JP4470575B2

JP4470575B2 - 球状弾性表面波素子の製造方法及び球状弾性表面波素子の製造装置

Info

Publication number: JP4470575B2
Application number: JP2004142573A
Authority: JP
Inventors: 教尊中曽; 恒郎大木; 慎吾赤尾
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2004-05-12
Filing date: 2004-05-12
Publication date: 2010-06-02
Anticipated expiration: 2024-05-12
Also published as: JP2005328171A

Description

この発明は、球状弾性表面波素子の製造方法及び球状弾性表面波素子の製造装置に関係している。

少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域を表面に有する基体と、上記円環領域に載置され弾性表面波を励起させる弾性表面波励起手段と、を備えている球状弾性表面波素子は既に知られている。

球状弾性表面波素子は、基体の表面の円環領域に弾性表面波励起手段を介して励起された弾性表面波が円環領域に沿い繰り返し周回することで、従来良く知られている平板状弾性表面波素子と比べて、遥かに長い弾性表面波伝搬距離を確保することが出来る。このために、球状弾性表面波素子は、従来良く知られている平板状弾性表面波素子と比べて、遥かに精度の高い種々の検出を行なうことが出来る。

しかも球状弾性表面波素子は、基体の表面の円環領域における曲率半径を小さくしても、即ち球状弾性表面波素子の全体の寸法を小型化しても、上述したように長い弾性表面波伝搬距離を確保することが出来るので、従来良く知られている平板状弾性表面波素子と比べて、遥かに精度の高い種々の検出を維持することが出来る。

さらに球状弾性表面波素子では、従来良く知られている平板状弾性表面波素子でもそうであるが、弾性表面波励起手段が励起する弾性表面波の波長が短くなる程、種々の検出精度を向上させることが出来る。

しかしながら、球状弾性表面波素子の全体の寸法を小型化する為に基体の表面の円環領域における曲率半径を小さくしたり、球状弾性表面波素子を使用した種々の検出精度を向上させようとすると、円環領域に載置される所定の弾性表面波励手段の寸法も小さくなり、基体の表面の円環領域に所定の弾性表面波励手段を所望の精度で載置することが困難になる。

この発明は上記事情の下でなされ、この発明の目的は、球状弾性表面波素子の全体の寸法を小型化する為に基体の表面の円環領域における曲率半径を小さくした結果として、或いは、球状弾性表面波素子を使用した種々の検出精度を向上させる為に、基体の表面の円環領域に載置される弾性表面波励起手段の寸法を小さくする場合でも、円環領域に弾性表面波励起手段を安価に容易に所望の精度で載置することが出来る球状弾性表面波素子の製造方法及び製造装置を提供することである。

上述した目的を達成するために、この発明に従った球状弾性表面波素子の製造方法は：
少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域を表面に有する基体を準備する基体準備工程と；
上記円環領域に弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている弾性表面波励起手段版と、上記基体の表面に上記弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を形成する為の外部接続端子形成用パターンが載置されていて上記弾性表面波励起手段版から独立している外部接続端子版と、を準備する版準備工程と；
基体準備工程により準備された基体の円環領域に版準備工程により準備された弾性表面波励起手段版の弾性表面波励起手段形成用パターンを接触させて転写させるとともに、版準備工程により準備された外部接続端子版の外部接続端子形成用パターンを上記基体の表面に接触させて転写させる転写工程と；
を備えていることを特徴とする。
上述した目的を達成するために、この発明に従った球状弾性表面波素子の製造装置は：
少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域を表面に有する基体と、上記基体の表面の上記円環領域に構成され上記円環領域に弾性表面波を励起させ伝搬させる弾性表面波励起手段と、上記基体の表面に構成され弾性表面波励起手段の為の外部接続端子と、を備えた球状弾性表面波素子を製造する為の球状弾性表面波素子の製造装置であって、
上記基体の外表面における円環領域の両外側を保持し位置決めする位置決め手段と、
上記円環領域に弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を構成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている弾性表面波励起手段版と、
上記基体の表面に上記弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を構成する為の外部接続端子形成用パターンが載置されていて上記弾性表面波励起手段版から独立している外部接続端子版と、
を備えていて、
上記基体の表面の上記円環領域に上記弾性表面波励起手段版の上記弾性表面波励起手段形成用パターンを押圧させて上記弾性表面波励起手段形成用パターンを上記表面の上記円環領域に転写させるとともに、
上記位置決め手段に保持され位置決めされている上記基体の表面の上記円環領域の両外側に上記外部接続端子版の上記外部接続端子形成用パターンを接触させて転写させる、
ことを特徴とする。

以上詳述した如く構成されたことを特徴とするこの発明に従った球状弾性表面波素子の製造方法によれば、球状弾性表面波素子の全体の寸法を小型化する為に基体の表面の円環領域における曲率半径を小さくした結果として、或いは、球状弾性表面波素子を使用した種々の検出精度を向上させる為に、基体の表面の円環領域に載置される弾性表面波励起手段の寸法を小さくする場合でも、基体の表面の円環領域に所定の弾性表面波励起手段形成用パターンの版を直接当て所定の弾性表面波励起手段形成用パターンを精度良く形成することが出来、ひいては円環領域に弾性表面波励起手段を安価に容易に所望の精度で載置することが出来る。

［第１の実施の形態］
先ず最初に図１を参照しながら、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について説明する。

この実施の形態の製造方法では、図１の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａを表面に有する基体１０が準備される（基体準備工程）。

なおここで、本願の発明者は弾性表面波として、基体１０の表面に沿いエネルギーを集中して伝搬する弾性波の全てを考えている。このような弾性波としては、基体１０の材料に多少エネルギーを漏洩しながらも伝搬するセザワ波や、ＳＨ波や、基体１０の表面に弾性表面波が励起及び伝搬可能な材料の膜が設けられている場合のみ伝搬可能なラブ波や、回廊波を例示することが出来る。さらには、基体１０の表面が固体媒質により覆われている場合に励起され伝搬する境界波も上記弾性波に含まれると考えている。

図１の（Ａ）中では基体１０は球形状の外表面を有している。この実施の形態では、基体１０の全体が圧電性を有した結晶材料により形成されていて、この場合には上記結晶材料の結晶軸方向により、基体１０の外表面に後述する弾性表面波励起手段により弾性表面波を励起させ伝搬させることが可能な弾性表面波周回伝搬経路としての円環領域１０ａの延出方向が規定される。

このことは、基体１０の外表面において後述する弾性表面波励起手段が弾性表面波を励起し伝搬させなければならない方向が上記結晶材料の結晶軸方向により規定されることを意味しており、さらには基体１０の外表面の円環領域１０ａに後述する弾性表面波励起手段を形成する為に使用される後述する弾性表面波励起手段形成用パターンが上記結晶材料の結晶軸方向により規定されることをも意味している。

このような結晶材料としては、例えば水晶やＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３等が良く知られている。このように規定される円環領域１０ａの延出方向は、基体１０の外表面における円環領域１０ａ以外の場所又は基体１０の内部に公知の方法で所望の印をつけることにより、基体１０の外部から容易に認識することが出来る。

基体１０はまた、圧電性を有さない材料により形成され少なくとも球形状の一部により構成されている円環領域を表面に有する基材と、この基材の表面の円環領域に付着された圧電性材料の膜と、の組み合わせにより構成することも出来る。このように構成された基体１０では、その外表面の少なくとも球形状の一部により構成されている所望の任意の円環領域を弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａとして規定することが出来る。

この実施の形態の製造方法ではまた、図１の（Ｂ）乃至（Ｅ）中に示されているように、基体１０の円環領域１０ａに弾性表面波を励起させる為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が所定の位置に載置されている表面１４ａを有した版１４が準備される（版準備工程）。なおここで準備される版１４は、印刷の分野でいう平版に相当する。

版１４は例えばエラストマーのような弾性材料により構成されている。そして版１４は以下のようにして準備される。最初に、図１の（Ｂ）中に示されているように、所定の表面１６ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した凸状の画線部１６ｂが形成されている原版１６が準備される。次に、図１の（Ｃ）中に示されているように、この原版１６の凸状の画線部１６ｂの頂面が、弾性表面波励起材料支持体１８の支持表面１８ａに均一に付着されている弾性表面波励起材料２０に押圧されて、上記頂面に弾性表面波励起材料２０が均一に付着される。弾性表面波励起材料２０は、０．２μ以下の粒径を有した圧電性の金属粒子を含む印刷用インクである。次に、原版１６の凸状の画線部１６ｂの頂面に均一に付着されている弾性表面波励起材料２０が、図１の（Ｄ）中に示されているように、版１４の所定の表面１４ａの所定の位置に対して押圧される。この結果として、所定の表面１４ａの所定の位置に弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置されている版１４が準備される。

次に、図１の（Ｅ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側が位置決め手段の一種である基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体１０の外表面の円環領域１０ａに対し、版１４の所定の表面１４ａの所定の位置に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励手段形成用パターン１２を対向させる。

次に、上述した基体準備工程において準備された基体１０の円環領域１０ａに対し、上述した版準備工程により準備された版１４の所定の表面１４ａ上に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、図１の（Ｆ）中に示されている如く、押圧されて接触される。この時に、版１４の所定の表面１４ａは基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、所定の表面１４ａ上に載置されている所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写させる（転写工程）。このようにして基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

この時、上記転写を確実に実行させる為には、基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した版１４の所定の表面１４ａ（即ち、所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置されている部分）は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

次にこの実施の形態では、図１の（Ｇ）中に示されている如く、基体１０の外表面の円環領域１０ａから版１４が遠ざけられた後に、基体１０は外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料２０が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料２０に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料２０を硬化させる工程に替えられる。

そして最後に、図１の（Ｈ）中に示されている如く、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に対し、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、公知の保護膜を重複させることが出来る。

或いは、外力の適用を受ける可能性をより少なくする為に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が基体１０の外表面の円環領域１０ａ上から突出している厚さを減少させる加工を行うことも出来る。この厚さ減少加工後に、上述した如く保護膜を重複させても良い。

或いは、このようにして製造された球状弾性表面波素子が使用されるまでの間、例えば輸送の間に適用される外力から球状弾性表面波素子の外表面が損傷を受けるのを防止する為の保護膜を上記外表面に重複させることも出来る。

