KR102606177B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는 액체 상태의 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판을 세정 챔버에서 반출하여 건조 챔버로 반입하는 습식 핸드, 상기 습식 핸드와 독립적으로 구동되는 건식 핸드 및 상기 습식 핸드와 상기 건식 핸드를 구동하는 로봇 암을 포함하는 이송 로봇 및 상기 이송 로봇을 제어하는 제어기를 포함하고, 상기 로봇 암은 상기 제어기의 제어명령에 따라 상기 건조 챔버에 직전(previous) 공정의 결과물인 제2 기판이 잔류하는지 여부와 무관하게 상기 건조 챔버에 대한 기판 반출 동작 모드가 수행되도록 상기 건식 핸드를 구동한다.
본 발명에 따르면, 세정 챔버에서 반출되는 액체 상태의 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 건조 챔버로 신규 반입하는 과정에서, 신규 반입되는 기판이 이전 공정에서 미반출되어 건조 챔버에 잔류하는 기판과 충돌할 수 있는 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치가 제공되는 효과가 있다.

Description

기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 세정 챔버에서 반출되는 액체 상태의 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 건조 챔버로 신규 반입하는 과정에서, 신규 반입되는 기판이 이전 공정에서 미반출되어 건조 챔버에 잔류하는 기판과 충돌할 수 있는 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에는 리소그래피, 에칭, 이온주입 등의 다양한 공정이 포함되어 있으며, 각 공정의 종료 후, 후속 공정을 진행하기 전에 탈이온수 등의 세정액을 이용하여 기판을 세정한 후 건조시키는 과정이 수행된다.
세정 공정에서 탈이온수를 이용한 린스 후 IPA 등의 유기용제가 공급되어 탈이온수가 유기용제로 치환된 후, 기판은 유기용제에 의해 습윤된(wetted) 상태로 이송 유닛이 설치된 이송 챔버를 통해 건조 공정이 수행되는 건조 챔버로 이송되는 과정이 수행된다.
한편, 종래 기술에 따르면, 건조 챔버 내부로 기판을 안착시키는 과정에서 이전 공정에서 공정상 문제로 인해 건조 챔버 내부에 남아있을 수 있는 기판의 유무를 판단할 수 있는 방법이 없다.
따라서, 만약 기존에 미반출된 기판이 존재 한다면 새로이 공정을 진행하고자 하는 기판과의 충돌이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
공개특허공보 제10-2011-0053817호(공개일자: 2011년 05월 24일, 명칭: 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 그리고 그의 처리 방법) 공개특허공보 제10-2011-0080863호(공개일자: 2011년 07월 13일, 명칭: 웨이퍼 처리 방법, 이를 수행하기 위하여 사용되는 웨이퍼 이송 로봇 및 이의 수행을 위한 웨이퍼 처리 장치)
본 발명의 기술적 과제는 세정 챔버에서 반출되는 액체 상태의 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 건조 챔버로 신규 반입하는 과정에서, 신규 반입되는 기판이 이전 공정에서 미반출되어 건조 챔버에 잔류하는 기판과 충돌할 수 있는 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
보다 구체적으로, 본 발명의 기술적 과제는 건조 챔버 내부에 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 신규 반입하기 전에, 건조 챔버 내부에 미반출된 기판이 존재하는지 여부와 상관없이 로봇 핸드를 이용한 기판 반출 동작을 실시함으로써, 건조 챔버 내부의 미반출 기판의 유무를 판단함과 동시에 기판 충돌 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
이러한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 액체 상태의 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판을 세정 챔버에서 반출하여 건조 챔버로 반입하는 습식 핸드, 상기 습식 핸드와 독립적으로 구동되는 건식 핸드 및 상기 습식 핸드와 상기 건식 핸드를 구동하는 로봇 암을 포함하는 이송 로봇 및 상기 이송 로봇을 제어하는 제어기를 포함하고, 상기 로봇 암은 상기 제어기의 제어명령에 따라 상기 건조 챔버에 직전(previous) 공정의 결과물인 제2 기판이 잔류하는지 여부와 무관하게 상기 건조 챔버에 대한 기판 반출 동작 모드가 수행되도록 상기 건식 핸드를 구동한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 상기 제어기는, 상기 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 상기 제2 기판이 상기 건조 챔버로부터 반출되어 상기 건식 핸드에 위치하는 경우, 현재 공정 상태를 상기 건조 챔버에 직전 공정의 결과물인 제2 기판이 잔류하는 기판 잔류 상태인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 상기 제어기는, 상기 현재 공정 상태가 상기 기판 잔류 상태인 것으로 판단된 경우, 상기 습식 핸드가 상기 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판을 상기 건조 챔버로 반입하도록 제어하고, 상기 건식 핸드가 상기 건조 챔버에서 반출한 제2 기판을 버퍼부로 반입하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 상기 제어기는, 상기 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 상기 제2 기판이 상기 건식 핸드에 위치하지 않는 경우, 현재 공정 상태를 상기 건조 챔버에 직전 공정의 결과물인 제2 기판이 잔류하지 않는 기판 미잔류 상태인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 상기 제어기는, 상기 현재 공정 상태가 상기 기판 미잔류 상태인 것으로 판단된 경우, 상기 습식 핸드가 상기 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판을 상기 건조 챔버로 반입하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 상기 제어기는, 상기 기판 반출 동작 모드의 수행 이전에, 상기 건식 핸드가 상기 유기용제로 습윤되지 않은 미처리 상태의 제1 기판을 버퍼부에서 반출하여 상기 세정 챔버로 반입하도록 제어하고, 상기 습식 핸드가 상기 세정 챔버에서 수행되는 세정 공정에 따라 상기 유기용제로 습윤된 제1 기판을 상기 세정 챔버에서 반출하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 상기 유기용제는 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol, IPA)을 포함하고, 상기 건조 챔버에서는 초임계유체를 이용한 건조 공정이 수행되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 세정 챔버에서 반출되는 액체 상태의 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 건조 챔버로 신규 반입하는 과정에서, 신규 반입되는 기판이 이전 공정에서 미반출되어 건조 챔버에 잔류하는 기판과 충돌할 수 있는 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치가 제공되는 효과가 있다.
보다 구체적으로, 건조 챔버 내부에 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 신규 반입하기 전에, 건조 챔버 내부에 미반출된 기판이 존재하는지 여부와 상관없이 로봇 핸드를 이용한 기판 반출 동작을 실시함으로써, 건조 챔버 내부의 미반출 기판의 유무를 판단함과 동시에 기판 충돌 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 이송 로봇의 예시적인 구성을 개념적으로 나타낸 도면이고,
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 현재 공정 상태가 기판 잔류 상태로 판단된 경우에 수행되는 공정 절차를 예시적으로 나타낸 도면이고,
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 현재 공정 상태가 기판 미잔류 상태로 판단된 경우에 수행되는 공정 절차를 예시적으로 나타낸 도면이다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 이송 로봇의 예시적인 구성을 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 장치(5)는 이송 로봇(10) 및 제어기(20)를 포함한다.
이하의 설명에서, 제1 기판(W1)은 현재 공정의 대상이 되는 기판이고, 제2 기판(W2)은 현재 공정에 선행하는 직전(previous) 공정의 결과물로서 건조 챔버(3)에 잔류할 수도 있는 기판이다. 또한, 건조 챔버(3)는 초임계 건조 방식에 따른 기판 건조가 수행되는 챔버이고, 유기용제는 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol, IPA)일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다.
이송 로봇(10)은 제어기(20)의 제어에 따라 기판을 이송하는 구성요소이다.
구체적으로, 이송 로봇(10)은 리소그래피, 에칭, 이온주입 등의 다양한 공정을 통해 패턴이 형성된 기판을 버퍼부(1)에서 반출하여 세정 챔버(2)로 반입하고, 세정 챔버(2)에서 수행되는 세정공정에 의해 유기용제로 습윤된 기판을 반출하여 건조 챔버(3)로 반입하고, 건조 챔버(3)에서 수행되는 건조공정에 의해 건조된 기판을 반출하여 버퍼부(1)로 반입하는 구성요소이다.
기판이 세정 챔버(2)로 반입된 후, 세정 챔버(2)에서는 정해진 세정 레시피에 따라 기판에 대한 세정공정이 수행된다. 예를 들어, 세정 챔버(2)에서는 기판의 표면에 세정 처리를 위한 약액이 공급되는 공정, 탈이온수(deionized water, DIW)가 공급되어 린스(rinse) 처리가 수행되는 공정, 린스 처리 후 기판의 표면에 남아있는 탈이온수를 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol, IPA)과 같은 유기용제로 치환하는 공정이 순차적으로 수행될 수 있다. 물론, 세정 챔버(2)에서 수행될 수 있는 구체적인 공정이 이에 한정되지는 않는다.
기판이 건조 챔버(3)로 반입된 후, 건조 챔버(3)에서는 정해진 건조 레시피에 따라 기판에 대한 건조공정이 수행된다. 예를 들어, 건조 챔버(3)에서는 초임계상태의 이산화탄소를 이용하여 기판에 습윤된 유기용제를 용해하여 외부로 배출하는 방식으로 기판을 건조할 수 있으나, 건조 챔버(3)에서 수행될 수 있는 구체적인 공정이 이에 한정되지는 않는다.
이송 로봇(10)은 습식 핸드(230), 건식 핸드(220) 및 로봇 암(210)을 포함하여 구성될 수 있다.
습식 핸드(230)는 액체 상태의 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판(W1)을 세정 챔버(2)에서 반출하여 건조 챔버(3)로 반입하는 구성요소이다. 예를 들어, 습식 핸드(230)는 건식 핸드(220)의 하부에 위치하도록 구성될 수 있다.
건식 핸드(220)는 습식 핸드(230)와 독립적으로 구동되는 구성요소이며, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
로봇 암(210)은 제어기(20)로부터의 제어명령에 따라 습식 핸드(230)와 건식 핸드(220)를 구동하는 구성요소이다.
이러한 로봇 암(210)은 제어기(20)의 제어명령에 따라 건조 챔버(3)에 직전(previous) 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하는지 여부와 무관하게 건조 챔버(3)에 대한 기판 반출 동작 모드가 수행되도록 건식 핸드(220)를 구동한다.
구체적으로, 로봇 암(210)은 건식 핸드(220)와 습식 핸드(230)의 위치와 자세 등을 제어함으로써 기판이 목표 위치로 이송되도록 한다.
예를 들어, 로봇 암(210)은 건식 핸드(220)를 구동하여 버퍼부(1)에서 세정 챔버(2)로 처리되지 않은 제1 기판(W1)을 반입하고, 습식 핸드(230)를 구동하여 세정 후 액체 상태의 유기용제로 습윤된 제1 기판(W1)을 세정 챔버(2)에서 반출하고, 건식 핸드(220)를 구동하여 건조 챔버(3)에 직전(previous) 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하는지 여부와 무관하게 건조 챔버(3)에 대한 기판 반출 동작 모드가 수행되도록 하고, 기판 반출 동작 모드가 수행된 후 습식 핸드(230)를 구동하여 유기용제로 습윤된 제1 기판(W1)을 건조 챔버(3)로 반입하고, 초임계 건조가 끝난 후 건식 핸드(220)를 구동하여 건조 챔버(3)에서 제1 기판(W1)을 반출하여 버퍼부(1)로 반입하도록 구성될 수 있다.
기판이 건식 핸드(220)와 습식 핸드(230)에 장착되는 방식은 공지의 다양한 방식이 적용될 수 있다. 예를 들어, 건식 핸드(220)에는 기판을 그립하는 구조물이 구비되도록 구성될 수 있으며, 습식 핸드(230)는 "ㄷ" 형상을 갖는 플레이트로 구성되고, 습식 핸드(230)가 기판의 하면으로 이동한 후 기판을 들어 올리면 기판은 자신의 하중에 의해 습식 핸드(230)에서 이탈되지 않도록 지지되는 방식으로 장착될 수 있다.
예를 들어, 제어기(20)는 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 직전 공정의 결과물로 건조 챔버(3)에 잔류하던 제2 기판(W2)이 건조 챔버(3)로부터 반출되어 건식 핸드(220)에 위치하는 경우, 현재 공정 상태를 건조 챔버(3)에 직전 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하는 기판 잔류 상태인 것으로 판단하도록 구성될 수 있다.
현재 공정 상태가 기판 잔류 상태인 것으로 판단된 경우, 제어기(20)는 습식 핸드(230)가 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판(W1)을 건조 챔버(3)로 반입하도록 제어하고, 건식 핸드(220)가 건조 챔버(3)에서 반출한 제2 기판(W2)을 버퍼부(1)로 반입하도록 제어할 수 있다.
또한, 예를 들어, 제어기(20)는 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 제2 기판(W2)이 건식 핸드(220)에 위치하지 않는 경우, 현재 공정 상태를 건조 챔버(3)에 직전 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하지 않는 기판 미잔류 상태인 것으로 판단하도록 구성될 수 있다.
현재 공정 상태가 기판 미잔류 상태인 것으로 판단된 경우, 제어기(20)는 습식 핸드(230)가 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판(W1)을 건조 챔버(3)로 반입하도록 제어할 수 있다.
예를 들어, 제어기(20)는, 기판 반출 동작 모드의 수행 이전에, 건식 핸드(220)가 유기용제로 습윤되지 않은 미처리 상태의 제1 기판(W1)을 버퍼부(1)에서 반출하여 상기 세정 챔버(2)로 반입하도록 제어하고, 습식 핸드(230)가 세정 챔버(2)에서 수행되는 세정 공정에 따라 유기용제로 습윤된 제1 기판(W1)을 세정 챔버(2)에서 반출하도록 제어할 수 있다.
이하에서는, 도 3 내지 도 6을 추가로 참조하여, 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 현재 공정 상태가 기판 잔류 상태로 판단된 경우 및 기판 미잔류 상태로 판단된 경우에 수행되는 공정 절차를 구체적이고 예시적으로 설명한다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 현재 공정 상태가 기판 잔류 상태로 판단된 경우에 수행되는 공정 절차를 예시적으로 나타낸 도면이다.
먼저, 도 3을 참조하면, 로봇 암(210)이 제어기(20)의 제어명령에 따라 건조 챔버(3)에 직전(previous) 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하는지 여부와 무관하게 건조 챔버(3)에 대한 기판 반출 동작 모드가 수행되도록 건식 핸드(220)를 구동한다.
도 3에 개시된 예는 건조 챔버(3)에 직전 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하는 케이스이며, 제어기(20)는 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 직전 공정의 결과물로 건조 챔버(3)에 잔류하던 제2 기판(W2)이 건조 챔버(3)로부터 반출되어 건식 핸드(220)에 위치하는 경우, 현재 공정 상태를 건조 챔버(3)에 직전 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하는 기판 잔류 상태인 것으로 판단한다.
다음으로, 도 4를 참조하면, 현재 공정 상태가 기판 잔류 상태인 것으로 판단되었으므로, 제어기(20)는 습식 핸드(230)가 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판(W1)을 건조 챔버(3)로 반입하도록 제어하고, 건식 핸드(220)가 건조 챔버(3)에서 반출한 제2 기판(W2)을 버퍼부(1)로 반입하도록 제어한다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 현재 공정 상태가 기판 미잔류 상태로 판단된 경우에 수행되는 공정 절차를 예시적으로 나타낸 도면이다.
먼저, 도 5를 참조하면, 로봇 암(210)이 제어기(20)의 제어명령에 따라 건조 챔버(3)에 직전(previous) 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하는지 여부와 무관하게 건조 챔버(3)에 대한 기판 반출 동작 모드가 수행되도록 건식 핸드(220)를 구동한다.
도 5에 개시된 예는 건조 챔버(3)에 직전 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하지 않는 케이스이며, 제어기(20)는 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 제2 기판(W2)이 건식 핸드(220)에 위치하지 않는 경우, 현재 공정 상태를 건조 챔버(3)에 직전 공정의 결과물인 제2 기판(W2)이 잔류하지 않는 기판 미잔류 상태인 것으로 판단한다.
다음으로, 도 6을 참조하면, 현재 공정 상태가 기판 미잔류 상태인 것으로 판단되었으므로, 제어기(20)는 습식 핸드(230)가 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판(W1)을 건조 챔버(3)로 반입하도록 제어한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 세정 챔버에서 반출되는 액체 상태의 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 건조 챔버로 신규 반입하는 과정에서, 신규 반입되는 기판이 이전 공정에서 미반출되어 건조 챔버에 잔류하는 기판과 충돌할 수 있는 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치가 제공되는 효과가 있다.
보다 구체적으로, 건조 챔버 내부에 유기용제가 습윤되어 있는 기판을 신규 반입하기 전에, 건조 챔버 내부에 미반출된 기판이 존재하는지 여부와 상관없이 로봇 핸드를 이용한 기판 반출 동작을 실시함으로써, 건조 챔버 내부의 미반출 기판의 유무를 판단함과 동시에 기판 충돌 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
1: 버퍼부
2: 세정 챔버
3: 건조 챔버
5: 기판 이송 장치
10: 이송 로봇
20: 제어기
210: 로봇 암
220: 건식 핸드
230: 습식 핸드
W: 기판
W1: 제1 기판
W2: 제2 기판

Claims (7)

  1. 액체 상태의 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판을 세정 챔버에서 반출하여 건조 챔버로 반입하는 습식 핸드, 상기 습식 핸드와 독립적으로 구동되는 건식 핸드 및 상기 습식 핸드와 상기 건식 핸드를 구동하는 로봇 암을 포함하는 이송 로봇; 및
    상기 이송 로봇을 제어하는 제어기를 포함하고,
    상기 로봇 암은 상기 제어기의 제어명령에 따라 상기 건조 챔버에 직전(previous) 공정의 결과물인 제2 기판이 잔류하는지 여부와 무관하게 상기 건조 챔버에 대한 기판 반출 동작 모드가 수행되도록 상기 건식 핸드를 구동하고,
    상기 제어기는,
    상기 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 상기 제2 기판이 상기 건조 챔버로부터 반출되어 상기 건식 핸드에 위치하는 경우, 현재 공정 상태를 상기 건조 챔버에 직전 공정의 결과물인 제2 기판이 잔류하는 기판 잔류 상태인 것으로 판단하고, 상기 현재 공정 상태가 상기 기판 잔류 상태인 것으로 판단된 경우, 상기 습식 핸드가 상기 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판을 상기 건조 챔버로 반입하도록 제어하고, 상기 건식 핸드가 상기 건조 챔버에서 반출한 제2 기판을 버퍼부로 반입하도록 제어하고,
    상기 기판 반출 동작 모드의 수행 결과 상기 제2 기판이 상기 건식 핸드에 위치하지 않는 경우, 현재 공정 상태를 상기 건조 챔버에 직전 공정의 결과물인 제2 기판이 잔류하지 않는 기판 미잔류 상태인 것으로 판단하고, 상기 현재 공정 상태가 상기 기판 미잔류 상태인 것으로 판단된 경우, 상기 습식 핸드가 상기 유기용제로 습윤되어 있는 제1 기판을 상기 건조 챔버로 반입하도록 제어하는, 기판 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 기판 반출 동작 모드의 수행 이전에,
    상기 건식 핸드가 상기 유기용제로 습윤되지 않은 미처리 상태의 제1 기판을 버퍼부에서 반출하여 상기 세정 챔버로 반입하도록 제어하고,
    상기 습식 핸드가 상기 세정 챔버에서 수행되는 세정 공정에 따라 상기 유기용제로 습윤된 제1 기판을 상기 세정 챔버에서 반출하도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 기판 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 유기용제는 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol, IPA)을 포함하고,
    상기 건조 챔버에서는 초임계유체를 이용한 건조 공정이 수행되는 것을 특징으로 하는, 기판 이송 장치.
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