KR101494912B1 - 래핑 캐리어 및 방법 - Google Patents

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KR101494912B1
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티모씨 디. 플레처
토드 제이. 크리스천슨
빈센트 디. 로메로
브루스 에이. 스벤텍
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쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니
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    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B24B37/28—Work carriers for double side lapping of plane surfaces

Abstract

제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어를 포함하고, 상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장되고, 베이스 캐리어는 제1 금속을 포함하고, 상기 개구의 원주는 제1 금속으로 구성된 베이스 캐리어의 제3 표면에 의해 한정되고, 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하며, 상기 중합체 영역은 적어도 10 주울의 파손일을 갖는 중합체를 포함하는 양면 래핑 캐리어가 제공된다. 또한, 래핑 방법이 제공된다.
캐리어, 중합체, 래핑, 폴리싱, 그라인딩, 연마

Description

래핑 캐리어 및 방법{Lapping Carrier and Method}
관련 출원에 대한 상호 참조
본 출원은, 개시 내용이 본 명세서에 참고로 포함되고 2006년 11월 21일자로 출원된 미국 특허 출원 제60/866,768호의 우선권을 주장한다.
본 발명은 래핑 캐리어(lapping carrier)와, 그러한 캐리어를 사용하는 방법을 포함한 래핑 방법에 관한 것이다.
디스크 형상의 물품, 예컨대 규소 웨이퍼, 사파이어 디스크, 광학 소자, 자기 기록 장치용 유리 또는 알루미늄 기재 등과 같은 평탄한 작업편을 2개의 주 표면이 둘 모두 평행하고 상당한 스크래치가 없도록 그라인딩 또는 폴리싱할 필요가 종종 발생한다. 재료 제거율 및 최종 표면 마무리에서 차이를 보이는 그러한 그라인딩 또는 폴리싱 작업을 총괄하여 래핑(lapping)이라고 부를 수 있다. 디스크의 피니싱에 사용되는 전형적인 기계는 디스크들 중 하나 이상의 위와 아래에 각각 배치되는 2개의 중첩된 플래튼(platen)을 포함하여, 디스크의 대향 표면들이 동시에 그라인딩 또는 폴리싱될 수 있다. 또한, 래핑 기계는 그라인딩 또는 폴리싱 작업 중에 디스크를 위치 및 유지시키는 캐리어를 포함할 수 있다. 그러한 캐리어는 플래튼에 대해 회전하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 래핑 기계는 플래튼의 외주 연부 둘레에 배치된 외부 링 기어와, 플래튼의 중심에 형성된 구멍을 통해 돌출된 내부 기어를 또한 포함할 수 있다. 캐리어는 외부 링 기어의 치형부 또는 핀 및 내부 기어의 치형부 또는 핀과 치합되는 치형 외주연부를 구비할 수 있다. 따라서, 예컨대 내부 기어와 외부 기어의 반대 방향 회전은 캐리어가 내부 기어 둘레를, 그리고 캐리어의 축을 중심으로 전체적으로 회전하도록 한다.
전형적으로, 단면 또는 양면 피니싱 기계의 제조업체는 폴리싱 기계가 최종 사용자에게 발송되기 전에 래핑 기술을 이용하여 플래튼의 표면을 폴리싱할 것이다. 종래에는 래핑 기술이 대부분의 폴리싱 작업에 적합한 비교적 평탄하면서도 평면인 표면을 플래튼에 제공하는 것으로 여겨진다.
작업편을 폴리싱하기 위하여, 디스크의 표면 상에 폴리싱 슬러리가 제공된다. 플래튼들이 함께 소정의 압력을 작업편에 인가하게 되고, 캐리어와 작업편은 회전되어, 작업편의 표면을 평탄화, 폴리싱 및/또는 박화(thinning)시킨다.
최근에는, 필요한 정도의 평탄성 및 동일평면성(coplanarity)에 대한 플래튼의 주기적인 드레싱(dressing)과 연관된 유지 비용 및 그에 수반하는 비생산적인 시간을 줄이기 위해 플래튼의 작업 표면 상에 배치되는 고정 연마 물품을 사용해 왔다.
예를 들어 유리 디스크의 폴리싱 중에 캐리어의 치형부가 조기에 마모되기 쉬운 것으로 또한 관측되었다. 실제로, 치형부는 캐리어로부터 전단될 정도로 마모될 수 있어서, 래핑 기계의 작동 불능(즉, 이른바 사이클 중 파손(mid-cycle crash))을 초래할 수 있다. 인식될 수 있는 바와 같이, 캐리어는 비교적 고가이기 때문에, 장시간의 수명이 바람직하다. 또한, 사이클 중 파손은 폴리싱 기계가 수리를 위해 장시간 동안 제거되어야 할 것을 요구하여, 작업량을 감소시키고 작업 비용을 상승시킨다.
발명의 개요
양면 래핑 적용 분야에 고정 연마제를 사용할 때 몇 가지 문제점에 봉착하였다. 캐리어가 래핑 공정과 연관된 상대 운동 및 압력 하에서 고정 연마제와 접촉함에 따라, 비대칭 폴리싱이 일어날 수 있다. 비대칭 폴리싱은 작업편 제거율과 같은 하나 이상의 폴리싱 특성이 폴리싱되는 작업편의 상부 표면과 하부 표면 사이에서 동일하지 않을 때이다. 고정 연마제의 사용시, 이러한 효과는 캐리어와 고정 연마제 사이의 접촉에 의한 고정 연마제의 무뎌짐(dulling)에 기인하였다. 연마제의 무뎌짐에 더하여, 연마제와 캐리어 사이의 접촉과 연관된 두 번째 문제점은 캐리어의 과도한 마모이다. 캐리어 마모는 캐리어를 박화시켜 휘어짐 또는 파단으로 인해 사용할 수 없게 된다.
캐리어 재료에 의한 고정 연마제의 무뎌짐 및 결과적인 비대칭적 폴리싱 성능의 문제점에 대한 현재의 해결책은 고정 연마제의 주기적인 컨디셔닝(conditioning) 및 대안적인 캐리어 재료의 사용을 포함한다. 고정 연마제의 컨디셔닝 중, 캐리어 재료에 의해 영향을 받은 고정 연마제 부분을 마멸시키기 위해, 제2 연마제가 하중 및 상대 운동 하에서 고정 연마제와 접촉하게 된다. 이러한 기술은 캐리어-고정 연마제 상호작용에 의해 유발된 열화를 보상하기 위해 고정 연마제를 소모시키는 것에 의존한다. 컨디셔닝에 의해 고정 연마제를 소모시키는 것은 연마제에 의해 그라인딩될 수 있는 작업편의 수를 감소시키며, 이는 연마 물품의 최대치를 제한할 수 있다. 추가 공정 단계(컨디셔닝)로 인한 공정 작업량의 감소도 또한 바람직하지 않다. 몇몇 경우에, 고정 연마제는 바람직한 패드 평탄성을 달성하기 위해 컨디셔닝을 여전히 필요로 할 수 있다.
대안적인 캐리어 재료의 사용은 전형적으로 캐리어의 제조에 흔히 사용되는 스테인레스강의 대체를 위해 페놀계 물질 또는 에폭시와 같은 중합체 재료를 사용하는 것을 포함하였다. 캐리어는 양 표면의 동시 래핑을 허용하도록 작업편만큼 얇거나 작업편보다 얇아야 하기 때문에, 캐리어의 전체 두께에 대한 제한이 있다. 작업편이 (약 1 ㎜ 두께까지) 얇아지고 직경이 (예컨대, 적어도 약 150 ㎜로) 커지면, 중합체 재료로 제조된 캐리어는 사용하기에 가요성이 너무 커져, 예컨대 휘어짐이 사이클 중 파손 또는 작업편의 파손을 초래한다. 때로는 유리와 같은 섬유 강화 재료가 중합체 캐리어 재료의 계수(modulus)를 증가시키는 데 사용된다. 그러나, 유리 섬유도 또한 고정 연마제의 무뎌짐을 초래할 수 있다.
몇몇 실시 형태에서 바람직하게는 우레탄 수지인, 금속 캐리어의 작업 표면 상의 중합체의 코팅 또는 적층 보호층은 고정 연마 물품의 무뎌짐을 상당히 감소시키고 캐리어의 수명을 연장시키는 2가지 이점을 제공한다. 연마제 무뎌짐이 또한 단면 래핑 작업시 문제일 수 있는 한에 있어서는, 본 발명의 몇몇 실시 형태는 단지 래핑 기계의 연마 표면과 접촉하는 캐리어의 표면에만 코팅 또는 층이 존재하는 캐리어를 포함한다.
몇몇 실시 형태에서, 본 발명은 제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어를 포함하는 단면 또는 양면 래핑 캐리어를 포함하고, 상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장되며, 베이스 캐리어는 제1 금속을 포함하고, 상기 개구의 원주는 제1 금속으로 구성된 베이스 캐리어의 제3 표면에 의해 한정되며, 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하고, 상기 중합체 영역은 적어도 약 10 주울의 파손일(work to failure)을 갖는 중합체를 포함한다.
몇몇 실시 형태에서, 본 발명은, 2개의 대향 래핑 표면을 구비한 양면 래핑 기계를 제공하는 단계와; 제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어를 포함하는 전술한 캐리어를 제공하는 단계-상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장되고, 베이스 캐리어는 제1 금속을 포함하며, 상기 개구의 원주는 제1 금속으로 구성된 베이스 캐리어의 제3 표면에 의해 한정되고, 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하며, 상기 중합체 영역은 적어도 약 10 주울의 파손일을 갖는 중합체를 포함함-와; 작업편을 제공하는 단계와; 작업편을 개구 내에 삽입하는 단계와; 캐리어를 2개의 대향 래핑 표면을 구비한 양면 래핑 기계 내에 삽입하는 단계와; 2개의 대향 래핑 표면을 작업편과 접촉시키는 단계와; 접촉을 유지시키면서 2개의 대향 래핑 표면과 작업편 사이의 상대 운동을 제공하는 단계와; 작업편의 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함하는 양면 래핑 방법을 포함한다.
