KR101491678B1 - 3차원 물체 제조방법 및 장치 - Google Patents

3차원 물체 제조방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고에너지빔으로 조사함으로써 고형화될 수 있는 분말재료(5)를 이용해 층단위로 3차원 물체(3)를 제조하는 방법에 관한 것이다.
3차원 물체를 제조방법 및 장치, 분말재료, 고에너지빔

Description

3차원 물체 제조방법 및 장치{Method and Device for Producing Three-Dimensional Objects}
본 발명은 고에너지 빔으로 조사(照射)하여 고형화될 수 있는 분말재료를 이용해 층단위로 3차원 물체를 제조하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
고에너지 전자기 복사빔 또는 전자빔을 이용해 조사함으로써 고형화 또는 함께 용융될 수 있는 분말재료를 이용해 층단위로 3차원 물체를 제조하는 장비가 US4863538, US5647931, SE524467에 공지되어있다. 이런 장비는 예컨대 분말의 제공, 수직으로 조절가능한 플랫폼 또는 작업영역 위의 분말층에 도포하기 위한 수단, 상기 작업영역 위로 상기 빔을 지향시키기 위한 수단을 포함한다. 빔이 작업영역 위로 이동함에 따라 분말은 소결되거나 용융 및 고형화된다.
고에너지 빔을 이용한 분말 용융 또는 소결시, 분말의 기화온도 초과를 방지하는 것이 중요한데, 이는 그렇지 않으면 분말이 의도한 제품을 형성하는 대신 단지 증발하기 때문이다. US 2005/0186538은 이 문제에 초점을 둔 방법을 개시하고 있다. 이 방법에서, 레이저 빔은 분말 온도를 단계적으로 올리기 위해 용융/소결 단계동안 동일한 분말 타겟영역으로 지향된다. 이런 식으로 너무 높은 분말 온도가 방지된다.
레이저 빔 대신 전자빔 이용시, 상황은 몇가지 다르다. 전자빔이 분말에 부딪히면, 전하분포가 전자 타겟영역 주위에 나타난다. 바람직하게는, 이 전하는 피제조 물품의 제조부 및/또는 분말베드를 통해 지면으로 인도되어 된다. 전하분포밀도가 임계한계를 초과하면, 기설정된 수준 이상의 장 세기를 갖는 전기장이 빔이 복사하고 있는 위치 주위로 나타나게 된다. 기설정된 수준 이상의 장 세기를 갖는 전기장을 E최대라 한다. 전기장은 분말입자를 서로 반발하게 하여 입자들은 입자의 최상위 표면층을 떠나 상기 표면 위에 떠 있는 입자 분포를 형성하게 된다. 부유 입자들은 상기 표면 위에 위치한 구름을 닮았다. 전기장의 장 세기가 E최대 이상이면, 전기장, 즉, 입자구름은 장치의 해상도에 악영향을 끼치게 된다. 이는 부분적으로 입자구름속 입자들이 전자빔을 빗나가게 하는 사실에 기인한다. 전기장의 장 세기가 E최대 아래이면, 전기장, 즉, 입자구름은 장치의 해상도에 크게 영향을 끼치지 않게 된다. 따라서, E최대 아래의 전기장 세기가 바람직하다.
입자들이 전하를 띄므로, 입자들은 지면과 접촉하려 할 것이며 이로써 일부는 구름을 떠날 수 있고 그런 후 진공챔버내 위치된 장치의 다른 부분을 오염시키게 된다. 이러한 임계 전기장의 결과는 분말면의 구조가 파괴된다는 것이다. US 2005/0186538에 따른 방법을 전자빔이 설비된 분말 용융/소결 장치에 적용하는 것은 나쁜 결과를 제공할 가능성이 있는데, 이는 상기 기설정된 레벨 이상의 장 세기를 갖는 임계 전기장이 나타나는 것을 막기 위해 상기 방법에서는 어떠한 조치되 취해지지 않기 때문이다.
