JP6722048B2 - ステージ装置およびリニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
第1のステージと、
前記第1のステージの面上を第1の方向に相対的に移動する第2のステージと、
手動による駆動力により、前記第2のステージを前記第1の方向へ相対的に移動させるための第1の被駆動部を駆動する第1の駆動手段と、
電動による駆動力により、前記第2のステージを前記第1の方向へ相対的に移動させるための第2の被駆動部を駆動する第2の駆動手段と、を備え、
前記第1の被駆動部と前記第2の被駆動部の少なくとも一部が共通の動作軸を有する。
図1は、第1実施形態によるステージ装置100の外観を示す模式図である。本実施形態では、ステージ装置100を、観察対象のスライドを載置して、顕微鏡の鏡基に対してx方向およびy方向へ移動する顕微鏡用ステージとして用いる例を説明する。ステージ装置100は、ステージベース130、yステージ120、xステージ110が積層された構造を有するxyステージである。なお、積層順序は図1の例に限定されるものではなく、xステージ110の上部にyステージ120を設ける構成としてもよい。ステージ装置100において、yステージ120はステージベース130の面上をy方向に相対的に移動する。また、xステージ110はyステージ120の面上をx方向に相対的に移動する。ここで、ステージベース130は第1のステージの一例に相当し、yステージ120は第2のステージの一例に相当する。また、xステージ110は第3のステージの一例に相当する。また、y方向は第1の方向の一例に相当し、x方向は第2の方向の一例に相当する。なお、yステージ120を第1のステージの一例、xステージ110を第2のステージの一例として捉えることとしても良く、この場合にはx方向は第1の方向の一例となる。
なお、ブラケット181aによるリニアアクチュエータ200y(フレーム203y)のステージベース130への取り付け方法はこれに限られるものではない。フレーム203yをステージベース130へ取り付ける構成の変形例を図7に示す。図7(a)では、フレーム203yの底面とステージベース130の面とが平行になるようにフレーム203yが固定されている。ブラケット181aを図示のような階段形状とすることで、高さ方向の位置が調整されている。また、図7(b)では、図7(a)と同様に、フレーム203yの底面とステージベース130の面とが平行になるようにフレーム203yが固定されているが、ブラケット181aとして平面板が採用されている。この場合、yステージ120の下面に凹部を形成することでリニアアクチュエータ200yの高さ方向の大きさを吸収する構成となっている。
上記実施形態では、yステージ120の上面にx軸クロスローラガイド111bが配置され、xワイヤ173が敷設され、yステージ120の下面にy軸クロスローラガイド121aが配置され、yワイヤ174が敷設される構成を示した。すなわち、yステージ120の上面にxステージ110を駆動するための構成が配置され、下面にステージベース130に対してyステージ120を駆動するための構成が配置されていた。これに対し、図8〜図10を参照して、yステージ120の下面にxステージ110をx方向へ駆動するための構成とyステージ120をy方向へ駆動するための構成をまとめた構成を説明する。このような構成によれば、x方向及びy方向のクロスローラガイドが同一面に配置されるため、ステージ装置100の組み立てにおける高さ方向の大きさをさらに低減すること、すなわちステージ装置100の厚みをさらに小さくすることが可能になる。
第1実施形態のステージ装置では、リニアアクチュエータの主要な構成としてシャフトモータ(円筒型リニアモータ)を使用している。一般にシャフトモータは、位置関係が機械的に固定されていない別部材である外包部材と、外包部材に内挿されるシャフト(円筒型のロッド部材)とよりなっている。この構成は、設計自由度は高いという利点はあるが、実装時に位置合せが必要であり、組立・調整の自動化に不向きであり、コストアップに繋がる。例えば、外包部材を駆動側ステージに、一方、円筒型ロッド部材は被駆動側ステージに、所定精度で適切な位置関係で取り付けるには、人手に依存する複雑な作業が要求される。また、シャフトと外包部材は、取り付けるまでは位置関係が固定されない別部材である為、組立前にロッド部材への傷、曲がり、金属片などの磁気による付着が生じないように適切に管理する必要もあり、これもコストアップに繋がる。第2実施形態では、上述したステージ装置への適用に適したリニアアクチュエータの提供形態を開示する。第2実施形態のリニアアクチュエータによれば、第1実施形態で説明したステージ装置の組立・調整の簡単化が実現され、製造コストが低減される。
・外包部材201と外包部材201の貫通孔にシャフト202が挿通された形態のリニアモータと(外包部材201とシャフト202の一方がコイルを有し、他方が永久磁石を有する)、
