KR101401201B1 - 진공밸브 - Google Patents

Abstract

진공밸브는, 진공용기 내에 수용된 접리 가능한 한 쌍의 전극의 가동전극(1)은 슬릿(3b), (4b)에 의해 분할되고, 컵 모양의 저부로부터 외주를 향하여 분기되는 스포크부(3c), (4c)에 접속되며, 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 코일부(3d), (4d)를 가지는 동심원 모양으로 배치된 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4)과, 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4)의 일단이 전류를 진공용기 밖으로 취출하는 전극봉(5)에 타단이 접점(2)에 접속되어 있고, 접점(2)의 개리시에 발생하는 자계를 균일화시켜, 아크를 분산시킴으로써, 차단 성능의 향상을 도모하도록 했다.

Description

진공밸브 {VACUUM VALVE}

본 발명은 진공차단기에 사용되는 개폐접점을 가지는 차단 성능을 향상시킨 진공밸브에 관한 것이다.

진공밸브는 세라믹이나 유리재와 같은 절연물을 재질로 하고, 고진공으로 기밀 유지된 원통 모양의 진공용기와, 진공용기의 양단에 서로 대향하도록 설치된 접리(接離) 가능한 한 쌍의 전극과 이들 전극을 둘러싸도록 진공용기 내에 마련된 통 모양의 아크 쉴드에 의해서 구성되어 있다. 진공밸브는, 전류 차단시에, 전극의 개리(開離)에 수반하여 전극 사이에 발생하는 아크를 소호(消弧)하는 것이 역할이다.

그렇지만, 이 아크가 국소적으로 지속하여 발생하면 전극이 국부적으로 용융하여, 전극이 손상을 받는다. 이것을 회피하기 위해 코일을 개재시키고, 코일에 의해 발생한 세로 자계(磁界)에 의해서, 전류 차단시에 발생하는 아크를 전극 직경 내에서 광범위하게 확산시키며, 아크에 의해서 발생하는 금속 증기나 하전(荷電) 입자를 억제하여, 차단 성능을 향상시킴과 아울러 전극의 용융을 억제하는 방법이 제안되고 있다.

코일을 구비한 진공밸브의 차단 성능을 더욱 향상시키는 방책으로서, 예를 들면, 특허문헌 1에 나타나는 진공밸브에서는 아크전극의 둘레방향에 소정의 각도로 교차하는 방향을 향하는 슬릿이 형성되고, 이 슬릿에 절연성의 끼워맞춤체가 끼워 넣어져 있다. 이것에 의해 절연회복전압이 높아져 정격전압을 높이고 있다. 또, 끼워맞춤체의 코일전극 측에 슬릿폭보다 큰 절연성의 광폭부(廣幅部)가 형성되어 있어, 끼워맞춤체가 아크전극으로부터 빠지기 어려워져, 기계적인 신뢰성을 향상시키고 있다.

또, 코일을 구비한 진공밸브의 차단 성능을 더욱 향상시키는 방책으로서, 예를 들면, 특허문헌 2에 나타나는 진공밸브에서는 컵 모양의 슬릿전극에서, 외주 측면에 통전축의 축방향을 비스듬하게 횡단하는 복수 개의 슬릿이 형성되어 있다. 전극 사이 거리가 넓어져도 높은 세로 자계를 발생시킬 수 있어, 차단 성능을 향상시키고 있다.

