KR101555300B1 - 외부 본딩 영역을 구비하는 반도체 파워 모듈 패키지 - Google Patents

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KR101555300B1
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Abstract

DBC 기판에 본딩영역을 구비한 반도체 파워 모듈 패키지를 개시한다.
반도체 파워 모듈 패키지는 하나 이상의 반도체 칩과 상기 반도체 칩들을 밀봉시켜 주기 위한 밀봉 부재를 구비한다. 다수의 리드들이 상기 반도체 칩들에 전기적으로 연결되어, 상기 밀봉 부재로부터 노출된다. 외부 본딩 부재들이 상기 밀봉 부재로부터 노출되고, 상기 반도체 칩들에 전기적으로 연결되어 외부 회로기판과의 전기적 연결을 제공한다.

Description

외부 본딩 영역을 구비하는 반도체 파워 모듈 패키지{Semiconductor power module package having external boding area}
본 발명은 반도체 파워 모듈 패키지에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 DBC 기판상에 외부 본딩 영역이 배열된 반도체 파워 모듈 패키지에 관한 것이다.
반도체 파워 모듈 패키지는 리드 프레임상에 반도체 칩을 부착하고, 몰딩재를 이용하여 반도체 칩을 밀봉시켜 주었다. 이러한 반도체 파워 모듈 패키지는 반도체 칩이 고집적화 됨에 따라 반도체 칩을 외부와 연결시켜 주기 위한 본딩 패드 수가 증가하게 되고, 이에 따라 리드 프레임의 리드 수가 증가하게 될 뿐만 아니라 반도체 패키지의 크기가 증가하게 되었다. 이러한 반도체 파워 모듈 패키지는 리드들을 회부 회로기판과 솔더링과 와이어 본딩 공정을 통해 연결하였다.
이러한 파워 모듈 패키지는 리드 프레임에 솔더링 및 와이어 본딩을 위한 별도의 영역이 필요하여 패키지 사이즈가 증가하게 된다. 또한, 솔더된 리드들이 물리적 진동이나 솔더 크랙에 취약하다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 외부 회로 기판과의 와이어 본딩을 위한 외부 본딩 영역을 구비한 반도체 파워 모듈 패키지를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 외부 본딩 부재를 구비하는 반도체 파워 모듈 패키지를 제공한다. 상기 반도체 파워 모듈 패키지는 하나 이상의 반도체 칩과 상기 반도체 칩들을 밀봉시켜 주기 위한 밀봉 부재를 구비한다. 다수의 리드들이 상기 반도체 칩들에 전기적으로 연결되어, 상기 밀봉 부재로부터 노출된다. 외부 본딩 부재들이 상기 밀봉 부재로부터 노출되고, 상기 반도체 칩들에 전기적으로 연결되어 외부 회로기판과의 전기적 연결을 제공한다.
상기 반도체 파워 모듈 패키지는 전기적으로 서로 분리되는 도전막 패턴들을 구비하는 패키징 기판을 더 포함할 수 있다. 상기 도전막 패턴들 중 제1도전막 패턴들은 상기 리드들에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제1도전막 패턴들 및 상기 제2도전막 패턴들은 Ni, Au 및 Ag로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나가 도금된 Cu막을 포함하거나 또는 베어 Cu 막을 포함할 수 있다.
상기 외부 본딩 부재는 상기 절연기판상에 배열되어, 상기 밀봉 부재로부터 노출되어 상기 외부 회로 기판과의 와이어 본딩을 위한 외부 본딩 영역들을 포함할 수 있다. 상기 외부 본딩 영역들은 상기 도전막 패턴들중 제2도전막 패턴들의 노출된 일부분들을 포함할 수 있다. 상기 리드들을 통해 파워 신호들이 상기 반도체 칩들로 제공되고, 상기 외부 본딩 영역들을 통해 제어신호들이 상기 반도체 칩들로 제공될 수 있다.
한편, 상기 외부 본딩 부재는 상기 밀봉 부재로부터 일부분들이 노출되는 외부 본딩 리드들을 구비할 수 있다. 상기 리드들 및 상기 본딩 리드들은 Ni 도금된 Cu 리드들 또는 P이 함유된 Ni 이 도금된 Cu 리드들 및 Ag 도금된 Cu 리드들로부터 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나의 Cu 리드들을 포함하거나 또는 베어 Cu 리드들을 포함할 수 있다.
