KR101420936B1

KR101420936B1 - 작업물 설치 장치, 작업물 설치 방법 및 작업물 보유 지지체 이격 방법

Info

Publication number: KR101420936B1
Application number: KR1020120137962A
Authority: KR
Inventors: 미츠노리 고쿠보; 유키 스기우라; 도오루 스즈키; 히데토시 기타하라
Original assignee: 도시바 기카이 가부시키가이샤
Priority date: 2011-12-01
Filing date: 2012-11-30
Publication date: 2014-07-17
Also published as: KR20130061646A; JP2013112522A; TW201343321A; DE102012221964A1; JP5798020B2; US20130167350A1; US9095944B2; TWI499477B

Abstract

하부 테이블(15)과 상부 테이블(17)과, 점착제를 구비하는 작업물 보유 지지체(25)를 복수 구비한 작업물 보유 지지 장치(19)와, 하부 테이블(17)에 설치되어 있는 설치 완료된 제1 작업물(W1)에, 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 제2 작업물(W2)을 설치한 후에, 작업물(W1, W2)을 진동시키면서 작업물 보유 지지체(25)를 이격시킨다.

Description

작업물 설치 장치, 작업물 설치 방법 및 작업물 보유 지지체 이격 방법 {WORK SETTING APPARATUS, WORK SETTING METHOD, AND WORK HOLDER REMOVING METHOD}

본 발명은, 작업물 설치 장치, 작업물 설치 방법 및 작업물 보유 지지체 이격 방법에 관한 것으로, 예를 들어 작업물에 진동을 부여하면서 작업물 보유 지지체를 작업물로부터 이격시키는 것에 관한 것이다.

종래, 복수의 작업물 보유 지지부로 보유 지지되어 있는 작업물을, 그대로 다른 작업물에 설치하고, 이 설치 후에, 상기 각 작업물 보유 지지부를 상기 작업물로부터 이격시키는 방식의 작업물 설치 장치가 알려져 있다. 관련 기술은, 예를 들어 일본 특허 공개 공보 특개2008-74015호 및 특개2001-310834호이다.

그러나 복수의 작업물 보유 지지부로 보유 지지되어 있는 작업물을, 그대로 다른 작업물에 설치하고, 이 설치 후에, 상기 각 작업물 보유 지지부를 상기 작업물로부터 이격시키는 방식에서는, 각 작업물 보유 지지부가 작업물로부터 이격되기 어려운 경우가 있다고 하는 문제가 있다.

본 발명은 상기 문제점에 비추어 이루어진 것이며, 본 발명에 따르면, 복수의 작업물 보유 지지부로 보유 지지되어 있는 작업물을 그대로 다른 작업물에 설치하고, 이 설치 후, 상기 각 작업물 보유 지지부를 상기 작업물로부터 용이하게 이격시킬 수 있는 작업물 설치 장치, 작업물 설치 방법 및 작업물 보유 지지체 이격 방법을 제공할 수 있다.

본 발명의 기술적 측면에 따르면, 작업물 설치 장치는, 제1 작업물이 설치되는 제1 테이블과, 상기 제1 테이블에 접근 혹은 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 상기 제1 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능한 제2 테이블과, 상기 제2 테이블의 접근·이격 방향과 직교하는 방향으로, 상기 제1 테이블을 상기 제2 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하게 하는 테이블 위치 결정 장치와, 통 형상의 본체부를 갖는 작업물 보유 지지체를 복수 구비하고, 상기 통 형상의 본체부의 한쪽의 개구부가 상기 제1 테이블과 대향하고, 상기 각 작업물 보유 지지체가, 상기 제1 테이블에 접근하거나 혹은 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로, 상기 제1 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하고, 상기 각 작업물 보유 지지체를 사용한 진공 흡착에 의해 제2 작업물을 보유 지지하도록 구성되어 있는 작업물 보유 지지 장치와, 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블과 상기 작업물 보유 지지 장치와 상기 테이블 위치 결정 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한다. 또한 상기 제어 장치는, 상기 제2 테이블이 상기 제1 테이블로부터 이격되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체가 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 위치하고 있고, 상기 제1 테이블에 상기 제1 작업물이 설치되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체로 상기 제2 작업물을 보유 지지하고 있는 상태에서, (a) 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블에 근접하는 방향으로 이동시켜, 상기 작업물 보유 지지체로 보유 지지되어 있는 보유 지지 완료된 제2 작업물의 미경화 막 형상체를 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 설치 완료된 제1 작업물에 접촉시켜 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을 상기 설치 완료된 제1 작업물에 설치하고, (b) 상기 제2 테이블을 상기 제1 테이블측으로 이동시켜 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 상기 각 작업물을 끼워 압박하고, (c) 이 압박을 소정 시간 행한 후에, 상기 제2 테이블을 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물로부터 이격시키고, (d) 상기 테이블 위치 결정 장치에 의해 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 각 작업물을 약간 진동시키면서, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격시키도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 기술적 측면에 따르면, 작업물 설치 방법은, 제1 테이블에 제1 작업물을 설치하는 제1 작업물 설치 공정과, 판 형상의 기재의 두께 방향의 한쪽 면에 미경화 막 형상체가 설치된 제2 작업물에 있어서의 상기 기재의 다른 쪽 면에, 진공 흡착에 의해 혹은 점착제를 사용하여, 혹은 진공 흡착과 점착제를 병용하여 상기 제2 작업물을 보유 지지하는 작업물 보유 지지체를 결합시켜, 상기 제2 작업물을 보유 지지하는 제2 작업물 보유 지지 공정과, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 설치 완료된 제1 작업물에 근접시켜, 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물의 미경화 막 형상체를 상기 설치 완료된 제1 작업물에 접촉시켜 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을 상기 설치 완료된 제1 작업물에 설치하는 제2 작업물 설치 공정과, 상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물에 근접시켜, 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 상기 각 작업물을 끼워 압박하는 작업물 압박 공정과, 상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물로부터 이격시키는 제2 테이블 이격 공정과, 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 제1 작업물과 제2 작업물을 약간 진동시키면서, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격시키는 작업물 보유 지지체 이격 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 기술적 측면에 따르면, 작업물 보유 지지체 이격 방법은, 진공 흡착, 점착제 중 적어도 어느 하나에 의해 작업물을 보유 지지하고 있는 작업물 보유 지지체를, 상기 작업물, 상기 작업물 보유 지지체 중 적어도 어느 하나에 진동을 부여하여 상기 작업물로부터 이격시키는 것을 특징으로 한다.

도 1은 작업물 설치 시스템의 개략 구성을 도시하는 블록도.
도 2는 작업물 설치 장치의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 3a, 도 3b는 제1 작업물과 제2 작업물로 제조되는 제품의 개략 구성을 도시하는 도면으로, 도 3a는 제품의 평면도, 도 3b는 도 3a에 있어서의 ⅢB 화살표도.
도 4a, 도 4b는 도 3a, 도 3b에서 도시하는 제품의 제조 방법의 개요를 도시하는 도면.
도 5a, 도 5b는 작업물 보유 지지체의 개략 구성을 도시하는 도면으로, 도 5a는 단면도, 도 5b는 도 5a에 있어서의 VB 화살표도.
도 6a, 도 6b, 도 6c는 작업물 보유 지지체의 변형예를 도시하는 도면으로, 도 6a는 도 5a에 대응한 도면, 도 6b는 도 6a에 있어서의 VIB부의 변형예를 도시하는 도면, 도 6c는 도 5a에 대응한 도면.
도 7은 작업물 설치 장치의 동작을 나타내는 흐름도.
도 8은 작업물 설치 장치의 동작을 나타내는 흐름도.
도 9a, 도 9b는 작업물 설치 장치의 동작을 도시하는 도면.
도 10a, 도 10b는 작업물 설치 장치의 동작을 도시하는 도면.
도 11a, 도 11b는 작업물 설치 장치의 동작을 도시하는 도면.
도 12a, 도 12b는 작업물 설치 장치의 동작을 도시하는 도면.
도 13a, 도 13b는 작업물 설치 장치의 동작을 도시하는 도면.
도 14a, 도 14b는 작업물 설치 장치의 동작을 도시하는 도면.

도 1에 도시하는 작업물 설치 시스템(1)은, 제1 작업물(W1)에 제2 작업물(W2)을 설치하여 제품(W)(도 3a 내지 도 4b 참조)을 제조하는 것이며, 전방 스토커(3)와 도포 장치(5)와 작업물 설치 장치(7)와 경화 박리 장치(9)와 후방 스토커(11)와 제어 장치(13)를 구비하여 구성되어 있다.

여기서, 도 3a 내지 도 4b를 참조하면서, 제품(W)이나 제1 작업물(W1)이나 제2 작업물(W2) 등에 대해 상세하게 설명한다.

제1 작업물(W1)은, 예를 들어 프리즘 시트로, 액정 표시 장치의 백라이트 등에 사용된다. 제1 작업물(W1)은 기재(W3)와 미세한 산 형상의 볼록부(W4)를 포함한다. 기재(W3)는 PET 수지 등의 투명한 합성 수지로 평판 형상으로 형성된다. 또한, 볼록부(W4)는 각각 가늘고 길며 단면은 산 형상을 이룬다. 볼록부(W4)는 기재(W3)의 두께 방향의 한쪽 면(도 4a에서는 상측의 면)에 다수 나란히 배치되어 있다.