특허문헌 1 : 일본국 특개2002-150902호 공보 특허문헌 2 : 일본국 특개2008-135338호 공보

그렇지만, 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 나타나는 진공밸브에서는, 코일이 아크전극이나 접점(본원에서는 접점에 상당, 이하 '접점'이라고 칭함)의 외주부에만 마련되어 있고, 발생하는 자계가 반드시 접점 전체에 균일하게 형성되지 않아, 발생하는 아크가 접점 전체에 충분히 분산되지 않으며, 차단 성능을 제약하는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 접점의 개리시에 발생하는 자계의 균일성을 향상시켜, 차단 성능의 향상을 도모할 수 있는 진공밸브를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는, 진공용기 내에 접리 가능하게 수용된 한 쌍의 전극을 가지는 진공밸브에 있어서, 상기 전극은 컵 모양으로 형성됨과 아울러, 틈새에 절연부재를 개재시켜 동심원 모양으로 배치된 외경이 다른 복수의 코일전극과, 상기 복수의 코일전극의 일단에 고착되어 상기 진공용기의 외부로 전류를 취출하는 전극봉과, 상기 복수의 코일전극의 타단에 고착된 접점을 구비한 것이다.

본 발명에 의하면, 코일을 접점의 외주부뿐만이 아니라, 내주부에도 마련함으로써, 자계의 균일성을 향상시키는 것에 의해, 발생하는 아크를 접점 전체에 분산시켜, 차단 성능을 향상시킬 수 있다고 한 현저한 효과를 발휘하는 것이다.

도 1은 실시형태 1에서의 진공밸브의 가동전극 및 고정전극의 측면도이다.
도 2는 실시형태 1에서의 가동전극의 구조도이다.
도 3은 실시형태 1에서의 복합 코일전극에 의해 발생한 둘레방향의 자계분포도이다.
도 4는 실시형태 1에서의 복합 코일전극의 프레스 가공법에 의한 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 5는 실시형태 2에서의 가동전극의 구조도이다.
도 6은 실시형태 2에서의 복합 코일전극의 프레스 가공법에 의한 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 7은 실시형태 3에서의 가동전극의 구조도이다.
도 8은 실시형태 3에서의 복합 코일전극에 의해 발생한 지름방향의 자계분포도이다.
도 9는 실시형태 1 및 실시형태 3에서의 복수의 코일전극의 분기(分岐) 수가 다른 경우의 코일전극의 상면도이다.
도 10은 실시형태 1에서의 복수의 코일전극의 코일부의 위치가 둘레방향에 대해서 동일한 경우의 코일전극의 상면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에서의 진공밸브의 가동전극에 대해서 도 1 ~ 도 10에 근거하여 설명한다.

실시형태 1.

도 1은 실시형태 1에서의 진공밸브의 가동전극 및 고정전극의 측면도이다. 도 2는 가동전극의 구조도로서, 도 2의 (a)는 가동전극의 분해 사시도, 도 2의 (b)는 코일전극의 상면도이다. 또, 도 3은 코일전극에 의해 발생한 둘레방향의 자계분포를 나타내는 도면이다.

진공밸브는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 진공으로 유지된 진공용기 내에 수용된 가동전극(1)과 고정전극(11)의 한 쌍으로 구성되지만, 동일한 구조이므로, 여기에서는, 가동전극(1)의 구조에 대해서만 설명한다. 도 2에서는 1은 가동전극이고, 접점(2)과, 이 접점(2)에 접속하는 동심원 모양으로 배치된 컵 모양의 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4)과, 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4)에 접속되며, 전류를 진공용기(도시생략) 밖으로 취출하는 전극봉(5)과, 접점(2)을 보강하는 보강재(6)와, 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4)을 절연하기 위해서 삽입된 절연링(7)으로 구성되어 있다.

외주 코일전극(3)은 컵 모양의 측면(3a)에 가동전극(1)의 축방향(1a)에 대해서 평행하게 마련된 슬릿(3b)에 의해 분할되고, 컵 모양의 저부(底部)로부터 외주를 향하여 분기되는 스포크부(3c)에 접속된 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 코일부(3d)와, 접점(2)에 접속하는 단자부(3e)와, 전극봉(5)의 끼워맞춤부(5a)와 끼워맞춤, 고착되는 끼워맞춤구멍(3f)으로 구성되어 있다. 내주 코일전극(4)에 대해서도 외주 코일전극(3)과 마찬가지로, 컵 모양의 측면(4a)에 축방향(1a)에 대해서 평행하게 마련된 슬릿(4b)에 의해 분할되고, 컵 모양의 저부로부터 외주를 향하여 분기되는 스포크부(4c)에 접속된 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 코일부(4d)와, 접점(2)에 접속하는 단자부(4e)와, 전극봉(5)의 끼워맞춤부(5b)와 끼워맞춤, 고착되는 끼워맞춤구멍(4f)으로 구성되어 있다.