다른 실시 형태에서, 본 발명은 제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어를 포함하는 양면 래핑 캐리어를 포함하고, 상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장되며, 베이스 캐리어는 제1 금속 또는 중합체를 포함하고, 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하며, 중합체 영역의 적어도 일부에서, 중합체 영역과 베이스 캐리어 사이에 적어도 하나의 접착 촉진층이 개재되고, 상기 접착 촉진층은 무기 코팅을 포함한다.
다른 실시 형태에서, 본 발명은, 2개의 대향 래핑 표면을 구비한 양면 래핑 기계를 제공하는 단계와; 제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어를 포함하는 전술한 캐리어를 제공하는 단계-상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장되고, 베이스 캐리어는 제1 금속 또는 중합체를 포함하며, 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하고, 중합체 영역의 적어도 일부에서 중합체 영역과 베이스 캐리어 사이에 적어도 하나의 접착 촉진층이 개재되며, 상기 접착 촉진층은 무기 코팅을 포함함-와; 작업편을 제공하는 단계와; 작업편을 개구 내에 삽입하는 단계와; 캐리어를 2개의 대향 래핑 표면을 구비한 양면 래핑 기계 내에 삽입하는 단계와; 2개의 대향 래핑 표면을 작업편과 접촉시키는 단계와; 접촉을 유지시키면서 2개의 대향 래핑 표면과 작업편 사이의 상대 운동을 제공하는 단계와; 작업편의 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함하는 양면 래핑 방법을 포함한다.
본 발명의 다른 특징 및 이점은 다음의 본 발명의 상세한 설명 및 청구의 범위로부터 명백할 것이다. 개시된 내용의 원리에 대한 전술된 개요는 본 명세서의 각각의 예시된 실시 형태 또는 모든 실시를 설명하고자 하는 것은 아니다. 하기의 도면 및 상세한 설명은 본 명세서에 개시된 원리를 이용하는 특정한 바람직한 실시 형태를 더욱 구체적으로 예시한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 작업편 캐리어의 도면이다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 여러 실시 형태에 따른 양면 래핑에 유용한 작업편 캐리어의 부분 단면도이다.
수치 범위의 설명은 그 범위 이내의 모든 수를 포함한다(예를 들어, 1 내지 5는 1, 1.5, 2, 2.75, 3, 3.80, 4 및 5를 포함함). 본 명세서에서 모든 수는 용어 "약"에 의해 수식되는 것으로 간주된다.
기재의 평탄한 단면 래핑은 전자 및 다른 산업 분야에서 수년간 사용되어온 공정이다. 이는 예컨대 자기 기록 코팅용 기재로서 사용되는 유리 또는 금속 디스크, 반도체 웨이퍼, 세라믹, 사파이어, 광학 소자 등의 여러 작업편의 주 표면들 중 하나를 그라인딩 및/또는 폴리싱하는 데 사용된다. 바람직한 표면 마무리에 더하여 고도의 두께의 균일성 및 평탄성 둘 모두를 달성하는 것이 일반적으로 바람직하다. 그러한 단면 래핑 기계는 원하는 특성에 따라 여러 연마 특징부 또는 표면을 사용할 수 있다. 일반적으로, 작업편은 지정된 하중 하에 플래튼과 접촉하는 고정구(fixture)에 유지된다. 이어서, 작업편/고정구 조합 및 플래튼은 원하는 양의 재료 제거를 달성하기 위해 상대 운동으로 설정된다. 작업편/고정구 조합은 회전되거나 (마찰로 인해 또는 모터에 의해 구동됨) 정지될 수 있다. 플래튼은 작업편/고정구 조합의 운동에 따라 회전 또는 정지될 수 있다. 작업편/고정구 조합은 또한 작업편의 균일한 제거 및 플래튼의 균일한 마모 둘 모두를 용이하게 하기 위해 회전 플래튼에 대해 측방향으로 이동될 수 있다. 플래튼은 슬러리 기반 폴리싱에 적합한 재료로 제조되거나 그 재료로 덮일 수 있다. 대안적으로, 그들에는 강성 매트릭스에 매립된, 종종 다이아몬드 또는 다른 초연마제인 연마 입자를 함유한 버튼이 설치될 수 있다. 보다 최근에는, 트라이잭 다이아몬드 타일(Trizact™ Diamond Tile)과 같은 조직화된(textured) 3차원 고정 연마 물품을 연마 작용의 제공을 위해 플래튼의 표면에 적용하고 있다.
기재의 평탄한 양면 래핑이 전자 및 다른 산업 분야에서 점차 일반화되고 있다. 이는 예컨대 자기 기록 코팅용 기재로서 사용되는 유리 또는 금속 디스크, 반도체 웨이퍼, 세라믹, 사파이어, 광학 소자 등의 여러 작업편의 주 표면들 둘 모두를 동시에 그라인딩 및/또는 폴리싱하는 데 사용된다. 바람직한 표면 마무리에 더하여 고도의 두께의 균일성 및 평탄성 둘 모두를 달성하는 것이 일반적으로 바람직하다. 그러한 양면 래핑 기계는 원하는 특성에 따라 여러 연마 특징부 또는 표면을 사용할 수 있다. 상부 및 하부 플래튼은 슬러리 기반 폴리싱에 적합한 재료로 제조되거나 그 재료로 덮일 수 있다. 대안적으로, 그들에는 강성 매트릭스에 매립된, 종종 다이아몬드 또는 다른 초연마제인 연마 입자를 함유한 버튼이 설치될 수 있다. 보다 최근에는, 트라이잭 다이아몬드 타일과 같은 조직화된 3차원 고정 연마 물품을 연마 작용의 제공을 위해 플래튼의 표면에 적용하고 있다.
도 1은 평탄한 양면 폴리싱 또는 그라인딩을 위한 전형적인 작업편 캐리어를 도시하고 있다. 작업편은 주연부 둘레에 치형부(24)를 갖는 캐리어(20)의 개구(22) 내로 삽입된다. 개구(22)의 원주는 지지체 두께와 연관된 단일 지지체의 표면적에 의해 한정된다. 몇몇 경우에, 지지체에서의 개구의 원주는 작업편의 유지에 필요한 원주 및 형상보다 크게 제작되고 그와는 상이한 형상일 수 있다. 이어서, 작업편의 유지를 용이하게 하는 원하는 원주 및 형상의 제2 개구를 구비한 인서트가 지지체 개구에 장착될 수 있다. 예컨대 미국 특허 제6,419,555호에 설명된 임의의 공지된 인서트가 사용될 수 있다. 인서트는 전형적으로 지지체의 재료와 상이한 재료를 포함한다. 캐리어 치형부는 플래튼의 외주연부 둘레에 배치된 대응 치형부 또는 핀(미도시)과, 플래튼의 중심에 형성된 구멍을 통해 돌출된 때때로 태양 기어라 하는 내부 기어와 치합된다. 게다가, 캐리어는 외부 링 기어의 치형부 또는 핀 및 내부 기어의 치형부 또는 핀과 치합되는 치형 외주연부를 구비할 수 있다. 따라서, 예컨대 내부 기어와 외부 기어의 반대 방향 회전은 캐리어가 내부 기어 둘레를, 그리고 캐리어의 축을 중심으로 전체적으로 회전하도록 한다. 캐리어는 또한 동일한 방향이지만 상이한 속도로 이동할 수 있는 태양 기어 및 링 기어를 사용하여 플래튼을 중심으로 회전하도록 설계될 수 있다.
도 2a는 전형적으로 강도를 위해 금속으로 형성된 단일 지지체, 즉 베이스 캐리어(112)로 구성되는 종래 기술의 캐리어(110)의 도 1의 섹션 A-A에 대응하는 단면을 도시하고 있다. 도 2b는 캐리어(110)가 캐리어의 대향 주 면들, 즉 주 표면들 상에 중합체 층(114)을 갖는 베이스 캐리어(112)를 포함하는 본 발명의 일 실시 형태를 도시하고 있다. 도 2c의 실시 형태는 베이스 캐리어(112)와 중합체 층(114) 사이에 개재된 선택적인 접착 촉진층(116)을 포함한다. 접착 촉진층(116)은 화학적으로 상이한 재료의 다수 층들을 포함할 수 있다. 도 2d의 실시 형태에서, 중합체 층(114)의 코팅은 지지체(베이스 캐리어)(112)의 전체 표면을 덮지 않는다. 도 2e는 보다 큰 기계적 강도를 요하는 영역, 예컨대 치형부의 영역 및 작업편과 접촉하는 영역에서 지지체(베이스 캐리어)(112)의 보다 두꺼운 두께를 유지시키는 실시 형태이다.
