KR101529603B1 - 빗 형상 공중합체의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 중합 개시제의 존재 하에, 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 제1단량체 및 폴리알킬렌옥사이드 아크릴레이크계 또는 폴리알킬렌옥사이드 메타크릴레이트계의 제2단량체를 수용액 상태로 중합하는 단계를 포함하고, 중합 반응 개시 온도와 중합 반응의 최고 온도 간의 차이(dT)가 3℃이하인 빗 형상 공중합체의 제조 방법에 관한 것으로서, 이러한 제조 방법에 의하면 제조 공정을 단축하고 비용을 절감할 수 있으며, 유기 용제에 따른 환경 문제를 최소화할 수 있고, 중합 반응의 생성물의 분자량을 용이하게 조절할 수 있다.

Description

빗 형상 공중합체의 제조 방법{PREPARATION METHOD FOR COMB-TYPE COPOLYMER}
본 발명은 빗 형상 공중합체의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조 공정을 단축하고 비용을 절감할 수 있으며, 유기 용제에 따른 환경 문제를 최소화할 수 있고, 중합 반응 생성물의 분자량을 용이하게 조절할 수 있는 빗 형상 공중합체의 제조 방법에 관한 것이다.
아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계 단량체로부터 공중합되는 고분자 화합물은 접착제, 첨가제, 고분자 수지 등의 다양한 분야에 적용되고 있다. 다만, 상기 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계 단량체들의 높은 반응성으로 인하여, 고분자 화합물의 분자량 및 단량체들의 결합된 구조 등을 용이하게 조절하기 어려운 문제점이 있다.
이에, 상기 단량체들의 반응성을 조절하기 위하여 알코올 등의 유기 반응 용매를 사용하는 방법에 제안되었으나, 이에 의하면 유기 용매의 사용에 따른 공정 비용 문제 및 중합 단계에서 발생하는 인체 및 자연 환경에 유해한 유기 폐액의 처리 문제 등이 나타났다.
이러한 유기 용매의 적용에 따른 문제점을 해결하기 위하여 수계 용매를 적용하는 방법이 제안되었으나, 상기 단량체들을 수용액 상태로 중합하는 경우 고분자 중합체의 구조 및 분자량을 조절하기가 어렵게 되는 문제점이 나타났다. 또한, 수계 용매를 적용하는 경우, 중합 단계에서 생성되는 생성물의 점도가 높아서 교반을 하기가 어려울 뿐만 아니라, 점도를 낮추기 위하여 고형분량을 줄이게 되어 공정의 효율성 및 경제성이 저하되는 문제점이 발생하였다.
한편, 한국공개특허 제2003-0039999호, 한국공개특허 제2004-0098671호, 한국공개특허 제2004-0095118호, 및 한국공개특허 제2005-0004051 등에는 는 산화세륨 슬러리 조성물의 연마선택비를 증가시키기 위한 첨가제로 선형(linear-type)의 고분자물질 단독 혹은 저분자량 물질과 혼합하여 사용하는 방법에 대하여 소개하고 있다. 그러나, 이전에 알려진 방법에 따르면, 피연마막들에 대한 연마 선택비를 조절하기가 용이하지 않았으며, 연마 단계에서 발생할 수 있는 디싱이나 에로젼을 최소화하는데에도 일정한 한계가 있었다.
본 발명은 제조 공정을 단축하고 비용을 절감할 수 있으며, 유기 용제에 따른 환경 문제를 최소화할 수 있고, 중합 반응의 생성물의 분자량을 용이하게 조절할 수 있는 빗 형상 공중합체의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 중합 개시제의 존재 하에, 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 제1단량체 및 폴리알킬렌옥사이드 아크릴레이크계 또는 폴리알킬렌옥사이드 메타크릴레이트계의 제2단량체를 수용액 상태로 중합하는 단계를 포함하고, 중합 반응 개시 온도와 중합 반응의 최고 온도 간의 차이(dT)가 3℃이하인 빗 형상 공중합체의 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 빗 형상 고분자 첨가제; 연마입자; 및 물을 포함하는 CMP용 슬러리 조성물이 제공한다.
이하, 발명의 구체적인 구현 예에 따른 빗 형상 공중합체의 제조 방법에 관하여 보다 상세히 설명한다.
