KR101544218B1 - 확산로에서의 제트 적층 납땜 장치 - Google Patents

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Abstract

확산로에서 제트 적층체를 일괄 납땜하는 방법을 제공한다. 이 방법은 가융부를 석영 보트의 슬롯에 삽입하는 단계 및 석영 보트를 확산로의 반응 챔버의 내부로 이송하는 단계를 포함한다. 조작자는 반응 챔버의 내부를 밀봉할 수 있고, 반응 챔버의 내부 분위기는 납땜 레시피에 따라서 조절될 수 있다. 예열된 노 가열 부재는 반응 챔버 쪽으로 이동되어 온도를 증가시키고, 가융부는 납땜 레시피에 따라서 납땜될 수 있다. 그 후, 노 가열 부재는 반응 챔버로부터 멀리 이동될 수 있고, 반응 챔버는 개봉되며 납땜부를 제거할 수 있다.
확산로, 반응 챔버, 석영 보트

Description

확산로에서의 제트 적층 납땜 장치 {APPARATUS FOR JET STACK BRAZING IN A DIFFUSION FURNACE}
본 발명은 확산로에서 제트 적층체를 일괄 (batch) 납땜하는 방법을 제공한다.
종래, 제트 적층체 제조자들은 제트 적층체를 납땜 (braze) 하기 위해서 험프백 (humpback) 연속 벨트 구동식 노를 사용하였다. 납땜 공정은 고압 접착 프레스를 사용하여 서로 이미 접착된 약 16 ~ 22 개의 플레이트를 서로 합금화 (alloying) 하는 것을 포함한다. 납땜 공정에서는 16 ~ 22 개의 접착된 플레이트를 하나의 서로 융합되고 또한 기밀 밀봉된 플레이트로 결합한다. 서로 융합된 플레이트는 인쇄기 용도의 납땜된 제트 적층체를 생성한다. 납땜된 제트 적층체는 잉크를 분출하기 위한 융합된 플레이트내의 정렬된 채널을 포함한다.
험프백 노는 거대하고 값비싸다. 또한, 험프백 노의 연속 벨트 구동식의 특징은 환경을 더럽히고 또한 금속 오염을 유발할 수 있다. 다른 난제로는, 공정 제어 파라미터의 가시성 또는 공정 제어 인터페이스의 부족을 포함하는데, 이는 종종 장비의 원활한 조작을 포함하는 직무를 행하는 조작자, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자들에게 유지관리에 대한 큰 부담을 준다. 공정 제어 인터페이스의 부족으로, 제조시 험프백 노를 모니터링하는 것이 어렵다. 험프백 노와 관련된 상기 문제점 및 다른 문제점으로 인해 수율이 감소되고 또한 비용이 증가될 수 있다. 게다가, 험프백 노는 안정성 문제도 있는데, 화염이 청정실안으로 분출하여 잠재적으로 근방에 서 있을 수 있는 조작자를 다치게 할 수 있기 때문에 "불을 뿜는 드래곤 (fire breathing dragon)" 이라는 별명도 얻었다. 또한, 험프백 노는 수소 가스를 비효율적으로 사용하여 조작 비용을 더 증가시킨다.
본 발명의 목적은, 종래의 문제점을 해결하기 위한 제트 적층체를 일괄 납땜하는 확산로를 제공하는 것이다.
일반적으로, 플레이트를 기밀 밀봉된 제트 적층체로 서로 융합시키는 공정은 2 개의 별개의 큰 장비에 의해 실시되는 별개의 단계를 포함한다. 우선, 약 16 ~ 22 개의 금 도금된 스테인리스 강판을 서로 근접하게 배치시킨 후, 접착 프레스가 질소 및 수소 분위기 하에서 플레이트에 고압을 가하여 이 플레이트를 서로 부착시켜, 이 플레이트가 다음 단계 준비시, 즉 납땜 준비시 정렬된다. 납땜 단계는 16 ~ 22 개의 플레이트를 하나의 결합된 제트 적층체로 합금화하는 것을 포함한다. 역사적으로, 험프백 연속 벨트 구동식 노가 제트 적층체의 납땜을 실시하지만, 본원의 실시형태에는, 기밀 밀봉된 제트 적층체를 구성하는데 확산로를 사용하는 일괄 납땜 공정이 기재되어 있다.
보다 자세하게는, 급속한 열경사 (thermal ramps) 및 입자 생성이 없거나 또는 거의 없는 높은 처리 용량을 가진 일괄 납땜 공정에는, 가동 노 가열 부재를 가진 확산로가 사용될 수 있다. 확산로에서 제트 적층체를 일괄 납땜하기 전에, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자가 납땜 레시피를 개선 및 미세 조정할 수도 있다. 가동 노 가열 부재와 함께, 납땜 레시피는 제어된 시간내에 확산로의 반응 챔버의 온도가 소망하는 납땜 온도 이상으로 급속하게 상승 및 하강하도록 온 도 프로파일을 조절할 수 있다.
납땜 레시피는 일련의 레시피 세그먼트 (segments) 를 포함한다. 레시피 세그먼트 각각은 작용 (actions) 을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 작용은, 확산로의 반응 챔버의 온도를 증가 또는 감소시키는 것, 질유량 제어기를 사용하여 반응 챔버로부터 특정 종류의 가스를 퍼지 (purge) 하는 것, 질유량 제어기를 사용하여 상이한 가스로 반응 챔버를 충전하는 것, 반응 챔버내의 수분을 검사하는 것 등을 포함할 수도 있다. 이러한 작용 각각은, 레시피 세그먼트내의 오류 또는 결점으로 인한 어떠한 중단된 작용을 조작자에게 알려주는 경보 (alarm) 및 타이틀 (title) 과 관련될 수도 있다. 경보 및 타이틀에서는, 작용이 중단된 장소 등의 문제를 조작자에게 알려줄 수 있어서, 조작자는 이러한 문제를 보정하도록 근무 감독관 또는 다른 유지 관리자를 요청할 수 있다.
