KR101515105B1 - 판부재 파지용 에어컵 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 판부재 파지용 에어컵에 관한 것으로서, 내면이 곡면 형상을 갖는 외부컵바디를 구비하고, 이 외부컵바디 내부 상단에 공기가 선회되는 것을 안내하는 내부컵바디를 형성함으로써, 외부컵바디로 공급되는 공기가 내부컵바디 외면을 따라 선회하여 공기주입공을 통해 공급되는 공기중 일부가 선회공간의 중앙부로 침투되는 것이 방지됨과 동시에 외부컵바디 하방의 공기 토출압 및 흡입압이 상승된다.
본 발명에 따르면, 토출 공기가 곡면 형상의 내면을 따라 방사상으로 자연스럽게 퍼지면서 공기의 토출 및 흡입 반경이 커지고, 외부컵바디의 내면과 내부컵바디의 외주면 사이에 형성된 상광하협 구조의 공기순회공간을 통과하면서 공기의 유속이 상승되어 공기의 토출압 및 토출량이 동시에 증가되되, 토출압 및 토출량에 상응하는 공기 흡입압 및 흡입량이 증가되어 기판 또는 대형 유리판의 파지력이 상승되며, 공기주입구멍을 통해 공급된 공기가 내부컵바디 주변을 선회하면서 흡입공기와 상충되는 것이 방지되고, 이에 따라 내부컵바디 내로 공기 유입이 억제되어 내부컵바디 하단면을 기준으로 선회공기와 자연스럽게 혼합되며, 공기주입구멍을 통해 공급되는 공기압에 관계없이 공기선회공간 내에서 공기가 내, 외부컵바디 사이의 공기선회공간을 따라 선회하여 공기중 일부가 내부컵바디의 공기선회공간 내로 침투되는 것이 방지되고, 이송도중 대형 유리판에 발생되는 미비한 경사 각도에 대해 에어컵이 대형 유리판 상면에서 정해진 거리 및 각도를 유지하는 장점이 있다.

Description

판부재 파지용 에어컵{Aircup hold for materials panel}
본 발명은 판부재 파지용 에어컵에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼, 유리기판, PCB, FPC, 종이, 필름 등의 판부재를 비접촉 방식으로 파지하는 판부재 파지용 에어컵에 관한 것이다.
일반적으로, 나노단위의 미세회로(또는, 패턴)가 형성된 기판이나 혹은 상대적으로 면적이 넓은 기판 또는 대형 유리판은 롤러를 구비한 이송컨베이어로 이송하게 된다.
이 경우, 이송컨베이어의 롤러가 기판 또는 대형 유리판에 직접 접촉된 상태로 이 기판 또는 대형 유리판을 이송하게 되고, 이에 따라 기판 또는 대형 유리판에 스크래치가 발생되거나 혹은 기판의 미세회로가 손상되는 문제점이 있다.
따라서, 근래에는 기판 또는 대형 유리판에 스크래치가 발생되거나 혹은 미세먼지로 인한 표면오염을 방지하기 위한 비접촉 방식의 이송장치가 이용되고 있다.
도 1은 상기한 장치에 사용되는 에어패드를 나타낸 도면으로 이를 참조하면, 에어 패드(10)의 측면 일측에 구비된 노즐(11)을 통해 내측공간(12)으로 공기가 주입되면, 원통 모양으로 된 내측공간(12)의 벽면을 따라 공기가 유동하면서 선회류가 발생되고, 이 선회류에 의해 에어 패드(10)의 내측공간(12) 중앙부에 부압이 형성된다.
이때, 상기 기판 또는 대형 유리판(G)은 상기 에어패드(10)의 내측공간(12)에서 벽면을 따라 선회하여 하방으로 토출되는 공기압에 의해 상기 에어패드(10)에서 이격되고, 내측공간(12) 중앙부로 흡입되는 공기압에 의해 에어패드(10)에 근접되어, 상기 에어패드(10)에서 정해진 간격으로된 상태를 유지하게 된다.