상기 본딩 부재는 상기 노출된 본딩 리드들상에 배열되는 외부 범프들을 더 포함할 수 있다. 상기 외부 범프들은 Al 범프들을 포함할 수 있다. 상기 리드들은 파워 리드들을 포함하고, 상기 외부 본딩 리드들은 신호 리드들을 포함할 수 있다.
상기 제1도전막 패턴들중 일부 도전막 패턴들상에는 상기 하나 이상의 반도체 칩들이 배열될 수 있다. 상기 하나 이상의 반도체 칩들은 상기 밀봉 부재내에서 내부 와이어들을 통해 상기 외부 본딩 부재에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 패키징 기판은 DBC(direct bonding copper)기판을 포함할 수 있다. 상기 밀봉 부재는 트랜스퍼 몰딩된 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함할 수 있다.
상기 외부 본딩 부재는 외부 와이어를 통해 상기 외부 회로 기판과 와이어 본딩될 수 있다. 상기 외부 와이어는 Al 와이어, Ag 와이어 및 Cu 와이어로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나의 와이어를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 외부 본딩 영역을 구비하는 반도체 파워 모듈 패키지를 제공할 수 있다. 상기 반도체 파워 모듈 패키지는 전기적으로 분리된 하나이상의 도전막 패턴들을 구비하는 절연 기판; 상기 도전막 패턴들중 제1도전막 패턴들상에 배열되는 다수의 반도체 칩들; 및 상기 절연 기판의 상면 및 측면에 배치되어 상기 반도체 칩들과 상기 도전막 패턴들을 밀봉시켜 주는 밀봉 부재를 구비한다. 다수의 리드들이 상기 반도체 칩들에 전기적으로 연결되어, 상기 밀봉 부재로부터 노출된다. 상기 도전막 패턴들중 상기 반도체 칩들이 배열되지 않은 제2도전막 패턴들은 외부 회로기판과의 전기적 연결을 위한 외부 본딩 영역들을 포함한다. 상기 외부 본딩 영역들은 상기 밀봉 부재로부터 노출되어진다.
상기 리드들은 파워 리드들을 포함할 수 있다. 상기 외부 본딩 영역들은 상기 외부 회로 기판과 외부 와이어를 통해 전기적으로 연결되어, 상기 반도체 칩들과 상기 외부 기판간의 신호들을 전달할 수 있다.
본 발명의 반도체 파워 모듈 패키지는 밀봉 부재 외부로 노출되는 외부 회로기판과의 와이어 본딩을 위한 별도의 본딩 영역을 배치함으로써, 솔더링 또는 와이어 본딩을 위한 별도의 리드 프레임 영역이 필요하지 않게 되어 패키지 크기를 축소시켜 줄 수 있으며, 이에 따라 패키지 제조 가격을 절감시켜 줄 수 있다. 또한, 와이어 본딩에 의한 외부 회로기판과의 배선 연결은, 와이어의 유연성으로 물리적 진동이나 솔더 크랙에 의한 조인트부의 불량을 방지할 수 있으므로, 조인트부의 신뢰성을 향상시키고 패키지의 생산성을 향상시켜 줄 수 있다.
이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.
도 1a은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 파워 모듈 패키지의 평면도이다. 도 1b는 도 1a의 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 몰딩전의 평면도를 도시한 것이다. 도 1c는 도 1a의 IC-IC 선에 따른 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 단면도이다. 도 1d는 도 1c의 상기 반도체 파워 모듈 패키지에서 DBC 기판의 외부 본딩 영역을 통해 외부 회로기판과 와이어 본딩되는 것을 보여주는 단면도이다.
도 1a 내지 도 1d를 참조하면, 반도체 파워 모듈 패키지(10)는 패키징 기판(100)과 상기 패키징 기판(100)상에 배열된 반도체 칩들(130)을 구비한다. 상기 패키징 기판(100)은 DBC(direct bonding copper) 기판을 포함할 수 있다. 상기 패키징 기판(100)은 세라믹 절연막(110), 상기 세라믹 절연막(110)의 상면에 배열된 상부 도전막(120) 및 상기 세라믹 절연막(110)의 하면에 배열된 하부 도전막(115) 을 포함할 수 있다.
