JP2003123600A

JP2003123600A - 真空バルブ

Info

Publication number: JP2003123600A
Application number: JP2001318887A
Authority: JP
Inventors: Yoshimi Nitta; 工美仁田; Yoshimitsu Niwa; 芳充丹羽; Kosuke Sasage; 浩資捧
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2001-10-17
Filing date: 2001-10-17
Publication date: 2003-04-25

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、真空バルブに係わり、特にシンプ
ルな電極構造で、安定して優れた遮断性能を有する真空
バルブに関するものである。【解決手段】真空容器の内部に互いに接離自在に一対
の電極１５を対向配設し、この電極１５は対向する接点
１と、この接点１の裏面に接合され傾斜するスリット４
を複数個設けた円筒部および底部平板部とから形成され
る凹状のカップ型電極２を備えている。カップ型電極２
の前記底部平板部に電極軸５を固着している。この電極
軸５に挿通され、電極軸５と同軸の円筒形の補強部材６
を、前記カップ型電極２の底部平板部と電極軸５に接合
して、開閉時の衝撃によるスリット４のつぶれを防止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空バルブに係わ
り、特にシンプルな電極構造で、安定して優れた遮断性
能を有する真空バルブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１０は、従来の代表的な真空バルブの
構成例を示す断面図である。図において、真空バルブ１
１は絶縁円筒１３の両端を固定フランジ１２Ａおよび可
動フランジ１２Ｂにより閉止して構成される真空容器内
に、接離自在な固定電極１４および可動電極１５を配置
して構成される。

【０００３】ここで、固定電極１４は、固定通電軸１６
の先端に固着されており、真空容器の外部とは固定通電
軸１６により電気的に接続される。また、可動電極１５
は、可動通電軸１７の先端に固着されており、真空容器
の外部とは可動通電軸１７により電気的に接続される。

【０００４】さらに、可動通電軸１７は、ベローズ１８
を介して可動フランジ１２Ｂに連結されており、真空容
器内の真空を維持した状態で、図示しない操作機構部に
より電極の接離を可能にしている。なお、電極周囲であ
って絶縁円筒１３の内面には、アークシールド１９が取
り付けられている。

【０００５】真空バルブの遮断性能を向上させるために
は、電極間に発生するアークによる電極の局部過熱を抑
える必要がある。電極の局部過熱による異常な金属蒸気
の発生を抑えることによって、遮断性能を向上させるこ
とができる。

【０００６】このための電極構造としては、電流遮断時
に電極間に発生するアークに磁界により力を加えるもの
がある。磁界の印加方法の一つとして、電極間に発生す
るアークと直交する磁界を印加する方法がある。この磁
界によってアークが電極上を周方向に回転し、接点の局
部過熱を抑えて、損傷を低下させることができる。

【０００７】図１１は、かかる方法を採用した真空バル
ブの電極構造の一例を示す図である。この図では一対の
電極１０Ａ、１０Ｂが開極状態にあり、接点１Ａ、１Ｂ
間にはアーク３が発生している。接点１Ａと固定軸５Ａ
及び接点１Ｂと可動軸５Ｂの間にはカップ型電極２Ａ、
２Ｂが設けられている。

【０００８】カップ型電極２Ａ、２Ｂの断面は凹型にな
っており、中心部に穴を持つ接点１Ａ、１Ｂがカップ型
電極２Ａ、２Ｂの対向部側に取り付けられており、反対
側には通電軸である固定通電軸５Ａ、可動通電軸５Ｂが
取り付けられている。

【０００９】また、カップ型電極２Ａ、２Ｂにはスリッ
ト４が複数本設けられており、これら一対の電極１０
Ａ、１０Ｂでスリット４の方向が逆向きに配されてい
る。電流遮断時にカップ型電極２Ａ、２Ｂに設けたスリ
ット４で区分された部分に流れる電流により、接点１
Ａ、１Ｂ問に生じるアーク３に対して、直交する半径方
向の磁界が発生する。この磁界と接点１Ａ、１Ｂ間を流
れるアーク電流の相互作用により円周方向の電磁力が働
き、アーク３が駆動される。

【００１０】従って、アーク３の特定個所での停滞が無
くなり、局所的な過熱が抑制され、接点１Ａ、１Ｂの過
剰な溶融や蒸発が抑えられる。このため、交流電流の零
点では接点１Ａ、１Ｂから発生する金属粒子や荷電粒子
等よりも拡散と吸着によって消滅する金属粒子や荷電粒
子等の方が多くなり消弧する。その後、一対の接点１
Ａ、１Ｂ間に発生する再起電圧に対して、絶縁耐圧が上
廻り、遮断が完了する。