발명의 일 구현예에 따라, 중합 개시제의 존재 하에, 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 제1단량체 및 폴리알킬렌옥사이드 아크릴레이크계 또는 폴리알킬렌옥사이드 메타크릴레이트계의 제2단량체를 수용액 상태로 중합하는 단계를 포함하고, 중합 반응 개시 온도와 중합 반응의 최고 온도 간의 차이(dT)가 3℃이하인 빗 형상 공중합체의 제조 방법이 제공될 수 있다.
이전에는 공중합체의 모양 및 분자량을 용이하게 조절하기 위하여 알코올 등의 유기 용매를 중합 단계에 적용하였는데, 이로 인하여 인체 및 자연 환경에 해로운 유기 폐액이 발생하는 문제점이 나타났다. 이에, 본 발명자들은 알코올 등의 유기 용매 대신에 물을 반응 용매로 사용하여 상기 제1단량체와 제2단량체를 중합하는 과정에서, 중합 반응 개시 온도와 중합 반응의 최고 온도 간의 차이(dT)가 3℃이하인 경우, 중합되는 빗 형상 공중합체의 분자량을 반응 온도에 따라 용이하게 조절할 수 있음을 확인하고 발명을 완성하였다. 이에 따라, 유기 용매 대신 물을 반응 용매로서 적용하기 때문에 제조 공정을 단축하고 비용을 절감할 수 있으며, 유기 용매에 따른 환경 문제를 최소화할 수 있다. 또한, 상기 빗 형상 공중합체의 분자량을 적절히 조절하여 적용되는 분야에서 원하는 물성을 얻을 수 있다. 구체적으로, 이러한 빗 형상 공중합체를 CMP용 슬러리 조성물에 적용하면 원하는 연마 선택비 또는 연마 특성을 구현할 수 있다.
상기 중합 단계는 중합 개시제의 존재하여 상기 제1단량체와 제2단량체를 동시에 물에 혼합하여 이루어 질 수도 있으나, 바람직하게는 상기 제1또는 제2단량체 중 하나를 물에 용해하여 단량체 수용액을 준비한 뒤, 나머지 단량체와 중합개시제를 혼합하여 상기 단량체 수용액에 첨가하는 단계를 통하여 이루어 질 수 도 있다. 하나의 단량체를 물에 녹인 후 나머지 단량체와 중합개시제를 첨가하는 방법을 적용하면, 점도를 일정 수준 이상으로 유지하면서 교반할 수 있기 때문에, 첨가하는 단량체의 함량을 줄이지 않고도 상기 빗 형상 공중합체를 용이하게 중합할 수 있다.
상기 제1단량체와 제2단량체는 물에 혼합되어 수용액 상태로 중합 반응을 거치게 되며, 이때 사용되는 물 또는 수용액의 양은 크게 한정되는 것은 아니나, 예를 들어 제1단량체 및 제2단량체를 합한 100중량부에 대하여 50 내지 500중량부로 사용될 수 있다.
상기 중합 단계에서는 질소 가스 또는 할로겐 가스의 비활성가스를 주입하거나 진공 펌프를 사용하여 공기를 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 비활성 가스를 주입하거나 공기를 제거함에 따라서, 중합 반응을 저해하는 산소, 수분 또는 히드록시(hydroxy)기를 제거하여 중합반응의 수율을 높일 수 있다.
발명의 일 구현예에서는 중합 반응 개시온도와 중합 반응의 최고 온도간의 차이(dT)가 3℃ 이하로 됨에 따라, 반응 온도에 따라 빗 형상 공중합체의 분자량을 용이하게 조절할 수 있다. 후술하는 바와 같이, 중합 원료의 투입 시간을 2 내지 4시간으로 조절하여 발생되는 열량을 분산하거나, 원료의 투입 과정에서 약 10분 내외의 시간 동안 원료 투입을 중단하여 누적에 의한 순간 발열도 원천적으로 차단함으로서, 상기 중합 반응 단계에서 상기 dT를 3℃이하로 조절할 수 있다.