방전을 방지는 문제에 대한 한가지 해결은 탄소와 같은 도전성 재료를 분말에 첨가하여 분말의 전기 전도도를 높이는 것이다. 그러나, 이 방안의 단점은 이런 분말 혼합물의 고형화 공정이 제어하기 어려울 수 있고 형성된 제품의 특성들이 부정적으로 영향받을 수 있다는 것이다. 예컨대, 기계강도가 감소될 수 있다.
본 발명의 목적은 분말재료로부터 3차원 물체를 층모양으로 만들기 위한 방법 및 장치를 제공하는 것으로, 상기 방법 및 장치는 분말재료의 제어되고 함께 적절한 융합을 가능하게 하며, 또한 전자빔 모두에 적합하다. 이 목적은 독립항에 정의된 방법 및 장치에 의해 달성된다. 종속항은 이점적인 실시예, 본 발명의 다른 발전, 및 변형을 포함한다.
본 발명은 고에너지빔으로 조사함으로써 고형화될 수 있는 분말재료를 이용해 층단위로 3차원 물체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 상기 고에너지빔이 상기 분말재료를 복사하는 위치에 가까운 곳에 있는 이온의 양을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 고에너지빔에 가까운 곳에 있는 이온의 양을 제어함으로써, 구름을 형성하는 경향이 줄어드는 것이 나타났다. 따라서, 고에너지빔, 즉, 전자총은 상기 기정의된 수준보다 큰 전기장을 형성하지 않고도 더 큰 출력전력으로 동작될 수 있다. 이 효과는 고에너지빔의 복사점 근처에서의 이온들이 상기 고에너지빔 근처에서 전하밀도를 줄임으로써 달성된다. 당연히, 고에너지빔이 전자총인 경우, 이온은 양이 되어야 한다. 이온들의 개수는 전기장세기를 E최대 이하로 유지하는데 필요한 수준 보다 큰 것이 이점적이다. 이렇게 함으로써, 분말재료가 충분히 중성화된다.
본 발명의 제 1 실시예에서, 고에너지빔이 복사하는 위치에 가까운 곳에 있는 이온의 양은 장비의 진공챔버에 보충가스를 도입하는 단계와, 기정의된 압력수준으로 가스의 압력을 제어하는 단계를 이용해 제어되고, 상기 보충가스는 상기 고에너지빔으로 조사시 기정의된 이온들의 개수를 생성할 수 있다.
이온들의 생성 개수는 전기장 세기를 E최대 아래로 유지하는데 필요한 수준 보다 큰 것이 이점적이다. 이렇게 함으로써, 충분한 분말재료가 중성화된다.
보충가스가 도입되기 전에 1×10-4 미리바 미만의 압력이 적절한 진공챔버에 나타난다. 상기 보충가스는 상기 진공챔버내 압력을 1×10-1 미리바 내지 1×10-4 미리바 사이 간격으로 있게 올리게 된다. 바람직하게는 보충가스의 도입후 압력은 10-2 미리바 내지 10-3 미리바 사이에 있다. 더 높은 압력이 분말층의 표면에서 이용가능한 더 많은 이온들을 초래하게 하고, 이로 인해 전자총의 더 큰 전력이 구름의 생성없이 받아들여 질 수 있다. 다른 한편, 높은 압력은 전자총으로부터의 광선이 더 크게 분산되어 만들어지는 일부분의 해상도를 저하시키게 할 것이다. 10-2 미리바 내지 10-3 미리바 사이의 보충가스의 도입으로 이들 2가지 영향들 간에 양호한 밸런스가 발생되는 것으로 나타났다.
본 발명의 실시예에서, 불활성 가스가 사용된다. 아르곤은 티타늄 합금의 제조에 함께 사용하는데 사용하는데 특히 적합하다. 헬륨도 또한 고려될 수 있다. 질소는 코발트-크롬 합금과 함께 사용하는데 적합할 수 있다.
본 발명의 제 2 실시예에서, 고에너지빔이 조사되는 위치에 가까운 곳에 있는 이온량은 장비의 진공챔버에 이온을 도입하는 단계를 이용해 제어된다.