즉, 공기가 주입되는 동안 에어패드(10)의 내측공간(12)에는 부압이 발생되고, 에어 패드(10)와 기판 또는 대형 유리판(G) 사이의 틈으로는 공기 일부가 토출되는 것이다.
그러므로, 기판 또는 대형 유리판(G)의 중심부에 작용하는 부압의 크기와 상기 에어패드(10)의 하방 테두리를 향해 토출되는 공기 토출압의 크기를 적절히 제어하면, 기판이 에어패드(10)에 전혀 닿지 않은 상태로 파지될 수 있다.
하지만, 상기와 같은 에어패드는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째로, 수직구조의 벽면을 따라 선회하는 공기가 벽면하단에 막힘되어 공기의 토출 및 흡입 반경이 작아지고, 내측공간(12) 상방에서 하방으로 선회하는 공기 유속이 일정하여 공기 토출시 토출압이 저하되며, 이에 따라 공기 흡입량과 토출량 저하로 기판 또는 판유리(G)를 파지하는 파지력이 저하되는 문제점이 있다.
둘째로, 노즐(11)을 통해 공급된 공기와 내측공간 상방으로 이동되는 흡입공기가 서로 상충하여, 흡입공기가 내측공간(12) 내에서 선회공기에 자연스럽게 혼합되지 못한 상태로 분산되는 문제점이 있다.
셋째로, 노즐(11)을 통해 내측공간(12)으로 공급되는 공기압이 정해진 압 이하로 떨어지면, 선회 공기의 회전 반경이 축소되어 노즐(11)을 통해 공급되는 공기중 일부가 중앙부로 침투되고, 이에따라 내측공간(12)내의 공기압에 변화가 생겨 토출압과 흡입압에 영향을 주는 문제점이 있다.
넷째로, 대형 유리판에 처짐이 발생되어 미비한 경사각도로 기울어지는 경우, 동일수평선상에 설치된 복수의 에어컵과 유리판 상면 전체 면적의 이격 거리가 동일하게 유지될 수 없고, 이로인해 정해진 각도 경사진 유리판 부분이 에어컵에 파지되지 못해 기판 또는 판유리가 낙하되는 위험성이 있다.
KR 10-2012-0042507 A
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 내면이 곡면 형상을 갖는 외부컵바디를 구비하고, 이 외부컵바디 내부 상단에 공기가 선회되는 것을 안내하는 내부컵바디를 형성함으로써, 외부컵바디로 공급되는 공기가 내부컵바디 외면을 따라 선회하여 공기주입공을 통해 공급되는 공기중 일부가 선회공간의 중앙부로 침투되는 것이 방지됨과 동시에 외부컵바디 하방의 공기 토출압 및 흡입압이 상승되는 판부재 파지용 에어컵을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 에어컵 상단부에 탄성스프링을 구비함으로써, 기판 또는 대형 유리판 이송도중 미비한 각도로 경사진 기판 또는 대형유리판 상면에서 에어컵이 비접촉방식으로 정해진 거리 이격된 상태를 유지할 수 있도록 하는 에어컵을 제공하는 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵은, 하부가 개방된 중공형상으로 내면이 곡면 형상으로 이루어지고, 내부에 공기선회공간이 형성되어 있으며, 외면에 상기 공기선회공간과 연통되는 복수의 공기주입구멍이 형성되어 있는 외부컵바디; 및 상기 외부컵바디 내부 상단에서 돌출 형성되어 상기 공기선회공간 내에서 공기가 선회되는 것을 안내하는 내부컵바디;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵에 있어서, 상기 외부컵바디는, 상기 내면이 상방에서 하방을 향해 아치형상의 곡면을 갖도록 형성되어 그 말단이 외면에 근접되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵에 있어서, 상기 내부컵바디는, 하부가 개방된 중공형상으로 내부에 흡입공기의 순환을 제어하여 흡입공기를 공기선회공간으로 이동시키는 내부공기순회공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵에 있어서, 상기 내부컵바디는, 외면이 상기 외부컵바디 내면의 반대 방향으로 상방에서 하방을 향해 곡면을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵에 