KR101601619B1

KR101601619B1 - 진공 밸브

Info

Publication number: KR101601619B1
Application number: KR1020157015529A
Authority: KR
Inventors: 다카카즈 하라다
Original assignee: 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2013-03-05
Filing date: 2013-09-12
Publication date: 2016-03-08
Also published as: US9330869B2; KR20150076259A; DE112013006783B4; WO2014136297A1; CN105027248B; JPWO2014136297A1; JP5583298B1; US20160035519A1; CN105027248A; DE112013006783T5

Abstract

코일 전극은, 코일 전극이 장착되는 고정측 및 가동측 전극봉의 축선에 대해서 직교하는 평면 상에, 상기 축선과 동심에 마련된 링부와, 링부의 외주로부터 외측으로 연장된 복수개의 암부와, 암부의 선단측으로부터 둘레 방향으로 절곡하도록 형성된 원호 모양의 코일부와, 코일부를 분할하는 슬릿부를 가지며, 코일 전극의 암부와 코일 전극의 암부는, 고정측 전극봉 및 가동측 전극봉의 축방향으로부터 보아 서로 겹치도록 동일 방향을 향해서 배치된다.

Description

진공 밸브{VACUUM VALVE}

본 발명은, 전극을 흐르는 전류에 의해 발생하는 자계(磁界)에 의해서 아크를 확산하도록 한 진공 밸브에 관한 것이다.

진공 밸브는, 예를 들면 일본특허공개 평1－315914호 공보(특허 문헌 1), 일본특허공개 평11－317134호 공보(특허 문헌 2)에 개시되어 있는 바와 같이, 유리재, 세라믹재 등의 절연재로 이루어지며, 내부가 고(高)진공으로 배기된 바닥을 가지는 원통 모양의 진공 용기와, 해당 진공 용기의 양단부에 각각 마련된 전극봉과, 각 전극봉의 대향하는 단부에 마련된 소용돌이 고리 모양의 코일 전극과, 해당 코일 전극에 접속되는 원판 모양의 접점을 구비하며, 일방의 전극봉을 축방향으로 이동시키는 것에 의해, 양 접점(즉 고정측 접점, 가동측 접점)을 접촉 또는 격리하여 통전(通電) 또는 차단을 행하는 것이다.

여기서 코일 전극은, 주(主)전극으로서의 고정측 접점 및 가동측 접점의 접리(接離) 방향으로 축방향 자계(磁界)를 발생시키도록, 해당 양 접점의 배면측에, 접점의 외주 가장자리를 따른 원주 방향을 향해서 복수의 원호 모양의 코일부가 분할 배치되고, 코일부의 일단은 중심 방향으로 신장하는 암부를 가지며, 타단은 접점과 접속하는 돌출부를 가지는 것으로, 상기 특허 문헌 1 혹은 특허 문헌 2에 상세하게 설명되어 있다.

상술과 같은 진공 밸브에서는, 통전에 의해 코일 전극이 축방향의 자계를 발생시키고, 차단시에 불가피적으로 발생하는 접점간의 아크를 접점의 지름 내에 가두면서 접점 표면으로 확산시키며, 접점 표면에 대해 전류 밀도를 낮추는 것에 의해, 접점 재료의 차단 능력이 우수하여 전류 차단을 행할 수 있다.

진공 밸브의 차단 용량을 보다 크게 하기 위해서는, 이 코일 전극과 접점 재료의 개발이 필요 불가결하여, 지금까지 여러 가지 연구가 이루어져 왔다. 그 결과, 진공 밸브의 차단 성능은, 코일 전극에 의해 발생되는 축방향 자계 강도가 강하고, 균일하며, 면적이 넓을수록 좋은 것을 알 수 있다.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 평1－315914호 공보 특허 문헌 2 : 일본특허공개 평11－317134호 공보

자계에 의해서 접점간에 발생하는 아크를 확산시킴으로써 차단 성능을 향상시키는 방식의 진공 밸브는, 상기 특허 문헌 1 혹은 특허 문헌 2에 설명되어 있는 바와 같이, 통전되는 전류가 고정측, 가동측의 2개의 코일 전극을 흘러, 코일 전극간에 축방향 자계를 발생시킨다.

