KR101601903B1

KR101601903B1 - 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치

Info

Publication number: KR101601903B1
Application number: KR1020140140729A
Authority: KR
Inventors: 김종문; 조원일; 이원규
Original assignee: 양 전자시스템 주식회사
Priority date: 2014-10-17
Filing date: 2014-10-17
Publication date: 2016-03-10

Abstract

본 발명은 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에 관한 것으로, 평판 디스플레이 제품의 검사공정에서 스테이지 상면에 고정된 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 가하여 회로 상태를 측정하는 프로브 핀이 부착된 프로브 카드 측에 진동수단을 추가하여 프로브 핀에 인가되는 물리적인 진동을 통해 접촉표면의 산화막을 제거한 후 프로브 핀과 패드면이 전기적으로 원활한 접촉이 이루어질 수 있도록 한 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명은, 일정 높이를 갖는 지점에 고정 설치되는 플레이트 상에 글라스의 안치를 위한 스테이지가 형성되고, 그 상측에는 글라스에 형성된 전극 및 패드 등에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 다수 개의 프로브 핀을 포함하는 프로브 카드가 구비된 프로브 헤드가 설치되며, 상기 프로브 헤드는 리니어 모터를 매개로 X축 및 Y축으로 이송 가능하게 구성된 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에 있어서, 상기 프로브 헤드의 일정 지점에는 특정 파형, 주파수, 진폭의 진동을 발생시켜 프로브 핀의 단부 측으로 전달하는 진동자로 이루어진 진동수단이 구비되어 구성된다.

Description

프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치{PROBE TEST APPARATUS FOR FLAT PANNEL DISPLAY}

본 발명은 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 디스플레이 제품의 검사공정에서 스테이지 상면에 고정된 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 가하여 회로 상태를 측정하는 프로브 핀이 부착된 프로브 카드 측에 진동수단을 추가로 구성하여 프로브 핀과 소자 표면 사이에 산화막 및 기타 이물질로 인하여 발생될 수 있는 측정 불량 현상을 해소할 수 있도록 한 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display)에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display: LCD)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계 방출 디스플레이 소자(Field Emission Display: FED) 등이 포함된다.

이러한 평판 디스플레이의 제조에 있어서는 하부 기판의 제조공정과, 상부 기판의 제조공정, 그리고 하부 기판과 상부 기판의 합착공정 등의 공정이 진행되게 된다.

이에 대해 보다 상세히 설명하면, 하부 기판을 제조하기 위한 글래스 원판 상에 다수의 셀들을 형성하고, 이 셀에 다수의 수평 라인과 수직 라인들을 매트릭스 형태로 서로 교차하도록 형성하며, 수평 라인과 수직 라인의 교차부마다 투명한 화소 전극을 포함하는 화소 셀들을 형성한다.

그리고, 화소 셀들에는 수평 라인과 수직 라인 및 화소 전극에 접속되는 박막 트랜지스터를 형성한다.

또, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀들은 검사공정을 거친 후 스크라이빙 공정에 의해 절단이 되며, 이렇게 글래스 원판에서 절단된 다수의 셀, 즉 하부 기판 각각은 상부 기판의 제조공정에서 완성된 상부 기판과 합착되고, 화소 셀들을 구동하기 위한 구동회로 및 여러 가지 요소들이 조립됨으로써 하나의 평판 디스플레이가 완성되게 된다.

이때, 상술한 바와 같은 평판 디스플레이의 제조공정 중, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀에 대한 검사공정에서는 전기적 특성 시험장치를 이용하여 회로패턴에 전기적인 테스트 신호를 인가함으로써 회로의 상태를 검사하게 된다.

상기 평판 디스플레이(FPD: Flat Panel Display) 제품상의 전기적 소자 측정 방법은 크게 두가지로 나눌 수 있는데, 먼저 첫번째 방법은 실제 구동 소자를 직접 컨텍하여 전기적 특성을 측정하는 방법이며, 두번째 방법은 실제 구동 소자 이외의 테그(TEG)를 생성하여 실제 소자의 그림자 값을 측정하는 방법이다.

