명한다. 도 17은 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)의 제 3 실시 형태를 분해한 사시도로 나타낸다. 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)는 수동 스테이지용 전동화 유닛 (200)이 수동 스테이지(310)에 결합된 스테이지이다. 또한, 도 20, 도 17의 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)의 단면을 보여준다.

또한, 수동 스테이지(210)는 상기 슬라이딩기구에 의해, 예를 들면, 도브테일 홈 식 스테이지, 이송 나사 식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일식 스테이지 등이 포함된다 하지만, 본 발명의 수동 스테이지(210)는 이송 나사식 스테이지에 적용된다.

본 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)는 수동 스테이지(210)에 전동화 유닛(200)이 내장된 기기이다. 그리고, 전동화 유닛(200)은 모터의 공중 회전을 방지하는 회전 방지 지그(203), 핸들 축(218)과 거의 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부(209), 핸들(213)의 손잡이부(219)를 파지하는 핸들 파지부(207), 핸들 구동용 연결부(209)를 회전시키는 기어드 모터(248) 및 모터에 연결하여 회전 방지용 지그(203)가 장착되는 모터 연결부(208)로 구성된다.

또한, 설치된 전동화 유닛(200)의 핸들 파지부(207)를 수동으로 회전 조작하여 핸들 파지부(207)보다 파지된 핸들(213)의 손잡이부(219)를 회전시켜 정밀 기계의 위치 조정을 할 수있다.

이와 같이, 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)는 전동화 유닛(200)이 수동 스테이지(210)에 설치된 것으로 자동 조작 모드가 된다. 또한, 전동화 유닛(200)을 수동 스테이지(210)로부터 제거함으로써 수동 조작 모드로 바뀐다. 즉, 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(220)는 수동 조작 또는 자동 조작(또는 전동 조작 모드) 중 하나가 선택된다. 또한, 전동화 유닛(200)이 수동 스테이지(210)에 설치된 '자동 조작' 모드도 핸들 구동용 연결부(209)를 수동으로 회전시킴으로써 정밀 기계의 위치를 조정할 수있다. 이에 따라, 자동 조작(또는 전동 조작 모드) 모드 시, 수동 조작 모드의 장점을 수행할 수 있다.

(전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 4 실시형태의 구성)

하기의 도면을 이용하여 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)의 제 4 실시형태에 대해 상세히 설명한다. 도 22는 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)의 제 4 실시 형태를 사시도로 나타낸다. 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)는 수동 스테이지용 전동화 유닛(300)이 수동 스테이지 (310)에 결합된 스테이지이다. 또한, 도 25에 전동화 유닛 장착 수동 스테이지 (320)의 단면을 보여준다.

또한, 수동 스테이지(210)에는 상기 슬라이딩기구에 의해, 예를 들면, 도브테일 홈식 스테이지, 이송 나사식 스테이지, 리니어 볼식 스테이지, 크로스 롤러식 스테이지, 단순 볼식 스테이지, 도브테일 홈 슬라이드 레일식 스테이지 등이 포함되지만, 본 발명의 수동 스테이지(310)는 이송 나사식 스테이지에 적용된다.

본 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)는 수동 스테이지(310)에 전동화 유닛(300)이 내장된 기기이다. 그리고, 전동화 유닛(300)은 핸들축(318)과 대략 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동 용 연결부(309), 핸들 구동용 연결부(309)를 회전시키는 기어드 모터(348), 핸들 구동용 연결부(309)를 끼워 동시 회전을 방지하는 회전 방지부(303) 및 모터(348)와 연결하는 모터 연결부(308)로 구성된다. 또한, 도 21에 나타낸 바와 같이, 핸들 구동용 연결부(309)를 핸들축(318)의 크기와 일치시키기 위해 연결축(368)을 포함할 수 있다. 또한, 도 22는 상기 연결축(368)이 불필요한 경우를 나타낸다.

또한, 설치된 전동화 유닛(300)의 핸들 구동용 연결부(309)를 수동으로 회전 조작하여 핸들축 (318)을 회전시켜 정밀 기계의 위치 조정을 할 수 있다.

