KR101585622B1 - 반송 로봇의 제어 방법 - Google Patents

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요시노리 후지이
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가부시키가이샤 알박
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Abstract

반송 로봇의 통신 시간을 삭감할 수 있고, 기판의 반송 시간을 단축하는 것이 가능한 반송 로봇의 제어 방법을 제공한다. 처리실(C)에 존재하는 기판(S2)을 처리실(E)의 소정의 위치에 반송할 때의 반송 로봇(1)의 일련의 동작을 1개의 커맨드로 실행한다. 일련의 동작에는, 처리실(C)에 존재하는 기판(S2)을 로봇 핸드(12b)로 꺼낸 후, 기판(S1)과는 상이한 기판(S3)을 로봇 핸드(12a)에 의해 처리실(C)의 소정의 위치에 주고받는 스왑 동작을 포함시켜도 좋다.

Description

반송 로봇의 제어 방법{TRANSFER ROBOT CONTROL METHOD}
본 발명은, 처리 장치에 설치되는 반송 로봇의 제어 방법에 관한 것이다.
종래, 기판에 성막 처리나 에칭 처리 등의 각종의 처리를 수행하는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이, 반송 로봇(1)을 배치한 중앙의 반송실(T)을 둘러싸도록 하여, 복수의 로드락실(load lock chamber)(A, B)과 복수의 처리실(C 내지 F)을 배치하고, 반송 로봇(1)에 의해 로드락실(A, B)에 투입한 기판(S)을 처리실(C 내지 F)에 또는 각 처리실(C 내지 F)의 상호 간에 반송하도록 구성한 처리 장치(소위, 클러스터 툴(cluster tool) 장치)이 알려져 있다.
이 종류의 처리 장치에서는, 반송 로봇이 기판의 처리 종료를 기다리는 상태(소위, 처리 레이트 제어)와, 처리실에서 기판이 반출되는 것을 기다리는 상태(소위, 반송 레이트 제어)가 처리 장치의 처리 능력(스루풋(throughput))에 영향을 주는 것이 알려져 있다. 처리 장치의 구성이 복잡하게 되면, 상기 처리 레이트 제어 및 반송 레이트 제어가 복수 개소에서 발생하게 되지만, 기판을 연속 처리하는 경우에 있어서, 각 기판에 주목하였을 때의 반송 시간과 처리 시간의 총합이 그 처치 장치의 최대 처리 능력이라고 말할 수 있다.
처리 장치의 처리 능력을 향상시키기 위하여, 도 1에 도시한 처리 장치와 같이, 기판을 지지하는 로봇 핸드를 2개 구비한 반송 로봇을 이용하는 것이 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 2개의 로봇 핸드를 이용하는 것에 의해, 반송 레이트 제어를 적게 할 수 있다.
이 종류의 처리 장치에서는, 호스트 컴퓨터로부터 나온 1개의 커맨드(command)에 따라, 반송 로봇이 1개의 동작을 행하고 있다. 즉, 하나의 처리실에 존재하는 기판을 다른 처리실로 반송하는 경우에는, "pick(취한다)", "go to(선회한다)", "place(둔다)"와 같은 커맨드에 따라, 반송 로봇이 복수의 동작을 행하고 있었다. 그리고, 반송 로봇의 각 동작이 종료할 때마다, 반송 로봇과 호스트 컴퓨터와의 사이에서 통신이 행해지고 있었다. 따라서, 종래의 반송 로봇의 제어 방법에서는, 반송 로봇과 호스트 컴퓨터와의 사이에서 행해지는 통신의 횟수가 많고, 그 통신에 필요로 하는 시간의 분량만큼 반송 시간이 길어지고, 스루풋이 저하하는 문제가 있었다.
