WO2010024302A1

WO2010024302A1 - 球状弾性表面波装置

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Publication number: WO2010024302A1
Application number: PCT/JP2009/064891
Authority: WO
Inventors: 教尊中曽
Original assignee: 凸版印刷株式会社
Priority date: 2008-08-26
Filing date: 2009-08-26
Publication date: 2010-03-04
Also published as: US8436511B2; US20110148250A1

Abstract

この発明の目的は、構造簡易で製造容易であり、使用する弾性表面波伝搬基体を外部環境変化測定を常に精密に出来るよう確実に設置出来るとともに上記基体の交換を容易に出来る球状弾性表面波装置を提供することである。その為、この発明に従う球状弾性表面波装置（１０）は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成され弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路（１２ａ）を外表面に含む弾性表面波伝搬基体（１２）と；上記基体の上記外表面において上記周回路を除く領域を支持する基体支持体（１４）と；そして、弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）を支持している弾性変形部材（１８）を支持し弾性変形部材を介して上記励起／検知ユニットを上記基体の上記外表面の上記周回路に当接させるとともに弾性変形部材を弾性変形させる励起／検知ユニット・支持体（２０）と；を備える。

Description

球状弾性表面波装置

　この発明は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成され弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体を支持するよう構成されている基体支持ユニットと；そして、弾性表面波伝搬基体の弾性表面波周回路に弾性表面波を励起し励起された弾性表面波を上記円環の連続する方向に伝搬させて周回させるとともに、弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知し周回してきた弾性表面波に対応した受信信号を発するよう構成された弾性表面波・励起／検知ユニットと、を備えた球状弾性表面波装置に関係している。

　上述した如き球状弾性表面波装置は、例えば特開２００５－９４６０９号公報（特許文献１）の図１及び図７などにより既に良く知られている。

　弾性表面波伝搬基体は、弾性表面波を励起させることが出来ない材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成された基材を準備し、この基材の上記外表面において少なくとも上記円環状の部分を弾性表面波が励起可能な材料により被覆することにより形成される。

　或いは弾性表面波伝搬基体は、弾性表面波が励起可能な材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成される。

　弾性表面波が励起可能な材料としては圧電材料が通常使用される。

　弾性表面波伝搬基体の全体を弾性表面波が励起可能な材料を使用して形成する場合には、例えば水晶，ニオブ酸リチウム（LiNbO₃）,タンタル酸リチウム（LiTaO₃），ランガサイト（La₃Ga₅SiO₁₄）及びこれらのファミリーの如き圧電性結晶材料が使用される。圧電性結晶材料から弾性表面波伝搬基体を形成する場合には、圧電性結晶材料の結晶面が圧電性結晶材料の外表面と交差する線に沿い上記円環状連続部分が延出するようにされる。即ち、圧電性結晶材料の外表面においては、上記交差線の延出方向にのみ弾性表面波が伝搬することが出来る。

　そして、圧電性結晶材料の弾性表面波伝搬基体は、製造コスト及び弾性表面波を周回させるのに必要な種々の物理的条件（円環形状連続部分の幅方向における曲率，円環形状連続部分に励起すべき弾性表面波の幅及び周波数などを含む）を考慮して、通常は略１０ｍｍ～略１ｍｍの径の球形状にされている。

　弾性表面波・励起／検知ユニットは種々の構成であることが出来るが、製造コスト，ユニットの全体の大きさ，変換効率などを考慮して、通常はいわゆるすだれ状電極（櫛形電極とも言われる）が使用されている。

　最も基本的なすだれ状電極は、一対の櫛形状端子部を夫々の複数の櫛歯状電極枝が交互に配置されるよう組み合わされた形状をしている。

　すだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分に、上記円環状連続部分の延出方向に沿い複数の櫛歯状電極枝が配列されるよう、例えばフォトリソグラフィー（写真製版）により直接形成される。或いは、すだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体とは別体のすだれ状電極支持部材の外表面に圧電性結晶材料の外表面の上記円環状連続部分の一部と相似形状に形作られた部分球形状凹所の底面に例えばフォトリソグラフィー（写真製版）により直接形成される。すだれ状電極支持部材の部分球形状凹所の底面に形成されたすだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分に対し所定の隙間（励起する弾性表面波の波長の１／４以下）を介して対向され上記円環状連続部分の延出方向に沿い複数の櫛歯状電極枝が配列されるよう配置される。

　一対の櫛形状端子部の間に所定の周波数の高周波信号をバースト状に適用することにより相互に組み合わされた一対の櫛形状端子部の複数の櫛歯状電極枝の配列周期（即ち、相互に隣接した２つの櫛歯状電極枝間の距離）に対応した波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体の上記外表面の上記円環状連続部分に励起させることが出来、励起された弾性表面波の幅は相互に隣接した２つの櫛歯状電極枝において相互に対向している部分の長さに対応している。

　すだれ状電極の一対の櫛形状端子部の複数の櫛歯状電極枝が交互に配列されている方向が上述した如く励起された弾性表面波の波面が圧電性結晶材料の外表面の上記円環状連続部分において略進行する方向になる。従って、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分にすだれ状電極により励起された弾性表面波は、上記円環状連続部分において上記円環状連続部分が連続している方向に伝搬する。

　例えば国際公開ＷＯ　０１／４５２５５　Ａ１号公報（特許文献２）は、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分に励起させた弾性表面波を上記円環状連続部分の連続している方向に伝搬させこの方向と交差する方向に拡散させることなく繰り返し周回させる為の種々の条件設定の一例を開示している。

　上記条件は、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分の曲率，上記円環状連続部分の連続する方向（即ち、励起された弾性表面波を伝搬させる方向）と直交する方向における上記円環状連続部分に励起される弾性表面波の幅（弾性表面波・励起／検知ユニットがすだれ状電極の場合にはすだれ状電極の複数の電極枝が相互に対向している部分の長さ），そして上記円環状連続部分に励起する弾性表面波の周波数（弾性表面波・励起／検知ユニットがすだれ状電極の場合にはすだれ状電極の複数の電極枝の配列周期）を含む。

　球状弾性表面波装置は、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分（即ち、弾性表面波周回路）に外部環境の変化に感応する感応膜を設けることにより、上記感応膜が接する外部環境、例えばガス濃度、の変化をより感度良く測定することが出来る。

　詳細には、上記感応膜は、上記感応膜が接する外部環境、例えばガス濃度、の変化に対応して上記周回路を周回する弾性表面波の伝搬速度や振動エネルギーの減衰率を変化させ、ひいては弾性表面波・励起／検知ユニットからの出力で得られる上記周回路をバースト状の弾性表面波が１周するのに要する時間や１周する毎に弾性表面波の位相や強度を変化させるので、これらの変化を測定することにより上記外部環境の変化を知ることが出来る。

　高周波信号における位相とは一般に、所定の時刻における所定の高周波信号の位置を意味する。球状弾性表面波装置における位相計測は、弾性表面波が励起された時刻から所定の時間経過した時刻における高周波信号出力の位置を、上記所定の時間経過した時刻の後に弾性表面波・励起／検知ユニットから発生される出力を基にフーリエ解析やクアドラチャ検波やあるいはウエーブレット変換などを用いて通常計測される。そして、このようにして得ることが出来た位相から弾性表面波の伝搬（周回）速度を直接的に計測できる。

　この明細書においては、例えば球状弾性表面波装置の弾性表面波・励起／検知ユニットが弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分にバースト状に所定の高周波信号を適用し上記円環状連続部分に弾性表面波を励起した時刻から弾性表面波・励起／検知ユニットが上記円環状連続部分上を伝搬し周回してきた弾性表面波を所定の回数検出し終わった時刻（即ち、上記弾性表面波が上記円環状連続部分上を所定の回数周回し終わった時刻）を求め、上記励起時刻から上記周回終了時刻までの時間を求める事も、“位相を計測する”と呼ぶ。そしてこれによって上記円環状連続部分における弾性表面波の伝搬（周回）速度を得ることを本発明では除外しない。

　例えば、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記円環状連続部分の感応膜が接している外部環境において上記感応膜が感応する所定のガスの濃度が濃くなれば、このガス濃度の変化に対応した上記感応膜の変化の影響により上記円環状連続部分（即ち、弾性表面波周回路）を周回するバースト状の弾性表面波の周回速度が早く又は遅くなり、ひいては上記周回路をバースト状の弾性表面波が１周するのに要する時間が少なく又は多くなる。この場合、１周する毎の弾性表面波の位相に進行又は遅延が生じ、そして強度の低下の減衰率が上昇又は低下する。

　上述した如き外部環境の変化により生じた、上記周回速度の変化，上記周回時間の変化,上記位相の進退，そして上記減衰率の上下の夫々は微小であるが、これらの変化，進退，そして上下は上記周回路を弾性表面波が周回する回数が増加すればするほど重畳され大きくなる。即ち、上記外部環境の変化の測定精度が向上する。

　従って、球状弾性表面波装置を使用して上述した如く外部環境の変化を測定する場合には、上記周回路を周回する弾性表面波の振動エネルギーの減衰率が上記外部環境の変化以外の要因で上下することは好ましくないことは明らかである。

特開２００５－９４６０９号公報国際公開ＷＯ　０１／４５２５５　Ａ１号公報

　この発明は上記事情の下でなされ、この発明の目的は、構造が簡易で製造が容易であり、弾性表面波を励起させ伝搬させ周回させる球形状の一部により円環状に連続して形成された部分を外表面に有する弾性表面波伝搬基体を外部環境の変化の測定を常に精密に行なうことが出来るよう確実に設置出来るとともに交換を容易に出来る球状弾性表面波装置を提供することである。

　上述したこの発明の目的を達成する為にこの発明に従った球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体の上記外表面において上記弾性表面波周回路を除いた領域を支持する基体支持体と；そして、弾性表面波伝搬基体の弾性表面波周回路に弾性表面波を励起し励起された弾性表面波を上記円環の連続する方向に伝搬させて周回させるとともに、弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知し周回してきた弾性表面波に対応した受信信号を発するよう構成された弾性表面波・励起／検知ユニットと、を備えている。そして、この球状弾性表面波装置は：弾性表面波・励起／検知ユニットを支持している弾性変形可能な弾性変形部材を支持し、弾性変形部材を介して弾性表面波・励起／検知ユニットを弾性表面波伝搬基体の上記外表面の上記弾性表面波周回路に当接させるとともに弾性変形部材を弾性変形させる励起／検知ユニット・支持体をさらに備えたことを特徴としている。

　上述したこの発明の目的を達成する為にこの発明に従った別の球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体を支持するよう構成されている基体支持ユニットと；そして、弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知ユニットと、を備えている。この球状弾性表面波装置は、上記基体支持ユニットが：弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域が載置された基体座部を含んでいる基体支持体と；そして、曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体の基体座部に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体の基体座部とは反対側で弾性表面波周回路を除いた部分に接触するとともに上記接触部分の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において基体座部の両側で基体座部から離れた位置に固定された基体弾性保持体と、を備えている、ことを特徴としている。

　上述したこの発明の目的を達成する為にこの発明に従った別の球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体を支持するよう構成されている基体支持ユニットと；そして、弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知ユニットと、を備えている。この球状弾性表面波装置は、基体支持ユニットが：弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域が載置された基体座部を含んでいる基体支持体と；そして、曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体の基体座部に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面に対し基体支持体の基体座部とは反対側で弾性表面波周回路に接触するとともに上記接触する部分の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において基体座部の両側で基体座部から離れた位置に弾性抵抗に抗して固定された基体弾性保持体と、を備えていて、上記弾性表面波・励起／検知ユニットが、基体弾性保持体において上記接触する部分に設けられている、ことを特徴としている。

　上述した如く構成されたことを特徴とするこの発明に従った種々の球状弾性表面波装置の夫々は、構造が簡易で製造が容易であり、弾性表面波を励起させ伝搬させ周回させる球形状の一部により円環状に連続して形成された部分を外表面に有する弾性表面波伝搬基体を外部環境の変化の測定を常に精密に行なうことが出来るよう確実に設置出来るとともに交換を容易に出来る。

図１は、この発明の第１実施形態に従った球状弾性表面波装置において、球形状の弾性表面波伝搬基体の外表面の円環状連続部分である弾性表面波周回路を除いた領域が基体支持体の延出端部により支持されている間に、上記弾性表面波周回路に弾性表面波・励起／検知ユニットが弾性変形部材を介して励起／検知ユニット・支持体の延出端部により当接される直前の状態を概略的に示す側面図である。図２は、図１の球状弾性表面波装置において、球形状の弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路を除いた領域が基体支持体の延出端部により支持されている間に上記弾性表面波周回路に弾性表面波・励起／検知ユニットが弾性変形部材を介して励起／検知ユニット・支持体の延出端部により当接されることにより、弾性表面波伝搬基体が基体支持体の延出端部と励起／検知ユニット・支持体の延出端部とによって基台から離れて弾性的に挟持されている状態を概略的に示す側面図である。図３Ａは、図２の弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に対し弾性表面波・励起／検知ユニットが弾性変形部材を介して励起／検知ユニット・支持体の延出端部により当接されている状態を弾性変形部材及び励起／検知ユニット・支持体の延出端部を透視して概略的に示す図である。図３Ｂは、弾性表面波・励起／検知ユニットとしての櫛形電極を拡大して示す図である。図４は、図２において球形状の弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に弾性表面波・励起／検知ユニットが弾性変形部材を介して励起／検知ユニット・支持体の延出端部により当接された時の弾性変形部材の好ましい弾性変形の程度を示す概略的な上面図である。図５は、図２の弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に対し弾性表面波・励起／検知ユニットが弾性変形部材を介して励起／検知ユニット・支持体の延出端部により当接されている状態を弾性表面波・励起／検知ユニット，弾性変形部材，そして励起／検知ユニット・支持体の延出端部を拡大して概略的に示す側面図である。図６Ａは、図５の弾性表面波・励起／検知ユニットの表面に適用されている当接面積減少加工がエッチングにより行なわれる前に弾性表面波・励起／検知ユニットの基になる金属薄膜に複数のレジスト材料のパターンを適用した状態の拡大された平面図である。図６Ｂは、図６Ａの概略的な縦断面図である。図６Ｃは、図６Ｂの状態からエッチングが進み図６Ａの弾性表面波・励起／検知ユニットの基になる金属薄膜の表面に複数の凹所が形成された状態を概略的に示す縦断面図である。図６Ｄは、図６Ｃのエッチング加工による複数の凹所の形成が終了しレジスト材料のパターンが除去された後の弾性表面波・励起／検知ユニットの基になる金属薄膜の概略的な縦断面図である。図７は、図５の弾性表面波・励起／検知ユニットの表面に当接面積減少加工を行なう為に複数の微小粒子を弾性表面波・励起／検知ユニットの表面に適用した状態を概略的に拡大して示す縦断面図である。図８Ａは、この発明の第２実施形態に従った球状弾性表面波装置において、複数の球形状の弾性表面波伝搬基体が基体支持体により夫々の外表面の弾性表面波周回路の一部を基体支持体の一表面から外部に露出されて支持されている状態を概略的に示す縦断面図である図８Ｂは、図８Ａの基体支持体の一表面の所定位置にこの発明の第２実施形態に従った球状弾性表面波装置の励起／検知ユニット・支持体が着脱可能に固定される直前の状態を概略的に示す縦断面図である。図８Ｃは、図８Ｂの基体支持体の一表面の所定位置に図８Ｂの励起／検知ユニット・支持体が着脱可能に固定されことにより、基体支持体に支持された複数の弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路の一部に励起／検知ユニット・支持体の弾性変形部材が励起／検知ユニットを当接させ弾性変形されている状態を概略的に示す縦断面図である。図９は、この発明の第３実施の形態に従った球状弾性表面波装置の概略的な縦断面図である。図１０Ａは、この発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な斜視図である。図１０Ｂは、図１０Ａの基体弾性保持体及びそれにより基体支持体に支持される弾性表面波伝搬基体を示す概略的な側面図である。図１０Ｃは、図１０Ｂの基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部を基体支持体に固定される途中の様子を示す概略的な縦断面図である。図１０Ｄは、図１０Ｂの基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部を基体支持体に固定される直前の様子を示す概略的な縦断面図である。図１１は、図１０Ｂの基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部を基体支持体に固定された後の様子を概略的に示す縦断面図である。図１２Ａは、この発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置の変形例の概略的な斜視図である。図１２Ｂは、図１２Ａの変形例の基体弾性保持体の概略的な正面図である。図１３Ａは、この発明の第４実施形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な裏面図である。図１３Ｂは、この発明の第４実施形態に従った球状弾性表面波装置において図１３Ａの基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部を基体支持体に固定された様子を概略的に示す縦断面図である。図１４Ａは、この発明の第４実施形態に従った球状弾性表面波装置の変形例の概略的な斜視図である。図１４Ｂは、図１４Ａの変形例の基体弾性保持体の概略的な正面図である。図１５Ａは、この発明の第５実施形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体保持体の概略的な裏面図である。図１５Ｂは、この発明の第５実施形態に従った球状弾性表面波装置において図１５Ａの基体保持体が略Ｕ字形状に湾曲された後に１対の両側部で弾性表面波伝搬基体を挟持している間に１対の両側部の間の固定部を支持体に固定されている様子を概略的に示す縦断面図である。図１６Ａは、この発明の第６実施形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な裏面図である。図１６Ｂは、この発明の第６実施形態に従った球状弾性表面波装置において図１６Ａの基体弾性保持体が略Ｕ字形状に湾曲された後に１対の両側部が弾性表面波伝搬基体を挟持している間に１対の両側部の端部を支持体に固定された様子を概略的に示す縦断面図である。図１７Ａは、この発明の第７実施形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な裏面図である。図１７Ｂは、この発明の第７実施形態に従った球状弾性表面波装置において図１７Ａの基体弾性保持体が略Ｕ字形状に湾曲された後に１対の両側部が弾性表面波伝搬基体を挟持している間に１対の両側部の端部を支持体に固定された様子を概略的に示す縦断面図である。

