JP2011154024A - 極微細ピッチ検査用プローブユニット - Google Patents

極微細ピッチ検査用プローブユニット Download PDF

Info

Publication number
JP2011154024A
JP2011154024A JP2011007041A JP2011007041A JP2011154024A JP 2011154024 A JP2011154024 A JP 2011154024A JP 2011007041 A JP2011007041 A JP 2011007041A JP 2011007041 A JP2011007041 A JP 2011007041A JP 2011154024 A JP2011154024 A JP 2011154024A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
contact
probe unit
row
contact portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011007041A
Other languages
English (en)
Inventor
Hun Min Kim
ミン キム，ヒュン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kodi S Co Ltd
Original Assignee
Kodi S Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kodi S Co Ltd filed Critical Kodi S Co Ltd
Publication of JP2011154024A publication Critical patent/JP2011154024A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/05—Flexible printed circuits [FPCs]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するもので、より詳細には、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できる極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するものである。
【解決手段】本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニットは、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が２列以上に形成されるプローブシートと、前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材とを含む。
【選択図】図７

Description


本発明は、極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するもので、より詳細には、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できる極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するものである。

液晶パネルやＯＬＥＤなどの平板表示素子は、複雑な製造工程を通して製造されるが、これら製造工程の間に検査工程が行われる。以下では、液晶パネルを例に挙げて説明する。

図１は、一般的な液晶パネル１００のセル構造を示した図である。図示したように、液晶パネル１は、ＴＦＴ基板１２及びカラーフィルタ基板１４を備えており、前記ＴＦＴ基板１２には、縁部に沿って液晶パネルを駆動する駆動チップが実装されたり、又はＴＡＢ ＩＣ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ ＩＣ）が連結されるパッド１８が形成される。

プローブユニットは、前記パッド１８にＴＡＢ ＩＣなどを連結する前に液晶パネル１を電気的に検査するときに使用される。従来のプローブユニットは、ニードルやブレードがパッド電極に接触した状態で液晶パネルの駆動信号を印加して検査していた。

しかし、ニードルやブレードを製造し、これらを一定のピッチで配列することが非常に難しいので、最近、フィルムタイプのプローブユニットが開示された。

以下、図２及び図３を参照して従来のフィルムタイプのプローブユニット１００を説明する。図示したように、ボディーブロック１１０の底面にプローブシート１３０及びＦＰＣ１４０が備えられる。前記プローブシート１３０は、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、液晶パネルを駆動する駆動チップが前記パターン配線と連結されるように実装される。

また、前記パターン配線１３２の特定位置は、被検査体１のパッドに形成されたパッド電極１８ａ、１８ｂと接触する接触部になる。図３では、パターン配線１３２の端がパッド電極１８ａ、１８ｂに接触する接触部１３３ａ、１３３ｂになる。

また、前記ボディーブロック１１０には、前記接触部１３３ａ、１３３ｂを液晶パネル１に対して加圧するための加圧部材１２０が備えられる。

図４〜図６を参照すると、場合に応じて接触部１３３ａ、１３３ｂは、極微細ピッチ検査のためにジグザグ状に２列に形成されることもある。すなわち、接触部１３３ａ、１３３ｂは、第１の列接触部１３３ａ及び第２の列接触部１３３ｂを備えており、これらがそれぞれ第２の列パッド電極１８ｂ及び第１の列パッド電極１８ａに接触する。したがって、前記加圧部材１２０の底面は、第１の列接触部１３３ａと第２の列接触部１３３ｂを同時に加圧するための加圧面積（Ｍ０）を有するように形成される。

しかし、このように形成された従来のプローブユニット１００においては、全ての列の接触部がパッド電極に接触できない場合がある。図６に示すように、第１の列接触部１３３ａは第２の列パッド電極１８ｂに接触するが、第２の列接触部１３３ｂが第１の列パッド電極１８ａに接触できないという問題が発生する。

本発明は、上述した問題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できる極微細ピッチ検査用プローブユニットを提供することにある。

前記のような技術的課題を解決するために、本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニットは、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が２列以上に形成されるプローブシートと、前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材と、を含む。

また、前記加圧部材には、前記接触部の各列を独立的に加圧するために底面に横方向に溝部が形成されることが望ましい。

また、前記加圧部材は、前記接触部を弾性的に加圧することが望ましい。

また、前記加圧部材は、非金属材質で形成されることが望ましい。

また、前記接触部は、前記パターン配線から突出形成されることが望ましい。

また、前記接触部の各列はジグザグ状に形成されることが望ましい。

また、前記プローブシートには、前記被検査体を駆動する駆動チップがさらに実装されることが望ましい。

本発明によれば、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できるという効果がある。

一般的な液晶パネルを示した図である。 従来のフィルムタイプのプローブユニットを示した図である。 従来のフィルムタイプのプローブユニットを示した図である。 従来のプローブユニットの使用状態を示した図である。 従来のプローブユニットの使用状態を示した図である。 従来のプローブユニットの使用状態を示した図である。 本発明によるプローブユニットを示した図である。 図７に示したプローブユニットの使用状態を示した図である。 図７に示したプローブユニットの使用状態を示した図である。