이와 같이, 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)는 전동화 유닛(300)이 수동 스테이지(310)에 설치된 것으로 자동 조작 모드가 된다. 또한, 전동화 유닛(300)을 수동 스테이지(310)에서 제거함으로써 수동 조작 모드로 바뀐다. 즉, 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(320)는 수동 조작 또는 자동 조작(또는 전동 조작 모드) 중 하나가 선택된다. 또한, 전동화 유닛(300)이 수동 스테이지 (310)에 설치된 '자동 조작' 모드도 핸들 구동용 연결부(309)를 수동으로 회전시킴으로써 정밀 기계의 위치를 조정할 수 있다. 이에 따라, 자동 조작(또는 전동 조작 모드) 모드 시, 수동 조작 모드의 장점을 수행할 수 있다.

(전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 2 실시 형태의 제 1 실시예의 구성)

하기 도면을 이용하여 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛(400)의 제 2 실시 형태의 제 1 실시예에 대해 상세히 설명한다. 상기 제 1 실시예는 도 3 및 도 4에 도시된 제 2 실시 형태의 변형이다. 도 26은 수동 스테이지용 전동화 유닛(400)의 제 1 실시 예의 개략적인 구성을 사시도로 나타낸다. 수동 스테이지용 전동화 유닛(400)은 수동 스테이지(520)에 장착되어 수동 스테이지(410)에 자동 스테이지의 기능이 발휘된다. 또한, 도 27, 도 26의 수동 스테이지용 전동화 유닛(400)의 평면도를 나타낸다. 하기의 제 1 실시예에 대한 설명은 도 3과 도 4에 나타내는 제 2 실시 형태와 유사한 설명은 생략하고, 제 2 실시 형태의 차이에 대해서만 설명한다. 따라서, 도 3 및 도 4에 도시된 제 2 실시 형태에 관한 설명 중 다음의 제 1 실시예에 관한 설명에 없는 것은 이용된다.

도 26 및 도 27에 나타낸 바와 같이, 상기 전동화 유닛(400)은 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 고정시키는 끼움 고정부(424)의 구성에 대하여도 도3 및 도 4에 도시된 제 2 실시형태와 다르다.

도 27에 나타낸 바와 같이, 끼움 고정부(424)는 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444) 양측을 끼워 넣도록 설치된다. 그리고, 상기 끼움 고정 부(424)는 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 넣는 측에 각각 탄성체(450)를 구비한다. 이에 따라, 탄성체(450)의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)를 양측에서 눌러 고정시킨다. 즉, 수동 스테이지(410)에 수동 스테이지용 전동화 유닛(400)을 설치할 때, 전동화 유닛(400) 좌우의 끼움 고정부(424)를 다소 열고, 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 넣는다. 탄성체(450)는 끼워움 고정부 (424)의 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)과 접촉하는 면에서 다소 돌출된다. 따라서, 탄성체(450)는 끼움 고정부(424)가 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 넣는 경우에 압축된다. 좌우의 끼움 고정부(424)가 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 넣으면, 탄성체 (450)는 압축되어 탄성 변형하고, 복원하려는 탄성력이 발생한다. 그리고, 탄성체(450)가 탄성력에 의해 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 양측에서 눌러 고정시킨다. 따라서, 상기 탄성체 (450)에 의해 간단한 기구로 확실하게 동시 회전을 방지할 수 있다.

(전동화 유닛 장착 수동 스테이지의 제 2 실시 형태의 제 2 실시예의 구성)