・手動操作用のワイヤとシャフト202を同軸に接続するための接続部と、
・シャフト202を取り付けるフレーム203と、を有し、
シャフト202が、外包部材201を挿通した状態で、シャフト202の軸がフレーム203の位置基準に対し、所定精度でもって組みつけられた状態で提供される一体型リニアアクチュエータである。図3(a)に示されるリニアアクチュエータ200は、実装の結果として、上記所定精度が得られるリニアアクチュエータが構成される例を示している。以下、本実施形態のリニアアクチュエータ200の構成例について説明する。
図15のリニアアクチュエータ200aは、図3で説明したリニアアクチュエータ200のワイヤ接続部204に改造を加えたものである。図3に示した構成では、実装時にワイヤ接続部をフレーム203を挟んでシャフト202に取り付けるもので、ワイヤ固定ネジ205の回転方向の位置(位相)は、実装上の都合により任意の位置にすることが出来る。これに対して、図15に示される一体型リニアアクチュエータの構成では、ワイヤ固定部(接続カバー222とワイヤ固定ネジ205)がシャフト固定部(シャフト固定ネジ221)に回転可能に構成されている。したがって、一体型リニアアクチュエータとして取り付けた後に、ワイヤ固定ネジ205の位置を回転して、好適な位置でワイヤを固定することが可能となっている。なお、図15でも図3と同様に、ワイヤ接続部204は、シャフトの両端の側において、シャフトの軸と同軸になるように駆動ワイヤを装着可能なワイヤ接続機構を提供する構成である。
図16は、リニアアクチュエータ200の更に別の構成例であるリニアアクチュエータ200bを示す図である。図16(a)はリニアアクチュエータ200bの外観を示す図である。図16(b)はリニアアクチュエータ200bの分解図である。外包部材201の貫通孔にシャフト202が挿通され、シャフト202の両端が、ワイヤ接続部204によりフレーム203に所定精度で固定されている。リニアアクチュエータ200bのワイヤ接続部204では、一方の端部にシャフト202のネジ部213に適合したネジ部が形成され、他方の端部にはフック部231が形成されている。ネジ部により、2つの側面パネル2032に形成された所定精度の貫通孔を通してシャフト202の両端部がネジ止めされ、シャフト202が2つの側面パネル2032の間に所定精度で固定されている。ワイヤ接続機構の端部としてのフック部231は、端部がリング状に形成された駆動ワイヤ15をひっかけるためにフック形状を有している。フック部231に、駆動ワイヤ15の端部に形成されたリング1502をひっかけることにより、シャフト202とワイヤが同軸に接続されることになる。
図17は、リニアアクチュエータ200の更に別の構成例であるリニアアクチュエータ200cを示す図である。図17(a)はリニアアクチュエータ200cの外観を示す斜視図、図17(b)はリニアアクチュエータ200cの断面図、図17(c)は、シャフト固定部およびワイヤ接続部の詳細な断面図である。リニアアクチュエータ200cのフレーム203は、底面パネル2031に直交して対向する側面パネル2032の対と、側面パネル2032の対を挟むように設けられた、底面パネル2031に直交して対向する第2側面パネル2033の対とを有する
図18は、リニアアクチュエータ200の更に別の変形例としてのリニアアクチュエータ200dを示す図である。図18(a)はリニアアクチュエータ200dの外観を示す斜視図、図18(b)はリニアアクチュエータ200dの分解図、図18(c)はフレーム203の変形例を示す図である。リニアアクチュエータ200dでは、外包部材201の貫通孔にシャフト202が挿通されたシャフトモータにおいて、シャフト202がその両端にワイヤ接続部204cを有する構成となっている。
図19は、リニアアクチュエータ200の更に別の変形例としてのリニアアクチュエータ200eを示す図である。リニアアクチュエータ200eのワイヤ接続機構は、駆動ワイヤの固定位置を、シャフト202の軸方向に移動させるための構成を含み、これにより駆動ワイヤ15のテンションを調整可能としたものである。一般に駆動ワイヤのテンション調整は、たとえば図14(a)において、プーリ175aのy方向への移動やプーリ175bのx方向への移動によりなされる。しかるに、プーリ移動調整機構の追加を伴うと同時に、テンション調整時のアクセス路を確保する事が必要になり、コストアップに繋がる。これに対し、リニアアクチュエータ200eでは、以下に示すような構成によりフレーム203において駆動ワイヤのテンション調整が可能となる。そのため、使用者はより容易にテンション調整を実施できる。
Claims (30)
- 第1のステージと、
前記第1のステージの面上を第1の方向に相対的に移動する第2のステージと、
手動による駆動力により、前記第2のステージを前記第1の方向へ相対的に移動させるための第1の被駆動部を駆動する第1の駆動手段と、
電動による駆動力により、前記第2のステージを前記第1の方向へ相対的に移動させるための第2の被駆動部を駆動する第2の駆動手段と、を備え、