상기 세라믹 절연막(110)은 Al2O3 막, AlN 막, SiO2 막, SiN 막 또는 BeO 막을 포함할 수 있다. 상기 상부 도전막(120)과 상기 하부 도전막(115)은 Cu 막을 포함할 수 있다. 또한, 상기 상부 도전막(120)과 상기 하부 도전막(115)은 Ni, Au 및 Ag로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나가 도금된 Cu막을 포함하거나 또는 베어(bare) Cu 막을 포함할 수 있다.
상기 상부 도전막(120)은 전기적으로 서로 분리된 제1 및 제2도전막 패턴들(121, 125)을 포함할 수 있다. 상기 제1도전막 패턴들(121)중 일부 도전막 패턴들(121)상에는 반도체 칩들(130)이 배열될 수 있다. 상기 반도체 칩들(130)은 전력용 반도체 칩들 및/또는 제어용 반도체 칩들을 포함할 수 있다. 상기 반도체 칩들(130)은 솔더(미도시) 또는 Au 에폭시 등과 같은 접착제(미도시)에 의해 상기 제1도전막 패턴들(121)상에 부착될 수 있다.
상기 반도체 칩들(130)은 제2와이어들(142)에 의해 상기 제1도전막 패턴들(121) 및 상기 제2도전막 패턴들(125)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제1도전막 패턴들(121)에는 리드들(150)이 솔더(150a)를 통해 부착될 수 있다. 상기 제2도전막 패턴들(125)은 제1와이어들(141)을 통해 상기 반도체 칩들(130)과 상기 제1도전막 패턴들(121)과 와이어 본딩될 수 있다. 상기 제1와이어들(141)은 6mm의 폭을 갖는 와이어들을 포함하고, 상기 제2와이어들(142)은 상기 제1 와이어들(141)보다 상대적으로 넓은 12mm의 폭을 갖는 와이어들을 포함할 수 있다.
밀봉 부재(160)가 상기 반도체 칩들(130)과 상기 제1 및 제2와이어들(141, 145) 그리고 상기 제1및 제2도전막 패턴들(121, 125)을 포함한 상기 패키징 기판(100)의 상면 및 측면에 배열된다. 상기 밀봉부재(160)는 상기 제2도전막 패턴들(125)의 일부분들(125a)을 포함한 상기 패키징 기판(100)의 상기 상면의 일부분이 노출되도록 배열될 수 있다. 상기 밀봉 부재(160)는 트랜스퍼 몰드된 에폭시 몰딩 컴파운드(transfer molded EMC)를 포함할 수 있다.
상기 제2도전막 패턴들(125)의 일부분들(125a)은 외부 본딩 영역으로 작용한다. 따라서, 상기 외부 본딩 영역(125a)은 상기 외부 회로기판(170)의 본딩 패드(미도시)와 외부 와이어(180)를 통해 와이어 본딩되어, 상기 반도체 칩들(130)을 상기 외부 회로 기판(170)과 전기적으로 연결시켜 줄 수 있다. 상기 상기 외부 본딩 영역(125a)은 상기 리드들(150)과 대향하여 상기 기판(100)상에 배열될 수 있다.
상기 리드들(150)은 상기 반도체 칩들(130)로 파워 신호들을 제공하기 위한 것이고, 상기 외부 본딩 영역(125a)은 상기 반도체 칩들(130)로 제어신호 등과 같은 신호등을 제공하기 위한 것이다. 상기 하부 도전막(115)상에는 상기 반도체 칩들(130)로부터 방출되는 열을 방열시켜 주기 위한 히트 싱크(미도시)가 부착될 수도 있다.　
상기 패키징 기판(110)은 절연 금속기판(IMS, insulated metal substrate)을 포함할 수 있다. 상기 절연 금속 기판은 예를 들어, 베이스 부재, 상기 베이스 부재상에 배치된 절연층 및 상기 절연층상에 형성된 도전층을 포함할 수 있다. 상기 베이스 부재는 방열성이 우수한 Al 플레이트를 포함할 수 있다. 상기 절연층은 내열성 및 절연성이 우수한 에폭시 수지를 포함할 수 있다. 상기 도전층은 전도성을 우수한 금속막, 예를 들어 Cu, Au, Ag, Al 또는 Ni 등을 포함할 수 있다. 상기 도전층은 전기적으로 서로 분리된 금속 패턴들을 포함할 수 있다.
