JP4910687B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
あった。
前記南極接続用電極を、南極用プリント配線板の配線パターンに電気接続する南極保持電極の上面に当接して設置し、前記北極接続用電極を北極保持電極の下面に当接し、前記球状弾性表面波素子を前記南極保持電極と前記北極保持電極で挟んで保持するセンサーホルダを有し、かつ、
前記圧電体基材の表面に前記南極側の前記櫛型電極と一体に形成された南極導体パターンを有し、前記南極接続用電極が前記南極導体パターンに接合する導体であり、かつ、前記南極接続用電極の下面が平面上に乗る形を成し、かつ、
前記南極接続用電極が前記圧電体基材の前記南極導体パターンに接合した3個以上の導体バンプから成る
ことを特徴とする弾性表面波装置である。
前記南極接続用電極を、南極用プリント配線板の配線パターンに電気接続する南極保持電極の上面に当接して設置し、前記北極接続用電極を北極保持電極の下面に当接し、前記球状弾性表面波素子を前記南極保持電極と前記北極保持電極で挟んで保持するセンサーホルダを有し、かつ、
前記南極保持電極および前記北極保持電極が導体ピンであり、前記センサーホルダが前記北極保持電極を北極用プリント配線板に固定し、前記南極用プリント配線板と前記球状弾性表面波素子の間に、前記南極保持電極の導体ピンを貫通させるピン用ガイド孔を有するガイド基板を有し、かつ、前記ガイド孔の入口部分に前記球状弾性表面波素子を保持する収納穴を有する
ことを特徴とする弾性表面波装置である。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る球状弾性表面波素子10の斜視図。図2は、球状弾性表面波素子10とセンサーホルダ20の部分拡大図、図3はセンサーホルダ20の断面図である。図4は、第1の実施の形態の球状弾性表面波素子を薬液処理する一方法を説明する図である。先ず、図1により、センサーホルダ20に保持される球状弾性表面波素子10を説明する。球状弾性表面波素子10は、球面を周回する球面部分を有する圧電体基材11から成る。圧電体基材11は圧電性材料で形成され、圧電性材料として例えば水晶、LiNb3(ニオブ酸リチウム)やLiTaO3(タンタル酸リチウム)、BSO(ビスマスシリコンオキサイド)、ランガサイト等が用いられる。
扱いが容易になる効果がある。また、この球状弾性表面波素子10の北極接続用電極13および南極接続用電極14には、数字や記号等を刻印し、あるいはその近傍に数字や記号を印刷し、個々の球状弾性表面波素子10を区別できるようにする。
リント配線板41に配線パターンと電気接続する軸受60を設置し、その軸受60に南極保持電極50の導体ピンと北極保持電極40のスプリング導体ピンを設置し、それらのピンを軸受60と電気接続させる。ガイド基板30を南極用プリント配線板51側に下げて、球状弾性表面波素子10を南極保持電極50と北極保持電極40で挟んで保持する。その状態で軸受60の軸を中心に回転することで、球状弾性表面波素子10を回転させつつ、ディスペンサ70により高価な薬液を微少量だけ感受領域12の全周に一様に塗布する。これにより高価な薬液を無駄無く感受領域12に塗布して感応膜を形成することができ、感応膜の製造コストを低減できる効果がある。次に、微少量の被分析溶液を球状弾性表面波素子10の感受領域12の感応膜の全周に一様に塗布する。これにより微少量の被分析溶液を球状弾性表面波素子10上の感応膜に無駄無く塗布することができ、微少量の薬液の成分を分析できる効果がある。
第2の実施形態として、気体分子を検出する弾性表面波装置を以下のように構成できる。圧電性基材16の赤道部分の感受領域12に、感応膜として厚さ10nmのパラジウム・ニッケル合金の薄膜を形成した球状弾性表面波素子により、濃度10ppmから100%までの水素濃度を検出するガスセンサを構成する。あるいは、特定の分子に結合する感応膜を選定することで、気体中の微少量の分子を検出する匂いセンサを構成することができる。