或いは、円環領域１０ａに、所定のガスと反応することにより円環領域１０ａにおける弾性表面波の伝搬に影響する反応膜を、保護膜として重複させることが出来る。

これによって第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

図１の（Ｈ）中に示されているように、この実施の形態において、弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２は、いわゆるすだれ形状である。この場合、弾性表面波励起材料２０のすだれ形状の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に高周波電流を流すことにより弾性表面波励起手段は円環領域１０ａに弾性表面波を励起させることが出来る。このようにして円環領域１０ａに励起された弾性表面波を円環領域１０ａに沿い出来る限り効率良く伝搬させ長く周回させるには、円環領域１０ａの延出方向に対し基体１０の外表面に沿い交差する方向に延出したすだれ形状の弾性表面波励起手段形成用パターン１２における複数の端部線要素が、円環領域１０ａの延出方向に対し基体１０の外表面に沿い直交する方向に対し＋・−２０°の範囲内にあることが重要である。さらに、基体１０の表面の円環領域１０ａの曲率半径が３ｍｍ以下の場合には、すだれ形状の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の複数の端部線要素間の間隔（即ち、弾性表面波励起材料２０のすだれ形状の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段により円環領域１０ａに励起される弾性表面波の波長）が上記曲率半径の５分の１以下であることが好ましい。上記曲率半径に対する上記間隔の関係が上記の値よりも大きいと、基体１０の表面を伝搬する間に、弾性表面波が円環領域１０ａの外方へと広がり、基体１０の表面において円環領域１０ａの両外側を保持している基体保持位置決め部材２２ａ、２２ｂや上記両外側に何物かが配置されていればその何物かに弾性表面波が衝突し、弾性表面波は劣化することなく円環領域１０ａに沿い伝搬することが出来なくなる。

なお図１の（Ａ）乃至（Ｈ）を参照しながら前述した第１の実施の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においては、基体１０の表面の円環領域１０ａに載置される弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成される弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を基体１０の外表面に載置する工程をさらに備えることが出来る。この工程は、図１の（Ｅ）乃至（Ｇ）中に示されている基体１０の外表面の円環領域１０ａへの版１４からの弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写工程と同時に、又は前後に、上記転写工程とは独立して行なうことが出来る。

この実施の形態では、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めする為の基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂを移動自在に支持している。版２４ａ，２４ｂは、基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持した時に、上記外表面における円環領域１０ａの両側縁に対する内側隣接部位乃至外側に渡る部分に対向した所定の表面を有しており、この所定の表面上に外部接続端子形成用パターン２６が載置されている。版２４ａ，２４ｂの所定の表面に対する外部接続端子形成用パターン２６の載置は、基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めする以前に、版１４の所定の表面１４ａに対する弾性表面波励起手段形成用パターン１２の載置と同様に行なうことが出来るし、外部接続端子形成用パターン２６は弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の弾性表面波励起材料２０と同じ材料により構成することが出来る。

そして、図１の（Ｇ）中に示されているように、基体１０の外表面の円環領域１０ａへの版１４からの弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写が終了し版１４が円環領域１４ａから離れた後に、弾性表面波励起手段形成用パターン１２において前述した複数の端部線要素を除き円環領域１０ａの両側縁の内側近傍部位に位置している部分に重複する位置から基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側に渡り外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂの所定の表面を接触させるよう外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂを移動させ、版２４ａ，２４ｂの上記所定の表面上の外部接続端子形成用パターン２６を基体１０の外表面に転写する。外部接続端子形成用パターン２６は前述した如く弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の弾性表面波励起材料２０と同じ材料により構成することが出来るので、基体１０の外表面にこのように転写された外部接続端子形成用パターン２６は、基体１０の外表面の円環領域１０ａに載置されている弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段の為の、外部接続端子を構成する。

この転写を十分良好に確実に行なう為に、外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂは、弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の版１４と同様に例えばエラストマーの如き弾性材料により構成されていて、基体１０の外表面に上述した如く所定の表面を接触させた時に、基体１０の外表面に従い弾性変形することが好ましい。

基体１０の外表面の円環領域１０ａへの版１４からの弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写が終了し、さらに基体１０の外表面への外部接続端子形成用パターン２６の上述した如き転写も終了した後の基体１０は、上記外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２及び上記外表面に上述した如く転写され載置されている所定の外部接続端子形成用パターン２６に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２及び所定の外部接続端子形成用パターン２６が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料２０が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料２０に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料２０を硬化させる工程に替えられる。

そして最後に、図１の（Ｈ）中に示されている如く、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法により公知の保護膜を重複させることが出来る。

これによって、外部接続端子製造工程をさらに備えた第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

［第２の実施の形態］
次に図２を参照しながら、この発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について説明する。

なおこの実施の形態においては、図１を参照しながら前述した、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材を使用する。従って、第２の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用する第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材には、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法に関する上述した説明においてこれら種々の部材に付されていたのと同じ参照符号を付し、これら種々の部材についての詳細な説明は省略する。

この実施の形態の製造方法でも、図２の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａを表面に有する基体１０が準備される（基体準備工程）。

この実施の形態の製造方法ではまた、図２の（Ｂ）乃至（Ｄ）中に示されているように、基体１０の円環領域１０ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が所定の位置に載置されている所定の表面３０ａを有した版３０が準備される（版準備工程）。なおここで準備される版３０は、印刷の分野でいう凸版に相当する。

版３０は例えばエラストマーのような弾性材料により構成されている。そして版３０は以下のようにして準備される。図２の（Ｂ）中に示されているように、版３０の所定の表面３０ａには弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した凸状の画線部３０ｂが形成されている。次に、図２の（Ｃ）中に示されているように、版３０の凸状の画線部３０ｂの頂面が、弾性表面波励起材料支持体１８の支持表面１８ａに均一に付着されている弾性表面波励起材料２０に押圧されて、上記頂面に弾性表面波励起材料２０が均一に付着される。この結果として、所定の表面３０ａの所定の位置に弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置されている版３０が準備される。

次に、図２の（Ｄ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側が基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体１０の外表面の円環領域１０ａに対し、版３０の所定の表面３０ａの所定の位置に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を対向させる。

次に、上述した基体準備工程において準備された基体１０の円環領域１０ａに、上述した版準備工程により準備された版３０の所定の表面３０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、図２の（Ｅ）中に示されている如く、押圧されて接触される。この時に、版３０の所定の表面３０ａは基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、所定の表面３０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写させる（転写工程）。このようにして基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

この時、上記転写を確実に実行させる為に、基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した版３０の所定の表面３０ａ（即ち、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が載置されている部分）は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

次にこの実施の形態では、図２の（Ｆ）中に示されている如く、基体１０の外表面の円環領域１０ａから版３０が遠ざけられた後に、基体１０は外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料２０が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料２０に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料２０を硬化させる工程に替えられる。

そして最後に、図２の（Ｇ）中に示されている如く、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法で公知の保護膜を重複させることが出来る。

これによって第２の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

ここに示されている、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０は、図１の（Ｈ）中に示されていて図１を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法により製造された、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０と同一である。

なお図２の（Ａ）乃至（Ｇ）を参照しながら前述した第２の実施の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においても、図１の（Ａ）乃至（Ｈ）を参照しながら前述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の場合と同様に、基体１０の表面の円環領域１０ａに載置される弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を基体１０の外表面に載置する工程をさらに備えることが出来る。この工程は、図２の（Ｄ）乃至（Ｆ）中に示されている基体１０の外表面の円環領域１０ａへの版３０からの弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写工程と同時に、又は前後に、上記転写工程とは独立して行なうことが出来る。

図２の（Ｇ）には、このようにして基体１０の外表面に転写され載置された外部接続端子形成用パターン２６により構成された外部接続端子もまた示されている。

［第３の実施の形態］
次に図３を参照しながら、この発明の第３の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について説明する。

なおこの実施の形態においては、図１を参照しながら前述した、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材を使用する。従って、第３の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用する第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材には、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法に関する上述した説明においてこれら種々の部材に付されていたのと同じ参照符号を付し、これら種々の部材についての詳細な説明は省略する。

この実施の形態の製造方法でも、図３の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａを表面に有する基体１０が準備される（基体準備工程）。

この実施の形態の製造方法ではまた、図３の（Ｂ）乃至（Ｄ）中に示されているように、基体１０の円環領域１０ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が所定の位置に載置されている所定の表面３２ａを有した版３２が準備される（版準備工程）。なおここで準備される版３２は、印刷の分野でいう凹版に相当する。

版３２は例えばエラストマーのような弾性材料により構成されている。そして版３２は以下のようにして準備される。図３の（Ｂ）中に示されているように、版３２の所定の表面３２ａには弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した凹状の画線部３２ｂが形成されている。次に、図３の（Ｃ）中に示されているように、版３２の所定の表面３２ａに弾性表面波励起材料２０が供給される。供給された弾性表面波励起材料２０は、ドクターブレード３４により所定の表面３２ａ上で拭われて、凹状の画線部３２ｂ中に隙間無く満たされるとともに凹状の画線部３２ｂ中に満たされ無かった余分な弾性表面波励起材料２０は所定の表面３２ａ上から取り除かれる。この結果として、所定の表面３２ａの所定の位置に弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置されている版３２が準備される。

次に、図３の（Ｄ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側が基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体１０の外表面の円環領域１０ａに対し、版３２の所定の表面３２ａの所定の位置に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を対向させる。

次に、上述した基体準備工程において準備された基体１０の円環領域１０ａに、上述した版準備工程により準備された版３２の所定の表面３２ａ上に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、図３の（Ｅ）中に示されている如く、押圧されて接触される。この時に、版３２の所定の表面３２ａは基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、所定の表面３２ａ上に載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写させる（転写工程）。このようにして基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

この時、上記転写を確実に実行させる為に、基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した版３２の所定の表面３２ａ（即ち、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が載置されている部分）は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

次にこの実施の形態では、図３の（Ｆ）中に示されている如く、基体１０の外表面の円環領域１０ａから版３２が遠ざけられた後に、基体１０は外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料２０が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料２０に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料２０を硬化させる工程に替えられる。

そして最後に、図３の（Ｇ）中に示されている如く、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法で公知の保護膜を重複させることが出来る。

これによって第３の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

なお図３の（Ａ）乃至（Ｇ）を参照しながら前述した第３の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においても、図１の（Ａ）乃至（Ｈ）を参照しながら前述した第１の実施の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の場合と同様に、基体１０の表面の円環領域１０ａに載置される弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を基体１０の外表面に載置する工程をさらに備えることが出来る。この工程は、図３の（Ｄ）乃至（Ｆ）中に示されている基体１０の外表面の円環領域１０ａへの版３２からの弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写工程と同時に、又は前後に、上記転写工程とは独立して行なうことが出来る。

