KR101414105B1 - 웹의 압접 방법, 압접 장치, 급전 방법, 급전 장치, 연속 전해 도금 장치 및 도금막 부착 웹의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

주행하고 있는 웹에 적어도 1개의 웹의 주행에 맞춰서 접촉면이 회전하는 제 1 대상 환상체를 압접하는 웹의 압접 방법으로서, 제 1 대상 환상체의 접촉면에 대하여 웹의 측에 압접하는 면상의 압력을 부여한다.

웹의 압접 방법, 압접 장치, 급전 방법, 급전 장치, 연속 전해 도금 장치, 도금막 부착 웹의 제조 방법

Description

웹의 압접 방법, 압접 장치, 급전 방법, 급전 장치, 연속 전해 도금 장치 및 도금막 부착 웹의 제조 방법{WEB PRESSURE WELDING, PRESSURE WELDING METHOD, POWER SUPPLY METHOD, POWER SUPPLY DEVICE, CONTINUOUS ELECTROLYTE PLATING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING PLATE FILM-EQUIPPED WEB}

본 발명은 웹의 압접 방법, 압접 장치, 급전 방법, 급전 장치, 연속 전해 도금 장치 및 도금막 부착 웹의 제조 방법에 관한 것이다.

종래, 플라스틱 필름 등의 웹을 주행시키면서 웹에 연속적으로 도금 피막을 형성하는 방법으로서는 웹의 도전면 또는 금속 웹을 급전 롤에 접촉키고 그 전 또는 뒤에 양극이 도금액에 가라앉은 도금욕을 배합하고, 도금욕에서 도금 피막을 형성하는 방법이 알려져 있다. 이러한 방법으로 웹에 연속적으로 도금 피막을 형성하면 음극-양극을 배치한 유닛을 반복적으로 통과시킴으로써 용이하게 웹상에 후막화(厚膜化)한 소망하는 두께의 도금 피막을 형성하는 것이 가능하다(특허문헌 1 참조).

최근, 전자 기기, 전자 부품 및 반도체 패키지 등에 이용되는 형태가 되어 온 플렉서블 회로용 기판으로서, 폴리이미드 필름 또는 폴리에스테르 필름의 웹과 동박(銅箔)을 조합한 형태의 배선 기판이 주목받고 있다. 이 기판에는 웹에 접착제 를 개재시켜서 동박을 서로 부착한 통칭 "3층형"으로 불리는 것과, 웹에 접착제를 사이에 두고 금속 피막을 도금 등으로 형성한 통칭 "2층형"으로 불리는 플렉서블 회로용 기판이 있다. 이들 중 후자의 2층형쪽이 회로의 배선 피치의 미세화의 진행에 따라보다 주목받고 있다.

이들 플렉서블 회로용 기판에 관한 현상은 이하와 같이 되고 있다. 3층형 프린트 회로용 기판은 접착제에 에폭시계 수지 또는 아크릴계 수지가 사용되어 있기 때문에 거기에 포함되는 불순물 이온에 의해 전기 특성이 열화된다는 결점을 갖고 있고, 또한 접착제의 내열 온도가 고작해야 100℃∼150℃이기 때문에 베이스 필름 재질로서 폴리이미드를 사용했다고 한들 그 고내열성(300℃ 이상) 충분히 살려지지 않으므로 고온 실장를 필요로 하는 IC칩으로의 와이어 본딩 등에 있어서는 가열 온도의 스펙 다운(specification down)을 피할 수 없게 되어 있다. 또한, 3층형 프린트 회로용 기판에서는 동박의 일반적인 두께가 18㎛ 또는 35㎛이기 때문에 80㎛ 피치[동(銅) 배선 40㎛, 갭 40㎛] 이하의 패터닝를 행하기 위해서는 동이 지나치게 두꺼워서 에칭율이 현저하게 저하되고, 동박의 표면측의 회로 폭과 접착제면측의 회로 폭이 현저하게 다르고, 또는 에칭에 의해 전체가 현저하게 가늘어져서 목표로 하는 회로 패턴이 얻어지지 않는 결점도 있다.

최근, 상기한 바와 같은 3층형에 있어서의 문제점을 해결하기 위해서 웹상에 접착제를 개재시킨 각종 증착법, 예를 들면, 진공증착법, 스퍼터링법 또는 각종 이온 플레이팅(ion plating)법 등의 PVD법, 금속을 포함하는 약품을 기화해 증착시키는 소위 CVD법 등에 의해 우선 웹 표면에 각종 금속을 증착한 후에, 또는 무전해 도금법으로 각종 금속을 도금한 후에, 전해동(電解銅) 도금함으로써 얻어지는 통칭 "2층형"의 기판이 제안되어 있다. 이 2층형 기판은 전해동 도금에 의해 동 두께를 자유롭게 변화시킬 수 있고, 예를 들면, 8㎛의 동 두께이면, 40㎛ 피치의 회로 패턴이 간단히 작성 가능하게 되고, 또한 각종 웹의 내열 온도가 그대로 반영될 수 있는 특징을 갖는다.

이상과 같은 상황으로부터 도금 피막 부착 필름의 수요가 높아지고 있다. 그러나, 종래의 방법에서는, 전술한 바와 같이, 급전 롤에 웹 도전면을 접촉시켜서 주행시키기 때문에 대단히 델리케이트(delicate)한 웹 도전면에 찰과상이나 이로 인한 밸리(valley) 형상의 돌기 등이 발생하는 경우가 있다. 또한, 급전 롤은 웹 전폭에 접촉시키기 때문에 웹폭이 넓어지면 급전 롤 전장이 그만큼 길어지게 되고, 강도를 유지하기 위해서 롤 직경을 크게 하지 않을 수 없고, 급전 장치 자체의 크기가 커지는 과제도 있다.

최근, 회로 패턴의 미세화가 진전되어 오고 있고, 이것에 따라 도금 피막에 요구되는 표면 품위도 엄격해지고 있다. 따라서, 미소한 찰과상이나 돌기가 발생하지 않는 프로세스의 개발이 예의 진척되고 있다.

특허문헌 2에는 웹의 단부를 급전 클립으로 집어서 쥐고, 그대로 도금액을 통과시켜서 웹에 도금을 시행하는 클립 방식으로 불리는 도금 프로세스가 제안되고 있고, 이 방법에 의하면 제품화하지 않는 웹 단부만을 파지하므로 제품에는 미소 상처 등이 발생하지 않고, 양호한 표면 품위를 얻는 것이 가능하다. 그러나, 급전 클립을 주행시키기 위한 대규모의 반송 시스템이나 급전 클립에 석출한 도금 피막 을 제거하는 해(解) 도금 공정 등 대규모의 부대 설비가 필요하게 된다. 또한, 도금액중에 부유하는 이물은 코스(coarse)로 불리는 도금 결점의 원인이 되기 때문에 도금액중은 높은 클린도가 요구되지만 그 도금액의 상부에 여러가지 가동부가 배치되기 때문에 마모분 등의 이물에 의해 도금액이 오염되기 쉬운 상황이다. 또한, 급전 클립으로 파지한 부분에는 도금되지 않고, 그 부분만 도전막의 두께가 얇아지기 때문에 저항치가 커지고, 대전류를 투입했을 때에 줄열(Joule's heat)에 의해 주위가 변색ㆍ변질되는 등의 문제가 발생한다.