接続するランドパターンに形成する。また、球状弾性表面波素子10の北極接続用電極13bをニッケルや鉄等の強磁性体金属で形成することで、磁力ピンセットで北極接続用電極13bを掴むことで球状弾性表面波素子10を摘むようにすることもできる。
11・・・圧電体基材
11N・・・北極
11S・・・南極
12・・・感受領域
13、13b・・・北極接続用電極
13a・・・北極導体パターン
14、14b、14c、14d・・・南極接続用電極
14a・・・南極導体パターン
15・・・弾性表面波発生部
15N、15S・・・櫛型電極
16・・・導電性接合材
17・・・導体バンプ
20・・・センサーホルダ
30・・・ガイド基板
31・・・収納穴
32・・・ピン用ガイド孔
40、40a・・・北極保持電極
41・・・北極用プリント配線板
42・・・北極接続導体
50、50a・・・南極保持電極
51・・・南極用プリント配線板
60・・・軸受
70・・・ディスペンサ
Claims (5)
- 圧電体基材を有し前記圧電体基材の形状が球の北極と南極の間の赤道部分の球面を有し、前記赤道部分に沿って周回する弾性表面波を発生させる1対の櫛型電極を有し、前記圧電体基材の前記南極側に、前記南極側の前記櫛型電極に電気接続する南極接続用電極を有し、前記南極接続用電極の外部電極との接触面が平面状であり、前記圧電体基材の前記北極側に、前記北極側の前記櫛型電極に電気接続する北極接続用電極を有する球状弾性表面波素子を有し、
前記南極接続用電極を、南極用プリント配線板の配線パターンに電気接続する南極保持電極の上面に当接して設置し、前記北極接続用電極を北極保持電極の下面に当接し、前記球状弾性表面波素子を前記南極保持電極と前記北極保持電極で挟んで保持するセンサーホルダを有し、かつ、
前記圧電体基材の表面に前記南極側の前記櫛型電極と一体に形成された南極導体パターンを有し、前記南極接続用電極が前記南極導体パターンに接合する導体であり、かつ、前記南極接続用電極の下面が平面上に乗る形を成し、かつ、
前記南極接続用電極が前記圧電体基材の前記南極導体パターンに接合した3個以上の導体バンプから成る
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 前記北極接続用電極の前記北極保持電極との接触面が平面状であることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装置。
- 前記南極保持電極が前記南極用プリント配線板に形成したランドであり、前記北極保持電極が、前記南極用プリント配線板に端部を電気接続して固定したバネ状の北極接続導体で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の弾性表面波装置。
- 圧電体基材を有し前記圧電体基材の形状が球の北極と南極の間の赤道部分の球面を有し、前記赤道部分に沿って周回する弾性表面波を発生させる1対の櫛型電極を有し、前記圧電体基材の前記南極側に、前記南極側の前記櫛型電極に電気接続する南極接続用電極を有し、前記南極接続用電極の外部電極との接触面が平面状であり、前記圧電体基材の前記北極側に、前記北極側の前記櫛型電極に電気接続する北極接続用電極を有する球状弾性表面波素子を有し、
前記南極接続用電極を、南極用プリント配線板の配線パターンに電気接続する南極保持電極の上面に当接して設置し、前記北極接続用電極を北極保持電極の下面に当接し、前記球状弾性表面波素子を前記南極保持電極と前記北極保持電極で挟んで保持するセンサーホルダを有し、かつ、
前記南極保持電極および前記北極保持電極が導体ピンであり、前記センサーホルダが前記北極保持電極を北極用プリント配線板に固定し、前記南極用プリント配線板と前記球状弾性表面波素子の間に、前記南極保持電極の導体ピンを貫通させるピン用ガイド孔を有するガイド基板を有し、かつ、前記ガイド孔の入口部分に前記球状弾性表面波素子を保持する収納穴を有する
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 前記北極保持電極がスプリングピンであることを特徴とする請求項4記載の弾性表面波装置。
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