以下、添付の図面を参照して本発明による実施例を説明する。

図７及び図８を参照すると、本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニット２００は、ボディーブロック２１０、プローブシート２３０、ＦＰＣ２４０及び加圧部材２２０を備えている。

本実施例において、プローブシート２３０は、被検査体の完製品に付着されるＴＡＢ ＩＣである。すなわち、絶縁フィルム２２１上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の端が被検査体のパッドに接触する接触部２３３ａ、２３３ｂになる。また、前記接触部２３３ａ、２３３ｂは、前記パターン配線から液晶パネル方向に突出形成されていることが分かる（図７参照）。すなわち、パッド電極１８ａ、１８ｂ（図６参照）との接触を容易にするために、パターン配線上にバンプが形成される。

また、本実施例において、プローブシート２３０の接触部２３３ａ、２３３ｂは、極微細ピッチに対応するためにジグザグ状の２列に形成される（図８参照）。

特に、本実施例は、前記加圧部材２２０には、接触部の各列を独立的に加圧するために、その底面に横方向に溝部２２３が形成されていることが分かる。加圧部材２２０の底面には、前記溝部２２３を挟んで第１の加圧部２２１と第２の加圧部２２２が形成される。前記第１の加圧部２２１は第１の列接触部２３３ａを加圧し、第２の加圧部２２２は第２の列接触部２３３ｂを加圧する。図中、未説明符号Ｍ１は、第１の加圧部２２１の加圧面積を示し、Ｍ２は、第２の加圧部２２２の加圧面積を示す。

図９を参照すると、前記プローブシート２３０の第１の列接触部２３３ａが第２の列パッド電極１８ａに接触し、第２の列接触部２３３ｂが第１の列パッド電極１８ｂに接触した状態で加圧部材２２０を用いて加圧すると、第１の列接触部２３３ａと第２の列接触部２３３ｂは、それぞれ第１の加圧部２２１と第２の加圧部２２２によって別々に加圧される。したがって、圧力が第１の列接触部２３３ａと第２の列接触部２３３ｂに均一に伝達され、接触性能が向上する。

本実施例では、プローブシート２３０がＴＡＢ ＩＣである場合を説明したが、これと異なり、パターン配線が形成された絶縁フィルムに駆動チップを実装することによって、プローブシートをＴＡＢ ＩＣとは別途に形成することもできる。いずれの場合においても、接触部とパッド電極のピッチは一致する。

また、本実施例は、プローブシートに駆動チップが実装される場合を説明したが、これと異なり、駆動チップが実装されたＴＡＢ ＩＣが別途に備えられることもある。すなわち、プローブシートには駆動チップが実装されず、接触部が形成されたパターン配線のみが形成され、前記プローブシートの後端には駆動チップが実装されたＴＡＢ ＩＣが連結され、前記ＴＡＢ ＩＣの後端にＦＰＣが連結される。

２００：プローブユニット、２１０：ボディーブロック、２２０：加圧部材、２２３：溝部、２３０：プローブシート、２３５：駆動チップ、２４０：ＦＰＣ

Claims (7)

  1. 絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が２列以上に形成されるプローブシートと、
    前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、
    前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材と、を含むことを特徴とする極微細ピッチ検査用プローブユニット。
  2. 前記加圧部材には、前記接触部の各列を独立的に加圧するために、底面に横方向に溝部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
  3. 前記加圧部材は前記接触部を弾性的に加圧することを特徴とする、請求項２に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
  4. 前記加圧部材は非金属材質で形成されることを特徴とする、請求項３に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
  5. 前記接触部は前記パターン配線から突出形成されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
  6. 前記接触部の各列はジグザグ状に形成されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
  7. 前記プローブシートには前記被検査体を駆動する駆動チップがさらに実装されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
JP2011007041A 2010-01-25 2011-01-17 極微細ピッチ検査用プローブユニット Pending JP2011154024A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20100006569 2010-01-25
KR10-2010-0006569 2010-01-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011154024A true JP2011154024A (ja) 2011-08-11

Family

ID=44296000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011007041A Pending JP2011154024A (ja) 2010-01-25 2011-01-17 極微細ピッチ検査用プローブユニット