　［第１実施形態］
　以下、添付の図面中の図１乃至図７を参照しながら、この発明の第１実施形態に従った球状弾性表面波装置１０について説明する。

　球状弾性表面波装置１０は、弾性表面波伝搬基体１２を備えている。弾性表面波伝搬基体１２は、弾性表面波を励起させることが出来ない材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成された基材を準備し、この基材の上記外表面の上記円環状連続部分を弾性表面波が励起可能な材料により被覆することにより構成されることが出来る。或いは、弾性表面波伝搬基体１２は、弾性表面波が励起可能な材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成される。

　この実施形態において弾性表面波伝搬基体１２は、弾性表面波が励起可能な材料により全体が球形状に形成されていて、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路１２ａを外表面に含む。

　弾性表面波が励起可能な材料としては、例えば水晶，ニオブ酸リチウム（LiNbO₃）,タンタル酸リチウム（LiTaO₃），ランガサイト（La₃Ga₅SiO₁₄）及びこれらのファミリーの如き圧電性結晶材料が使用される。この場合、上記少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分は弾性表面波伝搬基体１２の球形状の外表面において圧電性結晶材料の結晶面が上記外表面と交差している線上にあり、上記円環状に連続している方向は上記交差線のほぼ延出方向である。

　圧電性結晶材料の弾性表面波伝搬基体１２は、製造コストを考慮して、通常は略１０ｍｍ～略１ｍｍの径の球形状にされる。この実施形態に従った弾性表面波伝搬基体１２の径は３．３ｍｍである。

　この実施形態では、弾性表面波伝搬基体１２は球形状の水晶により形成されている。球形状の水晶においては、球形状の水晶を地球に見立てるとともにその結晶軸Ｚ（水晶の場合はＣ軸）を地球の自転軸に見たてた時に水晶の球形状の外表面において赤道に該当することになる結晶軸Ｚ回りの最大外周線が、水晶の結晶面が水晶の球形状の外表面と交差する線となっていて、弾性表面波伝搬経路１２ａは上記最大外周線に略沿い上記外表面を円環状に一周している。

　球状弾性表面波装置１０は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を支持する基体支持体１４と、弾性表面波・励起／検知ユニット１６を支持している弾性変形可能な弾性変形部材１８を支持し弾性変形部材１８を介して弾性表面波・励起／検知ユニット１６を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに当接させるとともに弾性変形部材１８を弾性変形させる励起／検知ユニット・支持体２０と、をさらに備えている。

　この実施形態において、基体支持体１４は、基台２２に支持された基端部１４ａと基台２２から遠ざかる方向に延出した延出端部１４ｂとを含んでおり、基端部１４ａに対し延出端部１４ｂが弾性的に湾曲可能である。基体支持体１４は、上述した如く弾性的に湾曲可能な材料により形成することが出来、この実施の形態では厚さ０．０４ｍｍのステンレス板により形成されている。基体支持体１４の基端部１４ａは基台２２に、半田や固定螺子やリベットや接着剤を含む公知の固定要素２４により固定されている。

　基体支持体１４の延出端部１４ｂが、弾性表面波伝搬基体１２の外表面における弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を支持するよう構成されている。

　この実施形態において、励起／検知ユニット・支持体２０は、基台２２に支持された基端部２０ａと基台２２から遠ざかる方向に延出した延出端部２０ｂとを含んでおり、基端部２０ａに対し延出端部２０ｂが弾性的に湾曲可能である。励起／検知ユニット・支持体２０も上述した如く弾性的に湾曲可能な材料により形成することが出来、この実施形態では厚さ０．０４ｍｍのステンレス板により形成されている。励起／検知ユニット・支持体２０の基端部２０ａは基台２２に、半田や固定螺子やリベットや接着剤を含む公知の固定要素２４により固定されている。

　励起／検知ユニット・支持体２０の延出端部２０ｂが弾性変形部材１８を支持していて、基体支持体１４の延出端部１４ｂに対し弾性表面波伝搬基体１２を挟んで相互に対向し、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波・励起／検知ユニット１６を図２中に図示されている如く当接させている。

　従って、弾性表面波伝搬基体１２は基体支持体１４の延出端部１４ａと励起／検知ユニット・支持体２０の延出端部とによって基台２２から離れて弾性的に挟持されている。

　この実施形態において弾性変形部材１８は、不導体であるゴムにより形成されている。しかしながら弾性変形部材１８は、後述する弾性変形の条件を満たすのであれば粘弾性材料により形成されていることが出来るし、時間の経過とともに硬化してしまう材料により形成されていることもできる。

　この実施形態において弾性表面波・励起／検知ユニット１６はすだれ状電極により提供されている。すだれ状電極は、図３Ａ及び図３Ｂ中に図示されている如く、一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂを夫々の複数の櫛歯状電極枝１６ｃを交互に配置して組み合わせることにより構成されている。すだれ状電極は弾性変形部材１８の表面に以下のように形成されている。即ち、すだれ状電極が励起／検知ユニット・支持体２０の延出端部２０ｂにより弾性変形部材１８を介して弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａに当接されたとき、すだれ状電極の一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂの複数の櫛歯状電極枝１６ｃが交互に配列された方向が弾性表面波周回路１２ａの延出方向（この実施形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の球形状の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に一致し、好ましくは複数の櫛歯状電極枝１６ｃの夫々の延出方向が弾性表面波周回路１２ａの延出方向に対し直交される。

　すだれ状電極は、不導体であるゴムにより形成されている弾性変形部材１８の表面に例えば金や銅やアルミニウムのような導電性の高い金属薄膜を直接形成した後に、この金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）により成形することにより形成することが出来る。

　とはいうものの、弾性変形部材１８が弾性表面波周回路１２ａに当接された時には弾性変形部材１８の当接部分が弾性変形し上記当接部分の表面が僅かに延伸するので、この延伸によりすだれ状電極が破断する可能性もある。この可能性を無くす為に、弾性変形部材１８の当接部分に例えばセラミック薄膜の如き不導体上に上述した如くすだれ状電極を形成することが好ましい。この不導体は、弾性変形部材１８の当接部分の外表面の弾性変形に伴い弾性変形部材１８の外表面とともに変形可能であるが上記当接部分の外表面ほどは延伸しない。即ち、すだれ状電極は、すだれ状電極が提供している弾性表面波・励起／検知ユニット１６と弾性変形部材１８との間に介在された不導体上に上述した如く形成されることが好ましい。

　このような不導体は、その上にすだれ状電極が形成される前に弾性変形部材１８の当接部分の外表面上に例えば接着剤を含む公知の支持要素により支持されていることができるし、或いはその上にすだれ状電極が形成された後に弾性変形部材１８の当接部分の外表面上に例えば接着剤を含む公知の支持要素により支持されても良い。

　すだれ状電極の一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂは、弾性変形部材１８及び励起／検知ユニット・支持体２０上に配置された図示しない配線を介して弾性表面波・励起／検知ユニット１６の動作を制御するための図示されていない公知の動作制御ユニットに電気的に接続されている。

　励起／検知ユニット・支持体２０の延出端部２０ｂにより弾性変形部材１８を介して弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が図２中に図示されている如く弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波伝搬路１２ａに当接されている間に、一対の櫛形状端子部１６ａ、１６ｂに上記公知の動作制御ユニットにより所定の周波数の高周波信号をバースト状に適用すると、所定の波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに励起させることが出来る。

　ここにおいて上記所定の周波数や上記所定の波長は、一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂの複数の櫛歯状電極枝１６ｃの配列周期Ｐに対応している。すだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに励起させる弾性表面波の幅は、すだれ状電極の一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂの複数の櫛歯状電極枝１６ｃ中で相互に隣接している２つの櫛歯状電極枝１６ｃが相互に対面する距離（電極幅）Ｗである。

　図３Ｂでは一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂの夫々が４本の櫛歯状電極枝１６ｃによって構成されているが、一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂの夫々が１本のみの櫛歯状電極枝１６ｃによって構成されていても弾性表面波を励起し検知する事は可能であり本発明はそれを除外しない。なお、一方向にのみ弾性表面波を励起するすだれ状電極や、複数の周波数を効率よく励起する特殊な構造のすだれ状電極が公知でありその何れも本発明は使用できる。

　常に同じ条件で所定の波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに励起させるには、励起／検知ユニット・支持体２０の延出端部２０ｂにより弾性変形部材１０を介して弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が図２中に図示されている如く弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波伝搬路１２ａに当接されている間に、すだれ状電極の一対の櫛形状端子部１６ａ，１６ｂの複数の櫛歯状電極枝１６ｃが相互に対面する距離Ｗの全体を常に弾性表面波周回路１２ａに接触させていなければならない。

　この条件を満たすには、図４中に図示されている如く、励起／検知ユニット・支持体２０の延出端部２０ｂ上の弾性変形部材１８が弾性表面波・励起／検知ユニット１６を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに当接させたときの弾性変形部材１８の凹みの深さＤが以下のようになれば良い。

　　　　Ｄ＝Ｒ（１－ｃｏｓ（Ｗ／２Ｒ））
　ここにおいて、ｃｏｓに続く丸括弧内のＷ／２Ｒはラジアン単位であり、Ｗはすだれ状電極の電極幅、そしてＲは弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａの半径である。

　即ち、少なくともこのような弾性変形部材１８の凹みの深さＤが得られるよう、励起／検知ユニット・支持体２０や弾性変形部材１０の弾性が設定される。しかしながら、弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が弾性変形部材１８の凹みより前述した如く破断する可能性が無ければ、上記深さＤはもっと深くても良い。

　あるいは、弾性変形部材１０において弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が支持される当接部の外表面を予め上述した如き凹みを有する凹面に加工しておくことが出来る。このようであれば、弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａに対し弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極を当接させるときに弾性変形部材１０の外表面が強いられる弾性変形は殆ど無くなり、弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が破断される可能性は殆どなくなる。

　しかしながら、弾性変形部材１０の当接部の外表面を平面形状とし、そのような平坦な外表面に形成した例えば金や銅やアルミニウムのような導電性の高い金属薄膜からすだれ状電極をフォトリソ技術（写真製版）やマスクレス露光機を用いて成形するのであれば、高精細なすだれ状電極を安価に形成できる。つまり、高精細なパターニングをおこなう為の一般に普及している露光装置やインクジェット塗布装置などのプロセス装置は、パターニングをする対象が平面であることを前提に製造されているからである。

　所定の半径を有した弾性表面波周回路１２ａに対し所定の範囲の幅と所定の波長を有した弾性表面波を弾性表面波周回路１２ａの延出方向に向かい励起させればそのような弾性表面波を弾性表面波周回路１２ａに沿いその延出方向と交差する方向に拡散することなく繰り返し周回させることが出来ることは前述した国際公開ＷＯ　０１／４５２５５　Ａ１号公報（特許文献２）などにより公知である。

　上記公知の動作制御ユニットは、弾性表面波周回路１２ａを周回している弾性表面波は、弾性表面波周回路１２ａに対し上述した如く励起／検知ユニット・支持体２０の延出端部２０ｂ及び弾性変形部材１０を介して当接された弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極により検知される。

　このように、弾性表面波周回路１２ａに励起／検知ユニット・支持体２０により弾性変形部材１８を介して当接されている弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極は、弾性表面波周回路１２ａを周回させた弾性表面波のエネルギーの幾分かを反射させ弾性表面波を幾分かは減衰させる。

　弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａから所定の距離以下（弾性表面波周回路１２ａに励起され周回する弾性表面波の波長の１／４以下）に離れて配置されていても、弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波を励起させ弾性表面波周回路１２ａの延出方向に伝搬させ周回させることが出来る。そしてこの場合には、弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極は、弾性表面波周回路１２ａを周回させた弾性表面波のエネルギーを反射させて弾性表面波を減衰させることがない。しかしながら、上述した如く弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａから所定の距離以下に離れて常に安定して配置出来る励起／検知ユニット・支持体を形成することは高度な加工精度が必要であり、このように構成した多数の球状弾性表面波装置を準備するのは大変な作業である。

　弾性表面波周回路１２ａに励起／検知ユニット・支持体２０により弾性変形部材１８を介して当接されている弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極は、弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａから所定の距離以下に離れて配置された場合に比べ、弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａに励起させ弾性表面波周回路１２ａを周回させた弾性表面波の強度や位相を精密に検出することは出来ない。しかし、弾性表面波周回路１２ａに当接されている弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が直接形成された場合に比べると、弾性表面波周回路１２ａを周回させた弾性表面波のエネルギーを反射させ減衰させる割合は小さく周回している弾性表面波の強度や位相をより精密に検出することが出来る。