도 2b 내지 도 2e의 실시 형태들이 가능하게는 치형 영역을 제외하고 사실상 캐리어의 주 표면 들 모두가 중합체 층에 의해 덮이는 것으로 나타내고 있지만, 중합체 층은 다른 실시 형태들에서 불연속일 수 있고 캐리어의 주 표면들 중 어느 하나 또는 둘 모두에 다수의 영역들에 존재할 수 있는 것으로 이해하여야 한다. 캐리어의 주 표면의 적어도 일부를 덮는 연속 또는 불연속 중합체 층은, 작업편 및 캐리어와 래핑 플래튼의 연마 표면 사이의 전체 마찰을 최적화(예컨대, 감소)시키는데 바람직할 수 있고 그리고/또는 냉각, 윤활, 연마되는 표면의 화학적 개질, 절삭 부스러기 제거 등을 위한 작업 유체의 향상된 유동을 제공하는 데 바람직할 수 있다. 몇몇 실시 형태에서, 중합체 층 또는 영역은 접촉 드래그(contact drag)를 감소시키도록 또는 작업 유체 유동을 개선하도록 조직화될 수 있다. 몇몇 실시 형태에서, 캐리어의 하나의 주 표면 상의 중합체 영역 또는 영역들은 대향 주 표면 상의 중합체 영역 또는 영역들과 연결될 수 있다. 몇몇 실시 형태에서, 개구 원주를 한정하는 베이스 캐리어의 표면적에 상응하는 제3 표면이 중합체 층을 포함하는 중합체에 의해 적어도 부분적으로 코팅될 수 있다.
양면 래핑에 사용되는 작업편 캐리어의 성능을 향상시키기 위한 중합체 층의 선택은 몇 가지 특성들의 균형을 맞출 필요가 있다. 코팅된 캐리어는 전자 및 관련 산업 분야에서 원하는 아주 얇은 작업편의 래핑에 사용되기에 충분히 얇으면서 작업편 또는 작업편들을 연마 플래튼들 사이에 몰아 넣기에 충분한 강성을 유지해야 한다. 일반적으로, 캐리어의 두께가 작업편의 원하는 최종 두께보다 얇은 것이 바람직하다. 중합체 층은 연마제의 과도한 무뎌짐 또는 그와 접촉하는 연마 표면의 과도한 마모를 초래하지 않아야 하며, 작업 유체 내에 존재하는 화학 물질에 대한 내성을 가져야 한다. 몇몇 실시 형태에서, 무뎌짐을 초래할 수 있는 연마제와의 상호 작용을 회피하는 것이 또한 바람직하다. 다른 실시 형태에서, 상당한 내마모성을 갖는 중합체 층이 바람직하다.
응력 대 변형률 곡선 아래의 큰 적분 면적에 의해 표시되는 바와 같이, 큰 파손일(파단 응력 에너지(Energy to Break Stress)로도 알려짐)을 나타내는 재료가 본 적용 분야에서 내마모성 재료로서 특히 아주 적합한 것으로 밝혀졌다. 적어도 약 5 주울, 적어도 약 10 주울, 적어도 약 15 주울, 20 주울, 25 주울, 30 주울, 또는 심지어 그보다 큰 주울의 파손일을 갖는 중합체가 캐리어용 내마모성 중합체 층으로서 사용될 수 있는 것으로 판명되었다. 중합체 층을 포함하는 중합체는 열경화성, 열가소성 또는 이들의 조합일 수 있다. 열가소성 중합체는 일반적으로 열가소성 탄성중합체로 불리는 중합체의 부류를 포함할 수 있다. 중합체는 코팅 또는 적층된 필름으로서 도포될 수 있다. 코팅 또는 필름의 도포 후에, 중합체 층이 그의 최적 유용도에 도달하도록 코팅 또는 필름의 추가 건조, 어닐링 및/또는 경화를 필요로 할 수 있다. 몇몇 실시 형태에서, 중합체 층은 화학적으로 상이한 중합체의 다수 층들을 포함할 수 있다.
적절한 기계적 특성을 보유하는 것 외에, 중합체 층은 그의 특성의 과도한 열화 없이 래핑 작업의 화학적 환경을 견딜 수 있어야 한다. 폴리우레탄, 에폭시 및 일정 폴리에스테르와 같은 중합체는 전형적으로 사용되는 작업 유체에 대한 원하는 내화학성을 가지며, 중합체 층으로서 사용될 수 있다. 중합체 층 또는 영역을 포함하는 바람직한 중합체는 열경화성 폴리우레탄, 열가소성 폴리우레탄 및 이들의 조합을 포함한다. 하이드록실 말단 폴리에테르(hydroxyl terminated polyether) 또는 하이드록실 말단 폴리에스테르 예비중합체와 다이아이소시아네이트와의 반응으로부터 형성된 폴리우레탄이 채용될 수 있다. 폴리우레탄의 가교결합이 바람직할 수 있다. 폴리우레탄의 가교결합은 종래의 가교결합 반응에 의해 달성될 수 있다. 한 가지 바람직한 가교결합 시스템은 켐츄라 코포레이션(Chemtura Corp.)(미국 코네티컷주 미들베리)으로부터 입수가능한 아디프렌(Adiprene™) L83과 같은 다이아이소시아네이트 말단 폴리우레탄과, 역시 켐츄라 코포레이션으로부터 입수가능한 에타큐어(Ethacure™) 300과 같은 지방족 또는 방향족 다이아민과의 반응이다. 루브리졸 코포레이션(Lubrizol Corp.)(미국 오하이오주 위클리프)으로부터 입수가능한 에스테인(Estane™) 58219와 같은 열가소성 폴리우레탄 필름도 또한 본 발명의 중합체 층으로서 사용될 수 있다.
몇몇 실시 형태에서, 코팅된 캐리어의 완결성 개선을 위해 베이스 캐리어와 중합체 층 사이에 접착 촉진층(APL)이 개재될 수 있다. APL은 베이스 캐리어와 중합체 층 사이의 접착력을 개선한다. APL은 유사한 화학 조성의 다수 층들, 또는 바람직하게는 상이한 화학 조성을 갖는 다수 층들을 포함할 수 있다. 접착 촉진층은 베이스 캐리어의 표면들 중 하나 이상에 위치할 수 있다. 바람직하게는, APL은 베이스 캐리어의 2개의 대향 주 표면에 위치한다.
접착 촉진층은 베이스 캐리어의 표면들 중 하나 이상의 화학적 개질에 의해, 또는 베이스 캐리어의 표면들 중 하나 이상에 APL로 기능하는 코팅을 제공함으로써 형성될 수 있다. 베이스 캐리어의 표면의 화학적 개질은 종래 기술, 예컨대 플라즈마, 전자빔(e-beam) 또는 이온빔 처리에 의해 달성될 수 있다. 바람직한 공정은 하나 이상의 가스의 존재 하에서의 플라즈마 처리이다. 유용한 가스는 테트라메틸 실란(TMS), 산소, 질소, 수소, 부탄, 아르곤 등을 포함한다. 플라즈마 표면 처리는 여러 작용기들을 베이스 캐리어의 표면에 형성시키게 된다. 바람직한 작용기는 탄소에 결합된 산소, 규소에 결합된 산소, 탄소에 결합된 질소 및 질소에 결합된 수소를 포함한 원자 쌍(atom pair)을 포함한다. 플라즈마 처리는 또한 APL의 도포 이전에 베이스 캐리어의 표면을 세정하는 데 사용될 수 있다. 이러한 목적에 바람직한 가스는 아르곤이다.
APL은 무기 코팅 또는 유기 코팅일 수 있다. 유용한 무기 코팅은 금속 및 금속 산화물을 포함한다. 바람직한 무기 코팅은 규소에 결합된 산소, 니켈에 결합된 크롬, 지르코늄에 결합된 산소 또는 알루미늄에 결합된 산소를 포함한 원자 쌍을 함유하는 코팅을 포함한다. 바람직한 금속 산화물 코팅은 실리카, 지르코니아, 알루미나 및 이들의 조합을 포함한다. 또한, 금속 코팅이 APL로서 채용될 수 있으며, 알루미늄 및 질화알루미늄티타늄이 2가지 바람직한 코팅이다. 무기 코팅은 종래의 기술에 의해 도포될 수 있다. 바람직한 기술은 졸-겔, 전기화학 침착 및 물리 증착을 포함한다. 보다 바람직하게는, 스퍼터링, 이온 도금 및 음극 아크식 기술과 같은 물리적 증착 기술이 금속, 합금, 질화물, 산화물 및 탄화물에 대한 코팅의 균일성 및 두께를 정밀하게 제어하는 데 유용하다. 이들 진공 침착 기술은 무용매, 건식 및 청정 공정을 가능케 한다.
유용한 유기 코팅은 화학 조성 및 형태에 있어서 광범위하게 변할 수 있다. 일반적으로, 유기 APL은 화학적 특성, 예컨대 베이스 캐리어와 중합체 층 사이의 접착력을 향상시키는 하나 이상의 작용기를 갖는다. 최종 형태의 유기 코팅은 전형적으로 중합체성이지만, 저분자량 화합물도 또한 접착력 향상에 유용할 수 있다. 일반적으로 커플링제로 불리는 저분자량 재료가, 실란 커플링제, 예컨대 아미노 실란, 에폭시 실란, 비닐 실란, 아이소시안토 실란, 우레디오 실란 등을 포함하는 이러한 분류에 적합하다. 바람직한 아미노 실란은 모멘티브 퍼포먼스 머티어리얼즈(Momentive Performance Materials)(미국 코네티컷주 윌튼)로부터 입수가능한 실퀘스트(Silquest™) A-1100이다.