납땜 레시피를 형성하는 것은, 세그먼트 및 작용의 내용 및 순서를 결정하는 것과 납땜 레시피에서 경보 및 타이틀을 구성하는 방법 이외에, 레시피 세그먼트 자체의 시작점 또는 종결점을 형성하는 것 뿐만 아니라 각 세그먼트내에서의 작용을 형성하는 것을 포함한다. 시작점 또는 종결점은, 확산로 또는 그 근방에 위치한 센서로부터의 피드백 정보에 기초하여 이전의 작용을 완료하는 것을 조건으로 할 수 있다. 대안으로, 세그먼트 또는 작용의 내용 및 순서는 소정의 파라미터에 따라 일정해질 수 있다. 금 도금된 스테인리스 강판의 융합시에는, 확산로의 반응 챔버내의 정밀한 분위기 조건 및 주의깊게 제어된 온도가 필요하기 때문에, 레시피 세그먼트 각각 또는 레시피 세그먼트내의 작용 각각의 시작점이나 종결 점은, 제트 적층체의 구멍 주변에 균일한 금 유동을 가진 고품질의 제트 적층체를 얻는데 중요할 수 있다. 납땜 레시피를 미세 조정하기 위해서, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자는, 제트 적층체 자체 및 이 제트 적층체가 지지되는 캔틸레버나 패들 (이하 보다 자세히 설명함) 상에 위치한 온도 센서를 사용할 수도 있다.
엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자가 납땜 레시피의 미세 조정을 완료한 후, 확산로는 생산 레벨 (production level) 일괄 납땜 작업을 실시할 수 있다. 일괄 납땜 작업은 제트 적층체의 구멍 주변에 균일한 금 유동을 가진 생산 레벨 양의 제트 적층체를 생성하도록 구성되는 다양한 작업을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 일괄 납땜 작업을 실시하는 것은, 금 도금된 스테인리스 강판을 석영 보트의 슬롯안으로 삽입하는 것을 포함할 수도 있다. 석영 보트의 슬롯은 편평한 제트 적층체 (이하 보다 자세히 설명함) 를 생성하도록 구성되는 소정의 폭을 가질 수 있다. 조작자가 제트 적층체를 석영 보트의 슬롯안으로 삽입한 후, 조작자는 제트 적층체를 포함하는 석영 보트를 크래들안으로 배치할 수 있는데, 그 후 크래들은 확산로의 반응 챔버 내부로 삽입되는 캔틸레버 또는 패들상에 배치될 수도 있다. 그 후, 조작자는 단부 캡으로 반응 챔버를 둘러쌈으로써 반응 챔버를 밀봉할 수 있다.
그 후에, 확산로는 납땜 레시피에 따라서 반응 챔버의 내부 분위기를 조절할 수 있다. 납땜 레시피는 또한 예열된 노 가열 부재를 반응 챔버와 이격된 위치에서부터 반응 챔버와 실질적으로 근접한 위치로 이동시켜, 소정의 납땜 시간 동안 반응 챔버 내부의 분위기 온도를 소정의 납땜 온도 이상으로 증가시키도록 확산로를 지시할 수도 있다. 소정의 납땜 온도는 약 1100℃ 일 수 있고, 소정의 납땜 시간은 약 4 분일 수 있다.
그 후, 확산로에서는 제트 적층체를 납땜시킬 수 있다. 납땜 공정이 완료되면, 확산로는 노 가열 부재를 반응 챔버와 실질적으로 근접한 위치에서부터 반응 챔버와 이격된 위치로 이동시켜, 분위기가 실온 근방으로 냉각될 때까지 반응 챔버의 내부 분위기 온도를 감소시킬 수 있다. 조작자는 단부 캡을 제거함으로써 반응 챔버 내부를 개봉 (unseal) 시킬 수 있고, 그 후 조작자는 크래들을 제거하여 납땜된 제트 적층체를 생성할 수 있다. 본 발명의 상기 양태 및 다른 진보적인 양태는 도면을 참조하여 이하 설명된 기재로부터 보다 용이하게 명백할 것이다.
본원의 확산로에서의 일괄 납땜 방법에 의하여, 제트 적층체의 구멍 주변에 균일한 금 유동을 가진 고품질의 제트 적층체를 얻을 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 일부 실시형태에 따라서, 예를 들어, 크래들 (100) 의 휘어짐을 방지하는 중앙 지지부 (149), 크래들 (100) 상에 위치하는 석영 보트 (133) 및 석영 보트상에 위치하는 가융부 (136) 를 포함하는 크래들 (100) 의 측면도를 나타낸다. 가융부 (136) 는 고온 하에서 미리 접착 가압되어 일렬로 서로 부착되는 플레이트를 얻게 되는 금 도금된 스테인리스 강판일 수 있다. 대안으 로, 가융부 (136) 는 하드디스크 드라이브 등의 다른 종류의 장치의 구성품, 회로 또는 정확하게 제어된 환경에서 서로 융합될 필요가 있을 수 있는 어떠한 다른 종류의 구성품일 수 있다. 본원의 용도를 위해, 가융부 (136) 는 "제트 적층체" 용어로 상호 대체될 수 있지만, 다른 가능성도 존재할 수 있음을 명심해야 한다.
크래들 (100) 은 불순물을 확산로 (도 1 에 도시하지 않음) 의 반응 챔버안으로 분산 또는 분해시키지 않으면서 급속한 온도 변화를 받게 될 수 있는 석영 또는 다른 적절한 재료로 구성될 수 있다. 크래들 (100) 은 석영 보트 (133) 를 지지하는 수평부 (131) 와, 석영 보트의 이송을 용이하게 하는 수직부 (129) 를 포함할 수 있다.
확산로를 사용하도록 훈련된 조작자, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자는 크래들 (100) 로부터 석영 보트 (133) 를 상승시키고 이 석영 보트 (133) 를 청정실의 다른 위치로 옮겨 석영 보트를 가융부 (136) 로 채울 수 있다. 그 후, 조작자는 크래들 (100) 상의 가융부를 포함하는 석영 보트 (133) 를 복귀 및 배열시킬 수 있다.
크래들 (100) 은, 도 3 ~ 도 4 를 참조하여 추가로 설명되는 바와 같이, 안정화 부재 (146) 와 베이스 지지 부재 (143) 를 구비한 중앙 지지부 (149) 를 포함할 수 있거나 또는 도 5 를 참조하여 추가로 설명되는 바와 같이 다른 지지부 (149) 를 포함할 수도 있다. 추가로, 석영 보트 (133) 는 제트 적층체의 폭 및 이 제트 적층체의 폭에 대한 마진 폭에 대응하는 소정의 폭을 가진 슬롯을 포함하여, 도 2 를 참조하여 추가로 설명되는 바와 같이 편평한 제트 적층체를 생성할 수 있다.