특허문헌 3에는 웹의 단부에 판스프링 형상의 급전 전극을 가압하여 급전하고, 웹에 도금을 실시하는 방법이 제안되어 있고, 이 방법도 마찬가지로 제품부에 있어서는 상처 등이 적은 양호한 표면 품위가 얻어진다. 그러나, 급전 전극이 상시 찰과 상태이기 때문에 전극이 마모됨과 아울러 마모분에 의해 도금액이나 주위의 기기가 오염되는 경우가 있다. 또한, 전극에 의해 항상 브레이크가 걸린 상태가 되기 때문에 웹의 폭방향으로 불균일한 장력 분포를 나타내게 되고, 안정 주행의 관점으로부터 큰 장해가 된다.

특허문헌 4에는 롤 형상의 급전 전극을 이용한 일반적인 종형 도금 장치가 예시되어 있고, 급전 롤 형상의 하나의 종류로서 양단부만이 웹과 접하도록 중앙부의 롤 외경을 작게 한 소위 덤벨 형상의 급전 전극이 제안되어 있다. 이 방법에 의하면 롤이 접촉하지 않는 웹 중앙부에 대해서는 찰과상 등의 표면 결점이 적은 제품을 제조하는 것이 가능하다. 그러나, 롤의 각속도가 양단부에서 각각 동일하게 되므로 웹과 접촉하는 양단부의 외경이 조금이라도 일치하지 않으면 양단부에서 주 속차(周速差)를 나타내기 때문에 극히 높은 가공 정밀도가 요구된다. 또한, 만일 고장난 경우에는 어느쪽인가가 미끄러지면서 접촉하기 때문에 전극의 마모나 폭방향으로 장력 분포를 나타내는 등의 문제가 발생한다.

특허문헌 5에는 부직포의 부피가 큰 특성을 손상하지 않고 도금하기 위해서 웹 중앙부를 접촉시키지 않고, 웹 상단부만을 도금욕으로부터 노출시켜서 그 노출부에 대상 전극(帶狀電極)을 밀착시켜서 급전하는 방법이 제안되어 있다. 이 방법도 마찬가지로 중앙부는 찰과상이나 타흔(打痕)이 발생하지 않는 고품위한 도금막이 얻어진다. 그러나, 이 방법에 의하면 웹 상단은 상시 도금되지 않기 때문에 두께가 대단히 얇고, 저항이 크기 때문에 대전류 투입시에 줄열에 의한 막의 변색ㆍ변질이 발생한다. 또한, 두께 방향으로 탄력성이 모자란 플라스틱 필름 등의 웹에 있어서는 가이드 롤로 웹과 대상 전극을 끼워서 닙력(nip force)에 의해 밀착시키려고 한들 가이드 롤 부분에만 밀착력이 발생하지 않기 때문에 닙핑된 개소 이외의 전극과 웹의 접촉 저항이 커진다. 이로 인해, 대전류 투입시에 열에 의한 문제를 발생시키게 된다.

특허문헌 6에는 반송 롤러상에 있어서 폭이 작은 회전체를 가압하는 반송 방법이 제안되어 있고, 회전체는 급전 전극을 겸할 수 있는 것으로 되어 있다. 이 방법을 이용하여 회전체 급전 전극으로서 웹 단부에 설치함으로써 반송 롤러에 유지면의 반대면은 상처가 적은 제품을 제조하는 것이 가능하다. 그러나, 본 발명자들의 지견에 의하면 이 방식에서는 반송 롤러의 재질을 연한 재질로 하면 전극 에지로 웹에 접힌 주름을 발생시키기 때문에 단단한 재질의 롤러를 사용할 필요가 있 고, 따라서 반송 롤러에 유지면은 상처 문제가 해소되지 않는 경우가 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평7-22473호 공보

특허문헌 2 : 일본 특허 공표 2005-507463호 공보

특허문헌 3 : 일본 특허 공개 2005-248269호 공보

특허문헌 4 : 일본 특허 공개 2003-321796호 공보

특허문헌 5 : 일본 특허 공개 평8-209383호 공보

특허문헌 6 : 일본 특허 공개 2004-263215호 공보

본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 과제를 해소하여 도금 피막 표면에 미소 결함을 발생시키지 않는 전해 도금 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 의하면 주행하고 있는 웹에 적어도 1개의 상기 웹의 주행에 맞춰서 접촉면이 회전하는 제 1 대상 환상체(帶狀環狀體)를 압접하는 웹의 압접 방법으로서, 상기 제 1 대상 환상체의 상기 접촉면에 대하여 상기 웹의 측에 압접하는 면상의 압력을 부여하는 것을 특징으로 하는 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체로서 자성 재료를 포함하는 것을 이용하고, 상기 면상의 압력은 상기 제 1 대상 환상체의 상기 접촉면에 대하여 상기 웹을 향하는 자력에 의해 부여되는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 웹의 상기 면상의 압력 방향의 반대측에 설치된 반력 부여 수단에 의해 상기 자력에 대한 반력을 부여하는 것을 특징으로 하는 청구항 2에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력은 상기 웹을 상기 제 1 대상 환상체의 접촉면과의 사이에서 끼도록 배치되어 장설된 제 2 대상 환상체를 구비한 반력 부여 수단에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 청구항 2 또는 3에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력은 적어도 1개의 반력 부여 회전체를 이용하여 부여되는 것을 특징으로 하는 청구항 4에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 웹을 상기 제 1 대상 환상체의 외주면과의 사이에 끼워서 상기 제 1 대상 환상체가 유지각을 갖고 접하도록 지지 회전체를 배치함으로써 상기 면상의 압력을 부여하는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 지지 회전체를 복수 이용하는 것을 특징으로 하는 청구항 6에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체의 내주면측에서 상기 제 1 대상 환상체 내주면을 향해서 유체를 분출함으로써 상기 면상의 압력을 부여하는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 웹의 상기 면상 압력 방향의 반대측에 설치된 반력 부여 수단에 의해 상기 면상 압력에 의한 힘에 대한 반력을 부여하는 것을 특징으로 하는 청구항 8에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력은 적어도 1개의 반력 부여 회전체를 이용하여 부여되는 것을 특징으로 하는 청구항 9에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력은 상기 웹을 상기 제 1 대상 환상체의 접촉면과의 사이에서 끼도록 배치되어 장설된 제 2 대상 환상체를 구비한 반력 부여 수단에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 청구항 9 또는 10에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체의 폭이 웹의 폭보다도 협폭(狹幅)인 것을 특징으로 하는 청구항 1∼11 중 어느 하나에 기재된 웹의 압접 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 표면에 도전성 박막을 부여한 웹을 연속적으로 주행시키면서 도금 처리조내에서 전해 도금을 시행해서 도금막 부착 웹을 제조하는 연속 전해 도금 장치에 이용되는 급전 방법이며, 청구항 1∼12 중 어느 하나에 기재된 압접 방법에 의해 상기 제 1 대상 환상체를 상기 웹에 압접하고, 상기 제 1 대상 환상체 또는 상기 반력 부여 수단 또는 상기 지지 회전체로서 상기 웹과의 접촉면이 도전성을 갖고, 또한 도금용 전원과 전기적으로 접속된 것을 이용하고, 상기 제 1 대상 환상체 또는 상기 반력 부여 수단 또는 상기 지지 회전체를 경유해서 상기 웹의 도전면에 급전하는 것을 특징으로 하는 급전 방법이 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체의 웹 도전면과의 접촉 면적을 다음식을 만족하는 범위내로 하는 것을 특징으로 하는 청구항 13에 기재된 급전 방법이 제공된다.