진공챔버에 이온을 도입함으로써, 스퍼터 장치 또는 플라즈마 장치와 같은 이온소스를 이용해, 상기 진공챔버내 하전된 이온들의 개수가 제어될 수 있다. 따라서, 여전히 충분한 하전된 이온량에 접근하면서 낮은 압력에서 동작하는 가능성으로 인해 전자총 분산 효과가 줄어들 수 있다. 이온농도는 진공챔버에 도입되는 이온의 양을 제어함으로써 얻어질 수 있다. 이온은 바람직하게는 분말재료 방향으로 지향된다. 분말베드내 입자들의 전하에 따라, 도입된 이온들은 음 또는 양으로 하전된다. 가장 공통된 경우는 분말베드가 음의로 하전되는 경우이며, 따라서, 이 경우 양으로 하전된 이온들이 사용된다.
진공챔버에 도입된 이온의 개수는 고에너지빔의 출력전력에 따라 적절하게 제어된다. 전자총으로부터 제공된 전자의 상당 부분은 피제조 물체의 일부 및/또는 분말베드를 통해 지면으로 방전되기 때문에, 전자총에 의해 제공된 전자의 적은 부부만이 보상에 필요하다. 따라서 전기장 세기를 E최대 아래로 유지하는데 필요한 레벨보다 크게 진공챔버내 도입된 이온비율을 유지하는 것이 바람직하다.
본 발명은 또한 고에너지빔으로 조사함으로써 고형화될 수 있는 분말재료를 이용해 층단위로 3차원 물체를 제조하기 위한 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 상술한 방법 단계들 중 적어도 하나에 의해 동작하도록 형성되어 있다.
하기에 주어진 본 발명의 설명에서 첨부 도면에 대한 참조가 이루어진다.
도 1은 3차원 물체를 제조하기 위한 공지의 장치의 예를 개략도로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예가 적용될 수 있는 3차원 제품을 제조하기 위한 장치의 예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예가 적용될 수 있는 3차원 제품을 제조하기 위한 장치의 예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 하전입자 구름을 갖는 분말재료의 표면의 예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 1은 3차원 제품을 제조하기 위한 공지의 장치(1)의 예를 도시한 것이다. 장치(1)는 3차원 제품(3)이 형성되는 수직으로 조절가능한 작업대(2), 하나 이상의 분말 분주기(4), 분말베드(5)를 형성하기 위해 상기 작업대(2)상에 얇은 분말층을 분배하도록 마련된 수단(28), 상기 분말베드(5)에 에너지를 전달하기 위한 전자총 형태의 복사총(6), 상기 작업대(2) 위로 상기 복사총(6)에 의해 방출된 전자빔을 가이드하기 위한 편향코일(7), 및 상기 장치(1)의 여러가지 부분들을 제어하기 위해 마련된 컨트롤 유닛(8)을 구비한다. 일반적인 작업 싸이클에서, 작업대(2)가 낮 추어지고, 새로운 분말층이 분말베드(5)에 도포되며, 전자빔이 상기 분말베드(5)의 상부층(5')의 선택된 부분 위로 스캔된다. 원칙적으로, 이 싸이클은 제품이 완료될 때까지 반복된다. 상기 분야의 전문가는 도 1에 요약된 타입에 대한 3차원 제품을 제조하기 위한 장치의 일반적인 기능 및 구성에 익숙하다. 전체 장치(1)는 진공펌프(미도시)에 의해 낮은 압력이 달성되는 진공챔버를 구성한다. 진공챔버에서 압력은 바람직하게는 10-4 미리바 이하의 압력 수준으로 유지된다.
전자빔이 사용되는 경우, 전자가 분말베드(5)를 타격할 때 분말에 발생되는 전하분포를 고려하는 것이 필요하다. 본 발명은 적어도 부분적으로 전하분포밀도가 빔 전류, 전자속도, 빔 스캐닝속도, 분말재료 및 분말의 전기 전도도, 즉, 주로 분말 그레인들 간의 전기 전도도에 따른다는 사실에 기초한다. 전기 전도도는 차례로 온도, 소결 및 분말 입자 크기/크기 분포와 같은 여러가지 파라미터들의 함수이다.