도 2 는 본 발명의 일부 실시형태에 따른 도 1 에 도시한 석영 보트 (133) 의 일부 (200) 를 도시한다. 석영 보트 (133) 는 치형부 (210) 에 의해 분리되는 슬롯 (220) 을 포함할 수 있다. 제트 적층체 (230) 는 슬롯 (220) 안으로 삽입될 수 있다. 일부 실시형태에 있어서, 하나의 제트 적층체와 연관하여 다수의 슬롯이 있을 수도 있다. 슬롯 (220) 각각은 제트 적층체 (230) 의 폭 및 마진 폭 (235) 에 대응하는 소정의 폭 (238) 을 가질 수 있다. 소정의 폭 (238) 이 매우 좁다면, 가융부 (136) (이하, 제트 적층체 (136) 라고 함) 는 슬롯 (220) 에 용이하게 삽입되지 않고 또한 그로부터 분리될 수 없다.
한편, 소정의 폭 (238) 이 너무 넓으면, 제트 적층체 (136) 의 평탄도가 저하된다. 예를 들어, 마진 폭 (235) 이 약 0.015 인치이면, 납땜 후의 제트 적층체 (136) 의 평탄도는 약 0 인치이다. 즉, 제트 적층체의 어떠한 휘어짐이 매우 조금 있더라도, 이 제트 적층체는 손상되지 않으면서 슬롯안으로 또한 밖으로 슬라이딩할 수 있다. 하지만, 마진 폭 (235) 이 0.025 인치이면, 예를 들어 납땝 후의 제트 적층체 (136) 의 평탄도는 약 0.005 ~ 0.02 인치이고, 이는 즉 제트 적층체의 휘어짐을 나타낸다. 유사하게, 마진 폭이 약 0.03 인치이면, 납땜 후의 제트 적층체 (136) 의 평탄도는 0.01 인치만큼 높아지고, 이는 또한 휘어짐을 나타낸다. 마진 폭 (235) 이 0.02 인치이면, 납땜 후의 제트 적층체 (136) 의 평탄도는, 마진 폭 (235) 이 0.015 인치일 때의 평탄도와 유사하게, 즉 약 0 이 된다. 그리하여, 안전한 마진을 보장하기 위해서, 바람직한 마진 폭 (235) 은 약 0.015 인치이다.
도 3 은, 본 발명의 일실시형태에 따라서, 크래들 (100) 의 휘어짐을 방지하도록 하는 중앙 지지부 (149) 를 포함하는, 석영 보트와 가융부가 없는 도 1 의 크래들 (100) 의 측면도의 일예를 나타낸다. 도 4 는, 크래들 (100) 의 휘어짐을 방지하도록 하는 중앙 지지부 (149) 를 포함하는, 도 3 의 크래들 (100) 의 평면도를 나타낸다. 이하 도 3 및 도 4 를 참조하여 설명한다.
크래들 (131) 상에 다수의 석영 보트가 배치될 때, 특히 석영 보트에 제트 적층체가 탑재될 때, 크래들 (131) 이 처질 수 있다. 이러한 처짐은 제트 적층체를 이송할 때 크래들이 걸려 멈추게 할 수 있으며, 또한 제트 적층체가 손상되거나 오염될 수 있다. 이러한 문제는 제트 적층체의 반품 및 장비 작업중단 시간을 유발할 수 있다.
중앙 지지부 (149) 는 수평부 (131) 까지 이르는 안정화 부재 (146) 를 사용하여 크래들 (100) 을 안정화시킨다. 베이스 지지 부재 (143) 는 안정화 부재 (146) 를 수평부 (131) 에 부착시킬 수 있다. 중앙 지지부 (149) 는 균일한 중량 분포를 형성하고 휘어짐 또는 처짐을 방지한다. 안정화 부재 (146) 및 베이스 지지 부재 (143) 는 석영 또는 다른 재료를 포함할 수 있다.
도 5 는, 본 발명의 다른 실시형태에 따라서, 크래들의 휘어짐을 방지하는 중앙 지지부와 2 개의 쿼터 (quarter) 지지부를 포함하고 석영 보트와 가융부가 없는 도 1 의 크래들의 평면도의 다른 예를 나타낸다. 도 3 및 도 4 의 중앙 지지부 (149) 는 석영 보트에 충분한 지지력을 제공할 수 있지만, 일부 경우에 있어 서, 크래들 (100) 를 추가로 안정화시키기 위해서는 도 5 의 쿼터 지지부 (149) 등의 추가의 지지부가 필요할 수도 있다. 추가로, 석영 보트 (예를 들어, 도 1 의 도면부호 133) 는 중앙 지지부와 쿼터 지지부 (149) 사이에 위치될 수 있다.
도 6a 및 도 6b 는 엔클로저 (601), 반응 챔버 (603), 가동 노 가열 부재 (609), 및 도 1 에 도시한 석영 보트 (133) 와 가융부 (136) 를 갖는 크래들 (100) 및 이 크래들 (100) 을 반응 챔버 (603) 안으로 삽입하는 패들 (623) 을 포함하는 확산로 (600) 의 일예를 나타낸다. 이하 도 6a 및 도 6b 를 참조하여 설명한다.