프리즘 시트의 두께 방향의 다른 쪽 면[산 형상의 볼록부(W4)가 설치되어 있지 않은 측의 면; 도 4a에서는 하측의 면]은 평면이다. 볼록부(W4)가 설치됨으로써, 프리즘 시트의 두께 방향의 한쪽 면은, 등간격으로 배열된 라인 형상의 요철이 형성된다. 또한, 산 형상의 볼록부(W4)의 크기는 극히 작으므로, 프리즘 시트는 전체적으로 실질적으로 평판 형상이다.

또한, 제1 작업물(W1)로서, 예를 들어 평판 형상의 기재의 두께 방향의 한쪽 면에 등간격으로 배열된 미세한 도트 형상의 미세한 요철이 형성된 것이 있다.

제2 작업물(W2)은, 기재(예를 들어, 평판 형상의 투명한 글래스판)(W5)와, 이 글래스판(W5)의 두께 방향의 한쪽 면에 막 형상으로 되어 설치되어 있는 막 형상체(예를 들어, 미경화 자외선 경화 수지)(W6)를 구비하여 구성된다.

제품(예를 들어, 피복막 부착 프리즘 시트)(W)은, 제1 작업물(W1)에 막 형상체(W6)를 설치하여 생성된다. 상세하게 설명하면, 제1 작업물(W1)의 볼록부(W4)와 제2 작업물(W2)의 미경화 막 형상체(W6)를 대향시켜 두고, 제1 작업물(W1)의 제2 작업물(W2)을 근접시켜 미경화 막 형상체(W6)를 볼록부(W4)에 접촉시키고, 각 기재(W3, W5) 사이에 볼록부(W4)와 미경화 막 형상체(W6)를 끼워 넣은 상태로 하여, 볼록부(W4)에 미경화 막 형상체(W6)가 간극 없이 들어가도록 한다. 그리고 미경화 막 형상체(W6)를 경화시켜, 기재(W5)를 경화시킨 막 형상체(W6)로부터 이격시킴으로써 제품(W)이 생성된다.

제품(W)은, 예를 들어 직사각형(한 변의 길이가 1000㎜ 정도인 직사각형)의 평판 형상으로 형성되어 있고, 기재(W3)와 볼록부(W4)와 경화된 막 형상체(W6)가 일체화되어 적층되어 있다. 제품(W)을 휴대 전화 등의 액정 표시부에 있어서의 백라이트에 사용하는 경우에는, 제품(W)은 적당한 크기로 절단된다.

전방 스토커(3)는, 제1 작업물(W1)을 수납하는 것이다. 도포 장치(5)는 기재(W5)에 미경화 막 형상체(W6)를 설치하는 장치이다. 작업물 설치 장치(7)는, 전방 스토커(3)로부터 공급된 제1 작업물(W1)에, 도포 장치(5)로부터 공급된 제2 작업물(W2)을 설치하는 장치이다. 경화 박리 장치(9)는, 작업물 설치 장치(7)로부터 공급된 각 작업물(W1, W2)의 미경화 막 형상체(W6)에, 예를 들어 자외선을 조사함으로써 미경화 막 형상체(W6)를 경화시키고, 이 경화 후에 기재(W5)를 경화시킨 막 형상체(W6)로부터 박리하여 제품(W)을 얻는 장치이다. 후방 스토커(11)는, 경화 박리 장치(9)에서 생성된 제품(W)을 수납하는 것이다.

제어 장치(13)는, 도시하지 않은 메모리에 저장되어 있는 동작 프로그램에 따라서, 제어부(CPU 등)의 제어하에서 작업물 설치 시스템(1)을 동작시킨다.

경화 박리 장치(9)에 의해 박리한 기재(글래스판)(W5)는, 예를 들어 도포 장치(5)에 공급되어 재사용된다. 또한, 도 1에 화살표로 나타내는 작업물(W1, W2)이나 제품(W)의 흐름은, 제어 장치(13)의 제어하에서 반송 로봇(도시하지 않음)에 의해 행해진다.

다음에, 작업물 설치 장치(7)에 대해 상세하게 설명한다.

이하, 설명의 편의를 위해, 수평한 일방향을 X축 방향이라 하고, X축 방향에 직교하는 수평한 다른 일방향을 Y축 방향이라 하고, X축 방향과 Y축 방향에 직교하는 상하 방향을 Z축 방향이라 한다.

작업물 설치 장치(7)는, 도 2 등에서 도시하는 바와 같이, 제1 테이블(예를 들어, 하부 테이블)(15)과, 제2 테이블(예를 들어, 상부 테이블)(17)과, 작업물 보유 지지 장치(글래스 보유 지지 장치)(19)와, 진공 분위기 생성 장치(진공실 형성 장치)(21)를 구비하여 구성된다.

하부 테이블(15)은, 상면이 평면으로 되어 있고, 이 상면에 평판 형상의 제1 작업물(W1)이 설치된다. 즉, 하부 테이블(15)은, 제1 작업물(W1)의 두께 방향의 한쪽의 평면[하면;볼록부(W4)가 설치되어 있지 않은 하방을 향하는 면]을, 하부 테이블(15)의 상면에 밀착시켜, 예를 들어 도시하지 않은 진공 펌프를 사용하여 진공 흡착함으로써, 제1 작업물(W1)을 보유 지지한다.

상부 테이블(17)은, 하부 테이블(15)의 상방에서 하부 테이블(15)로부터 이격되어 설치된다. 또한, 상부 테이블(17)은, 하면이 평면으로 되어 있고, 이 하면이 하부 테이블(15)의 상면과 평행하게 되어 대향하고 있다. 그리고 상부 테이블(17)은, 이 하면이 하부 테이블(15)의 상면과 평행하게 되어 대향한 상태를 유지한 채, 하부 테이블(15)에 접근 혹은 하부 테이블(15)로부터 이격되는 방향(Z축 방향)으로, 하부 테이블(15)에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하다.

또한, 상부 테이블(17)에는, Z 방향으로 관통한 관통 구멍(23)이 복수 형성된다. 각 관통 구멍(23)은, 이미 이해되는 바와 같이, 상부 테이블(17)의 하면과 직교하는 방향으로 상부 테이블(17)을 관통하고 있다. 또한, 각 관통 구멍(23)은, X축 방향, Y축 방향으로 소정의 간격을 두고, 행렬을 이루어 설치된다.

작업물 보유 지지 장치(19)는, 제2 작업물(W2)을 보유 지지하는 작업물 보유 지지체(글래스 보유 지지체)(25)를 복수 구비하여 구성된다. 또한, 각 작업물 보유 지지체(25)의 본체부(27)의 한쪽의 개구부가 하부 테이블(15)의 상면과는 거의 평행하게 되어 대향한다. 그리고 작업물 보유 지지 장치(19)에서는, 본체부(27)의 한쪽의 개구부가 하부 테이블(15)의 상면과 거의 평행하게 되어 대향한 상태를 유지한 채, 상부 테이블(17)과는 별개로, 하부 테이블(15)에 접근하거나 혹은 하부 테이블(15)로부터 이격되는 방향(Z축 방향)에서, 각 작업물 보유 지지체(25)가 하부 테이블(15)[상부 테이블(17)]에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하다.

더 설명하면, 작업물 보유 지지 장치(19)는, 예를 들어 작업물 보유 지지체용 테이블(29)을 구비한다. 작업물 보유 지지체용 테이블(29)은, 상부 테이블(17)을 사이에 두고 하부 테이블(15)과는 반대측[상부 테이블(17)의 상측]에서, 상부 테이블(17)로부터 이격되어 설치된다. 이에 의해, 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17)과 작업물 보유 지지체용 테이블(29)이 하방으로부터 상방을 향해 이 순서로 배열되어 있다.

작업물 보유 지지 장치(19)의 연결체(31)는, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)에 일체적으로 설치되어 있고, 상부 테이블(17)을 향해(하방을 향해) 연장되어 있다. 작업물 보유 지지체(25)는, 연결체(31)의 선단(하단부)에서 연결체(31)에 일체적으로 설치된다.

작업물 보유 지지체용 테이블(29)은, Z축 방향에서 이동 위치 결정 가능하다. 이에 의해, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)과 각 연결체(31)와 각 작업물 보유 지지체(25)가 하부 테이블(15)[상부 테이블(17)]에 대해 Z축 방향으로 이동 위치 결정 가능하다.

또한, 상부 테이블(17)과 작업물 보유 지지체용 테이블(29)이 비교적 이격되어 있는 경우에는, 작업물 보유 지지체(25)와 연결체(31)의 선단측의 부위가, 혹은 작업물 보유 지지체(25)만이, 상부 테이블(17)의 관통 구멍(23) 내에 들어가 관통 구멍(23) 내에 존재하고 있다(도 11a 등 참조).

한편, 상부 테이블(17)과 작업물 보유 지지체용 테이블(29)이 서로 근접한 경우에는, 도 9a 및 도 9b나 도 10a 및 도 10b에 도시하는 바와 같이, 연결체(31)의 중간부만이 상부 테이블(17)의 관통 구멍(23) 내에 존재하고, 작업물 보유 지지체(25)는, 상부 테이블(17)의 관통 구멍(23)의 외부에서 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 존재하고 있다. 그리고 각 작업물 보유 지지체(25)로 제2 작업물(W2)을 보유 지지한다.