중합체 APL은 열경화성, 또는 열가소성 중합체 필름을 포함하는 열가소성일 수 있다. 중합체 APL은 적절한 표면 상으로의 코팅 이후 중합화 및/또는 가교결합되는 단량체 또는 올리고머를 초기에 포함할 수 있다. 기재에 도포시, 중합체 APL은 고체 함량에 있어서 사실상 100 퍼센트일 수 있거나, 코팅 후 사실상 제거되는 용매를 함유할 수 있다. 중합체 APL은 또한 코팅 후 용매가 사실상 제거되는 중합체 용액일 수 있다. 중합체 APL은 코팅 후 열경화 및 방사선 경화를 포함한 표준 기술을 통해 중합화 및/또는 가교결합될 수 있다. 일반적으로 프라이머(primer) 또는 접착제라고 하는 구매가능한 재료가 APL로서 사용될 수 있다. 바람직한 재료는 둘 모두가 로드 코포레이션(Lord Corp.)(미국 노스캐롤라이나주 캐리)으로부터 입수가능한 켐록(Chemlok™) 213(경화제 및 염료가 유기 용매 시스템에 용해된, 우레탄 탄성중합체용 혼합 중합체 접착제) 및 켐록 219(탄성중합체 프라이머/접착제)와, 차트웰 인터내셔널 인크.(Chartwell International, Inc.)(미국 매사추세츠주 노스 애틀버러)로부터 입수가능한 C-515-71HR과, 밀러-스티븐슨 케미컬 컴퍼니 인크.(Miller-Stephenson Chemical Company, Inc.)(미국 코네티컷주 댄버리)로부터 입수가능한 에폰(Epon™) 828 에폭시를 포함한다. 유기 코팅은 스프레이 코팅(spray coating), 딥 코팅(dip coating), 스핀 코팅(spin coating), 롤 코팅(roll coating), 또는 브러시나 롤러에 의한 코팅을 포함한 종래 기술에 의해 베이스 캐리어 및/또는 중합체 층에 도포될 수 있다.
수 개의 접착 촉진층이 순차적으로 도포되어, 다수의 층들을 포함하는 접착 촉진층을 생성할 수 있다. 다층 APL이 채용될 때, 개별 APL은 여러 다양한 유형의 APL, 즉 화학적으로 개질된 표면, 무기 코팅, 유기 코팅 및 이들의 조합을 포함할 수 있다. APL은 원하는 레벨의 접착력을 촉진하는 임의의 원하는 적층 순서로 조합될 수 있다. APL의 선택은 베이스 캐리어의 조성 및 중합체 층의 조성을 포함한 여러 요인들에 따른다. 래핑 캐리어의 여러 층들, 즉 베이스 캐리어, APL(들) 및 중합체 층(들)이 상호 부착되는 순서는 달성되는 래핑 캐리어의 최적 유용도 및 여러 층들의 도포와 연관된 공정 고려 사항에 기초하여 선택될 수 있다. 몇몇 실시 형태에서, APL은 우선 베이스 캐리어에 접착된 다음에 중합체 층에 접착된다. 다른 실시 형태에서, APL은 우선 중합체 층에 접착된 다음에 베이스 캐리어에 접착된다. 다층 APL을 구비한 또 다른 실시 형태에서, APL은 초기 기재로서 베이스 캐리어로 시작하여 상하로 배열될 수 있거나, APL은 초기 기재로서 중합체 층으로 시작하여 상하로 배열될 수 있다. 몇몇 실시 형태에서, 하나 이상의 APL이 베이스 캐리어에 순차적으로 도포될 수 있고, 하나 이상의 APL이 중합체 층에 순차적으로 도포된 다음에 베이스 캐리어의 최외측 APL과 중합체 층의 접합이 이어질 수 있다. 몇몇 실시 형태에서, 바람직한 다층 APL은 건조 및 경화된 켐록 213 화합물을 포함한 제2 접착 촉진층에 인접하는 건조 및 경화된 켐록 219 화합물을 포함한 제1 접착 촉진층을 포함한다.
상이한 래핑 적용 분야는 베이스 캐리어와 중합체 층 사이의 상이한 레벨의 접착력을 필요로 할 수 있다는 것은 알려져 있다. 부식성 폴리싱 용액, 고온을 채택하거나 고도의 전단력이 캐리어로 전달되는 래핑 공정은 덜 가혹한 조건을 채택한 공정에 비해 베이스 캐리어와 중합체 층 사이의 보다 큰 접착력을 필요로 할 수 있다. 따라서, 접착 촉진층의 선택은 래핑 공정 조건 및/또는 연마되는 작업편에 따를 수 있다.
화학적 개질을 수행하거나 APL을 베이스 캐리어 표면 또는 중합체 층 표면에 도포하기 전에, 표면을 세정하는 것이 종종 바람직하다. 비누 용액을 사용한 표면 세척 후 물을 사용한 헹굼 또는 적절한 용매, 예컨대 메틸에틸케톤, 아이소프로판올 또는 아세톤을 사용한 표면 세척 후 건조와 같은 종래의 세정 기술이 채용될 수 있다. 캐리어 또는 중합체 층의 조성에 따라, 산 또는 염기 용액을 사용한 세정이 또한 유용할 수 있다. 위의 세정 기술과 함께 초음파 분해가 또한 사용될 수 있다. 더욱이, 특히 코팅되는 베이스 캐리어가 금속, 예컨대 스테인레스강일 때, 가스로서 아르곤을 사용한 표면 오염물 제거/플라즈마 세정이 바람직한 세정 기술이다.
몇몇 실시 형태에서, 베이스 캐리어는 금속, 유리, 중합체, 또는 세라믹을 포함한다. 바람직한 금속은 강 및 스테인레스강을 포함한다. 바람직한 중합체는 열경화성 중합체, 열가소성 중합체 및 이들의 조합을 포함한다. 중합체는 특정 목적을 위해 선택되는 하나 이상의 충전제 또는 첨가제를 함유할 수 있다. 캐리어의 비용을 낮추기 위해 무기 충전제가 사용될 수 있다. 더욱이, 입자 또는 섬유와 같은 강화 충전제가 중합체에 첨가될 수 있다. 바람직한 강화 충전제는 무기물 특성을 가지며, 강화 효과의 개선을 위해 표면 개질을 포함할 수 있다. 나노입자, 예컨대 나노실리카가 또한 사용될 수 있다. 중합체는 또한 전형적으로 직조 재료인 강화 매팅(matting), 예컨대 중합체 섬유 매팅, 유리 섬유 매팅 또는 금속 스크린의 영역 또는 층을 함유할 수 있다.
몇몇 실시 형태에서, 베이스 캐리어 및 중합체 영역은 상이한 재료를 포함한다. 몇몇 실시 형태에서, 중합체 영역은 중합체 코팅 또는 적층된 중합체 필름을 포함한다. 몇몇 실시 형태에서, 캐리어 각각의 주 표면은 2개 이상의 중합체 영역을 포함한다. 몇몇 실시 형태에서, 영역은 가교결합된 중합체일 수 있는 우레탄 중합체를 포함한다. 몇몇 실시 형태에서, 중합체 영역의 중합체는 적어도 약 5, 15, 20, 25, 30 주울, 또는 심지어 그 이상의 파손일을 갖는다.
몇몇 실시 형태에서, 개시된 방법은 작업편과 래핑 표면 사이의 계면에 작업 유체를 제공하는 단계를 포함한다. 몇몇 실시 형태에서, 본 발명의 방법은 연마 입자를 포함하는 작업 유체를 제공하는 단계를 포함한다. 몇몇 실시 형태에서, 본 발명의 방법은 2개의 대향 래핑 표면 중 적어도 하나가 3차원의 조직화된 고정 연마 물품을 포함하는 양면 래핑 기계의 사용을 포함한다. 몇몇 실시 형태에서, 본 발명의 방법은 래핑 기계의 2개의 대향 표면 중 적어도 하나로서 결합제 내에 배치된 다이아몬드 입자를 포함하는 3차원의 조직화된 고정 연마 물품을 사용한다. 몇몇 실시 형태에서, 본 발명의 방법은 래핑 기계의 2개의 대향 표면 중 적어도 하나로서 결합제 내에 배치된 다이아몬드 응집체를 포함하는 3차원의 조직화된 고정 연마 물품을 사용한다. 몇몇 실시 형태에서, 본 발명의 방법은 결합제 내에 배치된 다이아몬드 응집체를 포함하는 3차원의 조직화된 고정 연마 물품을 사용하며, 다이아몬드 응집체는 3차원의 조직화된 고정 연마 물품의 결합제와는 상이한 결합제를 포함한다.
또 다른 실시 형태에서, 개시된 방법은 래핑 기계의 2개의 대향 래핑 표면 중 적어도 하나에서 펠렛 랩(pellet lap)을 사용한다. 몇몇 실시 형태에서, 양면 래핑 기계는 단면 래핑 기계로 대체되며, 베이스 캐리어는 래핑 기계의 연마 표면과 접촉하는 캐리어의 표면에 적어도 하나의 중합체 영역을 포함한다.
본 발명의 다양한 변형 및 변경은 본 발명의 범주 및 사상으로부터 벗어남이 없이 당업자에게 명백할 것이며, 본 발명은 다음과 같은 본 명세서에 나타낸 예시적인 실시 형태들로 부당하게 제한되지 않음을 이해하여야 한다.
달리 명기하지 않는 경우, 재료들은 미국 위스콘신주 밀워키에 소재한 알드리치(Aldrich)와 같은 화학 물질 공급 업체로부터 입수가능하였다.
Figure 112009030166964-pct00001
시험 방법
시험 방법 1, 접착력
스테인레스강 쿠폰(coupon)의 표면에 대한 우레탄 코팅의 접착력을 검사하기 위해 시험 방법을 개발하였다. 각각의 실시예의 2개의 쿠폰을 2시간 동안 53℃의 탈이온수에 담궜다. 담근 후, 층이 분리되지 않은 또는 스테인레스강으로부터 쉽게 박리될 수 없는 임의의 코팅은 시험에 합격한 것으로 간주하였다. 2개 중 하나의 쿠폰이 실시예가 통과하는 이들 기준을 충족시킬 필요가 있었다.