한편, 발명의 일 구현예의 빗 형상 공중합체의 제조 방법은 상기 dT의 변화를 모니터링하는 단계를 더 포함할 수 있다. 후술하는 비교예에 나타난 바와 같이, 상기 dT가 3℃를 초과하는 경우에는 반응 온도에 따라서 상기 빗 형상 공중합체의 분자량의 조절이 용이하지 않게 된다. 이에 따라, 발명의 일 구현예에서는 상기 모니터링 단계에서 확인되는 dT가 일정 온도 범위, 적절하게는 2℃를 초과하는 경우, 단량체 또는 중합개시제의 첨가량을 조절하는 방법 등을 적용하여 dT를 3℃이하로 유지할 수 있다. 이러한 모니터링 단계에서는 써머커플(Thermocouple) 온도계를 이용하여 반응기 내부와 투입되는 원료의 온도를 측정하고, 상기 dT의 변화에 따라 단량체 또는 중합 개시제의 첨가량을 자동화 수단을 통하여 조절할 수 있다.
상기 중합개시제는 과산화벤조일, 과산화아세틸, 디-t-부틸과산화물(di-t-butyl peroxide), 쿠멘하이드로과산화물(Cumene hydroperoxide), 과산화로로일(lauroyl peroxide), 과산화 암모늄 수용액, 과산화황산암모늄 또는 과산화 수소 등의 유기 과산화물계; 및 2,2,-아조비스-4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴, 2,2-아조비스-2,4-디메틸발레로니트릴, 2,2-아조비스-이소부티로니트릴, 2,2-아조비스-2-메틸-부티로니트릴, 2,2-아조비스-시클로헥산카보니트릴, 또는 2,2-아조비스-시아노펜탄 등의 아조계 화합물 개시제를 포함할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 단량체 중합하는데 사용할 수 있는 것으로 알려진 유기 과산화물계 또는 아조계 화합물 개시제는 별 다른 제한 없이 사용할 수 있다.
상기 중합 단계는 30내지 110℃에서 1내지 6시간 동안 이루어 질 수 있다. 상기 제1단량체, 제2단량체, 중합 개시제 및 물을 혼합하여, 30내지 110℃에서 1내지 6시간 동안 중합 반응을 진행하여 빗 형상 공중합체를 제조할 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 제1 또는 제2단량체 중 하나의 단량체를 첨가한 수용액에 상기 dT의 변화에 따라서 나머지 하나의 단량체와 중합개시제를 첨가하는 단계를 30내지 110℃에서 1내지 3시간 동안 진행한 후, 1내지 3시간 동안 동일한 반응 온도를 유지하는 단계를 통하여 빗 형상 공중합체를 제조할 수 있다.
한편, 발명의 일 구현예에서, 상기 중합 반응의 생성물을 냉각 및 중화하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 냉각 단계는 -10 내지 20℃의 온도에서 1내지 5시간동안 이루어질 수 있다. 그리고, 상기 중화 단계는 암모니아 수용액을 이용하여 1내지 5시간동안 이루어질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 고분자 화합물의 중합 반응 단계에 적용될 수 있는 것으로 알려진 냉각 및 중화 방법은 별 다른 제한 없이 사용할 수 있다.
한편, 발명의 일 구현예에 의하여 제조되는 빗 형상 공중합체는 중량평균분자량이 1,000 내지 700,000일 수 있다. 후술하는 실시예에서 확인되는 바와 같이, 중합 반응에 물을 유일한 용매로 사용하고, 중합 반응의 최고 온도 간의 차이(dT)를 3℃이하로 조절하는 경우, 반응 온도에 따라 상기 빗 형상 공중합체의 중량평균분자량을 용이하게 조절할 수 있다.
또한, 발명의 일 구현예에 의하여 제조되는 빗 형상 공중합체는 하기 화학식 1의 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 제1단량체와 하기 화학식 2의 폴리알킬렌옥사이드 아크릴레이크계 또는 폴리알킬렌옥사이드 메타크릴레이트계의 제2단량체가 공중합되어 주쇄 및 분지쇄가 빗 형상(comb-type)을 띄고 있는 공중합체를 포함할 수 있다.
[화학식 1]
Figure 112012037545214-pat00001
상기 화학식2에서, R1은 수소원자 또는 메틸이며,
[화학식 2]
Figure 112012037545214-pat00002
상기 화학식 1에서, R1은 수소원자 또는 메틸이고, R2는 탄소수 2 내지3의 알킬(alkyl)이고, R3는 수소 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬이고, m은 2 내지 100의 정수이다.