제트 적층체 (136) 를 납땜하기 전에, 이 제트 적층체 (136) 는 석영 보트에 배열되고 확산로 (600) 의 반응 챔버 (603) 안으로 삽입될 수 있다. 반응 챔버 (603) 는 석영 튜브일 수 있다. 전술한 바와 같이, 크래들 (100) 은 석영으로 구성될 수 있고 또한 적어도 하나의 착탈가능하게 부착된 석영 보트 (133) 를 유지하도록 구성될 수 있다. 석영 보트 (133) 는 제트 적층체 (136) 를 유지하도록 하는 슬롯을 구비할 수 있다. 확산로 (600) 를 사용하도록 훈련된 조작자, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자는, 크래들 (100) 로부터 석영 보트 (133) 를 분리 또는 부착할 수 있고, 이 석영 보트 (133) 를 청정실의 다른 위치로 옮겨 석영 보트 (133) 를 제트 적층체 (136) 로 채울 수 있다. 그 후, 조작자는 크래들 (100) 상에 석영 보트 (133) 를 복귀 및 배열 또는 부착시킬 수 있고, 그리고 나서 납땜 공정의 준비시 확산로 (600) 의 엔클로저 (601) 에 위치한 반응 챔버 (603) 안으로 크래들 (100) 을 삽입시킬 수 있다. 조작자는, 캔틸레버 또는 패 들 (623) 을 사용하여 크래들 (100) 을 반응 챔버 (603) 안으로 삽입할 수 있고, 또한 반응 챔버 (603) 의 내부를 단부 캡 (626) 으로 밀봉할 수도 있다.
전술한 바와 같이, 납땜 공정 이전에, 제트 적층체 (136) 는 고압 접착 프레스 (도시하지 않음) 를 사용하여 미리 서로 접착된 개별 플레이트를 포함할 수 있다. 확산로 (600) 는, 약 80 10″(인치) 의 제트 적층체 또는 160 4″(인치) 의 제트 적층체를 유지할 수 있고, 이하 보다 자세히 설명하는 바와 같이, 납땜 레시피에 따라서 개별 플레이트로부터 제트 적층체를 형성할 수도 있다.
확산로 (600) 는 다양한 가스가 반응 챔버 (603) 안으로 유입되고 또한 반응 챔버로부터 외부로 유출될 수 있도록 구성된다. 반응 챔버 (603) 는 일반적으로 고정된 위치에 있지만, 가동 노 가열 부재 (609) 는 반응 챔버 (603) 로부터 이격된 위치에서부터 반응 챔버 (603) 에 실질적으로 근접한 위치로 이동할 수 있다. 확산로 (600) 가 노 가열 부재 (609) 를 반응 챔버 (603) 쪽으로 이동시키면, 반응 챔버 (603) 내의 분위기 온도는 급속하게 증가할 수 있다. 반대로, 확산로 (600) 가 노 가열 부재 (609) 를 반응 챔버 (603) 로부터 멀리 이동시키면, 반응 챔버 (603) 내의 분위기 온도는 감소할 수 있다.
일반적으로, 가동 노 가열 부재 (609) 는, 대부분의 시간 동안 반응 챔버 (603) 로부터 이격된 채로 있고, 확산로 (600) 가 납땜 레시피의 소정의 조건에 따라 반응 챔버 (603) 내부의 분위기를 조절한 후에만 통상적으로 반응 챔버 (603) 쪽으로 이동한다. 확산로 (600) 는, 가동 노 가열 부재 (609) 를 반응 챔버 (603) 로부터 이격된 위치에서 예열할 수 있고, 가동 노 가열 부재 (609) 를 소정 의 온도로 실질적으로 유지할 수 있다.
반응 챔버 (603) 안으로 유입하고 또한 그로부터 외부로 유출하는 가스를 제어하고, 가동 노 가열 부재 (609) 의 이동을 제어하며, 피드백 정보를 제공하는 다양한 센서를 사용하여 반응 챔버 (603) 내의 온도 및 분위기 상태를 감지하고, 경보 조건을 발생시키며, 납땜 레시피의 세그먼트의 개별 타이틀을 식별하고, 또한 다른 가능성 중에서 이전에 미세 조정된 납땜 레시피에 따라서 센서 또는 다른 피드백 정보에 반응하여 소정의 레시피 세그먼트를 생략하도록, 프로그램가능한 로직 제어 유닛 (PLC) (도시하지 않음) 을 사용할 수도 있다.
조작자는 중앙 지지부 (149), 크래들 (100) 에 부착되는 석영 보트 (133), 및 석영 보트에 삽입된 제트 적층체 (136) 를 포함하는 크래들 (100) 을 패들 (623) 상에 위치시킬 수도 있는데, 이후에, 이 크래들은 온도 센서 (605) 와 함께 확산로 (600) 의 반응 챔버 (603) 안으로 삽입될 수 있다. 반응 챔버 (603) 는 단부 캡 (626) 을 사용하여 탑재 영역 (606) 주변에서 밀봉될 수 있다.
반응 챔버 (603) 내에 위치하면, 납땜 레시피는 일련의 레시피 세그먼트 및 관련 작용이 실시되도록 진행되어, 제트 적층체 (136) 가 형성될 수 있다. 예를 들어, 가동 노 가열 부재 (609) 는, 반응 챔버 (603) 에 근접하게 배치되면 금을 유동시켜 제트 적층체 (136) 의 개별 플레이트를 서로 융합시키며, 내부 구조물이 구멍과 정렬될 수 있다. 납땜 레시피의 일부로서 실시되는 추가의 설명 및 작용을 이하 도 10 을 참조하여 보다 자세히 설명한다.
확산로 (600) 에서 납땜 레시피를 제트 적층체 (136) 에 적용하는 것을 완료 하면, 조작자는 반응 챔버 (603) 의 내부를 개봉하여, 석영 보트 (133) 및 제트 적층체 (136) 를 포함하는 크래들 (100) 을 반응 챔버 (603) 로부터 제거할 수 있다. 그리하여, 제트 적층체 (136) 는 연속 벨트 구동식 노를 사용하지 않고서 일괄적으로 형성될 수 있다.
도 7 은 도 6a 에 도시된 바와 같은 선 7-7 을 따른 확산로의 반응 챔버의 단면도로서, 반응 챔버는, 본 발명의 또 다른 실시형태에 따르면, 고온 절연 밴드 (700) 를 포함한다. 고온 절연 밴드 (700) 는 탑재 영역 (606) 근방의 반응 챔버 (603) 외부에 위치될 수 있다. 반응 챔버 (603) 를 밀봉하는데 단부 캡 (626) (도 6b 참조) 이 사용되면, 절연 밴드 (700) 는, 납땜 레시피의 처리시, 특히 탑재 영역 (606) 주변에서 온도가 유지될 수 있음을 보장해준다. 특히, 절연 밴드 (700) 는 이 절연 밴드 (700) 자체에 의해 가해지는 반경방향 외부로의 압력으로부터 제 위치에 유지된다. 즉, 어떠한 접착제가 필요하지 않고 또한 반응 챔버 (603) 및 단부 캡 (626) 에 대한 손상이 방지된다. 절연 밴드 (700) 는 약 1 인치 두께의 고온 세라믹 꼬인 로프일 수 있다.
