KR101039338B1

KR101039338B1 - 극 미세피치 검사용 프로브유닛

Info

Publication number: KR101039338B1
Application number: KR1020100121328A
Authority: KR
Inventors: 김헌민
Original assignee: 주식회사 코디에스
Priority date: 2010-01-25
Filing date: 2010-12-01
Publication date: 2011-06-08
Also published as: CN102136234B; JP2011154024A; CN102136234A; TW201142305A

Abstract

본 발명은 극 미세피치 검사용 프로브유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브시트의 접촉부가 2열 이상으로 형성된 경우에도 각 열을 피검사체에 안정적으로 접촉할 수 있는 극 미세피치 검사용 프로브유닛에 관한 것이다.
본 발명에 의한 극 미세피치 검사용 프로브유닛은 절연필름상에 패턴배선이 형성되며, 상기 패턴배선의 특정위치가 피검사체에 접촉하는 접촉부가 되며, 상기 접촉부는 2열 이상으로 형성되는 프로브시트; 상기 프로브시트가 고정되는 바디블록; 및 상기 바디블록에 구비되어 상기 접촉부를 피검사체에 대하여 가압하되, 상기 접촉부의 각 열을 독립적으로 가압하는 가압부재;를 포함한다.

Description

극 미세피치 검사용 프로브유닛{PROBE UNIT TESTING MICRO PITCH ARRAY}

본 발명은 극 미세피치 검사용 프로브유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브시트의 접촉부가 2열 이상으로 형성된 경우에도 각 열을 피검사체에 안정적으로 접촉할 수 있는 극 미세피치 검사용 프로브유닛에 관한 것이다.

액정패널이나 OLED 등 평판표시소자는 복잡한 제조공정을 통해 제조되는데, 이러한 제조공정 사이에 검사공정이 수행된다. 이하에서는 액정패널을 예로 설명한다.

도 1은 일반적인 액정패널(100)의 셀구조를 도시한 것이다. 도시된 바와 같이 액정패널(1)은 TFT기판(12)과 칼라필터기판(14)을 구비하며, 상기 TFT기판(12)에는 가장자리를 따라 액정패널을 구동하는 구동칩이 실장되거나 또는 탭아이씨(Tape Automated Bonding IC)가 연결되는 패드(18)가 형성된다.

상기 패드(18)에 탭아이씨 등을 연결하기 전에 액정패널(1)을 전기적으로 검사하는데 프로브유닛이 사용된다. 종래의 프로브유닛은 니들이나 블레이드를 패드전극에 접촉한 상태에서 액정패널의 구동신호를 인가하여 수행되어 왔다.

그러나 니들이나 블레이드를 제조하고, 일정한 피치로 배열하는 것이 매우 어렵기 때문에 최근에 필름타입 프로브유닛이 개시되었다.

도 2 및 도 3을 참조하여 종래의 필름타입 프로브유닛(100)을 설명한다. 도시된 바와 같이, 바디블록(110)의 저면에 프로브시트()와 FPC가 구비된다. 상기 프로브시트는 절연필름상에 패턴배선이 형성되고, 액정패널을 구동하는 구동칩이 상기 패턴배선과 연결되도록 실장된다.

또한 상기 패턴배선(132)의 특정위치가 피검사체(1)의 패드에 형성된 패드전극(18a,18b)과 접촉하는 접촉부가 된다. 도 3에서는 패턴배선(132)의 끝단이 패드전극(18a,18b)에 접촉하는 접촉부(133a,133b)가 되는 것이다.

또한 상기 바디블록(110)에는 상기 접촉부(133a,133b)를 액정패널(1)에 대하여 가압하기 위한 가압부재(120)가 구비된다.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 경우에 따라서는 접촉부(133a,133b)가 극 미세피치 검사를 위해 지그재그형태로 2열로 형성되기도 한다. 즉, 접촉부(133a,133b)는 제1열접촉부(133a)와 제2열접촉부(133b)를 구비하며, 이들을 각각 제2열패드전극(18b)과 제1열패드전극(18a)에 접촉한다. 따라서 상기 가압부재(120)의 저면은 제1열접촉부(133a)와 제2열접촉부(133b)를 동시에 가압하기 위한 가압면적(M0)을 갖도록 형성된다.

그러나 이와 같이 형성된 종래의 프로브유닛(100)은 모든 열의 접촉부가 패드전극에 접촉하지 못하는 경우가 발생한다. 도 6과 같이, 제1열접촉부(133a)는 제2열패드전극(18b)에 접촉하지만, 제2열접촉부(133b)는 제1열패드전극(18a)에 접촉하지 못하는 문제가 발생한다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 프로브시트의 접촉부가 2열 이상으로 형성된 경우에도 각 열을 피검사체에 안정적으로 접촉할 수 있는 극 미세피치 검사용 프로브유닛을 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 극 미세피치 검사용 프로브유닛은 절연필름상에 패턴배선이 형성되며, 상기 패턴배선의 특정위치가 피검사체에 접촉하는 접촉부가 되며, 상기 접촉부는 2열 이상으로 형성되는 프로브시트; 상기 프로브시트가 고정되는 바디블록; 및 상기 바디블록에 구비되어 상기 접촉부를 피검사체에 대하여 가압하되, 상기 접촉부의 각 열을 독립적으로 가압하는 가압부재;를 포함한다.

또한 상기 가압부재는 상기 접촉부의 각 열을 독립적으로 가압하기 위하여 저면에 횡방향으로 홈부가 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 가압부재는 상기 접촉부를 탄성적으로 가압하는 것이 바람직하다.