[수1]

A : 상기 접촉면의 도전성 박막의 면으로의 접촉 면적[㎟]

I : 투입하는 전류값[A]

R : 접촉부의 접촉 저항치[Ω]

t : 상기 접촉면이 접촉하는 도전막의 두께[㎜]

Q_L : 한계 열량 계수[W/㎣]=8.5×10³W/㎣

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 주행하는 웹에 압접력을 부여하는 압접 장치로서, 적어도 1개의 제 1 대상 환상체와, 상기 제 1 대상 환상체의 내측 및/또는 외측에 배치되어 상기 제 1 대상 환상체에 장력을 부여하는 적어도 2개의 풀리와, 상기 제 1 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 부위로서, 상기 풀리 중 인접하는 적어도 2개의 상기 풀리의 사이에 있어서의 상기 제 1 대상 환상체의 접촉면에 대하여 상기 웹의 주행 경로 측에 압접하는 면상의 압력에 부여하는 면상 압력 부여 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체는 자성 재료를 포함하는 것으로서, 상기 면상 압력 부여 수단은 상기 제 1 대상 환상체와의 사이에 상기 웹의 주행 경로를 끼워서 배치되고, 상기 제 1 대상 환상체와의 사이에 자력에 의해 인력이 발생하도록 구성된 것을 특징으로 하는 청구항 15에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체는 자성 재료의 표면에 내식성 도전성 박막을 부여한 것을 특징으로 하는 청구항 16에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체는 자성 재료의 표면에 내식성 도전성 박막을 부여한 것으로서, 상기 자성 재료의 폭방향 양단 에지부에 R 면취를 실시해서 되는 것을 특징으로 하는 청구항 16 또는 17에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 면상 압력 부여 수단과 상기 웹의 주행 경로의 사이에 상기 자력에 의한 인력에 대한 반력을 부여하는 반력 부여 수단을 배치하는 것을 특징으로 하는 청구항 16∼18 중 어느 하나에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 제 2 대상 환상체와, 상기 제 2 대상 환상체의 내측 및/또는 외측에 배치되어 상기 제 2 대상 환상체에 장력을 부여하는 적어도 2개의 풀리를 갖는 것으로서, 상기 제 2 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 접촉면은 상기 제 1 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 부위와 상기 웹의 주행 경로를 끼워서 대향해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 19에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 반력 부여 회전체인 것을 특징으로 하는 청구항 19에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 면상 압력 부여 수단은 상기 웹의 주행 경로를 상기 제 1 대상 환상체의 외주면과의 사이에 끼워서 상기 제 1 대상 환상체가 유지각을 갖고 접하도록 배치된 지지 회전체인 것을 특징으로 하는 청구항 15에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 지지 회전체를 복수 구비한 것을 특징으로 하는 청구항 16에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 면상 압력 부여 수단은 상기 제 1 대상 환상체의 내주면측에 배치된 유체 토출체로서, 이 유체 분출체의 유체 분출구는 상기 제 1 대상 환상체 내주면을 향해서 유체를 분출하도록 구성된 것을 특징으로 하는 청구항 15에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 웹의 주행 경로를 끼워서 상기 면상 압력 부여 수단과 반대측에 상기 유체의 분출에 의한 힘에 대한 반력을 부여하는 반력 부여 수단을 배치해서 되는 것을 특징으로 하는 청구항 24에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 반력 부여 회전체인 것을 특징으로 하는 청구항 25에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 제 2 대상 환상체와, 상기 제 2 대상 환상체의 내측 및/또는 외측에 배치되어 상기 제 2 대상 환상체에 장력을 부여하는 적어도 2개의 풀리를 갖는 것으로서, 상기 제 2 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 접촉면은 상기 제 1 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 부위와 상기 웹의 주행 경로를 끼워서 대향해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 25 또는 26에 기재된 웹의 압접 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 청구항 15∼27 중 어느 하나에 기재된 웹의 압접 장치로서, 상기 제 1 대상 환상체 또는 상기 반력 부여 수단 또는 상기 지지 회전체는 상기 웹의 주행 경로에 접하는 면이 도전성을 갖는 것이고, 또한, 도금용 전원과 전기적으로 접속된 전극으로서 구성된 것을 특징으로 하는 도금 장치용의 급전 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 표면에 도전성 박막을 부여한 웹을 연속적으로 주행시키면서 도금 처리조내에서 전해 도금을 실시해서 도금막 부착 웹을 제조하는 연속 전해 도금 장치로서, 청구항 28에 기재된 급전 장치를 상기 웹의 주행 경로를 따라 적어도 1개소에 배치해서 결정되는 것을 특징으로 하는 웹용 전해 도금 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 대상 환상체를 상기 웹의 폭방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 29에 기재된 웹용 전해 도금 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 급전 장치를 도금조 전 또는/및 후의 도금욕 이외에 1개소 이상 배치해서 되는 것을 특징으로 하는 청구항 29 또는 30에 기재된 웹용 전해 도금 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 급전 장치를 도금조내의 도금욕상에 적어도 1개소 이상 배치해서 되는 것을 특징으로 하는 청구항 29 또는 30에 기재된 웹용 전해 도금 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 웹의 폭방향이 중력 방향에 대하여 거의 평행이 되도록 주행시키는 것을 특징으로 하는 청구항 29∼32 중 어느 하나에 기재된 웹용 전해 도금 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 적어도 2개의 청구항 29∼33 중 어느 하나에 기재된 웹용 전해 도금 장치를 갖는 다단식 전해 도금 장치로서, 상기 급전 장치의 상기 전극의 상기 도전성 박막의 면으로의 접촉 면적이 상류측에서도 하류측에 배치된 상기 급전 장치 쪽이 작고, 또한 다음식을 만족하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웹용 전해 도금 장치가 제공된다.

[수2]

A : 상기 전극의 도전성 박막의 면으로의 접촉 면적[㎟]

I : 투입하는 전류값[A]

R : 접촉부의 접촉 저항치[Ω]

t : 상기 전극이 접촉하는 도전막의 두께[㎜]

Q_L : 한계 열량 계수[W/㎣]=8.5×10³W/㎣

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 청구항 29∼34 중 어느 하나에 기재된 웹용 전해 도금 장치를 이용해서 제조된 도금막 부착 웹이 제공된다.