【００１１】この様な電極構造を用いれば、接点１Ａ、
１Ｂに生じる局部過熱を抑制し、遮断性能の優れた真空
バルブが得られる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、真空遮
断器開閉時の機械的な衝撃が大きくなると互いに当接す
る真空バルブ内の電極が変形することがある。この変形
により、図１１に示したカップ型電極２Ａ、２Ｂに設け
られた磁界を発生するためのスリット４が潰れることに
なる。スリット４が潰れることにより電流がスリット４
にまたがって流れれば、電流遮断時に電極から発生する
ことが期待される磁界が弱くなる。

【００１３】そして電極から発生する磁界が弱れば、ア
ーク３を駆動できず接点上の一部分に停滞して局部過熱
が起こり、金属蒸気を多量に放出し、電流零点での極間
の絶縁耐圧が低下して、遮断失敗を引き起こしてしまう
こととなる。

【００１４】本発明の目的は、シンプルな電極構造で、
機械的な開閉衝撃による電極の変形を防ぎ、安定して優
れた遮断性能を有する真空バルブを提供することにあ
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項１の発明による真空バルブによれば、真空容
器の内部に互いに接離自在に一対の電極を対向配設し、
この電極は対向する接点と、この接点の裏面に接合され
傾斜するスリットを複数個設けた円筒部および底部平板
部とから形成される凹状のカップ型電極とを備え、この
カップ型電極の前記底部平板部に電極軸を固着して成
り、この電極軸と同軸で円筒形の補強部材を前記カップ
型電極の底部平板部と電極軸に接合したことを特徴とす
る。

【００１６】請求項４の発明による真空バルブによれ
ば、真空容器の内部に互いに接離自在に一対の電極を対
向配設し、この電極は対向する環状の接点と、この接点
の裏面に接合され傾斜するスリットを複数個設けた円筒
部および底部平板部とから形成される凹状のカップ型電
極とを備え、このカップ型電極の前記底部平板部に電極
軸を固着して成り、前記カップ型電極の円筒部の凹部内
にリング状の補強部材を収納配置し、この補強部材には
カップ型電極の円筒部に設けられたスリットに対応する
箇所の一部分に切り欠きを設けたことを特徴とする。

【００１７】請求項５の発明による真空バルブによれ
ば、真空容器の内部に互いに接離自在に一対の電極を対
向配設し、この電極は対向する接点と、この接点の裏面
に接合され傾斜するスリットを複数個設けた円筒部およ
び底部平板部とから形成される凹状のカップ型電極とを
備え、このカップ型電極の前記底部平板部に電極軸を固
着して成り、前記カップ型電極の円筒部の凹部内にリン
グ状の補強部材を嵌合配置し、この補強部材の外周面の
両端を除く外周に前記凹部内面との間に空隙を形成した
ことを特徴とする。

【００１８】請求項６の発明による真空バルブによれ
ば、真空容器の内部に互いに接離自在に一対の電極を対
向配設し、この電極は対向する環状の接点と、この接点
の裏面に接合され傾斜するスリットを複数個設けた円筒
部および底部平板部とから形成される凹状のカップ型電
極とを備え、このカップ型電極の前記底部平板部に電極
軸を固着して成り、前記カップ型電極円筒部の凹部内底
面平板部にはこの底面平板部を貫通する複数の穴を円周
上に等配に設け、この穴内に一端を前記接点の裏面に他
端を電極軸に接合した補強部材を配置したことを特徴と
する真空バルブ。

【００１９】請求項８の発明による真空バルブによれ
ば、真空容器の内部に互いに接離自在に一対の電極を対
向配設し、この電極は対向する接点と、この接点の裏面
に接合され傾斜するスリットを複数個設けた円筒部およ
び底部平板部とから形成される凹状のカップ型電極とを
備え、このカップ型電極の前記底部平板部に電極軸を固
着して成り、前記カップ型電極に設けられたスリットに
は絶縁物からなる補強部材を挿入したことを特徴とす
る。