　なぜならば、通常は、圧電性結晶材料を加工して得られた弾性表面波伝搬基体１２の外表面の表面粗さに比べると弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極を形成している金属薄膜の外表面の表面粗さは大きく、微視的に見ると弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに対し弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極は無数の点接触をしていることになるからである。

　しかも、前述した如く弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａから所定の距離以下に離れて常に安定して配置出来る励起／検知ユニット・支持体を形成する場合に必要とされる高度な加工精度は不要である。

　とはいうものの、弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに対し当接する当接部分の表面積は少ないほうが、弾性表面波のエネルギーを反射させ減衰させる割合が小さくなるので好ましい。

　この為に、この実施形態においては、弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極の上記当接部分の表面に対し、図５中に良く示されている如く、弾性表面波周回路１２ａに対する上記当接部分の当接面積を減少させる当接面積減少加工２６が適用されている。当接面積減少加工２６は、弾性表面波・励起／検知ユニット１６の上記当接部分の表面の複数個所に凹所又は突起を形成することを含んでいる。

　当接面積減少加工２６の複数の凹所は、例えばエッチングにより形成される。詳細には、図６Ａ及び図６Ｂ中に図示されている如く、不導体である弾性変形部材１８（図２参照）の当接部分の外表面に、弾性表面波・励起／検知ユニット１６（図２参照）のすだれ状電極の成形の為に前述した如く直接又は不導体ＮＣを介して間接的に形成された金属薄膜ＭＦに対し複数の微小なレジストパターンＬＰを付着させる。次に、図６Ｃ中に図示されている如く、複数の微小なレジストパターンＬＰを伴った金属薄膜ＭＦに対し公知の等方性エッチングを行なう。これにより、複数の微小なレジストパターンＬＰにより覆われていない金属薄膜ＭＦの外表面の複数箇所に凹所が形成される。次に、図６Ｄ中に図示されている如く、複数の微小なレジストパターンＬＰが公知の方法により金属薄膜ＭＦの外表面から除去される。その後、金属薄膜ＭＦの外表面の複数箇所の凹所の相互間の突部の頂点（弾性表面波周回路１２ａに対し直接当接する部分となる）の面積をさらに小さくする為に、金属薄膜ＭＦの外表面に対し再度公知の等方性エッチングを行なうことができる。

　当接面積減少加工２６の複数の凹所はまた、弾性変形部材１８（図２参照）の外表面に、弾性表面波・励起／検知ユニット１６（図２参照）のすだれ状電極の成形の為に前述した如く直接又は不導体ＮＣを介して間接的に形成された金属薄膜ＭＦの外表面に対し、複数の微小なレジストパターンＬＰを付着させることなく、公知のソフトエッチングを施して金属薄膜ＭＦの外表面にあえてエッチング斑を生じさせることによっても得ることが出来る。

　当接面積減少加工２６の複数の突起は、例えば、図７中に図示されている如く、弾性変形部材１８（図２参照）の当接部の外表面に前述した如く直接又は不導体ＮＣを介して間接的に形成された金属薄膜から成形された弾性表面波・励起／検知ユニット１６（図２参照）のすだれ状電極の外表面に対し、すだれ状電極の複数の電極枝１６ｃ（図３Ｂ）参照）の配列周期Ｐの１／４以下の径を有した微小粒子ＭＰを弾性表面波・励起／検知ユニット１６の周回路当接部分の表面の複数個所に付着させることにより形成することができる。

　［第２実施形態］
　以下、添付の図面中の図８Ａ乃至図８Ｃを参照しながら、この発明の第２実施形態に従った球状弾性表面波装置３０について説明する。

　第２実施形態に従った球状弾性表面波装置３０の構成部材の一部は、図１乃至図７を参照しながら前述したこの発明の第１実施形態に従った球状弾性表面波装置１０の構成部材の一部と同じである。従って、第２実施形態に従った球状弾性表面波装置３０において前述した第１実施形態に従った球状弾性表面波装置１０の構成部材と同じ構成部材には第１実施形態に従った球状弾性表面波装置１０の対応する構成部材に付されていた参照符号と同じ参照符号を記して詳細な説明は省略する。

　第２実施形態に従った球状弾性表面波装置３０が第１実施形態に従った球状弾性表面波装置１０と異なっているのは：弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を支持する基体支持体３２の構成；及び、弾性表面波・励起／検知ユニット１６を支持している弾性変形可能な弾性変形部材３６を支持し弾性変形部材３６を介して弾性表面波・励起／検知ユニット１６を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに当接させるとともに弾性変形部材３６を弾性変形させる励起／検知ユニット・支持体３４の構成、である。

　基体支持体３２は、図８Ａ中に良く示されている如く、複数の弾性表面波伝搬基体１２を複数の弾性表面波伝搬基体１２の夫々の外表面の弾性表面波周回路１２ａの一部を基体支持体３２の一表面から外部に露出させて支持している。

　この実施形態では、基体支持体３２は平坦な板形状であり、複数の所定の支持場所３２ａは基体支持体３２の両平面に貫通した穴形状である。夫々の支持場所３２ａには、公知の図示されていない測定ユニットにより結晶軸Ｚの向きが判明し外表面における所定の弾性表面波周回路１２ａの位置が測定できた弾性表面波伝搬基体１２が、例えば公知の保持搬送ユニット３６により仮に保持した状態で上述した如く所定の弾性表面波周回路１２ａを測定場所から基体支持体３２の所定の支持場所３２ａまで搬送させられるとともに所定の支持場所３２ａに支持させられる。

　詳細には、所定の支持場所３２ａに対し弾性表面波伝搬基体１２は、結晶軸Ｚ（水晶の場合は、Ｃ軸）を所定の方向に向けて、即ち、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の所定の弾性表面波周回路１２ａを所定の支持場所３２ａの穴の周囲の所定の周方向位置に向けて、支持される。その際には、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の所定の弾性表面波周回路１２ａは所定の支持場所３２ａの穴の所定の周方向位置において平板形状の基体支持体３２の両平面に対し直交している。

　弾性表面波伝搬基体１２の外表面において所定の弾性表面波周回路１２ａ以外の領域が所定の支持場所３２ａにより支持され、所定の弾性表面波周回路１２ａは所定の支持場所３２ａに接触されない。弾性表面波伝搬基体１２の外表面において所定の弾性表面波周回路１２ａ以外の領域を支持する所定の支持場所３２ａの領域には、例えば接着剤の如き公知の固定要素が設けられている。従って、所定の支持場所３２ａに支持された弾性表面波伝搬基体１２の外表面は上述した公知の固定要素により所定の支持場所３２ａに固定される。上述した公知の固定要素は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において所定の弾性表面波周回路１２ａ以外の領域に対する所定の支持場所３２ａの支持領域の摩擦係合を含む。

　基体支持体３２の所定の支持場所３２ａでは、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の所定の弾性表面波周回路１２ａにおいて径方向の両端部が外部空間に露出されている。

　この実施形態の励起／検知ユニット・支持体３４は、図８Ｂ及び図８Ｃ中に図示されている如く、基体支持体３２の一表面の所定位置に着脱可能に固定されることにより基体支持体３２の複数の所定の支持場所３２ａに上述した如く支持されている複数の弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａの一部に当接され弾性変形される弾性変形部材３６を備えている。弾性変形部材３６は、前述した第１実施形態の弾性変形部材１８と同様の材料により形成することができる。

　弾性変形部材３６において基体支持体３２の複数の所定の支持場所３２ａに上述した如く支持されている複数の弾性表面波伝搬基体１２の夫々の外表面の弾性表面波周回路１２ａの一部に当接される当接部分の外表面には、前述した第１実施形態の場合の如く弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極が支持されている。

　基体支持体３２の複数の所定の支持場所３２ａに上述した如く支持されている複数の弾性表面波伝搬基体１２の夫々の外表面の弾性表面波周回路１２ａの一部に励起／検知ユニット・支持体３４の弾性変形部材３６を介して当接された弾性表面波・励起／検知ユニット１６のすだれ状電極は、前述した第１実施形態の場合と同様に、その複数の櫛歯状電極枝１６ｃ（図３Ａ及び図３Ｂを参照）が交互に配列された方向が弾性表面波周回路１２ａの延出方向（この実施形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の球形状の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に一致し、好ましくは複数の櫛歯状電極枝１６ｃの夫々の延出方向が弾性表面波周回路１２ａの延出方向に対し直交する。

　励起／検知ユニット・支持体３４を、図８Ｂ及び図８Ｃ中に図示されている如く、基体支持体３２の一表面の所定位置に着脱可能に固定するための構造は種々の公知の位置決め固定構造を採用することが出来る。この実施形態では、基体支持体３２の一表面の複数の所定の位置に形成された複数の位置決め孔ＰＨと、励起／検知ユニット・支持体３４の外表面の複数の所定の位置に複数の位置決め孔ＰＨに対し挿脱可能に形成された複数の位置決め突起ＰＰと、の組み合わせが上記位置決め固定構造を提供している。

　複数の位置決め孔ＰＨを励起／検知ユニット・支持体３４の外表面の複数の所定の位置に形成し、複数の位置決め突起ＰＰを基体支持体３２の一表面の複数の所定の位置に形成することも出来る。

　［第３実施形態］
　次に、図９乃至図１１を参照しながら、この発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０について説明する。

　球状弾性表面波装置４０は、公知の弾性表面波伝搬基体４２を備えている。弾性表面波伝搬基体４２は、弾性表面波を励起させることが出来ない材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成された基材を準備し、この基材の上記外表面において少なくとも上記円環状の部分を弾性表面波が励起可能な材料により被覆することにより形成することが出来る。或いは、弾性表面波伝搬基体４２は、弾性表面波が励起可能な材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成される。

　この実施形態において弾性表面波伝搬基体４２は、弾性表面波が励起可能な材料により球形状に形成されていて、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路４２ａを外表面に含む。

　弾性表面波が励起可能な材料としては、例えば水晶，ニオブ酸リチウム（LiNbO₃）,タンタル酸リチウム（LiTaO₃），ランガサイト（La₃Ga₅SiO₁₄）及びこれらのファミリーの如き圧電性結晶材料が使用される。この場合、弾性表面波伝搬基体４２の球形状の外表面において上記少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分は、圧電性結晶材料の結晶材料固有の結晶面が上記外表面と交差する線上にあり、上記円環状に連続している方向は上記交差線のほぼ延出方向である。例えば、上述した種々の材料においては通常、結晶学的にC軸と呼ばれる結晶面に沿い弾性表面波が伝搬可能である。

　圧電性結晶材料の弾性表面波伝搬基体４２は、製造コストを考慮して、通常は略１０ｍｍ～略１ｍｍの径の球形状にされるが、この実施形態に従った弾性表面波伝搬基体４２の径は３．３ｍｍである。

　この実施形態では、弾性表面波伝搬基体４２は球形状の水晶により形成されている。球形状の水晶では、それを地球に見立てるとともにその結晶軸Ｚ（水晶の場合はＣ軸）を地球の自転軸に見たてた時に、水晶の球形状の外表面において赤道に該当することになる結晶軸Ｚ回りの最大外周線が水晶の結晶面が水晶の球形状の外表面と交差する線となっていて、弾性表面波伝搬経路４２ａは上記最大外周線に沿い上記外表面を円環状に一周している。

　球状弾性表面波装置４０は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路４２ａを周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知ユニット４４を備えている。

　この実施形態では、弾性表面波・励起／検知ユニット４４は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに設けられている。

　この実施形態において弾性表面波・励起／検知ユニット４４は、弾性表面波周回路１２ａに形成されたすだれ状電極により提供されている。すだれ状電極は、図９中に図示されている如く、１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂを夫々の複数の櫛歯状電極枝４４ｃを交互に配置するよう組み合わせることにより構成されている。すだれ状電極の１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂの複数の櫛歯状電極枝４４ｃが交互に配列された方向は、弾性表面波周回路４２ａの円環状延出方向（この実施形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体４２の球形状の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に一致されている。すだれ状電極は好ましくは、複数の櫛歯状電極枝４４ｃの夫々の延出方向を弾性表面波周回路４２ａの円環状延出方向に対し直交させている。

　すだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面に例えば金や銅やアルミニウムのような導電性の高い金属薄膜を直接形成した後に例えばフォトリソグラフィー（写真製版）により成形することにより形成することが出来る。

　弾性表面波・励起／検知ユニット４４は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側に配置された第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅを備えている。この実施形態では第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅは、前述した如く弾性表面波伝搬基体４２を地球と見立てたときの赤道に該当する弾性表面波周回路４２ａ上のすだれ状電極の１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂから、北極及び南極に対応する弾性表面波伝搬基体４２の径方向の正反対の位置まで弾性表面波伝搬基体４２の外表面上を延出している。第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅは、すだれ状電極と一体に上述した如く形成されている。

　第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅには、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の動作を制御するための公知の動作制御ユニット５０が電気的に接続される。弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域が支持されている間（即ち、弾性表面波周回路４２ａに何も接触していない間）に、動作制御ユニット５０より１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂの間に所定の周波数の高周波信号がバースト状に適用されると、所定の波長の弾性表面波が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに励起される。

　ここにおいて上記所定の周波数や上記所定の波長は、１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂの複数の櫛歯状電極枝４４ｃの配列周期に対応している。すだれ状電極が弾性表面波周回路４２ａに励起させる弾性表面波の幅は、複数の櫛歯状電極枝４４ｃ中で相互に隣接している２つの櫛歯状電極枝４４ｃが相互に対面している距離（電極幅）である。

　所定の半径を有した弾性表面波周回路４２ａに対し所定の範囲の幅と所定の波長を有した弾性表面波を弾性表面波周回路４２ａの延出方向に向かうよう励起させれば、そのような弾性表面波を弾性表面波周回路４２ａに沿いその延出方向と交差する方向に拡散することなく繰り返し周回させることが出来ることは前述した国際公開ＷＯ　０１／４５２５５　Ａ１号公報（特許文献２）などにより公知である。

　上記公知の動作制御ユニット５０は、弾性表面波周回路４２ａを周回する弾性表面波を、弾性表面波周回路４２ａに設けられている弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極により検知することができる。

　この実施形態において、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに前述した如く形成されている弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極は、弾性表面波周回路４２ａを周回してきた弾性表面波がそこに衝突することにより弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させ弾性表面波の周回数を減少させる要因になる。しかしながら、弾性表面波周回路４２ａの延出方向におけるすだれ状電極の全体の長さ（即ち、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂの複数の櫛歯状電極枝４４ｃが配列されている方向における複数の櫛歯状電極枝４４ｃの配列長さ）は弾性表面波周回路４２ａの円環状の延出長さに比べれば遥かに短く、また弾性表面波周回路４２ａの全体の面積に比べるとすだれ状電極が弾性表面波周回路４２ａに対し接触している面積は非常に少ない。従って、弾性表面波周回路４２ａに沿い周回する弾性表面波がすだれ状電極に衝突することによりその伝搬エネルギーを減衰される割合は小さく、弾性表面波は所望の測定の為に有意な多重周回を行なうことができる。

　球状弾性表面波装置４０はまた、弾性表面波伝搬基体４２を支持するよう構成されている基体支持ユニットを備えている。

　この実施形態において基体支持ユニットは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域が載置された基体座部４６ａを含む基体支持体４６を備えている。