도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 파워 모듈 패키지의 평면도이다. 도 2b는 도 2a의 반도체 파워 모듈 패키지의 측면도이다. 도 2c 는 도 2a의 IIC-IIC 선에 따른 반도체 파워 모듈 패키지의 단면도들이다. 도 2d는 도 2a 내지 도 2c의 반도체 파워 모듈 패키지가 외부 회로기판과 와이어 본딩되는 것을 보여주는 단면도이다.
도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 상기 반도체 파워 모듈 패키지(20)는 패키징 기판(100)과 상기 패키징 기판(100)상에 배열된 반도체 칩들(130)을 구비한다. 상기 패키징 기판(100)은 세라믹 절연막(110), 상기 세라믹 절연막(110)의 상면 및 하면에 배열된 상부 도전막(120) 및 하부 도전막(115)을 구비하는 DBC 기판을 포함할 수 있다. 상기 상부 도전막(120)은 도 1b에 도시된 바와 같이 전기적으로 서로 분리된 도전막 패턴들(121, 125)을 포함하고, 상기 반도체 칩들(130)이 상기 제1도전막 패턴들(121)상에 배열될 수 있다. 또는, 상기 패키징 기판(100)은 베이스 부재 및 상기 베이스 부재상에 배열된 절연층 및 도전층을 포함하는 IMS 기판을 포함할 수 있다.
상기 반도체 칩들(130)은 전력용 반도체 칩들 및/또는 제어용 반도체 칩들을 포함할 수 있다. 상기 반도체 칩들(130)은 솔더(미도시) 또는 Au 에폭시 등과 같은 접착제에 의해 상기 패키징 기판(100)의 상기 상부 도전막(120)상에 부착될 수 있다. 상기 반도체 칩들(130)은 와이어(143)를 통해 상기 상부 도전막(120)과 전기적으로 연결될 수 있다.
리드들(151)은 솔더(도 1의 150a에 대응함)에 의해 상기 상부 도전막(120)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 리드들(151)은 파워 리드들을 포함할 수 있다. 상기 패키지(20)는 와이어(144)를 통해 상기 패키징 기판(110)의 상기 상부 도전막(120)과 전기적으로 연결되는 외부 본딩 리드들(152)을 더 구비할 수 있다. 상기 외부 본딩 리드들(152)은 외부 와이어 본딩을 위한 리드들로서, 신호 리드들을 포함할 수 있다. 상기 외부 본딩 리드들(152)과 상기 리드들(151)은 Ni 도금된 Cu 막, P을 함유한 Ni 도금된 Cu막 Ag 도금된 Cu 막 및 베어 Cu 막으로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나를 포함할 수 있다.
밀봉 부재(160)가 상기 반도체 칩들(130)을 포함한 상기 패키징 기판(100)의 상면 및 측면에 배열되어, 상기 리드들(151) 및 상기 외부 본딩 리드들(152)의 일부분을 노출시켜 준다. 상기 밀봉 부재(160)는 트랜스퍼 몰드된 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함할 수 있다.
상기 외부 본딩 리드들(152)중 상기 밀봉 부재(160)로부터 노출된 일부분에는 외부 범프들(155)이 더 배열될 수도 있다. 상기 외부 범프들(155)은 Al 범프들을 포함할 수 있다. 상기 외부 범프들(155)은 20mm 의 폭을 가질 수 있다. 상기 외부 본딩 리드들(152) 또는 상기 Al 범프들(155)은 외부 와이어(180)를 통해 외부 회로기판(170)의 본딩 패드들(미도시)과 와이어 본딩될 수 있다. 상기 외부 와이 어(180)는 Al 와이어, Ag 와이어 및 Cu 와이어로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나의 와이어를 포함할 수 있다. 상기 외부 와이어(170)는 8mm 의 폭을 가질 수 있다.
도 1a 내지 도 1d 및 도 2a 내지 도 2d 에 도시된 상기 반도체 파워 모듈 패키지(10, 20)의 패키지 구조는 다양하게 변형 가능하다.
이상 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 외부 본딩 영역을 구비하는 반도체 파워 모듈 패키지의 평면도이다.
도 1b는 도 1a의 몰딩전의 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 평면도이다.
도 1c는 도 1a 및 도 1b의 IC-IC선에 따른 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 단면도이다.
도 1d는 도 1c의 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 상기 외부 본딩 영역이 외부 와이어에 의해 외부 회로 기판과 와이어 본딩되는 것을 보여주는 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 외부 본딩 리드를 구비하는 반도체 파워 모듈 패키지의 평면도이다.