본 발명에 있어서 "대상 환상체"라는 것은 대상(帶狀)이고 그리고 환상(環狀)의 물체이고, 후술하는 풀리에 안내되어서 회전하는 것이다. 예를 들면, 대상의 물체를 절단해서 양단부를 서로 연결시켜서 환상으로 한 것 또는 소위 엔들리스 벨트가 이것에 상당한다.

본 발명에 있어서 "지지 회전체"라는 것은 대상 환상체에 부여된 힘에 의해 발생하는 대상 환상체의 변위를 규제하고, 힘을 받아내 반력을 발생시켜 보다 큰 접압을 얻기 위한 회전체를 말한다. 예를 들면 대상 환상체와 같은 엔들리스 벨트상의 것이나 롤러, 풀리 등이 이것에 상당한다.

본 발명에 있어서 "반력 부여 수단"이라는 것은 대상 환상체에 부여된 힘에 의해 발생하는 대상 환상체의 변위를 규제하고, 힘을 받아내 반력을 발생시켜 보다 큰 접압을 얻기 위한 수단을 말한다. 예를 들면 대상 환상체에 부여된 힘의 역방향이 되도록 웹의 반대측으로부터 힘을 더하도록 압착 공기를 분출하는 수단은 이것에 상당한다. 또한, 상기 지지 회전체도 반력 부여 수단의 하나이다.

본 발명에 있어서 "풀리"라는 것은 대상 환상체의 주행을 안내하는 기능과, 대상 환상체에 장력을 부여하는 기능을 갖는 회전체를 말한다. 예를 들면, 원통의 내측에 베어링을 설치해서 고정축에 채우고, 외경이 대상 환상체의 내면에 접촉하도록 된 구조의 것이 적합하게 사용된다. 또한, 대상 환상체의 사행 방지 때문에 풀리의 외경에 크라운 가공을 실시한 것이 바람직하다. 구동의 유무는 묻지 않지만 대상 환상체 회전계의 관성이나 슬라이딩 저항 등에 의한 기계적 로스를 보상하는 정도의 토크를 보급하는 구동 장치를 설치하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서 "면상의 압력"이라는 것은 점이나 선이 아니고, 면으로서 발생하는 힘을 말한다. 예를 들면, 바늘로 찌르는 것은 "점상의 힘", 롤러끼리 롤러로의 웹의 유지 없이 닙핑하는 것은 "선상의 힘"이며, "면상의 힘"의 범주에는 포함되지 않는다. 예를 들면, 자력이나 진공압을 이용하여 대(帶) 등의 판상물을 시트 등에 흡착할 경우나 압착 공기를 이용하여 판상물을 가압하는 경우는 "면상의 힘"이 작용하고 있다고 한다.

또한, 특허문헌 5의 기술과 같이 2개의 대상 환상체에서 웹을 끼워 여기저기 롤러쌍으로 더욱 유지 없이 닙핑하는 경우는 유지 없이 롤러쌍이 닙핑하고 있는 경우는 롤러 자신이나 웹의 변형의 결과 상기 유지각이 5° 이상이 안될 때는 선상의 힘으로 닙핑하는 것으로 간주한다. 또한, 이때는 롤러쌍으로 직접 닙핑하지 않고 있는 부위는 대상 환상체에 주행 방향의 장력이 걸려 있는 것만으로 직접 웹을 끼우는 방향의 압력은 대부분 걸려 있지 않으므로 "면상의 힘"의 범주에 포함하지 않는 것으로 한다.

본 발명에 있어서 "대상 환상체가 롤러와 유지각을 갖고 접한다"는 것은 하나의 롤러에 대상 환상체가 접촉하기 시작하는 외주상의 한점과 중심점을 이은 선과, 그 롤러로부터 대상 환상체가 이탈하기 시작하는 외주상의 한점과 중심점을 연결한 선 사이의 각도(접촉각)가 5° 이상이 되도록 대상 환상체의 패스 라인을 구성한 상태를 말한다. 또한, 롤러쌍에 의한 닙핑의 경우에도 롤러 표면이 변형됨으로써 상기 조건이 충족되는 경우도 포함된다.

대상 환상체의 접촉면에 대하여 웹(또는 웹의 주행 경로)의 측에 압접하는 면상의 압력을 부여하는 것은 압접력의 근원이 대상 환상체에 대하여 직접 작용하도록 하는 것과, 대상 환상체를 장설하거나 이것을 백업하는 부재를 설치하고, 웹 또는 웹의 주행 경로의 측으로부터 압접력의 근원이 대상 환상체의 측을 향해서 압력을 작용시켜 결과적으로 장설 또는 백업된 대상 환상체의 접촉면이 웹 또는 웹의 주행 경로의 측에 면상의 압력을 작용시키도록 하는 것도 포함하고 있다.

본 발명에 있어서 "접촉면"이라는 것은 대상 환상체나 반력 부여 수단이나 반력 부여 회전체의 웹과 접촉하는 면을 말한다.

본 발명에 있어서 "접촉 저항치"라는 것은 전극을 구성하고 있는 대상 환상체, 반력 부여 수단 또는 반력 부여 회전체의 접촉면과 웹의 도전성 박막의 접촉 저항을 말한다. 측정 방법은 실시예1에 기재된 바와 같다.

본 발명에 있어서 "웹의 폭방향이 중력 방향에 대하여 거의 평행"이라는 것은 웹의 폭방향을 중력 방향으로 한 상태를 말한다. 장치의 설계 사상으로서, 웹의 폭방향을 수평하지 않게 수직으로 세운 상태에서 주행시키는 것을 상정하고 있으면, "중력 방향에 대하여 거의 평행"의 범주이며, 웹이 휘어지거나 기계적 오차 등의 영향에 의해 엄밀한 수직으로부터 어긋나 있더라도 "중력 방향에 대하여 거의 평행"에 포함된다. 역으로 의도해서 수직 방향으로부터 비켜 놓고 있는 경우는 이 범주에 포함하지 않는다.

[발명의 효과]

본 발명에 의하면, 대상 환상체를 웹 표면에 안정적으로 밀착시키는 것이 가능하게 되고, 이로 인해, 대상 환상체와 웹의 상대 속도 차이에 의한 찰과상 등의 표면 결점의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 대상 환상체의 접촉폭을 웹폭보다도 좁게 함으로써 비접촉 부분은 당연하게도 대상 환상체의 접촉에 기인하는 표면 결점은 발생하지 않기 때문에 표면 결점 발생의 가능성을 대폭 저하시키는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명에 의한 도금 장치의 일례를 나타낸 개략 공정도이다.

도 2a는 본 발명에 의한 급전부의 일례를 나타낸 개략 사시도이다.

도 2b는 본 발명에 의한 급전부의 일례를 연직 상방으로부터 본 개략도이다.

도 2c는 본 발명에 의한 다른 급전부의 일례를 연직 상방으로부터 본 개략도이다.

도 2d는 본 발명에 의한 다른 급전부의 일례를 연직 상방으로부터 본 개략도이다.