또한, 복수의 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)의 끼워맞춤구멍(3f, 4f) 지름은 각각 순서대로 바뀌어져 있으며, 대응하는 전극봉(5)의 끼워맞춤부(5a, 5b)의 외경도 맞추어 순서대로 바뀌어 있으므로, 각각의 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)을 소정의 위치에 고정할 수 있다.

여기서, 외주 코일전극(3)의 통전로인 코일부(3d)의 위치와, 내주 코일전극(4)의 통전로인 코일부(4d)의 위치가 둘레방향으로 다른 위치가 되도록 배치되어 있다.

또, 보강재(6)는 전극봉(5)의 끼워맞춤구멍(5c)과 돌기부(6a)에 의해 끼워맞춤, 고착되고, 접점(2)의 이면에서 접촉하며, 접점(2)을 배면으로부터 지지하여, 보강하고 있다. 접점(2), 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4)과 전극봉(5)은 전기저항이 낮은 동(銅)계 재료로 구성되며, 보강재(6)는 전기저항이 큰 스테인리스계의 금속이나 절연체로 구성되어 있다.

다음으로, 실시형태 1에서의 진공밸브의 동작에 대해서, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 또한, 본 발명의 주체는 가동전극 및 고정전극의 구성에 있으므로, 가동전극을 구동시키는 설명은 생략한다.

실시형태 1의 진공밸브에서는, 통상, 통전시에는, 전류는 고정전극(11)의 전극봉(15)으로부터 외주 코일전극(13) 및 내주 코일전극(14), 접점(12)을 거쳐서, 가동전극(1)의 접점(2)으로부터 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4), 또한 전극봉(5)에 흐른다. 가동전극(1)을 후퇴시켜, 전류를 차단하면, 가동전극(1)의 접점(2)이 고정전극(11)의 접점(12)으로부터 개리되어, 접점(2)과 접점(12)과의 사이에 아크가 발생한다. 아크에 의한 전류는 접점(2)을 지름방향으로 흐른 후, 단자부(3e)와 단자부(4e)로부터 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)의 코일부(3d)와 코일부(4d)에 흐르며, 스포크부(3c)와 스포크부(4c)를 통과하여 전극봉(5)에 흐른다. 이 때, 코일부(3d), 코일부(4d)가 원호 모양으로 형성되어 있으며, 둘레방향으로 전류가 흐르기 때문에, 가동전극(1)의 축방향(1a)에 대해서 평행한 세로 자계가 발생한다. 절연링(7)은 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)의 코일부(3d)와 코일부(4d)가 접촉함으로써, 자계분포가 어지럽혀지는 것을 회피하기 위해서 삽입되어 있다.

도 3에 코일전극에 의해 발생한 둘레방향의 자계분포를 종래예와 비교한 것을 나타낸다. 자속밀도(B)는, 도 2의 (b)의 화살표의 방향 L에 따라서 측정한 것이며, 도 3에서, T는 종래의 코일전극에 의한 것이고, C는 실시형태 1의 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)과의 복합 코일전극에 의한 것이다. 외주 코일전극(3)의 단자부(3e)의 위치와, 내주 코일전극(4)의 단자부(4e)의 위치가 둘레방향(L)에서 다른 위치가 되도록 배치되어 있기 때문에, 복합 코일전극에 의해 발생한 자계는 단일의 코일전극의 경우에 비해, 둘레방향의 자계분포가 큰 폭으로 개선되며, 보다 균일성이 향상한 결과, 아크는 접점의 범위 내에 수속(收束)됨과 아울러, 접점(2) 전체에 확산되는 것에 의해서, 국소적으로 집중하는 것이 방해되어, 접점(2)을 손상으로부터 보호할 수 있다.