시험 방법 2, 폴리싱
피터-울터스(Peter-Wolters) AC500(미국 일리노이주 데스 플레인스에 소재한 피터-울터스 오브 아메리카(Peter-Wolters of America)) 양면 래핑 기계를 사용하여 800 ㎛ 두께, 100 ㎜ 직경의 규소 웨이퍼를 폴리싱하여서 캐리어를 시험하였다. 폴리싱 사이클은 각각 해당 캐리어 내에 삽입된 3개의 웨이퍼를 10 분의 폴리싱 시간 동안 동시에 폴리싱하는 것을 포함하였다. 시계 방향 회전에서 시작하여, 각각의 폴리싱 사이클시 캐리어 회전을 시계 방향(CW)으로부터 반시계 방향(CCW)으로 교번시켰다. 기계를 14 rpm(분당 회전수)의 태양 기어(내부 링)로 9.65 ㎪(1.4 psi)의 압력 및 96 rpm의 플래튼 속도로 작동시켰다. 냉각 및 절삭 부스러기 제거를 제공을 위해 탈이온수를 500 ㎖/min으로 공급하였다. 고정 연마 패드는, 각각의 시험에 대한 패드 표면의 동등한 초기 상태를 설정하기 위하여 환형 600 그릿(grit) 산화알루미늄 스톤을 1분간 시계 방향으로 그리고 1분간 반시계 방향으로 작동시켜 연속 시험들 전에 그리고 그들 사이에 컨디셔닝된 4A-DT 6-015 트라이잭 다이아몬드 타일(미국 미네소타주 세인트 폴에 소재한 쓰리엠 컴퍼니(3M Company))이었다. 웨이퍼의 제거율을 중량 측정으로 측정하였다. 달리 언급하지 않는 한, 데이터는 사이클 당 3개 웨이퍼의 평균이다. 상부 웨이퍼 표면 및 하부 웨이퍼 표면에 대한 제거율의 균일성을 시각적 관측에 의해 모니터링하였다. 폴리싱 후 웨 이퍼 에지 프로파일의 시각적 비대칭은 연마율(polishing rate)의 비대칭, 즉 제거율이 웨이퍼의 상부와 하부 표면 사이에서 상이함을 나타내었다.
시험 방법 3, 인장
필름의 기계적 특성을 측정하는 데 인장 시험 방법을 사용하였다. 25 ㎜의 샘플 게이지 길이 및 25 ㎜의 샘플 폭을 101.6 ㎝/min(40 in/min)의 크로스헤드 속도(crosshead speed)로 사용한 것을 제외하고 본 시험은 일반적으로 ASTM D638을 준수하였다.
시험 방법 4, 마모
시험 방법 4에서는 중합체 층 코팅 캐리어에 대해 탈이온수 담금(soak) 및 단면 래핑 공정 둘 모두를 이용한 가속 마모 시험을 행한다. 탈이온수 담금은 캐리어를 2시간 동안 63℃의 탈이온수에 담그는 것을 포함하였다. 피터-울터스 AC500 공구 상에 래핑 공정을 수행한다. 고정 연마 패드인 4A-DT 6-015 트라이잭 다이아몬드 타일을 하부 플래튼에 장착하였다. 캐리어의 치형부가 내부 및 외부 링 핀과 치합한 상태로 각각의 캐리어를 플래튼에 장착하였다. 100 ㎜ 직경의 규소 웨이퍼를 캐리어에 장착하였다. 124.8 ㎜의 내경을 갖는 시험할 캐리어와 동일한 외부 기하학적 형상의 2개의 3.3 ㎏ 기어를 시험 캐리어의 상부에 배치하였다. 4개의 1.13 ㎏ 판을 링 기어의 내부에서 캐리어의 중심에 배치하였다. 이어서, 2개의 4.5 ㎏ 판을 링 기어의 상부에 배치하였다. 4.5 ㎏ 판을 캐리어 중심의 4개의 1.13 ㎏ 판과 접촉시키지 않았다. 캐리어의 중심에서의 총 중량은 약 4.5 ㎏이었으며, 이때 캐리어에서의 총 중량은 약 20 ㎏이었다. 캐리어의 접촉 면적은 약 165 ㎠로서, 캐리어에 대한 약 0.12 ㎏/㎠의 평균 압력을 산출하였다. AC500의 하부 플래튼을 96 rpm으로 회전시켰으며, 그의 태양 기어를 14 rpm으로 회전시켰다. 본 시험에 사용하는 작업 유체는 이전 그라인딩 공정으로부터의 규소 절삭 부스러기를 함유한 재순환된 수용액이었다. 이전 그라인딩 공정은 6 ㎛ 다이아몬드 연마제인 4A-DT 6-015 트라이잭 다이아몬드 타일 패드(쓰리엠 컴퍼니)를 사용하여 규소 웨이퍼를 그라인딩한 양면 래핑 공정이었다. 재순환된 수용액은 약 0.5중량% 미만의 규소를 함유하였다. 시험 방법 4에 대한 시험 시간은 10 분이었으며, 그 후 플래튼 및 기어 회전을 정지시키고, 중량체를 캐리어로부터 제거하고 캐리어를 공구로부터 제거하였다. 중합체 층의 층분리에 대해 캐리어를 시각적으로 검사하였다.
실시예 1 내지 실시예 32
폭이 1.27 ㎝(0.5 in)이고 길이가 15.2 ㎝(6 in)인 번호 304 스테인레스강 쿠폰을 사용하였다. 스테인레스강 쿠폰은 베이스 캐리어를 제조할 수 있는 한 가지 유형의 재료를 나타낸다. 쿠폰의 표면을 아이소프로판올 또는 메틸에틸케톤(MEK)으로 세정하였다. 이어서, 2.54 ㎝(1 in)의 중심 구멍을 구비한 15 ㎝(6 in)의 외경 및 2.54 ㎝(1 in)의 폭을 갖는 SST 등급 7A 파인(FINE)인 스카치-브라이트(Scotch-Brite)→디버링(Deburring) 휠(쓰리엠 컴퍼니)로 표면을 연마하여 거칠게 하였다. 스테인레스강 쿠폰의 표면을 아이소프로판올로 2회 와이핑(wiping)하여 다시 세정하고 건조시킨 다음에 아르곤 플라즈마에 노출시켰다. 플라즈마 공정은 다음과 같았다. 쿠폰을 진공 챔버 내의 전력이 인가된 전극에 배치하였다. 챔버를 0.13 ㎩(1 mTorr) 미만으로 감압시켰다. 아르곤을 2.7 ㎩(20 mTorr)로 유 입시킨 후 2000 와트로 플라즈마 세정에 사용하였다. 1분 후, 전력 및 가스를 중단하였다. 표 I에 기재한 바와 같이, 플라즈마 형성 APL로 후속하여 개조될 쿠폰을 진공 하에서 챔버에 방치시켜 즉시 플라즈마로 처리하여 APL을 형성하였다. 후속 플라즈마 처리를 원하지 않는 경우에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다.
일련의 여러 접착 촉진층 또는 APL을 표 I에 도시된 바와 같은 스테인레스강 쿠폰에 도포하였다. APL을 표 I에 열거된 순서로 도포하였다. 플라즈마 표면 처리를 통한 화학적 개질을 포함한, 스테인레스강 표면의 임의의 처리는 APL을 형성하는 것으로 고려되는 것에 주목하자. 플라즈마 처리가 스퍼터 코팅 공정의 그것과는 상이한 진공 챔버에서 수행되었음에 주목하여야 한다. 표시된 APL을 쿠폰에 도포한 후, 우레탄 코팅을 포함하는 중합체 층을 각각의 스테인레스강 쿠폰에 도포하였다. 각각의 샘플에 대해 2개의 쿠폰을 제조하였다. 각각의 APL 및 중합체 층을 도포하기 위한 조성물 및 공정을 이하에서 논의한다.
접착 촉진층(APL)
플라즈마 1은 다음과 같은 2단계 공정이었다. 단계 1: 150 sccm(standard cubic centimeter per minute: 분당 표준 입방 센티미터)으로 테트라메틸실란을, 캐리어 가스로서 2.7 ㎩(20 mTorr)의 아르곤과 함께 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 3.3 ㎩(25 mTorr)에서 10초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 단계 2: 이어서, 150 sccm으로 테트라메틸실란을 그리고 500 sccm으로 산소를, 캐리어 가스로서 2.7 ㎩(20 mTorr)의 아르곤과 함께 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 8.0 ㎩(60 mTorr)에서 20초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 쿠폰을 처리한 후에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다. 이어서, 샘플을 제거하였다.
플라즈마 2는 다음과 같은 3단계 공정이었다. 단계 1: 플라즈마 1의 단계 1과 동일함. 단계 2: 아르곤 캐리어 가스가 없는 점을 제외하고는 플라즈마 1의 단계 2와 동일함. 또한, 2000 와트의 전력을 6.7 ㎩(50 mTorr)에서 10초 동안 인가하였다. 단계 3: 500 sccm으로 산소를 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 6.3 ㎩(47 mTorr)에서 30초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 쿠폰을 처리한 후에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다. 이어서, 샘플을 제거하였다.
플라즈마 3은 다음과 같은 4단계 공정이었다. 단계 1: 플라즈마 1의 단계 1과 동일함. 단계 2: 150 sccm으로 테트라메틸실란을 그리고 200 sccm으로 부탄을, 캐리어 가스로서 2.7 ㎩(20 mTorr)의 아르곤과 함께 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 5.3 ㎩ (40 mTorr)에서 8초 동안 인가하였다. 단계 3: 200 sccm으로 부탄을, 캐리어 가스로서 2.7 ㎩(20 mTorr)의 아르곤과 함께 유입시켰다. 2,000 와트의 전력을 4.0 ㎩(30 mTorr)에서 20 초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 단계 4: 500 sccm으로 산소를 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 6.7 ㎩(50 mTorr)에서 10초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 쿠폰을 처리한 후에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다. 이어서, 샘플을 제거하였다.
