KR20110104780A - 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트의 필름형 프로브 블록 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널과 접촉되는 프로브 블록의 접촉부분을 필름 형태로 구현하여 저비용이면서 수명이 연장된 평판디스플레이 시험용 프로브 유니트의 프로브 블록에 관한 것이다. 본 발명의 프로브 블록은 평판디스플레이 소자의 데이터 전극과 게이트 전극에 전기신호를 인가하여 평판디스플레이소자를 비주얼 검사하기 위한 프로브 스테이션의 프로브 유니트에 있어서, 평판 디스플레이 소자의 데이터 전극과 게이트전극에 전기신호를 인가하기 위한 접촉 핀이 접촉 범프가 형성된 필름 형태로 이루어진 것이고, 상기 필름형 프로브 블록은 베이스 필름에 접촉 범프가 형성된 접촉 필름과, 상기 접촉 필름을 지지하는 블록 몸체로 이루어지고, 신호라인과 연결되고 3단으로 돌출되는 구조인 것이다. 본 발명에 따른 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트는 액정패널과 접촉되는 프로브 블록의 접촉 핀 부분을 필름 형태로 구현하여 저비용을 가능하게 하고, 필름 패턴부에 컨텍트 범프를 형성하여 접촉 집적도를 향상시키며, 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.

Description

평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트의 필름형 프로브 블록{ FILM TYPE PROBE BLOCK OF PROBE UNIT FOR FLAT PANEL DISPLAY VISUAL INSPECTION }

본 발명은 반도체소자나 액정패널(LCD) 등이 정상적으로 작동하는지 여부를 전기적 신호를 인가하여 비주얼 검사(Visual Inspection)하는 프로브 스테이션(Probe Station)에 사용되는 프로브 유니트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정패널과 접촉되는 프로브 블록의 접촉부분을 필름 형태로 구현하여 저비용이면서 수명이 연장된 평판디스플레이 시험용 프로브 유니트의 프로브 블록에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 집적회로 장치, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD) 등을 제작할 경우 제작 공정 중에 리드 프레임(lead frame) 또는 구동 IC를 붙이기 전에 제작된 반도체 웨이퍼 혹은 LCD용 액정패널(COG)이 정상적으로 작동하는지 여부를 전기적 신호를 인가하여 최종 비주얼 검사(Visual Inspection)하는 장비가 프로브 스테이션(Probe Station)이다.

프로브 스테이션은 반도체 제조공정에 설치된 고정 설비로서 교체 가능한 프로브 유니트를 포함하고 있는데, 프로브 유니트는 액정 디스플레이(COG)의 가장자리에 위치한 다수의 데이터 전극과 게이트 전극에 접촉되어 시험 신호를 인가하는 프로브 핀(탐침)의 집합체인 프로브 블록과, 프로브 블록과 연결되어 전기신호를 전달하는 드라이버 IC가 실장된 COF(Chip On Film)부, 프로브 블록을 기구적으로 지지하는 프로브 베이스 등을 포함한다. 프로브 블록은 프로브 유니트에 장탈착되는 소모성 부품으로서, 데이터 프로브 블록과 게이트 프로브 블록으로 구분할 수 있으며, 프로브 핀(탐침)의 구현방식에 따라 블레이드(BLADE) 형, 니들(Needle) 형, 미세가공기법을 적용한 멤스(MEMS) 형 등이 있다.

텅스텐 또는 니켈 합금판 탐침을 갖는 니들형 프로브 블록은 탐침을 수백 개까지 균일하게 배열하기 어려운 문제점이 있고, 미세 가공법(micro-machining)으로 제작하여 균일한 높이를 갖고 보다 고밀도의 탐침을 갖는 MEMS 형 프로브 블록은 제조 비용이 크게 증가되는 문제점이 있다. 또한 종래의 탐침은 텅스텐 바늘구조나 미세가공법(micro-machining)으로 형성된 뾰족한 탐침이므로 반도체 웨이퍼나 LCD용 패널을 시험하는 경우, 뾰족한 탐침의 선단부가 접점(pad)과 접촉할 때 접점을 손상하게 되는 경우가 많아 수명이 상대적으로 짧은 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해소하기 위해 데이터 드라이버 IC나 게이트 드라이버 IC가 실장된 필름(COF)을 직접 접촉하는 방식의 COF 형 프로브 유니트가 제안된 바 있으나 COG 패널에 적용하기 어렵고 수명이 짧은 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 액정패널과 접촉되는 프로브 블록의 접촉 핀 부분을 필름 형태로 구현하여 저비용을 가능하게 하고 필름 패턴부에 컨텍트 범프를 형성하여 접촉 집적도를 향상시키며 수명을 크게 연장할 수 있는 평판디스플레이 시험용 프로브 유니트의 프로브 블록을 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 프로브 블록은 평판디스플레이 소자의 데이터 전극과 게이트전극에 전기신호를 인가하여 평판디스플레이소자를 비주얼 검사하기 위한 프로브 스테이션의 프로브 유니트에 있어서,

평판 디스플레이 소자의 데이터 전극과 게이트전극에 전기신호를 인가하기 위한 접촉 핀이 접촉 범프가 형성된 필름 형태로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 필름형 프로브 블록은 베이스 필름에 접촉 범프가 형성된 접촉 필름과, 상기 접촉 필름을 지지하는 블록 몸체로 이루어지고, 신호라인과 연결되고 3단으로 돌출되는 구조인 것이다. 또한 상기 접촉 범프는 돌출면이 경사면으로 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트는 액정패널과 접촉되는 프로브 블록의 접촉 핀 부분을 필름 형태로 구현하여 저비용을 가능하게 하고, 필름 패턴부에 컨텍트 범프를 형성하여 접촉 집적도를 향상시키며, 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명이 적용되는 필름형 프로브 유니트의 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 필름형 프로브 블록의 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 필름형 프로브 블록의 접촉 필름의 확대도이다.