작업물 보유 지지 장치(19)로 제2 작업물(W2)을 보유 지지하고 있는 상태에서는, 제2 작업물(W2)은 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 존재하고 있고, 제2 작업물(W2)의 막 형상체(W6)가 설치되어 있는 면이, 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 제1 작업물(W1)측(하측)에 위치하여 제1 작업물(W1)의 상면과 거의 평행하게 되어 대향한다(도 10a 등 참조).

진공 분위기 생성 장치(21)는, 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 설치 완료된 제1 작업물(W1)에, 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을 설치할 때에, 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2)을 진공 분위기 내에 위치를 부여하는 장치이다.

이에 의해, 제1 작업물(W1)의 미세한 가늘고 긴 산 형상의 볼록부(W4)에 제2 작업물(W2)의 미경화 막 형상체(W6)가 접촉할 때, 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2) 사이에 공기가 들어가 기포가 생성되는 것이 방지된다.

또한, 작업물 설치 장치(7)에는, 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2)을 가열하는 히터(도시하지 않음)가 설치된다. 이 히터로 가열함으로써, 미경화 막 형상체(W6)의 점도가 높아진다.

작업물 설치 장치(7)는, 제어 장치(13)의 제어하에서 초기 상태로부터 다음의 동작을 한다. 여기서, 상기 초기 상태라 함은, 상부 테이블(17)이 하부 테이블(15)로부터 이격되어 있고, 작업물 보유 지지체(25)가 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 위치하고 있고, 하부 테이블(15)에 제1 작업물(W1)이 설치되어 있고, 작업물 보유 지지체(25)로 제2 작업물(W2)을 보유 지지하고 있는 상태이다.

상기 초기 상태에 있어서, 진공 분위기 생성 장치(21)에서 진공 분위기를 생성하고, 이 진공 분위기를 생성하고 있는 상태에서, 작업물 보유 지지체(25)를 하부 테이블(15)에 근접하는 방향(하방)으로 이동시켜 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)이 설치된다. 상부 테이블(17)은 제1 작업물(W1) 및 제2 작업물(W2)에 대해 하부 테이블(15)의 반대측에 위치가 부여된다.

계속해서, 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을 접촉시키고, 또한 진공 분위기를 상기 접촉시켰을 때부터 계속한 상태로, 상부 테이블(17)을 하부 테이블(15)측으로 이동시켜(하방으로 이동시켜) 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 각 작업물(W1, W2)을 끼워 압박한다.

상기 압박을 하고 있을 때에, 상기 히터로 각 작업물(W1, W2)을 가열하여, 미경화 막 형상체(W6)의 점도를 높이고, 작업물 보유 지지체(25)를 하부 테이블(15)로부터 이격되는 방향으로 이동시켜(상방으로 이동시켜) 작업물 보유 지지체(25)가 제2 작업물(W2)로부터 이격된다.

계속해서, 상기 압박을 소정 시간 행한 후에, 진공 분위기 생성 장치(21)에 의한 진공 분위기를 없애고[각 작업물(W1, W2)을 예를 들어 대기압에 노출시키고], 상부 테이블(17)을 하부 테이블(15)로부터 이격되는 방향(상방)으로 이동시켜, 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시키고, 하부 테이블(15)이 진공 흡착을 멈추고, 제2 작업물(W2)이 설치된 제1 작업물(W1)을 개방한다.

그런데, 작업물 설치 장치(7)의 동작을, 다음과 같이 변경해도 된다.

상기 초기 상태에 있어서, 작업물 보유 지지체(25)를 하방향으로 이동시켜, 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 제2 작업물(W2)의 거리를 소정의 근소한 거리로 한다. 즉, 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 제2 작업물(W2)이 접촉할 정도로 접근하면서 접촉하지 않는 소정의 근접 거리로 한다.

계속해서, 진공 분위기 생성 장치(21)에서 진공 분위기를 생성하고, 이 진공 분위기를 생성하고 있는 상태에서, 각 작업물 보유 지지체(25)가 제2 작업물(W2)을 개방하여 제2 작업물(W2)을 자유 낙하시켜 제2 작업물(W2)의 미경화 막 형상체(W6)를 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 접촉시켜 제2 작업물(W2)을 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 설치한다(적재한다). 또한, 작업물 보유 지지체(25)에 의한 제2 작업물(W2)의 개방은, 상부 테이블(17)을 하강시켜 상부 테이블(17)로 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을 하방으로 압박함으로써 행해진다.

계속해서, 제2 작업물(W2)의 제1 작업물(W1)에의 설치시로부터 진공 분위기를 계속한 채, 상부 테이블(17)을 더욱 하방으로 이동시켜 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 각 작업물(W1, W2)을 소정 시간 끼워 압박한다.

이 압박을 하고 있을 때에, 히터로 각 작업물(W1, W2)을 가열하여, 미경화 막 형상체(W6)의 점도를 높여, 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 더욱 이격시킨다.

상기 압박을 소정 시간 행한 후에, 진공 분위기 생성 장치(21)에 의한 진공 분위기를 없애고, 상부 테이블(17)을 상방으로 이동시켜 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시키고, 제2 작업물(W2)이 설치된 제1 작업물(W1)을 하부 테이블(15)이 개방한다.

또한, 진공 분위기의 생성을 언제 할지는, 적절하게 변경할 수 있다. 예를 들어, 상기 초기 상태에 있어서 진공 분위기를 생성하고, 이 후, 작업물 보유 지지체(25)를 하방향으로 이동시켜, 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 제2 작업물(W2)의 거리를 소정의 근소한 거리로 해도 된다.

또한, 작업물 설치 장치(7)의 동작을, 또한 다음과 같이 변경해도 된다.

상기 초기 상태에 있어서, 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 위치 어긋남을 테이블 위치 결정 장치(45)에 의해 보정한다. 이 테이블 위치 결정 장치(45)에 의한 보정의 상세에 대해서는 후술한다.

이 보정 후에, 진공 분위기 생성 장치(21)에서 진공 분위기를 생성하고, 이 진공 분위기를 생성하고 있는 상태에서, 작업물 보유 지지체(25)를 하부 테이블(15)에 근접하는 방향(하방향)으로 이동시켜, 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 미경화 막 형상체(W6)를 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 접촉시켜, 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 설치한다.

계속해서, 또한 진공 분위기를 상기 접촉시로부터 계속한 채, 상부 테이블(17)을 하부 테이블측(하측)으로 이동시켜 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 각 작업물(W1, W2)을 소정 시간 끼워 압박한다.

이 압박을 하고 있을 때, 히터로 각 작업물(W1, W2)을 가열하여, 미경화 막 형상체(W6)의 점도가 높아진다.

상기 압박을 소정 시간 행한 후에, 상부 테이블(17)을 하부 테이블(15)로부터 이격되는 방향(상방향)으로 이동시켜 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시키고, 테이블 위치 결정 장치(45)에서 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 각 작업물(W1, W2)을 약간 진동시키면서[XYC 스테이지 테이블(15)을 XYC 스테이지 베드(37)에 대해 조금씩 왕복 운동시키거나 하여, 각 작업물(W1, W2)을 근소하게 진동시키면서], 작업물 보유 지지체(25)를 하부 테이블(15)로부터 이격되는 방향(상방향)으로 이동시켜, 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨다. 또한, 하부 테이블(15)에서 각 작업물(W1, W2)을 약간 진동시키는 것 대신에, 혹은 약간 진동시키는 것에 더하여, 작업물 보유 지지체(25)에 도시하지 않은 바이브레이터 등에 의해 근소한 진동을 부여해도 된다. 이 경우의 진동의 방향은, X축 방향, Y축 방향, Z축 방향으로 적어도 어느 한쪽이면 된다.

또한, 상기 진동을 가하는 것 대신에, 혹은 진동을 가하는 것에 더하여, 작업물 보유 지지체(25) 내에 압축 공기를 공급하도록 해도 된다.

작업물 설치 장치(7)에 대해, 도 2 등을 참조하면서 더 상세하게 설명한다.

작업물 설치 장치(7)는 프레임(33)을 구비하고 있다. 프레임(33)의 하부에는, XYC 스테이지(35)가 설치되어 있다. XYC 스테이지(35)는, XYC 스테이지 베드(37)와 XYC 스테이지 테이블(하부 테이블)(15)을 구비하여 구성된다.

XYC 스테이지 베드(37)는 프레임(33)에 일체적으로 설치된다. 하부 테이블(15)은, XYC 스테이지 베드(37)의 상부에서 XYC 스테이지 베드(37)에 지지된다. 즉, 하부 테이블(15)은, 도시하지 않은 리니어 가이드 베어링이나 베어링에 의해 XYC 스테이지 베드(37)에 지지되어 있고, 도시하지 않은 서보 모터나 리니어 모터 등의 액추에이터에 의해, 제어 장치(13)의 제어하에서 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동 위치 결정 가능하게 되어 있는 동시에, C축 방향으로 회전 위치 결정 가능하다. C축은, XYC 스테이지 베드(37)의 중심을 지나 Z축 방향으로 연신되어 있는 축이다.

또한, X축 방향 및 Y축 방향 및 C축 방향에 더하여, A축 방향과 B축 방향으로, 하부 테이블(XYC 스테이지 테이블)(15)이 XYC 스테이지 베드(37)에 대해 회전 위치 결정 가능하게 되어 있어도 된다. 여기서, A축은, XYC 스테이지(35)의 중심을 지나 X축 방향으로 연장되어 있는 축이고, B축은, XYC 스테이지(35)의 중심을 지나 Y축 방향으로 연장되어 있는 축이다.