특허 문헌 1 : 일본 특허출원공개 제2007-291530호 공보(도 8)
본 발명은 이상의 점을 고려하여, 반송 로봇의 통신 시간을 삭감할 수 있고, 기판의 반송 시간을 단축하는 것이 가능한 반송 로봇의 제어 방법을 제공하는 것을 그 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 처리해야 할 기판을 로봇 핸드로 지지한 상태에서 동일 평면 내부를 선회 및 신축 동작시키고, 선회 방향을 따라 배치된 복수의 처리실 사이에서 기판을 반송하는 반송 로봇의 제어 방법에 있어서, 하나의 처리실에 존재하는 기판을 다른 처리실의 소정의 위치로 반송할 때의 반송 로봇의 일련의 동작을 1개의 커맨드로 실행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 하나의 처리실에 존재하는 기판을 다른 처리실의 소정의 위치에 반송할 때의 일련의 반송 로봇의 동작이 복수 커맨드가 아니라 1개의 커맨드로 제어된다. 따라서, 상기 일련의 반송 로봇의 동작을 복수 커맨드로 제어하는 경우에 비해, 반송 로봇의 통신 시간을 삭감할 수 있기 때문에, 기판의 반송 시간을 단축할 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇이 소정의 간격을 두어 설치된 2개의 로봇 핸드를 가지고, 하나의 로봇 핸드에 의해 상기 하나의 처리실에 존재하는 기판을 꺼낸 후, 꺼낸 기판과는 상이한 기판을 다른 로봇 핸드에 의해 상기 하나의 처리실의 소정의 위치에 주고받는 스왑 동작(swapping action)을 상기 1개의 커맨드로 실행하여도 좋다.
본 발명에 있어서, 반송 로봇의 신축 동작과 선회 동작이 전환되는 전환점의 전후에서, 반송 로봇의 신축 동작 및 선회 동작을 국소적으로 합성되도록 반송 로봇을 제어하여도 좋다. 이것에 의해, 상기 전환점에서의 반송 로봇의 정지가 불필요해지기 때문에, 전환점에서 반송 로봇이 정지하는 경우에 비해 반송 로봇이 가속 및 감속을 행하는 시간을 단축할 수 있고, 상기 반송 로봇의 통신 시간의 삭감과 어울려서, 기판의 반송 시간을 더욱 단축할 수 있다.
본 발명에 있어서, 반송 로봇의 일련의 동작 중에 로봇 핸드 상의 기판의 유무를 검지하고, 그 검지 결과에 기초하여, 하나의 처리실에 존재하는 기판을 다른 처리실에 반송할 때의 반송 경로에 배치된 부품을 작동시킨다. 이것에 의해, 1개의 커맨드로 하나의 처리실에 존재하는 기판을 다른 처리실에 반송할 때에도, 안전하고 확실하게 기판을 반송할 수 있다.
또한, 상기 부품으로서, 처리실과 반송 로봇이 배치된 반송실과의 사이를 격리하는 격리 밸브, 반송 로봇과 처리실에 배치된 기판 스테이지와의 사이에서 기판을 주고받을 때에 상하 동작하는 리프트 핀, 및 상기 처리실에서 보호벽을 형성하는 쉴드(shield)로부터 적어도 1개를 선택할 수 있다. 상기 스왑 동작을 1개의 커맨드로 실행하는 경우, 하나의 처리실에 기판을 주고받은 후에 격리 밸브를 닫음으로써, 하나의 처리실에서 이 기판에 대한 처리를 개시할 수 있다.
도 1의 (A) 및 (B)는 반송 로봇을 구비하는 처리 장치를 개략적으로 도시하는 평면도 및 단면도이다.
도 2는 본 실시 형태에서 1개의 커맨드로 실행되는 반송 로봇의 일련의 동작을 도시하는 도면이다.
도 3은 도 2에 도시한 반송 로봇(1)의 동작을 스텝마다 도시한 도면이다.
도 4는 일련의 동작의 완료를 기다려서 격리 밸브를 닫는 경우의 타이밍 차트이다.