플라즈마 4는 다음과 같은 3단계 공정이었다. 단계 1: 전력이 20초 동안 인 가되는 점을 제외하고는 플라즈마 1의 단계 1과 동일함. 단계 2: 150 sccm으로 테트라메틸실란을, 캐리어 가스로서 2.7 ㎩(20 mTorr)의 아르곤 및 5.3 ㎩(40 mTorr)의 질소와 함께 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 8.4 ㎩(63 mTorr)에서 20초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 단계 3: 5.3 ㎩(40 mTorr)의 질소를 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 5.3 ㎩(40 mTorr)에서 60초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 쿠폰을 처리한 후에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다. 이어서, 샘플을 제거하였다.
플라즈마 5는 다음과 같은 2단계 공정이었다. 단계 1: 플라즈마 1의 단계 1과 동일함. 단계 2: 150 sccm으로 테트라메틸실란을, 캐리어 가스로서 5.3 ㎩(40 mTorr)의 질소와 함께 유입시켰다. 2000 와트의 전력을 8.0 ㎩(60 mTorr)에서 60 초 동안 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 쿠폰을 처리한 후에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다. 이어서, 샘플을 제거하였다.
NiCr APL을 스퍼터 침착 공정에 의해 형성하였다. 세정된 쿠폰을 다른 진공 챔버에 배치하고, 0.13 ㎩(1 mTorr) 미만으로 감압시켰다. 400 sccm 및 1.1 ㎩(8 mTorr)로 아르곤을 유입시켰다. 1500 와트의 전력을 2.5분의 체류 시간 동안 니켈 크롬 스퍼터링 타깃에 인가하였다. 전력 및 가스 유동을 중단하고 챔버를 진공 하에서 유지시켰다. 쿠폰을 처리한 후에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다. 이어서, 샘플을 제거하였다.
알루미늄 금속 타깃으로부터 반응성 스퍼터 침착에 의해 흑색 알루미나, 즉 산화된 알루미늄의 APL을 스퍼터 침착하였다. 세정 후, 스테인레스강 쿠폰을 진공 챔버 내부에 설치된 기재 홀더에 배치시키되, 스퍼터링 알루미늄 타깃을 기재 홀더 위 40.6 ㎝(16 in)에 배치시켰다. 챔버를 1.33 × 10-3 ㎩ (1 × 10-5 Torr)의 기저 압력(base pressure)으로 배기시킨 후, 스퍼터 가스(아르곤)를 100 sccm의 유량으로 챔버 내부로 유입시켰다. 반응성 가스 산소를 3 sccm의 유량으로 챔버에 추가하였다. 게이트 밸브를 조절하여 챔버의 총 압력을 0.27 ㎩(2 mTorr)로 조절하였다. DC 전원 장치를 사용하여 2 ㎾의 일정한 전력 레벨로 스퍼터링을 개시하였다. 스퍼터 지속 시간은 1시간이었다. 기재를 가열하지 않고 실온으로 유지시켰다. 쿠폰을 처리한 후에, 챔버를 배기시키고 진공을 해제시켰다. 이어서, 샘플을 제거하였다.
어떠한 반응성 가스 산소도 챔버 내로 유입시키지 않고 스퍼터 지속 시간을 30분으로 한 점을 제외하고는 산화된 알루미늄 코팅의 침착에 이용된 것과 유사한 스퍼터 침착 공정을 이용하여 알루미늄 APL을 형성하였다.
산화된 알루미늄 코팅의 침착에 이용된 것과 유사한 스퍼터 침착 공정을 이용하여 산화지르코늄 APL을 형성하였다. 공정 변경 사항은 지르코늄 타깃이 알루미늄 타깃을 대신하는 것을 포함하였으며, 이때 스퍼터 전력은 30분의 지속 시간 동안 1 ㎾였다.
산화규소 APL을 다음의 공정에 의해 형성하였다. 최종 아이소프로판올 와이 핑 후에 쿠폰을 120℃에서 30분 동안 건조시키는 것을 제외하고는 전술한 바와 같이 쿠폰을 세정하였다. 아르곤 플라즈마 세정을 100 와트 전력의 산소 플라즈마로 대체하였다. 110 와트의 전력으로 SiH4 및 N2O가스를 사용한 350℃에서의 플라즈마 화학 증착에 의해 60 ㎚의 산화규소를 쿠폰의 표면에 침착시켰다.
코팅 1은 중량 기준 60/40의 C219 및 MEK의 혼합물이었다. 건조/경화 후 약 10 내지 15 ㎛ 범위의 코팅 두께를 얻도록 코팅 1을 쿠폰 표면에 스프레이 코팅하였다. 우선 쿠폰의 하나의 주 표면을 코팅하여 공기 건조되도록 한 다음에, 다른 하나의 주 표면에 스프레이하여 공기 건조시켰다. 이어서, 쿠폰을 30분 동안 90℃ 의 오븐에서 경화시켰다.
코팅 2는 중량 기준 60/40의 C213 및 T248의 혼합물이었다. 건조/경화 후 약 20 내지 25 ㎛ 범위의 코팅 두께를 얻도록 코팅 2를 쿠폰 표면에 스프레이 코팅하였다. 우선 쿠폰의 하나의 주 표면을 코팅하여 공기 건조되도록 한 다음에, 다른 하나의 주 표면에 스프레이하여 공기 건조시켰다.
코팅 3은 2가지 용액의 혼합물이었다. 에폭시/MEK의 용액을 중량 기준 60/40으로 혼합시켜 제1 용액을 제조하였다. V125/L-7604/다우 7/MEK를 58.98/0.85/0.17/40.00의 중량비로 혼합시켜 제2 용액을 제조하였다. 이어서, 400.00 g의 제1 용액을 217.32 g의 제2 용액과 완전히 혼합시켜 코팅 3을 제조하였다. 건조/경화 후 약 20 내지 25 ㎛ 범위의 코팅 두께를 얻도록 코팅 3을 쿠폰 표면에 스프레이 코팅하였다. 쿠폰의 하나의 주 표면을 코팅하고, 공기 건조시키고, 30분 동안 90℃의 오븐에서 경화시킨 후, 실온에서 냉각되도록 하였다. 제2 주 표면에 대해 코팅/경화 공정을 반복하였다. 경화 중에, 쿠폰을 실리콘 이형 라이너 상에 배치하여 오븐 표면에 붙는 것을 방지하였다.
A-1100/탈이온수/아이소프로판올을 1.0/24.0/75.0의 중량비로 혼합시켜 코팅 4를 제조하였다. 건조/경화 후 약 10 내지 15 ㎛ 범위의 코팅 두께를 얻도록 코팅 4를 쿠폰 표면에 스프레이 코팅하였다. 우선 쿠폰의 하나의 주 표면을 코팅하여 공기 건조되도록 한 다음에, 다른 하나의 주 표면에 스프레이하여 공기 건조시켰다. 이어서, 쿠폰을 30분 동안 90℃의 오븐에서 경화시켰다. 경화 중에, 쿠폰을 실리콘 이형 라이너 상에 배치하여 오븐 표면에 붙는 것을 방지하였다.
코팅 5는 2가지 용액의 혼합물이었다. L83/MEK의 용액을 중량 기준 60/40으로 혼합시켜 제1 용액을 제조하였다. E300/L-7604/다우 7/C-515.71HR/MEK를 49.45/3.30/0.65/6.60/40.00의 중량비로 혼합시켜 제2 용액을 제조하였다. 이어서, 600.00 g의 제1 용액을 59.25 g의 제2 용액과 완전히 혼합시켜 코팅 5를 제조하였다. 건조/경화 후 약 10 내지 15 ㎛ 범위의 코팅 두께를 얻도록 코팅 5를 쿠폰 표면에 스프레이 코팅하였다. 쿠폰의 하나의 주 표면을 코팅하고, 공기 건조시키고, 30분 동안 90℃로 설정된 오븐에서 경화시킨 후, 실온에서 냉각되도록 하였다. 제2 주 표면에 대해 코팅/경화 공정을 반복하였다. 경화 중에, 쿠폰을 실리콘 이형 라이너 상에 배치하여 오븐 표면에 붙는 것을 방지하였다.
코팅 6은 물에 녹인 ATES의 2%(중량 기준) 용액이었다. 캐리어를 용액 내에 담가서 코팅을 도포하고 초과 용액을 에어 건(air gun)으로 불어내었다. 이어서, 캐리어를 15분 동안 120℃의 오븐에 배치하였다.
코팅 7은 물에 녹인 ETMS의 2%(중량 기준) 용액이었다. 캐리어를 용액 내에 담가서 코팅을 도포하고 초과 용액을 에어 건(air gun)으로 불어내었다. 이어서, 캐리어를 15분 동안 120℃의 오븐에 배치하였다.
중합체 층
중합체 층은 2가지 용액의 혼합물이었다. L83/MEK의 용액을 중량 기준 60/40으로 혼합시켜 제1 용액을 제조하였다. E300/L-7604/다우 7/MEK를 55.50/3.75/0.75/40.00의 중량비로 혼합시켜 제2 용액을 제조하였다. 이어서, 600.00 g의 제1 용액을 52.8 g의 제2 용액과 완전히 혼합시켜 중합체 층 용액을 제조하였다. 약 60 내지 70 ㎛ 범위의 두께를 갖는 건조/경화 후 중합체 층을 얻도록 중합체 층 용액을 쿠폰 표면 상에 스프레이 코팅하였다. 쿠폰의 하나의 주 표면을 코팅하고, 공기 건조시키고, 30분 동안 90℃의 오븐에서 경화시킨 후, 실온에서 냉각되도록 하였다. 경화 시간을 16시간으로 증가시킨 것을 제외하고 제2 주 표면에 대해 코팅/경화 공정을 반복하였다. 경화 중에, 쿠폰을 실리콘 이형 라이너 상에 배치하여 오븐 표면에 붙는 것을 방지하였다.