상술한 첫번째 방법인 실제 구동 소자를 측정하는 방법은 실제 구동되는 소자를 측정 하므로 측정값의 신뢰도가 매우 높고 소자 고유의 특성뿐만 아니라 소자가 위치한 영역의 특성, 예컨대 소자의 글라스 상에 생성된 도선길이의 저항 등을 충실히 반영하여 별다른 측정 데이터의 변환없이 사용함으로 측정값의 왜곡이 적은 장점이 있으나, 실제 구동 소자의 표면은 매우 작으며 또한 개구율 개선을 위해 점점 더 작아지는 추세여서 탐침이 컨텍하는데 어려움이 따름과 아울러 탐침 컨텍 시의 압력 및 미끄리짐 등과 같은 물리적인 조건의 미세한 변화로도 측정 대상 소자가 파손될 수 있어 고도의 컨텍기술을 필요로 하는 문제점이 발생하게 된다.

또한, 두번째 방법인 실제 구동 소자 이외의 테그(TEG)를 생성하여 측정하는 방법은 전기적 특성만을 위해 별도의 소자를 생성 함으로써 넓은 영역의 패드면으로 컨텍이 용이하고 소자면이 아닌 패드면을 컨텍하므로서 물리적인 영향에 의한 소자의 파손도 거의 발생되지 않는 장점이 있으나, 실제 구동소자가 아닌 별도의 소자를 독립적으로 생성하여 측정하므로 실제 소자의 측정값이 아닌 상대 값(그림자 값)을 사용함에 따라 실제 소자의 특성을 100% 대변하지 못하고 실제 소자에는 존재하는 인접 소자와의 전기적 관계를 측정할 수 없으므로 실제 소자의 측정값과의 비교를 통한 데이터 환상 값을 사용하므로 측정 신뢰성이 실제 소자의 직접 측정 방법에 비해 떨어지는 문제점이 발생하게 된다.

한편, 상기 평판 디스플레이 제품의 소자는 다양한 종류의 반도체 화합물로 조성되는데, 최근에는 전통적인 Si계열 이외에 아연주석산화물(InGaZnO4) 등 반도체 산화물 계열을 이용한 디스플레이 제품에 대한 개발이 활발히 진행되고 있는 실정이다.

여기에서, 텅스텐으로 제작된 프로브 핀을 통한 정상적인 상태에서의 소자표면이나 패드표면의 컨텍은 금속과 반도체 물질과의 전기적 접촉으로 비교적 낯은 수준인 수 내지 수십 오옴 정도의 컨텍 저항을 갖게 되므로, 전기적 측정이 이루어지는 매우 낮은 전류(10E - 14A)의 측정 결과 값에는 크게 영향을 미치지는 않게 된다.

또한, 소자로 이루어진 유리기판은 노광, 식각, 세정 등과 같은 여러 공정을 반복적으로 거치면서 공정조건에 따라 디바이스 또는 패드표면에 산화막이 생성 될 수 있는데, 이러한 소자 생성 중의 산화막은 소자 품질에 큰 영향을 미치므로 여러가지 기법을 통하여 철저히 관리가 이루어지고 있다.

또, 소자 생성이 끝난 유리기판은 비교적 산화막에 의한 품질영향이 적어 추가적인 공정을 투입하는 것이 비용대비 효과로 볼 때 불필요한 실정이다.

그러나, 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에서의 프로브 스테이션의 경우, 소자 생성이 완료된 상태에서의 측정이 이루어지고 공정 상황에 따라 유리기판이 상당기간 대기중에 노출된 후에 특정 작업이 진행되는 경우도 있으며, 또한 이전의 세정 공정 상황에 따라 소자표면이나 테그 표면의 산화막 생성 상태가 상당부분 다를 수 있게 된다.

이때, 상술한 바와 같이 산화막이 생성되면 두께에 따라 수 십[KΩ] 내지 수 십 [MΩ]의 접촉저항이 발생하고, 이는 측정 품질저하에 직접적인 원인이 되게 된다.

직접 컨텍 방식에서, 비교적 무른 성질의 반도체 산화물을 컨텍 할 경우, 수 내지 수 십 옹스트롱 정도의 산화막은 비교적 쉽게 파괴되어 정상적인 측정이 이루어질 수 있지만, 이 경우에도 소자의 크기가 너무 작거나 여타의 이유로 소자를 직접 컨텍하지 못하고 인접한 배선 등을 컨텍하는 경우에는 산화막에 의한 컨텍 저항이 문제 될 수 있게 된다.

특히, 테그 컨텍용 패드의 경우, 통상적으로 크롬을 많이 사용하게 되는데, 상기 크롬은 단단한 장점이 있는데 반해, 온도, 습기, 세정액 상태 등과 같은 특정 조건에서 빠른 시간동안 산화막이 생성되는 문제점이 발생하게 된다.