도 2b는 도 2a의 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 측면도이다.
도 2c는 도 2a 의 IIC-IIC 선에 따른 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 단면도이다.
도 2d는 도 2b의 상기 반도체 파워 모듈 패키지의 상기 외부 본딩 리드가 외부 와이어에 의해 외부 회로 기판과 와이어 본딩되는 것을 보여주는 단면도이다.

Claims (20)

  1. 하나 이상의 반도체 칩;
    상기 반도체 칩들을 밀봉시켜 주기 위한 밀봉 부재;
    상기 반도체 칩들에 전기적으로 연결되어, 상기 밀봉 부재로부터 노출되는 다수의 리드들; 및
    상기 밀봉 부재에 의해 밀봉되되, 상기 밀봉 부재로부터 노출되어 외부 회로 기판과의 와이어 본딩을 위한 외부 본딩 영역들을 포함하는 패키징 기판을 구비하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 패키징 기판은 전기적으로 서로 분리되는 도전막 패턴들을 구비하며,
    상기 도전막 패턴들중 제1도전막 패턴들은 상기 리드들에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  3. 삭제
  4. 제 2항에 있어서, 상기 외부 본딩 영역들은 상기 도전막 패턴들중 제2도전막 패턴들의 노출된 일부분들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제1도전막 패턴들 및 상기 제2도전막 패턴들은 Ni, Au 및 Ag로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나가 도금된 Cu막을 포함하거나 또는 베어 Cu 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 리드들을 통해 파워 신호들이 상기 반도체 칩들로 제공되고, 상기 외부 본딩 영역들을 통해 제어신호들이 상기 반도체 칩들로 제공되는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서, 상기 리드들은 Ni 도금된 Cu 리드들 또는 P이 함유된 Ni 이 도금된 Cu 리드들 및 Ag 도금된 Cu 리드들로부터 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나의 Cu 리드들을 포함하거나 또는 및 베어 Cu 리드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제 2 항에 있어서, 상기 제1도전막 패턴들중 일부 도전막 패턴들상에는 상기 하나 이상의 반도체 칩들이 배열되고,
    상기 하나 이상의 반도체 칩들은 상기 밀봉 부재내에서 내부 와이어들을 통해 상기 외부 본딩 영역에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  13. 제 1항에 있어서, 상기 패키징 기판은 DBC(direct bonding copper)기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  14. 제 1 항에 있어서, 상기 밀봉 부재는 트랜스퍼 몰딩된 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  15. 제 1 항에 있어서, 상기 외부 본딩 영역은 외부 와이어를 통해 상기 외부 회로 기판과 와이어 본딩되는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 외부 와이어는 Al 와이어, Ag 와이어 및 Cu 와이어로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나의 와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  17. 전기적으로 분리된 하나이상의 도전막 패턴들을 구비하는 절연 기판;
    상기 도전막 패턴들중 제1도전막 패턴들상에 배열되는 다수의 반도체 칩들;
    상기 절연 기판의 상면 및 측면에 배치되어 상기 반도체 칩들과 상기 도전막 패턴들을 밀봉시켜 주는 밀봉 부재; 및
    상기 반도체 칩들에 전기적으로 연결되어, 상기 밀봉 부재로부터 노출되는 다수의 리드들을 구비하되,
    상기 도전막 패턴들중 상기 반도체 칩들이 배열되지 않은 제2도전막 패턴들은 외부 회로기판과의 전기적 연결을 위한 외부 본딩 영역들을 포함하며, 상기 외부 본딩 영역들은 상기 밀봉 부재로부터 노출되는 반도체 파워 모듈 패키지.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 리드들은 파워 리드들을 포함하며,
    상기 외부 본딩 영역들은 상기 외부 회로 기판과 외부 와이어를 통해 전기적 으로 연결되어, 상기 반도체 칩들과 상기 외부 기판간의 신호들을 전달하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 외부 와이어는 Al 와이어, Ag 와이어 및 Cu 와이어로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나의 와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
  20. 제 17 항에 있어서, 상기 제1도전막 패턴들 및 상기 제2도전막 패턴들은 Ni, Au 및 Ag로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나가 도금된 Cu막을 포함하거나 또는 베어 Cu 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 파워 모듈 패키지.
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