있어서, 상기 내부컵바디는, 상기 외부컵바디의 저면보다 상대적으로 짧게 돌출 형성되어 상기 외부컵바디의 공기선회공간 내에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵에 있어서, 상기 외부컵바디 상부에는, 상,하부가 개방된 중공형상으로 하단에 이탈방지턱이 형성되어 있는 하우징과; 상기 하우징 내부에 삽입결합되고, 상단에 상기 이탈방지턱에 걸림되는 상판부가 형성되어 있으며, 하단에 상기 외부컵바디 상면에 고정 설치되는 하판부가 형성되어 있는 승강부; 판재형상으로 상기 승강부 상방에 구비되고, 저면에 스프링 지지돌부를 돌출 형성하고 있는 스프링받침; 및 상기 승강부와 상기 스프링받침 사이에 구비되어 상기 승강부와 상기 스프링받침 사이를 이격시키는 탄성스프링;이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 토출 공기가 곡면 형상의 내면을 따라 방사상으로 자연스럽게 퍼지면서 공기의 토출 및 흡입 반경이 커지고, 외부컵바디의 내면과 내부컵바디의 외주면 사이에 형성된 상광하협 구조의 공기순회공간을 통과하면서 공기의 유속이 상승되어 공기의 토출압 및 토출량이 동시에 증가되되, 토출압 및 토출량에 상응하는 공기 흡입압 및 흡입량이 증가되어 기판 또는 대형 유리판의 파지력이 상승되며, 공기주입구멍을 통해 공급된 공기가 내부컵바디 주변을 선회하면서 흡입공기와 상충되는 것이 방지되고, 이에 따라 내부컵바디 내로 공기 유입이 억제되어 내부컵바디 하단면을 기준으로 선회공기와 자연스럽게 혼합되며, 공기주입구멍을 통해 공급되는 공기압에 관계없이 공기선회공간 내에서 공기가 내, 외부컵바디 사이의 공기선회공간을 따라 선회하여 공기중 일부가 내부컵바디의 공기선회공간 내로 침투되는 것이 방지되는 장점이 있다.
또한, 이송도중 대형 유리판에 발생되는 미비한 경사 각도에 대해 에어컵이 대형 유리판 상면에서 정해진 거리 및 각도를 유지하는 장점이 있다.
도 1은 종래의 에어패드를 나타낸 측단면도.
도 2는 본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵을 나타낸 저면 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵을 나타낸 측단면도.
도 4는 본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵 상방에 하우징, 승강부, 스프링받침 및 탄성스프링이 설치된 상태를 나타낸 사시도.
도 5는 도 4의 분해 사시도.
도 6a 내지 도 6b는 본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵이 기판 또는 판유리에 밀착되는 상태를 나타낸 도면.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 에어컵(100)은 외부컵바디와 내부컵바디로 구성된다.
상기 외부컵바디(110)는 하부가 개방된 중공형상으로 내면(111)이 곡면 형상으로 이루어지고, 내부에 공기선회공간(112)이 형성되어 있으며, 외면에 상기 공기선회공간(112)과 연통되는 복수의 공기주입구멍(113)이 형성된다.
상기 외부컵바디(110)는 상기 공기주입구멍(113)을 통해 공기를 공급받아 상기 공기선회공간(112)에서 공기가 선회되도록 한다.
상기 공기주입구멍(113)은 외부에 구비된 공기공급장치(미도시)와 연결되는 것이 바람직하다.
상기 외부컵바디(110)의 내면(111)은 상방에서 하방을 향해 아치형상의 곡면을 갖도록 형성되어 그 말단이 외면에 근접된다.
상기 내면은 상기 공기선회공간(112)에서 선회되는 공기가 방사상으로 퍼지면서 토출되도록 안내한다.
상기 외부컵바디(110) 상부에는 하우징(210), 승강부(220), 스프링받침(230) 및 탄성스프링(240)이 더 구비된다.
상기 하우징(210)은 상,하부가 개방된 중공형상으로 하단에 이탈방지턱(211)이 형성된다.