종래에는 이러한 문제점을 해소하기 위하여 로듐, 은파라듐, 백금합금 등과 같은 전기적 저항을 낮추기 위한 특수 합금으로 프로브 핀을 제작하여 사용하였지만, 이는 약간의 개선 효과는 있으나 근본적인 해결 방법은 되지 못하고 특히 텅스텐에 비해 내구성이 현저히 줄어드는 문제점이 발생하게 되었다.

국내 등록특허 제10-1062983호

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 평판 디스플레이 제품의 검사공정에서 스테이지 상면에 고정된 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 가하여 회로 상태를 측정하는 프로브 핀이 부착된 프로브 카드 측에 진동수단을 추가하여 프로브 핀에 인가되는 물리적인 진동을 통해 접촉표면의 산화막을 제거한 후 프로브 핀과 패드면이 전기적으로 원활한 접촉이 이루어질 수 있도록 한 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치를 제공하고자 하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치는, 일정 높이를 갖는 지점에 고정 설치되는 플레이트 상에 글라스의 안치를 위한 스테이지가 형성되고, 그 상측에는 글라스에 형성된 전극 및 패드 등에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 다수 개의 프로브 핀을 포함하는 프로브 카드가 구비된 프로브 헤드가 설치되며, 상기 프로브 헤드는 리니어 모터를 매개로 X축 및 Y축으로 이송 가능하게 구성된 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에 있어서, 상기 프로브 헤드의 일정 지점에는 특정 파형, 주파수, 진폭의 진동을 발생시켜 프로브 핀의 단부 측으로 전달하는 진동자로 이루어진 진동수단이 구비되어 구성된 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 진동수단은, 장치의 제어를 위한 메인 컨트롤 PC와 연계되어 상기 메인 컨트롤 PC로부터의 지령에 따라 특정 파형, 주파수, 진폭의 진동이 생성될 수 있도록 내장된 조건으로 전기신호 발생시키는 진동 컨트롤러 및, 상기 진동 컨트롤러로부터의 전기신호를 진동자가 진동할 수 있는 충분한 전류로 신호를 증폭시키는 진동 AMP와 연계되어 제어가 이루어지는 것을 특징으로 한다.

더 바람직하게, 상기 진동수단은, 피에조 진동자, 리니어 진동자, 보이스코일, 진동모터 중 어느 하나로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 평판 디스플레이 제품의 검사공정에서 스테이지 상면에 고정된 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 가하여 회로 상태를 측정하는 프로브 핀이 부착된 프로브 카드 측에 진동수단을 추가로 구성하므로서, 프로브 핀에 인가되는 물리적인 진동을 통해 접촉표면의 산화막 또는 표면 이물질로 인해 발생되는 표면저항에 의한 오계측을 크게 저감시킬 수 있는 효과가 있게 된다.

또한, 특정 제품의 생산 시, 제조 공정상 패드의 금속표면에 ITO막을 입히는 공정이 추가되어, 이 경우 전기적 측정을 위해서는 ITO막을 제거하는 별도의 공정을 필요로 하게 되는데, 진동수단이 구비된 프로브 핀을 통해서는 ITO막이 두껍지 않은 경우, 별도의 ITO막 제거공정 없이도 프로브 핀을 이용하여 바로 ITO 막을 제거할 수 있는 효과가 있게 된다.

그리고, 종래의 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에서는 프로브 핀의 클리닝 작업 시 연마젤에 핀을 삽입시켜 핀에 붙은 이물질을 제거하게 되는데, 이때 프로브 핀에 진동이 추가됨에 따라 클리닝 효율을 개선할 수 있는 효과도 있게 되는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치가 적용되는 시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치의 프로브 헤드 측 구성을 나타내는 평면도 및 일측면도,
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치를 통한 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 시스템의 동작상태를 나타내는 평면도 및 일측면도,
도 4는 본 발명에 따른 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치를 통한 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 시스템의 동작과정을 나타내는 도면이다.