또한, 도시하지 않은 로봇 등에 의해 하부 테이블(15)의 소정의 위치까지 반송되어 온 제1 작업물(W1)은, 도시하지 않은 진공 펌프를 사용하여 진공 흡착되고, 하부 테이블(15)의 소정의 위치에서 하부 테이블(15)에 일체적으로 설치된다. 하부 테이블(15)의 상면에는, 도시하지 않은 돌기(충돌부)가 설치되어 있고, 이 충돌부에 제1 작업물(W1)을 접촉시킴으로써, X축 방향, Y축 방향 및 C축 방향으로 정확한 위치 결정을 하여, 제1 작업물(W1)을 하부 테이블(15)에 설치할 수 있다.

하부 테이블(15)의 상방에 위치하고 있는 상부 테이블(17)은, 프레임(33)에 지지된다. 즉, 상부 테이블(17)은, 도시하지 않은 리니어 가이드 베어링에 의해 프레임(33)에 지지되어 있고, 도시하지 않은 서보 모터나 리니어 모터 등의 액추에이터에 의해, 제어 장치(13)의 제어하에서 Z축 방향으로 이동 위치 결정 가능하다.

작업물 보유 지지 장치(19)는, 상술한 바와 같이, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)과 연결체(31)와 작업물 보유 지지체(25)를 구비하여 구성되어 있고, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)이 상부 테이블(17)에 상방에서 상부 테이블(17)로부터 이격되어 프레임(33)에 지지된다. 즉, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)은, 도시하지 않은 리니어 가이드 베어링에 의해 프레임(33)에 지지되어 있고, 도시하지 않은 서보 모터나 리니어 모터 등의 액추에이터에 의해, 제어 장치(13)의 제어하에서 Z축 방향으로 이동 위치 결정 가능하다.

이에 의해, 상부 테이블(17)이나 작업물 보유 지지 장치(19)가, X축 방향과 Y축 방향과 Z축 방향과 C축 방향에서, 하부 테이블(15)에 대해 상대적으로 이동 위치 결정된다.

또한, 상기 설명에서는, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)[작업물 보유 지지 장치(19)]이 프레임(33)에 지지되어 있지만, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)이 도시하지 않은 리니어 가이드 베어링을 통해 상부 테이블(17)에 지지되어 있는 구성이어도 된다. 그리고 작업물 보유 지지체용 테이블(29)이 상부 테이블(17)에 대해 Z축 방향으로 이동 위치 결정되도록 되어 있어도 된다.

진공 분위기 생성 장치(21)는, 예를 들어 하부 외피체(39)와 상부 외피체(41)와 도시하지 않은 진공 펌프를 구비하여 구성된다. 하부 외피체(39)는 프레임(33)의 하측에서 프레임(33)에 일체적으로 설치된다. 상부 외피체(41)는 프레임(33)의 상측에서 도시하지 않은 리니어 가이드 베어링을 통해 프레임(33)에 지지되어 있고, 도시하지 않은 공기압 실린더 등의 액추에이터에 의해 Z축 방향으로 이동한다.

상부 외피체(41)가 스트로크의 하단부에 위치하고 있는 경우에는, 하부 외피체(39)와 상부 외피체(41)가 서로 접촉하여 하부 외피체(39)와 상부 외피체(41)로 폐쇄 공간이 구획된다[하부 외피체(39)와 상부 외피체(41)의 내측에 진공 성형실이 형성된다]. 또한, 상기 폐쇄 공간 내에, 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17)과 작업물 보유 지지 장치(19)가 위치한다.

그리고 상기 폐쇄 공간 내를 진공으로 함으로써, 설치 완료된 제1 작업물(W1)이나 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)[설치 완료된 제1 작업물(W1)에 설치된 제2 작업물(W2)]을, 진공 분위기 내에 존재하게 할 수 있다.

한편, 상부 외피체(41)가 스트로크의 상단부에 위치하고 있는 경우에는, 상부 외피체(41)가 하부 외피체(39)로부터 이격되어, 진공 성형실에 개구부가 형성된다. 그리고 이 개구부를 통해, 각 작업물(W1, W2)이 전방 스토커(3)나 도포 장치(5)로부터 하부 테이블(15)이나 작업물 보유 지지 장치(19)에 공급되고, 또한 제2 작업물(W2)이 설치됨으로써 일체화된 각 작업물(W1, W2)이, 작업물 설치 장치(7)로부터 경화 박리 장치(9)로 공급된다.

작업물 설치 장치(7)에 설치되어 있는 상기 히터는, 상부 테이블(17), 하부 테이블(15) 중 적어도 어느 한쪽에 설치되어 있고, 작업물(W1, W2)을 가열한다.

또한, 작업물 설치 장치(7)에는, 카메라(43)가 설치되어 있다. 카메라(43)는, 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)[기재(W5)]에 형성되어 있는 아이마크(도시하지 않음)를 촬영할 수 있다. 그리고 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 위치 어긋남량[X축 방향, Y축 방향 및 C축 방향에서의, 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 대한 보유 지지 완료된 제2 작업물의 위치 어긋남량]을 검출할 수 있다.

이 측정한 위치 어긋남량을, 테이블 위치 결정 장치(45)에 의해 보정할 수 있다. 즉, 하부 테이블(XYC 스테이지 테이블)(15)을 XYC 스테이지 베드(37)에 대해 이동시켜 회전시킴으로써, 위치 어긋남량을 보정하여 없앨 수 있다. 이에 의해, 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 대한 보유 지지 완료된 제2 작업물의 위치 어긋남을 수정할 수 있다.

또한, 카메라(43)에 의해, 설치 완료된 제1 작업물(W1)[기재(W3)]에 형성된 아이마크(도시하지 않음)를 촬영하고, 설치 완료된 제1 작업물(W1)의 위치 어긋남량[하부 테이블(15)에 대한 위치 어긋남량]을 검출하도록 해도 된다.

그리고 상기 검출한 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 위치 어긋남량과, 상기 검출한 설치 완료된 제1 작업물(W1)의 위치 어긋남량을 사용하여, 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 대한 보유 지지 완료된 제2 작업물의 위치 어긋남을 수정하도록 해도 된다.

여기서, 작업물 보유 지지체(25)에 대해 상세하게 설명한다.

작업물 보유 지지체(25)는, 제2 작업물(보유 지지 대상물)(W2)의 평면 형상의 소정의 부위[기재(W5)의 두께 방향의 한쪽 면의 소정의 부위]에 결합하여 제2 작업물(W2)을 보유 지지하는 것이다.

작업물 보유 지지체(25)는, 도 5a 및 도 5b에 도시하는 바와 같이, 통 형상의 본체부(작업물 보유 지지체 본체부)(27)와, 이 본체부(27)의 한쪽의 개구부에 설치된 점착제(49)를 구비하여 구성된다.

점착제(49)는, 작업물 보유 지지체 본체부(27)의 환 형상의 개구부[작업물 보유 지지체 본체부(27)의 축 방향의 한쪽 단부에 위치하고 있는 개구부]의 전체 둘레를 막 형상으로 되어 덮는다.

그리고 제2 작업물(W2)을 보유 지지하는 경우에는, 점착제(49)가 제2 작업물(W2)의 평면에 접촉하고, 작업물 보유 지지체 본체부(27)의 한쪽의 개구부가 제2 작업물(W2)측을 향해 제2 작업물과 대향한다.

더 설명하면, 작업물 보유 지지체(25)는, 점착제(49)가 제2 작업물(W2)의 평면[막 형상체(W6)가 설치되어 있지 않은 측의 기재(W5)면]에 접하고, 작업물 보유 지지체 본체부(27) 내를 진공 상태 혹은 대기압보다도 낮은 저압 상태로 함으로써, 제2 작업물(W2)을 보유 지지한다.

또한, 작업물 보유 지지체 본체부(27) 내의 진공 상태가 해제된 경우, 즉, 작업물 보유 지지체 본체부(27) 내가 대기압으로 된 경우나, 제2 작업물(W2)을 보유 지지한 상태에서 작업물 보유 지지체(25)와 제2 작업물(W2)이 진공의 분위기 내에 위치한 경우라도, 점착제(49)의 점착력만으로 제2 작업물(W2)의 중량을 지지하여 제2 작업물(W2)을 보유 지지할 수 있다.

점착제(49)로서, 예를 들어 끈적거림이 거의 없고, 일단 보유 지지한 작업물(W2)을 개방한 후에, 작업물(W2)에의 전사가 거의 되지 않고, 또한 반복 사용해도 점착 성능의 저하가 적은 것(실리콘계의 점착제)이 채용된다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)에서는, 통 형상의 본체부(작업물 보유 지지체 본체부)(27)의 적어도 일부의 통 형상의 부위(환 형상의 부위)가 탄성체(통 형상의 탄성체)(51)로 구성된다.

더욱 상세하게 설명하면, 작업물 보유 지지체 본체부(27)는, 통 형상의 탄성체(예를 들어, 고무제의 벨로우즈 형상 진공 패드)(51)와, 강성이 높은(금속이나 경질의 합성 수지 등의 대략 강체라고 간주할 수 있는 재료로 구성된) 작업물측 작업물 보유 지지체 구성체(작업물측 구성체)(53)와, 강성이 높은(금속이나 경질인 합성 수지 등의 대략 강체라고 간주할 수 있는 재료로 구성된) 연결체측 작업물 보유 지지체 구성체(연결체측 구성체)(55)를 구비하여 구성된다.