상기 승강부(220)는 상기 하우징(210) 내부에 삽입결합되고, 상단에 상기 이탈방지턱(211)에 걸림되는 상판부(221)가 형성되어 있으며, 하단에 상기 외부컵바디(110) 상면에 고정 설치되는 하판부(222)가 형성된다.
상기 하판부(222)는 상기 외부컵바디(110) 상면에 나사, 못 등의 체결부재에 의해 고정된다.
상기 상판부(221)는 상방으로 눌리는 상기 외부컵바디(110)에 의해 상방으로 이동되어 상기 탄성스프링(240)을 가압한다.
상기 스프링받침(230)은 판재형상으로 상기 승강부(220) 상방에 구비되고, 저면에 스프링 지지돌부(231)를 돌출 형성한다.
상기 스프링 지지돌부(231)는 상기 탄성스프링(240) 중앙을 통과하도록 결합되어 상기 탄성스프링(240)이 측방으로 유동되는 것을 방지한다.
상기 탄성스프링(240)은 상기 승강부(220)와 상기 스프링받침(230) 사이에 구비되어 상기 승강부(220)와 상기 스프링받침(230) 사이를 이격시킨다.
상기 탄성스프링(240)은 에어컵(100)이 정해진 각도로 경사진 대형 유리판(G)의 경사면에서 정해진 거리를 유지하도록 하기 위해 상기 승강부(220)와 상기 스프링받침(230) 사이의 정해진 범위 내에서 압축 또는 인장된다.
상기 내부컵바디(120)는 상기 외부컵바디(110) 내부 상단에서 돌출 형성되어 상기 공기선회공간(112) 내에서 공기가 선회되는 것을 안내한다.
상기 내부컵바디(120)는 하부가 개방된 중공형상으로 내부에 내부공기순회공간(121)이 형성되고, 흡입공기가 순회되는 것을 제어하되, 외부컵바디 내면 방향으로 이동시켜 에어컵(100)의 흡입 공기 순환 공간이 확장된다.
상기 내부공기순회공간(121)의 상면은 상기 외부컵바디(110)의 상면보다 상대적으로 낮게 형성된다.
상기 내부공기순회공간(121)의 내면은 상기 내부컵바디(120)의 외면과 동일한 곡면 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 내부컵바디(120)는 외면이 상기 외부컵바디(110) 내면(111)의 반대 방향으로 상방에서 하방을 향해 곡면을 갖도록 형성된다.
상기 내부컵바디(120)는 상기 외부컵바디(110)의 저면보다 상대적으로 짧게 돌출 형성되어 상기 외부컵바디(110)의 공기선회공간(112) 내에 형성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵은 다음과 같이 사용된다.
여기서, 본 발명의 에어컵(100)은 비접촉 파지방식을 이용하는 다양한 산업분야의 장치에 설치되어 사용될 수 있고, 본 발명에서는 이 에어컵(100)이 기판 또는 판유리(G)등을 이송하는 이송컨베이어(미도시)에 설치되어 사용되는 것을 예로들어 설명하도록 한다.
먼저, 이송컨베이어 장치(미도시)의 프레임(50)에 에어컵(100)이 정해진 간격 이격되어 복수개로 설치된다.
그리고, 도 5를 참조하면, 상기 에어컵(100)의 외부컵바디(110)에 공기주입구멍(113)을 통해 공기를 주입하게 되면, 상기 공기선회공간(112) 내부로 공기가 공급되고, 이 공기가 상기 공기선회공간(112) 내에서 내면(111)에 충돌되면서 선회하게 된다.
이때, 상기 내면(111)에 충돌되는 공기중 상기 공기선회공간(112)의 중앙부로 이동되는 일부 공기가 상기 내부컵바디(120) 외면에 충돌되어 상기 공기선회공간(112)의 중앙부로 공기가 이동되는 것이 차단된다.
여기서, 상기 공기선회공간(112)에서 선회되는 공기는 상방에서 하방으로 이동되면서 상기 내면(111)을 따라 이동되어 상기 외부컵바디(110) 하방을 통해 방사상으로 퍼지면서 토출된다.
