KR101543518B1 - 구멍 뚫기 공구 - Google Patents

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KR101543518B1
KR101543518B1 KR1020130165168A KR20130165168A KR101543518B1 KR 101543518 B1 KR101543518 B1 KR 101543518B1 KR 1020130165168 A KR1020130165168 A KR 1020130165168A KR 20130165168 A KR20130165168 A KR 20130165168A KR 101543518 B1 KR101543518 B1 KR 101543518B1
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Abstract

내절손성이나 다른 성능을 유지하면서 구멍 위치 정밀도의 개선이 더 가능한 실용성이 뛰어난 구멍 뚫기 공구의 제공.
공구 본체(1)의 외주에 공구 선단으로부터 기단측을 향하는 나선상의 칩 배출홈(2)이 1개 혹은 복수 형성된 구멍 뚫기 공구로서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 있어서의 마진(3)은, 다음의 두 가지 조건을 충족하고,
(1) 외주방향 길이의 합계가 공구 직경 D의 원의 원주 길이의 20% 이상 60% 이하
(2) 상기 마진(3) 중, 가장 외주방향 길이가 긴 마진(3)의 상기 외주방향 길이는 상기 공구 직경 D의 원의 원주 길이의 20% 이상 50% 이하
또한, 상기 마진(3)에 경질 피막(4)을 형성하고, 이 경질 피막(4)은 공구 선단측일수록 두껍게 형성한다.

Description

구멍 뚫기 공구{DRILLING TOOL}
본 발명은, 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
최근, 프린트 배선판(PCB)은, 소형화, 박형화 및 경량화가 진행되어, 신뢰성 향상을 위해서 고내열화 및 고강성화가 진행되고 있다. 그 때문에, 글라스 클로스(glass cloth) 및 절연부의 수지 구성이 난삭화(難削化)되어, 그 만큼 PCB의 구멍 뚫기 가공에 사용되는 드릴(이하, PCB 드릴이라고 한다.)의 마모가 진행되기 쉬워지고 있어, 마모에 수반되는 구멍 위치 정밀도의 악화가 문제가 되어 있다.
따라서, 예를 들면 특허문헌 1에 개시된 바와 같은, 내마모성을 향상시키기 위한 경질 피막(硬質皮膜)이 피복된 드릴이 여러 가지 제안되어 있고, 상기 구멍 위치 정밀도의 개선이 도모되고 있지만, 개선이 더 요망되고 있다.
일본 공개특허공보 2012-11489호
본 발명자들은, 구멍 위치 정밀도의 개선을 더 도모하기 위해, 경질 피막이 피복된 드릴에 대한 여러 가지를 반복하여 검토한 결과, 이하의 지견(知見)을 얻었다.
구멍 위치 정밀도의 악화가 발생하는 요인으로서는, 도 1에 도시한 것 같은 드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남 및, 도 2에 도시한 것과 같은 드릴의 피삭재(被削材) 진입 후의 진행 방향 어긋남을 들 수 있다. 또한, 피삭재와의 접촉에 의해 드릴의 마모가 진행된 경우, 드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남이나 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남이 현저하게 되어, 구멍 위치 정밀도가 악화되기 쉬워진다. 한편, 도 1 및 도 2는, 덧판 및 버림판으로 끼워 지지된 PCB에 PCB 드릴로 구멍 뚫기 가공을 실시할 때의 예이다.
구체적으로는, 드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남은, 드릴의 선단 절단날, 여유면(clearance surface) 및 여유면 능선(치즐 에지(chisel edge))이 마모되는 것 등에 의한 달라붙음성의 저하가 원인으로 악화되고, 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남은, 공구 선단부의 공구 외주와 절단날이 교차하여 형성되는 코너 부근의 외주 마모에 의해 선단측일수록 점차 외주의 지름이 축소되는, 소위 프런트 테이퍼화가 원인으로 악화되고 있는 것으로 생각된다.
드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남은, 덧판을 변경하는 것일수록 어느 정도 컨트롤하는 것이 가능하지만, 덧판의 변경 이외에 드릴의 형상 등에도 개선의 여지가 남아 있다. 또한, 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남은, 덧판 등의 변경으로는 컨트롤할 수 없기 때문에, 특히 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남의 영향을 드릴의 형상 변경 등에 의해, 가급적으로 작게 할 필요가 있다.
본 발명은, 발명자들의 상기 지견에 기초하여 이루어진 것으로, 소정의 외주방향 길이의 마진에 공구 선단측일수록 두꺼워지도록 경질 피막을 형성함으로써, 드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남을 방지하면서 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남을 억제하여, 내절손성(耐折損性)이나 다른 성능을 유지하면서 구멍 위치 정밀도의 개선이 더 가능한 실용성이 뛰어난 구멍 뚫기 공구를 제공하는 것이다.
첨부 도면을 참조하여 본 발명의 요지를 설명한다.
