JPH0618560A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JPH0618560A JPH0618560A JP17725892A JP17725892A JPH0618560A JP H0618560 A JPH0618560 A JP H0618560A JP 17725892 A JP17725892 A JP 17725892A JP 17725892 A JP17725892 A JP 17725892A JP H0618560 A JPH0618560 A JP H0618560A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- electrode
- probe card
- ultrasonic
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電極と探針の電気的接触を確実にし、誤測定
などを無くせるようにする。 【構成】 回路素子１の電極２に探針３を接触させて前
記回路素子１の電気的特性を測定するプローブカードで
あって、超音波発振器８を駆動源として超音波振動子６
を励振させ、この超音波振動を探針３に伝達することに
より電極２の表面の酸化膜を探針３先端の接触圧及び振
動により擦りとる。
などを無くせるようにする。 【構成】 回路素子１の電極２に探針３を接触させて前
記回路素子１の電気的特性を測定するプローブカードで
あって、超音波発振器８を駆動源として超音波振動子６
を励振させ、この超音波振動を探針３に伝達することに
より電極２の表面の酸化膜を探針３先端の接触圧及び振
動により擦りとる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品の検査技術、特
に、半導体ウェハの状態で電気的な検査を探針を介して
行うために用いて効果のある技術に関するものである。
に、半導体ウェハの状態で電気的な検査を探針を介して
行うために用いて効果のある技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造の分野においては、半
導体ウェハの状態における各回路素子の電気的特性の測
定検査は、プローブカードと称する測定器具を用いて行
っている。
導体ウェハの状態における各回路素子の電気的特性の測
定検査は、プローブカードと称する測定器具を用いて行
っている。
【０００３】図３は従来のプローブカードを示す平面図
である。
である。
【０００４】半導体ウェハの単位ブロックである回路素
子１（電子部品）の上面の周辺部には一定間隔に電極２
（パッド）が設けられており、この電極２の各々にプロ
ーブカードの複数の探針３（プローブ針）の各々の先端
が接触するように配設されている。
子１（電子部品）の上面の周辺部には一定間隔に電極２
（パッド）が設けられており、この電極２の各々にプロ
ーブカードの複数の探針３（プローブ針）の各々の先端
が接触するように配設されている。
【０００５】プローブカードは、中心部が開口された基
板の周辺に一定間隔に測定対象となる電極２に接触可能
に探針３の後端が取り付けられた構成になっている。こ
のプローブカードには測定装置が接続され、測定結果の
記録あるいは表示などが行えるようになっている。
板の周辺に一定間隔に測定対象となる電極２に接触可能
に探針３の後端が取り付けられた構成になっている。こ
のプローブカードには測定装置が接続され、測定結果の
記録あるいは表示などが行えるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、探針を電子部品の電極に接触させて測定を行う上記
従来の測定技術にあっては、電極と探針との間に図４に
示すように絶縁層４（薄い酸化膜）が介在する場合があ
り、これによって探針と試料の電極間との電気的接触が
断たれ、或いは高抵抗が挿入されたことになり、誤測定
をするという問題がある。このような場合、従来は探針
３の加圧力（接触圧）を高めることにより対処している
が、このようにしても酸化膜を完全に除去できない場合
がある。
ば、探針を電子部品の電極に接触させて測定を行う上記
従来の測定技術にあっては、電極と探針との間に図４に
示すように絶縁層４（薄い酸化膜）が介在する場合があ
り、これによって探針と試料の電極間との電気的接触が
断たれ、或いは高抵抗が挿入されたことになり、誤測定
をするという問題がある。このような場合、従来は探針
３の加圧力（接触圧）を高めることにより対処している
が、このようにしても酸化膜を完全に除去できない場合
がある。
【０００７】そこで、本発明の目的は、探針と電子部品
の電極との接続を確実にするためのプローブカードを提
供することにある。
の電極との接続を確実にするためのプローブカードを提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【０００９】すなわち、電子部品の電極に探針を接触さ
せて前記電子部品の電気的特性を測定するプローブカー
ドであって、前記電極表面を擦るように前記探針を直接
または間接的に振動させる振動発生手段を設けるように
している。
せて前記電子部品の電気的特性を測定するプローブカー
ドであって、前記電極表面を擦るように前記探針を直接
または間接的に振動させる振動発生手段を設けるように
している。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、電子部品の電極に接触
した状態の探針は、電極表面を擦って電極面に形成され
ていた酸化膜を削り取り、電極と探針の電気的接触を確
実にすることができる。したがって、電極と探針の電気
的接触が確実になり、誤測定などを無くすことができ