도 6, 도 7은, 상기 특허 문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 종래의 진공 밸브에서의 고정측 코일 전극과 가동측 코일 전극의 위치 관계를 설명하는 것으로, 각각 고정측 코일 전극과 가동측 코일 전극을 상하로 겹친 상태를 나타내는 설명도이다.

예를 들면 고정측 전극봉(4)으로부터 코일 전극에 흐르는 전류는, 고정측 코일 전극(9)의 암부(즉 고정측 암부)(18), 고정측 코일부(19), 고정측 코일 돌출부(21)를 통과하고, 고정측 접점(도시하지 않음), 가동측 접점(도시하지 않음)을 경유하여, 가동측 코일 전극(11)의 돌출부(즉 가동측 코일 돌출부)(25), 가동측 코일부(23), 가동측 암부(22)를 통과하여 가동측 전극봉(7)으로 흐른다.

그 때, 고정측 및 가동측 코일부(19, 23)에 의해서 발생하는 자계는, 고정측 및 가동측에서 동일 방향으로 흐르기 때문에, 서로 발생하는 자계를 높이는 방향으로 작용하지만, 고정측 및 가동측 암부(18, 22)에서는 도 6 혹은 도 7에 실선과 파선으로 나타내는 바와 같이, 고정측 암부(18)와 가동측 암부(22)에서 역방향으로 흐르기 때문에, 발생하는 자계는 역방향으로 서로 없애게 된다. 고정측 및 가동측 코일 전극(9, 11)의 전극간에 형성되는 자계는, 고정측 및 가동측 코일부(19, 23), 고정측 및 가동측 암부(18, 22), 고정측 및 가동측 코일 돌출부(21, 25) 등 전류가 흐르는 모든 부분에 발생하는 자계의 중첩의 원리에 따르지만, 아크를 확산시키기 위한 축방향 자계를 만들지 않는 고정측 및 가동측 코일 돌출부(21, 25)나 고정측 및 가동측 암부(18, 22)에서는 자계가 낮아지게 된다.

도 6에 나타내는 상태에서는, 고정측 및 가동측 코일부(19, 23)에서 발생하는 자계를 고정측 및 가동측 암부(18, 22)가 없앨 뿐만 아니라, 고정측 암부(18)와 가동측 암부(22)와 고정측 및 가동측 코일 돌출부(21, 25)에 의해 둘러싸이는 영역에서는, 고정측 및 가동측 코일부(19, 23)가 만드는 자계와 역방향의 자계를 발생하는 영역을 새로 만들어 내기 때문에, 자계 분포가 불균일하게 된다.

또, 도 7에 나타내는 상태에서는, 역방향의 자계를 발생시키는 영역은 없지만, 고정측 코일 전극(9)의 암부(즉 고정측 암부)(18)와 가동측 코일 전극(11)의 암부(즉 가동측 암부)(22)의 위치가 어긋나 있기 때문에, 자계가 낮아지는 암부의 영역이 넓어진다. 그 결과, 아크를 확산시키기 위한 축방향 자계가 불균일이었거나, 면적이 좁게 되어 버려, 차단에 필요한 자계의 면적을 확보하기 위해서 고정측 및 가동측 코일부(19, 23)의 지름이 크게 할 필요가 있었다. 이것은, 진공 밸브의 대형화로 연결되어 비용 증가의 요인이 되어 있었다.

코일 전극의 암부에 의해서 역방향의 자계를 발생시키는 영역을 없애거나, 또는 자계가 낮아지는 암부의 영역을 최소로 하기 위해서는 고정측과 가동측의 암부가 겹치도록 위치를 맞추면 좋지만, 그 경우, 고정측과 가동측의 돌출부의 위치가 멀어져 버리기 때문에, 전류의 통전 경로가 길게 되어, 저항이 높아진다고 하는 문제가 있었다.

본 발명은, 상기 문제를 해소하고, 염가의 구성으로 축방향 자계를 낮추지 않고 저항을 저감시켜, 차단 성능과 통전 성능을 동시에 만족하는 진공 밸브의 제공을 목적으로 하는 것이다.