공구 본체의 외주에 공구 선단(先端)으로부터 기단(基端)측을 향하는 나선상(螺旋狀)의 칩 배출홈이 1개 혹은 복수 형성된 구멍 뚫기 공구로서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 복수의 마진이 설치되고, 이 마진은, 다음의 두 가지 조건을 충족하고,
(1) 외주방향 길이의 합계가 공구 직경 D의 원의 원주 길이의 20% 이상 60% 이하
(2) 상기 마진(3) 중, 가장 외주방향 길이가 긴 마진(3)의 상기 외주방향 길이는 상기 공구 직경 D의 원의 원주 길이의 20% 이상 50% 이하
또한, 상기 마진(3)에는 경질 피막(4)이 형성되고, 이 경질 피막(4)은 공구 선단측일수록 두껍게 형성되어 있고, 상기 복수의 마진 중, 가장 외주방향 길이가 긴 마진에 형성된 상기 경질 피막의 막 두께 TW와, 가장 외주방향 길이가 짧은 마진에 형성된 상기 경질 피막의 막 두께 TN의 비 TW/TN이, 0.60 이상 0.98 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.는 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 1에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 상기 마진(3)의 공구 선단측 위치의 상기 경질 피막(4)의 막 두께 T1과, 상기 마진(3)의 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 2배 혹은 공구 직경 D의 2배 이하의 범위에 있어서의 공구 후단측 위치의 상기 경질 피막(4)의 막 두께 T2의 비 T2/T1이, 0.50 이상 0.98 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 1에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 상기 경질 피막(4)은, 금속 성분으로서 적어도 Al과 Cr을 포함하고, 비금속 성분으로서 적어도 N을 포함하는 것으로, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 있어서의 막 두께가 1㎛ 이상 5㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 2에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 상기 경질 피막(4)은, 금속 성분으로서 적어도 Al과 Cr을 포함하고, 비금속 성분으로서 적어도 N을 포함하는 것으로, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 있어서의 막 두께가 1㎛ 이상 5㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 1에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 절단날(5)이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 2에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 절단날(5)이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 3에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 절단날(5)이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 4에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 절단날(5)이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 선단면에는 상기 경질 피막(4)이 형성되지 않은 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 선단면 및 상기 칩 배출홈(2)의 내면에는 상기 경질 피막(4)이 형성되지 않은 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
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또한, 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 상기 마진(3)이 2개 존재하는 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 9에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 상기 마진(3)이 2개 존재하는 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 10에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 상기 마진(3)이 2개 존재하는 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 11에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 직경 D가 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하이고, 적어도 선단으로부터 칩 배출홈 후단부까지가 WC와 Co를 함유하는 초경(超硬)합금제인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 12에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 직경 D가 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하이고, 적어도 선단으로부터 칩 배출홈 후단부까지가 WC와 Co를 함유하는 초경합금제인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
또한, 청구항 13에 기재된 구멍 뚫기 공구에 있어서, 공구 직경 D가 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하이고, 적어도 선단으로부터 칩 배출홈 후단부까지가 WC와 Co를 함유하는 초경합금제인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구에 관한 것이다.
본 발명은 상술한 바와 같이 구성했기 때문에, 내절손성이나 다른 성능을 유지하면서 구멍 위치 정밀도의 개선이 더 가능한 실용성이 뛰어난 구멍 뚫기 공구된다.
도 1은 드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남을 설명하는 개략 설명도이다.
도 2는 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남을 설명하는 개략 설명도이다.
도 3은 본 실시예의 개략 설명 사시도이다.
도 4는 도 3의 선단측의 확대 사시도이다.
도 5는 구멍 뚫기 공구의 공구 선단부의 구성 예를 나타내는 개략 설명 정면도이다.
도 6은 도 4의 A-A단면도이다.
도 7은 본 실시예의 개략 설명 측면도이다.
도 8은 도 7의 요부를 간략화하여 확대한 개략 설명 측면도이다.
도 9는 성막 방법을 설명하는 개략 설명도이다.
도 10은 실험 조건 및 실험 결과를 나타내는 표이다.
도 11은 실험 조건 및 실험 결과를 나타내는 표이다.
도 12는 실험 조건 및 실험 결과를 나타내는 표이다.
도 13은 실험 조건 및 실험 결과를 나타내는 표이다.
호적(好適)이라고 생각하는 본 발명의 실시형태를, 도면에 기초하여 본 발명의 작용을 나타내어 간단하게 설명한다.
공구 선단부에 있어서 마진(3)의 외주방향 길이를 충분히 길게 하여 경질 피막(硬質皮膜)(4)의 내구성을 향상시키는 것과 함께, 이 경질 피막(4)을 공구 선단측일수록 두껍게 형성함으로써, 공구 선단측의 경질 피막(4)이 마모되기 어렵고, 또한, 마모되더라도 공구 선단측일수록 점차 외주의 지름이 축소되는(프런트 테이퍼) 형상이 되기 어렵고, 따라서, 공구 선단부의 공구 외주와 절단날이 교차하여 형성되는 코너 부근의 외주 마모에 의한 프런트 테이퍼화가 양호하게 억제되게 된다.
또한, 예를 들면, 경질 피막(4)으로서, 금속 성분으로서 적어도 Al과 Cr을 포함하고, 비금속 성분으로서 적어도 N을 포함하는 것을 채용하여, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 있어서의 막 두께를 1㎛ 이상 5㎛ 이하로 설정한 경우에는, 달라붙을 때의 위치 어긋남을 개선할 수 있다. 또한, 공구 선단면 및 칩 배출홈(2)의 내면에 경질 피막(4)을 형성하지 않는 구성으로 한 경우에도, 달라붙을 때의 위치 어긋남을 개선할 수 있다.
따라서, 본 발명은, 드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남을 방지하면서 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남의 영향을 가급적으로 작게 하여, 구멍 위치 정밀도의 개선을 더 도모하는 것이 가능해진다.
[실시예]
본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 도면에 기초하여 설명한다.
본 실시예는, 공구 본체(1)의 외주에 공구 선단으로부터 기단측을 향하는 나선상의 칩 배출홈(2)이 1개 혹은 복수 형성된 구멍 뚫기 공구로서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배(1D) 이하의 범위에 존재하는 1개 혹은 복수의 마진(3)의 외주방향 길이의 합계가 공구 직경 D의 원의 원주 길이(πD, π는 원주율)의 20% 이상 60% 이하이고, 이 마진(3)중, 가장 외주방향 길이가 긴 마진(3)의 외주방향 길이가 상기 πD의 20% 이상 50% 이하이고, 상기 마진(3)에는 경질 피막(4)이 형성되고, 이 경질 피막(4)은 공구 선단측일수록 두껍게 형성되어 있는 것이다.