본 발명과 본 발명의 실시에 의해 달성되는 기술적 과제는 다음에서 설명하는 본 발명의 바람직한 실시예들에 의하여 보다 명확해질 것이다. 다음의 실시예들은 단지 본 발명을 설명하기 위하여 예시된 것에 불과하며, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.

도 1은 본 발명이 적용되는 필름형 프로브 유니트의 개략도이다.

본 발명이 적용되는 필름형 프로브 유니트(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 내부에 시험대상인 평판디스플레이패널(20)을 장착할 수 있는 프로브 베이스(12)와, 상기 프로브 베이스(10)에 지지되며 상기 평판디스플레이패널(20)의 전극에 접촉되어 신호를 인가하기 위한 접촉 핀들로 이루어진 프로브 블록(14)과, 상기 프로브 블록의 접촉핀을 통해 구동신호를 인가하기 위한 칩온필름(COF)부(16)로 구성된다.

도 2는 본 발명에 따른 필름형 프로브 블록의 개략도이다.

본 발명에 따른 필름형 프로브 블록(14)은 도 2에 도시된 바와 같이 베이스 필름에 LCD 전극에 접촉하기 위한 접촉 범프가 형성된 접촉 필름(100)과, 상기 접촉 필름(100)을 지지하는 블록 몸체(14a)로 이루어져 게이트 프로브 블록이 LCD패널의 게이트 전극에 게이트 구동신호를 인가하고, 데이터 프로브 블록이 LCD패널의 데이터(소오스) 전극에 데이터 구동신호를 인가한다.

도 3은 본 발명에 따른 필름형 프로브 블록의 접촉 필름의 확대도이다.

본 발명에 따른 접촉 필름(100)은 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(102)에 접촉 범프(106)가 형성된 것으로서, 접촉 성능을 향상시키기 위하여 다단으로 펌프(106)가 형성되어 있다.

도 3을 참조하면, 접촉 범프(106)는 신호라인(104)과 연결되고 다단으로 돌출되는 구조이고, 돌출면이 경사면으로 형성된 것이며, 상기 접촉 범프(106)는 반도체 제조 기술이나 스크린 프린트 방식 등으로 형성될 수 있다.

이와 같이 구성되는 본 발명이 따른 프로브 유니트의 동작을 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 프로브 블록(14)을 프로브 유니트(10)에 장착한 후 프로브 유니트(10)를 프로브 스테이션에 장착한다.

프로브 유니트(10)에 시헝대상 LCD 패널(20)을 실장한 후 프로브 블록(14)의 접촉 필름(100)으로 LCD 패널의 게이트 전극과 데이터 전극에 접촉하여 구동신호를 인가하고, LCD 패널의 R,G,B 픽셀의 동작상태를 검사하여 이상 여부를 판단한다.

이와 같이 본 발명에 따른 필름형 프로브 블록(14)은 접촉 필름(100)을 통해 LCD 패널(20)의 전극과 접촉하므로 피치가 20 ㎛ 이상인 소자들에 적용할 수 있으며, 팁 어셈블리(TIP Ass'y) 조립 시간이 다른 형태의 유니트에 비해 90% 정도 절감할 수 있고, 반도체 공정을 이용하여 정확한 접촉 위치를 유지할 수 있으며, 수리비용 및 시간을 절감할 수 있다.

이상에서 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

10: 프로브 유니트 12: 프로브 베이스
14: 프로브 블록 16: COF부
100: 접촉필름 102: 베이스 필름
104: 신호라인 106: 접촉 범프

Claims (5)

1. 평판디스플레이 소자의 데이터 전극과 게이트 전극에 전기신호를 인가하여 평판 디스플레이 패널을 비주얼 검사하기 위한 프로브 스테이션의 프로브 유니트에 있어서,
   평판 디스플레이 패널의 데이터 전극과 게이트 전극에 전기신호를 인가하기 위한 접촉 핀이 접촉 범프가 형성된 필름 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트의 필름형 프로브 블록.
2. 제1항에 있어서, 상기 필름형 프로브 블록은
   베이스 필름에 접촉 범프가 형성된 접촉 필름과,
   상기 접촉 필름을 지지하는 블록 몸체로 이루어진 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트의 필름형 프로브 블록.
3. 제2항에 있어서, 상기 접촉 범프는
   신호라인과 연결되고 다단으로 돌출되는 구조인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트의 필름형 프로브 블록.
4. 제2항에 있어서, 상기 접촉 범프는
   돌출면이 경사면으로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트의 필름형 프로브 블록.
5. 제2항에 있어서, 상기 접촉 범프는
   반도체제조기술이나 스크린 프린트 방식으로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 시험용 프로브 유니트의 필름형 프로브 블록.

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