JP2011043421A - プローバー装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1又は複数のプローブ針を有するプローブカードと、前記プローブ針を振動させるための振動子と、を有し、前記プローブ針は屈曲部を有しており、前記プローブ針には、前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数が与えられるものであることを特徴とするプローバー装置により上記課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
(プローバー装置)
図1に基づき本実施の形態におけるプローバー装置について説明する。本実施の形態におけるプローバー装置は、半導体回路及び電極端子である電極パッド11の形成された検査の対象となるウエハ10を設置するためのステージ20、プローブカード30、振動子40、交流電源50、発振器60、制御部70を有している。また、プローブカード30には、複数のプローブ針31が設けられている。尚、電極パッド11はアルミニウム等の材料により形成されているため、大気中においては表面に不図示の酸化膜が形成される。
次に、プローブ針の振動モードについて説明する。プローブ針は形状や材質等に依存し所定の振動数において固有振動が生じる。上述したプローブ針31における固有振動について調べた結果について説明する。プローブ針31における固有振動を解析するため、サイバネット社製の有限要素法ソフトにおける固有振動数解析(モーダル解析)を用いた。プローブ針31の形状等は、前述したとおりであり、プローブ針31は、例えば、タングステンにより形成されているため、ヤング率は、約3.62×108kPaであり、ポアソン比は、約0.35であり、密度は約19.3×10−6(kg/mm3)として計算を行った。
次に、図8に基づき、本実施の形態におけるプローバー装置において、プローブ針31の振動モードの振動数を求める手順について説明する。本実施の形態におけるプローバー装置におけるプローブ針31は、前述のとおり、4つの固有振動モードを有するものである。
次に、第2の実施の形態におけるプローバー装置について説明する。本実施の形態におけるプローバー装置を図10に示す。本実施の形態におけるプローバー装置は、半導体回路及び電極パッド11の形成された検査の対象となるウエハ10を設置するためのステージ20、プローブカード30、振動子40、交流電源50、発振器60、制御部170を有している。また、プローブカード30には、複数のプローブ針31が設けられている。
(付記1)
1又は複数のプローブ針を有するプローブカードと、
前記プローブ針を振動させるための振動子と、
を有し、前記プローブ針は屈曲部を有しており、前記プローブ針には、前記屈曲部から先端までの先端部を振動させる固有振動数が与えられるものであることを特徴とするプローバー装置。
(付記2)
前記振動子を振動させるために交流電圧を印加するための交流電源と、
前記交流電源において前記交流電圧を発生させるための発振器と、
前記プローブ針の形状及び材質に基づき、前記プローブ針における前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数を抽出する解析部と、
前記固有振動数の周波数の振動を発振器において発振させる制御部と、
を有することを特徴とする付記1に記載のプローバー装置。
(付記3)
前記振動子を振動させるために交流電圧を印加するための交流電源と、
前記交流電源において前記交流電圧を発生させるための発振器と、
前記プローブ針の形状及び材質に基づいて抽出された、前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数を記憶させるメモリ部と、
前記メモリ部に記憶されている前記固有振動数の周波数の振動を発振器において発振させる発振制御部と、
を有することを特徴とする付記1に記載のプローバー装置。
(付記4)
前記メモリ部には、プローブ針の形状及び材質に対応した前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる複数の固有振動数が記憶されており、
前記発振制御部において、振動されるプローブ針の形状及び材質に応じて前記メモリ部より固有振動数を選定するものであることを特徴とする付記3に記載のプローバー装置。
(付記5)
前記解析部における前記固有振動数の抽出は有限要素解析により行われるものであることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載のプローバー装置。
(付記6)
前記振動は、前記屈曲部を節として、前記先端部の先端が変位する振動であることを特徴とする付記1から5のいずれかに記載のプローバー装置。
(付記7)
前記プローブ針は4つの振動モードを有するものであって、前記4つの振動モードにおける固有振動数のうち、周波数の高い2つの振動モードにおける固有振動数を前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数として抽出するものであることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載のプローバー装置。