구체적으로는, 상기 구멍 뚫기 공구는, 도 3, 4에 도시한 것처럼, 외주에 나선상의 칩 배출홈(2)이 형성되어 있는 공구 본체(1)와, 공구 본체(1)에 연속 형성되어 공구 기단측일수록 점차 지름 확대되는 섕크 테이퍼(shank taper)부와, 섕크 테이퍼부에 연속 형성되어 직경이 3.175㎜의 섕크부로 이루어지는 PCB 드릴이다. 공구 본체(1)는 적어도 선단으로부터 칩 배출홈 후단부까지가 WC와 Co를 함유하고, 후술하는 경질 피막(4)과 양호하게 밀착되는 초경합금 부재로 형성되고, 섕크부는 스테인리스강 부재로 형성되어 있고, 이 양자가 접합되어 구성되어 있다. 또한 상기 초경합금 부재의 Co 함유량은 중량%로 3% 이상 15% 이하인 것이 바람직하다. 섕크 테이퍼부의 테이퍼 각도는 본 실시예에서는 30°로 형성되어 있다.
또한, 공구 본체(1)(날부)의 직경 D는 마진(3)에 형성된 경질 피막(4)을 포함한 최대 직경이며(도 8 참조), 본 실시예에서는 0.3㎜로 설정되어 있다. 또한, 경질 피막(4)을 포함하지 않는 공구 본체(1)의 날부의 형상은, 공구 본체(1)의 선단측으로부터 기단측에 걸쳐서 지름이 일정하게 되는 소위 스트레이트 형상(도 8(A) 참조)으로 해도 좋고, 기단측에서 1단 지름 축소되는 소위 언더 컷 형상(도 8(B) 참조)으로 해도 좋다. 한편, 구멍 위치 정밀도가 악화되기 쉬운 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하의 것이면, 본 실시예와 같이 본 발명의 효과가 특히 발휘된다.
또한, 본 실시예는, 절단날이 1개이고 칩 배출홈(2)을 2개 형성한, 도 5(A)에 도시한 것과 같은 소위 1날 2홈 형상의 드릴이다. 마진(3)은 외주방향 길이가 긴 마진(3)과 외주방향 길이가 짧은 마진(3)의 2개가 설치되고, 구체적으로는, 절단날(5)의 공구 회전방향 후방측의 마진(3)의 외주방향 길이를 보다 길게 설정하고 있다. 본 발명에서 마진이란, 구멍 내벽면과 접촉하는 외주면을 가리킨다. 즉, 도 5(B)에 도시한 것처럼, 공구 본체(1)에 릴리빙면(relieving surface)(8)을 설치하는 구성으로 한 경우, 릴리빙면은 마진이라 간주하지 않는다. 도면 중, 부호 6은 제 1 여유면(clearance surface), 7은 제 2 여유면이다.
한편, 도 5(C)에 도시한 것과 같은 일반적인 소위 2날 2홈 형상의 드릴의 경우, 마진(3)의 외주방향 길이를 길게 하면(마진(3)을 크게 하면), 그 만큼 홈 용적이 작아져, 칩 배출성이 악화되어 구멍 내벽 거칠기가 커지는 경우가 있다. 이 점, 1날 형상이면, 마진(3)의 외주방향 길이를 길게 해도 1개의 절단날(5)에 대한 홈 용적을 충분히 크게 할 수 있고, 양호한 칩 배출성을 얻는 것이 가능해져서, 그 만큼 구멍 내벽 거칠기가 개선된다. 또한, 도 5(A), (B)와 같은 1날 2홈 형상의 드릴은, 2개의 마진이 밸런스를 유지하여, 안정되게 피삭재에 달라붙기 때문에, 도 5(D)에 도시한 것과 같은 절단날(5)이 1개이고 칩 배출홈(2)을 1개 형성한 일반적인 소위 1날 1홈 형상에 비하여, 달라붙음성을 더 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 공구 선단면(제 1 여유면(6) 및 제 2 여유면(7)) 및 칩 배출홈(2)의 내면에는 상기 경질 피막(4)을 형성하지 않고, 도 3, 4에 도시한 것처럼, 마진(3)에만 형성한 구성으로 하고 있다. 따라서, 공구 선단의 여유면과 레이크면(rake surface)과의 교차 능선부에 존재하는 절단날이 경질 피막(4)에 덮이지 않아, 날붙이각을 예리하게 할 수 있고, 그 만큼 피삭재에의 달라붙음성이 향상되기 때문에, 피삭재에 달라붙을 때의 구멍 위치 정밀도가 양호해진다. 한편, 공구 선단면 및 칩 배출홈(2)의 내면에도 경질 피막(4)을 형성한 경우도 본 발명의 범위내이지만, 그 경우에는 공구 전체가 경질 피막(4)으로 덮이기 때문에 내마모성은 향상되지만, 경질 피막(4)중의 드롭렛(Droplet)이라 불리는 미소 금속입자가 칩 배출홈(2)의 내면에 존재함으로써 칩 배출성이 악화되고, 또한 공구 선단의 여유면과 레이크면의 경질 피막(4)에 의해 날붙이각이 둔해져 절삭 저항이 커지기 때문에, 공구 선단면 및 칩 배출홈(2)의 내면에 상기 경질 피막(4)을 형성하지 않는 경우에 비해, 구멍 뚫을 때에 절손(切損)될 가능성이 조금 높아진다. 또한, 날붙이각이 둔해지는 것에 의해, 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남이 생기기 쉬워져, 공구 선단면 및 칩 배출홈(2)의 내면에 상기 경질 피막(4)을 형성하지 않는 경우에 비해, 구멍 위치 정밀도가 조금 악화된다.