하기의 도면을 이용하여 본 발명에 따른 수동 스테이지용 전동화 유닛의 제 2 실시형태의 제 2 실시예에 대해 상세히 설명한다. 상기 제 2 실시예는 도 3 및 도 4에 도시된 제 2 실시형태의 변형이다. 도 28은 수동 스테이지용 전동화 유닛(500)의 제 2 실시예의 개략적인 구성을 사시도로 나타낸다. 수동 스테이지용 전동화 유닛(500)은 수동 스테이지(510)에 장착되어 수동 스테이지(510)에 자동 스테이지의 기능이 발휘된다. 또한, 도 29, 도 28의 수동 스테이지용 전동화 유닛 (500)의 평면도를 나타낸다. 또한, 도 30, 도 28의 수동 스테이지용 전동화 유닛(500)을 수동 스테이지(510) 측에서 본 사시도로 나타낸다. 하기의 제 2 실시예에 대한 설명은 도 3과 도 4에 나타내는 제 2 실시형태와 같이 설명은 생략하고, 제 2 실시형태의 차이에 대해서만 설명한다. 따라서, 도 3 및 도 4에 도시된 제 2 실시형태에 관한 설명 중 하기의 제 2 실시예에 관한 설명에 없는 것은 원용된다.

도 28 및 도 29에 나타낸 바와 같이, 상기 전동화 유닛(500)은 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 끼워 넣고, 고정시키는 끼움 고정부(524)의 구성에 대하여 도 3 및 도 4에 도시된 제 2 실시형태와 다르다.

도 29에서 나타낸 바와 같이, 끼움 고정부(524)는 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)의 양측을 밀어 넣도록 설치된다. 그리고, 도 30에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)의 양측의 끼움 고정부(524)는 끼움 고정부 반동력 판(553)에 의해 지지되고, 상호를 연결하는 스프링(550)을 구비한다. 이에 따라, 스프링(550)의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 양측에서 눌러 고정시키고, 스프링(550)의 탄성력의 반동력은 끼움 고정부 반동력 판(553)이 부담한다. 즉, 수동 스테이지(510)에 수동 스테이지용 전동화 유닛(500)을 설치할 때, 전동화 유닛(500)의 좌우의 끼움 고정부(524)를 다소 열고, 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 밀어 넣는다. 이와 같이, 전동화 유닛(500)의 좌우의 끼움 고정부(524)를 다소 열어, 스프링(550)이 탄성 변형하여 복원하고자 하는 장력이 발생한다. 그리고, 스프링(550)이 상기 장력에 의해 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 양측에서 눌러 고정시킨다. 또한, 끼움 고정부(524)는 고정부 빠짐 방지(552)에 의해 빠짐이 방지된다. 따라서, 상기 스프링(550)을 이용한 간단한 기구에 의해 확실하게 동시 회전이 방지되고, 모터(539)에 의해 수동 스테이지(510)가 전동으로 작동한다.

(수동 스테이지의 제 2 실시 형태의 제 1 실시 예의 구성)

하기의 도면을 이용하여 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(420)의 제 1 실시형태에 대해 상세히 설명한다. 도 26은 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(420)의 제 1 실시형태를 사시도로 나타낸다. 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(420)는 수동 스테이지용 전동화 유닛(400)이 수동 스테이지(410)에 결합된 스테이지이다. 또한, 도 27, 도 26의 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(420)의 평면도를 나타낸다. 하기의 제 1 실시예에 대한 설명은 도 3과 도 4에 나타내는 제 2 실시형태와 같은 설명은 생략하고, 제 2 실시형태의 차이에 대해서만 설명한다. 따라서, 도 3 및도 4에 도시된 제 2 실시 형태에 관한 설명 중, 하기의 제 1 실시예에 관한 기재에 없는 것은 원용된다.

도 26 및 도 27에 나타낸 바와 같이, 상기 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(420)는 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 넣어 고정시키는 끼움 고정부(424)의 구성에 대하여, 도 3 및 도 4에 도시된 제 2 실시형태와 다르다.

도 27에 나타낸 바와 같이, 끼움 고정부(424)는 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444) 양측로 끼워 넣어 설치된다. 그리고, 상기 끼움 고정부(424)는 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)으로 끼워 넣는 측에 각각 탄성체(450)을 구비한다. 이에 따라, 탄성체(450)의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 양측에서 눌러 고정시킨다. 즉, 수동 스테이지(410)에 수동 스테이지용 전동화 유닛(400)을 설치하는 경우, 전동화 유닛(400) 좌우의 끼움 고정부(424)를 다소 열고, 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 넣는다. 탄성체(450)은 끼움 고정부(424)가 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 끼워 넣는 경우에, 압축되도록 끼움 고정부(424)의 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)과 접촉하는 면에서 다소 돌출되어 있다. 따라서, 탄성체 (450)는 좌우의 끼움 고정부(424)가 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)으로 끼워 넣으면, 압축되어 탄성변형하고, 복원하려는 탄성력이 발생한다. 그리고, 탄성체(450)가 탄성력에 의해 슬라이딩 부품(431) 또는 고정 부품(444)을 양측에서 눌러 고정시킨다. 따라서, 상기 탄성체(450)에 의해 간단한 기구로 확실하게 동시 회전을 방지할 수 있다.