図３の（Ｇ）には、このようにして基体１０の外表面に転写され載置された外部接続端子形成用パターン２６により構成されている外部接続端子もまた示されている。

［第４の実施の形態］
次に図４を参照しながら、この発明の第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について説明する。

なおこの実施の形態においては、図１を参照しながら前述した、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材を使用する。従って、第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用する第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材には、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法に関する上述した説明においてこれら種々の部材に付されていたのと同じ参照符号を付し、これら種々の部材についての詳細な説明は省略する。

この実施の形態の製造方法でも、図４の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａを表面に有する基体１０が準備される（基体準備工程）。

この実施の形態の製造方法ではまた、図４の（Ｂ）及び（Ｃ）中に示されているように、基体１０の円環領域１０ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が所定の位置に載置されている所定の表面を有した版３６が準備される（版準備工程）。

より詳細には、この実施の形態において使用される版３６は、柔軟性を有する転写媒体の一種であるいわゆる転写シートである。転写シートである版３６は、紙又は高分子フィルムにより構成されている基材フィルム３６ａと、基材フィルム３６ａの一面に付着された光熱変換層３６ｂと、光熱変換層３６ｂにおいて基材フィルム３６ａとは反対側に位置する一面に付着された受熱剥離層３６ｃと、受熱剥離層３６ｃにおいて光熱変換層３６ｂとは反対側に位置する一面に付着された弾性表面波励起材料層３６ｄと、を含んでいる。

弾性表面波励起材料層３６ｄは、図１乃至図３を参照しながら前述した第１乃至第３の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用されていた弾性表面波励起材料２０と同じ弾性表面波励起材料を含んでいる。

この版３６は、レーザー光線発射手段３５からのレーザー光線３５ａを基材フィルム３６ａの他面側から受け、レーザー光線３５ａを所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した形状に走査されることにより、剥離層３６ｃを境に弾性表面波励起材料層３６ｄが所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した形状で基材フィルム３６ａの一面の光熱変換層３６ｂから分離可能な所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置された状態になる。

次に、図４の（Ｃ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側が基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体１０の外表面の円環領域１０ａに対し、版３６の弾性表面波励起材料層３６ｄを押し当てる。この時に版３６は、基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、弾性表面波励起材料層３６ｄを基体１０の外表面の円環領域１０ａに対し密着させる。

基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した版３６は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

この後に版３６は上述した如く弾性変形した部分（即ち、基体１０の外表面の円環領域１０ａに対し密着した部分）が、レーザー光線発射手段３５からのレーザー光線３５ａを基材フィルム３６ａの他面側から受け、レーザー光線３５ａを所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した形状に走査され、その結果として剥離層３６ｃを境に所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した形状で弾性表面波励起材料層３６ｄが基材フィルム３６ａの一面の光熱変換層３６ｂから分離可能な所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置された状態になり、最終的には所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した形状の弾性表面波励起材料層３６ｄの部分が所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２として基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写される（転写工程）。このようにして基体１０の外表面の円環領域１０ａに転写された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

次にこの実施の形態では、基体１０の外表面の円環領域１０ａから版３６が遠ざけられた後に、基体１０は外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動される。

そして最後に、図４の（Ｄ）中に示されている如く、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法で公知の保護膜を重複させることが出来る。

これによって第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

ここに示されている、弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０は、図１の（Ｈ）中に示されていて図１を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法により製造された、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０と同一である。

なお図４の（Ａ）乃至（Ｄ）を参照しながら前述した第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においても、図１の（Ａ）乃至（Ｈ）を参照しながら前述した第１の実施の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の場合と同様に、基体１０の表面の円環領域１０ａに載置される弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を基体１０の外表面に載置する工程をさらに備えることが出来る。この工程は、図４の（Ｃ）中に示されている基体１０の外表面の円環領域１０ａへの版３６からの弾性表面波励起材料の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写工程と同時に、又は前後に、上記転写工程とは独立して行なうことが出来る。

この実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においては、基体１０の外表面の円環領域１０ａに弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を転写し載置するのに使用される版３６と同様な柔軟性を有する転写媒体の一種であるいわゆる転写シートを使用して、基体１０の外表面に弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を載置することが出来る。

図４の（Ｄ）には、このようにして基体１０の外表面に転写され載置された外部接続端子形成用パターン２６により構成されている外部接続端子もまた示されている。

［第５の実施の形態］
次に、この発明の第５の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について図５を参照しながら説明する。

なおこの実施の形態においては、図１を参照しながら前述した、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材を使用する。従って、第５の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用する第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材には、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法に関する上述した説明においてこれら種々の部材に付されていたのと同じ参照符号を付し、これら種々の部材についての詳細な説明は省略する。

この実施の形態の製造方法でも、図５の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａを表面に有する基体１０’が準備される。この基体１０’は、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた基体１０と同じ材料により同様にして準備される。とはいうものの、この実施の形態で使用される基体１０’は、円環領域１０ａの両外側で相互に平行に切り欠かれた１対の平坦側面部１０ｂを有した所謂ビヤ樽形状をしていることのみが前述した基体１０と異なっている（基体準備工程）。

この実施の形態の製造方法ではまた、図５の（Ｂ）中に示されているように、基体１０’の円環領域１０ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成パターン１２が所定の位置に載置されている所定の表面４０ａを有した版４０が準備される（版準備工程）。なおここで準備される版４０は、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４，凸版による版３０，凹版による版３２，そして転写シートによる版３６のいずれか１つにより構成されている。従って、この実施の形態の製造方法で使用される所定の弾性表面波励起手段形成パターン１２もまた、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において所定の弾性表面波励起手段形成パターン１２を構成していた弾性表面波励起材料２０と同じ弾性表面波励起材料により構成されている。

次に、図５の（Ａ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両外側の１対の平坦側面部１０ｂが基体保持位置決め手段を構成している基体保持位置決め部材４２ａ，４２ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体１０の外表面の円環領域１０ａに対し、版４０の所定の表面４０ａの所定の位置に載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を対向させる。

次に、上述した基体準備工程において準備された基体１０’の円環領域１０ａに、上述した版準備工程により準備された版４０の所定の表面４０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、図５の（Ｂ）中に示されている如く、押圧されて接触される。この時に、版４０の所定の表面４０ａは基体１０’の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、所定の表面４０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を基体１０’の外表面の円環領域１０ａに転写させる（転写工程）。このようにして基体１０’の外表面の円環領域１０ａに転写された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

この時、上記転写を確実に実行させる為に、基体１０’の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した版４０の所定の表面４０ａ（即ち、弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置されている部分）は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

次にこの実施の形態では、基体１０’の外表面の円環領域１０ａから版４０が遠ざけられた後に、基体１０’は外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、弾性表面波励起手段が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料を硬化させる工程に替えられる。

そして最後に、基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両外側の１対の平坦側面部１０ｂを保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材４２ａ，４２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０’の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法により公知の保護膜を重複させることが出来る。

或いは、外力の適用を受ける可能性をより少なくする為に、基体１０’の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が基体１０’の外表面の円環領域１０ａ上から突出している厚さを減少させる加工を行うことも出来る。この厚さ減少加工後に、上述した如く保護膜を重複させても良い。

図５の（Ｃ）には、第５の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法により製造された球状弾性表面波素子が示されている。

ここに示されている、弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０’は、円環領域１０ａの両外側で相互に平行に切り欠かれた１対の平坦側面部１０ｂを有した所謂ビヤ樽形状をしていること以外は、図１の（Ｈ）中に示されていて図１を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法により製造された、弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成された弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０と同一である。

なお、この実施の形態において使用される基体１０’の外表面が前述したようにいわゆるビヤ樽形状をしているので、基体１０’の外表面における円環領域１０ａに対し版４０により弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を常に確実に容易に転写させ載置させる為に基体１０’の外表面における円環領域１０ａを版４０の所定の表面４０ａに対し相対的に常に所定の位置に固定する作業（相対的な位置合わせ固定作業）が、基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両外側の１対の平坦側面部１０ｂを基体保持位置決め部材４２ａ，４２ｂにより保持することのみで、容易に素早く行なうことが可能になる。

より詳細には、基体１０’の全体が圧電性を有した結晶材料により形成されているので、１対の平坦側面部１０ｂを基体１０’の結晶軸に対して所定の角度で交差するよう基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両外側に形成することが出来る。従って、基体１０’を１対の平坦側面部１０ｂにおいて基体保持位置決め部材４２ａ，４２ｂにより保持すれば、その状態で基体１０’の外表面における円環領域１０ａに対し版４０により弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を常に確実に所望の方位に容易に転写させ載置することが出来る。円環領域１０ａに対し弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を所定の方位に載置することは、所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により円環領域１０ａに励起させた弾性表面波を円環領域１０ａに沿い効率良く周回させることが出来ることを意味する。即ち、上記結晶材料では、上記結晶軸に対して所定の角度で交差している所定の結晶面が基体１０’の外表面と交差する線に沿って弾性表面波が伝搬された時のみ弾性表面波が効率良く上記外表面に沿い繰り返し周回することが出来る。そして、円環領域１０ａは、上記交差する線に沿い規定される。

なお図５の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら前述した第５の実施の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においても、図１の（Ａ）乃至（Ｈ）を参照しながら前述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の場合と同様に、基体１０’の表面の円環領域１０ａに載置される弾性表面波励起材料の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成される弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を基体１０’の外表面に載置する工程をさらに備えることが出来る。この工程は、図５の（Ｂ）中に示されている基体１０’の外表面の円環領域１０ａへの版４０からの弾性表面波励起材料の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写工程と同時に、又は前後に、上記転写工程とは独立して行なうことが出来る。

この実施の形態では、基体保持位置決め部材４２ａ，４２ｂの夫々が、基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両外側の１対の平坦側面部１０ｂを保持する部分の外側に例えばエラストマーのような弾性材料により形成された外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂを支持している。この外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂは、図１を参照した第１の実施の形態の外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂと同様に動作する。

さらに、基体保持位置決め部材４２ａ，４２ｂにおいて基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両外側の１対の平坦側面部１０ｂを保持する部分も、外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂと協働する外部接続端子の為の版として使用することができる。