(付記8)
前記プローブ針は、測定対象となる基板上に形成された電極端子と接触させた状態で、前記プローブ針に前記振動を与えることにより、前記電極端子の表面に形成された酸化膜を削り取るものであることを特徴とする付記1から7のいずれかに記載のプローバー装置。
(付記9)
前記電極端子の表面に形成された酸化膜を削り取った後、前記電極端子と前記プローブ針とを電気的に接続することにより、前記基板に形成された半導体回路の測定を行うことを特徴とする付記8に記載のプローバー装置。
(付記10)
1又は複数のプローブ針を有するプローブカードと、前記プローブ針を振動させるための振動子とを有するプローバー装置により、基板に形成された半導体回路の検査を行う検査方法において、
前記プローブ針は屈曲部を有しており、前記基板に形成された電極端子と、プローブ針の先端とを接触させ、前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数によって、前記プローブ針を振動させることにより、前記電極端子の表面に形成された酸化膜を削り取る工程と、
前記酸化膜の削り取られた電極端子と前記プローブ針とを電気的に接触させて、前記基板に形成された半導体回路の電気的な測定を行う工程と、
を有することを特徴とする検査方法。
11 電極パッド
20 ステージ
30 プローブカード
31 プローブ針
32 屈曲部
33 支持部
34 先端部
35 先端領域
40 振動子
50 交流電源
60 発振器
70 制御部
71 入力部
72 解析部
170 制御部
171 入力部
172 解析部
173 メモリ部
174 発振制御部
Claims (6)
- 1又は複数のプローブ針を有するプローブカードと、
前記プローブ針を振動させるための振動子と、
を有し、前記プローブ針は屈曲部を有しており、前記プローブ針には、前記屈曲部から先端までの先端部を振動させる固有振動数が与えられるものであることを特徴とするプローバー装置。 - 前記振動子を振動させるために交流電圧を印加するための交流電源と、
前記交流電源において前記交流電圧を発生させるための発振器と、
前記プローブ針の形状及び材質に基づき、前記プローブ針における前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数を抽出する解析部と、
前記固有振動数の周波数の振動を発振器において発振させる制御部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載のプローバー装置。 - 前記振動子を振動させるために交流電圧を印加するための交流電源と、
前記交流電源において前記交流電圧を発生させるための発振器と、
前記プローブ針の形状及び材質に基づいて抽出された、前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数を記憶させるメモリ部と、
前記メモリ部に記憶されている前記固有振動数の周波数の振動を発振器において発振させる発振制御部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載のプローバー装置。 - 前記プローブ針は、測定対象となる基板上に形成された電極端子と接触させた状態で、前記プローブ針に前記振動を与えることにより、前記電極端子の表面に形成された酸化膜を削り取るものであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のプローバー装置。
- 前記電極端子の表面に形成された酸化膜を削り取った後、前記電極端子と前記プローブ針とを電気的に接続することにより、前記基板に形成された半導体回路の測定を行うことを特徴とする請求項4に記載のプローバー装置。
- 1又は複数のプローブ針を有するプローブカードと、前記プローブ針を振動させるための振動子とを有するプローバー装置により、基板に形成された半導体回路の検査を行う検査方法において、
前記プローブ針は屈曲部を有しており、前記基板に形成された電極端子と、プローブ針の先端とを接触させ、前記屈曲部から前記先端までの先端部を振動させる固有振動数によって、前記プローブ針を振動させることにより、前記電極端子の表面に形成された酸化膜を削り取る工程と、
前記酸化膜の削り取られた電極端子と前記プローブ針とを電気的に接触させて、前記基板に形成された半導体回路の電気的な測定を行う工程と、
を有することを特徴とする検査方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101601903B1 (ko) * | 2014-10-17 | 2016-03-10 | 양 전자시스템 주식회사 | 프로브 핀의 컨텍 성능 개선을 위한 진동수단을 갖는 평판 디스플레이용 전기적 특성 시험 장치 |
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-
2009
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