따라서, 주어진 분말, 즉, 소정 입자크기 분포를 가진 소정 재료의 분말 및 소정의 가속전압에 대해, 빔 전류(및 이에 따른 빔 출력) 및 빔 스캐닝 속도를 변경함으로써 전하분포에 영향을 끼칠 수 있다.
이들 파라미터를 제어되게 변경함으로써, 분말의 전기 전도도는 분말의 온도를 높임으로써 점진적으로 증가될 수 있다. 고온인 분말은 상당히 더 큰 전기전도도를 갖게 되어 전하분포 밀도가 낮아지는데, 이는 전하들이 재빨리 큰 영역으로 분산될 수 있기 때문이다. 이 효과는 분말이 사전가열 공정동안 약하게 소결되게 하면 강화된다. 전기 전도도가 충분히 높아지면, 분말은 빔 전류와 빔 스캐닝 속도 의 임의의 값으로 함께 용융될 수 있다. 즉, 분말이 녹거나 완전히 소결될 수 있다.
임의의 스캐닝 절차에서 분말에 나타나는 전하밀도를 기술하기 위한 일반적인 기능은 시간과 빔 위치의 오히려 복잡한 함수인데, 이는 스캔경로들이 매우 잘 시공간적으로 이격되어 있지 않다면 한 스캔 경로에 따라 발생된 전하밀도가 또 다른 스캔경로에 따라 발생된 전하밀도에 의해 영향을 받게 되기 때문이다. 따라서, 다른 경로들 간의 총합 효과가 고려되어야 한다.
도 2는 본 발명의 방법의 제 1 실시예를 이용할 수 있는 3차원 제품을 제조하기 위한 장치(21)의 예를 도시한 것이다. 장치(21)는 도 1에 기술된 부분들과는 별도로 보충가스가 장치의 진공챔버에 도입될 수 있는 가스 유입구(22)를 또한 구비한다. 가스 유입구는 컨트롤 유닛(8)에 의해 제어될 수 있는 제어가능한 밸브(23)에 의해 통제된다. 제어가능한 밸브(23), 및 이에 따른 진공챔버내 가스 압력은 진공챔버에서의 압력에 대하여 통제될 수 있다. 이 압력은 컨트롤 유닛(8)에 연결된 압력센서(24)로 측정될 수 있다.
도 3은 본 발명의 방법의 제 2 실시예를 이용할 수 있는 3차원 제품을 제조하기 위한 장치(31)의 예를 도시한 것이다. 장치(31)는 도 1에 기술된 부분들과는 별도로 이온이 진공챔버에 도입될 수 있는 스퍼터 장치(sputter device)(32)를 또한 구비한다. 스퍼터 장치(32)는 컨트롤 유닛(8)에 의해 제어될 수 있다. 이온을 만들기 위해 스퍼터 장치(32)에 사용되는 가스는 바람직하게는 아르곤과 같은 불활 성 가스이다. 진공챔버내 압력은 기정의된 수준으로, 바람직하게는 10-4미리바 아래로 유지된다. 진공챔버에서의 압력은 컨트롤 유닛(8)에 연결된 압력센서(34)로 측정될 수 있다.
도 4는 하전입자 구름(41)을 갖는 분말재료의 분말베드(5)의 상부층(5')을 도시한 것이다. 구름은 전자빔(42)이 분말재료를 복사하는 위치 주위에 집중된다. 전기장이 더 세면, 큰 구름이 복사점 주위로 발생된다. 따라서, 구름의 크기, 즉, 높이를 제한하는 것이 본 발명의 목적이다. 따라서, 진공 챔버에 도입되거나 상기 진공 챔버에서 발생되는 이온의 개수는 구름내 충분한 전하들을 중성화시키기 위해 기정의된 수준 이상이 되어야 한다. 기정의된 수준은 전기장 세기를 E최대 이하로 유지시키도록 선택되어야 한다. 이렇게 함으로써, 충분한 분말재료가 중성화된다.