　この実施形態において基体支持体４６は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板により形成されてもよい。基体座部４６ａは基体支持体４６の一表面に形成された凹所であり、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波・励起／検知ユニット１４のすだれ状電極の第２外部接続端子４４ｅが配置されている南極相当部分と実質的に同じ形状寸法を有している。

　基体座部４６ａの凹所の寸法形状が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記南極相当部分と実質的に同じ形状寸法でない場合は、上記凹所が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記南極相当部分に局所的に接触する。この結果、局所的に強い圧力が上記南極相当部分にある第２外部接続端子４４ｅに負荷され、第２外部接続端子４４ｅが断線する可能性がある。

　基体座部４６ａには第１端子４６ｂが配置されており、第１端子４６ｂは弾性表面波・励起／検知ユニット４４の動作を制御するための前述した公知の動作制御ユニット５０に接続されている。従って、基体支持体４６の基体座部４６ａに弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記南極相当部分が着座された時には、弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第２外部接続端子４４ｅが基体座部４６ａの第１端子４６ｂを介して公知の動作制御ユニット５０に接続されることになる。

　この実施形態において基体支持ユニットはさらに、基体支持体４６の基体座部４６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体４２を弾性表面波周回路４２ａに触れることなく基体支持体４６に容易に着脱可能に固定する基体弾性保持体４８を備えている。

　基体弾性保持体４８は、曲げに対し弾性抵抗を発揮する材料により形成されていて、基体支持体４６の基体座部４６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面において基体支持体４６の基体座部４６ａとは反対側で弾性表面波周回路４２ａを除いた領域に接触する部分４８ａを有している。基体弾性保持体４８は、接触部分４８ａの両側が基体支持体４６に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部４８ｂが基体支持体４６において基体座部４６ａの両側で基体座部４６ａから離れた部分に容易に着脱可能に固定されている。

　この実施形態においては、基体支持体４６の基体座部４６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域に対し基体支持体４６の基体座部４６ａとは反対側で基体弾性保持体４８が接触する部分は、弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１外部接続端子４４ｄが配置されている北極相当部分である。

　基体弾性保持体４８において、基体支持体４６の基体座部４６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分に接触する部分４８ａは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所として構成されている。上記凹所の形状寸法は弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分の形状寸法と実質的に同じであり、上記凹所は北極相当部分と実質的に面接触することが好ましい。

　即ち、基体弾性保持体４８の上記接触部分４８ａは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において基体支持体４６の基体座部４６ａとは反対側の北極相当部分の第１外部接続端子４４ｄと接触又は隣接する。

　基体弾性保持体４８は、上記接触部分４８ａと上記接触部分４８ａの両側の端部４８ｂの少なくとも一方において基体支持体４６に着脱可能に固定される部分との間を延出した導電路４８ｃを備えている。導電路４８ｃは基体弾性保持体４８を導電性の材料により形成することにより提供されることができるし、基体弾性保持体４８を不導電性の材料により形成した場合には不導電性の材料の基体弾性保持体４８の外表面上に上述した如く延出するよう例えば公知の導電性材料を付着させることにより提供することも出来る。

　基体支持体４６の前記一表面において、基体座部４６ａの両側で基体座部４６ａから離れて基体弾性保持体４８上記両側の端部４８ｂが着脱可能に固定される部分には、基体弾性保持体４８の上記両側の端部４８ｂの上記少なくとも一方で導電路４８ｃと接触する第２端子４６ｃが配置されており、第２端子４６ｃは弾性表面波・励起／検知ユニット４４の動作を制御するための前述した公知の動作制御ユニット５０に接続されている。

　基体支持体４６の基体座部４６ａに着座されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記北極相当部分に基体弾性保持体４８が接触部分４８ａを接触させている間に、基体弾性保持体４８の上記両側の端部４８ｂが基体支持体１６の前記一表面において基体座部４６ａの両側で基体座部４６ａから離れた位置に着脱可能に固定されることにより、弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１外部接続端子４４ｄが基体弾性保持体４８の導電路４８ｃ及び基体支持体４６の第２端子４６ｃを介して公知の動作制御ユニット５０に接続される。

　なお、通常の電子回路では、１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多い。本発明においてもすだれ状電極の第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅが接続される基体支持体４６の第１及び第２端子４６ｂ，４６ｃの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。

　この実施形態では、前述した如く基体弾性保持体４８の上記両側の端部４８ｂが着脱可能に固定される、基体支持体４６の前記一表面における基体座部４６ａの両側で基体座部４６ａから離れた２つの位置には、係合凹所４６ｄが形成されている。係合凹所４６ｄには、基体弾性保持体４８の上記両側の端部４８ｂが挿入され上記両側の弾性抵抗に抗して基体弾性保持体４８の上記両側の端部４８ｂが係合される。この実施形態では係合凹所４６ｄは、その製造の容易性とそれに対する基体弾性保持体４８の上記両側の端部４８ｂの係合の為の挿入の容易性のために、貫通孔として形成されている。係合凹所４６ｄの貫通孔の内周面において基体弾性保持体４８の上記両側の端部４８ｂが接触して摩擦係合する部分に第２の端子４６ｃが配置されている。

　この実施形態において、基体弾性保持体４８は、図１０Ａ及び図１０Ｂ中に図示されている如く、導電性を有した材料の一種である厚さ３０ミクロンのステンレス製の板により上述した両側の端部４８ｂ間を直線状に延びる帯板形状を有するよう構成されている。

　図１０Ｂは、上述した両側の端部４８ｂを弾性抵抗に抗して押圧される前の基体弾性保持体４８の側面を図示している。ここにおいては、基体支持体４６の基体座部４６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分に接触する部分４８ａである帯板形状の弾性保持体４８の中央部が、前述した如くそこに接触する弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記北極相当部分と実質的に同じ寸法形状を有した凹所として構成されていることも示されている。

　弾性保持体４８の中央の接触部分４８ａの凹所の寸法形状が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記北極相当部分と実質的に同じ形状寸法でない場合は、上記凹所が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分に局所的に接触する。この結果、局所的に強い圧力が上記北極相当部分にある第１外部接続端子４４ｄに負荷され、第１外部接続端子４４ｄが断線する可能性がある。

　このような帯板形状の基体弾性保持体４８は、図１０Ｃ中に白抜き矢印Ａにより示されている如く、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の南極相当部分を基体支持体４６の基体座部４６ａに着座させて南極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第２外部接続端子４４ｅを基体座部４６ａの第１端子４６ｂに接続させた後に、弾性表面波伝搬基体４２を基体支持体４６に以下のようにして容易に着脱可能に固定する。

　図１０Ａ及び図１０Ｂ中に示されている帯板形状の基体弾性保持体４８は、図１０Ｃ中に矢印Ａにより示されている如く弾性表面波伝搬基体４２の外表面の南極相当部分を基体支持体４６の基体座部４６ａに上述した如く着座させた後、図１０Ｃ中に図示されている如く弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分の上方で、中央部を中央部支持体ＣＳに支持されている間に両側端部４８ｂを１対の押圧部材ＰＭにより弾性抵抗に抗して基体支持体４６に向け押圧され略逆Ｕ字形状にされる。

　次にそのままの状態で、中央部支持体ＣＳとともに１対の押圧部材ＰＭを下降させ、基体弾性保持体４８の両側端部１８ｂを、図２Ｃ中に矢印Ｂにより示されている如く基体支持体４６の基体座部４６ａの両側の係合凹所４６ｄに挿入させる。

　次に、基体弾性保持体４８の中央部の接触部分４８ａの凹所が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分に被せられる直前に中央部支持体ＣＳが上記中央部から離脱され、さらに、基体弾性保持体４８の中央部の接触部分４８ａの凹所が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に被せられ線接触又は面接触される。この結果、基体弾性保持体４８の中央部の接触部分４８ａが、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１外部接続端子４４ｄと電気的に接続される。

　次に、１対の押圧部材ＰＭが図１０Ｄ中に白抜き矢印Ｃにより示されている如く基体弾性保持体４８の両側の端部４８ｂから離間される。その結果、基体弾性保持体４８の両側端部４８ｂはその弾性力により図１０Ｄ中に矢印Ｅにより示されている如く相互に離間するよう展開し、基体支持体４６の基体座部４６ａの両側の係合凸所４６ｄの内周面に当接し摩擦係合する。この時、基体弾性保持体４８の両側端部４８ｂにおいて基体弾性保持体４８の導電路４８ｃが基体支持体４６の基体座部４６ａの両側の係合凸所４６ｄの内周面の第２端子４６ｃに電気的に接続される。

　両側端部４８ｂを基体支持体４６の基体座部４６ａの両側の係合凸所４６ｄの内周面に摩擦係合させた基体弾性保持体４８は、その内部に発生した弾性力により中央部の接触部分４８ａの凹所を介して弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分を基体支持体４６の基体座部４６ａに向け押圧し、ひいては弾性表面波伝搬基体４２の外表面の南極相当部分を基体支持体４６の基体座部４６ａ上に押圧させる。

　この結果、基体弾性保持体４８は基体支持体４６の基体座部４６ａ上に弾性表面波伝搬基体４２を容易に着脱可能に固定する。基体弾性保持体４８は簡易な構成でありながら、弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａに何も付着させずに弾性表面波伝搬基体４２を基体支持体４６の基体座部４６ａ上に支持させたり、弾性表面波周回路４２ａに新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体４２と交換することを、確実に容易に素早く行うことが出来る。

　さらに、基体支持体４６の基体座部４６ａに配置されている第１端子４６ｂに対する弾性表面波伝搬基体４２の外表面の南極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第２外部接続端子４４ｅの電気的な接続、そして基体支持体４６の基体座部４６ａの両側の係合凸所４６ｄの内周面の第２端子４６ｃに対する基体弾性保持体４８の中央部の接触部分４８ａ及び上記両側の導電路４８ｃを介した弾性表面波伝搬基体４２の外表面の北極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１外部接続端子４４ｄの電気的な接続、を確実にしている。

　基体弾性保持体４８の両側端部４８ｂを確実に基体支持体４６の基体座部４６ａの両側の係合凸所４６ｄの内周面に当接し摩擦係合させておく（即ち、基体弾性保持体４８により基体支持体４６の基体座部４６ａ上に確実に弾性表面波伝搬基体４２を固定させておく）には、以下の条件が満たされることが必要である。

　即ち、図１１中に図示されている如く、基体支持体４６の基体座部４６ａに弾性表面波伝搬基体４２が載置されている間に、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において基体支持体４６の基体座部４６ａとは反対側で基体弾性保持体４８の中央部の接触部分４８ａが接触する第１接点ＦＰと基体弾性保持体４８の両側端部４８ｂの夫々が基体支持体４６の対応する係合凹所４６ｄに対し最初に接する第２接点ＳＰとを結ぶ第１直線ＦＬと、第２接点ＳＰと基体支持体４６の基体座部４６ａにおいて弾性表面波伝搬基体４２の外表面が第２接点ＳＰの側で接する第３接点ＴＰとを結ぶ第２直線ＳＬと、がなす角αが、９０度以下である。上記の角αが９０度を超えると、基体支持体４６の２つの係合凹所４６ｄの内周面に対する基体弾性保持体４８の両側端部４８ｂの摩擦係合に関する力学的観点から、基体支持体４６に気体弾性保持体４８を確実に安定して固定する事が困難となる。上述した摩擦係合による上述した固定を基体弾性保持体４８の両側端部４８ｂの弾性力を利用して上下方向の振動に対しより確実にするには、上記の角αを７０度以下とすることが好ましい。

　［第３実施形態の変形例］
　次に、図１２Ａ及び図１２Ｂを参照しながら、この発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０の変形例について説明する。

　この変形例に従った球状弾性表面波装置４０´が図９乃至図１１を参照しながら前述した第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０と異なっているのは、弾性表面波伝搬基体４２を支持するよう構成されている基体支持ユニットが備えている基体支持体４６´及び基体弾性保持体４８´の夫々の構成と、弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１外部接続端子４４ｄの為の第２端子４６´ｃが基体支持体４６´にではなく基体弾性保持体４８´に設けられていることである。

　変形例に従った球状弾性表面波装置４０´において第１実施形態に従った球状弾性表面波装置４０の構成部材と同じ構成部材には第１実施形態に従った球状弾性表面波装置４０の対応する構成部材に付されていた参照符号と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。

　変形例に従った球状弾性表面波装置４０´においては、図１２Ａ中に図示されている如く、基体支持体４６´が角張ったＵ字形状をしていて、しかもその１対の側壁４６´ｅの延出端部４６´ｆが１対の側壁４６´ｅの延出方向に対し交差する方向で相互に遠ざかるよう折り曲げられている。角張ったＵ字形状の基体支持体４６´の中央部の壁４６´ｇに、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域であり弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第２外部接続端子４４ｅが配置されている部分（南極相当部分）が載置される基体座部４６ａが設けられている。

　この変形例でも基体座部４６ａは、そこに載置される弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域であり弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第２外部接続端子４４ｅが配置されている部分（南極相当部分）の寸法形状と実質的に同じ寸法形状を有した凹所により構成されている。基体座部４６ａには、図９中に図示されている動作制御ユニット５０に接続される第１端子４６ｂが配置されている。基体支持体４６´は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材や一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板、により形成されているか又は例えばステンレス材料の如き金属を含む導体を例えばプラスチックの如き不導体により被覆することにより構成されていて、第１端子４６ｂはそのような基体支持体４６´の表面に公知の端子形成工程により形成されている。

　基体支持体４６´の１対の側壁４６´ｅ間の幅は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａの径よりも大きい。従って１対の側壁４６´ｅが、基体支持体４６´の中央部の壁４６´ｇの基体座部４６ａに前述した如く載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに接することはない。

　中央部の壁４６´ｇから延出端部４６´ｆまでの１対の側壁４６´ｅの夫々の延出長さは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の径よりは短い。

　基体支持体４６´の中央部の壁４６´ｇの基体座部４６ａの両側に位置する１対の側壁１６´ｅの延出端部４６´ｆの延出端に、曲げに対し弾性抵抗を発揮する板状の基体弾性保持体４８´の両端部が着脱可能に固定されている。この変形例では、１対の延出端部４６´ｆの延出端に形成されているスナップ係合爪４６´ｈに板状の基体弾性保持体４８´の両端部が着脱可能に係合されて挟持されている。このように挟持された基体弾性保持体４８´は、基体支持体４６´の１対の側壁４６´ｅの延出端部４６´ｆの間の開口を閉塞している。この間に、板状の基体弾性保持体４８´の中央部が、基体支持体４６´の基体座部４６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面において基体支持体４６´の基体座部４６ａとは反対側で弾性表面波周回路４２ａを除いた部分に接触する。

　板状の基体弾性保持体４８´の両端部が基体支持体４６´の１対の側壁４６´ｅの延出端部４６´ｆのスナップ係合爪４６´ｈに係合されているので、基体弾性保持体４８´は上記接触部分４８ａの両側が基体支持体４６´の基体座部４６ａに向け自身の弾性抵抗に抗して押圧される。この押圧により発生した弾性力により板状の基体弾性保持体４８´の中央部は弾性表面波伝搬基体４２を基体支持体４６´の基体座部４６ａに向け押圧し、弾性表面波伝搬基体４２を基体座部４６ａと協働して弾性的に挟持する。