この場合には、図５の（Ａ）中に示されている如く、基体保持位置決め部材４２ａ，４２ｂにおいて基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両外側の１対の平坦側面部１０ｂを保持し、さらに図５の（Ｂ）中に示されている如く、外部接続端子の為の版２４ａ，２４ｂが基体１０’の外表面において円環領域１０ａの両側縁又はその隣接部位から１対の平坦側面部１０ｂまでの間に押圧されることにより、基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両側縁又はその隣接部位から１対の平坦側面部１０ｂに渡り、図５の（Ｃ）中に示されている如く、外部接続端子形成用パターン２６が転写され載置される。そしてこのように転写された外部接続端子形成用パターン２６が、基体１０’の外表面における円環領域１０ａに上述した如く転写された弾性表面波励起材料の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成された弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を構成する。

なお、基体１０’の外表面における円環領域１０ａの両側縁又はその隣接部位から１対の平坦側面部１０ｂに渡り、図５の（Ｃ）中に示されている如く、外部接続端子形成用パターン２６を転写し載置することは、図４を参照しながら前述したこの発明の第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の版３６として、また外部接続端子形成用パターン２６のための版として、使用された転写シートを使用することによっても、可能である。

［第６の実施の形態］
次に図６を参照しながら、この発明の第６の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について説明する。

この実施の形態の製造方法では、図６の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域５０ａを表面に有する基体５０が準備される（基体準備工程）。

図６の（Ａ）中では基体５０は中空形状をしている。この実施の形態では、基体５０の全体が圧電性を有した結晶材料により形成されていて、この場合には上記結晶材料の結晶軸方向により、基体５０の中空の空洞の内表面に後述する弾性表面波励起手段により弾性表面波を励起させ伝搬させることが可能な弾性表面波周回伝搬経路としての円環領域５０ａの延出方向が規定される。

このことは、基体５０の中空の空洞の内表面において後述する弾性表面波励起手段が弾性表面波を励起し伝搬させなければならない方向が上記結晶材料の結晶軸方向により規定されることを意味しており、さらには基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域５０ａに後述する弾性表面波励起手段を形成する為に使用される後述する弾性表面波励起手段形成用パターンが上記結晶材料の結晶軸方向により規定されることをも意味している。

上記空洞は、円環領域の両外側に外部空間と連通する為の外部空間連通孔５０ｂを有している。上述した如き結晶材料としては、例えば水晶やＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３等が良く知られている。このように規定される円環領域５０ａの延出方向は、基体５０の中空の空洞の内表面における円環領域５０ａ以外の場所又は基体１０の内部又は基体５０の外表面に公知の方法で所望の印をつけることにより、基体５０の外部から容易に認識することが出来る。

基体５０はまた、圧電性を有さない材料により中空形状に形成され少なくとも球形状の一部により構成されている円環領域を内表面に有する基材と、この基材の内表面の円環領域に付着された圧電性材料の膜と、の組み合わせにより構成することも出来る。このように構成された基体５０では、その内表面の少なくとも球形状の一部により構成されている所望の任意の円環領域を弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域５０ａとして規定することが出来る。

基体５０の外表面は任意の形状で良いが、常に同じ安定した姿勢を保つことが出来るような形状、例えば四角形状、であることが好ましい。しかしながら、配管の一部として使用する為に円筒を含む種々の筒形状であっても良い。

この実施の形態の製造方法ではまた、図６の（Ｂ）中に示されているように、基体５０の内表面の円環領域５０ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が所定の位置に載置されている表面５２ａを有した版５２が準備される（版準備工程）。なおここで準備される版５２は、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４，凸版による版３０，凹版による版３２，そして転写シートによる版３６のいずれか１つにより構成されている。従って、所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２は、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を構成していた弾性表面波励起材料２０と同じ弾性表面波励起材料により構成されている。

版５２は、外部空間から基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域５０ａに外部空間連通孔５０ｂを介して到達する為の外部操作部材５２ｂを含んでいる。

この実施の形態ではさらに、基体５０の内表面の円環領域５０ａに載置される弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成される弾性表面波励起手段の為の外部接続用端子を基体５２の中空の空洞の内表面に載置する為の版５４ａ，５４ｂも準備される。外部接続端子の為の版５４ａ，５４ｂは、基体５０の中空の空洞の内表面において円環領域５０ａの両側縁近傍部位から外部空間連通孔５０ｂの外端の開口にまで渡る部分に対応した形状の所定の表面を有しており、この所定の表面に外部接続端子形成用パターン２６が載置されている。外部接続端子の為の版５４ａ，５４ｂは、少なくとも上記所定の表面が例えばエラストマーのような弾性を有した材料により構成されている。

次に、図６の（Ｄ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体５０の外表面が位置決め手段の一種である基体保持位置決め部材５６ａ，５６ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体５０の中空の空洞中に外部空間連通孔５０ｂを介して外部空間から外部接続端子の為の版５４ａ，５４ｂを挿入し、外部接続端子の為の版５４ａ，５４ｂの所定の表面に載置されている外部接続端子形成用パターン２６を上記空洞の内表面において円環領域５０ａの両側縁近傍部位から外部空間連通孔５０ｂの外端の開口にまで渡る部分に対応させ、そして押圧して外部接続端子の為の版５４ａ，５４ｂの所定の表面から上記空洞の内表面の上記部分へと外部接続端子形成用パターン２６を転写し載置させ外部接続端子を構成させる。

次に、外部接続端子の為の版５４ａ，５４ｂが基体５０の中空の空洞中から外部空間連通孔５０ｂを介して外部空間へと離脱された後に、今度は、図６の（Ｅ）中に示されている如く、上述した如く保持され位置決めされている基体５０の中空の空洞中に外部空間連通孔５０ｂを介して外部空間から弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の版５２が挿入され、版５２の所定の表面５２ａに載置されている弾性表面波励起手段形成用パターン１２を上記空洞の内表面の円環領域５０ａに対応させ、そして押圧して版５２の所定の表面５２ａから上記空洞の内表面の円環領域５０ａへと弾性表面波励起手段形成用パターン１２を転写し載置させる（転写工程）。このようにして基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域５０ａに転写された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域５０ａに転写された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成された弾性表面波励起手段において円環領域５０ａの両側縁近傍部位に位置している基部が、前述した如く基体５０の中空の空洞の内表面において円環領域５０ａの両側縁近傍部位から外部空間連通孔５０ｂの外端の開口にまで渡る部分に既に転写されている外部接続端子形成用パターン２６により構成されている外部接続端子に対し重複し相互に電気的に接続される。

この時、上記転写を確実に実行させる為には、基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の版５２の所定の表面５２ａ（即ち、弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置されている部分）が弾性変形するとともに、上記空洞の内表面において円環領域５０ａの両側縁近傍部位から外部空間連通孔５０ｂの外端の開口にまで渡る部分の形状に従って外部接続端子形成用パターン２６の為の版５４の前述した所定の表面が弾性変形する。しかもこれらの弾性変形した弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の版５２の所定の表面５２ａ及び外部接続端子形成用パターン２６の為の版５４の前述した所定の表面は、夫々が対応する上記空洞の内表面の円環領域５０ａの曲率半径及び上記空洞の内表面において円環領域５０ａの両側縁近傍部位から外部空間連通孔５０ｂの外端の開口にまで渡る部分の曲率半径よりも１％乃至２０％の範囲内で小さな曲率半径を有した凸面であることが好ましい。

次にこの実施の形態では、基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域５０ａから弾性表面波励起手段形成用パターン１２の為の版５２が遠ざけられ外部空間連通孔５０ｂを介して外部空間へと離脱された後に、基体５０は、図６の（Ｆ）中に示されているように内表面の円環領域５０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段及び上記内表面において円環領域５０ａの両側縁近傍部位から外部空間連通孔５０ｂの外端の開口にまで渡る部分に転写され載置されている外部接続端子形成用パターン２６により構成されている外部接続端子に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段及び外部接続端子形成用パターン２６により構成されている外部接続端子が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料を硬化させる工程に替えられる。

そして最後に、基体５０の外表面を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材５６ａ，５６ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、図６の（Ｆ）中に示されている如く基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域５０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域５０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法で公知の保護膜を重複させることが出来る。

或いは、外力の適用を受ける可能性をより少なくする為に、基体５０の内表面の円環領域５０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が基体５０の内表面の円環領域５０ａ上から突出している厚さを減少させる加工を行うことも出来る。この厚さ減少加工後に、上述した如く保護膜を重複させても良い。

或いは、このようにして製造された球状弾性表面波素子が使用されるまでの間、例えば輸送の間に適用される外力から球状弾性表面波素子の内表面が損傷を受けるのを防止する為の保護膜を上記内表面に重複させることも出来る。

或いは、円環領域５０ａに、所定のガスと反応することにより円環領域５０ａにおける弾性表面波の伝搬に影響する反応膜を、保護膜として重複させることが出来る。

これによって第６の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

なお、上述した実施の形態では、基体５０の中空の空洞の内表面の円環領域５０ａに対する弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写による載置に先立って、上記内表面において円環領域５０ａの両側縁近傍部位から外部空間連通孔５０ｂの外端の開口にまで渡る部分に対する外部接続端子形成用パターン２６の転写よる載置が行なわれたが、これらの転写による載置はこれとは逆にまず最初に弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写による載置が行なわれ、次に外部接続端子形成用パターン２６の転写よる載置が行なわれても良い。

［第７の実施の形態］
次にこの発明の第７の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法を説明する。

この実施の形態では、図５を参照しながら前述した第５の実施の形態において使用されたいわゆるビヤ樽形状の外表面を有した基体１０’が準備され使用される（基体準備工程）。

複数のビヤ樽形状の外表面を有した基体１０’が、基体１０’の１対の平坦側面部１０ｂ間の距離よりは大きく、且つ基体１０’の外表面の円環領域１０ａの曲率半径の２倍よりは短い、好ましくは基体１０’の１対の平坦側面部１０ｂ間の距離よりも僅かに大きい、幅で相互に離間した１対の側方ガイド６０ａと１対の側方ガイド６０ａの下端部を相互に連結する下方ガイド６０ｂとを有した搬送路６０中を下方ガイド６０ｂ上で１対の平坦側面部１０ｂの中心を通過する中心線を回転中心線として回転しながら所定の方向に移動する。