(수동 스테이지의 제 2 실시형태의 제 2 실시예의 구성)

하기의 도면을 이용하여 본 발명에 따른 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(520)의 제 2 실시예에 대해 상세히 설명한다. 도 28에 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(520)의 제 2 실시예를 사시도로 나타낸다. 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(420)는 수동 스테이지용 전동화 유닛(500)이 수동 스테이지(510)에 결합된 스테이지이다. 또한, 도 29, 도 27의 전동화 유닛 장착 수동 스테이지 (520)의 평면도를 나타낸다. 다음의 제 2 실시 예에 대한 설명은 도 3과 도 4에 나타내는 제 2 실시형태와 같은 설명은 생략하고, 제 2 실시형태의 차이에 대해서만 설명한다. 따라서, 도 3 및도 4에 도시된 제 2 실시형태에 관한 설명 중, 하기의 제 2 실시예에 관한 설명에 없는 것은 원용된다.

도 28 및 도 29에 나타낸 바와 같이, 상기 전동화 유닛 장착 수동 스테이지(520)는 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 끼워 넣어 고정시키는 끼움 고정부(524)의 구성에 대하여 도 3 및도 4에 도시된 제 2 실시형태와 다르다.

도 29와 같이, 끼움 고정 부(524)은 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544) 양측을 끼워 넣도록 설치된다. 그리고, 도 30에 나타낸 바와 같이, 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544) 양측의 끼움 고정부(524)는 끼움 고정부 반동력 판(553)에 의해 지지되고, 상호를 연결하는 스프링(550)을 구비한다. 이에 따라, 스프링(550)의 탄성력에 의해 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 양측에서 눌러 고정시켜, 스프링(550)의 탄성력의 반동력은 끼움 고정부 반동력 판(553)이 부담한다. 즉, 수동 스테이지(510)에 수동 스테이지용 전동화 유닛(500)을 설치할 때, 전동화 유닛(500)의 좌우 끼움 고정부(524)를 다소 열고, 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 끼워 넣는다. 이와 같이, 전동화 유닛(500)의 좌우 끼움 고정부(524)를 다소 열어, 스프링(550)이 탄성 변형하여 복원하고자 하는 장력이 발생한다. 그리고, 스프링(550)의 상기 장력에 의해 슬라이딩 부품(531) 또는 고정 부품(544)을 양측에서 눌러 고정시킨다. 또한, 끼움 고정부(524)는 고정부 빠짐 방지(552)에 의해 빠짐이 방지된다. 따라서, 상기 스프링(550)을 이용한 간단한 기구에 의해 확실하게 동시 회전이 방지되고, 모터(539)에 의해 수동 스테이지(510)가 전동으로 작동한다.