보다 구체적으로, 상기 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 제1단량체는 아크릴산, 메타크릴산 및 이들의 유도체를 포함할 수 있다. 상기 폴리알킬렌옥사이드 아크릴레이크계 또는 폴리알킬렌옥사이드 메타크릴레이트계의 제2단량체는 폴리프로필렌옥사이드 메타크릴산, 폴리프로필렌옥사이드 아크릴산, 폴리에틸렌옥사이드 메타크릴산, 폴리에틸렌옥사이드 아크릴산 또는 이들의 유도체를 포함할 수 있다.
한편, 발명의 일 구현예에 의하여 제조된 빗 형상 공중합체는 고분자수지, 접착제, 고분자 첨가제 등의 다양한 분야에 사용할 수 있으나, 바람직하게는 화학적 기계적 연마 공정에 적용되는 슬러리 조성물에 첨가제로 적용될 수 있다.
한편, 발명의 다른 구현예에 따르면, 상술한 빗 형상 공중합체; 연마입자; 및 물을 포함하는 CMP용 슬러리 조성물이 제공될 수 있다. 상기 빗 형상 공중합체를 CMP용 슬러리 조성물에 적용하는 경우, 연마 정지막과 연마 대상막에 대한 높은 연마 선택비를 구현할 수 있으며, 슬러리 조성물 내부에에서 응집현상을 최소화하여 분산 안정성을 높일 수 있다.
상기 CMP용 슬러리 조성물은 상기 빗 형상 공중합체를 0.05 내지 10중량%로 포함할 수 있다. 이러한 빗 형상 공중합체의 양에 의하여 연마율 또는 연마선택비를 조절할 수 있는데, 빗 형상 공중합체가 0.05중량% 미만으로 포함되는 경우, 연마 선택비가 낮아지게 된다. 이에 반하여, 빗 형상 공중합체의 양이 10중량% 초과할 경우에는 연마 선택비가 낮아지고, 연마 입자의 응집 현상 발생하여 슬러리 조성물의 분산 안정성이 떨어지게 된다.
상기 CMP용 슬러리 조성물은 연마 대상막의 기계적 연마를 위한 연마입자를 포함한다. 이러한 연마입자는 종래의 연마입자로 사용되던 통상의 물질들은 별다른 제한없이 사용할 수 있고, 예를 들어, 금속산화물입자, 유기입자 또는 유기-무기 복합 입자 등을 사용할 수 있다. 이러한 연마 입자는 CMP용 슬러리 조성물에 0.01 내지 10 중량%로 포함될 수 있다. 그 함량이 0.01미만인 경우에는 연마 대상막에 대한 연마율이 충분히 높지 않으며, 10중량%를 초과하는 경우에는 슬러리 조성물의 분산안정성이 떨어지게 된다.
한편, 상기 CMP용 슬러리 조성물은 연마제의 연마 효율을 향상시키기 위해서 연마제용 분산제를 더 포함할 수 있다. 상기 분산제는 비이온성 고분자 분산제 또는 음이온성 고분자 분산제를 사용할 수 있다. 비이온성 고분자 분산제는 폴리비닐알콜(PVA), 에틸렌글리콜(EG), 글리세린, 폴리에틸렌글리콜(PEG), 폴리프로필렌글리콜(PPG) 또는 폴리비닐피롤리돈(PVP)일 수 있으며, 음이온성 고분자 분산제는 폴리아크릴산, 폴리메타크릴산, 폴리아크릴산 암모늄염, 폴리메타크릴산 암모늄염 또는 폴리아크릴 말레익산일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 상기 CMP용 슬러리 조성물은 연마 입자와 분산제를 물에 혼합한 후 pH를 6내지8로 적정하는 것이 바람직한데, pH적정을 위해서 pH조절제를 더 포함할 수 있다. 상기 pH조절제는 수산화칼륨, 수산화나트륨, 암모니아수, 수산화비듐, 수산화세슘, 탄산수소나트륨 또는 탄산나트륨 등의 염기성 pH조절제이거나, 염산, 질산, 황산, 인산, 포름산 또는 아세트산 등의 산성 pH조절제를 포함할 수 있다. 이 중 강산 또는 강염기를 사용하는 경우에는, 국지적 pH변화에 의한 슬러리의 응집을 억제하기 위하여 탈이온수로 희석시켜 사용할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제조 공정을 단축하고 비용을 절감할 수 있고, 유기 용제에 따른 환경 문제를 최소화할 수 있으며, 중합 반응의 생성물의 분자량을 용이하게 조절할 수 있는 빗 형상 공중합체의 제조 방법이 제공될 수 있다.