본 발명은 상술한 실시예들에 국한되는 것으로 간주되지 않아야 하며, 많은 추가 변형 및 변경들이 하기의 청구의 범위내에 가능하다.
본 발명의 상세한 설명에 포함됨.

Claims (23)

  1. 삭제
  2. 고에너지빔으로 조사함으로써 고형화될 수 있는 분말재료(5)를 이용해 층단위로 3차원 물체(3)를 제조하는 방법으로서,
    장비의 진공챔버에 보충가스를 도입하는 단계와,
    기정의된 압력수준으로 가스의 압력을 제어하는 단계를 포함하고,
    상기 보충가스는 상기 고에너지빔으로 조사시 기정의된 이온들의 개수를 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기정의된 이온들의 개수는 전기장 세기를 E최대 이하로 유지하는데 필요한 수준 보다 큰 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 진공챔버는 상기 보충가스가 도입되기 전에 1×10-4 미리바의 압력을 나타내는 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 진공챔버내 압력은 상기 보충가스가 도입된 후 1×10-1 미리바 내지 1×10-4 미리바 사이의 간격 내에 있는 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 보충가스는 불활성 가스인 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 보충가스는 아르곤인 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 보충가스는 헬륨인 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 진공챔버내 압력은 고에너지빔 전력의 출력전력에 따라 제어되는 것을 특징으로 하는 3차원 물체를 제조하는 방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
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WO (1) WO2008147306A1 (ko)

Families Citing this family (94)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101491678B1 (ko) 2007-05-15 2015-02-09 아르켐 에이비 3차원 물체 제조방법 및 장치
US8992816B2 (en) 2008-01-03 2015-03-31 Arcam Ab Method and apparatus for producing three-dimensional objects
RU2507032C2 (ru) 2009-07-15 2014-02-20 Аркам Аб Способ и устройство для создания трехмерных объектов
IN2012DN01464A (ko) 2009-08-19 2015-06-05 Smith & Nephew Inc
JP5712306B2 (ja) 2011-01-28 2015-05-07 ア−カム アーベー 三次元体の製造方法
CN102489705B (zh) * 2011-11-30 2013-12-11 西北有色金属研究院 一种金属空心球的制备方法
JP6101707B2 (ja) * 2011-12-28 2017-03-22 ア−カム アーベー 積層造形法による三次元物品の解像度を向上させるための方法および装置
CN104023948B (zh) 2011-12-28 2016-07-06 阿卡姆股份公司 用于在无模成形中检测缺陷的方法和设备
EP2797707B1 (en) 2011-12-28 2021-02-24 Arcam Ab Method and apparatus for manufacturing porous three-dimensional articles
US9126167B2 (en) 2012-05-11 2015-09-08 Arcam Ab Powder distribution in additive manufacturing
JP5995202B2 (ja) * 2012-07-31 2016-09-21 株式会社アスペクト 粉末積層造形装置及び粉末積層造形方法
EP2916980B1 (en) 2012-11-06 2016-06-01 Arcam Ab Powder pre-processing for additive manufacturing
WO2014095208A1 (en) 2012-12-17 2014-06-26 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
DE112013006045T5 (de) 2012-12-17 2015-09-17 Arcam Ab Additives Herstellungsverfahren und Vorrichtung
US9550207B2 (en) 2013-04-18 2017-01-24 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9676031B2 (en) 2013-04-23 2017-06-13 Arcam Ab Method and apparatus for forming a three-dimensional article
US9415443B2 (en) 2013-05-23 2016-08-16 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9468973B2 (en) 2013-06-28 2016-10-18 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9505057B2 (en) 2013-09-06 2016-11-29 Arcam Ab Powder distribution in additive manufacturing of three-dimensional articles
US9676032B2 (en) 2013-09-20 2017-06-13 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10434572B2 (en) 2013-12-19 2019-10-08 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US9802253B2 (en) 2013-12-16 2017-10-31 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10130993B2 (en) 2013-12-18 2018-11-20 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US9789563B2 (en) 2013-12-20 2017-10-17 Arcam Ab Method for additive manufacturing
EP3096906A4 (en) * 2014-01-22 2017-03-08 United Technologies Corporation Additive manufacturing system and method of operation