조작자는, 탑재 영역 (606) 근방에 위치한 적어도 하나의 온도 센서 (예를 들어, 605) 에 의해 구해지는 온도 측정치에 기초하여 반응 챔버 (603) 의 탑재 영역 (606) 주변의 절연 밴드 (700) 가 부적절하게 위치되는 것을 판정할 수 있다. 절연 밴드 (700) 가 존재함으로써, 특히 탑재 영역 (606) 근방에 위치한 이러한 제트 적층체에 대한 제품 품질이 증가되고 또한 반품이 더 적게 된다.
도 8 은 본 발명의 일부 실시형태에 따른 납땜 레시피의 일예를 도시한다. 간단하게 전술한 바와 같이, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자는 확산로 (600) (도 6 참조) 에서 제트 적층체를 일괄 납땜할 수 있기 전에, 납땜 레시피 (800) 를 개선 및 미세 조정할 수 있다.
납땜 레시피 (800) 는 일련의 레시피 세그먼트 (810) 를 포함한다. 레시피 세그먼트 (810) 각각은 작용 (820) 을 포함할 수 있다. 예를 들어, 작용 (820) 은, 확산로의 반응 챔버의 온도를 상승시키는 것, 질유량 제어기를 사용하여 반응 챔버로부터 특정 종류의 가스를 퍼지하는 것, 질유량 제어기를 사용하여 상이한 가스로 반응 챔버를 충전하는 것, 반응 챔버내의 수분을 검사하는 것 등을 포함할 수도 있다. 이러한 작용 (820) 각각은, 레시피 세그먼트내의 오류 또는 결점으로 인한 어떠한 중단된 작용을 조작자에게 알려주는 경보 (830) 및 타이틀 (840) 과 관련될 수 있다. 경보 (830) 및 타이틀 (840) 은, 작용이 중단된 장소 등의 문제를 조작자에게 알려줄 수 있어서, 조작자는 이러한 문제를 보정하도록 근무 감독관 또는 다른 유지 관리자를 요청할 수 있다.
경보 (830) 는, 다른 가능성 중에서, 열전대, 산소 센서, 습도계 (가스내의 수분 농도를 측정함), 노 가열 부재 위치 센서, 가스 유량계 등으로부터 수신한 정보 등의 피드백 정보에 기초하여 발생될 수 있다. 그 후, 관련 경보에 따라서 조작자에게 세그먼트 타이틀이 표시될 수 있다. 이러한 경보의 가능한 일 결과로서는, 납땜될 부분을 보호하기 위해서 또는 다르게는 확산로 장비 자체를 보호하기 위해서 경보에 따라 확산로에서 레시피의 세그먼트를 생략하는 것일 수도 있다.
도 9 는 도 6a 의 반응 챔버에 삽입된 도 1 의 크래들의 일예로서, 가융부 (136) 및 패들 (623) 에 부착되는 온도 센서 (900) 를 포함하고 또한 확산로 (600) 의 반응 챔버 (603) 로부터 이격된 위치에 있는 가동 노 가열 부재 (609) 를 포함한다.
납땜 레시피 (800) (도 8 참조) 를 미세 조정하기 위해서, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자는 제트 적층체 (136) 자체상에 온도 센서 (900) 를 배치할 수도 있다. 도 9 에는 하나의 온도 센서 (900) 가 도시되었지만, 제트 적층체 (136) 에 다른 온도 센서들 (900) 이 부착될 수 있다. 바람직하게는, 하나의 온도 센서 (900) 가 탑재 영역 근방의 제트 적층체 (136) 에 부착될 수 있고, 다른 온도 센서 (900) 가 중간부 (도시하지 않음) 근방의 제트 적층체에 부착될 수도 있으며, 또 다른 온도 센서 (900) 가 탑재 영역 반대편 단부 (도시하지 않음) 근방의 제트 적층체에 부착될 수도 있다. 제트 적층체 (136) 는, 석영 보트 (133) 에 배치되어, 캔틸레버 또는 패들 (623) 의 지지부를 사용하여 확산로 (600) 의 반응 챔버 (603) 안으로 삽입되기 위해 크래들 (100) 상에 탑재된다.
패들은 또한 바닥부에 부착되는 온도 센서 (605) 를 포함하고, 이러한 온도 센서는 패들 (623) 에 부착되는 온도 센서 (605) 가 제트 적층체의 제조시에 제 위치에 유지된다는 점에서 영구적이지만, 제트 적층체 자체에 부착된 온도 센서 (900) 는 납땜 레시피 (800) (도 8 참조) 를 미세 조정하는 데에만 사용되고 이 납땜 레시피가 일단 미세 조정되고 나면 제거된다. 온도 센서는, 열전대일 수 있고, 또한 패들 (623) 의 바닥부의 여러 위치 및 석영 보트 (133) 에 삽입되는 제트 적층체의 단부 및/또는 중간부 쪽으로의 제트 적층체 (136) 자체 중에 분포될 수도 있다.
온도 센서 (900) 가 제트 적층체 (133) 에 부착되고 또한 제트 적층체가 패들 (623) 의 지지부를 사용하여 확산로 (600) 의 반응 챔버 (603) 에 배치되면, 제트 적층체 (133) 자체의 온도 센서 (900) 의 온도 판독값은 패들 (623) 의 바닥부에 부착된 영구 온도 센서 (605) 의 온도 판독값과 비교될 수 있다. 이러한 비교는 상이한 레시피 세그먼트 (810) (도 8 참조) 동안 또는 납땜 레시피 (800) (도 8 참조) 를 미세 조정하면서 세그먼트내의 상이한 시간 중에 수행될 수 있다.