발명을 하기의 실시예에서 보다 상세하게 설명한다. 단, 하기의 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기의 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.
< 실시예 : 빗 형상 공중합체의 제조>
실시예1
10L 유리반응기에 온도계, 교반기, 정량 펌프, 질소 도입관 및 환류 냉각기를 구비하여, 증류수 2,100g과 폴리프로필렌옥사이드 메타크릴산(Mw. 400)460g을 투입한 후, 반응기 내부를 질소로 치환하여 질소분위기 하에서 내부 온도를 50℃까지 가열하였다.
상기 반응기에 아크릴산 1,440g 및 증류수 1,200g을 혼합한 단량체 수용액과 개시제로 10중량% 과산화황산암모늄 수용액 1,100g을 정량 펌프를 사용하여 각각 2시간 동안 적가 하였다. 이러한 적가 과정에서는 써머커플(Thermocouple) 온도계를 이용하여 반응기 내부와 투입되는 원료의 온도를 측정하고, 상기 dT의 변화에 따라서 1) 원료의 투입 과정에서 약 10분 내외의 시간 동안 원료 투입을 중단하였으며, 2) 단량체 또는 중합 개시제의 첨가량을 자동화 수단을 통하여 조절하여, 반응 개시 온도와 반응 중 최고 온도의 차이(dT)가 3℃이하가 되도록 하였다. 적하 종류 후, 2시간 동안 50℃의 온도를 유지하며 숙성시켜 중합 반응을 완료하였다.
중합 반응 완료 후, 0℃로 냉각하고, 3시간 동안 29중량%의 암모니아 수용액으로 중화시켜 빗 형상(comb-type)을 띄는 공중합체를 제조하였다.
상기와 같이 제조된 빗 형상 공중합체의 중량평균분자량을 겔투과 크로마토그래피법(gel permeation chromatography, GPC)으로 측정하였다.
실시예 2 내지 7
하기 표1에 기재된 바와 같이, 첨가되는 물질의 양과 반응 온도를 다르게 한 점을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 빗 형상 공중합체를 제조하고, 이의 중량평균분자량을 측정하였다.
실시예 1내지 7에서의 반응 조건 및 빗 형상 공중합체의 중량평균분자량
실시예 증류수
(g)		 폴리프로필렌
옥사이드 메타크릴산(g)		 아크릴산
(g)		 반응
개시온도
(℃)		 시간 dT의 조절여부 빗 형상 공중합체의 Mw
1 3,300 460 1,440 50 2 조절 123,500
2 3,300 460 1,440 35 2 조절 523,000
3 4,500 460 2,200 50 2 조절 89,000
4 6,000 460 2,200 50 2 조절 82,000
5 3,300 460 1,440 80 2 조절 24,000
6 4,500 460 1,440 95 2 조절 7,000
7 4,500 460 1,440 100 2 조절 3,000
상기 표1에 나타난 바와 같이, 물을 반응용매로 사용하고 반응 개시온도와 반응 중 최고 온도의 차이를 3℃이하로 조절하는 실시예에서는 상대적으로 높은 중량 평균 분자량을 갖는 빗 형상 공중합체을 합성할 수 있었으며, 사용한 증류수의 양, 반응 개시 온도, 또는 단량체의 사용량 등을 조절하면 합성되는 빗 형상 공중합체의 분자량을 용이하게 조절할 수 있다는 점이 확인되었다.
< 비교예 : 빗 형상 공중합체의 제조 방법>
비교예1
10L의 유리반응기에 온도계, 교반기, 정량 펌프, 질소 도입과 및 환류 냉각기를 구비하여, 증류수 1,200g, 이소프로필알코올 1,000g 및 폴리프로필렌옥사이드 메타크릴산(Mw. 400) 460g을 투입한 후, 교반하에 반응기 내부를 질소로 치환하여 질소분위기 하에서 내부온도 50℃까지 가열하였다.
상기 반응기에 아크릴산 1,440g 및 증류수 1,200g을 혼합한 단량체 수용액과 개시제로 10중량% 과산화황산암모늄 수용액 1,100g을 정량 펌프를 사용하여 각각 2시간동안 적가하였다. 적하 종료 후, 2시간 동안 50℃의 온도를 유지하며 숙성시켜 중합 반응을 완료하였다.