본 발명에 관한 진공 밸브는, 바닥을 가지는 원통 모양의 진공 용기의 일방의 단부에 고정하여 마련된 고정측 전극봉과, 상기 진공 용기의 타방의 단부에 진퇴 가능하게 마련된 가동측 전극봉과, 상기 고정측 전극봉과 상기 가동측 전극봉의 대향 단부에 각각 마련되며, 통전에 의해 상기 고정측 전극봉과 상기 가동측 전극봉의 축선을 따르는 방향으로 축방향 자계(磁界)를 발생시키는 고리 모양의 고정측 코일 전극 및 가동측 코일 전극과, 상기 고정측 코일 전극과 상기 가동측 코일 전극의 대향측에 각각 마련된 접점과, 상기 접점의 배면측에 각각 마련되어 축 방향의 강도를 보강하는 지지 부재를 구비한 진공 밸브에 있어서,

상기 고정측 코일 전극과 상기 가동측 코일 전극은, 상기 축선에 대해서 직교하는 평면 상에, 상기 축선과 동심(同心)에 마련된 링부와, 상기 링부의 외주로부터 외측으로 연장된 복수개의 암부와, 상기 암부의 선단측으로부터 둘레 방향으로 절곡하도록 형성된 원호 모양의 코일부와, 상기 코일부를 분할하는 슬릿부와, 상기 코일부의 둘레 방향의 선단측이며, 또한 상기 암부의 연장 방향으로 적어도 일부가 겹치는 위치에 마련되어 상기 접점에 접합되는 돌출부를 가지며,

상기 슬릿부는, 상기 고정측 전극봉 및 상기 가동측 전극봉의 축방향으로 보아 상기 암부와 상기 돌출부의 겹침의 개시(開始) 위치로부터 상기 암부의 중앙측을 향하는 상기 코일부의 외경까지 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 코일 전극의 코일부에 의해서 발생하는 자계와 역방향으로 자계를 발생시키는 고정측 및 가동측 암부와 고정측 및 가동측 돌출부에 의해 둘러싸인 부분을 없애는 것이 가능하게 되며, 또, 자계가 낮아지는 암부의 영역을 최소로 할 수 있어, 균일하고 넓은 축방향 자계를 고정측 접점과 가동측 접점과의 사이에 발생시킬 수 있다. 따라서, 차단 성능이 뛰어난 진공 밸브를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 진공 밸브를 나타내는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 진공 밸브의 코일 전극의 구성을 설명하는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 진공 밸브의 고정측 코일 전극의 정면도 및 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 진공 밸브의 고정측 코일 전극 및 가동측 코일 전극을 겹친 상태를 나타내는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태 2에 관한 진공 밸브의 고정측 코일 전극 및 가동측 코일 전극을 겹친 상태를 나타내는 설명도이다.
도 6은 종래의 진공 밸브의 고정측 코일 전극 및 가동측 코일 전극을 겹친 상태를 나타내는 설명도이다.
도 7은 종래의 진공 밸브의 고정측 코일 전극 및 가동측 코일 전극을 겹친 다른 상태를 나타내는 설명도이다.

이하, 본 발명에 관한 진공 밸브의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.

실시 형태 1.

도 1은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 진공 밸브를 나타내는 구성도, 도 2는, 전극의 구성을 설명하는 분해 사시도, 도 3의 (a)는 고정측 코일 전극의 정면도, 도 3의 (b)는 도 3의 (a)의 b-b선 단면 정면도이다. 또, 각 도면에서, 동일 부호는 동일 부분을 나타내고 있다.

도 1에서, 진공 밸브(100)는, 알루미나 세라믹스 등으로 이루어지는 절연 원통(1)을 구비하고 있다. 절연 원통(1)의 일방의 단부 개구부에는, 해당 단부 개구부를 덮는 고정측 단판(端板)(2)이 마련되며, 절연 원통(1)의 타방의 단부 개구부에는, 해당 단부 개구부를 덮는 가동측 단판(3)이 마련되어 있다. 이들 고정측 및 가동측 단판(2, 3)은, 각각 절연 원통(1)의 단면(端面)에 납땜에 의해 동축 상(上)에 장착되어 있다.