작업물측 구성체(53)는, 이 축의 연신 방향의 일단부에 평면이 설치되어 있고, 이 평면의 중앙에 관통 구멍(57)이 형성되어 있다. 관통 구멍(57)은, 상기 평면에 직교하는 방향[작업물측 구성체(53)의 축의 연신 방향]으로 관통되어 있다. 이에 의해, 작업물측 구성체(53)가 환 형상(원환상;통 형상)으로 형성된다.

작업물측 구성체(53)는, 이 축[관통 구멍(57)의 중심축]이 통 형상의 탄성체(51)의 축[탄성체(51) 내측의 관통 구멍의 중심축]과 일치하고, 작업물측 구성체(53)의 축의 연신 방향의 타단부측의 부위가 통 형상의 탄성체(51)의 축의 연신 방향의 일단부측 부위에 결합되어, 통 형상의 탄성체(51)에 일체적으로 설치된다.

연결체측 구성체(55)도, 중앙에 관통 구멍(59)이 형성된 환 형상(원환상;통 형상)으로 형성되어 있다. 연결체측 구성체(55)도, 이 축[관통 구멍(59)의 중심축]이 통 형상의 탄성체(51)의 축(통 형상체 내측의 관통 구멍의 중심축)과 일치하고, 연결체측 구성체(55)의 축의 연신 방향의 일단부측의 부위가 통 형상의 탄성체(51)의 축의 연신 방향의 타단부측 부위에 결합되고, 작업물측 구성체(53)로부터 이격되어, 통 형상의 탄성체(51)에 일체적으로 설치된다.

점착제(49)는 작업물측 구성체(53)의 평면[통 형상의 탄성체(51)와는 반대측의 평면]에 환 형상이며 막 형상으로 되어 설치된다.

연결체측 구성체(55)의 축의 연신 방향의 타단부측[통 형상의 탄성체(51)와는 반대측의 부위; 도 5a에서는 상측]에는, 수형 나사(61)가 형성된다. 관통 구멍(59)은 수형 나사(61)의 부분에도 형성된다.

그리고 원통 형상의 연결체(31)가 작업물 보유 지지체(25)에 나사 결합되어, 연결체측 구성체(55)가 연결체(31)에 일체적으로 설치된다. 연결체(31)에 설치된 작업물 보유 지지체(25)[통 형상의 탄성체(51), 작업물측 구성체(53), 연결체측 구성체(55)]의 축은, Z축 방향으로 연신되어 있다.

또한, 작업물 보유 지지체용 테이블(29)과 각 연결체(31)의 내부 공간을 통해, 진공 펌프(도시하지 않음)에 의해 진공화가 이루어짐으로써, 작업물 보유 지지체(25)[통 형상의 탄성체(51), 작업물측 구성체(53), 연결체측 구성체(55)] 내의 공간이 진공 상태로 되어, 작업물 보유 지지체(25)에 의한 제2 작업물(W2)의 진공 흡착이 행해진다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)[통 형상의 탄성체(51), 작업물측 구성체(53), 연결체측 구성체(55)] 내의 공간에 공기압을 공급할 수 있도록 구성해도 된다. 그리고 작업물 보유 지지체(25) 내[통 형상의 본체부(27) 내]에 공기압을 공급함으로써, 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시키도록 해도 된다.

그런데 점착제(49)는, 도 5a, 도 5b에서는, 작업물측 구성체(53)의 링 형상의 개구부에서, 이 개구부의 외주측에만 링 형상으로 되어 설치되어 있지만, 작업물측 구성체(53)의 링 형상의 개구부의 전체면에 점착제(49)가 설치되어 있어도 되고, 개구부의 내주측에만 점착제(49)가 링 형상으로 되어 설치되어 있어도 된다. 또한, 점착제(49)가 다중의 환 형상으로 되어 개구부에 설치되어 있어도 된다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)의 구성을 도 6a, 도 6b에 도시하는 바와 같이 적절하게 변경해도 된다.

도 6a에 도시하는 것에서는, 작업물측 구성체를 삭제하고, 통 형상의 탄성체(51)의 개구부에 점착제(49)를 직접 설치하고 있다. 즉, 도 6a에 도시하는 것에서는, 통 형상의 본체부(27)는, 통 형상의 탄성체(51)와 강성이 높은 연결체측 구성체(55)로 구성된다. 그리고 연결체측 구성체(55)는, 중앙에 관통 구멍(59)이 형성된 환 형상으로 형성되고, 축이 통 형상의 탄성체(51)의 축과 일치하고, 일단부측의 부위가 통 형상의 탄성체(51)의 타단부측의 부위에 결합되어 통 형상의 탄성체(51)에 설치된다. 또한, 점착제(49)는 통 형상의 탄성체(51)의 일단부에, 환 형상이며 막 형상으로 되어 설치된다.

도 6b에 도시하는 것에서는, 통 형상의 탄성체(51)의 개구부가 평면이 아닌, 원뿔대의 측면 형상으로 되어 있다. 도 6c에 도시하는 것에서는, 작업물측 구성체와 통 형상의 탄성체를 삭제하고, 연결체측 구성체(55)의 개구부에 점착제(49)를 직접 설치하고 있다. 또한 도시하지 않았지만, 통 형상의 탄성체(51)와 점착제(49)만으로 작업물 보유 지지체(25)를 구성해도 된다.

다음에, 작업물 설치 장치(7)의 동작을, 도 7 내지 도 14b를 참조하면서 설명한다.

우선, 초기 상태에서는, 상부 테이블(17)이 상승하여 하부 테이블(15)로부터 이격되어 있고, 작업물 보유 지지 장치(19)가 상승하여 작업물 보유 지지체(25)가 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 위치하고 있고, 하부 테이블(15)에 제1 작업물(W1)이 설치되어 있지 않고, 작업물 보유 지지 장치(19)가 제2 작업물(W2)을 보유 지지하고 있지 않고, 진공 분위기 생성 장치(21)에 의한 진공 분위기의 생성이 되어 있지 않고, 히터가 온(ON)되어 있고, XYC 스테이지 테이블(하부 테이블)(15)이, XYC 스테이지 베드(37)에 대해 소정의 디폴트 위치에 위치하고 있는 것으로 한다(S1).

상기 초기 상태에 있어서, 제어 장치(13)의 제어하에서, 도시하지 않은 로봇에 의해 하부 테이블(15)에 제1 작업물(W1)을 반입하여 설치하고(제1 작업물 설치 공정), 도시하지 않은 로봇의 로봇측 작업물 보유 지지 장치(63)에 의해, 제2 작업물(W2)을 작업물 보유 지지체(25)의 부분까지 반입한다(S3; 도 9a, 도 9b 참조).

계속해서, 작업물 보유 지지 장치(19)[각 작업물 보유 지지체(25)]를 하강시켜, 진공 흡착과 점착제(49)로 제2 작업물(W2)을 보유 지지한다(S5; 도 10a 참조; 제2 작업물 보유 지지 공정). 즉, 미경화 막 형상체 설치 공정에서, 판 형상의 기재(W5)의 두께 방향의 한쪽 면에 미경화 막 형상체(W6)가 설치된 제2 작업물(W2)에 있어서의 기재(W5)의 다른 쪽 면에, 진공 흡착과 점착제(49)를 병용하여 제2 작업물(W2)을 보유 지지하는 작업물 보유 지지체(25)를 결합시켜, 제2 작업물(W2)을 보유 지지한다. 그리고 제2 작업물(W2)을 반송한 로봇[로봇측 작업물 보유 지지 장치(63)]을, 작업물 설치 장치(7)로부터 퇴거시킨다(S7).

여기서, 미경화 막 형상체 설치 공정은, 판 형상의 기재(W5)의 두께 방향의 한쪽 면에, 미경화 막 형상체(W6)를 설치하는 공정이며, 도 1에 도시하는 도포 장치(5)에서, 미경화 막 형상체 설치 공정이 실행된다.

그런데, 상기 초기 상태를, 하부 테이블(15)에 제1 작업물(W1)이 더 설치되어 있고 작업물 보유 지지체(25)로 제2 작업물(W2)을 더 보유 지지하고 있는 상태로 해도 된다. 또한, 로봇에 의한 제2 작업물(W2)의 반송은, 전술한 바와 같이, 로봇의 아암의 선단에 설치되어 있는 로봇측 작업물 보유 지지 장치(63)에 의해, 제2 작업물을 진공 흡착하여 보유 지지하여 이루어진다(도 2, 도 9b 참조).

계속해서, 상기 제1 작업물 설치 공정에서 제1 작업물(W1)의 설치가 행해지고, 상기 제2 작업물 보유 지지 공정에서 제2 작업물(W2)의 보유 지지가 행해지고, 로봇[로봇측 작업물 보유 지지 장치(63)]이 퇴거한 후, 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을, 진공 분위기 내에 위치시킨다(S9; 도 10a 참조; 진공 분위기 생성 공정).

계속해서, 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 대한 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 위치 어긋남량을, 카메라(43)를 사용하여 측정하여, 이 측정 결과가 허용 범위 내인지 여부를 판단한다(S1).