도 2e는 본 발명에 의한 다른 급전부의 일례를 연직 상방으로부터 본 개략도이다.

도 2f는 본 발명에 의한 다른 급전부의 일례를 연직 상방으로부터 본 개략도이다.

도 2g는 본 발명에 의한 다른 급전부의 일례를 연직 상방으로부터 본 개략도이다.

도 2h는 본 발명에 의한 다른 급전부의 일례를 연직 상방으로부터 본 개략도이다.

도 2i는 도 2b의 급전 전극 접촉부를 확대한 모식도이다.

도 3a는 본 발명에 의한 급전 전극의 구조의 일례를 나타낸 단면도이다.

도 3b는 본 발명에 의한 급전 전극의 구조의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 3c는 본 발명에 의한 급전 전극의 구조의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.

도 3d는 급전 전극과 필름 도전면의 전기 저항의 측정 방법을 나타낸 배선 개념도이다.

도 4a는 실시예의 급전 전극 부분의 구조를 나타낸 개략도이다.

도 4b는 실시예의 자석 배치를 나타낸 개략도이다.

도 4c는 실시예에 있어서의 접촉 저항 측정 방법을 나타낸 개략도이다.

도 5는 본 발명에 의한 급전 전극으로의 장력 부여 기구의 일례를 나타낸 개 략도이다.

도 6a는 본 발명에 의한 풀리의 개략 구조의 일례를 나타낸 개략 단면도이다.

도 6b는 본 발명에 의한 풀리의 개략 구조의 다른 일례를 나타낸 개략 단면도이다.

도 6c는 본 발명에 의한 풀리의 개략 구조의 다른 일례를 나타낸 개략 단면도이다.

도 7a는 대상 환상체의 폭방향 양단 에지부의 밸리를 나타낸 평면도의 개념도이다.

도 7b는 대상 환상체의 폭방향 양단 에지부의 카에리(barricade)를 나타낸 단면도의 개념도이다.

도 7c는 본 발명에 의한 급전 전극의 폭방향 양단 에지부의 바람직한 형상의 일례를 나타낸 단면도의 개념도이다.

[부호의 설명]

11 : 도전막 부착 필름 12 : 원반 롤러

13 : 전처리조 14 : 급전부

15 : 도금조 16 : 도금 처리부

17 : 후처리조 18 : 권취 롤러

111 : 플라스틱 필름 112 : 필름 도전막

141 : 급전 전극 142 : 수용측 회전체

151 : 양극 152 : 씰 유닛

201a : 풀리 201b : 풀리

201c : 풀리 201d : 풀리

201e : 풀리 201f : 코로상 전극

202a : 풀리 202b : 풀리

202c : 풀리 203 : 자력 발생 수단

204 : 작은 회전체 205 : 유체 분출 노즐

206 : 유체 207 : 지지 회전체

301 : 수지제 엔들리스 벨트 302 : 표층

303 : 저항 측정기 401 : 브라켓

402 : 고정축 403 : 로터리 커넥터

404 : 전원 케이블 405 : 급전 전극

406 : 도전면 407 : 전압계

408 : 직류 전원 409 : 자석

501 : 슬라이드 블록 502 : 볼트

601 : 베어링 602 : 자동 조심 베어링

603 : 크라운량 71 : 밸리

72 : 카에리 73 : R 면취

θ : 유지각

이하, 본 발명의 일실시형태의 예를 플렉서블 회로 기판용 편면 동 도금막 부착 플라스틱 필름의 제조에 적용한 경우를 예로 들고, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 실시형태에 의한 웹의 연속 전해 도금 장치의 일례의 개략 평면도이다. 장척 필름을 회전하여 인출하고, 도금 처리하고, 제품 롤로서 권취하는 다단식 연속 전해 도금 장치이다. 주된 공정은 플라스틱 필름(111)의 편면에 미리 스퍼터링법 등에 의해 극히 얇은 동합금으로 이루어진 도전막(112)을 형성한 편면 도전막 부착 필름(11)을 권취한 롤 형상체로부터 회전하여 인출하는 회전 인출부(12), 회전하여 인출한 도전막 부착 필름(11)의 도전막(112)에 탈지나 세정 등을 실시하는 전처리 세정부(13), 도전막(112)에 접촉해서 급전을 행하는 급전부(14)와 도금 처리조(15)를 구비한 도금 처리부(16), 도금 피막의 산화 방지를 위한 방청이나, 세정, 건조를 행하는 후처리부(17), 가공을 마친 필름을 권취하는 권취부(18)로 이루어져 있다. 또한, 도금전의 도전막(112)이 청정한 상태이면 전처리 세정부(13)는 생략해도 상관없고, 필요에 따라 후처리부(17)는 생략해도 상관없다.

도금 처리부(16)에 있어서, 급전부(14)에서 도전막(112)에 접하는 급전 전극(141)과 플라스틱 필름(111)에 접하는 수용측 회전체(142)에 의해 도전막 부착 필름(11)이 닙핑되고, 도전막(112)에 급전 전극(141)으로부터 급전됨으로써 도금 처리조(15)에서 도금욕에 침지된 도전막(112)이 음극이 되고, 양극(151)과의 사이에서 상기 도금 회로가 형성되어서 도금 처리된다. 도금 처리조(15)의 출입구에는 필름이 통과하기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 이 슬릿으로부터의 도금액의 누설을 억제해서 도금 처리조(15)에 도금액을 유지하기 위한 씰 유닛(152)이 설치되어 있다. 씰 유닛(152)은 2개의, 예를 들면 고무 롤러 등의 탄성 롤러에 의해 필름을 끼워서 씰링하는 유닛이나 2장의 판 간극을 컨트롤해서 액누설량을 제어하는 유닛이 적합하게 사용된다. 기본적으로는 회전 인출부(12)와 권취부(18)에서 필름(11)에 장력을 부여하는 것이나 주행 속도를 결정하는 것 등의 소위 필름의 주행을 담당하지만 그 이외에도 예를 들면 씰 유닛(152)이나 급전 전극(141) 등이 필름의 주행에 관여해도 좋다.

투입되는 도전막 부착 필름(11)의 플라스틱 필름(111)의 두께는 5㎛∼80㎛의 것이 적합하게 사용된다. 재질로서는 비닐계 수지, 아라미드계 수지, 나일론계 수지 등의 여러가지 수지가 사용되지만 그 중에서도 폴리에스테르 수지나 폴리이미드 수지가 적합하게 사용되고, 특히 반도체 패키지 용도 등의 내열성의 요구되는 제품에 대해서는 폴리이미드 필름를 사용하는 것이 바람직하다. 도전막(112)을 형성하는 방법으로서는 도전막을 접착제에 의해 필름에 부착하는 방법이나 스퍼터링법, 증착법 등의 방법에 의해 필름에 직접 성막하는 방법 등 여러가지 방법이 적용 가능하지만 접착제를 이용해서 부착하는 방법에서는 필름의 내열 온도보다도 접착제의 내열 온도쪽이 낮은 경우가 많아서 내열성의 관점으로부터 도전막을 필름에 직접 성막하는 방법이 바람직하고, 도전막의 수지 필름에 대한 높은 밀착성을 확보하는 관점으로부터 스퍼터링법에 의해 성막하는 것이 보다 바람직하다. 도전막의 두께가 0.005㎛ 이하인 경우는 한결같이 막을 형성하지 않는 것이 많고, 도상(島狀)으로 성막되거나 성막되지 않는 부분이 발생하거나 하기 때문에 도전막(112)의 두 께는 0.005㎛ 이상 성막한 것이 적합하게 사용된다. 도전막의 전기 저항을 작게 해서 큰 전류를 도전막에 데미지를 주지 않고 흘리기 위해서 0.08㎛ 이상으로 하고, 또한 생산성의 관점으로부터 0.25㎛ 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 스퍼터 프로세스는 일반적으로 생산성이 낮고, 두꺼운 막을 형성하기 위해서는 높은 비용이나 시간을 소비하기 때문이다.