본 실시예에서는 경질 피막(4)으로서, 금속 성분으로서 적어도 Al과 Cr을 포함하고, 비금속 성분으로서 적어도 N을 포함하는 것을 채용하고 있다. 이와 같은 경질 피막(4)은, 공구 모재의 마모를 억제하지만, 가공과 함께 피막 자체가 마모되기 때문에, 적당한 두께가 필요하고, 1㎛ 이상인 것이 바람직하다. 한편, 너무 두꺼우면, 공구 선단면 및 칩 배출홈(2)의 내면에도 경질 피막(4)을 형성한 경우에 절단날이나 치즐 에지(chisel edge)의 예리함이 없어져, 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남이 생기기 쉬워지기 때문에, 5㎛ 이하인 것이 바람직하다. 따라서, 경질 피막(4)은, 공구 선단으로부터 축방향으로 1D 이하의 범위에 있어서의 막 두께가 1㎛ 이상 5㎛ 이하가 되도록 설정되어 있다.
본 실시예에서는, 공구 선단으로부터 축방향으로 1D 이하의 범위에 존재하는 1개 혹은 복수의 마진(3)의 외주방향 길이의 합계가 πD의 20% 이상 60% 이하이고, 2개 설치된 마진(3) 중, 외주방향 길이가 긴 마진(3)의 외주방향 길이가 πD의 20% 이상 50% 이하가 되도록 설정하고 있다.
여기서, 각 마진(3)의 외주방향 길이의 합계가 길어지면, 마진(3)의 피막 내구성이 좋아지고, 그 만큼 공구 선단부의 코너 부근의 외주 마모가 진행되기 어려워져서 구멍 위치 정밀도가 악화되기 어려워지지만, 각 마진(3)의 외주방향 길이의 합계가 πD의 60%보다 긴 경우에는, 절삭 저항이 커져 절손되기 쉬워지고, πD의 20%보다 짧은 경우에는, 마진(3)의 피막 내구성이 나빠지고, 공구 선단부의 코너 부근의 외주 마모가 진행되기 쉬워져서 구멍 위치 정밀도가 악화되기 쉬워진다. 또한, 가장 외주방향 길이가 긴 마진(3)의 외주방향 길이가, πD의 50% 보다 긴 경우에는, 상기와 같은 이유로 절손되기 쉬워지고, πD의 20%보다 짧은 경우에는, 상기와 같은 이유로 구멍 위치 정밀도가 악화되기 쉬워진다.
본 실시예는 상술한 것과 같은 1날 2홈 형상이며, 도 4에 도시한 것처럼, 공구 선단으로부터 축방향으로 1D 이하의 범위에 마진(3)이 2개 존재하고, 이 2개의 마진(3)의 외주방향 길이의 합계는 πD의 43%, 외주방향 길이가 긴 마진(3)의 외주방향 길이가 πD의 33%로 설정되어 있다. 상술한 것처럼, 본 실시예에서는 절단날(5)의 공구 회전방향 후방측의 마진(3)의 외주방향 길이를 보다 길게 설정하고 있다. 이 경우, 절단날(5)을 외주방향 길이가 긴 마진(3)으로 지지하는 것에 의해 강성을 확보할 수 있어, 공구의 흔들림이 억제되기 때문에, 구멍 위치 정밀도의 악화를 막을 수 있다.
또한, 드릴은 선단부일수록 절삭 저항을 강하게 받기 때문에, 공구 선단부의 코너 부근에서 피막의 내구성이 나빠지거나, 마모가 진행하기 쉬워지거나 한다. 따라서, 공구 선단측의 마진(3)일수록 두껍게 경질 피막(4)을 성막한 편이(공구 본체(1)의 근원측으로부터 선단측에 걸쳐 막 두께가 점차 증가하도록 형성한 편이), 구멍 위치 정밀도의 악화를 억제하기 쉽다.
그 때문에, 본 실시예는, 도 7에 도시한 것처럼, 마진(3)의 공구 선단측 위치(공구 선단부의 코너 위치) L1의 경질 피막(4)의 막 두께 T1과, 마진(3)의 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경의 2배(2D) 혹은 2D 이하의 범위의 공구 후단측 위치 L2의 경질 피막(4)의 막 두께 T2의 비 T2/T1이, 0.50 이상 0.98 이하가 되도록 설정되어 있다. 한편, 도 7에 있어서의 막 두께 T1 및 T2는, 공구 본체(1)의 근원측으로부터 선단측에 걸쳐 막 두께가 점차 증가하도록 형성되어 있는 것을 대략적으로 나타내는 것이다. 구체적으로는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 도 8(A)는 L2가 마진(3)의 공구 선단으로부터 축방향으로 2D의 위치인 예, 도 8(B)는 L2가 마진(3)의 공구 선단으로부터 축방향으로 2D 이하의 범위의 공구 후단측 위치인 예이다. 한편, 공구 선단으로부터 축방향으로 1D 이하의 범위에 마진(3)이 복수 존재하는 경우, T2/T1의 값은 마진(3)마다 설정된다.