EP3096910B1 (en) * 2014-01-24 2021-07-07 Raytheon Technologies Corporation Additive manufacturing an object from material with a selective diffusion barrier
WO2015126431A1 (en) * 2014-02-24 2015-08-27 Empire Technology Development Llc Increased interlayer adhesions of three-dimensional printed articles
US9789541B2 (en) 2014-03-07 2017-10-17 Arcam Ab Method for additive manufacturing of three-dimensional articles
JP2015175012A (ja) 2014-03-13 2015-10-05 日本電子株式会社 ３次元積層造形装置及び３次元積層造形方法
US20150283613A1 (en) 2014-04-02 2015-10-08 Arcam Ab Method for fusing a workpiece
US9346127B2 (en) 2014-06-20 2016-05-24 Velo3D, Inc. Apparatuses, systems and methods for three-dimensional printing
WO2016011290A1 (en) * 2014-07-18 2016-01-21 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with laser and plasma
US9341467B2 (en) 2014-08-20 2016-05-17 Arcam Ab Energy beam position verification
US20160052056A1 (en) * 2014-08-22 2016-02-25 Arcam Ab Enhanced electron beam generation
AP2017009793A0 (en) * 2014-09-09 2017-03-31 Aurora Labs Pty Ltd 3d printing method and apparatus
US10786865B2 (en) 2014-12-15 2020-09-29 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US9721755B2 (en) 2015-01-21 2017-08-01 Arcam Ab Method and device for characterizing an electron beam
JP2016141113A (ja) * 2015-02-04 2016-08-08 富士ゼロックス株式会社 積層造形装置及び積層造形プログラム
CN104765385A (zh) * 2015-03-29 2015-07-08 西安赛隆金属材料有限责任公司 一种电子束选区熔化气氛调控系统及调控方法
US11014161B2 (en) 2015-04-21 2021-05-25 Arcam Ab Method for additive manufacturing
CN107848288B (zh) 2015-06-23 2020-02-28 极光实验室企业有限公司 3d打印方法和装置
US10807187B2 (en) 2015-09-24 2020-10-20 Arcam Ab X-ray calibration standard object
US10583483B2 (en) 2015-10-15 2020-03-10 Arcam Ab Method and apparatus for producing a three-dimensional article
CN108367498A (zh) 2015-11-06 2018-08-03 维洛3D公司 Adept三维打印
US10500834B2 (en) 2015-11-13 2019-12-10 Technology Research Association For Future Additive Manufacturing Three-dimensional laminating and shaping apparatus, control method of three-dimensional laminating and shaping apparatus, and control program of three-dimensional laminating and shaping apparatus
US10525531B2 (en) 2015-11-17 2020-01-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10610930B2 (en) 2015-11-18 2020-04-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
WO2017100695A1 (en) 2015-12-10 2017-06-15 Velo3D, Inc. Skillful three-dimensional printing
US9919360B2 (en) 2016-02-18 2018-03-20 Velo3D, Inc. Accurate three-dimensional printing
US11247274B2 (en) 2016-03-11 2022-02-15 Arcam Ab Method and apparatus for forming a three-dimensional article
JP6231695B1 (ja) 2016-03-25 2017-11-15 技術研究組合次世代３Ｄ積層造形技術総合開発機構 ３次元積層造形装置、３次元積層造形装置の制御方法および３次元積層造形装置の制御プログラム
US10610957B2 (en) 2016-03-25 2020-04-07 Technology Research Association For Future Additive Manufacturing Three-dimensional laminating and shaping apparatus, three-dimensional laminating and shaping apparatus control method, and three-dimensional laminating and shaping apparatus control program
WO2017202726A1 (en) 2016-05-24 2017-11-30 Arcam Ab Method for additive manufacturing introducing hydrogen in build chamber
US10549348B2 (en) 2016-05-24 2020-02-04 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US11325191B2 (en) 2016-05-24 2022-05-10 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10525547B2 (en) 2016-06-01 2020-01-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US11691343B2 (en) 2016-06-29 2023-07-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing and three-dimensional printers