급전부(14)의 일례에 대해서, 전극 근방을 확대한 개략 사시도를 도 2a에, 또한 연직 상방으로부터 본 개략도를 도 2b에 각각 도시하였다. 도전막 부착 필름(11)의 필름 도전면(112)에 접촉하도록 도금용 전원과 전기적으로 접속된 급전 전극(제 1 대상 환상체)(141)을 배합하고, 이 급전 전극(141)을 유지해 장력을 부여해서 회전을 안내하기 위한 풀리(201a, 201b, 201c)를 급전 전극(141)에 내접하도록 배치하고, 급전 전극(141)에 대하여 도전막 부착 필름(11)을 끼워서 대향하도록 수용측 회전체(142)로서 제 2 대상 환상체를 사용하고, 이것을 유지해 장력을 부여해서 회전을 안내하기 위한 풀리(202a, 202b, 202c)를 배치한 구조이다. 도금용 전원과 급전 전극(141)의 접속에 관해서는 전기적으로 접속되고 있으면 무엇이든지 좋고, 예를 들면 도금용 전원에 접속된 전극판이나 브러시상 전극을 급전 전극(141)에 접촉시켜 슬라이딩시키면서 급전하는 방법이 이용되지만 찰과에 의한 마모나 발진을 방지하는 관점으로부터 회전하면서 통전 가능한 코로상 전극(201f)을 급전 전극(141)에 접촉시켜서 통전하는 방법이 바람직하고, 급전 전극(141)을 도전성을 갖는 금속만으로 구성하는 등 해서 내주면과 외주면의 사이가 절연되지 않고 있는 것을 이용하면 풀리(201a, 201b, 201c) 등에 전원을 접속함으로써 부품 점수 를 삭감할 수 있고, 구조도 간략화되기 때문에 보다 바람직하다. 이 경우는 전원과 접속되는 풀리의 재질은 구리나 은 등의 체적 저항률이 낮은 금속 재료를 이용하는 것이 적합하다.

급전 전극(141)은 도전성을 갖는 대상 환상체이다. 예를 들면 도 3a, 3b, 3c의 단면도에 도시된 바와 같이, 고무 등의 수지제 엔들리스 벨트(301)의 표층(302)에 도전성을 부여하기 위해서 금속 코팅한 것이나, 금속대의 양단을 서로 연결시켜서 환상으로 한 것이나, 상기 주조 등의 방법에 의해 금속막을 환상으로 성막한 것을 이용하는 것이 바람직하고, 전기 저항을 작게 하기 위해서 도전성을 부여하는 부분에는 저항률이 낮은 합금이나 순금속을 이용하는 것이 보다 바람직하다. 전기 저항은, 도 3d에 도시된 바와 같이, 필름 도전면(112)상에 급전 전극(141)을 접촉시켜 규정의 접촉압을 부여한 상태에서 필름 도전면(112)과 급전 전극(141)의 저항치를 측정함으로써 얻어진다. 이때, 필름 도전면(112)과 급전 전극(141)의 가능한 한 가까운 점을 측정함으로써 접촉 저항치에 가까운 수치가 얻어진다. 이와 같이 하여 측정한 전기 저항은 줄열에 의한 열적 데미지의 경감이나 전력 손실 경감의 관점으로부터 500mΩ 이하, 보다 바람직하게는 100mΩ 이하가 되도록 구성하는 것이 좋다. 급전 전극(141)에 걸리는 장력은 전극이 흘러내리지 않는 정도의 극히 낮은 장력이 바람직하다. 이것은 후술하는 면상 압력 부여 수단에 의해 급전 전극(141)의 접촉면이 받는 힘을 가능한 한 고효율로 필름 도전면(112)과의 접압으로서 이용하기 위함이다. 급전 전극(141)의 접촉면과 필름 도전면(112) 사이의 접압은 급전 전극(141)의 접촉면을 필름 도전면(112)측으로 변위시키는 힘에 대하여 그 변위를 저지하는 외부 저력을 발생(또는 그 반대의 작용)시킴으로써 발생되지만 이 때 급전 전극(141)의 장력이 큰 경우, 면상 압력 부여 수단에 의해 받은 힘의 대부분이 변위를 방해하려고 하는 장력에 의한 내부 저력을 부정하기 위해서 사용되기 때문에 변위시키는 힘이 작아지고, 결과로서 접압이 작아지게 되는 것이다. 접압이 지나치게 작을 경우나 전혀 접압이 걸려 있지 않은 상태에서는 급전 전극과 필름 도전면의 사이에 도금액을 끼우는 경우가 있다. 이 경우, 급전 전극과 필름 도전면의 사이에 도금 회로가 형성되기 때문에 급전 전극에 도금 금속이 석출된다. 이로 인해, 큰 접압을 부여하는 것이 바람직하다. 또한, 급전 전극(141)의 필름 도전면(112)과의 접촉면은 면접촉으로 할 필요가 있다. 접촉 면적의 크기는 식2의 수치 이상으로 하는 것이 발열 억제의 관점으로부터 바람직하다. 상세한 것은 후술한다.