る。
した状態の探針は、電極表面を擦って電極面に形成され
ていた酸化膜を削り取り、電極と探針の電気的接触を確
実にすることができる。したがって、電極と探針の電気
的接触が確実になり、誤測定などを無くすことができ
る。
【００１１】
【実施例１】図１は本発明によるプローブカードの第１
実施例を示す断面図である。なお、図１においてはプロ
ーブカードの右半分のみを図示し、左半分の図示を省略
している。また、図１においては図３に示したと同一で
あるものには同一引用数字を用いたので、ここでは重複
する説明を省略する。
実施例を示す断面図である。なお、図１においてはプロ
ーブカードの右半分のみを図示し、左半分の図示を省略
している。また、図１においては図３に示したと同一で
あるものには同一引用数字を用いたので、ここでは重複
する説明を省略する。
【００１２】図１に示すように、中心部が円形または四
角形に開口された基板５の開口の周辺部に探針３の上端
が一定間隔に取り付けられている。この探針３の根元部
には超音波振動子（磁歪振動子、例えばフェライト）６
の先端が接触するように配設されている（超音波振動子
６の先端と探針３の接続は、エポキシ樹脂などの接着剤
を用いて行う）。超音波振動子６にはコイル７が巻回さ
れ、このコイル７には超音波発振器８の出力が接続され
ている。この超音波発振器８は、超音波振動子６の共振
周波数に合致した周波数の超音波電力を出力する。
角形に開口された基板５の開口の周辺部に探針３の上端
が一定間隔に取り付けられている。この探針３の根元部
には超音波振動子（磁歪振動子、例えばフェライト）６
の先端が接触するように配設されている（超音波振動子
６の先端と探針３の接続は、エポキシ樹脂などの接着剤
を用いて行う）。超音波振動子６にはコイル７が巻回さ
れ、このコイル７には超音波発振器８の出力が接続され
ている。この超音波発振器８は、超音波振動子６の共振
周波数に合致した周波数の超音波電力を出力する。
【００１３】以上の構成において、探針３を回路素子１
の電極２上に接触させ、ついで超音波発振器８をオンに
し、超音波振動子６を励振する。超音波振動子６が超音
波振動することにより、その先端に接続された探針３が
図の矢印方向へ振動し、電極２上の酸化膜が擦られ、酸
化膜が剥離される。これにより、探針３と電極２の電気
的接触が確実に行われ、誤測定などを生ぜず、高精度の
測定が可能になる。
の電極２上に接触させ、ついで超音波発振器８をオンに
し、超音波振動子６を励振する。超音波振動子６が超音
波振動することにより、その先端に接続された探針３が
図の矢印方向へ振動し、電極２上の酸化膜が擦られ、酸
化膜が剥離される。これにより、探針３と電極２の電気
的接触が確実に行われ、誤測定などを生ぜず、高精度の
測定が可能になる。
【００１４】
【実施例２】図２は本発明によるプローブカードの第２
実施例を示す底面図である。
実施例を示す底面図である。
【００１５】前記実施例が超音波振動子６として磁歪振
動子を用いていたのに対し、本実施例は圧電振動子（例
えば、チタン酸バリウム）９を用いたところに特徴があ
る。
動子を用いていたのに対し、本実施例は圧電振動子（例
えば、チタン酸バリウム）９を用いたところに特徴があ
る。
【００１６】すなわち、中心部に開口を有するドーナツ
形の圧電振動子９を基板５の開口１０に合わせて配設
し、圧電振動子９の一部を探針３の各々に固定するよう
にしている。
形の圧電振動子９を基板５の開口１０に合わせて配設
し、圧電振動子９の一部を探針３の各々に固定するよう
にしている。
【００１７】このような構成により、前記実施例が探針
３と同数または１／ｎの超音波振動子６を必要としたの
に対し、１個の振動子で済ますことができ、構成の簡略
化及びコストダウンが可能になる。
３と同数または１／ｎの超音波振動子６を必要としたの
に対し、１個の振動子で済ますことができ、構成の簡略
化及びコストダウンが可能になる。
【００１８】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００１９】例えば、図１の実施例においては、超音波
振動子６の振動を探針３に直接伝える構成にしたが、探
針３を保持する基板５に振動を伝達し、超音波振動子６
を一個で済ますようにしてもよい。また、振動源は、超
音波振動子６に代えてバイブレータ、モータなどを用い
ることもできる。
振動子６の振動を探針３に直接伝える構成にしたが、探
針３を保持する基板５に振動を伝達し、超音波振動子６
を一個で済ますようにしてもよい。また、振動源は、超
音波振動子６に代えてバイブレータ、モータなどを用い
ることもできる。
【００２０】さらに、上記実施例では、電子部品として
半導体装置を示したが、これに限らず平面上に電極が露
出する形状の電子部品の全てに本発明を適用することが
できる。
半導体装置を示したが、これに限らず平面上に電極が露
出する形状の電子部品の全てに本発明を適用することが
できる。
【００２１】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２２】すなわち、電子部品の電極に探針を接触さ
せて前記電子部品の電気的特性を測定するプローブカー
ドであって、前記電極表面を擦るように前記探針を直接
または間接的に振動させる振動発生手段を設けるように
したので、電極と探針の電気的接触が確実になり、誤測
定などを無くすことができる。
せて前記電子部品の電気的特性を測定するプローブカー
ドであって、前記電極表面を擦るように前記探針を直接
または間接的に振動させる振動発生手段を設けるように
したので、電極と探針の電気的接触が確実になり、誤測
定などを無くすことができる。