도 5는 일련의 동작의 완료를 기다리지 않고 격리 밸브를 닫는 경우의 타이밍 차트이다.
도 6은 일련의 동작의 완료를 기다리지 않고 격리 밸브를 닫는 경우의 타이밍 차트이다.
도 7은 로봇 핸드(12)의 신축 동작 및 선회 동작이 국소적으로 합성되도록 반송 로봇(1)을 제어한 경우를 설명하는 도면이다.
이하, 도 1에 도시하는 처리 장치에서 본 발명을 적용한 실시 형태에 대해 설명한다. 처리 장치의 반송실(T)에는, 공지의 구조를 가지는 반송 로봇(1)이 설치되어 있음과 동시에, 로드락실(A, B) 및 각 처리실(C 내지 F)과의 연결 장소 근처에서 기판(S)의 검지 동작을 행하는 검지 수단(2)이 설치되어 있다. 반송실(T)과 로드락실(A, B) 및 각 처리실(C 내지 F)은 격리 밸브(아이솔레이션 밸브)(3)에 의해 격리되어 있다. 격리 밸브(3)는 각 처리실(C 내지 F)의 가스나 압력이 반송실(T)로 누설되는 것을 막는 것이다.
로드락실(A, B) 및 각 처리실(C 내지 F)에는, 기판(S)의 주고받기를 행하는 기판 스테이지(Cs)가 배치되는 것 외에, 각 처리실(C 내지 F)에는, 보호벽을 형성하는 쉴드(shield)(도시하지 않음)가 필요에 따라 배치된다. 이 보호벽은 처리실 벽면으로의 반응 부생성물의 부착을 방지하는 방착판으로서의 기능이나, 각 처리실(C 내지 F)로부터 반송실(T)로의 더스트(dust)의 비산(splash)이나 빛이나 전자파의 누설을 방지하는 기능을 가진다. 또한, 반송 로봇(1), 검지 수단(2) 및 격리 밸브(3)와 같은 처리 장치를 구성하는 각종 센서나 구동 기구는 처리 장치 전체의 제어를 행하는 호스트 컴퓨터(4)에 접속되어 있다.
플로그 레그(flog leg) 방식으로 대표되는 다관절식 반송 로봇(1)은 작동 부분인 로봇 암(11)과, 이 로봇 암(11)을 선회, 신축 및 상하이동 가능하게 구동하는 구동 수단으로서의 모터(10)를 복수 구비하고 있다.
도 1의 (B)에 도시한 바와 같이, 각 모터(10)의 회전축(10a, 10b, 10c, 10d)은 동심에 배치되고, 회전축(10a, 10b)에는 로봇 암(11a)이 링크 기구를 이루어 연결되고, 회전축(10c, 10d)에는 로봇 암(11b)이 링크 기구를 이루어 연결되어 있다. 이 로봇 암(11a, 11b)의 선단에는, 기판(S)을 장착한 상태에서 지지하는 로봇 핸드(12a, 12b)가 각각 설치되어 있다.
로봇 핸드(12a, 12b)는 선회 방향에서 소정의 간격을 가지도록 설치되어 있다. 회전축(10a, 10b)의 회전각 및 회전 방향을 적절하게 제어함으로써 로봇 핸드(12a)가 신축 및 선회 가능하게 되고, 이 로봇 핸드(12a)와는 독립하여, 회전축(10c, 10d)의 회전각 및 회전 방향을 적절하게 제어함으로써 로봇 핸드(12b)가 신축 및 선회 가능하게 된다. 또한, 로봇 핸드(12a, 12b)는 도시하지 않은 모터의 제어에 의해 승강이 가능하게 된다.
본 실시 형태에서는, 반송 로봇(1)에 의해, 예를 들어, 로드락실(A)에 투입된 기판(S)이 처리실(C)로 반송되고, 처리실(C)에서 처리가 수행된 기판(S)이 처리실(E)로 반송되고, 처리실(E)에서 처리가 수행된 기판(S)이 로드락실(A)로 반환된다. 마찬가지로, 로드락실(B)에 투입된 기판(S)은 처리실(D) 및 처리실(F)에서 순차적으로 처리가 수행된 후, 로드락실(B)로 반환된다.
또한, 검지 수단(2)으로서는, 예를 들어, 레이저 센서나 LED 섬유 센서 등의 공지 구조를 가지는 광학 센서나, CCD 카메라 등의 시각 센서가 이용된다. 본 실시 형태에서는, 검지 수단(2)으로서, 레이저 투광기(21) 및 수광기(22)로 이루어지는 투과식의 레이저 센서를 이용한 경우를 예로 들어 설명한다. 또한, 광학 센서로서는, 반사식의 것을 이용할 수도 있다.
다음으로, 반송 로봇(1)의 제어 방법에 대해 설명한다. 본 발명의 반송 로봇(1)의 제어 방법은 하나의 처리실에 존재하는 기판을 다른 처리실의 소정 위치(예를 들어, 기판 스테이지(Cs))에 반송할 때의 반송 로봇의 일련의 동작을 1개의 커맨드로 행하는 점에 특징을 가진다.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하면서, 처리실(C)에 존재하는 기판(S2)을 처리실(E)의 소정 위치에 반송할 때의 반송 로봇(1)의 일련의 동작을 1개의 커맨드로 행하는 예에 대해 설명한다. 도 3은 도 2의 (A) 내지 (J)에 도시한 반송 로봇(1)의 동작을 스텝마다 정리한 것이다.
여기서, 도 2에 도시하는 기판(S1)은 기판(S2)보다 먼저 처리실(C)에 반송되고, 처리실(C)에서 처리가 수행된 후에 처리실(E)에 반송된 것이다. 기판(S2)은 기판(S1) 다음으로 처리실(C)에 반송되고, 처리실(C)에서 처리가 수행된 기판이다. 기판(S3)은 기판(S2)이 처리실(C)로부터 꺼내어진 후에 처리실(C)에 반송되는 미처리 기판이다. 즉, 기판(S1), 기판(S2), 기판(S3)의 순서로 처리실(C)에서 처리가 수행되고, 그 후, 처리실(E)에서 처리가 수행된다. 또한, 도 2에서의 모터 회전 중심(Cr)의 좌측에 도시한 하방향 또는 상방향의 화살표는 반송 로봇(1)의 하강 동작 또는 상승 동작을 도시하고 있다.
우선, 도 2의 (A)에 도시한 바와 같이, 처리실(C)의 도시를 생략하는 기판 스테이지(Cs)까지 로봇 핸드(12b)가 신장한 상태에서, 호스트 컴퓨터(4)로부터 반송 로봇(1)으로 1개의 커맨드 "exhchange"가 송신된다. 커맨드 "exchange"를 수신한 반송 로봇(1)은 로봇 핸드(12b)를 상승시켜서, 처리실(C)에서의 처리가 종료한 기판(S2)을 로봇 핸드(12b)에 의해 지지한다. 그리고, 로봇 핸드(12b)를 축소시켜서 기판(S2)을 처리실(C)로부터 꺼낸다(스텝 1).
여기서, 종래 제어에서 이용된 커맨드 "pick"의 동작은 상기 스텝 1에서 완료하고 있지만, 상기 커맨드 "exchange"에 대응하는 반송 로봇(1)의 일련의 동작은 완료하고 있지 않다. 따라서, 이 시점에서는, 반송 로봇(1)은 동작 완료 신호를 생성하지 않는다.
또한, 로봇 핸드(12b)의 선단이 처리실(C)로 지향하고, 또한, 축소된 상태에서, 상기 커맨드 "exchange"가 호스트 컴퓨터(4)로부터 반송 로봇(1)으로 송신되어도 좋다.
다음으로, 미처리의 기판(S3)을 처리실(C)에 장착하기 위하여, 도 2의 (B)에 도시한 바와 같이, 기판(S3)을 지지하는 로봇 핸드(12a)의 선단이 처리실(C)로 지향하도록 로봇 핸드(12a)를 선회시킨다(스텝 2). 그 후, 도 2의 (C)에 도시한 바와 같이, 기판(S3)을 지지한 로봇 핸드(12a)를 처리실(C)의 기판 스테이지(Cs)까지 신장하고, 로봇 핸드(12a)를 하강시킨다(스텝 3). 이것에 의해, 기판(S3)이 처리실(C)의 기판 스테이지(Cs)에 장착된다. 그 후, 도 2의 (D)에 도시한 바와 같이, 로봇 핸드(12a)를 축소시킨다(스텝 4).
다음으로, 처리실(E)에서의 처리가 종료한 기판(S1)을 꺼내기 위하여, 도 2의 (E)에 도시한 바와 같이, 기판을 지지하고 있지 않은 로봇 핸드(12a)의 선단이 처리실(E)로 지향하도록, 로봇 핸드(12a)를 선회시킨다(스텝 5).
그 후, 도 2의 (F)에 도시한 바와 같이, 처리실(E)의 기판 스테이지(Cs)까지 로봇 핸드(12a)를 신장한다(스텝 6). 그리고, 도 2의 (G)에 도시한 바와 같이, 로봇 핸드(12a)를 상승시켜서 기판(S1)을 로봇 핸드(12a)에 의해 지지한 후, 로봇 핸드(12a)를 축소시킨다(스텝 7). 이것에 의해, 기판(S1)이 처리실(E)로부터 꺼내진다.
다음으로, 기판(S2)을 처리실(E)에 장착하기 위하여, 도 2의 (H)에 도시한 바와 같이, 기판(S2)을 지지하는 로봇 핸드(12b)의 선단이 처리실(E)을 지향하도록, 로봇 핸드(12b)를 선회시킨다(스텝 8).
여기서, 종래 제어에서 이용된 커맨드 "go to"의 동작은 상기 스텝 8에서 완료하고 있지만, 상기 커맨드 "exchange"에 대응하는 반송 로봇(1)의 일련의 동작은 완료하고 있지 않다. 따라서, 이 시점에서는, 반송 로봇(1)은 동작 완료 신호를 생성하지 않는다.
다음으로, 도 2의 (I)에 도시한 바와 같이, 처리실(E)의 기판 스테이지(Cs)까지 로봇 핸드(12b)를 신장한다(스텝 9). 그 후, 도 2의 (J)에 도시한 바와 같이, 로봇 핸드(12b)를 하강시킨다(스텝 10). 이것에 의해, 처리실(E)의 기판 스테이지(Cs)에 기판(S2)이 장착된다. 스텝 10의 종료에 의해, 상기 커맨드 "exchange"에 대응하는 반송 로봇(1)의 일련의 동작이 완료된다. 따라서, 반송 로봇(1)은 동작 완료 신호를 생성하고, 생성한 동작 완료 신호를 호스트 컴퓨터(4)에 송신한다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 처리실(C)에 존재하는 기판(S2)을 처리실(E)의 기판 스테이지(Cs)에 반송할 때의 반송 로봇(1)의 일련의 동작이 1개의 커맨드 "exchange"로 행해진다. 이 커맨드 "exchange"에 대응하는 반송 로봇(1)의 일련의 동작이 완료하였을 때에, 반송 로봇(1)으로부터 호스트 컴퓨터(4)에 동작 완료 신호가 송신된다. 따라서, 이 일련의 동작을 복수의 커맨드로 행하는 경우에 비해, 반송 로봇(1)과 호스트 컴퓨터(4)와의 사이의 통신 횟수를 삭감할 수 있고, 반송 로봇(1)과 호스트 컴퓨터(4)와의 사이의 통신 시간을 대폭 단축할 수 있다. 그 결과, 기판(S)의 반송 시간을 단축할 수 있고, 처리 장치의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 일련의 동작은 처리실(C)에서의 스왑 동작, 즉, 로봇 핸드(12b)에 의해 처리실(C)로부터 기판(S2)을 꺼낸 후에 다른 로봇 핸드(12a)에 의해 처리실(C)에 미처리 기판(S3)을 장착하는 동작을 포함하고 있지만, 처리실(C)로의 기판(S3)의 장착은 반드시 행하지 않아도 좋다. 즉, 처리실(C)에 존재하는 기판(S2)을 처리실(E)의 기판 스테이지(Cs)에 반송할 때의 반송 로봇(1)의 일련의 동작을 1개의 커맨드로 행함으로써, 상기 효과를 실현할 수 있다.
그런데, 상술한 바와 같이, 처리 장치의 반송실(T)과 각 처리실(C 내지 F)과의 경계는 격리 밸브(3)에 의해 격리되어 있다. 이 때문에, 로봇 핸드(12a, 12b)를 신축시킬 때에는, 격리 밸브(3)를 열 필요가 있다. 그 한편으로, 로봇 핸드(12a, 12b)를 축소시킨 후, 격리 밸브(3)는 닫을 필요가 있다. 특히, 처리실(C 내지 F)에 미처리 기판을 반입하여도, 격리 밸브(3)를 닫지 않으면, 이 미처리 기판에 대한 처리를 개시할 수 없다.
여기서, 종래의 처리 장치에서는, 1개의 커맨드로 실행되는 로봇 핸드의 각 동작이 종료할 때마다, 반송 로봇으로부터 호스트 컴퓨터에 동작 완료 신호가 송신되거나, 혹은, 호스트 컴퓨터가 동작 완료 신호를 생성하고 있었다. 동작 완료 신호를 수신 혹은 생성한 호스트 컴퓨터는 검지 수단에 의해 로봇 핸드 상의 기판의 유무를 검지하고, 그 검지 결과에 기초하여 반송이 정상적으로 행해진 것을 확인한 후, 격리 밸브를 닫고 있었다.
이것에 대하여, 본 실시 형태에서는, 1개의 커맨드로 반송 로봇(1)의 일련의 동작이 실행되고, 일련의 동작이 완료할 때까지 동작 완료 신호가 생성되지 않는다. 이 때문에, 종래와 마찬가지의 방법으로 격리 밸브(3)를 닫고자 하면, 일련의 동작이 완료할 때까지 로봇 핸드(12a, 12b) 상의 기판(S)의 유무가 검지되지 않고, 격리 밸브(3)를 닫을 수가 없다. 그 결과, 도 4에 도시한 바와 같이, 처리실(C 내지 F) 내에 미처리의 기판(S)을 삽입하고 나서 격리 밸브(3)를 닫을 때까지의 시간이 손실되어, 결과적으로 처리 장치의 스루풋이 저하될 가능성이 있다.
따라서, 본 실시 형태에서는, 반송 로봇(1)의 일련의 동작 중에, 검지 수단(2)에 의해 로봇 핸드(12a, 12b) 상의 기판(S)의 유무를 검지할 수 있도록 한다. 예를 들어, 로봇 핸드(12a, 12b)의 축소 동작이 종료되었을 때에 검지 수단(2)에 의해 로봇 핸드(12a, 12b) 상의 기판(S)의 유무를 검지할 수 있도록 한다. 상세하게는, 로봇 핸드(12a, 12b)가 축소 조작을 종료하였을 때, 모터(10)의 엔코더(encoder) 신호 등에 기초하여 반송 로봇(1)이 기판(S)의 유무의 검지가 가능한 상태인 것을 나타내는 신호, 즉, 처리실(C 내지 F)의 격리 밸브(3)를 닫을 수 있는 상태인 것을 나타내는 신호를 생성하고, 이 생성한 신호를 호스트 컴퓨터(4)에 송신한다. 또한, 이 신호를 호스트 컴퓨터(4)가 생성하여도 좋다.
이 신호를 수신 혹은 생성한 호스트 컴퓨터(4)는 반송 로봇(1)의 일련의 동작의 완료를 기다리지 않고, 검지 수단(2)에 의해 로봇 핸드(12a, 12b) 상의 기판(S)의 유무를 검지하고, 그 검지 결과에 기초하여 기판(S)이 반입된 처리실(C 내지 F)과 반송실(T)의 격리 밸브(3)를 닫는다.
이것에 의하면, 반송 로봇(1)의 일련의 동작의 완료를 기다리지 않고, 격리 밸브(3)가 닫힐 수 있기 때문에, 미처리 기판(S)이 반입된 처리실(C 내지 F)에서 조기에 처리를 개시할 수가 있다. 따라서, 도 5에 도시한 바와 같이, 처리실(C 내지 F)에 미처리의 기판(S)을 삽입하고 나서 격리 밸브(3)를 닫을 때까지의 시간의 손실이 없어지고, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또한, 기판(S)을 삽입하고 나서 격리 밸브(3)를 닫을 때까지의 시간의 손실을 없앰으로써, 그 시간을 프로세스 시간으로 할당하여도 좋다. 그 결과, 도 6에 도시한 바와 같이, 스루풋을 저하시키지 않고, 처리실(C 내지 F)에서 프로세스 시간이 긴 처리를 행할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 로봇 핸드(12a, 12b)와 처리실(C 내지 F)의 기판 스테이지(Cs)와의 사이에서 기판(S)을 주고받을 때에, 로봇 핸드(12a, 12b)를 상승 혹은 하강시키고 있지만, 기판 스테이지(Cs)에 설치된 리프트 핀을 상승 혹은 하강시켜도 좋다.
상기 격리 밸브(3) 외에, 처리실(C 내지 F) 내에 적절하게 배치된 리프트 핀이나 쉴드 등의 부품은 기판(S)의 반송 경로에 배치되어 있기 때문에, 기판(S)을 반송할 때의 장해로 될 수 있다. 종래, 반송 경로에 배치된 이들 부품의 작동은 반송 로봇의 각 동작이 완료되는 타이밍에서 행해지고 있었다. 즉, 동작 완료 신호가 생성되는 타이밍에서, 반송 경로 상의 부품을 작동시키고 있었다. 상술한 바와 같이, 본 실시 형태에서는 일련의 동작이 완료될 때까지는 동작 완료 신호를 발생하지 않기 때문에, 상기 격리 밸브(3)를 닫는 타이밍과 같이, 일련의 동작이 완료할 때까지의 사이에 상기 부품을 작동시키면 좋다. 이것에 의해, 기판(S)을 반송할 때에 장해가 되는 부품을 확실하게 작동시킬 수 있다.
또한, 도 7에서 실선 L로 도시한 바와 같이, 로봇 핸드(12)의 신축 동작과 선회 동작이 전환되는 전환점(P)의 전후에서 로봇 핸드(12)의 신축 동작 및 선회 동작이 국소적으로 합성되도록, 반송 로봇(1)을 제어하여도 좋다. 이것에 의해, 전환점(P)에서의 반송 로봇(1)의 정지가 불필요해지기 때문에, 전환점(P)에서 반송 로봇(1)이 정지하는 경우에 비해 반송 로봇(1)이 가속 및 감속을 행하는 시간을 단축할 수 있고, 반송 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이 전환점(P)에서 반송 로봇(1)이 정지하지 않는 경우이어도, 검지 수단(2)을 도 7에 도시한 바와 같은 위치에 배치함으로써, 반송 로봇(1)의 일련의 동작 중에 로봇 핸드(12) 상의 기판(S)의 유무의 검지가 가능해진다.
1 : 반송 로봇 12 : 로봇 핸드
2 : 검지 수단 3 : 격리 밸브
S : 기판 C, D, E, F : 처리실
p : 전환점

Claims (5)

  1. 처리해야 할 기판을 로봇 핸드로 지지한 상태에서 동일 평면 내부를 선회 및 신축 동작시키고, 선회 방향을 따라 배치된 복수의 처리실 중 제 1 처리실로부터 제 2 처리실 사이에서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇의 제어 방법에 있어서,
    상기 제 1 처리실로부터 제 1 기판을 꺼내기 위하여 상기 로봇 핸드를 수축시키는 동작과,
    상기 로봇 핸드의 선단이 상기 제 2 처리실을 지향하도록 상기 로봇 핸드를 선회시키는 동작과,
    상기 제 1 기판을 상기 제 2 처리실로 반송하기 위하여 상기 로봇 핸드를 신장시키는 동작을 포함하며,
    상기 제 1 처리실에 존재하는 기판을 상기 제 2 처리실의 소정의 위치로 반송할 때의 상기 로봇 핸드를 수축시키는 동작과, 상기 로봇 핸드를 선회시키는 동작 및 상기 로봇 핸드를 신장시키는 동작을 포함하는, 상기 반송 로봇의 일련의 동작을 1개의 커맨드(command)로 실행하고,
    상기 반송 로봇은 선회 방향에서 소정의 간격을 두고 설치된 2개의 로봇 핸드를 가지며,
    상기 제어 방법은, 상기 2개의 로봇 핸드 중 하나의 로봇 핸드에 의해 상기 제 1 처리실에 존재하는 상기 제 1 기판을 꺼내면, 상기 제 1 기판을 꺼낸 후, 상기 제 1 기판과는 상이한 제 2 기판을 다른 로봇 핸드에 의해 상기 제 1 처리실의 소정의 위치에 반송하는 동작을 포함하고,
    상기 일련의 동작은, 상기 제 1 기판을 꺼내는 동작과, 상기 제 2 기판을 반송하는 동작을 추가로 포함하며,
    상기 제어 방법은, 상기 일련의 동작 중에 상기 일련의 동작의 완료를 기다리는 일 없이, 상기 제 1 처리실과 상기 반송 로봇이 배치된 반송실과의 사이를 막는 칸막이 밸브를 닫는 신호를 생성하고, 상기 신호는 상기 반송 로봇이 생성하는 것을 특징으로 하는 반송 로봇의 제어 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송 로봇의 상기 로봇 핸드를 수축시키는 동작, 선회시키는 동작 및 신장시키는 동작이 상호 전환되는 전환점의 전후에서, 상기 반송 로봇의 상기 로봇 핸드를 수축시키는 동작, 선회시키는 동작 및 신장시키는 동작이 국소적으로 합성되는 것을 특징으로 하는 반송 로봇의 제어 방법.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 반송 로봇의 상기 일련의 동작 중에 로봇 핸드 상의 기판의 유무를 검지하고, 그 검지 결과에 기초하여, 상기 제 1 처리실에 존재하는 기판을 상기 제 2 처리실에 반송할 때의 반송 경로에 배치된 부품을 작동시키는 것을 특징으로 하는 반송 로봇의 제어 방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 부품이, 상기 복수의 처리실 중 각각의 처리실과 상기 반송 로봇이 배치된 반송실과의 사이를 격리하는 격리 밸브, 상기 반송 로봇과 상기 각각의 처리실에 배치된 기판 스테이지에 기판을 반송할 때에 상하 동작하는 리프트 핀, 및 상기 각각의 처리실에서 보호벽을 형성하는 쉴드로부터 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 반송 로봇의 제어 방법.
  5. 삭제
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