또한, 절연링(7)은 외주 코일전극(3) 및 내주 코일전극(4) 사이에 틈새를 마련함으로써 생략하는 것이 가능하다. 또, 절연링(7) 대신에 내주 코일전극의 컵 모양의 외측면 혹은 외주 코일전극의 컵 모양의 내측면에 절연막을 코팅해도 된다. 가령, 코일전극끼리가 접촉해도 자계의 균일성이 저하하지만, 효과는 발휘된다.

실시형태 1에서의 코일전극의 제조방법으로서는, 가동전극(1) 및 고정전극(11)은 복수의 코일전극의 조합에 의해 구성되어 있고, 개개의 코일전극의 두께는 얇아도 되므로, 판재로부터의 프레스 가공에 의한 방법이 유효하다. 도 4에 프레스 가공법에 의한 코일전극의 제조방법을 나타낸다. 우선, 평판(10)(도 4의 (a))으로부터 끼워맞춤구멍(3f)과 코일부(3d)를 형성하는 이외의 부분을 타발(打拔)가공하고(도 4의 (b)), 다음으로, 드로잉 가공에 의해, 측면(3a)을 형성하여 컵 모양으로 가공한다(도 4의 (c)). 또한, 외경이 다른 코일전극(3, 4)을 조합하여, 목적으로 하는 복합 코일전극을 제조한다(도 4의 (d)). 여기에서는, 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)의 코일부(3d)와 코일부(4d)가 둘레방향으로 동일한 위치인 경우를 나타낸다. 또, 도 4에서는, 절연링(7)은 도시되어 있지 않지만, 필요에 따라서 삽입된다. 봉재로부터의 절삭가공에 의한 방법에서는, 이와 같은 복잡한 가공은 어려워 제조 코스트도 들지만, 프레스 가공에 의한 방법에서는, 복수의 코일을 조합함으로써 염가로 복합 코일전극을 제조할 수 있다.

이와 같이, 실시형태 1에서의 진공밸브에서는, 컵 모양의 측면에 축방향에 대해서 평행하게 슬릿이 마련되고, 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 외경이 다른 복수의 컵 모양의 코일전극을 동심원 모양으로 배치하여, 자계를 발생시킴으로써, 아크 발생시에 발생하는 둘레방향의 자계분포의 균일성을 개선할 수 있고, 아크가 국소적으로 집중하는 것을 방해하여, 접점을 손상으로부터 보호하고, 차단 성능을 향상시킬 수 있다고 하는 현저한 효과가 있다.

실시형태 2.

도 5는 실시형태 2에서의 진공밸브의 가동전극의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.

도 5에서는 21은 가동전극이고, 접점(22)과 이 접점(22)에 접속하는 동심원 모양으로 배치된 컵 모양의 외주 코일전극(23) 및 내주 코일전극(24)과, 외주 코일전극(23) 및 내주 코일전극(24)에 접속되고, 진공용기(도시생략) 밖으로 취출하는 전극봉(25)과, 접점(22)을 보강하는 보강재(26)와, 외주 코일전극(23) 및 내주 코일전극(24)을 절연하기 위해서 삽입된 절연링(27)으로 구성되어 있다.

외주 코일전극(23)은 컵 모양의 측면(23a)에 가동전극(21)의 축방향(21a)에 대해서 비스듬하게 마련된 슬릿(23b)에 의해, 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 코일부(23d)와, 접점(22)에 접속하는 단자부(23e)와, 전극봉(25)의 끼워맞춤부(25a)와 끼워맞춤, 고착되는 끼워맞춤구멍(23f)으로 구성되어 있다. 내주 코일전극(24)에 대해서도 외주 코일전극(23)과 마찬가지로, 컵 모양의 측면(24a)에 축방향(21a)에 대해서 비스듬하게 마련된 슬릿(24b)에 의해, 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 코일부(24d)와, 접점(22)에 접속하는 단자부(24e)와, 전극봉(25)의 끼워맞춤부(25b)와 끼워맞춤, 고착되는 끼워맞춤구멍(24f)으로 구성되어 있다.