【図１】本発明によるプローブカードの第１実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本発明によるプローブカードの第２実施例を示
す底面図である。
す底面図である。
【図３】従来のプローブカードを示す平面図である。
【図４】電極上に形成される酸化膜の状態を示す断面図
である。
である。
１ 回路素子 ２ 電極 ３ 探針 ４ 絶縁層 ５ 基板 ６ 超音波振動子 ７ コイル ８ 超音波発振器 ９ 圧電振動子 １０ 開口
Claims (3)
- 【請求項１】 電子部品の電極に探針を接触させて前記
電子部品の電気的特性を測定するプローブカードであっ
て、前記電極表面を擦るように前記探針を直接または間
接的に振動させる振動発生手段を設けたことを特徴とす
るプローブカード。 - 【請求項２】 前記振動発生手段は、超音波振動子を振
動源とすることを特徴とする請求項１記載のプローブカ
ード。 - 【請求項３】 前記振動発生手段は、モータまたはバイ
ブレータを振動源とすることを特徴とする請求項１記載
のプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17725892A JPH0618560A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17725892A JPH0618560A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618560A true JPH0618560A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=16027931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17725892A Withdrawn JPH0618560A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0618560A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010021167A (ko) * | 1999-08-03 | 2001-03-15 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 콘택터용 픽킹 및 배치 기구 |
| US6646455B2 (en) | 1997-07-24 | 2003-11-11 | Mitsubishi Denki Kabsuhiki Kaisha | Test probe for semiconductor devices, method of manufacturing of the same, and member for removing foreign matter |
| US6667626B2 (en) | 1999-11-26 | 2003-12-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe card, and testing apparatus having the same |
| KR101601903B1 (ko) * | 2014-10-17 | 2016-03-10 | 양 전자시스템 주식회사 | 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치 |
-
1992
- 1992-07-06 JP JP17725892A patent/JPH0618560A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6646455B2 (en) | 1997-07-24 | 2003-11-11 | Mitsubishi Denki Kabsuhiki Kaisha | Test probe for semiconductor devices, method of manufacturing of the same, and member for removing foreign matter |
| US6888344B2 (en) | 1997-07-24 | 2005-05-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Test probe for semiconductor devices, method of manufacturing of the same, and member for removing foreign matter |
| KR20010021167A (ko) * | 1999-08-03 | 2001-03-15 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 콘택터용 픽킹 및 배치 기구 |
| US6667626B2 (en) | 1999-11-26 | 2003-12-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe card, and testing apparatus having the same |
| US6885204B2 (en) | 1999-11-26 | 2005-04-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe card, and testing apparatus having the same |
| KR101601903B1 (ko) * | 2014-10-17 | 2016-03-10 | 양 전자시스템 주식회사 | 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |