KR101566845B1

KR101566845B1 - 요동형 액츄에이터

Info

Publication number: KR101566845B1
Application number: KR1020140008820A
Authority: KR
Inventors: 나오키 쿠로사와; 신타로 이시카와
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2013-01-30
Filing date: 2014-01-24
Publication date: 2015-11-13
Also published as: JP2014145470A; TW201502383A; CN103967861A; CN103967861B; US20140208936A1; KR20140097985A; JP5777034B2; TWI596282B; US9574580B2; DE102014100376A1

Abstract

(과제) 샤프트의 요동 기점 위치를 간단하게 변경할 수 있는 요동형 액츄에이터를 얻는다.
(해결 수단) 압축공기의 작용으로 샤프트(4)가 축선(L)을 중심으로 일정한 각도 범위 요동 회전하도록 구성된 액츄에이터 본체(2)와, 그 액츄에이터 본체(2)를 부하 장치에 고정하기 위한 고정 플레이트(3)를 갖고, 상기 액츄에이터 본체(2)와 고정 플레이트(3)는 연결 기구(4)에 의해 서로의 위치를 상기 샤프트(4)의 회전 방향으로 상대적으로 변경 가능도록 연결되고, 서로의 위치의 변경에 의해 상기 샤프트(4)의 요동 기점 위치가 변경 가능하다.

Description

요동형 액츄에이터{OSCILLATING ACTUATOR}

본 발명은 압축공기의 작용으로 샤프트가 축선을 중심으로 일정한 각도 범위 요동 회전하도록 구성된 요동형 액츄에이터에 관한 것이다.

이러한 종류의 요동형 액츄에이터로서, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 베인(vane)형 요동형 액츄에이터가 종래부터 잘 알려져 있다. 이 베인형 요동형 액츄에이터는 원통형을 한 바디의 내부에, 샤프트에 부착된 베인과 그 베인의 회전 각도 범위를 결정하는 고정벽을 설치하고, 포트로부터 압축공기를 상기 베인의 양측 압력실에 교대로 급배함으로써 그 베인을 요동 회전시켜서 그 요동 운동을 상기 샤프트로부터 출력하고, 그 샤프트에서 로봇 핸드나 반송 테이블 등의 부하를 소정의 각도 요동 회전시키는 것이다.

상기 요동형 액츄에이터는 상기 부하를 갖는 장치(부하 장치)에 나사 등에 의해 일정한 방향으로 고정되고, 상기 샤프트를 상기 부하에 연결한 상태에서 사용되지만, 부하 장치에 따라서는 상기 요동형 액츄에이터를 부착했을 때 샤프트의 요동 기점 위치가 부하의 요동 기점 위치와 맞지 않을 경우나, 다른 작업 공정을 행할 때에 부하의 요동 기점 위치를 변경하지 않으면 안될 경우 등이 있고, 이러한 경우에는 상기 요동형 액츄에이터의 샤프트의 요동 기점 위치를 부하의 요동 기점 위치에 맞춰서 조정할 수 있게 해 두는 것이 바람직하다.

그것을 위해서는, 예를 들면 부하 장치에 대한 요동형 액츄에이터의 설치 자세를 샤프트의 회전 방향으로 변경할 수 있게 해 두면 좋지만, 그 변경을 간단하게 실현할 수 있는 기술방안은 지금까지 제안되어 있지 않다. 또한, 상기 부하 장치 자체를 요동형 액츄에이터의 설치 자세의 변경이 가능도록 구성하는 것은 구조의 복잡화나 고비용화 등을 초래하게 되기 때문에 바람직한 것은 아니고, 요동형 액츄에이터측에서 샤프트의 요동 기점 위치를 변경할 수 있게 하는 것이 요구된다.

일본국 실용신안 공개 소 60-192286호 공보

본 발명의 기술적 과제는 샤프트의 요동 기점 위치를 간단하게 변경할 수 있는 합리적 설계 구조를 구비한 요동형 액츄에이터를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의하면 압축공기의 작용으로 샤프트가 축선을 중심으로 일정한 각도 범위 요동 회전하도록 구성된 액츄에이터 본체와, 그 액츄에이터 본체를 부하 장치에 고정하기 위한 고정 플레이트를 갖고, 상기 액츄에이터 본체와 고정 플레이트는 연결 기구에 의해 서로의 위치를 상기 샤프트의 회전 방향으로 상대적으로 변경 가능도록 연결되어 있어서 서로의 위치의 변경에 의해 상기 샤프트의 요동 기점 위치가 변경 가능한 것을 특징으로 하는 회전형 액츄에이터가 제공된다.

본 발명에 있어서 상기 고정 플레이트는, 상기 액츄에이터 본체의 상기 샤프트가 돌출되는 플레이트 설치면에 연결되어 있고, 그 고정 플레이트에는 샤프트 도출 구멍이 형성되며, 그 샤프트 도출 구멍으로부터 상기 샤프트가 그 고정 플레이트의 외부로 도출되어 있고, 상기 연결 기구는 상기 액츄에이터 본체의 상기 플레이트 설치면에 상기 축선을 중심으로 해서 원주 방향으로 소정의 간격으로 배치된 복수의 나사 구멍과, 상기 고정 플레이트에 상기 축선을 중심으로 해서 원주 방향으로 소정의 간격으로 배치된 복수의 나사 삽입 구멍과, 그 나사 삽입 구멍에 삽입되어서 상기 나사 구멍에 나사 결합되는 복수의 연결 나사로 이루어져 있고, 상기 나사 구멍의 수는 상기 나사 삽입 구멍의 수의 정수배이며, 상기 연결 나사의 수는 상기 나사 삽입 구멍의 수와 동수이다.

본 발명의 하나의 실시형태에 의하면, 상기 고정 플레이트에 2개의 나사 삽입 구멍을 1세트로 하는 그 나사 삽입 구멍이 1세트 형성되고, 상기 액츄에이터 본체에는 상기 2개의 나사 삽입 구멍과 같은 배치의 2개의 나사 구멍을 1세트로 하는 그 나사 구멍이 상기 축선의 주위의 다른 위치에 복수세트 형성된다.

이 경우, 상기 1세트의 나사 삽입 구멍 및 상기 1세트의 나사 구멍은 각각, 상기 축선에 대하여 대칭을 이루는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 다른 실시형태에 의하면, 상기 고정 플레이트에는 3개의 나사 삽입 구멍을 1세트로 하는 그 나사 삽입 구멍이 1세트 형성되고, 상기 액츄에이터 본체에는 상기 1세트의 나사 삽입 구멍과 같은 배치의 3개의 나사 구멍을 1세트로 하는 그 나사 구멍이 1세트 이상 형성되어 있다.

이 경우, 상기 1세트의 나사 삽입 구멍 및 상기 1세트의 나사 구멍은 각각, 상기 축선의 주위에 120도 간격으로 배치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 있어서 상기 고정 플레이트는 상기 부하 장치에 고정하기 위한 고정 나사가 삽입되는 복수의 고정 구멍을 갖고, 그 고정 구멍은 상기 고정 플레이트를 상기 축선과 평행하게 관통하는 세로 고정 구멍과, 상기 고정 플레이트를 상기 축선과 직각으로 관통하는 가로 고정 구멍을 갖는 것이 바람직하다.

이 경우에, 2개의 상기 가로 고정 구멍이 상기 샤프트와 상기 2개의 나사 삽입 구멍을 끼우는 위치에 서로 평행을 이루도록 형성된다.

(발명의 효과)

본 발명에 의하면, 고정 플레이트에 대한 액츄에이터 본체의 연결 위치를 샤프트의 회전 방향으로 변경함으로써 상기 샤프트의 요동 기점 위치를 간단하게 변경할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 요동형 액츄에이터의 사용 상태를 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1의 요동형 액츄에이터의 사시도이다.
도 3은 액츄에이터 본체와 고정 플레이트를 분리해서 나타내는 사시도이다.
도 4의 (a)-(h)는, 도 1 내지 도 3에 나타내는 요동형 액츄에이터의 샤프트의 요동 기점 위치를 변경한 상태의 평면도이다.

도 1은 본 발명에 의한 요동형 액츄에이터의 사용 형태의 일례를 나타내는 측면도이다. 이 요동형 액츄에이터(1)는 도 2 및 도 3으로부터도 분명하게 나타나 있는 바와 같이, 압축공기의 작용으로 샤프트(4)가 그 샤프트(4)의 축선(L)을 중심으로 일정한 각도 범위 요동 회전하도록 구성된 액츄에이터 본체(2)와, 그 액츄에이터 본체(2)를 부하 장치(30)에 부착하기 위한 고정 플레이트(3)를 연결 기구(5)로 서로 연결한 것으로, 상기 고정 플레이트(3)를 부하 장치(30)에 고정 나사(6)로 고정하고, 상기 샤프트(4)에 로봇 핸드나 반송 테이블 등의 부하(31)를 연결하며, 그 부하(31)를 상기 샤프트(4)에서 소정의 각도 요동 회전시키는 것이다.

상기 액츄에이터 본체(2)는 베인형 요동형 액츄에이터로서의 구성을 갖는 것으로, 원통형을 한 바디(7)의 내부에 상기 샤프트(4)에 부착된 베인(도시하지 않음)과 그 베인의 요동 각도 범위를 결정하는 고정벽(도시하지 않음)을 설치하고, 상기 베인의 양측 압력실에 포트(8a, 8b)를 통해서 압축공기를 교대로 급배함으로써 상기 베인을 요동 회전시켜서 그 요동 운동을 상기 샤프트(4)로부터 출력하는 것이다.

도시한 액츄에이터 본체(2)는, 도 4에 나타내는 바와 같이 상기 샤프트(4)가 90도의 각도 범위를 요동 회전하도록 구성되어 있고, 그 각도 범위의 일단측이 요동 기점 위치(A), 타단측이 요동 종점 위치(B)이다. 상기 샤프트(4)의 측면에는 평탄면(4a)이 형성되고, 그 평탄면(4a)은 상기 샤프트(4)가 요동 운동을 개시하기 전의 초기 상태에서 상기 요동 기점 위치(A)를 향하고 있다. 따라서, 이 평탄면(4a)에 의해 상기 요동 기점 위치(A)의 방향을 알 수 있다. 그러나, 상기 샤프트(4)의 요동 각도 범위는 90도 이상이어도 90도 이하이어도 좋다.

또한, 상기 베인형 요동형 액츄에이터의 내부 구조는 이미 공지이며, 본 실시형태의 액츄에이터 본체(2)도 공지의 내부 구조를 구비하고 있고, 또한 이 내부 구조 자체는 본 발명의 요지와 직접 관계가 없으므로, 상기 액츄에이터 본체(2)의 내부 구조에 관한 더 이상의 구체적인 설명은 생략한다.

상기 액츄에이터 본체(2)의 바디(7)의 측면에는 평평한 접속 포트면(10a)를 갖는 포트 형성부(10)가 설치되고, 그 포트 형성부(10)의 접속 포트면(10a)에 상기 포트(8a, 8b)가 개구되어 있다. 또한, 상기 바디(7)의 축선(L) 방향의 일단면은 상기 고정 플레이트(3)을 부착하기 위한 원형의 플레이트 설치면(11)이며, 그 플레이트 설치면(11)의 중앙으로부터 상기 샤프트(4)가 외부로 돌출되어 있다.

한편, 상기 고정 플레이트(3)는 평면으로 보아 정사각형상을 한 부재이며, 한 변의 길이가 상기 액츄에이터 본체(2)의 직경과 동등 이상으로 형성되고, 상기 고정 플레이트(3)의 중앙에는 샤프트 도출 구멍(12)이 형성되고, 그 샤프트 도출 구멍(12)으로부터 상기 샤프트(4)가 외부로 도출되어 있다.

상기 액츄에이터 본체(2)와 고정 플레이트(3)를 연결하는 상기 연결 기구(5)는, 상기 액츄에이터 본체(2)의 플레이트 설치면(11)에 형성된 복수 쌍의 나사 구멍(13a, 13b)과, 상기 고정 플레이트(3)에 형성된 한쌍, 즉 2개의 나사 삽입 구멍(14a, 14b)과, 그 나사 삽입 구멍(14a, 14b)에 삽입되어서 상기 복수 쌍의 나사 구멍(13a, 13b) 중 어느 한쌍의 나사 구멍에 선택적으로 나사 결합 가능한 2개의 연결 나사(15a, 15b)로 구성되어 있다.

상기 플레이트 설치면(11)에 형성된 상기 복수 쌍의 나사 구멍(13a, 13b)은 상기 샤프트(4)의 축선(L)에 대하여 대칭 위치를 차지하는 2개의 나사 구멍을 한쌍으로 하는 것이며, 도면에서는 4쌍의 나사 구멍(13al, 13b1/13a2, 13b2/13a3, 13b3/13a4, 13b4)이 상기 샤프트(4)의 회전 방향의 다른 위치에 소정의 각도 간격을 유지해서 배치되어 있다.

한편, 상기 고정 플레이트(3)에 형성된 상기 2개의 나사 삽입 구멍(14a, 14b)은 그 고정 플레이트(3)가 서로 대향하는 1쌍의 측변의 중앙부에 상기 샤프트(4)의 축선(L)에 대하여 대칭 위치를 차지하도록 배치되고, 그 나사 삽입 구멍(14a, 14b)의 위치에는 상기 연결 나사(15a, 15b)의 두부가 전체로서 감합되는 깊이의 카운터보링부(16)가 형성되어 있다.

그리고, 상기 2개의 나사 삽입 구멍(14a, 14b)에 각각 연결 나사(15a, 15b)를 삽입하고, 그 연결 나사(15a, 15b)의 선단을 상기 복수 쌍의 나사 구멍(13a, 13b) 중 어느 한쌍의 나사 구멍(13a1, 13b1/13a2, 13b2/13a3, 13b3/13a4, 13b4)에 나사 결합함으로써 상기 고정 플레이트(3)가 상기 액츄에이터 본체(2)의 플레이트 설치면(11)에 연결되어 있다.

또한, 상기 고정 플레이트(3)에는 그 고정 플레이트(3)를 상기 부하 장치(30)에 나사로 고정하기 위한 복수의 고정 구멍이 형성되어 있다. 그 고정 구멍은 상기 고정 플레이트(3)를 상기 축선(L)과 평행하게 관통하는 4개의 세로 고정 구멍(18a, 18b/19a, 19b)과, 상기 고정 플레이트(3)를 상기 축선(L)에 대하여 직각으로 관통하는 2개의 가로 고정 구멍(20a, 20b)을 갖고, 상기 세로 고정 구멍(18a, 18b/19a, 19b)은 상기 고정 플레이트(3)의 각 코너부에 그 고정 플레이트(3)의 상하면에 개구하도록 형성되고, 상기 가로 고정 구멍(20a, 20b)은 상기 샤프트(4)와 2개의 상기 나사 삽입 구멍(14a, 14b)을 끼우는 위치에 그 고정 플레이트(3)의 좌우 양측면에 개구하도록 서로 평행하게 형성되어 있다. 도시의 예에서는 상기가로 고정 구멍(20a, 20b)에 삽입한 상기 고정 나사(6)에 의해 그 고정 플레이트(3)가 상기 부하 장치(30)에 고정되어 있다.

그러나, 상기 고정 플레이트(3)는 부하 장치(30)의 구조나 형태 등에 따라, 상기 세로 고정 구멍(18a, 18b/19a, 19b)을 이용하여 그 부하 장치(30)에 고정할 수도 있다. 이 경우, 고정 플레이트(3)의 대각 방향에 위치하는 2쌍의 세로 고정 구멍(18a, 18b/19a, 19b) 중 어느 한쌍의 세로 고정 구멍(18a, 18b) 또는 세로 고정 구멍(19a, 19b)이 사용되지만, 2쌍의 세로 고정 구멍(18a, 18b/19a, 19b)을 사용해도 좋다.

또한, 도시한 예에 있어서 상기 4개의 세로 고정 구멍(18a, 18b/19a, 19b) 중 한쪽의 대각 위치에 있는 한쌍의 세로 고정 구멍(18a, 18b)끼리, 및 다른쪽의 대각 위치에 있는 한쌍의 세로 고정 구멍(19a, 19b)끼리는 서로 같은 크기로 형성되고, 상기 세로 고정 구멍(18a, 18b)과 세로 고정 구멍(19a, 19b)은 서로 다른 크기로 형성되어 있지만, 4개의 세로 고정 구멍(18a, 18b/19a, 19b)을 모두 같은 크기로 형성해도 좋다.

상기 구성을 갖는 요동형 액츄에이터(1)에 있어서, 상기 부하(31) 즉 샤프트(4)의 요동 기점 위치(A)를 변경할 필요가 있을 때에는 상기 액츄에이터 본체(2)와 고정 플레이트(3)의 연결 위치를 샤프트(4)의 회전 방향으로 상대적으로 변경 함으로써 상기 요동 기점 위치(A)를 변경할 수 있다. 그 변경 작업은 상기 2개의 연결 나사(15a, 15b)를 나사 구멍(13a, 13b)으로부터 분리하고, 상기 고정 플레이트(3)에 대하여 액츄에이터 본체(2)를 축선(L)을 중심으로 필요한 방향으로 필요한 각도 회전시키고, 상기 연결 나사(15a, 15b)를 다른 한쌍의 나사 구멍(13a, 13b)에 나사 결합함으로써 행한다. 이것에 의해 상기 요동 기점 위치(A)가 선택된 나사 구멍(13a, 13b)에 대응하는 위치로 변경된다.

상기 변경 작업은 상기 요동형 액츄에이터(1)를 부하 장치(30)에 부착한 채 행하여도 좋고, 부하 장치(30)로부터 분리해서 행해도 좋으며, 또는 상기 요동형 액츄에이터(1)를 최초로 부하 장치(30)에 부착하기 전에 행할 수도 있다.

도시의 실시형태에서는 4쌍의 나사 구멍(13a1, 13b1/13a2, 13b2/13a 3, 13b3/13a4, 13b4)이 형성되어 있기 때문에, 도 4(a)-(h)에 나타내는 바와 같이 상기 2개의 연결 나사(15a, 15b)를 상기 4쌍의 나사 구멍(13a1, 13b1/13a2, 13b2/13a3, 13b3/13a4, 13b4)에 나사 결합할 때의 조합은 전부 8가지이며, 따라서, 상기 요동 기점 위치(A)를 8가지로 변경할 수 있다.

그러나, 상기 나사 구멍(13a, 13b)은 3쌍 이하이어도 5쌍 이상이어도 되고, 요컨대, 상기 나사 삽입 구멍(14a, 14b) 및 연결 나사(15a, 15b)의 수의 정수배의 수의 나사 구멍(13a, 13b)이 형성되어 있으면 되는 것이다. 그 경우, 상기 요동 기점 위치(A)를 변경할 수 있는 수는 상기 나사 구멍(13a, 13b)의 쌍 수에 따라 다르 게 된다.

또한, 상기 나사 구멍(13a, 13b)을 복수 쌍 형성할 경우, 그 복수 쌍의 나사 구멍을 상기 축선(L)을 중심으로 해서 원주 방향으로 모두 동일한 간격으로 배치하는 것도, 다른 간격으로 배치하는 것도 가능하다.

상기 한쌍(1세트)의 나사 구멍(13a, 13b) 및 한쌍(1세트)의 나사 삽입 구멍(14a, 14b)은, 반드시 도시한 실시예와 같이 축선(L)에 대하여 대칭 위치를 차지하고 있을 필요는 없고, 축선(L)에 대하여 비대칭 위치를 차지하도록 배치되어 있어도 된다.

또는, 3개 이상의 나사 구멍 및 나사 삽입 구멍을 각각 1세트 하고, 상기 고정 플레이트(3)에는 1세트의 나사 삽입 구멍만을 형성하고, 상기 액츄에이터 본체(2)에는 1세트 또는 복수 세트의 나사 구멍을 형성할 수도 있다. 예를 들면, 상기 고정 플레이트(3)에 3개의 나사 삽입 구멍을 상기 축선(L)을 중심으로 해서 원주 방향으로 동일한 간격 즉 120도 간격으로 형성하고, 상기 액츄에이터 본체(2)에는 3개의 나사 구멍을 상기 축선(L)을 중심으로 해서 원주 방향으로 동일한 간격 즉 12O도 간격으로 형성하거나, 또는 동일한 간격으로 형성된 상기 3개의 나사 구멍을 1세트로 하는 복수 세트의 나사 구멍을 상기 축선(L)을 중심으로 해서 원주방향의 다른 위치에 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 연결 나사의 수는 3개이다. 그러나, 상기 3개의 나사 삽입 구멍의 상호 간격, 및 상기 3개의 나사 구멍의 상호 간격은 반드시 동일한 간격이 아니어도 좋다.

또한, 도시한 예에서는 상기 액츄에이터 본체(2)의 바디(7)가 원통형을 하고 있지만, 그 바디(7)는 사각형이나 그 밖의 각기둥 형상을 하고 있어도 좋다.

또한, 상기 고정 플레이트의 평면으로 볼 때의 형상은 직사각형이어도, 사각형 이외의 다각형(예를 들면, 삼각형, 오각형, 육각형 등)이어도 좋고, 또는 원형이어도 관계없다.

또한, 상기 액츄에이터 본체(2)는 베인형 요동형 액츄에이터로서 구성되어 있지만, 그 액츄에이터 본체(2)는 랙 피니언형 요동형 액츄에이터라도 좋다. 이 랙 피니언형 요동형 액츄에이터는 바디의 내부에 피스톤과 랙·피니언 기구를 수용하고, 상기 피스톤에서 얻어진 직선 추력을 상기 랙·피니언 기구에서 회전 토크로 변환하여 상기 바디로부터 돌출되는 샤프트를 통해서 출력하는 것으로, 그 구조 자체는 공지이다.

1 : 요동형 액츄에이터 2 : 액츄에이터 본체
3 : 고정 플레이트 4 : 샤프트
5 : 연결 기구 6 : 고정 나사
11 : 플레이트 설치면 13a, 13b : 나사 구멍
14a, 14b : 나사 삽입 구멍 15a, 15b : 연결 나사
18a, 18b, 19a, 19b : 세로 고정 구멍
20a, 20b : 가로 고정 구멍 L : 축선
A : 요동 기점 위치

Claims

압축공기의 작용으로 샤프트가 축선을 중심으로 일정한 각도 범위 요동 회전하도록 구성된 액츄에이터 본체와, 그 액츄에이터 본체를 부하 장치에 고정하기 위한 고정 플레이트를 갖고,
상기 액츄에이터 본체와 고정 플레이트는 연결 기구에 의해 서로의 위치를 상기 샤프트의 회전 방향으로 상대적으로 변경 가능하도록 연결되어 있고, 서로의 위치의 변경에 의해 상기 샤프트의 요동 기점 위치가 변경 가능하며,
상기 연결 기구는 상기 액츄에이터 본체에 상기 축선을 중심으로 하여 원주 방향으로 소정의 간격으로 배치된 복수의 나사 구멍과, 상기 고정 플레이트에 상기 축선을 중심으로 해서 원주 방향으로 소정의 간격으로 배치된 복수의 나사 삽입 구멍과, 그 나사 삽입 구멍에 삽입되어서 상기 나사 구멍에 나사 결합되는 복수의 연결 나사를 갖고, 상기 나사 구멍의 수는 상기 나사 삽입 구멍의 수의 정수배이며, 상기 연결 나사의 수는 상기 나사 삽입 구멍의 수와 동수인 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 1 항에 있어서,
상기 고정 플레이트는 상기 액츄에이터 본체의 상기 샤프트가 돌출되는 플레이트 설치면에 연결되어 있고, 그 고정 플레이트에는 샤프트 도출 구멍이 형성되며, 그 샤프트 도출 구멍으로부터 상기 샤프트가 그 고정 플레이트의 외부로 도출되고, 상기 플레이트 설치면에 상기 나사 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 2 항에 있어서,
상기 고정 플레이트에는 2개의 나사 삽입 구멍을 1세트로 하는 그 나사 삽입 구멍이 1세트 형성되고, 상기 액츄에이터 본체에는 상기 2개의 나사 삽입 구멍의 배치의 2개의 나사 구멍을 1세트로 하는 그 나사 구멍이 상기 축선의 주위의 다른 위치에 복수 세트 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 3 항에 있어서,
상기 1세트의 나사 삽입 구멍 및 상기 1세트의 나사 구멍은 각각, 상기 축선에 대하여 대칭을 이루는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 2 항에 있어서,
상기 고정 플레이트에는 3개의 나사 삽입 구멍을 1세트로 하는 그 나사 삽입 구멍이 1세트 형성되고, 상기 액츄에이터 본체에는 상기 1세트의 나사 삽입 구멍의 배치의 3개의 나사 구멍을 1세트로 하는 그 나사 구멍이 1세트 이상 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 5 항에 있어서,
상기 1세트의 나사 삽입 구멍 및 상기 1세트의 나사 구멍은 각각, 상기 축선의 주위에 120도 간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 1 항, 제 2 항, 제 5 항, 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정 플레이트는 상기 부하 장치에 고정하기 위한 고정 나사가 삽입되는 복수의 고정 구멍을 갖고, 그 고정 구멍은 상기 고정 플레이트를 상기 축선과 평행하게 관통하는 세로 고정 구멍과, 상기 고정 플레이트를 상기 축선과 직각으로 관통하는 가로 고정 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 고정 플레이트는 상기 부하 장치에 고정하기 위한 고정 나사가 삽입되는 복수의 고정 구멍을 갖고, 그 고정 구멍은 상기 고정 플레이트를 상기 축선과 평행하게 관통하는 세로 고정 구멍과, 상기 고정 플레이트를 상기 축선과 직각으로 관통하는 가로 고정 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 요동형 액츄에이터.
제 8 항에 있어서,
2개의 상기 가로 고정 구멍은 상기 샤프트와 상기 2개의 나사 삽입 구멍을 끼우는 위치에 서로 평행하게 형성되어 있는 것을 특징으로 요동형 액츄에이터.