제트 적층체에 부착된 1 개 이상의 센서 (900) 의 온도 판독값이 패들 (623) 의 바닥부에 부착된 1 개 이상의 영구 센서 (605) 의 온도 판독값보다 작으면, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자는 영구적인 온도 센서 (605) 용의 설정점 (예를 들어, 도 8 의 작용 (820)) 을 조절하여 제트 적층체 (133) 의 실제 온도가 정확하게 제어될 수 있도록 한다. 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자가 납땜 레시피의 미세 조정을 완료하면, 제트 적층체 (133) 에 부착된 온도 센서 (900) 가 제거될 수 있고 후속의 일괄 납땜 작업에서는 필요하지 않게 된다.
도 10 은 확산로의 반응 챔버에 실질적으로 근접한 위치에 있는 가동 노 가열 부재의 일예를 나타낸다. 전술한 바와 같이, 확산로 (600) 는 납땜 레시피 (800) (도 8 참조) 에 따라서 반응 챔버 (603) 내의 분위기 온도를 급속하게 증가 또는 감소시키도록 가동 노 가열 부재 (609) 를 포함할 수 있다. 노 가열 부재 (609) 의 이동은, 도 9 를 참조하여 전술한 바와 같이 납땜 레시피 (800) (도 8 참조) 를 미세 조정하면서 실시될 수 있다. 또한, 노 가열 부재 (609) 의 이동 은, 납땜 레시피 (800) 에 따라서 생산 레벨에서 제트 적층체 (136) 를 생성하면서, 즉 납땜 레시피 (800) 의 미세 조정을 완료한 후에, 실시될 수 있다.
도 11 은 본 발명의 일부 실시형태에 따라서, 확산로의 제트 적층체의 일괄 납땜 단계를 설명하는 순서도를 나타낸다. 엔지니어 또는 자격을 갖춘 기술자가, 도 8 ~ 도 10 을 참조하여 자세히 설명한 바와 같이, 납땜 레시피의 미세 조정을 완료한 후에, 확산로는 생산부에 배치되어 생산 레벨 일괄 납땜 작업을 실시할 수 있다. 도 11 의 1105 에서, 조작자는 제트 적층체를 적어도 하나의 석영 보트의 슬롯안으로 삽입할 수 있다. 그 후, 조작자는 1110 에서 제트 적층체를 포함하는 석영 보트를 확산로의 반응 챔버 내부로 이송할 수 있다.
일부 실시형태에 있어서, 석영 보트는 석영 크래들상에 부착되거나 배치된 후, 캔틸레버 또는 패들을 사용하여 반응 챔버의 내부에 탑재될 수 있다. 반응 챔버의 내부는 단부 캡을 사용하여 밀봉될 수 있다. 반응 챔버가 밀봉된 후, 확산로는 납땜 레시피에 따라서 반응 챔버 내부의 분위기를 조절할 수 있다. 예를 들어, 1115 에서, 확산로는 질소 (N2) 를 반응 챔버안으로 유동하게 하여 반응 챔버의 내부로부터 실질적으로 모든 산소 (O2) 를 퍼지할 수 있다. 반응 챔버 내부의 산소 (O2) 의 농도는 퍼지시 측정될 수 있다. 초기에 반응 챔버와 이격될 수 있는 예열된 노 가열 부재는, 산소 (O2) 의 농도가 소정값, 약 50 ppm (parts per million) 이하가 될 때까지, 반응 챔버에 실질적으로 근접한 위치로 이동하지 못하게 될 수 있다.
1120 에서, 확산로내의 센서에서 산소 (O2) 의 농도가 소정값 이하임을 판정하면, 도 11 의 1130 및 1125 에 도시된 바와 같이, 확산로는 예열된 노 가열 부재를 반응 챔버 쪽으로 이동시키기 시작하고, 이와 동시에 반응 챔버내의 질소 (N2) 유동을 중지하고 수소 (H2) 유동을 개시하여 환원 분위기를 형성할 수 있다.
확산로는, 도 11 의 1125 및 1130 에 도시된 레시피에 따라서, 노 가열 부재를 반응 챔버와 실질적으로 근접한 위치 쪽으로 이동시키는 것을 완료하여, 소정의 납땜 시간, 예를 들어 약 4 분 동안, 반응 챔버 내부의 온도를 소정의 납땜 온도, 예를 들어 약 1100℃ 이상으로 증가시킬 수 있다. 순금이 약 1060℃ 에서 유동하기 시작한다. 반응 챔버 내부의 온도 상승 속도 (ramp rate) 의 타이밍을 제어함으로써, 반응 챔버내의 실제 가융부의 온도를 제어하여 일괄 공정에 걸쳐 온도차를 적게 할 수 있다.
그리하여, 제트 적층체는 확산로의 반응 챔버내에 형성된 고온 대기압 조건하에서 납땜될 수 있다. 본질적으로, 납땜은 제트 적층체의 개별 플레이트를 기밀 밀봉되고 납땜된 다수의 제트 적층체로 합금화하는 것을 포함할 수 있다. 금이 유동하기 시작하면, 스테인리스 강판은 납땜되고, 이 제트 적층체내의 구멍은 추후의 잉크 분출을 위해 개방된 채 있다. 즉, 금은 개별 플레이트가 서로 융합됨에 따라 상기 구멍 주변을 유동할 수 있다. 1140 에서, 확산로는 노 가열 부재를 반응 챔버와 실질적으로 근접한 위치에서부터 반응 챔버와 이격된 위치까지 이동시켜 분위기가 실온 근방으로 냉각될 때까지 반응 챔버 내부의 분위기 온도를 감소시킬 수 있다.
그 후, 조작자는 1145 에서 반응 챔버 내부를 개봉하고 석영 보트 및 납땜된 제트 적층체를 포함하는 크래들을 이 반응 챔버의 내부로부터 제거할 수 있다.
도 12 는 본 발명의 일부 실시형태에 따라서 제트 적층체를 확산로로부터 제거한 후 검사하는 단계를 설명하는 순서도를 나타낸다. 1205 에서, 조작자는 납땜된 제트 적층체를 포함하는 석영 보트를 반응 챔버 내부로부터 제거할 수 있다. 1210 에서, 조작자는, 반응 챔버의 내부로부터 제거한 납땜된 제트 적층체가 반응 챔버의 탑재 영역 근방에 위치함을 식별할 수 있다. 1220 에서, 조작자는 식별된 납땜된 제트 적층체의 구멍 주변의 균일한 금 유동에 대하여 제트 적층체를 검사할 수 있다. 1230 에서, 조작자는 금 유동이 구멍 주변에서 균일한지를 판정할 수 있다. 이러한 판정은 소정의 측정에 따른 소정의 검사 과정에 따라서 할 수 있다. 조작자는 고출력 관찰 기구 (scope) 또는 이미지 장치의 사용을 통하여 이러한 결정에 도움을 받을 수 있다. 조작자에 의한 이러한 검사는 하류 부분에서의 부품의 반품 가능성을 완화시킨다.