搬送路６０の所定の位置の上方には弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が所定の表面４０ａに載置されている版４０が配置されており（版準備工程）、上記所定の位置の１対の側方ガイド６０ａの一方には切り欠き６０ｃが形成されている。切り欠き６０ｃには、他方の側方ガイド６０ａに対して接近又は離間する方向に進退自在な位置決め手段の一種である押圧保持位置決め部材６２の先端部が配置されている。

押圧保持位置決め部材６２は、搬送路６０中を下方ガイド６０ｂ上で回転しながら所定の方向に向かい移動して来た基体１０’が上記所定の位置に到達した時に他方の側方ガイド６０ａに接近するよう移動して上記所定の位置に到達した基体１０’の１対の平坦側面部１０ｂの一方を押圧して１対の平坦側面部１０ｂの他方を他方の側方ガイド６０ａ上に押し付ける。これによって、上記所定の位置に到達した基体１０’は、図７中に示されている如く、１対の平坦側面部１０ｂを押圧保持位置決め部材６２の先端部及び他方の側方ガイド６０ａにより押圧保持され上記所定の位置に位置決めされて停止する。

次に、版４０が下降して、上記所定の位置に停止している基体１０’の円環領域１０ａに版４０の所定の表面４０ａを押圧させて、所定の表面４０ａに載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を基体１０’の円環領域１０ａに転写し載置させる（転写工程）。このようにして基体１０’の外表面の円環領域１０ａに転写された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

次に、版４０が上昇して基体１０’の円環領域１０ａから離れ、また押圧保持位置決め部材６２も先端部を他方の側方ガイド６０ａから離れるよう移動させて押圧保持位置決め部材６２の先端部及び他方の側方ガイド６０ａによる基体１０’の１対の平坦側面部１０ｂの押圧保持による位置決めを解除する。これによって、図７中に示されている如く上記所定の位置で円環領域１０ａに弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が載置された基体１０’は、搬送路６０中を下方ガイド６０ｂ上で回転しながら上記所定の位置から遠ざかるよう移動する。

この移動時に、基体１０’の円環領域１０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が搬送路６０の下方ガイド６０ｂの上表面に接触して損傷しないよう、下方ガイド６０ｂは上記所定の位置よりも下流側が基体１０’の円環領域１０ａに対応する中央部分を切り欠かれて残された２本のレール６０ｂ’により構成されている。

図７中に示されている如く搬送路６０の上記所定の位置で円環領域１０ａに弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が載置された基体１０’は、上記所定の位置から遠ざかるよう搬送路６０中を下方ガイド６０ｂの２本のレール６０ｂ’上で回転しながら移動する間に弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が乾燥される。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料を硬化させる工程に替えられる。

そして、さらに搬送路６０上で、または搬送路６０からは独立した別の場所で、基体１０’の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法により公知の保護膜を重複させることが出来る。

またさらに、搬送路６０上で、または搬送路６０からは独立した別の場所で、図１乃至図５を参照した第１乃至第５の実施の形態において外部接続端子形成用パターン２６が基体１０又は１０’の外表面に載置されたのと同様にして、基体１０’の外表面において円環領域１０ａの両側縁に隣接した部位から１対の平坦側面部１０ｂに渡り外部接続端子形成用パターン２６を転写させ載置させることも出来る。

上述したことから明らかなように、この実施の形態では、搬送路６０中で版４０の所定の表面４０ａに載置されている弾性表面波励起材料の弾性表面波励起手段形成用パターン１２上を円環領域１０ａが通過するよう基体１０’は版４０に対し相対的に回転する。

［第８の実施の形態］
次にこの発明の第８の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法を説明する。

この実施の形態では、図７を参照しながら上述したこの発明の第７の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用した搬送路６０と非常に類似した搬送路６０’を使用する。この搬送路６０’が第７の実施の形態の搬送路６０と異なっているのは、上記所定の位置において搬送路６０’の１対の側方ガイド６０ａの一方に切り欠き６０ｃ（図７参照）が形成されていないことである。

さらに、この実施の形態では、図７を参照しながら上述したこの発明の第７の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用した弾性表面波励起材料パターン１２の為の往復動作式の版４０とは異なる、回転式の版７０を使用する（版準備工程）。

回転式の版７０は、搬送路６０’に沿った上記所定の位置の上方で搬送路６０’における複数の基体１０’の回転移動方向に向かい外周面を回転させるブランケット胴７０ａと、ブランケット胴７０ａの上方に位置しブランケット胴７０ａの外周面に接触してブランケット胴７０ａとは逆方向に回転する版胴７０ｂと、を備えている。版胴７０ｂの外周面には夫々が所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２に対応した形状の画線部７２が形成されていて、画線部７２には図示しない弾性表面波励起材料適用胴から弾性表面波励起材料２０が均一な厚さに適用されて所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置される。

版胴７０ｂはその外周面をブランケット胴７０ａの外周面に接触させながらブランケット胴７０ａとは反対方向に回転することによりブランケット胴７０ａの外周面に所定の間隔で弾性表面波励起材料２０の複数の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を転写し載置させる。

そして、ブランケット胴７０ａは搬送路６０’上を上記所定の位置に順次到達した複数の基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し版胴７０ｂの外周面上の弾性表面波励起材料２０の複数の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を順次押圧し転写し載置させる（転写工程）。このようにして基体１０’の外表面の円環領域１０ａに転写された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が、弾性表面波励起手段を構成する。

ブランケット胴７０ａの外周面は、例えばエラストマーのような弾性材料により構成されている。その結果として、ブランケット胴７０ａの外周面は、基体１０’の外表面の円環領域１０ａに押圧された時に基体１０’の外表面の円環領域１０ａに従い弾性変形し、基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対して十分に密着することにより、基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対する弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の転写を確実にする。

そしてこの場合、基体１０’の外表面の円環領域１０ａに接するブランケット胴７０ａの外周面は、基体１０’の外表面の円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな凹面となることが好ましい。

この実施の形態において、ブランケット胴７０ａはさらに、基体１０’の１対の平坦側面部１０ｂ間の距離よりも僅かに大きな幅で相互に離れて対向している１対の案内フランジ７０ｂを備えている。１対の案内フランジ７０ｂは、搬送路６０’上の基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し版胴７０ｂが接触した時に、基体１０’の１対の平坦側面部１０ｂに対向し、版胴７０ｂが搬送路６０’上の基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し基体１０’の回転中心線に沿った方向に位置ずれを生じさせるのを防止する。

この実施の形態では、版胴７０ｂが搬送路６０’上を上記所定の位置に順次到達した複数の基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し、複数の基体１０’の移動に伴なう回転を停止させることなく版胴７０ｂの外周面上の弾性表面波励起材料２０の複数の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を順次押圧し転写し載置させるので、複数の基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対する弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２の押圧転写工程の効率が高い。

図８中に示されている如く上記所定の位置で円環領域１０ａに弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が載置された基体１０’は、上記所定の位置から遠ざかるよう搬送路６０’中を下方ガイド６０ｂの２本のレール６０ｂ’上で回転しながら移動する間に弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２が乾燥される。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料２０が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料２０に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料２０を硬化させる工程に替えられる。

そして、さらに搬送路６０’上で、または搬送路６０’からは独立した別の場所で、基体１０’の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成された弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法で公知の保護膜を重複させることが出来る。

或いは、外力の適用を受ける可能性をより少なくする為に、基体１０’の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が基体１０’の外表面の円環領域１０ａ上から突出している厚さを減少させる加工を行うことも出来る。この厚さ減少加工後に、上述した如く保護膜を重複させても良い。

またさらに、搬送路６０’上で、または搬送路６０’からは独立した別の場所で、図１乃至図５を参照した第１乃至第５の実施の形態において外部接続端子形成用パターン２６が基体１０又は１０’の外表面に載置されたのと同様にして、基体１０’の外表面において円環領域１０ａの両側縁に隣接した部位から１対の平坦側面部１０ｂに渡り外部接続端子形成用パターン２６を転写させ載置させることも出来る。

上述したことから明らかなように、この実施の形態では、搬送路６０’中で版として機能しているブランケット胴７０ａの所定の表面である外周面に載置されている弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２上を円環領域１０ａが通過するよう基体１０’は版として機能しているブランケット胴７０ａに対し相対的に回転する。

［第７及び第８の実施の形態の第１の変形例］
第７及び第８の実施の形態では、搬送路６０又は６０’の下方ガイド６０ｂ上で複数の基体１０’が外表面の円環領域１０ａを回転させることにより所定の方向に移動しているが、搬送路６０の下方ガイド６０ｂを例えばローラコンベヤ或いはベルトコンベヤのようなコンベヤにより構成し、この下方ガイド６０ｂの上面上に複数の基体１０’の夫々の１対の平坦側面部１０ｂのいずれか一方を載置させ、コンベヤにより構成された下方ガイド６０ｂ上で複数の基体１０’が順次上記所定の位置に向かい移動されるようにすることが出来る。

図７を参照して前述した第７の実施の形態の搬送路６０をこのように構成した場合には、上記所定の位置に到達した基体１０’の１対の平坦側面部１０ｂのいずれか他方を上方から押圧保持位置決め部材６２の先端部が押圧させることにより上記所定の位置で基体１０’の移動を一旦停止させ、この間に搬送路６０の１対の側方ガイド６０ａのいずれか一方において上記所定の位置に形成されている切り欠き６０ｃを介して版４０の所定の表面４０ａを上記所定の位置の基体１０’の外表面の円環領域１０ａの対し押圧し、版４０の所定の表面４０ａから弾性表面波励材料の所定の弾性表面波励手段形成用パターン１２を上記所定の位置の基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し転写し載置させることが出来る。

この変形例においては、上記所定の位置よりも下流に位置する搬送路６０の下方ガイド６０ｂの部分は図７中に示されているように２本のガイドレール６０ｃとして構成されている必要はなく例えばローラコンベヤ或いはベルトコンベヤのようなコンベヤのままでよい。しかしながら、上記所定の位置よりも下流に位置する搬送路６０の１対の側方ガイド６０ａの部分は、上記所定の位置から下流に向かい基体１０’が移動する間に上記所定の位置において基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に対し１対の側方ガイド６０ａの上記部分が接触して弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が損傷を受けないように、１対の側方ガイド６０ａの上記部分を構成する必要がある。

上記所定の位置において基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段は、上記所定の位置から下流に向かい基体１０’が移動する間に乾燥される。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料を硬化させる工程に替えられる。