【００２０】このような真空バルブによれば、磁界とア
ーク電流によりアークに円周方向の電磁力が働き、アー
クが駆動されアークは特定個所で停滞することが無く回
転し、局所的に接点が過熱されることが抑制でき、接点
の損傷を防ぐことが可能となり、シンプルな電極構造で
ありながら、多数回遮断を行っても、安定した遮断性能
を保つことができる真空バルブを提供できる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図１（ａ）（ｂ）を参照して説明する。図１（ａ）お
よび（ｂ）は、真空バルブの電極構成を示す平面図およ
び側面図であり、一対の電極のうちの一方例えば可動電
極１５側を示したものである。可動電極１５は、環状に
形成した接点１およびこの接点１の対向する電極との反
対側面即ち裏面に設けた断面形状が凹状のカップ型電極
２と、軸５（可動軸）とから構成されている。

【００２２】カップ型電極２はその開口側を接点１の裏
面に接合している。そしてカップ型電極２は図１（ｂ）
で明らかなように、その上面から下面にわたり一方向に
傾斜させたスリット４を複数本（実施の形態では４本）
等間隔に設けて区分している。カップ型電極２の底面に
は、軸５の周囲に軸５と同軸に設けた円筒形の補強６を
接合している。

【００２３】尚、図１に示した可動電極に対向して固定
電極が配置されるが、この固定電極はそのカップ型電極
に設けるスリットの傾斜方向が逆向きに形成される点を
除き可動電極と同様の構成である。そして以後の実施の
形態についても同様である。

【００２４】図１に示したようにカップ型電極２の底面
即ち接点１の取り付け面と反対側の面で、且つ軸５の周
囲に同軸に補強部材６を接合することにより、カップ型
電極２の軸方向の機械的変形を抑制する構造となってい
る。

【００２５】このようにカップ型電極２の底面に補強部
材６を装着することにより、真空遮断器開閉時の機械的
な衝撃によって起こるカップ型電極２の外径端部での軸
方向の変形を抑制できる。従ってカップ型電極２の外径
端部での変形が抑制されることで、カップ型電極２に設
けられたスリット４のつぶれが抑えられ、スリット４で
区分された部分に流れる電流によって生じるアークに直
交する半径方向の磁界を維持することができる。

【００２６】この磁界とアーク電流によりアークに円周
方向の電磁力が働き、アークが駆動されアークは特定個
所で停滞することが無く回転し、局所的に接点が過熱さ
れることが抑制でき、接点の損傷を防ぐことが可能とな
る。

【００２７】このように、シンプルな電極構造でありな
がら、多数回遮断を行っても、安定した遮断性能を保つ
ことができる真空バルブを提供できる。

【００２８】図２は本発明の第２の実施の形態を示す図
で、図２（ａ）および（ｂ）は、真空バルブの可動電極
構成例を示す側面図および電極を軸側から見た場合の平
面図である。図１の実施の形態と同一部分には同符号を
記した図２においては、カップ型電極２と軸５に接合し
た補強部材６１の形状が異なっている。

【００２９】即ち、カップ型電極２の底部まで切り込ん
だ夫々のスリット４に対応する補強部材６１の外周面
に、軸方向の切り欠き７を設けている。

【００３０】このような補強部材６１を設けることによ
り、電流遮断時の電極間に発生する金属蒸気を電界スト
レスの高い接点間よりも速やかに切り欠き７から電極後
方に放出することができる。

【００３１】従って、真空遮断器開閉時の機械的な衝撃
によって起こるカップ型電極２の外径端部での軸方向の
変形を抑制できるとともに、シンプルな電極構造で、多
数回遮断を行っても、安定した遮断性能を保つことがで
き、可動、固定両接点間に発生する金属蒸気を速やかに
電極後方に放出することができるため、良好な遮断性能
を得ることができる。

【００３２】図３を用いて本発明の第３の実施の形態を
説明する。図３（ａ）および（ｂ）は、真空バルブの可
動電極構成例を示す側面図および電極を軸側から見た場
合の平面図である。図３においては、カップ型電極２の
底面と軸５に接合した補強部材６２の外径寸法が、カッ
プ型電極２の外側底部平板部に切り込まれた全てのスリ
ット４に接する円の径と同じかそれよりも小さい外形寸
法の円筒形状に構成されている。他の構成は本発明にお
ける第１の実施の形態と同様である。

【００３３】このような補強部材６２の構成とすること
により、先に説明した図２のような切り欠きの加工が不
要となり、シンプルな電極構造で、多数回遮断を行って
も、安定した遮断性能を保つことができるとともに、電
流遮断時の接点１間に発生する金属蒸気を速やかに電極
後方に放出することができるため、良好な遮断性能を得
ることができる真空バルブを提供できる。

【００３４】図４を用いて本発明の第４の実施の形態を
説明する。図４（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、真空バ
ルブの電極構成例を示す平面図、側面図及び補強部材６
３を示す斜視図である。この実施の形態においては、カ
ップ型電極２の底面に接合した補強部材に替えて補強部
材をカップ型電極２の凹部内に収納させた点が異なる。

【００３５】即ち図４において、断面形状が凹状のカッ
プ型電極２の凹部内に、筒状の補強部材６３を収納配置
している。そしてこの補強部材６３には、カップ型電極
２に設けられた夫々のスリット４に対応する箇所の一部
分を切り欠いて形成した切り欠き部７１を設けている。
尚、補強部材６３の材料としては、高抵抗、高強度の部
材例えばステンレス材が適している。

【００３６】このように、カップ型電極２の凹部内に筒
状の補強部材６３を設け、この補強部材６３のカップ型
電極２に設けられたスリット４に対応する箇所の一部分
に切り欠き部７１を設けたことにより、電極の変形を抑
制し、電流遮断に必要なアークに直交する半径方向の磁
界を維持することができる。

【００３７】この磁界によりアークが回転駆動され、電
極の局部過熱を抑制して、損傷を低減させることがで
き、また電流遮断時の接点１間に発生する金属蒸気を、
補強部材６３に設けた切り欠き７１から速やかに接点間
よりも電界ストレスが低い空間である電極後方に放出す
ることができる。

【００３８】従って、シンプルで軽量な電極構造であ
り、多数回遮断を行っても良好な遮断性能を持つ真空バ
ルブを提供できる。

【００３９】図５は本発明の第５の実施の形態を示すも
ので、図５（ａ）（ｂ）および（ｃ）は、真空バルブの
可動電極構成例を示す平面図、側面図および図５（ａ）
の断面ＡＯＢでの断面図である。この実施の形態におい
ては断面形状が凹状のカップ型電極２の凹部内に、筒状
の補強部材６４を嵌合配置している。そしてこの補強部
材６４は、その外周面の両端を除き外周を削り込んだ形
状となっており、カップ型電極２の凹部内面との間に空
隙８を形成している。

【００４０】このように、カップ型電極２の凹部内に筒
状の補強部材６４を設けることで、開閉衝撃時にカップ
型電極に加わる機械的な衝撃によるスリット４のつぶれ
を抑えるとともに、補強部材６４の外周を削り込んだこ
とで、電極凹部でのスリットに区分された部分の電流の
流れが補強を設けたことによって妨げられることが無く
なる。

【００４１】加えて、例えば補強部材６４として高抵抗
のステンレス材を用い、補強部材６４の外周面を削りこ
むことにより、補強部材６４の抵抗をスリット４に沿っ
て流れる電流ル一トの抵抗よりさらに大きできるので、
アークを介して接点１に流れ込む電流を、ほとんどスリ
ット４に沿ったルートを流すことができ、アークに直交
する半径方向の磁界を供給できる。

【００４２】従って、シンプルな電極構造で、多数回遮
断を行っても安定した遮断性能を保つことができるとと
もに、電流遮断時の接点間に発生するアークを駆動させ
る磁界を安定して供給できるため、良好な遮断性能を持
つ真空バルブを提供できる。

【００４３】図６を用いて本発明の第６の実施の形態を
説明する。図６（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、ステンレ
ス材でなる補強部材６５が４個で構成される場合の真空
バルブの可動電極構成例を示す平面図、側面図及び断面
Ｃ−Ｄより下側を見た断面図また、（ｄ）は、補強部材
６５の一つを示す斜視図である。

【００４４】即ち、凹状のカップ型電極２の底面平板部
を貫通する穴９を凹部内に円周上に等配で４個設け、そ
の穴９内に補強部材６５を配置する。補強部材６５は一
端を軸５に接合し、他端は接点１の裏面に接合する。

【００４５】機械的な衝撃を受ける接点１を補強部材６
５により直接支持することにより、カップ型電極２に作
用する応力が緩和されるため、開閉動作時にカップ型電
極２に加わる機械的な衝撃によるスリット４のつぶれを
抑制し、スリット４で区分された部分に流れる電流によ
って生じるアークに直交する半径方向の磁界を維持する
ことができ、この磁界とアーク電流による電磁力によっ
てアークの回転が行われるため、接点１の局部過熱を抑
制して、損傷を低減させることができる。

【００４６】再起電圧発生時には電流遮断時の接点１間
に発生する金属蒸気は、カップ型電極２の凹部内に連通
するスリット４から接点１間に比べて電界ストレスの低
い空間である電極後方に放出される。

【００４７】このように、シンプルな電極構造で多数回
遮断が行われても安定した遮断性能を維持でき、電流遮
断時の接点１間に発生する金属蒸気を速やかに電極後方
に放出することができるので、電流遮断時に接点１間で
の絶縁破壊を抑制することができる良好な遮断性能を持
つ真空バルブを提供することができる。

【００４８】図７を用いて本発明の第７の実施の形態を
説明する。図７（ａ）、（ｂ）は、真空バルブの固定電
極構成例を示す平面図および断面図である。凹状のカッ
プ型電極２の底面平板部に、この平面部を貫通する穴９
を凹部内の円周上に等配で設ける。そしてこの穴９に挿
通される補強部材６６の一端を接点１の裏側に接合し、
他端を軸方向の位置が、接点１の内径よりも内側になる
位置に、即ち、軸５の中心方向に向かうように傾斜させ
て軸５の端面に接合する。

【００４９】カップ型電極２において、接点１は補強部
材６６を介して軸５で支持され、更に補強部材６５の軸
方向の位置が、一端が接点１の内径よりも内側で他端が
穴９を通って軸５の端面に接合したことにより、電流遮
断時の接点１間に発生する金属蒸気を、補強部材６６が
軸５に対して斜めに設けられたことにより生じる空間部
からスリット４を介して接点１間に比べて電界ストレス
の低い電極後方に放出することができる。

【００５０】このようにシンプルな電極構造で、多数回
遮断を行っても安定した遮断性能を維持できるととも
に、電流遮断時の接点１間に発生する金属蒸気を速やか
に電界ストレスが低い空間である電極外部に放出するこ
とができる良好な遮断性能を持つ真空バルブを得ること
ができる。

【００５１】更に、図８を用いて本発明の第８の実施の
形態を説明する。図８（ａ）および（ｂ）は、真空バル
ブの固定電極構成例を示す平面図および側面図である。
この実施の形態においては、凹状のカップ型電極２の円
筒部分に設けた各スリット４内に、絶縁物からなる補強
部材６７を挿入している。

【００５２】カップ型電極２に設けられたスリット４内
に絶縁物からなる補強部材６７を挿入したことにより、
開閉時の衝撃などによる機械的変形によるカップ型電極
２の円筒部に設けられたスリット４のつぶれが無くな
る。このため、スリット４で区分された部分に流れる電
流によって生じる電流遮断に必要なアークに直交する半
径方向の磁界を維持することができ、この磁界により電
流遮断時にアークが接点１上を回転するため、接点１の
局部過熱が抑制され、損傷を低減させることができる。

【００５３】尚、図９に示す構成とすることもできる。
即ち、図８の補強部材を分割した補強部材６８としたも
のである。

【００５４】この実施の形態によっても図８と同様、ア
ークが接点１間を回転するため、接点１の局部過熱が抑
制され、損傷を低減させることができ、シンプルな電極
構造で、多数回遮断を行っても安定した遮断性能を保つ
ことができる真空バルブを提供できる。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、スリットを有する凹状
のカップ型電極に、スリットのつぶれを防止する補強部
材を設けたので、電極の開閉衝撃などによる機械的変形
を抑え、アークが接点上で停滞することなく回転させる
ことができるので、電極の局部過熱を抑制して損傷を低
減させることができ、シンプルな電極構造で、多数回遮
断を行っても、安定した遮断性能を保つことができる真
空バルブが提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す平面図（ａ）
および側面図（ｂ）。

【図２】本発明の第２の実施の形態を示す側面図（ａ）
および電極裏側から見た平面図（ｂ）。

【図３】本発明の第３の実施の形態を示す側面図（ａ）
および電極裏側から見た平面図（ｂ）。

【図４】本発明の第４の実施の形態を示す平面図
（ａ）、側面図（ｂ）および補強部材の斜視図（ｃ）。

【図５】本発明の第５の実施の形態を示す平面図
（ａ）、側面図（ｂ）および線ＡＯＢでの断面図
（ｃ）。

【図６】本発明の第６の実施の形態を示す平面図
（ａ）、側面図（ｂ）、（ｂ）の線Ｃ−Ｄでの断面図
（ｃ）および補強部材の斜視図（ｄ）。

【図７】本発明の第７の実施の形態を示す平面図（ａ）
および線Ａ−Ｂの断面図（ｂ）。

【図８】本発明の第の８実施の形態を示す平面図（ａ）
および側面図（ｂ）。

【図９】本発明の第９の実施の形態を示す平面図（ａ）
および側面図（ｂ）。

【図１０】従来の真空バルブを説明するための、真空バ
ルブの断面図。

【図１１】従来の真空バルブを説明するための、凹状カ
ップ型電極の側面図。

【符号の説明】

１、１Ａ、１Ｂ・・・接点２、２Ａ、２Ｂ・・・カップ型電極３・・・アーク４・・・スリット５Ａ、５Ｂ・・・軸６、６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６８
・・・補強部材７・・・切り欠き８・・・空隙９・・・穴１０Ａ、１０Ｂ・・・電極１１・・・真空バルブ１２Ａ・・・固定フランジ１２Ｂ・・・可動フランジ１３・・・絶縁円筒１４・・・固定電極１５・・・可動電極１６・・・固定通電軸１７・・・可動通電軸１８・・・ベローズ１９・・・アークシールド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者捧浩資東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中事業所内Ｆターム(参考） 5G026 CA02 CB05 DA07 DB02 5G027 AA03 AA14 BA02 BB09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空容器の内部に互いに接離自在に一対の
電極を対向配設し、この電極は対向する接点と、この接
点の裏面に接合され傾斜するスリットを複数個設けた円
筒部および底部平板部とから形成される凹状のカップ型
電極とを備え、このカップ型電極の前記底部平板部に電
極軸を固着して成り、この電極軸と同軸で円筒形の補強
部材を前記カップ型電極の底部平板部と電極軸に接合し
たことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】カップ型電極の底部まで切り込んだスリッ
トに対応する補強部材の外周面に軸方向の切り欠きを連
通して設けたことを特徴とする請求項１に記載の真空バ
ルブ。
【請求項３】補強部材の外径が、カップ型電極の底部平
板部に切り込まれた全てのスリットに内接する円の径と
同じかそれよりも小さい円筒形状であることを特徴とす
る請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項４】真空容器の内部に互いに接離自在に一対の
電極を対向配設し、この電極は対向する環状の接点と、
この接点の裏面に接合され傾斜するスリットを複数個設
けた円筒部および底部平板部とから形成される凹状のカ
ップ型電極とを備え、このカップ型電極の前記底部平板
部に電極軸を固着して成り、前記カップ型電極の円筒部
の凹部内にリング状の補強部材を収納配置し、この補強
部材にはカップ型電極の円筒部に設けられたスリットに
対応する箇所の一部分に切り欠きを設けたことを特徴と
する真空バルブ。
【請求項５】真空容器の内部に互いに接離自在に一対の
電極を対向配設し、この電極は対向する接点と、この接
点の裏面に接合され傾斜するスリットを複数個設けた円
筒部および底部平板部とから形成される凹状のカップ型
電極とを備え、このカップ型電極の前記底部平板部に電
極軸を固着して成り、前記カップ型電極の円筒部の凹部
内にリング状の補強部材を嵌合配置し、この補強部材の
外周面の両端を除く外周に前記凹部内面との間に空隙を
形成したことを特徴とする真空バルブ。
【請求項６】真空容器の内部に互いに接離自在に一対の
電極を対向配設し、この電極は対向する環状の接点と、
この接点の裏面に接合され傾斜するスリットを複数個設
けた円筒部および底部平板部とから形成される凹状のカ
ップ型電極とを備え、このカップ型電極の前記底部平板
部に電極軸を固着して成り、前記カップ型電極円筒部の
凹部内底面平板部にはこの底面平板部を貫通する複数の
穴を円周上に等配に設け、この穴内に一端を前記接点の
裏面に他端を電極軸に接合した補強部材を配置したこと
を特徴とする真空バルブ。
【請求項７】カップ型電極凹部内の穴に設けた補強部材
の一端は接点裏側に接合され、他端の電極軸への接合位
置が、接点の内径よりも内側であることを特徴とする請
求項６に記載の真空バルブ。
【請求項８】真空容器の内部に互いに接離自在に一対の
電極を対向配設し、この電極は対向する接点と、この接
点の裏面に接合され傾斜するスリットを複数個設けた円
筒部および底部平板部とから形成される凹状のカップ型
電極とを備え、このカップ型電極の前記底部平板部に電
極軸を固着して成り、前記カップ型電極に設けられたス
リットには絶縁物からなる補強部材を挿入したことを特
徴とする真空バルブ。