여기서, T2/T1이, 0.5보다 작은 경우에는, 위치 L1에서 피막이 공구 지름 방향으로 돌출하는 형상이 되어 절삭 부하가 집중하여, 피막 강도 이상의 응력이 발생하기 때문에, 이 부근에서 오히려 피막이 결손(缺損)되기 쉬워져, 구멍 위치 정밀도의 악화를 초래한다. T2/T1이, 0.98보다 큰 경우에는, 공구 본체(1)의 근원측으로부터 선단측에 걸쳐 막 두께가 거의 일정하게, 혹은, 근원측으로부터 선단측에 걸쳐 막 두께가 점차 감소하게 되기 때문에, 공구 선단부의 코너 부근에 충분한 막 두께가 없고, 선단부의 피막의 내구성 악화나 마모가 진행되기 쉬워져, 구멍 위치 정밀도가 악화되기 쉬워진다.
이 T2/T1은, 예를 들면, 도 9에 도시한 것처럼, 피막을 성막하는 성막로(成膜爐)내에서 드릴을 유지하는 지그를, 드릴의 직경 D에 대해서 수평 방향으로 충분히 큰 것으로 하여, 지그에 대한 드릴의 삽입 깊이를 변화시킴으로써, 적당히 설정할 수 있다. 구체적으로는, 드릴의 삽입 깊이를 깊게 하면 T2/T1을 작게 할 수 있고(L1에 있어서의 T1의 막 두께를 두껍게 할 수 있고), 얕게 하면 T2/T1을 크게 할 수 있다(L1에 있어서의 T1의 막 두께를 얇게 할 수 있다).
또한, 칩 배출홈(2)을 복수 형성한 경우, 가장 외주방향 길이가 짧은 마진(3)에 있어서 피막의 내구성이 악화되어, 구멍 위치 정밀도가 악화된다. 즉, 외주방향 길이가 가장 긴 마진(3)에 대해서 가장 짧은 마진(3)의 피막의 마모가 진행되기 때문에, 공구의 모재가 노출되는 마멸(摩滅)이 가장 짧은 마진(3)에서 현저하게 되어 한쪽이 닳는 상태가 된다. 그 결과, 피삭재와 각각의 마진(3)과의 접촉이 언밸런스하게 되고, 상기 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남의 영향이 커져, 구멍 위치 정밀도가 악화되게 된다.
그 때문에, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 존재하는 복수의 마진(3) 중, 가장 외주방향 길이가 긴 마진(3)에 형성된 경질 피막(4)의 막 두께 TW와, 가장 외주방향 길이가 짧은 마진(3)에 형성된 경질 피막(4)의 막 두께 TN의 비 TW/TN이, 0.60 이상 0.98 이하가 되도록 설정하는 것이 바람직하다.
본 실시예에서는, 도 6에 도시한 것처럼, 공구 선단으로부터 축방향으로 1D 이하의 범위에 있어서의 외주방향 길이 P1의 마진(3)에 형성된 경질 피막(4)의 막 두께 TW와 P1보다 짧은 외주방향 길이 P2의 마진(3)에 형성된 경질 피막(4)의 막 두께 TN의 비 TW/TN이, 0.60 이상 0.98 이하가 되도록 설정되어 있다. 한편, 도시되지 않지만, 공구 선단으로부터 축방향으로 1D 이하의 범위에 마진(3)이 3개 이상 존재하는 경우이더라도, 가장 외주방향 길이가 긴 마진(3)에 형성된 경질 피막(4)의 막 두께를 TW, 가장 외주방향 길이가 짧은 마진(3)에 형성된 경질 피막(4)의 막 두께를 TN으로 설정하면 좋다.
여기서, TW/TN이, 0.6보다 작은 경우에는, 외주방향 길이가 짧은 마진에서 절삭 부하가 집중하여, 이 부근에서 오히려 피막의 마모가 진행되기 쉬워지거나 피막이 결손되기 쉬워지거나 하여, 구멍 위치 정밀도가 악화되게 되고, 0.98보다 큰 경우에는, 외주방향 길이가 짧은 마진에 있어서 피막의 내구성이 악화되기 쉬워져, 구멍 위치 정밀도가 악화되기 쉬워진다.
이 TW/TN은, 예를 들면, 드릴의 날부 전체에 일정한 막 두께로 경질 피막(4)을 형성한 후, 공구 선단으로부터 1D의 범위의 마진(3)으로, 가장 외주방향 길이가 짧은 마진(3)이 성막로내의 금속 증발원의 방향을 향하도록 설치하여 성막 처리를 행함으로써 작게 할 수 있고(TN을 두껍게 할 수 있고), 가장 외주방향 길이가 긴 마진(3)이 금속 증발원의 방향을 향하도록 설치하여 성막 처리를 행함으로써 크게 할 수 있다(TN을 얇게 할 수 있다).
본 실시예는 상술한 바와 같이 구성했기 때문에, 공구 선단부에 있어서 마진(3)의 외주방향 길이를 충분히 길게 하여 경질 피막(4)의 내구성을 향상시키는 것과 함께, 이 경질 피막(4)을 공구 선단측일수록 두껍게 형성함으로써, 공구 선단측의 경질 피막(4)이 마모되기 어렵고, 또한, 마모되더라도 선단측일수록 점차 외주가 지름 축소되는 형상이 되기 어렵고, 따라서, 공구 선단부의 코너 부근의 외주 마모에 의한 프런트 테이퍼화가 양호하게 억제되게 된다.
따라서, 본 실시예는, 드릴이 피삭재에 달라붙을 때의 위치 어긋남을 방지하면서 드릴의 피삭재 진입 후의 진행 방향 어긋남의 영향을 가급적으로 작게 하고, 내절손성(耐折損性)이나 다른 성능을 유지하면서, 구멍 위치 정밀도의 개선을 더 도모하는 것이 가능한 것이 된다.
본 실시예의 효과를 증명하는 실험예에 대해서 설명한다.