또한 상기 가압부재는 비금속재질로 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 접촉부는 상기 패턴배선으로부터 돌출형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 접촉부의 각 열은 지그재그형태로 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 프로브시트에는 상기 피검사체를 구동하는 구동칩이 더 실장되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 프로브시트의 접촉부가 2열 이상으로 형성된 경우에도 각 열을 피검사체에 안정적으로 접촉할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 일반적인 액정패널을 나타낸 것이다.
도 2 및 도 3은 종래 필름타입 프로브유닛을 나타낸 것이다.
도 4 내지 도 6은 종래 프로브유닛의 사용 상태를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명에 의한 프로브 유닛을 나타낸 것이다.
도 8 및 도 9는 도 7에 도시된 프로브 유닛의 사용상태를 나타낸 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예를 설명한다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명에 의한 극 미세피치 검사용 프로브유닛(200)은 바디블록(210)과, 프로브시트(230)와, FPC(240)와 가압부재(220)를 구비한다.

본 실시예에서 프로브시트(230)는 피검사체의 완제품에 부착되는 탭아이씨이다. 즉, 절연필름(221)상에 패턴배선이 형성되고, 상기 패턴배선의 끝단이 피검사체의 패드에 접촉하는 접촉부(233a,233b)가 되는 것이다. 또한 상기 접촉부(233a,233b)는 상기 패턴배선으로부터 액정패널 방향으로 돌출형성되어 있음을 알 수 있다(도 7 참조). 이것은 패드전극(도 6의 18a,18b 참조)과의 접촉을 용이하게 하기 위하여 패턴배선상에 범프(bump)를 형성한 것이다.

또한 본 실시예에서 프로브시트(230)의 접촉부(233a,233b)는 극 미세피치에 대응하기 위하여 지그재그형태의 2열로 형성된 것이다(도 8 참조).

특히, 본 실시예는 상기 가압부재(220)가 접촉부의 각 열을 독립적으로 가압하기 위하여 저면에 횡방향으로 홈부(223)가 형성된 것을 알 수 있다. 가압부재(220)의 저면에는 상기 홈부(223)를 사이에 두고, 제1가압부(221)와 제2가압부(222)가 형성되는 것이다. 상기 제1가압부(221)는 제1열접촉부(233a)를 가압하고, 제2가압부(222)는 제2열접촉부(233b)를 가압하는 것이다. 미설명부호 M1은 제1가압부(221)의 가압면적을 나타낸 것이고, M2는 제2가압부(222)의 가압면적을 나타낸 것이다.

도 9를 참조하면, 상기 프로브시트(230)의 제1열접촉부(233a)를 제2열패드전극(18a)에 접촉하고, 제2열접촉부(233b)를 제1열패드전극(18b)에 접촉한 상태에서 가압부재(220)를 이용하여 가압하면, 제1열접촉부(233a)와 제2열접촉부(233b)는 각각 제1가압부(221)와 제2가압부(222)에 의해 별도로 가압된다. 따라서 압력이 제1열접촉부(233a)와 제2열접촉부(233b)에 균일하게 전달되어 접촉성능이 향상되는 것이다.

본 실시예에서는 프로브시트(230)가 탭아이씨인 경우를 설명하였으나, 이와 달리 패턴배선이 형성된 절연필름에 구동칩을 실장하여 탭아이씨와 별도로 형성할 수 있다. 어느 경우나 접촉부와 패드전극의 피치는 일치되는 것이다.

또한 본 실시예는 프로브시트에 구동칩이 실장되는 경우를 설명하였으나, 이와 달리 구동칩이 실장된 탭아이씨가 별도로 구비될 수 있다. 즉, 프로브시트에는 구동칩이 실장되지 않고 접촉부가 형성된 패턴배선만 형성되고, 상기 프로브시트의 후단에 구동칩이 실장된 탭아이씨가 연결되고, 상기 탭아이씨의 후단에 FPC가 연결되는 것이다.

200: 프로브유닛 210: 바디블록
220: 가압부재 223: 홈부
230: 프로브시트 235: 구동칩
240: FPC

Claims

절연필름상에 패턴배선이 형성되며, 상기 패턴배선의 특정위치가 피검사체에 접촉하는 접촉부가 되며, 상기 접촉부는 2열 이상으로 형성되는 프로브시트;
상기 프로브시트가 고정되는 바디블록; 및
상기 바디블록에 구비되어 상기 접촉부를 피검사체에 대하여 가압하되, 상기 접촉부의 각 열을 독립적으로 가압하는 가압부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 극 미세피치 검사용 프로브유닛.
제1항에 있어서,
상기 가압부재는 상기 접촉부의 각 열을 독립적으로 가압하기 위하여 저면에 횡방향으로 홈부가 형성되는 것을 특징으로 하는 극 미세피치 검사용 프로브유닛.
제2항에 있어서,
상기 가압부재는 상기 접촉부를 탄성적으로 가압하는 것을 특징으로 하는 극 미세피치 검사용 프로브유닛.
제3항에 있어서,
상기 가압부재는 비금속재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 극 미세피치 검사용 프로브유닛.
제1항에 있어서,
상기 접촉부는 상기 패턴배선으로부터 돌출형성되는 것을 특징으로 하는 극 미세피치 검사용 프로브유닛.
제1항에 있어서,
상기 접촉부의 각 열은 지그재그형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 극 미세피치 검사용 프로브유닛.
제1항에 있어서,
상기 프로브시트에는 상기 피검사체를 구동하는 구동칩이 더 실장되는 것을 특징으로 하는 극 미세피치 검사용 프로브유닛.