고정측 단판(2)에는 해당 고정측 단판(2)에 납땜 접합된 고정측 전극봉(4), 및 고정측 전극봉(4)에 납땜 접합된 고정측 전극(5)이 각각 마련되어 있다. 또, 고정측 전극(5)에 대향하여 가동측 전극(6)이 배치되고, 해당 가동측 전극(6)에는 가동측 전극봉(7) 납땜 접합되어 있다. 또, 후술하는 바와 같이, 고정측 전극(5)은 고정측 접점(8)과 고정측 코일 전극(9)에 의해 구성되며, 가동측 전극(6)은 가동측 접점(10)과 가동측 코일 전극(11)에 의해 구성되어 있다.

가동측 단판(3)과 가동측 전극(6)의 사이에, 예를 들면 얇은 스테인리스로 벨로우즈 모양으로 제작된 벨로우즈(12)가 배치되고, 해당 벨로우즈(12)는 진공 기밀을 유지하면서 가동측 전극봉(7)이 이동 가능하게 배치되어 있으며, 이 벨로우즈(12)에 의해 고정측 전극(5)과 가동측 전극(6)이 진공 기밀을 유지하면서 접리 가능하게 되어 있다. 벨로우즈(12)의 상단에는, 벨로우즈 커버(13)가 가동측 전극봉(7)에 납땜에 의해 접합되어 배치되어 있다. 또, 전류 차단시에 고정측 전극(5)과 가동측 전극(6)과의 사이에서 발생하는 아크에 의한 금속 증기가 절연 원통(1)의 내면에 부착하는 것을 억제하기 위해, 고정측 전극(5)과 가동측 전극(6)의 주위를 둘러싸도록 아크 쉴드(14)가 배치되어 있다.

고정측 전극(5)과 가동측 전극(6)은, 양자간에 통전에 의해 고정측 및 가동측 전극봉(4, 7)의 축선을 따르는 방향으로, 축방향 자계가 발생하는 전극 구성으로 되어 있다. 여기서 다음으로, 고정측 전극(5)과 가동측 전극(6)의 상세 구성에 대해 도 2 및 도 3에 의해 설명한다.

고정측 전극(5)과 가동측 전극(6)은, 기본적으로 동일한 구성을 하고 있기 때문에, 이하에서는 고정측 전극(5)으로 대표하여 설명한다. 또, 참고를 위해서, 도면 중에서는, 고정측 전극(5)에 대응하는 가동측 전극(6)의 각 부분의 부호를 괄호 내에 나타내고 있다. 따라서, 가동측 전극(6)의 경우는, 이하의 설명의 「고정측」을 「가동측」이라고 바꾸어 읽어, 도면 중의 괄호 내의 부호를 사용하면 된다. 필요하게 따라 그들 부호도 참조하면서 설명한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 고정측 전극(5)은, 주전극으로서의 원판 모양의 고정측 접점(8)과, 해당 고정측 접점(8)의 배면측(고정측 및 가동측 전극(5, 6)의 대향측의 반대측)에서, 고정측 및 가동측 전극봉(4, 7)의 축선에 대해서 직교하는 평면 상에, 해당 축선과 동심에 배치된 고정측 코일 전극(9)과, 스테인리스강 등의 고(高)저항 재료로 형성되며, 고정측 접점(8)을 고정측 전극봉(4)측에 기계적으로 지지하는 고정측 지지 부재(15)로 구성되어 있다. 고정측 접점(8)은, 은계(銀系) 합금이나 동계(銅系) 합금 등의 재료를 사용하는 것이 바람직하고, 고정측 코일 전극(9)은, 동 또는 동계의 재료를 사용한다. 가동측 지지 부재(16), 가동측 접점(10), 가동측 코일 전극(11)도 전술과 같이, 고정측과 동일하게 구성되어 있다. 또, 이하의 각 구성의 설명에서, 고정측 및 가동측 전극(5, 6)의 대향측에 가까운 측을 전면측, 그 반대측, 즉 고정측 및 가동측 전극봉(4, 7)에 가까운 측을 배면측으로 칭하는 것으로 한다.

도 3은, 고정측 코일 전극(9)을 나타내는 도면이며, (a)는 평면도, (b)는 (a)의 b－b선 단면 정면도이다. 도 3의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이, 고정측 코일 전극(9)은, 중심부의 고정측 링부(17)와, 고정측 링부(17)의 외주로부터 거의 등간격으로 외측으로 연장된 복수개(도면에서는 3개)의 고정측 암부(18)와, 고정측 암부(18)의 선단측으로부터 둘레 방향으로 절곡하도록 형성된 원호 모양의 고정측 코일부(19)와, 고정측 코일부(19)를 분할하는 고정측 코일 슬릿부(20)와, 고정측 코일부(19)의 선단측(종단측(終端側))에 마련되어 고정측 접점(8)에 접합되는 고정측 코일 돌출부(21)를 가지고 있다.