도 10 내지 13은, 드릴 형상이나 마진(3)의 구성, 경질 피막(4)의 구성을 변화시켜 구멍 위치 정밀도 등을 평가한 실험 조건 및 실험 결과를 나타내는 표이다. 도 10 내지 13을 상세히 설명하면, 도 10은 각종 드릴 형상과 마진의 외주방향 길이 차이의 비교평가 결과의 도면, 도 11은 T2/T1 차이의 비교평가 결과의 도면, 도 12는 TW/TN 차이의 비교평가 결과의 도면, 도 13은 드릴 사이즈 차이의 비교평가 결과의 도면이다.
도 10의 실험에서 사용한 드릴은, 공구 직경 D를 0.3㎜, 홈 길이 l을 6.5㎜로 한 2날 2홈 드릴, 1날 1홈 드릴, 1날 2홈 드릴이며, 마진의 구성을 여러 가지 변화시키고 있다. 도면 중의 원주비(%)는, πD에 대한 마진의 외주방향 길이의 합계 및 가장 외주방향 길이가 긴 마진의 외주방향 길이의 비를 표시한 것이다. 또한, 선단 각, 비틀림각 등의 기본 형상은 같게 되어 있지만, 1날 형상의 홈 깊이는 2날 형상에 대해서 10% 깊게 하고 있다. 도면 중, 코트 부위란의 표시는 각각, 전체면: 날부 전체면에 코트 있음, 홈내면, 마진: 선단면에 코트 없음, 마진만: 홈내면과 선단면에 코트 없음을 나타낸다. 또한, 각 샘플에 있어서 경질 피막을 형성한 코트 드릴 뿐만이 아니라 논코트(경질 피막을 전혀 형성하지 않음) 드릴도 평가하고 있다. 경질 피막의 막 두께는 T2에서 2㎛로 하고, T2/T1은 0.65 이상 0.75 이하로 하였다. 또한, No.7∼13에 대해서는, TW/TN을 0.76 이상 0.85 이하로 하였다.
한편, No.13은, 공구 본체(1)에 상기 릴리빙면을 설치한 예이다(도 5(B) 참조).
이상의 드릴에 의해, 기재(基材)로서의 'FR-4 할로겐 미함유재 두께 1.2㎜ 6층 구리박'을 4매 포개고, 덧판으로서 알루미늄판(두께 0.2㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여, 드릴(스핀들)의 회전수: 120krpm, 이송속도: 3.0m/min, 스핀들의 상승속도: 25.4m/min으로 각 사양에 대해 10개씩 구멍 뚫기 가공 실험을 행하였다.
도 10 내지 도 13에 있어서의 평가방법에 대해 설명한다. 절손 개수에 대해서는, 도 10 내지 도 12에서는 6,000 히트 가공으로 10개중의 절손 개수를, 도 13에서는 설정 히트수 이내에서 10개중의 절손 개수를 기재하였다. 구멍 위치 정밀도에 대해서는, 도 10 내지 도 12에서는 10개의 6,000 히트 가공에 있어서의 최하 기판 뒤쪽의 구멍 위치 편차량의 Avg. +3s값을, 도 13에서는 10개의 설정 히트수의 최하 기판 뒤쪽의 구멍 위치 편차량의 Avg.+3s값을 기재하였다. 한편, 절손 개수가 10개인 것은 측정하고 있지 않고, 절손 개수가 10개에 못 미친 것은 절손되지 않았던 개수의 구멍 위치 편차량을 기재하였다. 또한, 논코트와 코트의 구멍 위치 편차량의 Avg.+3s값의 차이(논코트 차이)에 의해, 경질 피막 피복의 효과를 확인하였다(○: 효과 큼, ×: 효과 작음(논코트 차이가 1㎛ 이하)). 또한, 구멍 내벽 거칠기는, 도 10에서는 6,000 히트 부근의 5구멍의 구멍 내벽의 외관을 확인함으로써 평가하고(○: 구멍 내벽 거칠기가 25㎛ 미만, △: 구멍 내벽 거칠기가 25㎛ 미만이지만, 외관상 비교적 나쁘다), 도 13에서는 설정 히트 부근의 5구멍의 구멍 내벽의 외관을 확인함으로써 평가하였다(○: 구멍 내벽 거칠기가 15㎛ 미만, △: 구멍 내벽 거칠기가 15㎛ 미만이지만, 외관상 비교적 나쁘다). 또한, 막 결손은, 도 11에서는 6,000 히트 후의 코너 부근의 피막 상태를 그 외관을 확인함으로써, 도 12에서는 6,000 히트 후의 외주방향 길이가 짧은 마진의 피막 상태를 그 외관을 확인함으로써 평가하였다(○: 피막이 결손되어 있지 않음, ×: 피막이 결손되어 있음). 또한, 막 마멸은, 도 11에서는 6,000 히트 후의 코너 부근의 피막 상태를 그 외관을 확인함으로써, 도 12에서는 6,000 히트 후의 외주방향 길이가 짧은 마진의 피막 상태를 그 외관을 확인함으로써 평가하였다(○: 피막의 마멸이 눈에 띄지 않음, ×: 피막의 마멸이 현저함, -: 막 결손을 위해 마멸의 확인이 불가능).
평가 결과로부터, 이하의 점을 확인하였다.
2날 2홈 형상은 절손되기 어렵고, 피막에 의해 구멍 위치 정밀도는 다소 좋아지지만, 마진의 외주방향 길이가 길어지면 구멍 내벽 거칠기가 악화되기 쉬운 경향이 있다. 또한, 1날 1홈 형상은 경질 피막 피복의 효과가 크기 때문에 구멍 위치 정밀도는 양호해지고, 구멍 내벽 거칠기도 나쁘지는 않지만, 마진의 외주방향 길이가 바람직한 범위내이더라도 절손되기 쉬운 경향이 있다. 또한, 1날 2홈 형상은 피삭재에의 달라붙음성이 좋기 때문에 구멍 위치 정밀도가 좋고, 경질 피막 피복의 효과도 크고, 구멍 내벽 거칠기도 양호하다.