WO2018005439A1 (en) 2016-06-29 2018-01-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing and three-dimensional printers
RU172047U1 (ru) * 2016-08-23 2017-06-27 Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения" АО "НПО "ЦНИИТМАШ" Устройство для изготовления изделий из порошкообразных материалов
US10792757B2 (en) 2016-10-25 2020-10-06 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
EP3535109A4 (en) 2016-11-02 2020-04-22 Aurora Labs Limited 3D PRINTING METHOD AND DEVICE
US20180126460A1 (en) 2016-11-07 2018-05-10 Velo3D, Inc. Gas flow in three-dimensional printing
US10632732B2 (en) 2016-11-08 2020-04-28 3Dbotics, Inc. Method and apparatus for making three-dimensional objects using a dynamically adjustable retaining barrier
RU2636536C1 (ru) * 2016-11-08 2017-11-23 Общество с ограниченной ответственностью "ТехноКарб" Способ изготовления углеграфитовых изделий
GB201621508D0 (en) * 2016-12-16 2017-02-01 Reliance Rg Ltd Improvements relating to additive manufacture using charged particle beams
US10987752B2 (en) 2016-12-21 2021-04-27 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10611092B2 (en) 2017-01-05 2020-04-07 Velo3D, Inc. Optics in three-dimensional printing
US10357829B2 (en) 2017-03-02 2019-07-23 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing of three-dimensional objects
JP6940862B2 (ja) * 2017-03-15 2021-09-29 株式会社大阪真空機器製作所 排気システムおよびこれを備えた電子ビーム積層造形装置
US20180281282A1 (en) 2017-03-28 2018-10-04 Velo3D, Inc. Material manipulation in three-dimensional printing
US11059123B2 (en) 2017-04-28 2021-07-13 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US11532760B2 (en) 2017-05-22 2022-12-20 Howmedica Osteonics Corp. Device for in-situ fabrication process monitoring and feedback control of an electron beam additive manufacturing process
US11292062B2 (en) * 2017-05-30 2022-04-05 Arcam Ab Method and device for producing three-dimensional objects
EP3680044B1 (en) 2017-09-06 2021-12-15 IHI Corporation Three-dimensional shaping device and three-dimensional shaping method
US11185926B2 (en) 2017-09-29 2021-11-30 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
WO2019070032A1 (ja) 2017-10-06 2019-04-11 株式会社Ihi 三次元造形装置及び三次元造形方法
EP3705268B1 (en) 2017-10-31 2023-04-05 IHI Corporation 3d layering/molding device and manufacturing method for 3d layered/molded object
US10529070B2 (en) 2017-11-10 2020-01-07 Arcam Ab Method and apparatus for detecting electron beam source filament wear
US11072117B2 (en) 2017-11-27 2021-07-27 Arcam Ab Platform device
US10821721B2 (en) 2017-11-27 2020-11-03 Arcam Ab Method for analysing a build layer
US11517975B2 (en) * 2017-12-22 2022-12-06 Arcam Ab Enhanced electron beam generation
US10272525B1 (en) 2017-12-27 2019-04-30 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing systems and methods of their use
US10144176B1 (en) 2018-01-15 2018-12-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing systems and methods of their use
JP6960867B2 (ja) * 2018-01-30 2021-11-05 三菱電機株式会社 積層造形装置
US11458682B2 (en) 2018-02-27 2022-10-04 Arcam Ab Compact build tank for an additive manufacturing apparatus
US11267051B2 (en) 2018-02-27 2022-03-08 Arcam Ab Build tank for an additive manufacturing apparatus
EP3774133A1 (en) 2018-03-27 2021-02-17 Freemelt Ab Radiation method for additive manufacturing
US11400519B2 (en) 2018-03-29 2022-08-02 Arcam Ab Method and device for distributing powder material
RU2701604C1 (ru) * 2018-06-06 2019-09-30 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" Устройство для послойного изготовления объемных изделий