고정측 코일부(19)는, 고정측 링부(17)의 외측의 동심원 상에서, 원주 상을 균등하게 3분할한 위치에 배치되어 있으며, 자계 발생 코일의 역할을 하는 것이다. 또, 고정측 코일 돌출부(21)는, 고정측 코일부(19)의 선단측에서 고정측 접점(8)의 배면과 대향하는 측의 일부분을, 축방향으로 소정 길이 돌출시켜 형성한 것이며, 고정측 접점(8)의 배면측에 납땜에 의해 고정되는 부분이다.

고정측 코일부(19)를 분할하는 고정측 코일 슬릿부(20)는, 슬릿부 단부의 코일 내경측(20a)의 위치를, 고정측 암부(18)와 고정측 코일부(19)의 내경의 돌출부측과의 교점으로 하고, 슬릿부 단부의 코일 외경측(20b)의 위치를, 고정측 암부(18)의 폭을 W로 했을 때, W/2 내지 W의 범위 내로 하도록 형성되어 있다. 또, 도 3의 예에서는 슬릿부 단부의 코일 외경측(20b)의 위치는 고정측 암부(18)의 폭 W로 한 위치의 예를 나타내고 있다.

도 4는, 상기와 같이 구성된 고정측 코일 전극(9)과 가동측 코일 전극(11)을 진공 밸브(100)에 조립했을 때의 위치 관계를 알 수 있도록, 상하로 겹친 상태를 나타내는 설명도이다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 고정측 암부(18)와 가동측 암부(22)가 겹치도록 위치를 맞춤으로써, 고정측 코일부(19)와 가동측 코일부(23)에 의해 발생하는 자계와 역방향으로 자계가 발생하는 영역을 없앨 뿐만 아니라, 자계가 낮아지는 고정측 암부(18)와 가동측 암부(22)의 영역을 최소로 할 수 있다. 이것에 의해, 고정측 전극(5)과 가동측 전극(6)의 사이에 발생하는 자계를 균일하게 또한 면적을 넓게 구성하는 것이 가능해진다. 또, 고정측 및 가동측 코일 슬릿부(20, 24)를 경사지게 형성한 효과에 의해, 고정측 코일 돌출부(21)와 가동측 코일 돌출부(25)가 멀어지지 않게 구성할 수 있기 때문에, 저항의 상승도 억제하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 실시 형태 1에 관한 진공 밸브(100)에 의하면, 상기 효과에 의해서, 소형이고 차단 성능이 뛰어나며, 저(低)저항의 진공 밸브(100)를 실현할 수 있다.

실시 형태 2.

다음으로, 본 발명의 실시 형태 2에 관한 진공 밸브에 대해 설명한다. 도 5는, 실시 형태 2에 관한 진공 밸브의 고정측 코일 전극과 가동측 코일 전극을 상하로 겹친 다른 상태를 나타내는 설명도이다. 진공 밸브는, 실시 형태 1과 동일 또는 상당하는 구성이며, 여기에서는, 고정측 코일 전극의 구성에 대해 설명한다. 또, 도 5에서, 도 4와 동일 또는 상당 부분에는, 동일한 의미를 부여하고 있다.