이때, 상기 공기선회공간(112)내에서 선회되는 공기는 상기 외부컵바디(110)의 내면(111)과 상기 내부컵바디(120)의 외면 사이의 상광하협 구조의 공기선회공간(112)을 상방에서 하방으로 통과하게 되고, 이에 따라 선회되는 공기의 유속이 빠르게 변화되어 상기 내면(111)을 따라 상승된 공기압으로 토출된다.
그러면, 상기 외부컵바디(110)에서 토출되는 공기가 기판 또는 대형 유리판(G) 상면으로 토출되어 기판 또는 대형 유리판(G)을 하방으로 밀어낸다.
이와 동시에, 상기 공기선회공간(112)에서 선회되는 공기압과 상기 외부컵바디(110)와 기판 또는 판유리(G) 사이로 토출되는 공기압에 의해 상기 공기선회공간(112)의 중앙부에 부압이 발생되고, 이 부압이 기판 또는 대형 유리판(G)을 상방으로 흡착하려고 함으로써, 상기 외부컵바디(110) 하방에서 공기의 토출압 및 부압이 동시에 작용하여 기판 또는 대형 유리판(G)이 상기 외부컵바디(110)에 비접촉된 상태로 유지된다.
이때, 상기 내부컵바디(120)의 내부공기순회공간(121)으로 흡입되는 공기는 상기 내부컵바디(120) 입구에서 공기순회공간(121)으로 순회되다가 상기 공기선회공간(112)에서 선회되고 있는 공기와 혼합된다.
이때, 상기 내부컵바디(120)의 내부공기순회공간(121)으로 흡입된 공기는 상기 내부공기순회공간(121)에서 순회되다 상기 내부컵바디(120)의 내면을 타고 외부로 방출되어 상기 공기선회공간(112)에서 선회되고 있는 공기와 혼합된다.
한편, 도 4내지 도 6b를 참조하면, 상기 외부컵바디(110) 상부에는 상기 이송컨베이어 장치(미도시)의 프레임(50) 저면에 체결부재(예컨대, 볼트, 나사, 못 등)에 의해 고정되는 하우징(210)이 구비되고, 이 하우징(210) 내부에 상기 승강부(220), 스프링받침(230) 및 탄성스프링(240)이 구비된다.
여기서, 상기 외부컵바디(110)가 기판 또는 대형 유리판(G)에 근접되어 기판 또는 대형 유리판(G) 상면에 눌리면, 상기 외부컵바디(110) 상면에 고정설치된 승강부(220)가 상방으로 이동된다.
이때, 상기 승강부(220)는 상기 하판부(222)가 상기 외부컵바디(110)에 눌려 상방으로 이동되고, 이에 따라 상기 상판부(221)가 상기 하판부(222)와 동시에 상방으로 이동되어 상기 탄성스프링(240)을 가압하게 된다.
또한, 상기 승강부(220)는 상기 하판부(222)가 미비한 각도로 경사진 유리판 상면과 동일한 이격 거리를 가지는 상기 외부컵바디(110)에 눌려 압축되고, 이에 따라 상기 상판부(221)가 상기 하판부(222)와 동시에 압축되어 상기 탄성스프링(240)을 가압하게 된다.
그러면, 상기 탄성스프링(240)이 압축되고, 이에 따라 상기 외부컵바디(110)가 기판 또는 대형 유리판(G)에 밀착시 승강작동되는 탄성력을 갖게 된다.
여기서, 상기 탄성스프링(240)은 압축작용에 의해 상기 외부컵바디(110)가 기판 또는 대형 유리판(G)에 밀착시 승강작동되도록 탄성력을 부여한다.
이후, 상기 외부컵바디(110)가 상방으로 이동되어 기판 또는 대형 유리판(G)에서 이격되면, 상기 탄성스프링(240)이 원상태로 복원되면서 상기 승강부(220)의 상판부(221)를 하방으로 가압하고, 이에 따라 상기 승강부(220)의 상판부(221)가 상기 하우징(210)의 이탈방지턱(211)에 걸려 상기 외부컵바디(110)가 하부로 이탈되는 것이 방지된다.