1, 30, 200, 300, 400, 500 : (수동 스테이지 용) 전 동화 유닛
2, 40, 440 : 전 동화 유닛 본체
3, 203, 303 : 클램프 (회전 방지용 지그, 회전 방지 부)
4, 43, 443, 543 : 와이어 하네스
5, 205, 305 : 슬라이딩 고정 나사
6 : 롤렛
7, 207 : 커플 링용 손톱 부 (핸들 파 지부)
8 : 클램프 개폐 용 나사
208, 308 : 모터 연결부
9, 209, 309 : 커플 링 (핸들 구동 용 연결부)
10, 100, 210, 310, 410, 510 : 수동 스테이지
11, 44, 211, 311, 444, 544 : 고정 부품
12, 31, 212, 312, 431, 531 : 슬라이딩 부품
13, 213, 313 : 핸들
14, 32, 214, 314, 432, 532 : 정밀 기계 설치 구멍
15, 41, 441, 541 : 랙
16 : 피니언 기어
17, 38, 217, 317, 438, 538 : 토대 고정 구멍
18, 45, 218, 318 : 핸들 축
19, 119, 219 : (핸들) 손잡이 부
20, 50, 220, 320, 420, 520 : 전 동화 유닛 장착 수동 스테이지
21, 46 : 기어
22 : 스퍼 기어
23 : 휠
24, 424, 524 : 끼움 고 정부
33 : 조정 구멍
34,34a, 34b : 관통 볼트 (육각 볼트)
35, 35a, 35b : 캡 너트
36, 36a, 36b : 끼움 플레이트
37, 437, 537 : 미세 조정 손잡이
39 : 관통 볼트 조임 나사
439,539 : 모터
42, 442, 542 : 장착 볼트
47, 447, 547 : 고정 나사
248, 348 : 기어드 모터
249 : 연결 샤프트
251 : 블록
252 352 : 블록 고정 용 구멍
253, 353 : 모터 축
254 : 연결 샤프트 고정 용 나사
255 : 모터 연결부 고정 용 나사
256 : 연결 샤프트 고정 용 구멍
257 : 모터 연결부 고정 용 구멍
258, 358 : 모터 장착 용 구멍
259, 359 : 핸들 축 지지대
260 360 : 핸들 축 관통 구멍
261 : 핸들 고정 용 스토퍼
362 : 모터 연결부 고정 용 나사
363 : 모터 연결부 고정 용 구멍
364 : 회전 방지 부 고정 용 나사
365 : 회전 방지 부 고정 용 구멍
366 : 스토퍼 나사
367 : 스토퍼 용 구멍
368 : 연결 축
450 : 탄성체
550 : 스프링
551 : 스프링 받음 재
552 : 끼움 고 정부 빠짐 방지
553 : 끼움 고 정부 반력 반

Claims (35)

1. 정밀 기계가 장착되는 슬라이딩 부품 및 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결되고, 핸들 축 방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기기의 위치 조정을 수행하는 수동 스테이지에 장착되고,
   수동 스테이지의 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼워서 동시 회전하는 것을 방지하는 회전 방지용 지그와,
   핸들 축과 동축을 유지하면서 핸들과 결합하는 핸들 구동용 연결부와,
   핸들의 손잡이부를 파지하는 핸들 파지부와,
   핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터
   을 구비하고, 탈착하여 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되고,
   상기 핸들 파지부는 내측으로 걸림턱이 형성된 손톱 모양의 척(chuck) 장치에 의해 탈착이 자유롭게 핸들의 손잡이 부분을 파지하는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
   
2. 제 1항에 있어서,
   핸들 구동용 연결부는 수동으로 회전 조작 됨으로써 핸들 파지부에 의해 파지된 핸들의 손잡이부를 회전시켜 정밀 기계의 위치 미세 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
   
3. 제 1항에 있어서,
   회전 방지용 지그는 한 쌍의 클램프이고, 클램프의 선단부를 서로 열거나 닫아서 탈착이 자유롭게 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼우는 개폐기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 개폐기구는 기어를 축 방향으로 회전시킴으로써 연결하는 휠을 회전시켜 하나의 클램프 선단부의 개폐를 수행하고, 휠에 맞물리는 스퍼 기어 휠 회전으로 연동하여 회전시켜 다른 클램프 선단부의 개폐를 수행하고, 한 쌍의 클램프의 선단부를 서로 열거나 닫는 것을 특징으로 하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
   
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8. 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품 및 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결된 핸들의 축 방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수동 스테이지에 설치되고,
   슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 끼워 고정시키는 끼움고정부와,
   핸들 축과 동축을 유지하면서 슬라이딩 부품 또는 고정 부품 핸들과 연결하는 전동화 유닛 본체와,
   핸들을 회전시키는 모터를 구비하고, 탈착하여 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되고,
   상기 끼움고정부는 볼트 구멍이 열린 끼움 플레이트와 관통 볼트에 의해 구성된 프레임이며, 슬라이딩 부품 또는 고정 부품을 양측에서 프레임에 끼워 넣고 너트를 조여 슬라이딩 부품 또는 고정 부품이 단단히 조여질 수 있는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
   