상기 측정 결과가 허용 범위 내를 초과하고 있는 경우에는, XYC 스테이지 테이블(15)을 적절하게 이동 위치 결정하여, 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 대한 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 위치를 보정하고(S13), 이 보정 후에 스텝 S15로 진행한다. 상기 측정 결과가 허용 범위 내를 초과하고 있지 않은 경우에는, 상기 보정을 하는 일 없이 스텝 S15로 진행한다.

스텝 S15에서는, 작업물 보유 지지 장치(19)에 의해 제2 작업물(W2)을 개방하여 제2 작업물(W2)을 낙하시킬지 여부를 판단한다. 이 판단은, 제어 장치(13)에 설치되어 있는 터치 패널(도시하지 않음) 등의 입력부를 통해, 미리 제어 장치(13)에 입력되어 있는 정보에 의해 이루어지는 것으로 한다.

스텝 S15에서, 작업물 보유 지지 장치(19)에 의한 제2 작업물(W2)의 개방을 하지 않는다고 판단한 경우에는, 상기 진공 분위기 생성 공정에서 생성된 진공 상태를 유지한 채, 작업물 보유 지지체(25)를 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 근접시켜, 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 미경화 막 형상체(W6)를 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 접촉시켜 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 설치한다(S17; 도 10b 참조; 제2 작업물 설치 공정).

계속해서, 상기 진공 분위기 생성 공정에서 생성된 진공 상태를 유지한 채, 상부 테이블(17)에 형성되어 있는 관통 구멍(23)(오목부라도 좋음) 내에 작업물 보유 지지체(25)가 들어가도록 하여, 상부 테이블[작업물 보유 지지체(25)나 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)보다도 상방에 위치하고 있는 상부 테이블](17)을 제2 작업물(W2)에 근접시켜, 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2)을 끼워 소정의 시간 압박하고, 히터로 각 작업물(W1, W2)을 가열하여 미경화 막 형상체(W6)의 점도를 높인다(S19; 도 11a 참조; 작업물 압박 공정).

계속해서, 작업물 보유 지지 장치(19)에 의한 제2 작업물(W2)의 개방에 있어서, XYC 스테이지 테이블(15)의 구동(진동)을 하는지 여부를 판단한다(S21). 이 판단은, 제어 장치(13)에 설치되어 있는 터치 패널(도시하지 않음) 등의 입력부를 통해, 미리 제어 장치(13)에 입력되어 있는 정보에 의해 이루어지는 것으로 한다.

스텝 S21에서, XYC 스테이지 테이블(15)의 구동을 하지 않는다고 판단한 경우에는, 상기 작업물 압박 공정에서 각 작업물(W1, W2)을 압박하고 있는 상태에서, 작업물 보유 지지체(25)가 상부 테이블(17)에 형성되어 있는 관통 구멍(23)(오목부라도 좋음) 내에 더 들어가도록 하여, 작업물 보유 지지체(25)를 상승시켜 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨다(S23; 도 11b; 작업물 보유 지지체 이격 공정).

계속해서, 상기 작업물 보유 지지체 이격 공정에서 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시키고, 상기 작업물 압박 공정에서 소정의 시간 각 작업물(W1, W2)을 압박한 후(S25), 상부 테이블(17)을 상방으로 이동시켜 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨다(상부 테이블 이격 공정). 이 상부 테이블 이격 공정에서, 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨 후, 상기 진공 분위기 생성 공정에서 생성된 진공 분위기를 없앤다(S27; 도 12a 참조; 진공 분위기 개방 공정).

또한, 상기 상부 테이블 이격 공정에 의해, 작업물 보유 지지체(25)가 상부 테이블(17)의 관통 구멍(23) 내에 위치하고 있는 경우가 있다. 즉, 상기 상부 테이블 이격 공정에서 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시키기 시작하고 나서, 상부 테이블(17)과 제2 작업물(W2)의 거리가 소정의 값으로 될 때까지는, 작업물 보유 지지체(25)가 상부 테이블(17)의 관통 구멍(23) 내에 위치하고 있지만, 상부 테이블(17)과 제2 작업물(W2)의 거리가 소정의 값을 초과하면, 작업물 보유 지지체(25)가 상부 테이블(17)의 관통 구멍(23)의 외부로 나와, 각 작업물(W1, W2)과 상부 테이블(17) 사이에 위치하게 된다.

계속해서, 하부 테이블(15)에서의 제1 작업물(W1)의 진공 흡착을 멈추어, 도시하지 않은 로봇의 로봇측 작업물 보유 지지 장치(63)에서 서로가 일체화되어 있는 각 작업물(W1, W2)을 하부 테이블(15)로부터 반출하고, 하부 테이블(15)이 상술한 디폴트 위치로 복귀한다(S29; 도 12b 참조).

그리고 하부 테이블(15)로부터 반출된 각 작업물(W1, W2)에, 도 1에 도시하는 경화 박리 장치(9)에서 자외선이 조사되어, 미경화 막 형상체(W6)가 경화된다. 즉, 상기 상부 테이블 이격 공정에서, 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시켜, 상기 진공 분위기 개방 공정에서 진공 분위기를 없애고, 각 작업물(W1, W2)이 하부 테이블(15)로부터 반출되어 경화 박리 장치(9)에 공급된 후, 제2 작업물(W2)이 제1 작업물(W1)에 설치되어 있는 상태에서, 미경화 막 형상체(W6)를 경화시킨다(미경화 막 형상체 경화 공정).

또한, 경화 박리 장치(9)에서는, 경화된 막 형상체(W6)로부터, 기재(W5)의 박리가 행해져, 도 3a 및 도 3b에 도시하는 제품(W)이 생성된다.

그런데, 스텝 S15에서, 작업물 보유 지지 장치(19)에 의한 제2 작업물(W2)의 개방을 한다고 판단한 경우에는, 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 거리가 소정의 근소한 거리로 될 때까지, 작업물 보유 지지체(25)를 하강시킴으로써 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을 하강시킨다(S31; 도 13a 참조; 제2 작업물 하강 공정).

계속해서, 상기 진공 분위기 생성 공정에서 생성된 진공 상태를 유지한 채, 상부 테이블(17)을 하강시켜, 작업물 보유 지지체(25)로부터 제2 작업물(W2)을 자유 낙하시키고, 제2 작업물(W2)의 미경화 막 형상체(W6)를 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 접촉시켜, 제2 작업물(W2)을 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 설치한다(S33; 도 13b; 제2 작업물 낙하 설치 공정). 또한, 작업물 보유 지지체(25)에 의한 제2 작업물(W2)의 개방에 의한 제2 작업물(W2)의 낙하는, 상부 테이블(17)을 하강시켜 상부 테이블(17)로 제2 작업물(W2)을 하방으로 압박함으로써 행해진다.

계속해서, 상기 제2 작업물 낙하 설치 공정에서 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 제2 작업물(W2)을 설치한 후, 상부 테이블(17)을 더욱 하강시켜, 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2)을 끼워 소정의 시간 압박하고, 히터로 각 작업물(W1, W2)을 가열하여, 미경화 막 형상체(W6)의 점도를 높인다(S35; 도 14a 참조; 작업물 압박 공정). 이 후, 스텝 S21로 진행한다.

또한, 스텝 S15에서, 작업물 보유 지지 장치(19)에 의한 제2 작업물(W2)의 개방을 한다고 판단한 경우에는, 진공 분위기의 생성을 뒤쪽으로 밀리게 해도 된다. 즉, 상기 제2 작업물 하강 공정(S33)에서 상기 제2 작업물을 하강 위치 결정한 후, 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)을 진공 분위기 내에 위치시키도록 해도 된다.

또한, 각 작업물(W1, W2)을 가열하여 미경화 막 형상체(W6)의 점도를 높이는 것은, 적어도, 상기 작업물 압박 공정에서 각 작업물(W1, W2)을 압박하고 있을 때에 하면 좋다.

또한, 스텝 S21에서, XYC 스테이지 테이블(15)의 구동을 한다고 판단한 경우에는, 각 테이블(15, 17)에 의한 각 작업물(W1, W2)의 압박이 소정의 시간 행해진 후(S37), 상부 테이블(17)을 상승시켜 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨다(S39; 도 14b 참조; 상부 테이블 이격 공정).

계속해서, 상기 상부 테이블 이격 공정에서 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨 후, 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2)을, XYC 스테이지 테이블(15)을 구동시켜 약간 진동시키면서, 작업물 보유 지지체(25)를 상방향으로 이동시켜 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨다(S41; 작업물 보유 지지체 이격 공정).

또한, 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2)을, XYC 스테이지 테이블(15)을 구동시켜 약간 진동시키는 것 대신에, 혹은 약간 진동시키는 것에 더하여, 작업물 보유 지지체(25) 내에 압축 공기를 공급하여, 작업물 보유 지지체(25)를 상방향으로 이동시켜 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시키도록 해도 된다.

또한, 상기 진동의 방향은, X축 방향, Y축 방향, C축 방향, A축 방향, B축 방향 중 적어도 어느 하나이면 된다. 또한, 상기 진동을 하는 일 없이, 작업물 보유 지지체(25) 내에 압축 공기를 공급하여 작업물 보유 지지체(25)를 상방향으로 이동시켜, 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시키도록 해도 된다.