또한, 조작자는, 탑재 영역 근방에 위치한 제트 적층체의 구멍 주변에서 금 유동이 균일하다고 판정하면, 1240 에서, 탑재 영역 근방에 위치하지 않은, 반응 챔버의 내부로부터 제거된 납땜된 제트 적층체가 구멍 주변에서 균일한 금 유동을 가짐을 예측할 수 있다. 반대로, 조작자는, 탑재 영역 근방에 위치한 제트 적층체의 구멍 주변에서 금 유동이 균일하지 않다고 판정하면, 1245 에서 탑재 영역 근방에 위치하지 않은, 반응 챔버의 내부로부터 제거된 납땜된 제트 적층체가 구멍 주변에서 균일한 금 유동을 가지지 않음을 예측할 수 있다. 이러한 방식으로, 금 유동을 검사하는 시간을 줄일 수 있다.
도 13 은 도 9 의 온도 센서의 온도 판독값에 따른 납땜 레시피를 조절하는 단계를 설명하는 순서도를 나타낸다.
납땜 레시피 (예를 들어, 도 8 의 납땜 레시피 (800)) 를 미세 조정하기 위해서, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자는, 단계 1305 에서 3 개의 외측 열전대를 각각의 온도 영역 (예를 들어, 탑재 영역 근방, 중간 근방 및 탑재 영역 반대편 단부 근방) 에 배열된 가융부에 부착시킬 수 있다. 패들은 그에 부착된 3 개의 영구 열전대를 포함할 수 있다. 그 후, 엔지니어는 1310 에서 가융부와 패들을 확산로의 반응 챔버에 삽입할 수 있다. 1315 에서 납땜 레시피의 세그먼트 중, 패들상의 3 개의 영구 열전대에 의해 판독되는 3 개의 공정 온도 판독값은 가융부에 부착된 3 개의 외측 열전대와 비교될 수 있다. 1320 에서 온도차가 존재하면, 1325 에서 그에 따라 납땜 레시피의 온도 설정점은 온도차가 최소화될 때까지 조절된다.
예를 들어, 패들상의 제 1 영구 열전대와 가융부에 부착되는 제 1 열전대 사이에 온도차가 존재하면, 패들상의 제 2 영구 열전대와 가융부에 부착되는 제 2 열전대 사이에 온도차가 존재하면, 패들상의 제 3 영구 열전대와 가융부에 부착되는 제 3 열전대 사이에 온도차가 존재하면, 또는 이들의 어떠한 조합이면, 납땜 레시피의 온도 설정점은 온도차가 감소될 때까지 상·하로 조절될 수 있다.
1325 에서 조절된 후, 이 공정은 추가의 비교를 위해 1315 로 가게 될 수 있 다. 1320 에서 온도차가 전혀 존재하지 않거나 충분히 최소화되면, 미세 조정 공정이 종료될 수 있다. 온도 설정점은 확산로의 가열기의 백분율 전력 출력 (percentage power output) 을 제어한다. 이러한 과정은 가융부의 실제 온도에 기초하여 패들상의 영구 열전대를 제어하는 것을 보장해준다. 납땜 레시피가 미세 조정되면, 엔지니어 또는 다른 자격을 갖춘 기술자가 가융부로부터 외측 열전대를 제거할 수 있다.
도 14 는 본 발명의 일실시형태에 따른 제트 적층체의 구멍 주변의 허용가능한 금 유동의 일예를 나타낸다. 도 14 에 도시된 바와 같이, 금 유동은 어떠한 교란없이 구멍 주변에 형성된 금의 링을 나타낸다.
도 15 는 제트 적층체의 구멍 주변의 불량한 금 유동의 일예를 나타낸다. 도 15 에 도시된 바와 같이, 구멍 주변에 두꺼운 금이 적층되어 교란을 유발하고 또한 구멍을 기형으로 만든다.
도 1 은 본 발명의 일부 실시형태에 따라서, 크래들의 휘어짐을 방지하는 중앙 지지부, 크래들상에 위치하여 가융부를 지지하는 석영 보트를 포함하는 크래들의 측면도,
도 2 는 본 발명의 일부 실시형태에 따른 도 1 에 도시한 석영 보트의 일부를 도시한 도면,
도 3 은 본 발명의 일실시형태에 따라서, 크래들의 휘어짐을 방지하도록 하는 중앙 지지부를 포함하는, 석영 보트와 가융부가 없는 도 1 의 크래들의 측면도의 일예를 나타내는 도면,
도 4 는 크래들의 휘어짐을 방지하도록 하는 중앙 지지부를 포함하는, 도 3 의 크래들의 평면도,
도 5 는 본 발명의 다른 실시형태에 따라서, 크래들의 휘어짐을 방지하는 중앙 지지부와 2 개의 쿼터 지지부를 포함하고, 석영 보트와 가융부가 없는 도 1 의 크래들의 평면도의 다른 예를 나타내는 도면,
도 6a 및 도 6b 는 엔클로저, 반응 챔버, 가동 노 가열 부재, 및 도 1 에 도시한 석영 보트와 가융부를 갖는 크래들 및 이 크래들을 반응 챔버 안으로 삽입하는 패들을 포함하는 확산로의 일예를 나타내는 도면,
도 7 은 도 6a 에 도시된 바와 같이 선 7-7 을 따른 확산로의 반응 챔버로서, 본 발명의 또 다른 실시형태에 따라서 고온 절연 밴드를 포함하는 반응 챔버의 도면,
도 8 은 본 발명의 일부 실시형태에 따른 납땜 레시피의 일예를 나타내는 도면,
도 9 는 도 6a 의 반응 챔버에 삽입된 도 1 의 크래들의 일예로서, 가융부 및 패들에 부착되는 온도 센서를 포함하고 또한 확산로의 반응 챔버로부터 이격된 위치에 있는 가동 노 가열 부재를 포함하는 크래들의 도면,
도 10 은 확산로의 반응 챔버에 실질적으로 근접한 위치에 있는 가동 노 가열 부재의 일예를 나타내는 도면,
도 11 은 본 발명의 일부 실시형태에 따라서, 확산로의 제트 적층체의 일괄 납땜 단계를 설명하는 순서도를 나타낸다.