　図１２Ｂ中に図示されている如く、基体弾性保持体４８´の中央部の上記接触部分４８ａは、ここに接触する弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域中で基体支持体４６´の基体座部４６ａとは反対側の部分（北極相当部分）の寸法形状と実質的に同じ寸法形状を有した凹所により構成されている。

　基体弾性保持体４８´の上記接触部分４８ａに接触する弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記部分（北極相当部分）には、弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１外部接続端子４４ｄが配置されていて、基体弾性保持体４８´の上記接触部分４８ａには、図９中に図示されている動作制御ユニット５０に接続される第２端子４６´ｃが配置されている。

　基体弾性保持体４８´は曲げに対し弾性抵抗を発揮する例えばプラスチックやガラスエポキシ材や一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板の如き不導体により形成されているか又は例えばステンレス材料の如き金属を含む導体を例えばプラスチックの如き不導体により被覆することにより構成されていて、第２端子４６´ｃはそのような基体弾性保持体４８´の表面に公知の端子形成工程により形成されている。

　基体支持体４６´の第１端子４６ｂ及び基体弾性保持体４８´の第２端子４６´ｃは、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の動作を制御するための図９を参照しながら前述した公知の動作制御ユニット５０に接続されている。

　なお、通常の電子回路では１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多い。従って本発明においても、弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅが接続される基体支持体４６´の第１端子４６ｂ及び基体弾性保持体４８´の第２端子４６´ｃの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。

　［第４実施形態］
　次に、この発明の第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０について図１３Ａ及び図１３Ｂを参照しながら説明する。

　第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０は、図９乃至図１１を参照しながら前述したこの発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２と同じ弾性表面波伝搬基体４２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体４２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路４２ａを外表面に含む。とはいうものの、第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０で使用する弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａには、第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２では弾性表面波周回路４２ａに設けられていた弾性表面波・励起／検知ユニット４４が設けられていない。

　第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０は、弾性表面波伝搬基体４２を支持するよう構成されている基体支持ユニットを備えている。この実施形態の基体支持ユニットは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域が載置された基体座部６２ａを含む基体支持体６２を備えている。基体支持体６２は、不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材などにより形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板により形成されてもよい。

　基体座部６２ａは弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを含む領域が着座される凹所により構成されている。この凹所は、そこに着座される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記領域の寸法形状と実質的に同じ寸法形状を有していて、そこに着座される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記領域と線接触又は面接触される。

　基体座部６２ａの凹所の内表面においては、そこに着座される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の領域に含まれている弾性表面波周回路４２ａに対応する部分３２ｂが削除されている。その結果として基体座部６２ａの凹所の内表面には、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを含む領域の中の弾性表面波周回路４２ａの両側の部分（即ち、上記外表面において弾性表面波周回路４２ａを含まない領域）が載置されている。

　基体支持体６２の基体座部６２ａの凹所に載置された弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａは、基体支持体６２において基体座部６２ａの凹所が形成されている一表面に対し直交する方向に向けられ、また上記一表面上で基体座部６２ａを中心とした所定の周方向位置に向けられている。

　第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０の基体支持ユニットはさらに、基体支持体６２の基体座部６２ａに載置された弾性表面波伝搬基体４２を基体支持体６２に対し容易に着脱可能に保持する為の基体弾性保持体６４を備えている。基体弾性保持体６４は、曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体６２の基体座部６２ａに載置された弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対し基体支持体６２の基体座部６２ａとは反対側で弾性表面波周回路４２ａに接触する部分６４ａを含んでいる。基体弾性保持体６４はさらに、上記接触部分６４ａの両側が基体支持体６２に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部６４ｂが基体支持体６２において基体座部６２ａの両側で基体座部６２ａから離れた位置に弾性抵抗に抗して着脱可能に固定されている。

　基体弾性保持体６４の接触部分６４ａには、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路４２ａを周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知ユニット６６が設けられている。

　弾性表面波・励起／検知ユニット６６は、基体弾性保持体６４の上記両側端部６４ｂに向かい延出した第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂを備えている。

　基体支持体６２は、基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂが着脱可能に固定される位置に、基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂで第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂと接触する第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄを備えている。第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄは、弾性表面波・励起／検知ユニット６６の動作を制御する為の公知の動作制御ユニット５０に接続されている。この公知の動作制御ユニット５０は、図９乃至図１１を参照して上述した第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４の為に使用されていた公知の動作制御ユニット５０と同じである。

　従って、上述した第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０の場合と同様に、すだれ状電極の第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂが接続される基体支持体６２の第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。

　この実施形態において基体弾性保持体６４は弾性を有した不導体、例えば厚さ１００ミクロンのプラスチック、であって図１３Ａ中に良く示されている如く両側端部６４ｂ間を直線状に延びる帯板形状に構成されている。この実施形態では、基体弾性保持体６４の外表面に付着された例えば金や銅やアルミニウムの如き良導電性の金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）することにより弾性表面波・励起／検知ユニット６６及び第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂを成形している。

　基体弾性保持体６４において基体支持体６２の基体座部６２ａに載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対し基体支持体６２の基体座部６２ａとは反対側で接触する部分６４ａは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の対応する部分を受け入れる凹所として構成されている。この凹所の寸法形状は、そこに接触される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記部分の寸法形状と実質的に同じあり、上記部分と面接触する。

　基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａがそこに接触される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記部分と面接触されることにより、上記接触部分６４ａに設けられている弾性表面波・励起／検知ユニット６６は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記部分において弾性表面波周回路４２ａと面接触する。

　この実施形態において弾性表面波・励起／検知ユニット６６は、図９乃至図１１を参照しながら前述したこの発明の第３実施形態の球状弾性表面波装置４０において弾性表面波・励起／検知ユニット４４を構成していたのと同じすだれ状電極により構成されている。

　即ち、１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄを夫々の複数の櫛歯状電極枝６６ｅを交互に配置するよう組み合わせることにより構成されている。

　弾性表面波・励起／検知手ユニット６６のすだれ状電極は、基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａが、図１３Ｂ中に図示されている如く、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに対し基体支持体６２の基体座部６２ａとは反対側で面接触し基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂが基体支持体６２の基体座部６２ａの両側に固定されたときに、弾性表面波周回路６２ａに対し以下のように配置されるよう基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａに配置されている。

　即ち、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄの複数の櫛歯状電極枝６６ｅが交互に配列された方向が弾性表面波周回路６２ａの円環状に延出する方向（この実施形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体４２の球形状の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に一致し、好ましくは複数の櫛歯状電極枝６６ｅの夫々の延出方向が弾性表面波周回路４２ａの円環状に延出する方向に対し直交する。

　すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄは、第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂ、そして基体支持体６２の第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄを介して、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の動作を制御するための公知の動作制御ユニット５０と電気的に接続されている。そして、１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄに上記公知の動作制御ユニット５０により所定の周波数の高周波信号がバースト状に適用されることにより、すだれ状電極は所定の波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに励起させることが出来る。ここにおいて上記所定の周波数や上記所定の波長は、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄの複数の櫛歯状電極枝６６ｅの配列周期に対応している。

　すだれ状電極が弾性表面波周回路６２ａに励起させる弾性表面波の幅は、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄの複数の櫛歯状電極枝６６ｅ中の２つの相互に隣接している櫛歯状電極枝６６ｅが相互に対面する距離（電極幅）である。

　上記公知の動作制御ユニット６０は、弾性表面波周回路４２ａを周回する弾性表面波を、弾性表面波周回路４２ａに設けられている弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極により検知することができる。

　この実施形態において、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに前述した如く形成されている弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極は、弾性表面波周回路４２ａを周回してきた弾性表面波がそこに衝突することにより弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させ弾性表面波の周回数を減少させる要因になる。しかしながら、弾性表面波周回路４２ａの延出方向におけるすだれ状電極の全体の長さ（即ち、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄの複数の櫛歯状電極枝６６ｅが配列されている方向における複数の櫛歯状電極枝６６ｅの配列長さ）は弾性表面波周回路４２ａの円環状の延出長さに比べれば遥かに短く、また弾性表面波周回路４２ａの全体の面積に比べるとすだれ状電極が弾性表面波周回路４２ａに対し接触している面積は非常に少ない。従って、弾性表面波周回路４２ａに沿い周回する弾性表面波がすだれ状電極に衝突することによりその伝搬エネルギーを減衰される割合は小さく、弾性表面波は所望の測定の為に有意な多重周回を行なうことができる。

　なお、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極が形成されている基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａにおいてすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝６６ｅ以外の部位を複数の櫛歯状電極枝６６ｅよりも窪ませることで、保持体６４の中央部の接触部分６４ａにおいて弾性表面波周回路４２ａにすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝６６ｅ以外の部位が接触しないようにすることが出来る。この結果として、弾性表面波周回路４２ａにおいて弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる要因をさらに低くすることができる。

　この実施形態において基体弾性保持体６４には不導体を採用していたがその理由は以下の通りである。即ち、基体弾性保持体６４を表面を不導体膜で被覆した導体で作ると、基体弾性保持体６４の表面に形成された弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極に弾性表面波の励起の為に高周波信号が負荷された時に、基体弾性保持体６４の薄い不導体膜で被覆されている導体を介しすだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄが短絡する可能性が大きいからである。

　逆にいうと、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄにおける上述した短絡を防止できるのであれば、基体弾性保持体６４を不導体により被覆した弾性を有した例えばステンレスの如き金属により形成しても良い。例えば、金属の如き導体により基体弾性保持体６４の全体を形成し、さらに基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａ（この実施形態においては弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極が配置される凹所）及びその近傍のみを上述した短絡を防止できるよう構成された材料により覆うことでも良い。

　基体弾性保持体６４はさらに、曲げに対し必要な弾性抵抗を発揮する限り、より柔軟なプラスチックによって構成されているほうが弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体４２の外表面をより安定して保持することができる。或いは、基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａ（即ち、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極が配置される凹所）のみに基体弾性保持体６４を構成しているプラスチックよりも柔軟な不導体の膜を形成することによっても、弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対する基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａの密着度が増し弾性表面波伝搬基体４２の外表面をより安定して保持することができる。

　この実施形態では、基体支持体６２の基体座部６２ａに着座されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに対し基体座部６２ａとは反対側で基体弾性保持体６４の接触部分６４ａを接触させている間に、基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂが基体支持体６２の前記一表面における基体座部６２ａの両側で基体座部６２ａから離れた位置に着脱可能に固定される。

　基体支持体６２の前記一表面における基体座部６２ａの両側で基体座部６２ａから離れた位置には、係合凸所６２ｅが形成されている。これら係合凸所６２ｅに基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂが挿入されると、基体弾性保持体６４は接触部分６４ａを中心に湾曲されて弾性抵抗を生じさせる。基体弾性保持体６４の上記弾性抵抗により基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂは係合凸所６２ｅの内表面との間に摩擦抵抗を生じさせ、基体弾性保持体６４の上記弾性抵抗に抗して基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂは係合凸所６２ｅに係合する。

　この実施形態の係合凸所６２ｅは、製造の容易性とそれに対する基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂの挿入の容易性のために、貫通孔として形成されている。２つの係合凸所６２ｅの貫通孔の内表面において基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂが接触して摩擦係合する部分に、第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄが配置されている。

　図１３Ａ中に示されている如く、両側端部６４ｂが弾性抵抗に抗して押圧される前の直線状に延びている帯板形状の基体弾性保持体６４は、図１０Ａ乃至図１０Ｄ中に図示されていた第１実施形態に従った球状弾性表面波装置４０の帯板形状の基体弾性保持体４８の両端部４８ｂが基体支持体４６の２つの係合凸所４６ｄに着脱可能に固定されるのと同様にして、両側端部６４ｂが基体支持体６２の２つ係合凸所６２ｅに着脱可能に固定される。

　即ち、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを含まない部分（即ち、弾性表面波周回路４２ａの両側の弾性表面波周回路４２ａを含まない部分）を、図１０Ｃ中に矢印Ａにより示されている如く、基体支持体６２の基体座部６２ａに着座させた後に、弾性表面波伝搬基体６２を基体座部６２ａに以下のようにして容易に着脱可能に固定する。

　図１３Ａ中に図示されている如き帯板形状の直線状の基体弾性保持体６４は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａにおいて基体座部６２ａとは反対側の部分の上方で、図１０Ｃ中に図示されている如く中央部を中央部支持体ＣＳに支持されている間に両側端部６４ｂを基体支持体６２に向け１対の押圧部材ＰＭにより弾性抵抗に抗して押圧され略逆Ｕ字形状にされる。

　次にそのままの状態で、中央部支持体ＣＳとともに１対の押圧部材ＰＭが下降され、基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂを、図１０Ｃ中に矢印Ｂにより示されている如く、基体支持体６２の基体座部６２ａの両側の係合凸所６２ｅに挿入させる。

　次に、基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａの凹所が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａにおいて基体座部６２ａとは反対側の部分に被せられる直前に中央部支持体ＣＳが上記中央部から離脱される。さらに、基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａの凹所が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａにおいて基体座部６２ａとは反対側の部分に被せられ面接触した後に、１対の押圧部材ＰＭが図１０Ｄ中に白抜き矢印Ｃにより示されている如く基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂから離間される。その結果として、基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂはその弾性力により図１０Ｄ中に矢印Ｅにより示されている如く相互に離間するよう展開し、図１３Ｂ中に図示されている如く基体支持体６２の基体座部６２ａの両側の係合凸所６２ｅの内周面に当接し摩擦係合する。この時、基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂで、弾性表面波・励起／検知ユニット４４のすだれ状電極の第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂが、係合凸所６２ｅの内周面の第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄに接続される。

　上述した如く両側端部６４ｂを基体支持体６２の基体座部６２ａの両側の係合凸所６２ｅの内表面に当接させ摩擦係合させた基体弾性保持体６４は、その弾性力により中央部の接触部分６４ａの凹所に配置されている弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極を弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａにおいて基体座部６２ａとは反対側の部分に押圧して面接触させ、ひいては弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを含まない部分（即ち、弾性表面波周回路４２ａの両側の弾性表面波周回路４２ａを含まない部分）を、基体支持体６２の基体座部６２ａ上に押圧させる。

　この結果、基体弾性保持体６４は基体支持体６２の基体座部６２ａ上に弾性表面波伝搬基体４２を容易に着脱可能に固定する。そして、基体弾性保持体６４は簡易な構成でありながら、弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａに何も付着させずに弾性表面波伝搬基体４２を基体支持体６２の基体座部６２ａ上に支持させたり、弾性表面波周回路４２ａに新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体４２と交換することを、確実に容易に素早く行わせることが出来る。

　さらに、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａにおいて基体座部６２ａとは反対側の部分に対する基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａの凹所に配置されている弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極の面接触、そして、基体支持体６２の基体座部６２ａの両側の係合凸所６２ｅの内表面の第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄに対する基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａの凹所に配置されている弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極から両側端部６４ｂまで延出している第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂの電気的な接続、を確実にしている。

　基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂを確実に基体支持体６２の基体座部６２ａの両側の係合凸所６２ｅの内表面に当接させ摩擦係合させておく（即ち、基体弾性保持体６４により基体支持体６２の基体座部６２ａ上に確実に弾性表面波伝搬基体４２を固定させておく）には、以下の条件が満たされることが必要である。