この場合にももちろん、搬送路６０上で、または搬送路６０からは独立した別の場所で、図１乃至図５を参照した第１乃至第５の実施の形態において所定の外部接続端子形成用パターン２６が基体１０又は１０’の外表面に載置されたのと同様にして、基体１０’の外表面において円環領域１０ａの両側縁に隣接した部位から１対の平坦側面部１０ｂに渡り外部接続端子形成用パターン２６を転写させ載置させることも出来る。

図８を参照して前述した第８の実施の形態の搬送路６０を上述したように構成した場合には、搬送路６０の１対の側方ガイド６０ａのいずれか一方において上記所定の位置に形成されている切り欠き６０ｃの側方でブランケット胴７０ａ及び版胴７０ａが上下方向に向いた自身の回転中心線の回りで回転するよう構成される。そして、ブランケット胴７０ａは、搬送路６０の１対の側方ガイド６０ａのいずれか一方の上記所定の位置の切り欠き６０ｃを介して側方から、ブランケット胴７０ａの所定の表面である外周面を上記所定の位置に到達した基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し回転しながら押圧し、搬送路６０の例えばローラーコンベヤ或いはベルトコンベヤのようなコンベヤにより構成されている下方ガイド６０ａ上で上記所定の位置に到達した基体１０’を１対の平坦側面部１０ｂの中心を通る回転中心線の回りに自転させながら基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を転写し載置させる。

この変形例においても、上記所定の位置よりも下流に位置する搬送路６０の下方ガイド６０ｂの部分は図８中に示されているように２本のガイドレール６０ｃとして構成されている必要はなく例えばローラコンベヤ或いはベルトコンベヤのようなコンベヤのままでよいが、上記所定の位置よりも下流に位置する搬送路６０の１対の側方ガイド６０ａの部分は、上記所定の位置から下流に向かい基体１０’が移動する間に上記所定の位置において基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対し載置された弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段に１対の側方ガイド６０ａの上記部分が接触して弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が損傷を受けないように、１対の側方ガイド６０ａの上記部分を構成する必要がある。

この場合にももちろん、搬送路６０上で、または搬送路６０からは独立した別の場所で、図１乃至図５を参照した第１乃至第５の実施の形態において所定の外部接続端子形成用パターン２６が基体１０又は１０’の外表面に載置されたのと同様にして、基体１０’の外表面において円環領域１０ａの両側縁に隣接した部位から１対の平坦側面部１０ｂに渡り外部接続端子形成用パターン２６を転写させ載置させて外部接続端子を構成させることも出来る。

［第７及び第８の実施の形態の第２の変形例］
第７及び第８の実施の形態では、搬送路６０の下方ガイド６０ｂ上で複数の基体１０’が外表面の円環領域１０ａを回転させることにより所定の方向に移動しているが、搬送路６０の下方ガイド６０ｂを例えばローラコンベヤ或いはベルトコンベヤのようなコンベヤにより構成し、この下方ガイド６０ｂの上面上に複数の基体１０’を夫々の１対の平坦側面部１０ｂの中心を通過する線を移動方向に平行にした状態で載置させ、例えばローラコンベヤ或いはベルトコンベヤのようなコンベヤにより構成された下方ガイド６０ｂ上で複数の基体１０’が順次上記所定の位置に向かい移動されるようにすることが出来る。

この場合、搬送路６０の１対の側方ガイド６０ｂの相互間の幅は基体１０’の外表面の円環領域１０ａにおける径よりも僅かに大きく設定される。そしてさらに、この場合、搬送路６０上の所定の位置に到達した基体１０’の外表面の円環領域１０ａは搬送路６０における複数の基体１０’の移動方向とは直交する方向に延出している。従って、版４０の所定の表面４０ａまたは版７０の版胴７０ｂ及びブランケット胴７０ａの夫々の所定の表面として機能する外周面に載置される弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２において弾性表面波を励起する為の複数の端部線要素の延出方向は上記移動方向に向いていなければならない。

［第９の実施の形態］
次に図９を参照しながら、この発明の第９の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について説明する。

なおこの実施の形態においては、図１を参照しながら前述した、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材を使用する。従って、第９の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用する第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材には、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法に関する上述した説明においてこれら種々の部材に付されていたのと同じ参照符号を付し、これら種々の部材についての詳細な説明は省略する。

この実施の形態の製造方法でも、図９の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａを表面に有する基体１０が準備される（基体準備工程）。

この実施の形態の製造方法ではまた、図９の（Ｂ）中に示されているように、基体１０の外表面の円環領域１０ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている版８０が準備される（版準備工程）。

より詳細には、この実施の形態において、所定の弾性表面波励起手段形成用パターンは弾性表面波励起材料載置阻止材料８２により構成されたマスクパターン８２ａである。

版８０は、その所定の表面８０ａの所定の位置に弾性表面波励起材料載置阻止材料８２により構成されたマスクパターン８２ａが載置されている。

なおここで準備される版８０は、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４，凸版による版３０，凹版による版３２，そして転写シートによる版３６のいずれか１つと同様にして構成されているが、ここで準備される版８０の所定の表面８０ａに載置されているのは所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応し所定の弾性表面波励起手段形成用パターンを取り囲む所定のマスクパターン８２ａを有した弾性表面波励起材料載置阻止材料８２であり、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４の所定の表面１４ａ，凸版による版３０の所定の表面３０ａ，凹版による版３２の所定の表面３２ａ，そして転写シートによる版３６のいずれか１つに載置されているのが弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２であることが、異なっている。

次に、図９の（Ｂ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側が基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に対し、版８０の所定の表面８０ａの所定の位置に載置されている弾性表面波励起材料載置阻止材料８２を対向させる。

次に、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に、上述した如く版準備工程において準備された版８０の所定の表面８０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料載置阻止材料８２が、押圧されて接触される。この時に、版８０の所定の表面８０ａは基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、所定の表面８０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料載置阻止材料８２を、図９の（Ｃ）中に示されている如く、基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に転写させる（転写工程）。

この時、基体１０の外表面の円環領域１０ａに所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応した所定のマスクパターン８２ａが位置される。そして、上記転写を確実に実行させる為に、基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した版８０の所定の表面８０ａ（即ち、弾性表面波励起材料載置阻止材料８２が載置されている部分）は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

次にこの実施の形態では、基体１０の外表面の円環領域１０ａから版８０が遠ざけられた後に、基体１０は外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料載置阻止材料８２に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、弾性表面波励起材料載置阻止材料８２が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料載置阻止材料８２が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料載置阻止材料８２に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料載置阻止材料８２を硬化させる工程に替えられる。

次に、基体１０は外表面の円環領域１０ａに転写され載置されている弾性表面波励起材料載置阻止材料８２に対し図示しない例えば転写ローラ又は蒸着又はスパッタリング等の種々の公知の適用手段により弾性表面波励起材料２０が適用されて載置され、弾性表面波励起材料載置阻止材料８２における所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応した所定のマスクパターン８２ａを弾性表面波励起材料２０により満たす。

次に、図９の（Ｅ）中に示されている如く、基体１０の外表面から弾性表面波励起材料載置阻止材料８２が公知のウエット又はドライ手段により除去され、その結果として、弾性表面波励起材料載置阻止材料８２の所定のマスクパターン８２ａ上に載置されていなかぅた弾性表面波励起材料２０のみが基体１０の外表面の円環領域１０ａに残留し、弾性表面波励起手段８４として基体１０の外表面の円環領域１０ａに載置される。ここにおいて、マスクパターン８２ａは所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応し所定の弾性表面波励起手段形成用パターンを取り囲む形状をしているので、マスクパターン８２ａに満たされていた弾性表面波励起材料２０により構成された弾性表面波励起手段８４も所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応した形状になる。

そして最後に、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に載置された弾性表面波励起手段８４を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段８４の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段８４に公知の方法で公知の保護膜を重複させることが出来る。

或いは、外力の適用を受ける可能性をより少なくする為に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段８４が基体１０の外表面の円環領域１０ａ上から突出している厚さを減少させる加工を行うことも出来る。この厚さ減少加工後に、上述した如く保護膜を重複させても良い。

これによって第９の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

ここに示されている、所定の弾性表面波励起材料パターンに対応した形状の弾性表面波励起手段８４が外表面の円環領域１０ａ上に載置されている基体１０は、図１乃至図４の夫々を参照しながら前述したこの発明の第１乃至第４の実施の形態の夫々に従った球状弾性表面波素子の製造方法により製造された、弾性表面波励起材料の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成された弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０と同一である。

なお図９を参照しながら前述した第９の実施の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においても、図１乃至図４の夫々を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の場合と同様に、基体１０の表面の円環領域１０ａに載置される弾性表面波励起手段８４の為の外部接続端子を基体１０の外表面に載置する工程をさらに備えることが出来る。この工程は、図９の（Ｂ）乃至（Ｅ）中に示されている基体１０の外表面の円環領域１０ａへの弾性表面波励起手段８４の載置工程（基体１０の外表面の円環領域１０ａへの弾性表面波励起手段形成用パターンに対応したマスクパターン８２ａを有した弾性表面波励起材料載置阻止材料８２の転写工程，マスクパターン８２ａへの弾性表面波励起材料２０の適用工程，そして基体１０の外表面からの弾性表面波励起材料載置阻止材料８２の除去工程を含む）の前後に行なうことが出来る。

図９の（Ｅ）には、このようにして基体１０の外表面に転写され載置された外部接続端子形成用パターン２６により構成された外部接続端子もまた示されている。

なお、図９を参照しながら前述したこの発明に従った第９の実施の形態においては、球形状の外表面を有している基体１０に代わり、図５、図７及び図８中に示されていたこの発明に従った第５、第７及び第８の実施の形態において使用されたいわゆるビヤ樽形状の外表面を有している基体１０’を使用することもできる。その場合には、図７及び図８を参照しながら前述した第７及び第８の実施の形態において搬送路６０中を回転しながら移動される複数の基体１０’に対し往復動式の版４０及び回転式のブラケット胴７２ｂを使用して弾性表面波励起材料の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２を順次載置したのと同様にして、基体１０’の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に対する弾性表面波励起材料載置阻止材料８２の載置や、弾性表面波励起材料載置阻止材料８２において所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応し所定の弾性表面波励起手段形成用パターンを取り囲んでいるマスクパターン８２ａに対する弾性表面波励起材料２０の適用も、順次行なうことが出来る。