또한, 1날 2홈 형상으로 홈내면과 마진에 피막을 형성한 경우(도 10 중의 No.10)나, 마진에만 피막을 형성한 경우(도 10 중의 No.11)에서는, 상술한 드릴 형상에 의한 효과에 더하여, 선단면에, 또는 선단면과 홈내면에 피막이 형성되지 않은 것에 의해 절손되기 어려운 경향이었다. 1날 2홈 형상으로 공구 본체에 릴리빙면을 형성한 경우(도 10 중의 No.13)는, 구멍 위치 정밀도가 동일 형상 중에서도 가장 양호하고, 절손되기 어렵고, 구멍 내벽 거칠기에 있어서도 양호한 결과를 얻을 수 있었다.
이상으로부터, 1날 2홈 형상으로 마진에게만 피막을 형성한 경우에 가장 양호한 결과를 얻을 수 있는 것을 확인할 수 있었다.
도 11의 실험에서 사용한 드릴은, 공구 직경 D를 0.3㎜, 홈 길이 l을 6.5㎜로 한 도 10의 No.9와 같은 형상의 드릴이다. 각 샘플에 있어서 경질 피막을 형성한 코트 드릴 뿐만이 아니라 논코트 드릴도 평가하고 있다. 경질 피막의 막 두께는 T2에서 2㎛로 하여, T2/T1을 변화시켰다. 또한, TW/TN을 0.76 이상 0.88 이하로 하였다.
이상의 드릴에 의해, 기재로서의 'FR-4 할로겐 미함유재 두께 1.2㎜ 6층 구리박'을 4매 포개고, 덧판으로서 알루미늄판(두께 0.2㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여 드릴(스핀들)의 회전수: 120krpm, 이송속도: 3.0m/min, 스핀들의 상승속도: 25.4m/min으로 각 사양에 대해 10개씩 구멍 뚫기 가공 실험을 행하였다.
평가 결과로부터, T2/T1이 작은 경우, 코너 부근의 피막 결손이 눈에 띄는 것을 확인할 수 있었다. 또한, T2/T1이 큰 경우, 코너 부근의 피막 마멸이 눈에 띄는 것을 확인할 수 있었다.
이상으로부터, T2/T1은, 0.50 이상 0.98 이하가 적합하다고 생각된다.
도 12의 실험에서 사용한 드릴은, 공구 직경 D를 0.3㎜, 홈 길이 l을 6.5㎜로 한 도 10의 No.9와 같은 형상의 드릴이다. 각 샘플에 있어서 경질 피막을 형성한 코트 드릴 뿐만이 아니라 논코트 드릴도 평가하고 있다. 경질 피막의 막 두께는 TW에 있어서 2.8㎛로 하여, TW/TN을 변화시켰다. 또한, T2/T1을 0.65 이상 0.75 이하로 하였다.
이상의 드릴에 의해, 기재로서의 'FR-4 할로겐 미함유재 두께 1.2㎜ 6층 구리박'을 4매 포개고, 덧판으로서 알루미늄판(두께 0.2㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여, 드릴(스핀들)의 회전수: 120krpm, 이송속도: 3.0m/min, 스핀들의 상승속도: 25.4m/min으로 각 사양에 대해 10개씩 구멍 뚫기 가공 실험을 행하였다.
평가 결과로부터, TW/TN이 작은 경우, 외주방향 길이가 짧은 마진의 피막 결손이 눈에 띄는 것을 확인할 수 있었다. 또한, TW/TN이 큰 경우, 외주방향 길이가 짧은 마진의 피막 마멸이 눈에 띄는 것을 확인할 수 있었다.
이상으로부터, TW/TN은, 적어도 0.51 이하 혹은 1.17 이상이면 바람직하지 않은 것을 확인할 수 있었다.
도 13의 실험에서 사용한 드릴은, 공구 직경 D를 0.1㎜, 홈 길이 l을 2.2㎜로 한 2날 2홈 드릴 및 1날 2홈 드릴과 공구 직경 D를 0.2㎜, 홈 길이 l을 3.5㎜로 한 1날 2홈 드릴과 공구 직경 D를 0.6㎜, 홈 길이 l을 8.5㎜로 한 2날 2홈 드릴 및 1날 2홈 드릴, 공구 직경 D를 1.0㎜, 홈 길이 l을 9.0㎜로 한 2날 2홈 드릴과, 공구 직경 D를 1.1㎜, 홈 길이 l을 9.0㎜로 한 2날 2홈 드릴이다. 경질 피막은 날부 전체면에 형성하고 있다. 또한, 각 샘플에 있어서 경질 피막을 형성한 코트 드릴 뿐만이 아니라 논코트 드릴도 평가하고 있다.
이상의 드릴에 의해, 공구 직경 D마다 하기의 조건으로 구멍 뚫기 가공 실험을 행하였다.
·공구 직경 D: 0.1㎜
기재로서의 '할로겐 미함유재 두께 0.4㎜ 2층 구리박'을 3매 포개고, 덧판으로서 수지 부착 알루미늄판(두께 0.1㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여, 드릴(스핀들)의 회전수: 330krpm, 이송속도: 2.4m/min, 스핀들의 상승속도: 50.0m/min으로 각 사양에 대해 10개씩 6,000 히트 구멍 뚫기 가공을 행한다.