　即ち、図１３Ｂ中に図示されている如く、基体支持体６２の基体座部６２ａに弾性表面波伝搬基体４２が載置されている間に、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において基体支持体６２の基体座部６２ａとは反対側で基体弾性保持体６４の中央部の接触部分６４ａが接触する第１接点ＦＰと基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂの夫々が基体支持体６２の対応する係合凹所６２ｅに対し最初に接する第２接点ＳＰとを結ぶ第１直線ＦＬと、第２接点ＳＰと基体支持体６２の基体座部６２ａにおいて弾性表面波伝搬基体４２の外表面が第２接点ＳＰの側で接する第３接点ＴＰとを結ぶ第２直線ＳＬと、がなす角αが、９０度以下である。上記の角αが９０度を超えると、基体支持体６２の２つの係合凹所６２ｅの内表面に対する基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂの摩擦係合に関する力学的観点から、基体支持体６２に気体弾性保持体６４を確実に安定して固定する事が困難となる。上述した摩擦係合による上述した固定を基体弾性保持体６４の両側端部６４ｂの弾性力を利用して上下方向の振動に対しより確実にするには、上記の角αを７０度以下とすることが好ましい。

　［第４実施形態の変形例］
　次に、図１４Ａ及び図１４Ｂを参照しながら、この発明の第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０の変形例について説明する。

　この変形例に従った球状弾性表面波装置６０´が図１３Ａ及び図１３Ｂを参照しながら前述した第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０と異なっているのは、弾性表面波伝搬基体４２を支持するよう構成されている基体支持ユニットが備えている基体支持体６２´及び基体弾性保持体６４´の構成と、基体弾性保持体６４´に設けられている弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極の第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂの為の第１及び第２端子６２ｃ，６２ｄが基体支持体６２´に設けられておらず使用されていないことである。

　変形例に従った球状弾性表面波装置６０´において第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０の構成部材と同じ構成部材には、第４実施形態に従った球状弾性表面波装置６０の対応する構成部材に付されていた参照符号と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。

　変形例に従った球状弾性表面波装置６０´においては、図１４Ａ中に図示されている如く、基体支持体６２´が角張ったＵ字形状をしていて、しかもその１対の側壁６２´ｆの延出端部６２´ｇが１対の側壁６２´ｆの延出方向に対し交差する方向で相互に遠ざかるよう折り曲げられている。角張ったＵ字形状の基体支持体６２´の中央部の壁６２´ｈには、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを含まない領域が載置される基体座部６２´ｉが設けられている。

　基体支持体６２´は、不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成されている。又は、基体支持体６２´は、例えばプラスチックの如き不導体で被覆した例えば金属の如き導体により形成することができる。

　基体座部６２´ｉは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを含む領域が着座される凹所により構成されている。この凹所の寸法形状は、そこに着座される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記領域の寸法形状と実質的に同じであり、そこに着座される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記領域と線接触又は面接触される。

　基体座部６２´ｉの凹所において、そこに着座される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の領域に含まれている弾性表面波周回路４２ａに対応する部分６２´ｊがさらに凹まされている。その結果、基体座部６２´ｉの凹所の内表面には、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側の部分（即ち、上記外表面において弾性表面波周回路４２ａを含まない領域）が載置されている。

　基体支持体６２´の基体座部６２ａの凹所にこのように載置された弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａは、基体支持体６２´の中央部の壁６２´ｈにおいて基体座部６２´ｉの凹所が形成されている一表面に対し直交する方向に向けられ、また上記一表面上で基体座部６２´ｉを中心とした所定の周方向位置に向けられている。

　基体支持体６２´の１対の側壁６２´ｆ間の幅は、弾性表面波伝搬基体６２の球形状の外表面の径よりも大きい。従って１対の側壁６２´ｆが、基体支持体６２´の中央部の壁６２´ｈの基体座部６２´ｉに前述した如く載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面に接することはない。

　中央部の壁６２´ｈから延出端部６２´ｇまでの１対の側壁６２´ｆの延出長さは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の径よりは短い。

　基体支持体６２´の１対の側壁６２´ｆの延出端部６２´ｇには、曲げに対し弾性抵抗を発揮する板状の基体弾性保持体６４´の両端部が着脱可能に固定されている。この変形例では、延出端部６２´ｇに対し板状の基体弾性保持体６４´の両端部が例えば固定螺子や固定ピンを含む公知の容易に着脱可能な固定要素６２´ｋにより着脱可能に固定されている。このように固定された基体弾性保持体６４´は、基体支持体６２´の１対の側壁６２´ｆの延出端部６２´ｇ間の開口を閉塞している。そしてこの間に、板状の基体弾性保持体６４´の中央部が、基体支持体６２´の中央部の壁６２´ｈの基体座部６２´ｉに載置されている弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａにおいて基体支持体６２´の基体座部６２´ｉとは反対側に接触する。また、板状の基体弾性保持体６４´の両端部が基体支持体６２´の１対の側壁６２´ｆの延出端部６２´ｇに公知の固定要素６２´ｋにより容易に着脱可能に固定されているので、基体弾性保持体６４´の上記中央部の接触部分６４ａの両側が基体支持体６２´の基体座部６２´ｉに向け弾性抵抗に抗して押圧されることになる。

　この押圧により発生した弾性力により板状の基体弾性保持体６４´の中央部は弾性表面波伝搬基体４２を基体支持体６２´の基体座部６２´ｉに向け押圧し、弾性表面波伝搬基体４２を基体座部６２´ｉと協働して弾性的に挟持する。

　図１４Ｂ中に図示されている如く、基体弾性保持体６４´の中央部の接触部分６４ａは、ここに接触する弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａにおいて基体支持体６２´の基体座部６２´ｉとは反対側の部分の寸法形状と実質的に同じ寸法形状を有した凹所により構成されている。

　基体弾性保持体６４´の上記接触する部分６４ａには、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極が配置されている。基体弾性保持体６４´は曲げに対し弾性抵抗を発揮する例えばプラスチックの如き不導体により構成されていて、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極はそのような基体弾性保持体６４´の表面に公知の端子形成工程により形成されている。この実施形態では、基体弾性保持体６４´の外表面に付着された例えば金や銅やアルミニウムの如き良導電性の金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）することにより弾性表面波・励起／検知ユニット６６及び第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂを成形している。

　基体弾性保持体６４´の表面には、すだれ状電極とともにすだれ状電極の為の第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂが形成されている。この変形例では、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極は、第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂが直接、図１３Ｂ中に図示されている動作制御ユニット５０に接続される。従って、上述した第４実施の形態に従った球状弾性表面波装置６０の場合と同様に、すだれ状電極の第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。

　この変形例の基体弾性保持体６４´は、図１３Ａ及び図１３Ｂを参照しながら前述した第４実施形態の基体弾性保持体６４に比べ弾性力に抗して押圧された時に撓む量が小さい。従って、基体弾性保持体６４´を例えばプラスチックの如き不導体で被覆した例えば金属の如き導体により形成し、上記不導体の被覆の上に弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極及び第１及び第２外部接続端子６６ａ，６６ｂを形成することも出来る。とはいうものの、この場合、上記不導体の被覆の厚さは、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極に弾性表面波の励起の為に高周波信号が負荷された時に、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄが不導体膜で被覆されている導体を介し短絡しないだけの十分な厚さを有していなければならない。或いは、導体で形成された基体弾性保持体６４´において弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄが配置される部分（この変形例においては凹所６４ａ）のみ、または上記部分とその近傍を、上述した短絡を防止できるよう構成された材料により覆うことが出来る。

　基体弾性保持体６４´はさらに、曲げに対し必要な弾性抵抗を発揮する限り、より柔軟なプラスチックによって構成されているほうが弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体４２の外表面をより安定して保持することができる。或いは、基体弾性保持体６４´の中央部の接触部分６４ａ（即ち、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極が配置される凹所）のみに基体弾性保持体６４´を構成しているプラスチックよりも柔軟な不導体の膜を形成することによっても弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体４２の外表面をより安定して保持することができる。

　さらに、図１３Ａ及び図１３Ｂを参照しながら前述した第４実施形態の場合と同様に、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極が形成されている基体弾性保持体６４´の中央部の接触部分６４ａにおいてすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝６６ｅ以外の部位を複数の櫛歯状電極枝３６ｅよりも窪ませることが出来る。このようであれば、基体弾性保持体６４´の中央部の接触部分６４ａ（即ち、弾性表面波・励起／検知ユニット６６のすだれ状電極が配置される凹所）が弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに接触された時には、弾性表面波周回路４２ａにはすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝３６ｅ以外は接触しない。この結果、すだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに励起させ伝搬させた弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる要因をさらに低くすることができる。

　［第５実施形態］
　次に、この発明の第５実施形態に従った球状弾性表面波装置７０について図１５Ａ及び図１５Ｂを参照しながら説明する。

　第５実施形態に従った球状弾性表面波装置７０は、図９乃至図１１を参照しながら前述したこの発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２と同じ弾性表面波伝搬基体４２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体４２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路４２ａを外表面に含む。第５実施形態に従った球状弾性表面波装置７０で使用する弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａには、第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２と同様に弾性表面波周回路４２ａに弾性表面波・励起／検知ユニット４４が設けられている。

　第５実施形態に従った球状弾性表面波装置７０が備えていて弾性表面波伝搬基体４２を支持するよう構成されている基体支持ユニットは、支持体７２と、弾性表面波伝搬基体４２を支持体４２の一方の側に保持する基体保持体７４と、を備えている。

　この実施形態において支持体７２は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いて形成されていてもよい。

　また、この実施形態において基体保持体７４は、支持体７２の所定位置に固定された固定部７４ａと、固定部７４ａから支持体７２の一方の側に突出し弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａを除いた領域を弾性表面波伝搬基体４２の径方向の両側から挟持して弾性表面波伝搬基体４２を支持体７２の一方の側の外方に保持する１対の保持部７４ｂと、を含む。

　この実施形態において基体保持体７４は、弾性を有した材料、例えばプラスチックなど、により略Ｕ字形状に構成されている。略Ｕ字形状の基体保持体７４においては、中央部が固定部７４ａを構成し、１対の両側部が１対の保持部７４ｂを構成している。

　この実施形態において基体保持体７４の１対の保持部７４ｂは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側で弾性表面波伝搬基体４２の径方向の正反対の部分を上記径方向の両側から弾性的に挟持している。弾性表面波伝搬基体４２の外表面における上記正反対の部分には、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂの１対の第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅが配置されている。

　基体保持体７４の１対の保持部７４ｂは、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の第１及び第２外部接続端子４４ａ，４４ｂに接触する位置と固定部７４ａとの間を延出した１対の導電路７４ｃ，７４ｄを備えている。

　基体保持体７４が例えばプラスチックの如き不導体により構成されている場合には、１対の導電路７４ｃ，７４ｄは例えば金や銅やアルミニウムの如き導体を基体保持体７４の表面に付着させることにより構成されることが出来る。

　支持体７２は、基体保持体７４の固定部７４ａにおいて１対の導電路７４ｃ，７４ｄに接触した１対の端子７２ａ，７２ｂを備えている。１対の端子７２ａ，７２ｂは、図９乃至図１１を参照して前述した第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４の為に使用されていた公知の動作制御ユニット５０と同じ公知の動作制御ユニット５０に接続されている。

　なお、通常の電子回路では１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多く、本発明においてもすだれ状電極の１対の外部接続端子４４ｄ，４４ｅが接続される基体支持体７２の１対の端子７２ａ，７２ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。

　基体保持体７４の１対の保持部７４ｂにおいて弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａを除いた領域を挟持する部分は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の対応する部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所７４ｅとして構成されている。

　この実施形態において、基体保持体７４の固定部７４ａが固定される支持体７２の所定位置には嵌合凹所７２ｃが形成されている。弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されている基体保持体７４の中央部の固定部７４ａは、支持体７２の所定位置の嵌合凹所４２ｃに嵌合されることにより支持体７２の所定位置に対し容易に着脱可能に固定されている。

　支持体７２の１対の端子７２ａ，７２ｂは嵌合凹所７２ｃの内周面に配置されていて、基体保持体７４の中央部の固定部７４ａが嵌合凹所７２ｃに嵌合されることにより基体保持体７４の固定部７４ａにおいて基体保持体７４の１対の導電路７４ｃ，７４ｄに接触する。

　この実施形態では、基体保持体７４の１対の保持部７４ｂを弾性に抗して相互に離間させることにより１対の保持部７４ｂの間に弾性表面波伝搬基体４２を容易に挿脱させることが出来る。基体保持体７４の相互に離間された１対の保持部７４ｂの間に弾性表面波伝搬基体４２を挿入している間に１対の保持部７４ｂを弾性により相互に接近させることにより、図１５Ｂ中に図示されている如く、支持体７２の一方の側の外方に１対の保持部７４ｂにより弾性表面波伝搬基体４２を容易に保持することができる。

　この時には、基体保持体７４の１対の保持部７４ｂの凹所７４ｅが、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側に位置する弾性表面波・励起／検知ユニット４４の１対の外部接続端子７４ａ，７４ｂを受け入れ、１対の外部接続端子７４ａ，７４ｂに線接触又は面接触する。この結果、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の１対の外部接続端子４４ｄ，４４ｅは、基体保持体７４の１対の保持部７４ｂの凹所７４ｅに配置されている導電路７４ｃ，７４ｄ及び導電路７４ｃ，７４ｄと支持体７２において接続されている１対の端子７２ａ，７２ｂを介して動作制御ユニット５０に接続される。この間に、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａは、なにものにも接触しない。

　基体保持体７４の１対の保持部７４ｂの凹所７４ｅの夫々の寸法形状は、そこに受け入れる弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側で弾性表面波伝搬基体４２の径方向の正反対の部分の夫々の寸法形状と実質的に同じであることが好ましい。

　何故ならば、１対の保持部７４ｂの凹所７４ｅの夫々の寸法形状が、そこに受け入れられる弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側で弾性表面波伝搬基体４２の径方向の正反対の部分の夫々の寸法形状と実質的に同じでない場合には、１対の保持部７４ｂの凹所７４ｅの夫々が弾性表面波伝搬基体４２の径方向の上記正反対の部分に局所的に接触する。この結果、局所的に強い圧力が上記正反対の部分にある弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４の１対の外部接続端子４４ｄ，４４ｅに負荷され、１対の外部接続端子４４ｄ，４４ｅが断線する可能性がある。

　［第６実施形態］
　次に、この発明の第６実施形態に従った球状弾性表面波装置８０について図１６Ａ及び図１６Ｂを参照しながら説明する。

　第６実施形態に従った球状弾性表面波装置８０は、図３乃至図１１を参照しながら前述したこの発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２と同じ弾性表面波伝搬基体４２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体４２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路４２ａを外表面に含む。第６実施形態に従った球状弾性表面波装置８０で使用する弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａには、第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２と同様に弾性表面波周回路４２ａに弾性表面波・励起／検知ユニット４４が設けられている。

　第６実施形態に従った球状弾性表面波装置８０が備えていて弾性表面波伝搬基体４２を支持するよう構成されている基体支持ユニットは、支持体８２と、弾性表面波伝搬基体４２を支持体８２の一方の側に保持する基体保持体８４と、を含んでいる。

　この実施形態において支持体８２は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いて形成されていてもよい。