［第１０の実施の形態］
次に図１０を参照しながら、この発明の第１０の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法について説明する。

なおこの実施の形態においては、図１を参照しながら前述した、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材を使用する。従って、第１０の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用する第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法において使用したのと同じ種々の部材には、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法に関する上述した説明においてこれら種々の部材に付されていたのと同じ参照符号を付し、これら種々の部材についての詳細な説明は省略する。

この実施の形態の製造方法でも、図１０の（Ａ）中に示されている如く、少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域１０ａを表面に有する基体１０が準備される（基体準備工程）。

この実施の形態の製造方法ではまた、図１０の（Ｂ）中に示されているように、基体１０の外表面おいて少なくとも円環領域１０ａを含む部分に弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起材料２０が所定の表面９０ａに載置された版９０が準備される。

なおここで準備される版９０は、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４，凸版による版３０，凹版による版３２，そして転写シートによる版３６のいずれか１つと同様にして構成されているが、ここで準備される版９０の所定の表面９０ａに載置されているのが所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２ではなく実質的に均一な厚さを有し所定のパターンを有していない弾性表面波励起材料２０であり、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４の所定の表面１４ａ，凸版による版３０の所定の表面３０ａ，凹版による版３２の所定の表面３２ａ，そして転写シートによる版３６のいずれか１つに載置されているのが所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２であることが、異なっている。

次に、図１０の（Ｂ）中に示されているように、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側が基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂにより保持され位置決めされる。そして、このように保持され位置決めされた基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に対し、版９０の所定の表面９０ａの所定の位置に載置されている弾性表面波励起材料２０を対向させる。

次に、上述した基体準備工程において準備された基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に、版９０の所定の表面９０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料２０が押圧されて接触される。この時に、版９０の所定の表面９０ａは基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、所定の表面９０ａ上に載置されている弾性表面波励起材料２０を基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に転写させる。

この時、上記転写を確実に実行させる為に、基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した版９０の所定の表面９０ａ（即ち、弾性表面波励起材料２０が載置されている部分）は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

次にこの実施の形態では、基体１０の外表面の円環領域１０ａから版９０が遠ざけられた後に、基体１０は外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に転写され載置されている弾性表面波励起材料２０に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、弾性表面波励起材料２０が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料２０が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料２０に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料２０を硬化させる工程に替えられる。

なお、基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に対して弾性表面波励起材料２０を載置する作業は、弾性表面波励起材料２０として例えば金，クロム，そしてアルミ等の蒸着やスパッタリングが可能な材料を使用することにより、版９０に代わり蒸着やスパッタリングを使用することが出来る。

この実施の形態の製造方法ではまた、基体１０は外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に転写され載置されている弾性表面波励起材料２０に対し円環領域１０ａに弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに弾性表面波励起材料保護材料９２が載置されている所定の表面を有した図示しない版が準備される（版準備工程）。

なおここで準備される図示されていない版は、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４，凸版による版３０，凹版による版３２，そして転写シートによる版３６のいずれか１つと同様にして構成されているが、ここで準備される図示されていない版の所定の表面に載置されているのが所定の弾性表面波励起手段形成用パターンの弾性表面波励起材料保護材料９２（図１０の（Ｄ）参照）であり、図１乃至図４を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態において使用されていた平版による版１４の所定の表面１４ａ，凸版による版３０の所定の表面３０ａ，凹版による版３２の所定の表面３２ａ，そして転写シートによる版３６のいずれか１つに載置されているのが所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２であることが、異なっている。

次に、基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に既に載置されている弾性表面波励起材料２０に対し円環領域１０ａに対応して、上記図示されていない版の所定の表面上に載置されている弾性表面波励起材料保護材料９２が押圧されて接触される。この時に、上記図示されていない版の所定の表面は基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形し、所定の表面上に載置されている弾性表面波励起材料保護材料９２を基体１０の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に載置されている弾性表面波励起材料２０において円環領域１０ａに対応した部分に、図１０の（Ｄ）中に示されているように、転写させ載置させる（転写工程）。

この時、上記転写を確実に実行させる為に、基体１０の外表面の円環領域１０ａの形状に従って弾性変形した上記図示されていない版の所定の表面（即ち、弾性表面波励起材料保護材料９２が載置されている部分）は、円環領域１０ａの曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となることが好ましい。

次にこの実施の形態では、基体１０の外表面の円環領域１０ａから上記図示されていない版が遠ざけられた後に、基体１０は外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に載置されている弾性表面波励起材料２０において円環領域１０ａに対応した部分に転写させ載置させられている弾性表面波励起材料保護材料９２に何物も接触しないよう図示しない所定の乾燥場所に移動されて、所定の時間、弾性表面波励起材料保護材料９２が乾燥するのを待たれる。この乾燥工程は、被転写材である弾性表面波励起材料保護材料９２が紫外線硬化性や熱硬化性を有している場合には、弾性表面波励起材料保護材料９２に紫外線や熱を照射することにより弾性表面波励起材料保護材料９２を硬化させる工程に替えられる。

次に、基体１０の外表面から弾性表面波励起材料２０が、弾性表面波励起材料保護材料９２が載置されている部分を除き、公知の手段により除去され、その結果として、図１０の（Ｅ）中に示されている如く、弾性表面波励起材料保護材料９２の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応している弾性表面波励起材料２０のみが基体１０の外表面の円環領域１０ａに残留する。

さらに、図１０の（Ｆ）中に示されている如く、基体１０の外表面から弾性表面波励起材料保護材料９２の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが公知の手段により除去され、その結果として、除去された弾性表面波励起材料保護材料９２の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンに対応していた弾性表面波励起材料２０のみが基体１０の外表面の円環領域１０ａに残留し、弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段パターン１２として基体１０の外表面の円環領域１０ａに載置される。

このようにして基体１０の外表面の円環領域１０ａに載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段パターン１２が弾性表面波励起手段を構成する。

そして最後に、基体１０の外表面における円環領域１０ａの両外側を保持し位置決めしていた基体保持位置決め部材２２ａ，２２ｂが上記外表面から分離される。なおこの分離前か後に、基体１０の外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置された弾性表面波励起材料２０の所定の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段を外力の適用による損傷から保護する為に、弾性表面波励起手段の本来の機能である円環領域１０ａに対する弾性表面波励起能力を損なわない限り、弾性表面波励起手段に公知の方法で公知の保護膜を重複させることが出来る。

これによって第１０の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法による球状弾性表面波素子の製造が終了する。

ここに示されている、弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０は、図１乃至図４の夫々を参照しながら前述したこの発明の第１乃至第４の実施の形態の夫々に従った球状弾性表面波素子の製造方法により製造された、弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段が外表面の円環領域１０ａ上に転写されて載置されている基体１０と同一である。

なお図１０を参照しながら前述した第１０の実施の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法においても、図１乃至図４の夫々を参照しながら前述した第１乃至第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の場合と同様に、基体１０の表面の円環領域１０ａに載置される弾性表面波励起材料２０の弾性表面波励起手段形成用パターン１２により構成されている弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を基体１０の外表面に載置する工程をさらに備えることが出来る。この工程は、図１０の（Ｂ）乃至（Ｆ）中に示されている基体１０の外表面の円環領域１０ａへの弾性表面波励起手段の載置工程（基体１０の外表面の円環領域１０ａを含む部分への弾性表面波励起材料２０の載置工程，基体１０の外表面の円環領域１０ａを含む部分へ転写された弾性表面波励起材料２０に対する弾性表面波励起手段形成用パターンの弾性表面波励起材料保護材料９２の転写工程，基体１０の外表面からの弾性表面波励起材料保護材料９２により覆われていない弾性表面波励起材料２０の除去工程，そして性表面波励起手段形成用パターンの弾性表面波励起材料保護材料９２により覆われている弾性表面波励起材料２０からの弾性表面波励起材料保護材料９２の除去工程を含む）の前後に行なうことが出来る。

図１０の（Ｆ）には、このようにして基体１０の外表面に転写され載置された外部接続端子形成用パターン２６により構成された外部接続端子もまた示されている。

なお、図１０を参照しながら前述したこの発明に従った第１０の実施の形態においては、球形状の外表面を有している基体１０に代わり、図５、図７乃至図９中に示されていたこの発明に従った第５、第７乃至第９の実施の形態において使用されたいわゆるビヤ樽形状の外表面を有している基体１０’を使用することもでき、その場合には、図７及び図８を参照しながら前述した第７及び第８の実施の形態において搬送路６０中を回転しながら移動される複数の基体１０’に対し往復動式の版４０及び回転式のブラケット胴７２ｂから所定の弾性表面波励起材料パターン１２を順次載置したのと同様にして、基体１０’の外表面の少なくとも円環領域１０ａを含む部分に対する弾性表面波励起材料２０の載置や弾性表面波励起材料２０において基体１０’の外表面の円環領域１０ａに対応した部分への弾性表面波励起手段形成用パターンの弾性表面波励起材料保護材料９２の載置も順次行なうことが出来る。

（Ａ）乃至（Ｇ）は、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図であり；そして、（Ｈ）は、（Ａ）乃至（Ｇ）中に示されているこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程により製造された後の球状弾性表面波素子の外観を示す図である。（Ａ）乃至（Ｆ）は、この発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図であり；そして、（Ｇ）は、（Ａ）乃至（Ｆ）中に示されているこの発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程により製造された後の球状弾性表面波素子の外観を示す図である。（Ａ）乃至（Ｆ）は、この発明の第３の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図であり；そして、（Ｇ）は、（Ａ）乃至（Ｆ）中に示されているこの発明の第３の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程により製造された後の球状弾性表面波素子の外観を示す図である。（Ａ）乃至（Ｃ）は、この発明の第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図であり；そして、（Ｄ）は、（Ａ）乃至（Ｃ）中に示されているこの発明の第４の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程により製造された後の球状弾性表面波素子の外観を示す図である。（Ａ）及び（Ｂ）は、この発明の第５の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図であり；そして、（Ｃ）は、（Ａ）及び（Ｂ）中に示されているこの発明の第５の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程により製造された後の球状弾性表面波素子の外観を示す図である。（Ａ）乃至（Ｅ）は、この発明の第６の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図であり；そして、（Ｆ）は、（Ａ）乃至（Ｅ）中に示されているこの発明の第６の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程により製造された後の球状弾性表面波素子の外観を示す図である。この発明の第７の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の主要な工程を概略的に示す斜視図である。この発明の第８の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の主要な工程を概略的に示す斜視図である。（Ａ）乃至（Ｅ）は、この発明の第９の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図である。（Ａ）乃至（Ｆ）は、この発明の第１０の実施の形態に従った球状弾性表面波素子の製造方法の複数の工程を示す概略図である。