계속해서, 상기 상부 테이블 이격 공정에서, 상부 테이블(17)을 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨 후, 또는 상기 작업물 보유 지지체 이격 공정에서 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시킨 후, 상기 진공 분위기 생성 공정에서 생성된 진공 분위기를 없애고(S43), 스텝 S29로 진행한다.

작업물 보유 지지체(25)에 따르면, 진공 흡착에 더하여 점착제에 의해 작업물(W2)을 보유 지지하므로, 진공 중이라도 작업물(W2)을 보유 지지할 수 있다. 또한, 보유 지지하여 고속 반송하는 동작이 필요한 대기 중에서는 보다 강한 힘으로 작업물(W2)을 보유 지지할 수 있어, 반송 중에 있어서의 작업물(W2)의 로봇 핸드로부터의 낙하를 방지할 수 있다.

또한, 대기 중에서 진공 흡착을 사용함으로써, 점착제(49)가 작업물(W2)에 강하게 부착되므로, 점착제(49)의 점착력이, 점착제(49)가 설치되어 있는 작업물 보유 지지체(25)를 단순히 작업물(W2)에 압박한 경우(진공 흡착을 하는 일 없이 압박만을 행한 경우)보다도 높아져, 진공 중이라도 작업물(W2)을 확실하게 보유 지지할 수 있다.

또한, 작업물(W2)을 보유 지지하고 있는 상태에서 작업물 보유 지지체 본체부(27) 내에 공기압을 공급함으로써, 점착제(49)가 작업물(W2)로부터 이격되므로, 점착제(49)에 의해 작업물(W2)에 부착되어 있는 작업물 보유 지지체(25)를 작업물(W2)로부터 용이하게 이격시킬 수 있다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)에 따르면, 작업물 보유 지지체 본체부(27)의 일부의 통 형상의 부위(51)가 탄성체로 구성되어 있으므로, 작업물(W2)의 상면과 작업물 보유 지지체(25)의 하면[점착제(49)가 설치되어 있는 환 형상의 평면]의 평행도가 나쁘게 되어 있어도, 작업물 보유 지지체(25)로 작업물(W2)을 보유 지지할 때에, 통 형상의 탄성체(51)가 탄성 변형되어 작업물 보유 지지체(25)의 하면이 작업물(W2)의 상면에 따라[작업물 보유 지지체(25)의 하면이 작업물(W2)의 상면과 평행하게 되어], 작업물(W2)을 확실히 보유 지지할 수 있다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)에 따르면, 복수의 작업물 보유 지지체(25)로 작업물(W2)을 보유 지지하는 경우라도, 작업물(W2)을 확실하게 보유 지지할 수 있다. 예를 들어, 각 작업물 보유 지지체(25)의 하면의 높이(위치)에 약간의 편차가 있어도, 각 작업물 보유 지지체(25)로 작업물(W2)을 보유 지지할 때에, 각 통 형상 탄성체(51)가 주로 Z축 방향으로 적절하게 탄성 변형되어, 각 작업물 보유 지지체(25)의 전부가 작업물(W2)과 접촉하여 작업물(W2)을 확실하게 보유 지지할 수 있다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)에 따르면, 점착제(49)가, 작업물측 구성체(53)의 평면에 환 형상이며 막 형상으로 되어 설치되어 있으므로, 점착제(49)가 열화되었을 때에, 작업물측 구성체(53)째 교환하면 되게 되어, 작업물 보유 지지체(25)의 메인터넌스가 용이해진다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)에 따르면, 연결체측 구성체(55)의 단부에 수형 나사(61)가 설치되어 있고, 이 수형 나사(61)가 연결체(31)에 나사 결합되어 있으므로, 점착제(49)나 통 형상의 탄성체(51)가 열화되었을 때, 작업물 보유 지지체(25)를 통째로 교환하면 되게 되어, 작업물 보유 지지체(25)의 메인터넌스가 용이해진다.

또한, 작업물 설치 장치(7)에 따르면, 작업물 보유 지지체(25)가 점착제(49)로 제2 작업물(W2)을 보유 지지하므로, 진공 분위기를 생성하고 나서, 제1 작업물(W1)에 작업물 보유 지지체(25)를 보유 지지하고 있는 제2 작업물(W2)을 설치할 수 있어, 제1 작업물(W1)과 제2 작업물(W2) 사이로 공기가 들어가는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 작업물 설치 장치(7)에 있어서, 작업물 보유 지지체(25)가 제2 작업물(W2)을 개방하여 제2 작업물(W2)을 자유 낙하시켜 제1 작업물(W1)에 설치하도록 하면, 작업물 보유 지지체(25)가 제2 작업물(W2)을 개방하였을 때에 제2 작업물(W2)의 내부 응력이 개방되어, 예를 들어 제2 작업물(W2)의 휨이 없어져, 이 내부 응력이 개방된 상태에서 제2 작업물(W2)이 제1 작업물(W1)에 설치되게 된다. 따라서, 제2 작업물(W2)이 휜 상태에서 제1 작업물(W1)에 설치되어 버리는 것을 방지할 수 있다.

또한, 작업물 보유 지지체(25)가 제2 작업물(W2)을 개방하여 제2 작업물(W2)을 자유 낙하시켜 제1 작업물(W1)에 설치함으로써, 작업물 보유 지지체(25)에 의한 프레스 자국이, 제2 작업물(W2)에 남는 일이 없어진다. 또한, 작업물 보유 지지체(25)가 제2 작업물(W2)을 개방하여 제2 작업물(W2)을 자유 낙하시켜 제1 작업물(W1)에 설치함으로써, 히터에 의한 작업물(W1, W2)의 열팽창이 있어도, 작업물(W1, W2)에 발생하는 내부 응력을 최대한 작게 할 수 있다.

또한, 작업물 설치 장치(7)에 있어서, 테이블 위치 결정 장치(45)에 의해 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 각 작업물(W1, W2)을 약간 진동시키면서, 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 이격시키도록 하면, 점착제(49)로 제2 작업물(W2)을 보유 지지하고 있는 작업물 보유 지지체(25)를 제2 작업물(W2)로부터 용이하게 이격시킬 수 있다.

또한, 테이블 위치 결정 장치(45)에 의해 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 각 작업물(W1, W2)을 약간 진동시키면서, 작업물 보유 지지체(25)를 사용하여 제2 작업물(W2)로부터 이격시키는 방법을, 진공 흡착, 점착제 중 적어도 어느 하나에 의해 작업물(W2)을 보유 지지하고 있는 작업물 보유 지지체(25)를, 작업물(W2), 작업물 보유 지지체(25) 중 적어도 어느 하나에 진동을 부여하여, 작업물(W2)로부터 이격시키는 작업물 보유 지지체 이격 방법으로서 파악해도 된다.

또한, 작업물 설치 장치(7)에 있어서, 진공 분위기 생성 장치(21)를 삭제하거나, 혹은 진공 분위기 생성 장치(21)에 의한 진공 분위기의 생성을 행하지 않도록 해도 된다. 이 경우, 작업물 보유 지지체(25)의 점착제(49)를 삭제해도 된다.

진공 분위기 생성 장치(21)를 삭제 등 하여 점착제(49)를 삭제한 경우, 제어 장치(13)는 다음 제어를 하도록 되어 있는 것으로 한다.

상부 테이블(17)이 하부 테이블(15)로부터 이격되어 있고, 각 작업물 보유 지지체(25)가 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 위치하고 있고, 하부 테이블(15)에 제1 작업물(W1)이 설치되어 있고, 작업물 보유 지지체(25)로 제2 작업물(W2)을 보유 지지하고 있는 상태에서, 작업물 보유 지지체(25)를 하방향으로 이동시켜, 하부 테이블(15)에 설치되어 있는 설치 완료된 제1 작업물(W1)과 작업물 보유 지지체(25)로 보유 지지하고 있는 보유 지지 완료된 제2 작업물(W2)의 거리를 소정의 근소한 거리로 한다.

또한, 이 경우에 있어서의 작업물 보유 지지체(25)에 의한 제2 작업물(W2)의 보유 지지는 진공 흡착만으로 행해져 있는 것으로 한다.

계속해서, 상부 테이블(17)을 하방향으로 이동시켜 각 작업물 보유 지지체(25)로부터 제2 작업물(W2)을 낙하시켜 제2 작업물(W2)의 미경화 막 형상체(W6)를 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 접촉시켜 제2 작업물(W2)을 설치 완료된 제1 작업물(W1)에 설치한다.

계속해서, 상부 테이블(17)을 더욱 하방으로 이동시켜 하부 테이블(15)과 상부 테이블(17) 사이에 각 작업물(W1, W2)을 끼워 압박하여, 이 압박을 소정 시간 행한다.

또한, 점착제(49)를 삭제하는 일 없이, 진공 분위기 생성 장치(21)의 삭제 등을 한 경우, 작업물 보유 지지체(25)에 의한 제2 작업물(W2)의 보유 지지는, 진공 흡착과 점착제(49)를 병용하거나, 혹은 점착제(49)만을 사용하여 행해진다.

본 발명에 따르면, 복수의 작업물 보유 지지부로 보유 지지되어 있는 작업물을 그대로 다른 작업물에 설치하고, 이 설치 후, 상기 각 작업물 보유 지지부를 상기 작업물로부터 용이하게 이격시킬 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.