[수3]

A : 상기 접촉면의 도전성 박막의 면으로의 접촉 면적[㎟]

I : 투입하는 전류값[A]

R : 접촉부의 접촉 저항치[Ω]

t : 상기 접촉면이 접촉하는 도전막의 두께[㎜]

Q_L : 한계 열량 계수[W/㎣]=8.5×10³W/㎣

접촉 면적은 큰 쪽이 발열에 대하여 유리하지만 어느정도의 크기를 초월하면 대부분 발열의 영향은 나타나지 않기 때문에 발명자들이 실험에서 얻은 지견에 의하면, 식1의 범위내로 하는 것이 효율적이므로 보다 바람직하다. 식중, 한계 열량 계수(Q_L)는 발명자들이 실험의 결과 얻은 지견에 의하면 8.5×10³[W/㎣]가 되지만 더욱 안전 계수를 고려해서 1.0×10³[W/㎣]를 이용하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 접촉 면적은 접촉면의 필름 폭방향의 길이와 필름 주행 방향의 길이의 적(積)에 의해 구해진다. 필름 폭방향의 접촉면 길이는 가능한 한 작은 쪽이 필름 도전면에 접촉하는 범위가 작아지기 때문에 접촉 상처 등이 적은 면이 많이 얻어지므로 바람직하다. 단, 지나치게 작으면 필름의 사행이나 기계적 오차 등의 영향에 의해 정확한 접촉이 얻어지지 않을 우려가 있기 때문에 3㎜ 이상 15㎜ 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 한편, 주행 방향길이는 접촉 면적이 식1의 범위내가 되도록 적당히 설정하면 좋다. 또한, 급전 전극(141)의 필름 도전면(112)과 접촉하는 면의 표면 흠도는 JIS B0601-2001에 규정의 산술 평균 거칠기 Ra=0.1㎛∼50㎛로 하는 것이 바람직하다. 요철이 큰 표면, 즉 산술 평균 거칠기가 큰 표면은 그 표면적이 커지므로 접촉 면적 증대에 기여하지만 지나치게 크면 필름 도전면이 접촉면의 요철에 밀착할 수 없어 진실 접촉 면적은 작아진다. 적당한 압력으로 접촉 면적을 확보하기 위해서 Ra=0.8∼6.3㎛로 하는 것이 보다 바람직하다.

또한, 도 2b의 예는 급전 전극(141)의 필름 도전면(112)으로의 접촉면에 면상 압력을 부여하기 위한 면상 압력 부여 수단으로서 자력 발생 수단(203)을 사용한 예이다. 이 경우는 급전 전극(141)에 예를 들면 니켈이나 철 등의 자성을 가진 재료를 이용해서 자성을 갖게 하고, 수용측 회전체(142)측에 자력 발생 수단(203)으로서 예를 들면 영구 자석을 배치함으로써 구성한다. 자력 발생 수단(203)은 전자석 등 자력을 발생하는 것이면 좋지만 페라이트 자석, 네오디뮴 자석(Neodymium magnet), 코발트 자석 등의 영구 자석이 저렴해서 바람직하고, 그 중에서도 네오디뮴 자석은 자속 밀도가 높기 때문에 보다 바람직하다.

또한 이 경우 전술한 바와 같이, 급전 전극(141)은 자성 재료로 구성되지만 자성 재료는 내식성이 없는 경우가 많고, 비교적 빠른 시기에 급전 전극(141)이 부식에 의해 사용할 수 없는 케이스가 많다. 따라서, 금이나 백금이나 이리듐, 루테늄, 로듐, 팔라듐, 하프늄, 탄탈, 텅스텐, 티타늄, 코발트, 지르코늄, 니오븀 등의 도전성과 내식성을 함께 가진 금속 재료나 그 합금을 표면에 코팅하는 것이 바람직하다. 내식성의 평가로서는 본 실시형태에 있어서는 황산동이 100g/L∼300g/L, 황산이 10g/L∼150g/L, 염소가 1㎎/L∼100㎎/L 포함되는 황산동 도금액에 24시간 침지 했을 때에 침지 전후에서의 중량 변화율이 1% 미만인 것을 내식성을 갖는 것으로 평가했다. 또한, 실제로 사용하는 액에 대한 내식성이 중요하므로 실제로 사용하는 도금액을 사용해서 이번의 방법과 마찬가지로 내식성을 평가하는 것이 바람직하다. 도전성에 대해서는 일반적으로 절연체로 불니는 체적 저항률 1×10⁶Ωㆍm 이 상의 것 이외의 재료는 도전성을 갖는 것으로 간주하고, 1 ×10^-6Ωㆍm 이하의 재료를 이용하는 것이 줄열 저감의 관점으로부터 바람직하다. 코팅 방법으로서는 증착이나 용사(溶射)나 도금 등의 방법이 적합하게 사용된다. 코팅막의 두께는 그 구성상 얇은 막에 대량의 전류를 흘려보낼 필요성이 있기 때문에 지나치게 얇으면 발열할 우려가 있다. 따라서, 0.5㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하다. 역으로, 지나치게 두꺼운 경우는 만곡 응력에 의해 표면에 크랙을 발생시키거나 심한 경우에는 박리를 발생시키기 때문에 1㎜ 이하로 하는 것이 바람직하다. 발열 억제와 막의 파괴 방지를 위해 바람직한 두께 범위로서는 1㎛ 이상 30㎛ 이하이다. 자성 재료에서 대상 환상체를 구성한 단계에서는 그 폭방향 양단 에지부를 마이크로(micro)적으로 보면, 도 7a에 도시된 바와 같이, 일반적으로 밸리로 불리는 예리한 돌기상의 것(71)이 남아있거나, 도 7b에 도시된 바와 같이, 일반적으로 카에리와 불리는 고조(72)가 발생하는 경우가 많다. 도 7a는 대상 환상체의 폭방향 양단 에지부의 밸리를 나타내는 평면도의 개념도, 도 7b는 대상 환상체의 폭방향 양단 에지부의 카에리를 나타내는 단면도의 개념도이다. 이들 부분은 급전 전극(141)의 회전에 따라 응력을 받았을 때 표면의 코팅막이 박리되는 기점이 되기 쉽고, 또한 특히 전해 도금법으로 코팅할 때에 있어서는 밸리나 카에리에 전계 집중하기 쉽기 때문에 다른 부분보다도 두께가 두꺼워지고, 만곡 응력 발생시에 깨지는 경우도 있다. 이들 코팅막의 파괴가 발생하면 그 부분으로부터 내부의 자성 재료에 부식이 발생하기 쉽고, 또한 일단 부식이 개시되면 국부 전지 효과에 의해 가속도적으로 자성 재료의 부식이 진행되고, 전극으로서의 수명이 극히 단축되는 문제가 발생한다. 따라서, 도 7c에 도시된 바와 같이, 가능한 한 각이 유지되지 않도록 R 면취(73)를 실시하는 것이 보다 바람직하다. 도 7c는 본 실시형태에 의한 급전 전극의 폭방향 양단 에지부의 바람직한 형상의 일례를 나타낸 단면도의 개념도이다.

면상 압력 부여 수단으로서는 자력을 사용하는 방법 이외에 도금액이나 공기 등의 유체를 급전 전극(141)의 이면[풀리(201c)측]으로부터 수용측 회전체(142)측을 향해서 분사하는 바와 같은 도 2f에 도시된 방법이어도 좋다. 이 경우는 기계 구조를 단순화할 수 있고, 접촉압의 조정을 간단히 할 수 있는 이점이 있다. 또한, 도 2g나 도 2h에 도시된 바와 같이, 도전막 부착 필름(11)과 함께 급전 전극(141)을 지지 회전체(207)에 대하여 유지각(θ)을 부여해서 유지하고, 급전 전극(141)에 장력을 걸어서 가압하는 압력을 확보하는 바와 같은 방법도 가능하다. 이 방법에서는 면상 압력을 부여하기 위한 특별한 기계 요소가 필요없고, 기계 구조를 단순화할 수 있다. 한편, 도 2b과 같은 자력을 사용하는 것이나, 도 2f와 같은 유체를 사용하는 것이나, 도 2g나 도 2h와 같은 유지를 사용하는 것 등의 요소를 조합시킨 것이라도 상관없다. 이상으로 예시한 바와 같은 수단으로 급전 전극(141)의 필름 도전면(112)과의 접촉면의 거의 전면에 급전 전극(141)의 접촉면을 필름 도전면(112)에 가압하는 면상 압력을 부여한다. 또한, 도 2g에 도시된 구조의 경우에 있어서는 지지 회전체(207)와 급전 전극(141)의 역할을 스위칭해도 접촉 면적은 대부분 변하지 않기 때문에 필름 도전면(112)측에 지지 회전체(207)을 배치하여 지지 회전체(207)로부터 통전하는 것도 가능하다.