상기와 같이 외부컵바디(110)의 내면(111)을 곡면 형상으로 형성하고, 이 외부컵바디(110) 내부에 외면이 곡면 형상을 갖는 내부컵바디(120)를 형성한 에어컵(100) 구조는, 토출 공기가 곡면 형상의 내면을 따라 방사상으로 자연스럽게 퍼지면서 공기의 토출 및 흡입 반경이 커지고, 외부컵바디(110)의 내면(111)과 내부컵바디(120)의 외주면 사이에 형성된 상광하협 구조의 공기선회공간(112)을 통과하면서 공기의 유속이 상승되어 공기의 토출압 및 토출량이 동시에 증가되되, 토출압 및 토출량에 상응하는 공기 흡입압 및 흡입량이 증가되어 기판 또는 대형 유리판(G)의 파지력이 상승되며, 공기주입구멍(113)을 통해 공급된 공기가 내부컵바디(120)에 충돌되어 흡입공기와 상충되는 것이 방지되고, 이에 따라 내부컵바디(120) 내의 공기 유동성이 저하되며, 일부 공기는 내부컵바디(120)의 내면을 타고 외부로 방출되면서 선회공기와 자연스럽게 혼합되고, 공기주입구멍(113)을 통해 공급되는 공기압에 관계없이 공기선회공간(112) 내에서 공기가 내부컵바디(120) 외주면을 따라 선회하여 공기 중 일부가 공기선회공간(112)내로 침투되는 것이 방지된다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 판부재 파지용 에어컵을 실시하기 위한 하나의 실시 예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
110 : 외부컵바디 111 : 내면
112 : 공기선회공간 113 : 공기주입구멍
120 : 내부컵바디 121 : 내부공기순회공간
210 : 하우징 211 : 이탈방지턱
220 : 승강부 221 : 상판부
222 : 하판부 230 : 스프링받침
231 : 스프링 지지돌부 240 : 탄성스프링

Claims (6)

  1. 하부가 개방된 중공형상으로 내면(111)이 상방에서 하방을 향해 아치형상의 곡면을 갖도록 형성되어 그 말단이 외면에 근접되고, 내부에 공기선회공간(112)이 형성되어 있으며, 외면에 상기 공기선회공간(112)과 연통되는 복수의 공기주입구멍(113)이 형성되어 있는 외부컵바디(110); 및
    하부가 개방된 중공형상으로 외면이 상기 외부컵바디(110) 내면(111)의 반대 방향으로 상방에서 하방을 향해 곡면을 갖도록 형성되고, 상기 외부컵바디(110) 내부 상단에서 상기 외부컵바디(110)의 저면보다 상대적으로 짧게 돌출 형성되어 상기 공기선회공간(112) 내에 구비되며, 내부에 흡입공기의 순환을 제어하여 흡입공기를 공기선회공간(112)으로 이동시키는 내부공기순회공간(121)이 형성되고, 상기 공기선회공간(112) 내에서 공기가 선회되는 것을 안내하는 내부컵바디(120);
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 판부재 파지용 에어컵.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 외부컵바디(110) 상부에는,
    상,하부가 개방된 중공형상으로 하단에 이탈방지턱(211)이 형성되어 있는 하우징과(210);
    상기 하우징(210) 내부에 삽입결합되고, 상단에 상기 이탈방지턱(211)에 걸림되는 상판부(221)가 형성되어 있으며, 하단에 상기 외부컵바디(110) 상면에 고정 설치되는 하판부(222)가 형성되어 있는 승강부(220);
    판재형상으로 상기 승강부(220) 상방에 구비되고, 저면에 스프링 지지돌부(231)를 돌출 형성하고 있는 스프링받침(230); 및
    상기 승강부(220)와 상기 스프링받침(230) 사이에 구비되어 상기 승강부(220)와 상기 스프링받침(230) 사이를 이격시키는 탄성스프링(240);
    이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 판부재 파지용 에어컵.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6450239U (ko) * 1987-09-24 1989-03-28
JP2009119562A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Izumi Akiyama 非接触型搬送保持具および非接触型搬送保持装置

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