도 12 는 본 발명의 일부 실시형태에 따라서 제트 적층체를 확산로로부터 제거한 후 검사하는 단계를 설명하는 순서도,
도 13 은 도 9 의 온도 센서의 온도 판독값에 따라 납땜 레시피를 조절하는 단계를 설명하는 순서도,
도 14 는 제트 적층체의 구멍 주변의 수용가능한 금 유동의 일예를 나타내는 도면, 및
도 15 는 제트 적층체의 구명 주변의 불량한 금 유동의 일예를 나타내는 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 도면 부호의 설명 *
100 : 크래들
133 : 석영 보트
136 : 가융부
149 : 중앙 지지부
220 : 슬롯
600 : 확산로
601 : 엔클로저
603 : 반응 챔버
606 : 탑재 영역
609 : 가동 노 가열 부재
623 : 패들

Claims (15)

  1. 제트 적층체들을 유지하도록 배열되고 그리고 구조화된 슬롯들을 가진 석영 보트 (boat) 로서, 상기 석영 보트의 상기 슬롯들 각각은 상기 제트 적층체들의 평탄도를 제어하도록 제트 적층체들의 폭에 대하여 마진 폭을 가지는, 상기 석영 보트와,
    반응 챔버의 단부 캡과 상기 반응 챔버의 탑재 영역의 내부 사이에 배치된 절연 밴드를 포함하는 장치로서,
    상기 절연 밴드는 상기 반응 챔버 또는 상기 단부 캡에 손상을 주지 않고 상기 절연 밴드는 절연 밴드 자체에 의해 가해지는 반경방향 외부로의 압력에 의해 제 위치에 유지되며,
    상기 석영 보트는 상기 제트 적층체들을 납땝하도록 상기 반응 챔버에 삽입가능한 크래들에 분리가능하게 부착되는, 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연 밴드는 절연 로프를 포함하는, 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 반응 챔버로부터 이격된 위치에서 예열하고 그리고 상기 제트 적층체들을 납땜하도록 상기 반응 챔버 쪽으로 이동시키도록 구조화된 가동 노 가열 부재를 더 포함하고,
    상기 가동 노 가열 부재는, 미리 정해진 납땜 기간 동안 미리 정해진 납땜 온도 이상으로 상기 반응 챔버의 내부 분위기의 온도를 증가시키도록, 상기 반응 챔버로부터 이격된 위치에서부터 상기 반응 챔버와 근접한 위치까지 이동되도록 구조화되는, 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 석영 보트의 상기 슬롯들 각각은 상기 제트 적층체의 폭에 대응하는 미리 정해진 폭과 상기 마진 폭을 가지는, 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 마진 폭은 0.015 ~ 0.02 인치인, 장치.
  6. 삭제
  7. 제트 적층체들을 유지하도록 배열되고 그리고 구조화된 슬롯들을 가진 석영 보트로서, 상기 석영 보트의 상기 슬롯들 각각은 상기 제트 적층체들의 평탄도를 제어하도록 제트 적층체들의 폭에 대하여 마진 폭을 가지는, 상기 석영 보트와,
    반응 챔버의 단부 캡과 상기 반응 챔버의 탑재 영역의 내부 사이에 배치된 절연 밴드를 포함하는 장치로서,
    상기 석영 보트는 상기 제트 적층체들을 납땝하도록 상기 반응 챔버에 삽입가능한 크래들에 분리가능하게 부착되고,
    상기 크래들은 석영을 포함하고 그리고
    서로 이격되고 평행하게 배열된 수평부들과,
    상기 크래들의 휘어짐을 방지하도록 상기 제트 적층체들의 중량을 균일하게 분포시키도록 상기 수평부들 사이의 폭을 가로지르는 중앙 지지부를 포함하며,
    상기 절연 밴드는 상기 반응 챔버 또는 상기 단부 캡에 손상을 주지 않고 상기 절연 밴드는 절연 밴드 자체에 의해 가해지는 반경방향 외부로의 압력에 의해 제 위치에 유지되는, 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 반응 챔버로부터 이격된 위치에서 예열하고 그리고 상기 제트 적층체들을 납땜하도록 상기 반응 챔버 쪽으로 이동시키도록 구조화된 가동 노 가열 부재를 더 포함하고,
    상기 가동 노 가열 부재는, 미리 정해진 납땜 기간 동안 미리 정해진 납땜 온도 이상으로 상기 반응 챔버의 내부 분위기의 온도를 증가시키도록, 상기 반응 챔버로부터 이격된 위치에서부터 상기 반응 챔버와 근접한 위치까지 이동되도록 구조화되는, 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 석영 보트의 상기 슬롯들 각각은 상기 제트 적층체의 폭에 대응하는 미리 정해진 폭과 상기 마진 폭을 가지는, 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 마진 폭은 0.015 ~ 0.02 인치인, 장치.
  11. 삭제
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 중앙 지지부와 상기 크래들의 일 단부 사이에 중앙에 배치되며, 상기 수평부들 사이의 폭을 가로지르는 제 1 쿼터 지지부와,
    상기 중앙 지지부와 상기 크래들의 다른 단부 사이에 중앙에 배치되며, 상기 수평부들 사이의 폭을 가로지르는 제 2 쿼터 지지부를 더 포함하는, 장치.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 석영 보트는 상기 크래들의 상기 수평부들에 부착되고 그리고 지지되는, 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 중앙 지지부와 쿼터 지지부들 사이에 배치된 다수의 석영 보트들을 더 포함하는, 장치.
  15. 제 7 항에 있어서,
    상기 절연 밴드는 절연 로프를 포함하는, 장치.
KR1020090122475A 2008-12-12 2009-12-10 확산로에서의 제트 적층 납땜 장치 KR101544218B1 (ko)

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