前記第1の被駆動部と前記第2の被駆動部の少なくとも一部が共通の動作軸を有することを特徴とするステージ装置。 - 前記共通の動作軸は、前記第1の方向と平行であることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記第1の方向は、前記第1および第2のステージに配置されたクロスローラガイドにより規定されることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記第2の駆動手段は、外包部材と前記外包部材を貫通する穴に挿通されたシャフトを有するシャフトモータの外包部材であり、前記第2の被駆動部は前記シャフトモータの前記シャフトであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記第1の駆動手段は、ユーザの手動操作に応じて回転するプーリを有し、前記第1の被駆動部は、前記プーリにより移動するワイヤであることを特徴とする請求項4に記載のステージ装置。
- 前記シャフトを前記第1のステージに固定する固定手段をさらに備え、
前記第2の駆動手段である前記外包部材と前記第1の駆動手段は前記第2のステージに固定され、
前記第1の被駆動部である前記ワイヤが前記シャフトの軸の延長上の位置で、前記シャフトの軸と同軸になるように接続されていることを特徴とする請求項5に記載のステージ装置。 - 前記固定手段は、前記シャフトの両端を固定するための2つの側面パネルと、該2つの側面パネルを固定する底面パネルを有するフレームを含むことを特徴とする請求項6に記載のステージ装置。
- 前記外包部材は前記第2のステージに固定され、前記シャフトは前記第1のステージに固定され、前記シャフトの両端部に前記ワイヤが接続されることを特徴とする請求項5に記載のステージ装置。
- 前記フレームは、前記第1のステージに固定されることを特徴とする請求項7に記載のステージ装置。
- 前記シャフトと前記外包部材の一方がコイルを含み、他方が磁石を含むことを特徴とする請求項4乃至9のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記シャフトの断面が円形状であることを特徴とする請求項4乃至10のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記第1のステージの面上に前記第2のステージを前記第1の方向へ移動可能に積層するためのクロスローラガイドであって、前記第1のステージに配置されるクロスローラガイドは、クロスローラを挿入するための凹部がステージの外部方向を向き、前記第2のステージに配置されるクロスローラガイドはクロスローラを挿入するための凹部が内部方向を向くように配置されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記第2のステージの面上を前記第1の方向とは異なる第2の方向に相対的に移動する第3のステージと、
手動による駆動力により、前記第3のステージを前記第2の方向へ相対的に移動させるための第3の被駆動部を駆動する第3の駆動手段と、
電動による駆動力により、前記第3のステージを前記第2の方向へ相対的に移動させるための第4の被駆動部を駆動する第4の駆動手段とをさらに備え、
前記第3の被駆動部と前記第4の被駆動部の少なくとも一部が共通の動作軸を有することを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記第3の被駆動部と前記第4の被駆動部の共通の動作軸は、前記第2の方向に平行であることを特徴とする請求項13に記載のステージ装置。
- 前記第1の駆動手段及び第3の駆動手段と、前記第2の駆動手段と、前記第4の駆動手段とは、それぞれ前記第2のステージの異なる3つの辺に分散して配置されることを特徴とする請求項13または14に記載のステージ装置。
- 前記第1および第2の駆動手段と前記第1の方向の移動を規定するクロスローラガイドが前記第2のステージの前記第1のステージと対向する面に設けられ、
前記第3および第4の駆動手段と前記第2の方向の移動を規定するクロスローラガイドが前記第2のステージの前記第3のステージと対向する面に設けられることを特徴とする請求項13乃至15のいずれか1項に記載のステージ装置。 - 前記第1および第2の駆動手段と前記第1の方向の移動を規定するクロスローラガイド、および前記第3および第4の駆動手段と前記第2の方向の移動を規定するクロスローラガイドが、前記第2のステージの前記第1のステージと対向する面に設けられることを特徴とする請求項13乃至15のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記第2のステージの面上に前記第3のステージを前記第2の方向へ移動可能に積層するためのクロスローラガイドであって、前記第2のステージに配置されるクロスローラガイドは、クロスローラを挿入するための凹部がステージの外部方向を向き、前記第3のステージに配置されるクロスローラガイドはクロスローラを挿入するための凹部が内部方向を向くように配置されていることを特徴とする請求項13に記載のステージ装置。
