JP2010137286A - 拡散炉におけるバッチ式ろう付けの方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】数の可融性部品を少なくとも1つの石英ボートの複数のスロットに挿入する段階と、前記可融性部品を含む前記少なくとも1つの石英ボートを前記拡散炉の反応室の内部に搬送する段階と、前記反応室の前記内部を封止する段階と、配合表に従って前記反応室の前記内部の雰囲気を調整する段階と、予熱された炉発熱体を、前記反応室から隔たった位置から前記反応室と実質的に近接した位置まで移動させて、前記反応室の前記内部の前記雰囲気の温度を、前記配合表に従って既定のろう付け期間にわたって既定のろう付け温度より上まで上げる段階とを含む拡散炉におけるバッチ式ろう付けの方法、が提供される。
【選択図】図11
Description
Claims (6)
- 拡散炉におけるバッチ式ろう付けの方法であって、
複数の可融性部品を少なくとも1つの石英ボートの複数のスロットに挿入する段階と、
前記可融性部品を含む前記少なくとも1つの石英ボートを前記拡散炉の反応室の内部に搬送する段階と、
前記反応室の前記内部を封止する段階と、
配合表に従って前記反応室の前記内部の雰囲気を調整する段階と、
予熱された炉発熱体を、前記反応室から隔たった位置から前記反応室と実質的に近接した位置まで移動させて、前記反応室の前記内部の前記雰囲気の温度を、前記配合表に従って既定のろう付け期間にわたって既定のろう付け温度より上まで上げる段階と、
を含む方法。 - 前記可融性部品は個々のプレートを含み、
前記個々のプレートを合金して複数の気密封止されたろう付けスタックにする段階と、
前記予熱された炉発熱体を、前記反応室と実質的に近接した前記位置から前記反応室から隔たった前記位置まで移動させて、前記雰囲気がほぼ室温に冷えるまで前記反応室の前記内部の前記雰囲気の前記温度を下げる段階と、
をさらに含む請求項1に記載の方法。 - 前記個々のプレートの各々は金のメッキを有するステンレス鋼板を含み、
前記個々のプレートを合金する前記段階は、前記可動式炉発熱体を使用して、前記個々のプレートを開口穴の周りで融合するように前記金を流す段階を含む請求項2に記載の方法。 - 前記配合表に従って前記反応室の前記内部の前記雰囲気を調整する前記段階は、
前記反応室へ流入する窒素(N2)の流れを使用して前記反応室の前記内部からすべての酸素(O2)を除く段階と、
前記除去の間に前記反応室の前記内部における前記酸素(O2)濃度を測定する段階と、
前記酸素(O2)濃度が既定値を下回るまで、前記予熱された炉発熱体を前記反応室と実質的に近接した前記位置まで移動させないようにする段階と、
前記予熱された炉発熱体が前記反応室と実質的に近接した前記位置まで移動し始めるときに、還元性雰囲気を生じさせるために、前記窒素(N2)の流れを停止し、水素(H2)の流れを開始する段階と、
を含む請求項1に記載の方法。 - 前記酸素(O2)濃度の前記既定値は約50ppmであり、
前記既定のろう付け温度は約摂氏1100度であり、
前記既定のろう付け時間は約4分間である、
請求項4に記載の方法。 - 前記可融性部品の前記ろう付けは、連続ベルトを使用せずにバッチとして行われる請求項1に記載の方法。
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