여기서, 외주 코일전극(23)의 통전로인 코일부(23d)의 위치와 내주 코일전극(24)의 통전로인 코일부(24d)의 위치가 둘레방향으로 다른 각도가 되도록 배치되어 있다.

또, 보강재(26)는 전극봉(25)의 끼워맞춤구멍(25c)과 돌기부(26a)에 의해 끼워맞춤, 고착되며, 접점(22)의 이면에서 접촉하고, 접점(22)을 배면으로부터 지지하여 보강하고 있다. 실시형태 1과 마찬가지로, 접점(22), 외주 코일전극(23) 및 내주 코일전극(24)과 전극봉(25)은 전기저항이 낮은 동계 재료로 구성되며, 보강재(26)는 전기저항이 큰 스테인리스계의 금속이나 절연체로 구성되어 있다.

다음으로, 실시형태 2에서의 진공밸브의 동작에 대해서, 도 5를 참조하여 설명한다.

실시형태 2의 진공밸브에서는, 가동전극(21)을 후퇴시켜, 전류를 차단하면, 가동전극(21)이 고정전극(도시생략)으로부터 개리되고, 접점(22)과 고정전극의 접점과의 사이에 아크가 발생한다. 아크에 의한 전류는 접점(22)을 지름방향으로 흐른 후, 단자부(23e와 24e)로부터 외주 코일전극(23)과 내주 코일전극(24)의 코일부(23d)와 코일부(24d)에 흐르며, 외주 코일전극(23)과 내주 코일전극(24)의 저부를 지나 전극봉(25)으로 흘러 간다. 이 때, 컵 모양의 외주 코일전극(23)과 내주 코일전극(24)의 측면(23a)과 측면(24a)에 비스듬하게 마련된 슬릿(23b)과 슬릿(24b)에 의해 형성된 코일부(23d)와 코일부(24d)가 원호 모양으로 형성되어 있어, 전류가 둘레방향을 따라 비스듬하게 흐르기 때문에, 전극봉(25)의 축방향(21a)에 대해서 평행한 세로 자계가 발생한다.

외주 코일전극(23)의 코일부(23d)의 위치와 내주 코일전극(24)의 코일부(24d)의 위치가 둘레방향으로 다른 위치가 되도록 배치되어 있기 때문에, 복수의 코일전극에 의해 발생한 자계는 단일의 코일전극의 경우에 비해, 둘레방향의 자계분포가 개선되어, 보다 균일성이 향상한 결과, 아크는 접점의 범위 내에 수속됨과 아울러, 접점(22) 전체에 확산되는 것에 의해서, 국소적으로 집중하는 것이 방해되어, 접점(22)을 손상으로부터 보호할 수 있다.

실시형태 2에서의 코일전극의 제조방법으로서는, 실시형태 1과 마찬가지로, 판재로부터의 프레스 가공에 의한 방법이 유효하다. 도 6에 프레스 가공법에 의한 코일전극의 제조방법을 나타낸다. 우선, 평판(10)(도 6의 (a))으로부터 끼워맞춤구멍(23f)과 슬릿(23b)을 타발가공하고(도 6의 (b)), 다음으로, 드로잉 가공에 의해, 측면(23a)을 형성하여 컵 모양으로 가공한다(도 6의 (c)). 또한, 외경이 다른 코일전극(22), 코일전극(23)을 조합하여, 목적으로 하는 복합 코일전극을 제조한다(도 6의 (d)). 절연링(27)은 필요에 따라서 삽입된다.