Figure 112009030166964-pct00002
실시예 33
코팅용 베이스 캐리어는 17.8 ㎝(7 in) 직경의 연강(mild steel) 캐리어였다. 접착 촉진층 1(APL1)로서 C219A 및 접착 촉진층 2(APL2)로서 C213A로 구성된 다수의 APL과 이어서 중합체 층으로서 우레탄 1을 베이스 캐리어에 도포하여 중합체 층을 구비한 캐리어를 제조하였다. 3가지 코팅 용액을 페인트 브러시를 사용하여 순차적으로 베이스 캐리어에 도포하였다. 후속 코팅을 도포하기 전에, 이전 코팅이 실온에서 10분 동안 건조되도록 하였다. 도포 이전에 우레탄 1을 30분 동안 완전히 혼합시켰다. 일련의 코팅을 캐리어의 주 표면 둘 모두에 도포하였다. 우레탄 1 코팅의 건조 후에, 코팅을 90℃로 설정한 오븐에서 30분 동안 경화시켰다. 생성된 복합 코팅을 26 ㎛ 알루미나 연마 시트 및 5 ㎛ 알루미나 슬러리의 조합으로 래핑하여, 페인팅 공정에 의해 유입된 불균일부를 제거하였다. 최종 코팅된 캐리어는 양면에 111 ㎛의 코팅을 구비하여 704 ㎛ 두께를 가졌다.
실시예 34
접착 촉진층으로서 C213B 및 중합체 층으로서 E58219를 실시예 33에서 설명된 베이스 캐리어에 도포하여 중합체 층을 구비한 캐리어를 마련하였다. C213B를 압축 공기 스프레이 건을 사용하여 도포하였다. 베이스 캐리어의 각각의 면을 C213B로 코팅하고 실온에서 10분 동안 건조되도록 하였다. 필름 적층 전에, C213B 코팅 캐리어를 90℃에서 30분 동안 열처리하였다. E58219 우레탄 필름을 C213B 코팅 캐리어에 열간 적층(warm laminate)하였다. 적층을 149℃에서 6800 ㎏ 하중으로 15분 동안 수행하였다. 실리콘 코팅 이형지를 사용하여 필름이 기계 프레스의 플래튼에 고착되지 않도록 하였다. 금속 심(shim)을 최종 캐리어 구성물의 두께를 설정하는 데 사용하였고, 캐리어에서의 작업편 개구의 중심에 그리고 캐리어의 외부 에지 둘레에 배치하였다. 초과된 필름을 면도날로 잘라내어 캐리어로부터 제거하였다. 최종 코팅된 캐리어는 양면에 80 ㎛의 우레탄 필름 및 접착 촉진제를 구비하여 642 ㎛ 두께였다.
실시예 35
용액을 실리콘 이형 라이너에 부은 다음에 용액을 적절한 두께로 계량함으로써 우레탄 1의 필름을 제조하였다. 코팅이 건조되도록 한 다음에 90℃에서 30분 동안 경화되도록 하였다. 필름을 이형 라이너로부터 제거하였다
실시예 37 내지 실시예 42
코팅용 베이스 캐리어는 도 3에 도시된 바와 같이 17.8 ㎝(7 in) 직경의 400 시리즈 스테인레스강 캐리어였다. 베이스 캐리어 접촉 면적은 약 165 ㎠ (25.6 in2)이었다.
접착 촉진층
APL을 도포하기 전에, 세정 절차에 대한 다음의 변경 사항을 수행한 점을 제외하고는 실시예 1 내지 실시예 32의 스테인레스강 쿠폰에 대해 설명된 세정 절차에 따라 캐리어를 용매 세정하였다. 베이스 캐리어의 2개의 주 대향 표면을 80 그릿 산화알루미늄 코팅 접착제(쓰리엠 컴퍼니)를 사용한 랜덤 오비탈 팜 샌더(random orbital palm sander)로 연마하여 거칠게 하였다. 이러한 공정은 스카치-브라이트→ 디버링 휠(쓰리엠 컴퍼니)을 사용한 거칠게 하는 공정을 대체하였다. 실시예 39 내지 실시예 42에 대해, 아르곤 플라즈마 세정 처리는 실시예 1 내지 실시예 32의 것이었다. 아르곤 플라즈마 세정 처리를 이들 실시예에 대해 후술하는 스퍼터 코팅 공정의 것과는 상이한 진공 챔버에서 수행함을 주목하자. 실시예 37 및 실시예 38에 대한 플라즈마 세정 처리는 다음과 같았다. 우선, 캐리어를 200 sccm의 가스 유량, 2.7 ㎩ (20 mTorr)의 압력 및 2000 와트 전력으로 아르곤 플라즈마에서 2분 동안 처리하여, 아르곤 이온 충격을 이용해 기재를 물리적으로 세정하였다. 아르곤 플라즈마 처리 단계 직후, 샘플을 500 sccm의 가스 유량, 7.3 ㎩ (55 mTorr)의 압력 및 1000 와트 전력으로 30초 동안 산소 플라즈마에서 추가로 처리하였다.
실시예 37 내지 실시예 42에 대해, APL의 형성 및 그의 대응 도포 순서가 표 II에 설명되어 있다. APL을 베이스 캐리어의 주 표면 둘 모두에 형성하였다. 코팅 1 및 코팅 2에 대해 실시예 1 내지 실시예 32의 제조에 대해 설명된 것과 동일한 재료 및 도포 공정을 사용하였다. 플라즈마 공정 및 스퍼터 코팅 공정은 하기에 설명된다.
플라즈마 6은 다음과 같은 2단계 공정이었다. 단계 1: 15 초 동안 1000 와트의 전력 및 9.3 ㎩ (70 mTorr)의 압력에서 각각 150 sccm 및 500 sccm의 유량으로 테트라메틸실란 증기 및 산소 가스를 혼합하여 다이아몬드상 유리 박막을 침착하였다. 단계 2: 위의 단계 1에 의해 남겨진 메틸기를 500 sccm의 유량, 7.3 ㎩ (55 mTorr)의 압력 및 300 와트 전력으로 60초 동안 산소 플라즈마에 노출시켜서 제거하여, 기재 표면에 실라놀기를 남겨 두었다.
어떠한 반응성 가스 산소도 챔버 내로 유입시키지 않은 점을 제외하고는 흑색 알루미나 코팅의 침착에 이용된 것과 유사한 스퍼터 침착 공정을 이용하여 캐리어의 표면에 알루미늄 APL을 형성하였다. 스퍼터 지속 시간 및 전력 레벨을 가변 두께의 알루미늄 코팅을 얻도록 조절하였다. 2 ㎾의 60초 공정은 1,000 Å의 알루미늄 코팅 두께를 산출하였고, 1 ㎾의 60초 공정은 500 Å의 알루미늄 코팅 두께를 산출하였으며, 1 ㎾의 30초 공정은 265 Å의 알루미늄 코팅 두께를 산출하였다.
질소 가스 존재 하에서 알루미늄/티타늄 타깃을 사용한 음극 아크 공정인 표준 공업용 스퍼터 공정에 의해 AlTiN APL을 캐리어 표면에 형성하였다.
중합체 층
실시예 1 내지 실시예 32의 중합체 층을 제조하는 데 사용된 동일한 재료 및 동일한 공정을 사용하여 실시예 37 내지 실시예 42의 중합체 층을 제조하였다.
Figure 112009030166964-pct00003
비교예 A
본 비교예의 캐리어는 17.8 ㎝(7 in) 직경의 라미텍스(Lamitex™) 유리 충전 에폭시 캐리어(미국 펜실베니아주 칼라일에 소재한 PR 호프만(Hoffman))였다.
비교예 B
본 비교예의 캐리어는 17.8 ㎝(7 in) 직경의 연강 캐리어(코팅되지 않음)였다.
비교예 C
본 비교예의 필름은 PE1이었다.
실시예 1 내지 실시예 32의 시험
시험 방법 1을 이용하여, 스테인레스강 쿠폰에 대한 중합체 층의 접착력에 대해 실시예 1 내지 실시예 32를 시험하였다. 그 결과가 표 I에 나타나 있다. 실시예들 모두가 접착력 시험에 합격하였다.
비교예 A의 시험
시험 방법 2를 이용하여, 소우(saw) 절단 규소 웨이퍼 및 이전에 폴리싱한 웨이퍼 둘 모두를 폴리싱하는 데 유리 충전 에폭시 캐리어를 사용하였다. 제거율은 캐리어 회전 방향에 의해 영향을 받지 않았으며, 공정은 상부 및 하부 표면에서 유사한 제거율(소우 절단 웨이퍼에 대해 6.26 내지 6.34 ㎛/min 및 이전에 폴리싱한 웨이퍼에 대해 1.28 내지 2.81 ㎛/min)을 나타내었다. 표면 조도도 또한 상면(Rq = 37.6 ㎚) 및 하면(Rq = 40.1 ㎚)에서 유사하였다. 낮은 제거율은 무뎌진 연마제를 나타낸다.