·공구 직경 D: 0.2㎜
기재로서의 'FR-4재 두께 1.2㎜ 6층 구리박'을 2매 포개고, 덧판으로서 수지 부착 알루미늄판(두께 0.17㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여, 드릴(스핀들)의 회전수: 180krpm, 이송속도: 2.4m/min, 스핀들의 상승속도: 25.4m/min으로 10개씩 3,000 히트 구멍 뚫기 가공을 행한다.
·공구 직경 D: 0.6㎜
기재로서의 'FR-4재 두께 1.6㎜ 6층 구리박'을 3매 포개고, 덧판으로서 알루미늄판(두께 0.2㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여, 드릴(스핀들)의 회전수: 75krpm, 이송속도: 2.05m/min, 스핀들의 상승속도: 25.4m/min으로 각 사양에 대해 10개씩 2,400 히트 구멍 뚫기 가공을 행한다.
·공구 직경 D: 1.0㎜
기재로서의 'FR-4재 두께 1.5㎜ 4층 구리박'을 3매 포개고, 덧판으로서 알루미늄판(두께 0.15㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여, 드릴(스핀들)의 회전수: 48krpm, 이송속도: 0.96m/min, 스핀들의 이송속도: 25.4m/min으로 10개씩 2,000 히트 구멍 뚫기 가공을 행한다.
·공구 직경 D: 1.1㎜
기재로서의 'FR-4재 두께 1.6㎜ 2층 구리박'을 3매 포개고, 덧판으로서 알루미늄판(두께 0.15㎜), 버림판으로서 베이크판(두께 1.5㎜)을 이용하여, 드릴(스핀들)의 회전수: 48krpm, 이송속도: 0.96m/min, 스핀들의 상승속도: 25.4m/min으로 10개씩 2,000 히트 구멍 뚫기 가공을 행한다.
평가 결과보다, 공구 직경 D가 0.1㎜ 혹은 1.1㎜의 드릴에서는 경질 피막의 내마모 효과가 작은 것을 확인할 수 있었다.
이상으로부터, 공구 직경 D가 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하의 드릴로 특히 본 발명의 효과가 발휘되는 것을 확인할 수 있었다.
11 : 공구 본체
2 : 칩 배출홈
3 : 마진
4 : 경질 피막
5 : 절단날
D : 공구 직경

Claims (19)

  1. 공구 본체의 외주에 공구 선단(先端)으로부터 기단(基端)측을 향하는 나선상(螺旋狀)의 칩 배출홈이 1개 혹은 복수 형성된 구멍 뚫기 공구로서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 1배 이하의 범위에 복수의 마진이 설치되고, 이 마진은, 다음의 두 가지 조건을 충족하고,
    (1) 외주방향 길이의 합계가 공구 직경의 원의 원주 길이의 20% 이상 60% 이하
    (2) 상기 마진 중, 가장 외주방향 길이가 긴 마진의 상기 외주방향 길이는 상기 공구 직경의 원의 원주 길이의 20% 이상 50% 이하
    또한, 상기 마진에는 경질 피막(硬質皮膜)이 형성되고, 이 경질 피막은 공구 선단측일수록 두껍게 형성되어 있고,
    상기 복수의 마진 중, 가장 외주방향 길이가 긴 마진에 형성된 상기 경질 피막의 막 두께 TW와, 가장 외주방향 길이가 짧은 마진에 형성된 상기 경질 피막의 막 두께 TN의 비 TW/TN이, 0.60 이상 0.98 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마진의 공구 선단측 위치의 상기 경질 피막의 막 두께 T1과, 상기 마진의 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경 D의 2배 혹은 공구 직경의 2배 이하의 범위에 있어서의 공구 후단측 위치의 상기 경질 피막의 막 두께 T2의 비 T2/T1이, 0.50 이상 0.98 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 경질 피막은, 금속 성분으로서 적어도 Al과 Cr을 포함하고, 비금속 성분으로서 적어도 N을 포함하는 것으로, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경의 1배 이하의 범위에 있어서의 막 두께가 1㎛ 이상 5㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 경질 피막은, 금속 성분으로서 적어도 Al과 Cr을 포함하고, 비금속 성분으로서 적어도 N을 포함하는 것으로, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경의 1배 이하의 범위에 있어서의 막 두께가 1㎛ 이상 5㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  5. 제 1 항에 있어서, 절단날이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  6. 제 2 항에 있어서, 절단날이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  7. 제 3 항에 있어서, 절단날이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  8. 제 4 항에 있어서, 절단날이 1개인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 공구 선단면에는 상기 경질 피막이 형성되지 않은 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  10. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 공구 선단면 및 상기 칩 배출홈의 내면에는 상기 경질 피막이 형성되지 않은 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  11. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경의 1배 이하의 범위에 상기 마진이 2개 존재하는 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  12. 제 9 항에 있어서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경의 1배 이하의 범위에 상기 마진이 2개 존재하는 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  13. 제 10항에 있어서, 공구 선단으로부터 축방향으로 공구 직경의 1배 이하의 범위에 상기 마진이 2개 존재하는 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  14. 제 11 항에 있어서, 공구 직경이 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하이고, 적어도 선단으로부터 칩 배출홈 후단부까지가 WC와 Co를 함유하는 초경(超硬)합금제인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  15. 제 12 항에 있어서, 공구 직경이 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하이고, 적어도 선단으로부터 칩 배출홈 후단부까지가 WC와 Co를 함유하는 초경합금제인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
  16. 제 13 항에 있어서, 공구 직경이 0.2㎜ 이상 1.0㎜ 이하이고, 적어도 선단으로부터 칩 배출홈 후단부까지가 WC와 Co를 함유하는 초경합금제인 것을 특징으로 하는 구멍 뚫기 공구.
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