이와 같이, 실시형태 2에서의 진공밸브에서는, 컵 모양의 측면에 축방향에 대해서 비스듬하게 슬릿이 마련되고, 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 외경이 다른 복수의 컵 모양의 코일전극을 동심원 모양으로 배치하며, 복수의 코일전극에서 자계를 발생시킴으로써, 실시형태 1과 마찬가지로, 아크 발생시에 발생하는 둘레방향의 자계분포의 균일성을 개선할 수 있고, 아크가 국소적으로 집중하는 것을 방해하여, 접점을 손상으로부터 보호하고, 차단 성능을 향상시킬 수 있다고 하는 현저한 효과가 있다.

실시형태 3.

도 7은 가동전극의 구조도이며, 도 7의 (a)는 가동전극의 분해 사시도, 도 7의 (b)는 코일전극의 상면도이다. 또, 도 8은 코일전극에 의해 발생한 지름방향의 자계분포를 나타내는 도면이다.

실시형태 3의 진공밸브에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 동심원 모양으로 배치된 컵 모양의 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)과의 사이에 틈새(d)를 마련한 점 및 절연링(7)을 생략한 점을 제외하고, 실시형태 1의 도 1과 동일하므로, 다른 구성요소에 대해서는 설명을 생략한다.

여기서, 외주 코일전극(3)의 통전로인 코일부(3d)의 위치와, 내주 코일전극(4)의 통전로인 코일부(4d)의 위치가 둘레방향으로 다른 위치가 되도록 배치되어 있다.

다음으로, 실시형태 3에서의 진공밸브의 동작에 대해서, 도 7을 참조하여 설명한다.

실시형태 3의 진공밸브에서도, 실시형태 1과 마찬가지로, 전류를 차단했을 경우, 가동전극(1)의 접점(2)이 고정전극(11)의 접점(12)으로부터 개리되어, 접점(2)과 접점(12)과의 사이에 아크가 발생한다. 아크에 의한 전류는 접점(2)을 지름방향으로 흐른 후, 단자부(3e)와 단자부(4e)로부터 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)의 코일부(3d)와 코일부(4d)에 흐르며, 스포크부(3c)와 스포크부(4c)를 지나 전극봉(5)에 흐른다. 이 때, 코일부(3d)와 코일부(4d)가 원호 모양으로 형성되어 있어, 둘레방향으로 전류가 흐르기 때문에, 축방향(1a)에 대해서 평행의 세로 자계가 발생한다.

도 8에 실시형태 3에서의 복합 코일전극에 의해 발생한 둘레방향의 자계분포를 종래예와 비교한 것을 나타낸다. 자속밀도(B)는 도 7의 (b)의 화살표의 지름방향 R에 따라서 측정한 것이며, T는 종래의 코일전극에 의한 것이고, C는 실시형태 3의 외주 코일전극(3)과 내주 코일전극(4)과의 복합 코일전극에 의한 것이다. 외주 코일전극(3)에 대해서 외경이 작은 내주 코일전극(4)이 틈새(d)를 마련해서 배치되어 있기 때문에, 복합 코일전극에 의해 발생한 자계는 단일의 코일전극의 경우에 비해, 지름방향의 자계분포가 개선되어, 보다 균일성이 향상한 결과, 아크는 접점의 범위 내에 수속됨과 아울러, 접점(2) 전체에 확산되는 것에 의해서, 국소적으로 집중하는 것이 방해되어, 접점(2)을 손상으로부터 보호할 수 있다.

이와 같이, 실시형태 3에서의 진공밸브에서는, 둘레방향으로 원호 모양의 통전로가 형성된 외경이 다른 복수의 컵 모양의 코일전극 사이에 틈새를 마련하여 동심원 모양으로 배치하고, 자계를 발생시킴으로써, 아크 발생시에 발생하는 지름방향의 자계분포의 균일성을 개선할 수 있고, 아크가 국소적으로 집중하는 것을 방해하여, 접점을 손상으로부터 보호하고, 차단 성능을 향상시킬 수 있다고 하는 현저한 효과가 있다.