비교예 B의 시험
시험 방법 2를 이용하여, 소우 절단 규소 웨이퍼 및 이전에 폴리싱한 웨이퍼 둘 모두를 폴리싱하는 데 비코팅 연강 캐리어를 사용하였다. 제거율은 캐리어 회전이 마지막 컨디셔닝 작동 방향과 동일한 방향일 때 더욱 높았다. 공정은 대칭이지 않았으며, 상부 패드가 하부 패드보다 훨씬 많은 양을 절삭하였다. 웨이퍼의 표면 조도도 또한 대칭이지 않았다(상면 Rq = 31.3 ㎚ 및 하면 Rq = 23.8 ㎚). 비교예 B에 대한 시험 결과가 하기의 표 III에 나타나 있다.
Figure 112009030166964-pct00004
실시예 33의 시험
시험 방법 2 및 (아래의) 표시된 변경 사항을 이용하여, 실시예 33에 설명된 캐리어를 사용해서 폴리싱을 수행하였다. 소우 절단 규소 웨이퍼를 사용하였다. 초기에, 3회의 10분 폴리싱 사이클을 수행하였다. 제거율이 높아서, 웨이퍼의 두께가 캐리어의 두께와 유사해졌다. 5분의 폴리싱 사이클 시간으로 시험 방법을 변경하였다. 최초 6회의 5분 사이클 중 관측된 제거율은 18개의 웨이퍼에 대해 평균 15.7 ㎛/min이었다. 시험을 중단하고, 컨디셔닝 또는 시운전 없이 익일 아침에 재시작하였다. 제2 세트의 6회의 5분 사이클 중 관측된 제거율은 18개의 웨이퍼에 대해 평균 19.2 ㎛/min이었다. 비교예 A 및 비교예 B보다 상당히 높은 제거율이 관측되었다. 마모에 대해 30분 간격으로 캐리어를 검사하였으며, 최초 3회의 10분 폴리싱 사이클을 포함한 90분의 시험에 걸쳐 0.09 ㎛/min의 마모가 발생한 것으로 밝혀졌다. 웨이퍼의 상부 표면과 하부 표면 사이에 표면 조도가 유사하였으며, 이는 상부와 하부 웨이퍼 표면들 사이의 대칭적인 폴리싱 거동을 나타낸다.
실시예 34의 시험
시험 방법 2 및 (아래의) 표시된 변경 사항을 이용하여, 실시예 34에 설명된 캐리어를 사용해서 폴리싱을 수행하였다. 소우 절단 규소 웨이퍼를 사용하여 폴리싱을 수행하였다. 폴리싱 사이클 시간은 5분이었으며, 총 폴리싱 시간은 120 분, 즉 총 24 사이클이었다. 폴리싱 후, 제거율을 표 IV에 나타낸 바와 같이 측정하였다. 비교예 A 및 비교예 B보다 상당히 높은 제거율이 관측되었다. 최초 4회의 폴리싱 사이클을 제외하고, 제거율은 또한 사이클들 간의 우수한 안정성을 나타내었다. 코팅된 캐리어의 제거율은 캐리어 회전 방향에 덜 민감함을 보여준다. 캐리어 마모를 30분 간격으로 측정하였다. 마지막 90분에 걸친 캐리어의 마모율은 캐리어 두께가 최종 규소 웨이퍼 두께보다 작은 영역에서 0.08 ㎛/min이었다. 폴리싱한 웨이퍼의 표면 조도(Rq)는 106.1 ㎚로 측정되었다. 실시예 34의 캐리어로 폴리싱한 웨이퍼의 표면 조도 및 제거율은 상면 및 하면 둘 모두에서 유사하였다. 이는 폴리싱이 웨이퍼의 상부와 하부 표면 사이에서 대칭임을 나타낸다. 추가 개선 사항은 제거율이 캐리어의 시계 방향 회전 및 반시계 방향 회전 둘 모두에 대해 유사한 것이었다.
Figure 112009030166964-pct00005
실시예 35, 실시예 36 및 비교예 C의 시험
실시예 35, 실시예 36 및 비교예 C로 각각 확인된 우레탄 1, E58219 및 PE1(캐리어용 중합체 층으로서 어떤 유용성을 나타내었던 폴리에스테르 필름)의 자유 필름을 시험 방법 3에 따라 시험하였다. 그 결과가 표 V에 나타나 있다. 일반적으로, 폴리우레탄 필름 표면을 포함한 캐리어의 유효 수명은 폴리에스테르 필름 표면을 구비한 캐리어에 비해 상당히 개선되었다. 이러한 캐리어 수명 개선과 높은 파단 응력 에너지가 상당히 상호 관련된다.
실시예 37 내지 실시예 42의 시험
시험 방법 4를 이용하여 중합체 층의 접착력에 대해 캐리어를 시험하였다. 그 결과가 표 II에 나타나 있다. 실시예 39 내지 실시예 42 모두가 이러한 거친 시험에 합격하였다. 실시예 37 및 실시예 38은 시험 방법 4의 극한 조건을 견딜 수 없었지만, 보다 덜 극한 조건에서는 적합하다.
Figure 112009030166964-pct00006
본 발명은 위에 도시되고 설명된 특정 공정, 배치, 재료 및 성분으로 반드시 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범주 내에서 여러 가지로 변형될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 전술한 예시적인 태양들이 규소 웨이퍼의 폴리싱에 대해 특히 상당히 적합한 것으로 여겨지지만, 본 발명의 개념은 다른 적용 분야에도 적용될 수 있다. 예를 들면, 본 출원의 개념은 폴리싱 작업 중 폴리싱 기계에 평면형의 평행한 표면을 제공하는 것이 요구될 때마다 이용될 수 있다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시 형태들에 대한 전술한 설명에는 여러 변형, 변경 및 개조가 가해질 수 있는 것으로 이해되어야 하며, 이들은 첨부된 청구범위의 동등물의 의미 및 범위 내에서 이해되는 것으로 의도된다.

Claims (20)

  1. 제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어를 포함하고, 상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장되고,
    a) 베이스 캐리어는 제1 금속을 포함하고,
    b) 상기 개구의 원주는 제1 금속을 포함하는 베이스 캐리어의 제3 표면에 의해 한정되고,
    c) 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하고, 상기 중합체 영역은 적어도 10 주울 내지 30.6 주울 이하의 파손일(work to failure)을 갖는 중합체를 포함하는 래핑 캐리어.
  2. 제1항에 있어서, 중합체 영역의 적어도 일 영역에서, 제1 금속과 중합체 영역 사이에 접착 촉진층이 개재되는 래핑 캐리어.
  3. 제2항에 있어서, 접착 촉진층은 공유 결합 원자를 포함하고, 공유 결합 원자는 탄소에 결합된 산소, 규소에 결합된 산소, 탄소에 결합된 질소, 질소에 결합된 수소, 니켈에 결합된 크롬, 지르코늄에 결합된 산소 또는 알루미늄에 결합된 산소를 포함하는 원자 쌍들 중 적어도 하나로부터 선택되는 래핑 캐리어.
  4. 제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어를 포함하고, 상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장되고,
    a) 베이스 캐리어는 제1 금속 또는 중합체를 포함하고,
    b) 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하고,
    c) 중합체 영역의 적어도 일부에서, 중합체 영역과 베이스 캐리어 사이에 적어도 하나의 접착 촉진층이 개재되며, 상기 접착 촉진층은 무기 코팅을 포함하는 래핑 캐리어.
  5. 제4항에 있어서, 무기 코팅은 제2 금속, 금속 산화물, 또는 이들의 조합을 포함하는 래핑 캐리어.
  6. 제5항에 있어서, 제1 금속은 강 또는 스테인레스강을 포함하고, 중합체는 열경화성 중합체, 열가소성 중합체 또는 이들의 조합을 포함하며, 제2 금속은 알루미늄 또는 알루미늄티타늄 질화물을 포함하고 금속 산화물은 실리카, 지르코니아, 알루미나 또는 이들의 조합을 포함하는 래핑 캐리어.
  7. a. 2개의 대향 래핑 표면을 구비한 양면 래핑 기계 또는 단면 래핑 기계를 제공하는 단계와;
    b. 제1 주 표면, 제2 주 표면 및 적어도 하나의 작업편 유지용 개구를 구비한 베이스 캐리어-상기 개구는 제1 주 표면으로부터 베이스 캐리어를 통해 제2 주 표면으로 연장됨-를 포함하고,
    i) 베이스 캐리어는 제1 금속을 포함하고,
    ii) 상기 개구의 원주는 제1 금속으로 구성된 베이스 캐리어의 제3 표면에 의해 한정되고,
    iii) 제1 주 표면의 적어도 일부 또는 제1 및 제2 주 표면 각각의 적어도 일부는 중합체 영역을 포함하며, 상기 중합체 영역은 적어도 10 주울 내지 30.6 주울 이하의 파손일을 갖는 중합체를 포함하는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 캐리어를 제공하는 단계와;
    c. 작업편을 제공하는 단계와;
    d. 작업편을 개구 내에 삽입하는 단계와;
    e. 캐리어를 래핑 기계 내에 삽입하는 단계와;
    f. 래핑 표면과 작업편 사이의 접촉을 유지시키면서 래핑 표면과 작업편 사이의 상대 운동을 제공하는 단계와;
    g. 작업편의 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함하는 래핑 방법.
  8. 제7항에 있어서, 래핑 기계는 단면 래핑 기계이며, 더욱이 캐리어는 래핑 기계의 연마 표면과 접촉하는 베이스 캐리어의 표면 상에 중합체 영역을 포함하는 방법.
  9. 제7항에 있어서, 래핑 기계는 2개의 대향 래핑 표면을 구비하는 양면 래핑 기계이며, 래핑 표면과 작업편 사이의 접촉을 유지시키면서 2개의 대향 래핑 표면과 작업편 사이의 상대 운동을 제공하는 단계를 추가로 포함하는 래핑 방법.
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