이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

먼저, 본 발명에 따른 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치는, 평판 디스플레이 제품의 검사공정에서 스테이지(100) 상면에 고정된 글라스(400)의 회로 패턴에 전기적 신호를 가하여 회로 상태를 측정하는 프로브 핀(12)이 부착된 프로브 카드(10) 측에 진동수단(20)을 추가로 구성하여, 상기 프로브 핀(12)에 인가되는 물리적인 진동을 매개로 프로브 핀(12)과 접촉하는 글라스(400)의 테그 패드(410)의 산화막(500)을 제거한 후 프로브 핀과 패드면이 전기적으로 원활하게 접촉 가능하도록 구현된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치는 수평 및 수직라인의 교차부에 트랜지스터가 형성되어 구성되는 FPD 글라스의 검사를 수행하기 위한 것으로서, 일정 높이를 갖는 지점에 고정 설치되는 플레이트 상에 글라스(400)의 안치를 위한 스테이지(100)가 형성되고, 그 상측에는 글라스(400)에 형성된 전극 및 패드(410) 등에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 다수 개의 프로브 핀(12)을 포함하는 프로브 카드(10)가 구비된 프로브 헤드(300)가 적어도 한 개 이상 설치되며, 상기 프로브 헤드(300)는 리니어 모터(200)를 매개로 X축 및 Y축으로 이송 가능한 구조로 구성된다.

여기에서, 본 발명에서의 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에 따라, 상기 프로브 헤드(300)에서 프로브 핀(12)을 포함하는 프로브 카드(10)를 지지하는 기구물인 브라켓트(310) 또는 그 주위의 일정 위치에는 높은 주파수의 진동을 발생시켜 해당 프로브 핀(12)의 단부 측이 진동되도록 하는 소정 진동수단(20)이 구비되어 구성된다.

본 발명의 실시예에서 상기 진동수단(20)은 프로브 헤드 본체 및 브라켓트(310)의 사이에 설치되어 구성되되, 상기 진동수단(20)은 각 장치의 진동 특성에 따라 프로브 카드(10)나 그 이외의 다양한 지점에 설치될 수 있다.

또, 상기 진동수단(20)은 피에조 진동자나 리니어 진동자, 보이스코일, 진동모터 중 어느 하나의 부재를 통해 구성될 수 있다.

상기 진동수단의 제어를 위해, 상기 평판 디스플레이용 전기적 시험 특정 장치에는 진동 컨트롤러(40)가 추가로 구비되어 구성되며, 상기 진동 컨트롤러(40)는 장치의 제어를 위한 메인 컨트롤 PC(30)와 연계되어, 상기 메인 컨트롤 PC(30)로부터의 지령에 따라 진동자가 진동할 수 있는 충분한 전류로 신호를 증폭시키는 진동 AMP(50)를 매개로 상기 진동수단(20)을 제어하도록 이루어지며, 이에 상기 진동수단(20)은 구형파, 싸이파, 톱니파, 순간펄스파 등을 포함하는 파형, 주파수, 진폭 등이 선택적으로 조절될 수 있게 되고, 이를 통해 프로브 핀(12)의 내구성 및 산화막 제거특성 사이의 조건을 조절할 수가 있게 되는 것이다.

이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명에 따라, 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에서 프로브 카드(10)가 장착되는 프로브 헤드(300) 일정 위치에는 소정 진동을 생성하는 진동수단(20)이 구비되어 구성되되, 상기 진동수단(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 여러 방향으로 진동을 결정 할 수가 있으며, 이는 구조물에 따라 다양하게 변경 가능하다.

도 2의 (가)는 태그 컨텍용 프로브 헤드를 나타내며, (나)는 실 구동소자 직접 컨텍용 프로브 헤드를 나타낸다.

한편, 상기 진동수단(20)의 구동에 따른 진동이 전달되는 프로브 핀(12)의 단부의 면적은 대략 0.0006mm^2 이내로 매우 미세하므로, 작은 진동으로도 프로브 핀(12)의 단부 측에는 매우 큰 힘이 전달되게 되며, 이에 진동을 미세하면서 정밀하게 조정해야만 한다.

즉, 진동이 큰 경우, 텅스텐 재질의 프로브 핀이라 하여도 쉽게 파손이 일어날 수 있으며, 반대로 진동이 작은 경우, 접촉표면에 형성된 산화막이 벗겨지지 않는 현상이 나타날 수 있게 된다.

특히, 접촉표면에 형성된 산화막의 두께는 항상 일정치 않으므로, 파형, 주파수, 진폭 등을 조절하여 최적의 조건으로 동작시켜야만 한다.

본 발명에 따른 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치를 매개로 평판 디스플레이의 검사를 위해 프로브 핀(12)이 검사를 위한 글라스(400)의 접촉표면인 테그 패드(410)에 접촉되어 동작되는데 있어서는, 먼저 장치의 프로브 헤드(300)의 이송을 통해 상기 프로브 핀(12)이 테그 패드(410)에 접촉한 상태에서, 시스템의 제어를 위한 메인 컨트롤 PC(30)에서는 접촉표면의 산화막(500) 제거를 위한 최적조건의 파형, 주파수, 진폭 및 유지시간 등의 정보에 관한 지령을 진동 컨트롤러(40) 측으로 전송하게 된다(S 1).