　この実施形態において基体弾性保持体８４は、弾性を有した材料、例えばプラスチックなどにより略Ｕ字形状の帯板として構成されている。略Ｕ字形状の基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａは弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域を弾性表面波伝搬基体４２の径方向の両側から弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体４２を支持体８２の一方の側の外方に保持しており、１対の両側部８４ａの端部８４ｂが弾性力に抗して支持体８２に容易に着脱可能に固定されている。

　この実施形態において基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａは、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側で弾性表面波伝搬基体４２の径方向の正反対の部分を上記径方向の両側から弾性的に挟持している。弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記正反対の部分には弾性表面波・励起／検知ユニット４４の１対の櫛形状端子部４４ａ，４４ｂの１対の第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅが配置されている。

　基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａは、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の第１及び第２外部接続端子４４ａ，４４ｂに接触する位置と１対の端部８４ｂとの間を延出した１対の導電路８４ｃ，８４ｄを備えている。

　基体弾性保持体８４が例えばプラスチックの如き不導体により構成されている場合には、１対の導電路８４ｃ，８４ｄは、例えば金や銅やアルミニウムの如き良導電性の金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）することにより、基体保持体８４の表面に成形される。

　支持体８２は、基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの端部８４ｂが容易に着脱可能に固定される位置に、１対の両側部８４ａの１対の導電路８４ｃ，８４ｄに接触した１対の端子８２ａ，８２ｂを備えている。１対の端子８２ａ，８２ｂは、図９乃至図１１を参照して上述した第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４の為に使用されていた公知の動作制御ユニット５０と同じ公知の動作制御ユニット５０に接続されている。

　なお、通常の電子回路では１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多い。従って本発明においても、すだれ状電極の１対の外部接続端子４４ｄ，４４ｅが接続される支持体８２の１対の端子８２ａ，８２ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。

　基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａにおいて弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａを除いた領域を挟持する部分は、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の対応する部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所８４ｅとして構成されている。

　なお基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの凹所８４ｅの寸法形状は、そこに受け入れられる弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域（この実施形態では、弾性表面波周回路４２ａの両側で弾性表面波伝搬基体４２の径方向の正反対の部分）のスンポ形状と実質的に同じであることが好ましい。

　１対の両側部８４ａの凹所８４ｅの寸法形状が、そこに受け入れられる弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域の寸法形状と実質的に同じでない場合、１対の両側部８４ａの凹所８４ｅの内表面が、そこに受け入れられる弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域に局所的に接触する。その結果、局所的に強い圧力が上記領域にある弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４の第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅに負荷され、第１及び第２外部接続端子４４ｄ，４４ｅが断線する可能性がある。

　この実施形態において、基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの端部８４ｂが固定される支持体８２の所定位置には係止凹所８２ｃが形成されている。弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されている基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの端部８４ｂが支持体８２の所定位置の係止凹所８２ｃに弾性力に抗して係止されることにより、基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの端部８４ｂが支持体８２の所定位置の係止凹所８２ｃに容易に着脱可能に固定される。

　支持体８２の１対の端子８２ａ，８２ｂは係止凹所８２ｃの内周面に配置されていて、基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの端部８４ｂが係止凹所８２ｃに弾性力に抗して係止されることにより基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの端部８４ｂで基体弾性保持体８４の１対の導電路８４ｃ，８４ｄに接触する。

　図１６Ｂ中に図示されている如く支持体８２の一方の側に基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａにより保持されている弾性表面波伝搬基体４２は、以下のようにして基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａに対する挿脱を容易に行なうことが出来る。

　最初に、基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの端部８４ｂを弾性に抗して相互に接近させ、次に１対の両側部８４ａの端部８４ｂを支持体８２の所定位置の係止凹所８２ｃから引き抜く。その後、１対の両側部８４ａの端部８４ｂを弾性により相互に遠ざけることにより、１対の両側部８４ａの間に弾性表面波伝搬基体４２を容易に挿脱させることが出来る。

　図１６Ｂ中に図示されている如く支持体８２の一方の側に基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａにより弾性表面波伝搬基体４２を保持させる手順は以下のようである。

　基体弾性保持体８４の相互に離間された１対の両側部８４ａの凹所８４ｅの間に弾性表面波伝搬基体４２を挿入している間に、１対の両側部８４ａの端部８４ｂを弾性に抗して相互に接近させ、この状態で１対の両側部８４ａの端部８４ｂを支持体８２の所定位置の係止凹所８２ｃに挿入する。さらに１対の両側部８４ａの端部８４ｂを弾性により相互に遠ざけて１対の両側部８４ａの端部８４ｂを支持体８２の所定位置の係止凹所８２ｃに係止させる。

　この時、基体弾性保持体８４の１対の両側部８４ａの凹所８４ｅが、弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａの両側に位置する弾性表面波・励起／検知ユニット４４の第１及び第２外部接続端子４４ａ，４４ｂを受け入れ、第１及び第２外部接続端子４４ａ，４４ｂに線接触又は面接触する。この結果、弾性表面波・励起／検知ユニット４４の第１及び第２外部接続端子４４ａ，４４ｂは、凹所８４ｅに配置されている導電路８４ｃ，８４ｄ及び導電路８４ｃ，８４ｄと支持体８２において接続されている１対の端子８２ａ，８２ｂを介して、動作制御ユニット５０に接続される。また、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａは、なにものにも接触しない。

　［第７実施形態］
　次に、この発明の第７実施形態に従った球状弾性表面波装置９０について図１７Ａ及び図１７Ｂを参照しながら説明する。

　第７実施形態に従った球状弾性表面波装置９０は、図９乃至図１１を参照しながら前述したこの発明の第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２と同じ弾性表面波伝搬基体４２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体４２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路４２ａを外表面に含む。とはいうものの、第７実施形態に従った球状弾性表面波装置９０で使用する弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａには、第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において使用されていた弾性表面波伝搬基体４２では弾性表面波周回路４２ａに設けられていた弾性表面波・励起／検知ユニット４４が設けられていない。

　第７実施形態に従った球状弾性表面波装置９０が備えていて弾性表面波伝搬基体４２を支持するよう構成されている基体支持ユニットは、支持体９２と、弾性表面波伝搬基体４２を支持体９２の一方の側に保持する基体弾性保持体９４と、を含んでいる。

　この実施形態において支持体９２は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いて形成されていてもよい。

　この実施形態において基体弾性保持体９４は、例えばプラスチックなどの弾性を有した不導体により略Ｕ字形状の帯板として構成されている。略Ｕ字形状の基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａは、１対の両側部９４ａの一方を弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａに接触させ、１対の両側部９４ａの他方を弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除く領域を１対の両側部９４ａの一方とは弾性表面波伝搬基体４２の径方向の反対側から当接させ、その結果として弾性表面波伝搬基体４２を弾性的に挟持している。そして、１対の両側部９４ａの端部９４ｂが弾性力に抗して支持体９２に容易に着脱可能に固定されることにより、弾性表面波伝搬基体４２を支持体９２の一方の側の外方に保持している。

　１対の両側部９４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体４２の外表面で弾性表面波周回路１２ａを含む領域と接触する部分には凹所９４ｃが形成されている。凹所９４ｃの寸法形状は、そこに着座する弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記領域の寸法形状と実質的に同じに設定されていて、凹所９４ｃはそこに着座される弾性表面波伝搬基体４２の外表面の上記領域と面接触される。

　１対の両側部９４ａの他方において、弾性表面波伝搬基体４２の外表面で弾性表面波周回路４２ａを除く領域に接触される部分は、弾性表面波周回路４２ａの両側で弾性表面波周回路４２ａから離れた位置（即ち、上記外表面において弾性表面波周回路４２ａを含まない領域）に接触し弾性表面波周回路４２ａを跨いでいる橋状部９４ｄとして構成されている。

　基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体４２の外表面で弾性表面波周回路４２ａを含む領域が接触される部分（この実施形態では、上記領域が面接触される凹所９４ｃの内表面）には、弾性表面波周回路４２ａに弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路４２ａを周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知ユニット９６が設けられている。

　弾性表面波・励起／検知ユニット９６は、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂに向かい延出した第１及び第２外部接続端子９６ａ，９６ｂを備えている。

　基体弾性保持体９４が例えばプラスチックの如き不導体により構成されている場合、弾性表面波・励起／検知ユニット９６及び第１及び第２外部接続端子９６ａ，９６ｂは、例えば金や銅やアルミニウムの如き良導電性の金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）することにより、基体弾性保持体９４の表面に成形されることが出来る。

　基体支持体９２は、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂが着脱可能に固定される位置に、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂで第１及び第２外部接続端子９６ａ，９６ｂと接触する第１及び第２端子９２ａ，９２ｂを備えている。第１及び第２端子９２ａ，９２ｂは、弾性表面波・励起／検知ユニット９６の動作を制御する為の公知の動作制御ユニット５０に接続されている。この公知の動作制御ユニット５０は、図９乃至図１１を参照して前述した第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０において弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波・励起／検知ユニット４４の為に使用されていた公知の動作制御ユニット５０と同じである。

　従って、上述した第３実施形態に従った球状弾性表面波装置４０の場合と同様に、すだれ状電極の第１及び第２外部接続端子９６ａ，９６ｂが接続される基体支持体９２の第１及び第２端子９２ａ，９２ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。

　この実施形態において弾性表面波・励起／検知ユニット９６は、図９乃至図１１を参照しながら前述したこの発明の第３実施形態の球状弾性表面波装置４０において弾性表面波・励起／検知ユニット４４を構成していたのと同じすだれ状電極により構成されている。

　即ち、１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄを、夫々の複数の櫛歯状電極枝９６ｅを交互に配置するよう組み合わせて構成している。

　弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極は、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体４２の外表面で弾性表面波周回路４２ａを含む領域に接触される部分（この実施形態では、上記領域が面接触される凹所９４ｃ）に、以下のように配置されている。

　即ち、図１７Ｂ中に図示されている如く、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方の凹所９４ｃが弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに対し面接触されるとともに１対の両側部９４ａの他方の橋状部９４ｄが弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除く領域に接触され、さらに、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂが基体支持体９２に着脱可能に固定された時、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄの複数の櫛歯状電極枝９６ｅが交互に配列された方向が弾性表面波周回路４２ａの円環状に延出する方向に一致し、好ましくは複数の櫛歯状電極枝９６ｅの夫々の延出方向が弾性表面波周回路４２ａの円環状に延出する方向に対し直交する。

　図１７Ｂ中に図示されている如く、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａにより弾性表面波伝搬基体４２が基体支持体９２の一方の側に保持されている間に、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの第１及び第２外部接続端子９６ａ，９６ｂそして基体支持体９２の第１及び第２端子９２ａ，９２ｂを介して、弾性表面波・励起／検知ユニット９６の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄに公知の動作制御ユニット５０により所定の周波数の高周波信号をバースト状に適用すると、１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄは所定の波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに励起させ、励起させた弾性表面波を弾性表面波周回路４２ａの円環状の延出方向に伝搬させることが出来る。ここにおいて上記所定の周波数や上記所定の波長は複数の櫛歯状電極枝９６ｅの配列周期に対応している。

　すだれ状電極が弾性表面波周回路４２ａに励起させる弾性表面波の幅はすだれ状電極の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄの複数の櫛歯状電極枝９６ｅ中の相互に隣接している２つの櫛歯状電極枝９６ｅが相互に対面している距離（電極幅）である。

　所定の半径を有した弾性表面波周回路４２ａに対し所定の範囲の幅と所定の波長を有した弾性表面波を弾性表面波周回路４２ａの延出方向に向かい励起させればそのような弾性表面波を弾性表面波周回路４２ａに沿いその延出方向と交差する方向に拡散することなく繰り返し周回させることが出来ることは前述した国際公開ＷＯ　０１／４５２５５　Ａ１号公報（特許文献２）などにより公知である。

　公知の動作制御ユニット５０は、弾性表面波周回路４２ａを周回する弾性表面波を、弾性表面波周回路４２ａに接触している弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極により検知することができる。

　この実施形態において、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方の凹所９４ｃに前述した如く形成され弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに前述した如く面接触されている弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極は、弾性表面波周回路４２ａを周回してきた弾性表面波がそこに衝突することにより弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させ弾性表面波の周回数を減少させる要因になる。しかしながら、弾性表面波周回路４２ａの延出方向におけるすだれ状電極の全体の長さ（即ち、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄの複数の櫛歯状電極枝９６ｅが配列されている方向における複数の櫛歯状電極枝９６ｅの配列長さ）は弾性表面波周回路４２ａの円環状の延出長さに比べれば遥かに短く、また弾性表面波周回路４２ａの全体の面積に比べるとすだれ状電極が弾性表面波周回路４２ａに対し接触している面積は非常に少ない。従って、弾性表面波周回路４２ａに沿い周回する弾性表面波がすだれ状電極に衝突することによりその伝搬エネルギーを減衰される割合は小さく、弾性表面波は所望の測定の為に有意な多重周回を行なうことができる。

　なお、弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極が形成されている基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方の凹所９４ｃにおいてすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝６６ｅ以外の部位を複数の櫛歯状電極枝６６ｅよりも窪ませることで、上記凹所９４ｃにおいて弾性表面波周回路４２ａにすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝９６ｅ以外の部位が接触しないようにすることが出来る。この結果として、弾性表面波周回路４２ａにおいて弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる要因をさらに低くすることができる。

　この実施形態において基体弾性保持体６４には不導体を採用していたがその理由は以下の通りである。即ち、基体弾性保持体６４を表面を不導体膜で被覆した導体で作ると、基体弾性保持体６４の表面に形成された弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極に弾性表面波の励起の為に高周波信号が負荷された時に、基体弾性保持体９４の薄い不導体膜で被覆されている導体を介しすだれ状電極の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄが短絡する可能性が大きいからである。

　逆にいうと、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄにおける上述した短絡を防止できるのであれば、基体弾性保持体９４を不導体により被覆した弾性を有した例えばステンレスの如き金属により形成しても良い。例えば、金属の如き導体により基体弾性保持体９４の全体を形成し、さらに基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方において弾性表面波・励起／検知ユニット９６が形成される部分（この実施例においては凹所９４ｃ）及びその近傍のみを上述した短絡を防止できるよう構成された材料により覆うことでも良い。

　基体弾性保持体９４はさらに、曲げに対し必要な弾性抵抗を発揮する限り、より柔軟なプラスチックによって構成されているほうが弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体４２の外表面をより安定して保持することができる。或いは、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方において弾性表面波伝搬基体４２の弾性表面波周回路４２ａに接触する部分（即ち、弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極が配置される凹所９４ｃ）のみに基体弾性保持体９４を構成しているプラスチックよりも柔軟な不導体の膜を形成することによっても、弾性表面波伝搬基体４２の外表面に対する基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方の上記接触部分（凹所９４ｃ）の密着度が増し弾性表面波伝搬基体４２の外表面をより安定して保持することができる。

　この実施形態において、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂが着脱可能に固定される支持体９２の所定位置には係止凹所９２ｃが形成されている。弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されている基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂが支持体９２の所定位置の係止凹所９２ｃに弾性力に抗して係止されることにより、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂは基体支持体９２の所定位置の係止凹所９２ｃに容易に着脱可能に固定されている。

　基体支持体９２の１対の端子９２ａ，９２ｂは係止凹所９２ｃの内周面に配置されている。基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂが基体支持体９２の係止凹所９２ｃに弾性力に抗して係止されることにより、基体支持体９２の１対の端子９２ａ，９２ｂは基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂで基体弾性保持体９４の第１及び第２外部接続端子９６ａ，９６ｂに接触する。