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10. 제 8항에 있어서,
    전동화 유닛 본체는,
    슬라이딩 부품 또는 고정 부품의 핸들 축과 동축을 유지하면서 핸들을 수동으로 회전시키는 미세 조정 손잡이를 갖는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
11. 제8항 또는 제 10항에 있어서,
    전동화 유닛 본체는,
    핸들로부터 손잡이 부분이 제거된 핸들 축이 연결되는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
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14. 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결되어 핸들 축 방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시키고, 정밀 기계의 위치 조정을 하는 수송 나사식 수동 스테이지에 장착되어,
    핸들의 손잡이 부분을 파지하는 핸들 파지부와,
    핸들 축과 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부와,
    핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터와,
    모터의 동시 회전을 방지하는 회전 방지 지그와,
    모터와 연결하여 회전 방지용 지그가 장착되는 모터 연결부를 구비하고 탈착하여 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되며,
    상기 회전 방지 지그는 수송 나사식 수동 스테이지의 고정 부품 단부의 블록에 설치된 복수의 고정용 구멍에 끼워지는 연결축인 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
15. 삭제
16. 제14항에 있어서,
    핸들 파지부는,
    수동으로 회전 조작 됨으로써, 핸들 파지부에 의해 파지된 핸들의 손잡이부를 회전시켜 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
17. 제 14항 또는 제 16항에 있어서,
    핸들 구동용 연결부는 핸들 파지부와 결합되어 일체가 되어 핸 들축과 모터축을 연동시키는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
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20. 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결된 핸들 축방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수송 나사 식 수동 스테이지에 장착되고,
    핸들 축과 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부와,
    핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터와,
    모터의 동시 회전을 방지하는 회전 방지부와,
    모터와 연결하는 모터 연결부
    을 구비하고, 탈착하여 수동 조작 또는 자동 조작 중 하나가 선택되며,
    상기 회전 방지부는,
    수동 스테이지의 고정 부품 단부에 설치된 복수의 고정용 구멍에 체결구에 의해 고정되는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
21. 삭제
22. 제20항에 있어서,
    핸들 구동용 연결부는,
    수동으로 회전 조작 됨으로써, 수동 스테이지 핸들 축을 회전시켜 정밀 기계의 위치 조정을 수향하는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
23. 제20항에 있어서,
    핸들 구동용 연결부는,
    핸들 손잡이 부분이 제거된 핸들축에 연결되는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
24. 제23항에 있어서,
    핸들 구동용 연결부는,
    핸들 축에 연결된 연결축을 통해 핸들축에 연결되는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동 화 유닛.
    
25. 제 20항, 제 22항 내지 제 24항 중 어느 한 항에 있어서,
    회전 방지부는 모터 연결부 및 핸들축 지지대와 일체으로 형성되고, 핸들 구동용 연결부를 끼우는 것을 특징으로하는 수동 스테이지용 전동화 유닛.
    
26. 정밀 기계가 설치되는 슬라이딩 부품과 토대에 고정되는 고정 부품이 구동기구를 통해 연결된 핸들축 방향의 회전 조작에 의해 슬라이딩 부품을 이동시켜, 정밀 기계의 위치 조정을 수행하는 수송 나사식 수동 스테이지에 있어서,
    핸들축과 동축을 유지하면서 연결하는 핸들 구동용 연결부와,
    핸들 구동용 연결부를 회전시키는 모터와,
    모터의 동시 회전을 방지하는 회전 방지부와,
    모터와 연결하는 모터 연결부
    을 구비한 전동화 유닛을 설치하여 자동 조작이 선택 가능해지고,
    상기 회전 방지부는,
    수동 스테이지의 고정 부품 단부에 설치된 복수의 고정용 구멍에 체결구에 의해 고정되는 것을 특징으로하는 수동 스테이지.
    
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