Claims

작업물 설치 장치이며,
제1 작업물(W1)이 설치되는 제1 테이블(15)과,
상기 제1 테이블에 접근 혹은 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 상기 제1 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능한 제2 테이블(17)과,
상기 제2 테이블의 접근·이격 방향과 직교하는 방향으로, 상기 제1 테이블을 상기 제2 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하게 하는 테이블 위치 결정 장치(45)와,
통 형상의 본체부(27)를 갖는 작업물 보유 지지체(25)를 복수 구비하고, 상기 통 형상의 본체부의 한쪽의 개구부가 상기 제1 테이블과 대향하고, 상기 각 작업물 보유 지지체가, 상기 제1 테이블에 접근하거나 혹은 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로, 상기 제1 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하고, 상기 각 작업물 보유 지지체를 사용한 진공 흡착에 의해 제2 작업물(W2)을 보유 지지하도록 구성되어 있는 작업물 보유 지지 장치(19)와,
상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블과 상기 작업물 보유 지지 장치와 상기 테이블 위치 결정 장치를 제어하는 제어 장치(13)를 포함하고,
상기 제2 테이블(17)에는 상기 각 작업물 보유 지지체(25)가 관통하는 관통 구멍(23)이 설치되고, 상기 각 작업물 보유 지지체는 각 연결체(31)의 선단에 설치되는 것에 의해 위치 결정 가능하고,
상기 제어 장치는,
상기 제2 테이블이 상기 제1 테이블로부터 이격되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체가 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 위치하고 있고, 상기 제1 테이블에 상기 제1 작업물이 설치되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체로 상기 제2 작업물을 보유 지지하고 있는 상태에서,
(a) 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블에 근접하는 방향으로 이동시켜, 작업물 보유 지지체로 보유 지지되어 있는 보유 지지 완료된 제2 작업물의 미경화 막 형상체를 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 설치 완료된 제1 작업물에 접촉시켜 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을 상기 설치 완료된 제1 작업물에 설치하고, (b) 상기 제2 테이블을 상기 제1 테이블측으로 이동시켜 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 상기 각 작업물을 끼워 압박하고, (c) 이 압박을 소정 시간 행한 후에, 상기 제2 테이블을 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물로부터 이격시키고, (d) 상기 테이블 위치 결정 장치로 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 각 작업물을 약간 진동시키면서, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격되도록 제어하는, 작업물 설치 장치.
작업물 설치 장치이며,
제1 작업물이 설치되는 제1 테이블과,
상기 제1 테이블에 접근 혹은 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 상기 제1 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능한 제2 테이블과,
상기 제2 테이블의 접근·이격 방향과 직교하는 방향으로, 상기 제1 테이블을 상기 제2 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하게 하는 테이블 위치 결정 장치와,
통 형상의 본체부(27)와, 이 본체부의 한쪽의 개구부에 설치된 점착제(49)를 구비하는 작업물 보유 지지체를 복수 구비하고, 상기 점착제가 상기 제1 테이블과 대향하고, 상기 각 작업물 보유 지지체가, 상기 제1 테이블에 접근하거나 혹은 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로, 상기 제1 테이블에 대해 상대적으로 이동 위치 결정 가능하고, 상기 점착제와 상기 각 작업물 보유 지지체를 사용한 진공 흡착에 의해, 상기 각 작업물 보유 지지체로 제2 작업물을 보유 지지하도록 구성되어 있는 작업물 보유 지지 장치와,
상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블과 상기 작업물 보유 지지 장치와 상기 테이블 위치 결정 장치를 제어하는 제어 장치를 포함하고,
상기 제2 테이블(17)에는 상기 각 작업물 보유 지지체(25)가 관통하는 관통 구멍(23)이 설치되고, 상기 각 작업물 보유 지지체는 각 연결체(31)의 선단에 설치되는 것에 의해 위치 결정 가능하고,
상기 제어 장치는,
상기 제2 테이블이 상기 제1 테이블로부터 이격되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체가 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 위치하고 있고, 상기 제1 테이블에 상기 제1 작업물이 설치되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체로 상기 제2 작업물을 보유 지지하고 있는 상태에서,
(a) 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블에 근접하는 방향으로 이동시켜, 상기 작업물 보유 지지체로 보유 지지되어 있는 제2 작업물의 미경화 막 형상체를 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 제1 작업물에 접촉시켜 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을 상기 설치 완료된 제1 작업물에 설치하고, (b) 상기 제2 테이블을 상기 제1 테이블측으로 이동시켜 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 상기 각 작업물을 끼워 압박하고, (c) 이 압박을 소정 시간 행한 후에, 상기 제2 테이블을 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물로부터 이격시키고, (d) 상기 테이블 위치 결정 장치에 의해 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 각 작업물을 약간 진동시키면서, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격시키도록 제어하는, 작업물 설치 장치.
제2항에 있어서, 상기 설치 완료된 제1 작업물에, 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을 설치할 때에, 상기 제1 작업물과 상기 제2 작업물을 진공 분위기 내에 위치시키는 진공 분위기 생성 장치(21)를 더 구비하고,
상기 제어 장치는, 상기 제2 테이블이 상기 제1 테이블로부터 이격되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체가 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 위치하고 있고, 상기 제1 테이블에 상기 제1 작업물이 설치되어 있고, 상기 작업물 보유 지지체로 상기 제2 작업물을 보유 지지하고 있는 상태에서,
(a) 상기 설치 완료된 제1 작업물과 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물의 위치 어긋남을 상기 테이블 위치 결정 장치로 보정하고, 이 보정 후에 상기 진공 분위기 생성 장치에서 진공 분위기를 생성하고, 이 진공 분위기를 생성하고 있는 상태에서 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블에 근접하는 방향으로 이동시켜, 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물의 미경화 막 형상체를 상기 설치 완료된 제1 작업물에 접촉시켜 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을 상기 설치 완료된 제1 작업물에 설치하고, (b) 상기 제2 테이블을 상기 제1 테이블측으로 이동시켜 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 상기 각 작업물을 끼워 압박하고, (c) 이 압박을 소정 시간 행한 후에, 진공 분위기 생성 장치에 의한 진공 분위기를 없애고, 제2 테이블을 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물로부터 이격시키고, (d) 상기 테이블 위치 결정 장치에 의해 상기 제1 테이블에 설치되어 있는 각 작업물을 약간 진동시키면서, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격시키도록 제어하는 작업물 설치 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 작업물 보유 지지 장치의 작업물 보유 지지체는, 상기 통 형상의 본체부 내에 공기압을 공급할 수 있도록 구성되어 있고,
상기 제어 장치는, 상기 압박을 하여 상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물로부터 이격시킨 후에, 상기 통 형상의 본체부 내에 공기압을 공급함으로써, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격시키도록 상기 작업물 보유 지지 장치를 제어하는, 작업물 설치 장치.
제1 테이블에 제1 작업물을 설치하는 제1 작업물 설치 공정과,
판 형상의 기재의 두께 방향의 한쪽 면에 미경화 막 형상체가 설치된 제2 작업물에 있어서의 상기 기재의 다른 쪽 면에, 진공 흡착에 의해, 혹은 점착제를 사용하여, 혹은 진공 흡착과 점착제를 병용하여 상기 제2 작업물을 보유 지지하는 작업물 보유 지지체를 결합시켜, 상기 제2 작업물을 보유 지지하는 제2 작업물 보유 지지 공정과,
상기 작업물 보유 지지체를 상기 설치 완료된 제1 작업물에 근접시켜, 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물의 미경화 막 형상체를 상기 설치 완료된 제1 작업물에 접촉시켜 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을 상기 설치 완료된 제1 작업물에 설치하는 제2 작업물 설치 공정과,
상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물에 근접시켜, 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블 사이에 상기 각 작업물을 끼워 압박하는 작업물 압박 공정과,
상기 제2 테이블을 상기 제2 작업물로부터 이격시키는 제2 테이블 이격 공정과,
상기 제1 테이블에 설치되어 있는 제1 작업물과 제2 작업물을 약간 진동시키면서, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제1 테이블로부터 이격되는 방향으로 이동시켜 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격시키는 작업물 보유 지지체 이격 공정을 포함하는, 작업물 설치 방법.
제5항에 있어서, 상기 작업물 보유 지지체 이격 공정은, 상기 작업물 보유 지지체에 공기압을 공급함으로써, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 제2 작업물로부터 이격시키는 공정인, 작업물 설치 방법.
제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 작업물 설치 공정에서 제1 작업물을 설치하고, 상기 제2 작업물 보유 지지 공정에서 제2 작업물을 보유 지지한 후, 상기 설치 완료된 제1 작업물과 상기 보유 지지 완료된 제2 작업물을, 진공 분위기 내에 위치시키는 진공 분위기 생성 공정을 갖고,
상기 제2 작업물 보유 지지 공정은, 점착제를 사용하여, 혹은 진공 흡착과 점착제를 병용하여 상기 제2 작업물 보유하는 공정이고,
상기 제2 작업물 설치 공정은, 상기 진공 분위기 생성 공정에서 생성된 진공 상태를 유지한 채, 상기 작업물 보유 지지체를 상기 설치 완료된 제1 작업물에 근접시키는 공정인, 작업물 설치 방법.
진공 흡착, 점착제 중 적어도 어느 하나에 의해 작업물을 보유 지지하고 있는 작업물 보유 지지체를, 상기 작업물, 상기 작업물 보유 지지체 중 적어도 어느 하나에 진동을 부여하여 상기 작업물로부터 이격시키는 것을 특징으로 하는, 작업물 보유 지지체 이격 방법.