符号の説明

１０…基体、１０’…基体、１０ａ…円環領域、１０ｂ…平坦側面部、１２…弾性表面波励起材料パターン、１４…版、１４ａ…所定の表面、２０…弾性表面波励起材料、２６…外部接続端子形成用パターン、３０…版、３０ａ…所定の表面、３２…版、３２ａ…所定の表面、３６…転写シート（版）、４０…版、４０ａ…所定の表面、４２ａ、４２ｂ…基体保持位置決め部材（基体保持位置決め手段）、５０…基体、５０ａ…円環領域、５２…版、５２ａ…所定の表面、６０…搬送路、７０…版、８０…版、８０ａ…所定の表面、８２…弾性表面波励起材料載置阻止材料、８２ａ…マスクパターン、８４…弾性表面波励起手段、９０…版、９０ａ…所定の表面、９２…弾性表面波励起材料保護材料。

Claims

少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域を表面に有する基体を準備する基体準備工程と；
上記円環領域に弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を形成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている弾性表面波励起手段版と、上記基体の表面に上記弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を形成する為の外部接続端子形成用パターンが載置されていて上記弾性表面波励起手段版から独立している外部接続端子版と、を準備する版準備工程と；
基体準備工程により準備された基体の円環領域に版準備工程により準備された弾性表面波励起手段版の弾性表面波励起手段形成用パターンを接触させて転写させるとともに、版準備工程により準備された外部接続端子版の外部接続端子形成用パターンを上記基体の表面に接触させて転写させる転写工程と；
を備えていることを特徴とする球状弾性表面波素子の製造方法。
前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンは弾性表面波励起材料により構成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンは弾性表面波励起材料載置阻止材料により構成されたマスクパターンであり、
前記転写工程の後に前記基体の前記円環領域に転写された前記弾性表面波励起材料載置阻止材料の前記マスクパターンに弾性表面波励起材料を適用する工程と、
前記弾性表面波励起材料適用工程終了後に、前記基体の前記円環領域に転写された前記弾性表面波励起材料載置阻止材料を除去する工程と、
をさらに備えている、
ことを特徴とする請求項１に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンは弾性表面波励起材料保護材料により構成されていて、
前記転写工程の前に前記基体準備工程により準備された前記基体の前記円環領域に弾性表面波励起材料を載置する工程と、
をさらに備えていて、
前記弾性表面波励起材料保護材料の前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンの転写工程は前記基体の前記円環領域に前記弾性表面波励起材料が載置された後に行なわれ、
さらに、前記基体準備工程により準備された前記基体の前記円環領域に載置された前記弾性表面波励起材料において前記弾性表面波励起材料保護材料の前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが転写されていない部分を削除する工程と、前記基体準備工程により準備された前記基体の前記円環領域に載置された前記弾性表面波励起材料において前記弾性表面波励起材料保護材料の前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが転写されている部分から前記弾性表面波励起材料保護材料の前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンを削除する工程と、をさらに備えている、
ことを特徴とする請求項１に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンはすだれ形状であり、
前記基体は圧電性を有した結晶材料により形成されていて、前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンは結晶材料の結晶軸方向により規定されている、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記表面は前記基体の外表面であり、前記外表面は前記円環領域の両側で相互に平行に切り欠かれた１対の平坦側面部を有した樽形状をしている、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記転写工程の間に前記樽形状の前記基体の前記外表面の前記１対の平坦側面部を保持する位置決め手段を有している、ことを特徴とする請求項６に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記位置決め手段は、前記外部接続端子版を移動自在に支持していて、前記転写工程で前記外部接続端子版の外部接続端子形成用パターンを前記外表面の少なくとも前記１対の平坦側面部に接触させて転写させ、前記樽形状の前記基体の前記外表面の前記円環領域に転写される前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンにより形成される弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を前記外表面の少なくとも前記１対の平坦側面部に載置する、ことを特徴とする請求項７に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記表面は前記基体の外表面であり、
前記転写工程において、前記基体は前記弾性表面波励起手段版に載置されている前記弾性表面波励起手段形成用パターン上を前記円環領域が通過するよう前記弾性表面波励起手段版に対し相対的に回転することにより、前記弾性表面波励起手段版から前記弾性表面波励起手段形成用パターンが前記円環領域に転写される、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記外表面は前記円環領域の両側で相互に平行に切り欠かれた１対の平坦側面部を有した樽形状をしており、
前記転写工程において前記樽形状の前記基体は、前記１対の平坦側面部間の距離よりは大きく、かつ前記基体の前記外表面の前記円環領域の曲率半径の２倍よりは短い、幅を有した搬送路中で、前記弾性表面波励起手段版に載置されている前記弾性表面波励起手段形成用パターン上を前記円環領域が通過するよう前記弾性表面波励起手段版に対し相対的に回転する、
ことを特徴とする請求項９に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンはすだれ形状であり、前記基体が回転する方向は、前記すだれ形状の複数の端部線要素の夫々の延出方向に対し直交する方向に対して２０°以下の範囲内にある、ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記外表面の前記円環領域の曲率半径は３ｍｍ以下であり、前記すだれ形状の前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンにより前記円環領域に形成される弾性表面波励起手段により励起される弾性表面波の波長は前記曲率半径の５分の１以下である、ことを特徴とする請求項１１に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記弾性表面波励起手段版において前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている部分は、前記円環領域の曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となっている、ことを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体は中空形状をしており、前記基体の前記表面は前記基体の内表面である、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記弾性表面波励起手段版において前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている部分は、前記円環領域の曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で小さな曲率半径を有する凸面となっている、ことを特徴とする請求項１４に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンはすだれ形状である、ことを特徴とする請求項１乃至１０，そして１４乃至１５のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記表面の前記円環領域の曲率半径は３ｍｍ以下であり、前記すだれ形状の前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンにより前記円環領域に形成される弾性表面波励起手段により励起される弾性表面波の波長は前記曲率半径の５分の１以下である、ことを特徴とする請求項１６に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記表面は前記基体の外表面であり、
前記転写工程において、前記基体は前記弾性表面波励起手段版に載置されている前記弾性表面波励起手段形成用パターン上を前記円環領域が通過するよう前記弾性表面波励起手段版に対し相対的に回転することにより、前記弾性表面波励起手段版から前記弾性表面波励起手段形成用パターンが前記円環領域に転写される、ことを特徴とする請求項５に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記外表面は前記円環領域の両側で相互に平行に切り欠かれた１対の平坦側面部を有した樽形状をしており、
前記転写工程において前記樽形状の前記基体は、前記１対の平坦側面部間の距離よりは大きく、かつ前記基体の前記外表面の前記円環領域の曲率半径の２倍よりは短い、幅を有した搬送路中で、前記弾性表面波励起手段版に載置されている前記弾性表面波励起手段形成用パターン上を前記円環領域が通過するよう前記弾性表面波励起手段版に対し相対的に回転する、
ことを特徴とする請求項１８に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンはすだれ形状であり、前記基体が回転する方向は、前記すだれ形状の複数の端部線要素の夫々の延出方向に対し直交する方向に対して２０°以下の範囲内にある、ことを特徴とする請求項１８又は１９に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記基体の前記外表面の前記円環領域の曲率半径は３ｍｍ以下であり、前記すだれ形状の前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンにより前記円環領域に形成される弾性表面波励起手段により励起される弾性表面波の波長は前記曲率半径の５分の１以下である、ことを特徴とする請求項２０に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記弾性表面波励起手段版において前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている部分は、前記円環領域の曲率半径に対し１％乃至２０％の範囲内で大きな曲率半径を有する凹面となっている、ことを特徴とする請求項１８乃至２１のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記転写工程の間に前記樽形状の前記基体の前記外表面の前記１対の平坦側面部を保持する位置決め手段を有している、ことを特徴とする請求項１９に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記位置決め手段は、前記外部接続端子版を移動自在に支持していて、前記転写工程で前記外部接続端子版の外部接続端子形成用パターンを前記外表面の少なくとも前記１対の平坦側面部に接触させて転写させ、前記樽形状の前記基体の前記外表面の前記円環領域に転写される前記所定の弾性表面波励起手段形成用パターンにより形成される弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を前記外表面の少なくとも前記１対の平坦側面部に載置する、ことを特徴とする請求項２３に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記弾性表面波励起手段版が、平版，凸版，凹版，そして転写媒体の中のいずれか１つである、ことを特徴とする請求項１乃至２４のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
前記弾性表面波励起手段の材料が０．２μ以下の粒径を有した導電性粒子を含んでいる、ことを特徴とする請求項１乃至２５のいずれか１項に記載の球状弾性表面波素子の製造方法。
少なくとも球形状の一部により構成されていて弾性表面波が励起及び伝搬可能な円環領域を表面に有する基体と、上記基体の表面の上記円環領域に構成され上記円環領域に弾性表面波を励起させ伝搬させる弾性表面波励起手段と、上記基体の表面に構成され弾性表面波励起手段の為の外部接続端子と、を備えた球状弾性表面波素子を製造する為の球状弾性表面波素子の製造装置であって、
上記基体の外表面における円環領域の両外側を保持し位置決めする位置決め手段と、
上記円環領域に弾性表面波を励起させる為の弾性表面波励起手段を構成する為の所定の弾性表面波励起手段形成用パターンが載置されている弾性表面波励起手段版と、
上記基体の表面に上記弾性表面波励起手段の為の外部接続端子を構成する為の外部接続端子形成用パターンが載置されていて上記弾性表面波励起手段版から独立している外部接続端子版と、
を備えていて、
上記基体の表面の上記円環領域に上記弾性表面波励起手段版の上記弾性表面波励起手段形成用パターンを押圧させて上記弾性表面波励起手段形成用パターンを上記表面の上記円環領域に転写させるとともに、
上記位置決め手段に保持され位置決めされている上記基体の表面の上記円環領域の両外側に上記外部接続端子版の上記外部接続端子形成用パターンを接触させて転写させる、
ことを特徴とする球状弾性表面波素子の製造装置。