- クロスローラを挿入するための凹部が内部方向を向くクロスローラガイドの一つを、前記内部方向へ押し出す力を加えることにより、クロスローラを挿入するための凹部が外部方向を向くクロスローラガイドに対して所定の押圧状態とするための押圧調整手段をさらに備えることを特徴とする請求項12または18に記載のステージ装置。
- 顕微鏡のためのステージ装置であって、
前記顕微鏡に固定されるステージベースと、
前記ステージベースの面上を第1の方向に相対的に移動するyステージと、
観察対象のスライドを載置して、前記yステージの面上を前記第1の方向に直交する第2の方向に相対的に移動するxステージと、
電動による駆動力により、前記yステージを前記第1の方向へ相対的に移動させるための第1のシャフトを駆動する第1のシャフトモータと、
電動による駆動力により、前記xステージを前記第2の方向へ相対的に移動させるための第2のシャフトを駆動する第2のシャフトモータと、
手動による駆動力により、前記yステージを前記第1の方向へ移動させるための第1のワイヤを移動させる駆動手段と、手動による駆動力により、前記xステージを前記第2の方向へ移動させるための第2のワイヤを移動させる駆動手段と、を備え、
前記第1のワイヤが前記第1のシャフトと同軸になるように敷設され、
前記第2のワイヤが前記第2のシャフトと同軸になるように敷設されていることを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 外包部材と、
前記外包部材を貫通する穴に挿通されるシャフトと、
前記シャフトの両端の側において、前記シャフトの軸と同軸になるようにワイヤを装着可能なワイヤ接続機構と、を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 前記外包部材と前記シャフトの一方がコイルを含み、他方が磁石を含むことを特徴とする請求項21に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記ワイヤ接続機構が前記シャフトの両端部に設けられていることを特徴とする請求項21または22に記載のリニアアクチュエータ。
- 底面パネルと、前記底面パネルに直交して対向する2つの側面パネルとを有するフレームをさらに備え、
前記ワイヤ接続機構は、
前記2つの側面パネルに形成された貫通孔を通して前記シャフトの両端部をネジ止めすることで前記シャフトを前記2つの側面パネルの間に固定するネジ部と、
前記ネジ部と同軸となるようにワイヤを固定するワイヤ固定部を有することを特徴とする請求項21または22に記載のリニアアクチュエータ。 - 前記ネジ部は、前記シャフトの軸と前記ネジ部の軸の位置が所定の精度で同軸となるように、前記側面パネルの前記貫通孔と嵌合する円筒部を含むことを特徴とする請求項24に記載のリニアアクチュエータ。
- 底面パネルと、前記底面パネルに直交して対向する側面パネルとを有するフレームをさらに備え、
前記ワイヤ接続機構は前記側面パネルから伸び出ており、前記ワイヤ接続機構のワイヤを接続する位置は、前記シャフトの軸の延長上にあることを特徴とする請求項21に記載のリニアアクチュエータ。 - 底面パネルと、前記底面パネルに直交して対向する第1の側面パネルの対と、前記第1の側面パネルの対を挟むように設けられた前記底面パネルに直交して対向する第2の側面パネルの対とを有するフレームをさらに備え、
前記第1の側面パネルに形成された貫通孔を通して前記シャフトの両端部をネジ止めすることで前記シャフトを前記第1の側面パネルの対の間に固定するネジ部と、
前記ネジ部と同軸となるようにワイヤを前記第2の側面パネルに固定するワイヤ固定部とを有することを特徴とする請求項21または22に記載のリニアアクチュエータ。 - 前記フレームは、前記2つの側面パネルに設けられた前記貫通孔によって規定される軸位置および軸方向に対して所定の位置関係を有する位置基準および軸方向基準を有することを特徴とする請求項24または25に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記ワイヤ接続機構は、端部がリング状に形成されたワイヤをひっかけるフック形状を有することを特徴とする請求項21に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記ワイヤ接続機構は、前記ワイヤの固定位置を、前記シャフトの軸方向に移動させる移動手段をさらに備え、前記ワイヤのテンションを調整可能としたことを特徴とする請求項21乃至29のいずれか1項に記載のリニアアクチュエータ。
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