이에, 상기 메인 컨트롤 PC(30)로부터 지령을 수신한 진동 컨트롤러(40)는 지령에 따른 유지시간에 걸쳐 진동수단(20)을 구성하는 진동자로부터 특정 파형, 주파수, 진폭에 따른 진동이 생성될 수 있도록 내장된 조건으로 지령 진동 전기신호 발생시키게 되고(S 2), 상기 진동 컨트롤러(40)로부터의 전기신호는 진동 AMP(50)를 통해 진동수단(20)을 진동시킬수 있는 충분한 전류로 증폭이 이루어지게 되며(S 3), 이에 따라 상기 진동수단(20)을 구성하는 진동자로부터 진동이 발생되어 해당 프로브 핀(12) 측으로 전달될 수 있게 된다(S 4).

이때, 상기 진동수단(20)과 프로브 핀(12)의 끝단 사이의 구조물(브라켓트, 프로브 카드, 프로브 핀 등)에는 물리적 임피던스가 존재하며, 이에 임피던스에 의한 전달함수 f(x)에 의해 진동특성이 변화하면서 통상적으로 주파수는 감소하고 진폭은 커지는 방향으로 진동이 변조되어, 상기 진동수단(20)으로부터 발생된 진동이 프로브 핀(12)의 단부 측으로 전달되게 된다(S 5).

상기 프로브 핀(12)의 단부에 변조되어 전달된 진동은 검사를 위한 테그 패드(410)의 접촉표면에 형성된 산화막(500) 또는 이물질 등을 파괴하여 해당 프로브 핀(12)이 테그 패드(410)에 정상적으로 컨텍될 수 있도록 하게 되며(S 6), 이에 따라 산화막(500) 또는 표면 이물질로 인한 표면저항에 의한 검사작업 시의 오계측을 저감시킬 수가 있게 되는 것이다.

한편, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출 된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 내에 속하게 됨은 물론이다.

10: 프로브 카드, 12: 프로브 핀,
20: 진동수단(진동자), 30: 메인 컨트롤 PC,
40: 진동 컨트롤러, 50: 진동 AMP,
100: 스테이지, 200: 리니어 모터,
300: 프로브 헤드, 310: 브라켓트,
400: 글라스, 410: 테그 패드(Teg pad),
500: 산화막(이물질).

Claims

일정 높이를 갖는 지점에 고정 설치되는 플레이트 상에 글라스의 안치를 위한 스테이지가 형성되고, 그 상측에는 글라스에 형성된 전극 및 패드 등에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 다수 개의 프로브 핀을 포함하는 프로브 카드가 구비된 프로브 헤드가 설치되며, 상기 프로브 헤드는 리니어 모터를 매개로 X축 및 Y축으로 이송 가능하게 구성된 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치에 있어서,
상기 프로브 헤드의 일정 지점에는 특정 파형, 주파수, 진폭의 진동을 발생시켜 프로브 핀의 단부 측으로 전달하는 진동자로 이루어진 진동수단이 구비되되,
상기 진동수단은 피에조 진동자, 리니어 진동자, 보이스코일, 진동모터 중 어느 하나로 구성되며,
상기 진동수단은, 장치의 제어를 위한 메인 컨트롤 PC와 연계되어 상기 메인 컨트롤 PC로부터의 지령에 따라 특정 파형, 주파수, 진폭의 진동이 생성될 수 있도록 내장된 조건으로 전기신호 발생시키는 진동 컨트롤러 및, 상기 진동 컨트롤러로부터의 전기신호를 진동자가 진동할 수 있는 충분한 전류로 신호를 증폭시키는 진동 AMP와 연계되어 제어가 이루어지도록 구성되어,
상기 메인 컨트롤 PC에서 접촉표면의 산화막 제거를 위한 최적조건의 파형, 주파수, 진폭 및 유지시간의 정보에 관한 지령을 상기 진동 컨트롤러 측으로 전송함에 따라, 상기 진동 컨트롤러가 해당 지령에 따른 유지시간에 걸쳐 진동수단을 구성하는 진동자로부터 특정 파형, 주파수, 진폭에 따른 진동이 생성될 수 있도록 내장된 조건으로 지령 진동 전기신호 발생시키도록 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치.
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