또한, 상술한 실시형태에서는, 복합 코일전극을 외주 코일전극 및 내주 코일전극의 두 개의 코일전극으로 구성하는 경우에 대해서 말했지만, 3개 이상의 코일전극으로 구성되는 경우라도 되고, 또, 각각의 코일전극의 판의 두께는 차이가 나도 된다.

또, 실시형태에서는, 외주 코일전극 및 내주 코일전극의 각각의 분기 수(코일부의 수)를 3으로 하는 경우에 대해서 말했지만, 도 9에 나타내는 바와 같이, 각각의 코일전극의 분기 수가 다른 경우라도 되고, 자계분포를 조정하는 것이 가능하다. 도 9의 (a)는 실시형태 1에서의, 도 9의 (b)는 실시형태 3에서의 복수의 코일전극의 분기 수를 다르게 한 다른 실시형태를 나타내는 것이다. 특히, 외주 코일전극의 분기 수가 내주 코일전극의 분기 수보다도 많은 경우에, 자계의 균일성 개선에 대해서 유효하다.

또, 실시형태에서는, 외주 코일전극의 코일부의 위치와, 내주 코일전극의 코일부의 위치가 둘레방향으로 다른 위치가 되도록 배치되어 있는 경우에 대해서 설명했지만, 도 10은 실시형태 1에서의 외주 코일전극(3)의 코일부(3d)의 위치와, 내주 코일전극(4)의 코일부(4d)의 위치가 둘레방향에 대해서 동일한 다른 실시형태를 나타내는 것이다. 복수의 코일부의 둘레방향의 위치가 동일해도 지름방향의 자계분포의 개선 효과는 기대할 수 있다.

또, 허용부하전류가 다른 코일전극을 준비하고, 이들을 조합함으로써, 여러 가지 허용부하전류를 가지는 진공밸브를 제공하는 것도 가능하게 된다.

또, 본 발명은 상기 실시형태에만 한정되는 것이 아니고, 이들의 가능한 조합을 포함하는 것은 말할 것도 없다.

또, 도면에서, 동일 부호는 동일 또는 상당히 부분을 나타낸다.

1, 21 가동전극 2, 12, 22 접점
3, 13, 23 외주 코일전극 3b, 4b, 24b 슬릿
3c, 4c 스포크부 3d, 4d, 24d 코일부
3e, 4e, 24e 단자부 4, 14, 24 내주 코일전극
5, 15 전극봉 11 고정전극

Claims (5)

1. 진공용기 내에 접리(接離) 가능하게 수용된 한 쌍의 전극을 가지는 진공밸브에 있어서,
   상기 전극은,
   컵 모양으로 형성됨과 아울러, 틈새에 절연부재를 개재시켜 동심원 모양으로 배치된 외경이 다른 복수의 코일전극과,
   상기 복수의 코일전극의 일단에 고착되어 상기 진공용기의 외부로 전류를 취출하는 전극봉과,
   상기 복수의 코일전극의 타단에 고착된 접점을 구비하고 있으며,
   상기 복수의 코일전극은, 상기 접점과 접속하는 단자부의 위치가 각각 둘레방향에서 서로 다른 위치가 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 복수의 코일전극은 상기 컵 모양의 저부(底部) 중심으로부터 외주를 향해서 스포크 모양으로 분기(分岐)되며, 외주 측면을 따라서 둘레방향으로 통전로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 복수의 코일전극은 상기 컵 모양의 측면에 축방향에 대해서 비스듬하게 마련된 복수의 슬릿에 의해 분기되며, 외주 측면을 따라서 둘레방향으로 통전로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
4. 청구항 2 또는 3에 있어서,
   외주 측에 배치된 상기 코일전극의 통전로 위치와, 내주 측에 배치된 상기 코일전극의 통전로 위치가 둘레방향으로 다르도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
5. 청구항 2 또는 3에 있어서,
   외주 측에 배치된 상기 코일전극의 통전로 분기 수와, 내주 측에 배치된 상기 코일전극의 통전로 분기 수가 다른 것을 특징으로 하는 진공밸브.

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