　図１７Ｂ中に図示されている如く基体支持体９２の一方の側に基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａにより保持されている弾性表面波伝搬基体４２は、以下のようにして基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａに対する挿脱を容易に行なうことが出来る。

　最初に、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの端部９４ｂを弾性に抗して相互に接近させ、次に１対の両側部９４ａの端部９４ｂを基体支持体９２の所定位置の係止凹所９２ｃから引き抜く。その後、１対の両側部９４ａの端部９４ｂを弾性により相互に遠ざけることにより、１対の両側部９４ａの間に弾性表面波伝搬基体４２を容易に挿脱させることが出来る。

　図１７Ｂ中に図示されている如く基体支持体９２の一方の側に基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａにより弾性表面波伝搬基体４２を保持させる手順は以下のようである。

　基体弾性保持体９４の相互に離間された１対の両側部９４ａの間に弾性表面波伝搬基体４２を挿入している間に、１対の両側部９４ａの端部９４ｂを弾性に抗して相互に接近させ、この状態で１対の両側部９４ａの端部９４ｂを基体支持体９２の所定位置の係止凹所９２ｃに挿入する。さらに１対の両側部９４ａの端部９４ｂを弾性により相互に遠ざけて１対の両側部９４ａの端部９４ｂを基体支持体９２の所定位置の係止凹所９２ｃに係止させる。

　この時、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａの一方の凹所９４ｅに設けられている弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄが、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａに面接触し、１対の両側部９４ａの他方の橋状部９４ｄが弾性表面波伝搬基体４２の外表面において弾性表面波周回路４２ａを除いた領域である弾性表面波周回路４２ａの両側に接触する。この結果、弾性表面波・励起／検知ユニット９６のすだれ状電極の１対の櫛形状端子部９６ｃ，９６ｄは、基体弾性保持体９４の１対の両側部９４ａに設けられている第１及び第２外部接続端子９６ａ，９６ｂが基体支持体９２において接続されている第１及び第２端子９２ａ，９２ｂを介して動作制御ユニット５０に接続される。また、弾性表面波伝搬基体４２の外表面の弾性表面波周回路４２ａは、なにものにも接触しない。

Claims

　球状弾性表面波装置（１０，３０）は：
　少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路（１２ａ）を外表面に含む弾性表面波伝搬基体（１２）と；
　弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面において上記弾性表面波周回路（１２ａ）を除いた領域を支持するよう構成されている基体支持体（１４，３２）と；そして、
　弾性表面波伝搬基体（１２）の弾性表面波周回路（１２ａ）に弾性表面波を励起し励起された弾性表面波を上記円環の連続する方向に伝搬させて周回させるとともに、弾性表面波周回路（１２ａ）を周回してきた弾性表面波を検知し周回してきた弾性表面波に対応した受信信号を発するよう構成された弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）と、
　を備えており、
　上記球状弾性表面波装置（１０，３０）が：
　弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）を支持している弾性変形可能な弾性変形部材（１８，３６）を支持し、弾性変形部材（１８，３６）を介して弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）を弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）に当接させるとともに弾性変形部材（１８，３６）を弾性変形させる励起／検知ユニット・支持体（２０，３４）をさらに備えたことを特徴としている。
　請求項１に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　基体支持体（１４）及び励起／検知ユニット・支持体（２０）の夫々が、基台（２２）に支持された基端部（１４ａ，２０ａ）と基台（２２）から遠ざかる方向に延出した延出端部（１４ｂ，２０ｂ）とを含んでおり、基端部（１４ａ，２０ａ）に対し延出端部（１４ｂ，２０ｂ）が弾性的に湾曲可能であり、
　基体支持体（１４）の延出端部（１４ｂ）が、弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面における上記弾性表面波周回路（１２ａ）を除いた領域を支持しており、
　励起／検知ユニット・支持体（２０）の延出端部（２０ｂ）が、弾性変形部材（１８）を支持していて、基体支持体（１４）の延出端部（１４ｂ）に対し弾性表面波伝搬基体（１２）を挟んで相互に対向し弾性表面波伝搬基体（１２）の外表面の弾性表面波周回路（１２ａ）に弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）を当接させており、そして、
　弾性表面波伝搬基体（１２）が、基体支持体（１４）の延出端部（１４ａ）と励起／検知ユニット・支持体（２０）の延出端部（２０ｂ）とによって基台（２２）から離れて弾性的に挟持されている、
　ことを特徴としている。
　請求項２に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）がすだれ状電極であり、そして、
　すだれ状電極の電極幅をＷとし、弾性表面波伝搬基体（１２）の上記弾性表面波周回路（１２ａ）の半径をＲとし、励起／検知ユニット・支持体（２０）の弾性変形部材（１８）が弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）を弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）に当接させたときの弾性変形部材（１８）の凹みの深さＤが、
　　　　Ｄ＝Ｒ（１－ｃｏｓ（Ｗ／２Ｒ））：ただし、ｃｏｓに続く丸括弧内はラジアン単位、
　以上である、
　ことを特徴としている。
　請求項２に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）において弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）に当接する周回路当接部分の表面に、上記弾性表面波周回路（１２ａ）に対する当接面積を減少させる当接面積減少加工（２６）が適用されている、
　ことを特徴としている。
　請求項４に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　当接面積減少加工（２６）が、弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）の周回路当接部分の表面の複数個所に凹所又は突起を形成することを含む、
　ことを特徴としている。
　請求項５に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　当接面積減少加工（２６）の前記凹所がエッチングにより形成されている、
　ことを特徴としている。
　請求項６に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）がすだれ状電極であり、そして、
　すだれ状電極の電極幅をＷとし、弾性表面波伝搬基体（１２）の上記弾性表面波周回路（１２ａ）の半径をＲとし、励起／検知ユニット・支持体（２０）の弾性変形部材（１８）が弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）を弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）に当接させたときの弾性変形部材（１８）の凹みの深さＤが、
　　　　Ｄ＝Ｒ（１－ｃｏｓ（Ｗ／２Ｒ））：ただし、ｃｏｓに続く丸括弧内はラジアン単位、
　以上である、
　ことを特徴としている。
　請求項５に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）がすだれ状電極であり、そして、
　当接面積減少加工（２６）の前記突起が、すだれ状電極の複数の電極枝の配列周期（Ｐ）の１／４以下の径を有した微小粒子（ＭＰ）を弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）の周回路当接部分の表面の複数個所に付着させることにより形成される、
　ことを特徴としている。
　請求項２乃至８のいずれか１項に従っている球状弾性表面波装置（１０）は、
　励起／検知ユニット・支持体（２０）の弾性変形部材（１８）が不導体であり、そして
　弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）が弾性変形部材（１８）上に形成されている、
　ことを特徴としている。
　請求項１に従っている球状弾性表面波装置（３０）は、
　基体支持体（３２）が、弾性表面波伝搬基体（１２）を弾性表面波伝搬基体（１２）の外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）の一部を基体支持体（３２）の一表面から外部に露出させて支持しており、そして、
　励起／検知ユニット・支持体（３４）が、上記基体支持体（３２）の一表面の所定位置に固定されることにより弾性変形部材（３６）を介して弾性表面波・励起／検知ユニット（１６）を弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）の上記一部に当接させるとともに弾性変形部材（３６）を弾性変形させる、
　ことを特徴としている。
　請求項１０に従っている球状弾性表面波装置（３０）は、
　基体支持体（３２）が、複数の弾性表面波伝搬基体（１２）を複数の弾性表面波伝搬基体（１２）の夫々の外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）の一部を基体支持体（３２）の一表面から外部に露出させて支持しており、そして、
　励起／検知ユニット・支持体（３４）が、上記基体支持体（３２）の一表面の所定位置に固定されることにより、基体支持体（３２）に支持された複数の弾性表面波伝搬基体（１２）の上記外表面の上記弾性表面波周回路（１２ａ）の一部に当接され弾性変形される弾性変形部材（３６）を備えている、
　ことを特徴としている。
　球状弾性表面波装置（４０，４０´）は：
　少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路（４２ａ）を外表面に含む弾性表面波伝搬基体（４２）と；
　弾性表面波伝搬基体（４２）を支持するよう構成されている基体支持ユニットと；そして、
　弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面の弾性表面波周回路（４２ａ）に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路（４２ａ）を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知ユニット（４４）と、
　を備えていて、
　上記球状弾性表面波装置（４０，４０´）は、
　上記基体支持ユニットが、
　弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において弾性表面波周回路（４２ａ）を除いた領域が載置された基体座部（４６ａ）を含んでいる基体支持体（４６，４６´）と、そして、
　曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体（４６，４６´）の基体座部（４６ａ）に載置された弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６，４６´）の基体座部（４６ａ）とは反対側で弾性表面波周回路（４２ａ）を除いた部分に接触するとともに上記接触部分（４８ａ）の両側が基体支持体（４６，４６´）に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部（４８ｂ）が基体支持体（４６）において基体座部（４６ａ）の両側で基体座部（４６ａ）から離れた位置に固定された基体弾性保持体（４８，４８´）と、
　を備えている、
　ことを特徴としている。
　請求項１２に従っている球状弾性表面波装置（４０）は、
　基体支持体（４６）において基体座部（４６ａ）の両側で基体座部（４６ａ）から離れた位置に、基体弾性保持体（４８）の上記両側端部（４８ｂ）が挿入され弾性抵抗に抗して基体弾性保持体（４８）の上記両側端部（４８ｂ）を係合させる係合凹所（４６ｄ）が形成されていて、そして、
　基体支持体（４６）の基体座部（４６ａ）に載置された弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６）の基体座部（４６ａ）とは反対側で基体弾性保持体（４８）が接触する第１接点（ＦＰ）と基体弾性保持体（４８）の上記両側端部（４８ｂ）の夫々が基体支持体（４６）の対応する係合凹所（４６ｄ）に対し最初に接する第２接点（ＳＰ）とを結ぶ第１直線（ＦＬ）と、第２接点（ＳＰ）と基体支持体（４６）の基体座部（４６ａ）において弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面が第２接点（ＳＰ）の側で接する第３接点（ＴＰ）とを結ぶ第２直線（ＳＬ）と、がなす角が、７０度以下である、
　ことを特徴としている。
　請求項１３に従っている球状弾性表面波装置（４０）は、
　弾性表面波・励起／検知ユニット（４４）が弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面の弾性表面波周回路（４２ａ）に設けられており、そして、弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６）の基体座部（４６ａ）とは反対側で基体弾性保持体（４８）が接触する部分に配置された第１外部接続端子（４４ｄ）と、弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６）の基体座部（４６ａ）に載置された部分に配置された第２外部接続端子（４４ｅ）と、を備えており、
　基体弾性保持体（４８）が、弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６）の基体座部（４６ａ）とは反対側の第１外部接続端子（４４ｄ）と接触する部分（４８ａ）と上記両側端部（４８ｂ）の少なくとも一方において基体支持体（４６）の対応する係合凹所（４６ｄ）の内表面に接触する部分との間を延出した導電路（４８ｃ）を備えており、そして、
　基体支持体（４６）が、基体座部（４６ａ）において弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面の第２外部接続端子（４４ｅ）と接触する第１端子（４６ｂ）と、基体弾性保持体（４８）の上記両側端部（４８ｂ）の上記少なくとも一方に対応する係合凹所（４６ｄ）において基体弾性保持体（４８）の導電路（４８ｃ）と接触する第２端子（４６ｃ）と、を備えている、
　ことを特徴としている。
　請求項１４に従っている球状弾性表面波装置（４０）は、
　基体弾性保持体（４８）が導電性を有した材料により形成されている、
　ことを特徴としている。
　請求項１２に従っている球状弾性表面波装置（４０）は、
　弾性表面波・励起／検知ユニット（４４）が弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面の弾性表面波周回路（４２ａ）に設けられており、弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６´）の基体座部（４６ａ）とは反対側で基体弾性保持体（４８´）が接触する部分に配置された第１外部接続端子（４４ｄ）と、弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６´）の基体座部（４６ａ）に載置された部分に配置された第２外部接続端子（４４ｅ）と、を備えており、
　基体支持体（４６´）は、基体座部（４６ａ）において弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面の第２外部接続端子（４４ｅ）と接触する第１端子（４６ｂ）を備えており、そして、
　基体弾性保持体（４８´）が、弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（４６´）の基体座部（４６ａ）とは反対側に位置している第１外部接続端子（４４ｄ）と接触する部分（４８ａ）において弾性表面波伝搬基体（４２）の第１外部接続端子（４４ｄ）に接触する第２端子（４６´ｃ）を備えている、
　ことを特徴としている。
　球状弾性表面波装置（６０，６０´）は：
　少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路（４２ａ）を外表面に含む弾性表面波伝搬基体（４２）と；
　弾性表面波伝搬基体（４２）を支持するよう構成されている基体支持ユニットと；そして、
　弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面の弾性表面波周回路（４２ａ）に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路（４２ａ）を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知ユニット（６６）と；
　を備えていて、
　上記球状弾性表面波装置（６０，６０´）は、
　基体支持ユニットが、
　弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において弾性表面波周回路（４２ａ）を除いた領域が載置された基体座部（６２ａ，６２´ｉ）を含んでいる基体支持体（６２，６２´）と、
　曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体（６２，６２´）の基体座部（６２ａ，６２´ｉ）に載置された弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面に対し基体支持体（６２，６２´）の基体座部（６２ａ，６２´ｉ）とは反対側で弾性表面波周回路（４２ａ）に接触するとともに上記接触する部分の両側が基体支持体（６２，６２´）に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部（６４ｂ）が基体支持体（６２，６２´）において基体座部（６２ａ，６２´ｉ）の両側で基体座部（６２ａ，６２´ｉ）から離れた位置に弾性抵抗に抗して固定された基体弾性保持体（６４，６４´）と、
を備えていて、そして、
　上記弾性表面波・励起／検知ユニット（６６）が、基体弾性保持体（６４，６４´）において上記接触する部分に設けられている、
　ことを特徴としている。
　請求項１７に従っている球状弾性表面波装置（６０）は、
　基体支持体（６２）において基体座部（６２ａ）の両側で基体座部（６２ａ）から離れた位置に、基体弾性保持体（６４）の上記両側端部（６４ｂ）が挿入され弾性抵抗に抗して基体弾性保持体（６４）の上記両側端部（６４ｂ）を係合させる係合凹所（６２ｅ）が形成されていて、そして、
　基体支持体（６２）の基体座部（６２ａ）に載置された弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面において基体支持体（６２）の基体座部（６２ａ）とは反対側で基体弾性保持体（６４）が接触する第１接点（ＦＰ）と基体弾性保持体（６４）の上記両側端部（６４ｂ）の夫々が基体支持体（６２）の対応する係合凹所（６２ｅ）に対し最初に接する第２接点（ＳＰ）とを結ぶ第１直線（ＦＬ）と、第２接点（ＳＰ）と基体支持体（６２）の基体座部（６２ａ）において弾性表面波伝搬基体（４２）の外表面が第２接点（ＳＰ）の側で接する第３接点（ＴＰ）とを結ぶ第２直線（ＳＬ）と、がなす角が、７０度以下である、
　ことを特徴としている。