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2011154024A (ja)
KR (1) KR101039338B1 (ja)
CN (1) CN102136234B (ja)
TW (1) TW201142305A (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101160076B1 (ko) 2012-04-03 2012-06-26 주식회사 프로이천 패널 테스트를 위한 필름타입 프로브블록
CN102636911B (zh) * 2012-04-24 2014-06-25 深圳市华星光电技术有限公司 配向电压施加装置及配向电压施加方法
KR101416161B1 (ko) 2014-03-17 2014-07-14 주식회사 프로이천 패널 테스트를 위한 프로브블록 및 이에 사용되는 탄성부재
CN106959381A (zh) * 2017-03-22 2017-07-18 京东方科技集团股份有限公司 一种面板测试装置
CN110412321B (zh) * 2019-07-17 2021-08-13 上海华力微电子有限公司 触点单元结构及其构成的矩阵探针卡

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07270817A (ja) * 1994-04-01 1995-10-20 Enplas Corp 液晶パネル検査用コンタクト装置
JPH0989932A (ja) * 1995-09-21 1997-04-04 Enplas Corp 表示パネル検査用ソケット
JP2008304257A (ja) * 2007-06-06 2008-12-18 Micronics Japan Co Ltd プローブユニット及び検査装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6650134B1 (en) * 2000-02-29 2003-11-18 Charles A. Schein Adapter assembly for connecting test equipment to a wireless test fixture
JP2004354369A (ja) * 2003-05-01 2004-12-16 Yamaha Corp プローブユニット及びその製造方法
KR100636502B1 (ko) * 2005-08-31 2006-10-18 삼성에스디아이 주식회사 원장단위 검사가 가능한 유기 전계발광표시장치 및 그검사방법
KR20070051246A (ko) * 2005-11-14 2007-05-17 주식회사 리뷰텍 액정디스플레이패널 검사용 프로브 유닛
TWI360182B (en) * 2007-10-05 2012-03-11 Ind Tech Res Inst Method for making a conductive film
KR100972049B1 (ko) 2009-03-10 2010-07-22 주식회사 프로이천 패널 테스트를 위한 프로브 유닛
KR100967161B1 (ko) 2010-03-23 2010-07-05 (주)유비프리시젼 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비한 프로브 블록

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07270817A (ja) * 1994-04-01 1995-10-20 Enplas Corp 液晶パネル検査用コンタクト装置
JPH0989932A (ja) * 1995-09-21 1997-04-04 Enplas Corp 表示パネル検査用ソケット
JP2008304257A (ja) * 2007-06-06 2008-12-18 Micronics Japan Co Ltd プローブユニット及び検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201142305A (en) 2011-12-01
CN102136234A (zh) 2011-07-27
KR101039338B1 (ko) 2011-06-08
CN102136234B (zh) 2013-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011154024A (ja) 極微細ピッチ検査用プローブユニット
JP2006276115A (ja) 液晶モジュール
JPH1130962A (ja) 液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの検査方法
JP2008244069A (ja) 表示装置、ｃｏｆの製造方法
KR101063186B1 (ko) 극 미세피치를 갖는 프로브유닛
JP2011149938A (ja) フィルムタイプのプローブユニット及びその製造方法
KR101177510B1 (ko) Ｃｏｇ패널 검사용 프로브유닛
US9477123B2 (en) Liquid crystal display device and production method thereof
TWI471573B (zh) 顯示裝置及其電路板模組
KR101063187B1 (ko) 필름타입 프로브유닛
TWI437934B (zh) 介面模組及其製造方法
JP2008233425A (ja) 平面表示装置検査用のコネクタユニット
KR101177514B1 (ko) Ｃｏｇ패널 검사용 프로브유닛
KR101177513B1 (ko) Ｃｏｇ패널 검사용 프로브유닛
JP2011047919A (ja) 集積回路接触プローブユニット及びその製造方法
KR102014428B1 (ko) 표시 장치용 검사 장치 및 그 제조 방법
JP2006163012A (ja) 表示パネル、その表示パネルを用いた表示装置、及び表示パネルの製造方法
KR100952138B1 (ko) 프로브 조립체 제조방법
KR101177515B1 (ko) Ｃｏｇ패널 검사용 프로브유닛
KR100929649B1 (ko) 프로브 조립체 제조방법
KR101057594B1 (ko) Ｆｐｄ 검사용 프로브유닛
KR101177512B1 (ko) Ｃｏｇ패널 검사용 프로브유닛
KR101063191B1 (ko) Ｃｏｇ패널 검사용 프로브유닛
KR101177511B1 (ko) Ｃｏｇ패널 검사용 프로브유닛
KR100931563B1 (ko) 복수열 구조의 프로브 조립체 및 그의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111228

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121227

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130618