중합 반응 완료 후, 상압에서 천천히 100토르(torr)까지 갑압하여 3시간 동안 이소프로필알코올을 제거하였다.
그 다음, 0도로 냉각하고 3시간 동안 29중량%의 암모니아 수용액으로 중화시켜 빗 형상을 띄고 있는 공중합체를 제조하였다.
상기와 같이 제조된 빗 형상 공중합체의 중량평균분자량을 겔투과 크로마토그래피법으로 측정하였다.
비교예2
상기 적가 과정에서 반응 개시 온도와 반응 중 최고 온도의 차이를 조절하지 않고 개시제를 첨가한 점을 제외하고, 상기 실시예1과 동일한 방법으로 빗 형상을 띄는 공중합체를 제조하고, 이의 중량평균분자량을 측정하였다.
비교예3 내지 6
하기 표3에 기재된 바와 같이, 첨가되는 물질의 양과 반응 온도를 다르게 한 점을 제외하고, 비교예2와 동일한 방법으로 빗 형상을 띄는 공중합체를 제조하고, 이의 중량평균분자량을 측정하였다.
비교예 2내지 6에서의 반응 조건 및 빗형상 공중합체의 중량평균분자량
비
교
예		 증류수
(g)		 폴리프로필렌
옥사이드
메타크릴산(g)		 아크
릴산
(g)		 반응
개시온도
(℃)		 반응중
최고온도
(℃)		 시간 빗형상 공중합체의 Mw 빗형상공중합체의PDI
2 3,300 460 1,440 50 54 2 35,000 2.2
3 3,300 460 1,440 80 85 2 9,000 1.9
4 3,300 460 1,440 95 99 2 4,500 1.6
5 4,500 460 1,440 80 91 2 7,000 4.6
6 6,000 460 1,440 95 103 2 2,500 5.2
상기 표2에 나타난 바와 같이, 물을 반응용매로 사용하고 반응 개시온도와 반응 중 최고 온도의 차이를 3℃이하로 조절하지 않은 경우, 빗 형상 공중합체의 분자량 조절이 용이하지 않을 뿐만 아니라, 제조되는 공중합체의 분산도(Polydispersity index)도 상대적으로 높게 나타난다는 점이 확인되었다.

Claims (8)

  1. 중합 개시제의 존재 하에, 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 제1단량체 및 폴리알킬렌옥사이드 아크릴레이크계 또는 폴리알킬렌옥사이드 메타크릴레이트계의 제2단량체를 수용액 상태로 중합하는 단계를 포함하고,
    상기 중합 단계는 상기 제1 또는 제2단량체 중 하나의 단량체 수용액을 준비하는 단계; 및 상기 수용액에 나머지 하나의 단량체와 중합개시제를 첨가하는 단계를 포함하며,
    중합 반응 개시 온도와 중합 반응의 최고 온도 간의 차이(dT)가 3℃이하인 빗 형상 공중합체의 제조 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 dT의 변화를 모니터링하는 단계를 더 포함하는 빗 형상 공중합체의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 중합 단계는 1내지 6시간 동안, 30 내지 110℃에서 이루어지는 빗 형상 공중합체의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    냉각 및 중화 단계를 더 포함하는 빗 형상 공중합체의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    중량평균분자량이 1,000 내지 700,000인 빗 형상 공중합체의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    하기 화학식 1의 아크릴레이트계 또는 메타크릴레이트계의 제1단량체와 하기 화학식 2의 폴리알킬렌옥사이드 아크릴레이크계 또는 폴리알킬렌옥사이드 메타크릴레이트계의 제2단량체가 공중합되어 주쇄 및 분지쇄가 빗 형상(comb-type)을 띄는, 빗 형상 공중합체의 제조 방법:
    [화학식 1]
    Figure 112012037545214-pat00003

    상기 화학식1에서, R1은 수소원자 또는 메틸이며,
    [화학식 2]
    Figure 112012037545214-pat00004

    상기 화학식 2에서, R1은 수소원자 또는 메틸이고, R2는 탄소수 2 내지3의 알킬(alkyl)이고, R3는 수소 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬이고, m은 2 내지 100의 정수이다.
  8. 제1항에 의한 빗 형상 공중합체;
    연마 입자; 및 물을 포함하는 CMP용 슬러리 조성물.
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