AU2019206103A1 (en) 2018-07-19 2020-02-06 Howmedica Osteonics Corp. System and process for in-process electron beam profile and location analyses
JP7293588B2 (ja) * 2018-08-27 2023-06-20 三菱電機株式会社 積層造形装置及び積層造形方法
CN111266584B (zh) * 2020-04-14 2022-02-11 天津清研智束科技有限公司 一种增材制造方法
GB2602458B (en) * 2020-12-22 2023-01-18 Wayland Additive Ltd Additive manufacturing using powder bed fusion
CN112974854A (zh) * 2021-04-28 2021-06-18 天津清研智束科技有限公司 一种电子束增材制造装置及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004188451A (ja) * 2002-12-10 2004-07-08 Sony Corp レーザ加工方法および装置
JP2006341594A (ja) * 2005-05-09 2006-12-21 Three D Syst Inc レーザ焼結システムにおけるレーザ焼結プロセスチャンバガスカーテン窓洗浄

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4863538A (en) * 1986-10-17 1989-09-05 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and apparatus for producing parts by selective sintering
GB8629634D0 (en) * 1986-12-11 1987-01-21 Dobson C D Reactive ion & sputter etching
US4818562A (en) * 1987-03-04 1989-04-04 Westinghouse Electric Corp. Casting shapes
EP0289116A1 (en) * 1987-03-04 1988-11-02 Westinghouse Electric Corporation Method and device for casting powdered materials
US5182170A (en) * 1989-09-05 1993-01-26 Board Of Regents, The University Of Texas System Method of producing parts by selective beam interaction of powder with gas phase reactant
RU2080963C1 (ru) * 1992-12-14 1997-06-10 Николай Константинович Толочко Способ изготовления трехмерных изделий из порошковых материалов
DE4400523C2 (de) 1994-01-11 1996-07-11 Eos Electro Optical Syst Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
DE19813742C1 (de) * 1998-03-27 1999-07-15 Eos Electro Optical Syst Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes sowie Vorrichtung zum Aufbringen einer Schicht eines pulverförmigen Materials auf eine Oberfläche
DE19951143A1 (de) * 1999-10-23 2001-04-26 Christian Gerk Verfahren zur Erwärmung von Materialien und Materialverbunden mittels Laser- und Mikrowellenenergie, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und nach dem Verfahren hergestelltes Bauteil
US6676892B2 (en) * 2000-06-01 2004-01-13 Board Of Regents, University Texas System Direct selective laser sintering of metals
RU2288073C2 (ru) * 2002-07-23 2006-11-27 Юниверсити Оф Саутерн Калифорния Способ и установка для изготовления объемных металлических изделий
US7168935B1 (en) * 2002-08-02 2007-01-30 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Solid freeform fabrication apparatus and methods
CN1442506A (zh) * 2002-09-12 2003-09-17 建湖刚玉金属复合材料有限公司 渗镀二硅化钼梯度材料制造技术
US7504182B2 (en) * 2002-09-18 2009-03-17 Fei Company Photolithography mask repair
SE524467C2 (sv) * 2002-12-13 2004-08-10 Arcam Ab Anordning för framställande av en tredimensionell produkt, där anordningen innefattar ett hölje
DE102004009127A1 (de) 2004-02-25 2005-09-15 Bego Medical Ag Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Produkten durch Sintern und/oder Schmelzen
US20080116370A1 (en) * 2006-11-17 2008-05-22 Maurizio Splendore Apparatus and method for a multi-stage ion transfer tube assembly for use with mass spectrometry
KR101491678B1 (ko) 2007-05-15 2015-02-09 아르켐 에이비 3차원 물체 제조방법 및 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004188451A (ja) * 2002-12-10 2004-07-08 Sony Corp レーザ加工方法および装置
JP2006341594A (ja) * 2005-05-09 2006-12-21 Three D Syst Inc レーザ焼結システムにおけるレーザ焼結プロセスチャンバガスカーテン窓洗浄

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