고정측 코일 전극(9)의 고정측 코일부(19)는, 고정측 링부(17)의 외측의 동심원 상에서, 원주 상을 균등하게 3분할한 위치에 배치되어 있으며, 자계 발생 코일의 역할을 하는 것이다. 또, 고정측 코일 돌출부(21)는, 고정측 코일부(19)의 선단측에서 고정측 접점(8)의 배면과 대향하는 측의 일부분을, 소정 길이 축방향으로 돌출시켜 형성한 것이며, 고정측 접점(8)의 배면측에 납땜에 의해 고정되어 있다. 고정측 코일부(19)를 분할하는 고정측 코일 슬릿부(20)는, 슬릿부 단부의 코일 내경측(20a)의 위치를 고정측 암부(18)와 고정측 코일부(19)의 내경과의 돌출부측 교점으로 하고, 슬릿부 단부의 코일 외경측(20b)의 위치를, 고정측 암부(18)의 폭을 W로 했을 때, W/2의 위치로 하고 있다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 고정측 코일 슬릿부(20)의 코일 외경측(20b)을 W/2의 위치로 함으로써, 고정측 코일 슬릿부(20)의 코일 외경측(20b)과 가동측 코일 슬릿부(24)의 코일 외경측(24b)을 맞추면, 자동적으로 고정측 암부(18)와 가동측 암부(22)가 겹치게 된다. 상술의 실시 형태 1의 구성에서는, 진공 밸브를 조립할 때, 접점의 배면측에 배치되는 코일의 암부를 고정측과 가동측에서 위치 맞춤하려면, 코일을 밖으로부터 보아 암부의 위치를 알 수 있도록 마크(mark)가 되는 마킹 오프(marking-off)선 등을 넣어 위치 맞춤할 필요가 있다. 그러나, 실시 형태 2와 같은 구성으로 하면 위치 결정이 용이하게 되고, 조립성이 좋으며, 고정측 전극과 가동측 전극의 사이에 발생하는 자계를 균일하게 또한 면적을 넓게 구성한 저저항이며 염가의 진공 밸브를 실현할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태 1 및 2에 관한 진공 밸브에 대해 설명했지만, 본 발명은, 그 발명의 범위 내에서, 각 실시 형태를 자유롭게 조합시키거나, 각 실시 형태를 적절히, 변형, 생략하는 것이 가능하다.

Claims

바닥을 가지는 원통 모양의 진공 용기의 일방의 단부에 고정하여 마련된 고정측 전극봉과,
상기 진공 용기의 타방의 단부에 진퇴 가능하게 마련된 가동측 전극봉과,
상기 고정측 전극봉과 상기 가동측 전극봉의 대향 단부에 각각 마련되며, 통전(通電)에 의해 상기 고정측 전극봉과 상기 가동측 전극봉의 축선을 따르는 방향으로 축방향 자계(磁界)를 발생시키는 고리 모양의 고정측 코일 전극 및 가동측 코일 전극과,
상기 고정측 코일 전극과 상기 가동측 코일 전극의 대향측에 각각 마련된 접점과,
상기 접점의 배면측에 각각 마련되어 축 방향의 강도를 보강하는 지지 부재를 구비한 진공 밸브에 있어서,
상기 고정측 코일 전극과 상기 가동측 코일 전극은,
상기 축선에 대해서 직교하는 평면 상에, 상기 축선과 동심(同心)에 마련된 링부와,
상기 링부의 외주로부터 외측으로 연장된 복수개의 암부와,
상기 암부의 선단측으로부터 둘레 방향으로 절곡하도록 형성된 원호 모양의 코일부와,
상기 코일부를 분할하는 슬릿부와,
상기 코일부의 둘레 방향의 선단측이며, 또한 상기 암부의 연장 방향으로 적어도 일부가 겹치는 위치에 마련되어 상기 접점에 접합되는 돌출부를 가지며,
상기 슬릿부는, 상기 고정측 전극봉 및 상기 가동측 전극봉의 축방향으로 보아 상기 암부와 상기 돌출부의 겹침의 개시(開始) 위치로부터 상기 암부의 중앙측을 향하는 상기 코일부의 외경까지 상기 암부의 연장 방향에 대하여 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
청구항 1에 있어서,
상기 고정측 코일 전극과 상기 가동측 코일 전극은, 각각의 상기 암부가 겹치도록 배치된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 슬릿부는, 상기 암부의 폭을 W로 했을 때, 상기 암부와 상기 돌출부의 교점으로부터 상기 코일부의 외경으로 W/2 이상이고 W 이하의 범위의 위치에서 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 슬릿부는, 상기 암부의 폭을 W로 했을 때, 상기 암부와 상기 돌출부의 교점으로부터 상기 코일부의 외경으로 W/2의 위치에서 경사지게 형성되며, 상기 고정측 코일 전극과 상기 가동측 코일 전극의 위치를 상기 슬릿부가 만나도록 배치한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
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