도 2b로 돌아간다. 도 2b의 예에 있어서, 반력 부여 수단인 수용측 회전체(142)는 급전 전극(141)의 장력보다도 강한 장력으로 설정하는 것이 바람직하다. 도 2b 중의 접촉 부분(환인)을 확대한 모식도를 도 2i에 나타낸다. 저장력(低張力)의 급전 전극(141)이 도전막 부착 필름(11)에 접하고, 동시에 자력 발생 수단(203)에 의해 발생하는 자력에 의해 수용측 회전체(142)측으로 당겨지는 것을 수용하고, 수용측 회전체(142)와 급전 전극(141)의 사이에 압력을 발생시켜 도전막 부착 필름(11)과 급전 전극(141)의 사이에 접압을 발생시키기 위함이다. 도 2b 중 풀리(201a)와 풀리(201b) 사이의 거리에 대하여 풀리(202a)와 풀리(202b) 사이의 거리는 동일하지만 긴 것이 바람직하다. 이것은 급전 전극(141)의 필름 도전면(112)과의 접촉면 전면에 걸쳐 수용측 회전체(142)와의 사이의 압력을 발생시키기 위함이다. 만약 도전막 부착 필름(11)에 걸리는 주행 방향 장력이 큰 경우나 강성이 커서 휘기 어려운 경우는 수용측 회전체(142)를 배치하지 않는 도 2c와 같은 구성으로 하는 것도 가능하다. 또한, 도 2d에 도시된 작은 회전체(204)를 나열한 바와 같은 구성으로도 좋고, 이 경우는 도 2b의 수용측 회전체(142)의 주행을 가이드하는 기계 구조가 불필요하여 장치를 간소화할 수 있는 장점이 있다. 또한, 도금액이나 공기 등의 유체를 분사하여 반력을 발생시키는 바와 같은 도 2e에 도시된 구조이어도 좋고, 이 경우는 반력의 크기를 임의로 조절할 수 있는 것이나 기계 구조가 간소화될 수 있는 등의 장점이 있다. 또한, 이들 요소를 조합시킨 바와 같은 것이라도 상관없다. 또한, 작은 회전체(204)는 구(球)이어도 원통상이어도 좋지만 가능한 한 큰 면으로 반력을 발생시키는 바와 같이 원통상의 회전체를 사용하는 것이 바람 직하다.

도 2b로 돌아간다. 도 2b 중 풀리(201a)와 풀리(201b) 사이의 급전 전극(141)의 필름 도전면(112)과의 접촉면이 실제로 전자의 주고받기를 행하는 면이 된다. 이 부분의 접촉 면적이 작을 경우 접촉 저항에 의한 줄열에 의해 통전시에 발열하기 때문에 접촉부 근방에 변색이나 변질을 발생시키고 심한 경우에는 도전막의 소손(燒損)에 이른다. 이로 인해, 접촉부의 접촉 면적은 식2의 수치 이상으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 식중의 한계 열량 계수(Q_L)는 발명자들이 예의 검토의 결과 얻은 제품에 악영향을 끼치지 않는 상한의 단위 체적당의 발열량에 관한 실험 값이다. 급전 전극(141)의 사행을 억제하기 위해서 풀리(201a, 201b, 201c) 중 적어도 1개의 풀리에 도 6a의 개략 단면도에 도시된 바와 같은 크라운 가공을 실시하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, 예를 들면 도 6c의 개략 단면도에 도시된 바와 같이, 풀리(201c)를 고정축(402)에 회전 가능하게 부착하기 위한 베어링에 자동 조심 베어링(602)을 이용하는 등 하고, 풀리 자체를 기울임 가능하게 유지하는 바와 같은 기구로 하는 것이 사행 방지의 관점으로부터 좋지만 이 경우는 필름 도전면(112)에 접하지 않고 있는 풀리에 사용하는 것이 바람직하다. 급전 전극(141)의 형상이 JIS-K6323-1995에 기재된 V 벨트상의 것이라면 풀리의 형상을 JIS-B1854-1987에 기재된 V 풀리상의 것으로 하면 사행 방지가 가능하다. 또한, 급전 전극(141)에 걸리는 장력을 조정하기 위해서 어느쪽인가의 풀리간의 간격을 조정하는 기구가 적합하게 사용된다. 일례로서 도 5에 개략 구조를 도시했지만, 도 5는 도 2c의 필름 도전막(112)으로부터 아래 부분을 도면 좌측으로부터 보았을 때의 개략도이다. 슬라이드 블록(501)을 도중 좌우 방향으로 움직임으로써 풀리 간격을 변화시켜서 급전 전극(141)에 장력을 부여하고, 적당한 장력을 건 상태에서 볼트(502)를 조임으로써 고정하는 바와 같은 기구가 적합하게 사용된다. 또한, 전술한 바와 마찬가지로 급전 전극(141)에는 그것이 흘러내리지 않는 정도의 가벼운 장력을 거는 것이 바람직하다. 이외에도 편심 캠을 이용해서 풀리 간격을 조정하는 방법이나 용수철이나 공기압 등을 이용해서 장력 부여하는 기구가 적합하게 사용된다. 이들 장력 부여 기구는 어느 것인가 1개의 풀리에 사용하면 좋지만 장력 조정시마다 접촉 면적 등이 변화되지 않도록 필름 도전면(112)에 접촉하지 않고 있는 장소, 예를 들면 풀리(201c)에 사용하는 것이 바람직하다. 풀리(201a, 201b, 201c)는 각각 구동의 유무는 묻지 않지만, 장치 간략화의 관점으로부터는 도 6a, 도 6b의 개략 단면도에 도시된 바와 같은 구조로서 베어링(601)으로 회전 가능하게 지지하고, 필름에 종동 회전시키는 것이 바람직하고, 주행 안정화의 관점으로부터는 도 6a에 도시된 구조를 사용해서 풀리(201a)의 상단 부분에 벨트나 톱니바퀴, 마찰판 등을 통해 모터 등의 동력원을 접속하고, 급전 전극(141) 등의 회전체의 관성이나 슬라이딩 저항 등의 기계적 로스를 보충하는 것만의 토크를 보급하는 정도의 구동을 거는 것이 바람직하다. 또한, 풀리는 급전 전극에 접하고 있기 때문에 풀리 자체 또는 베어링 또는 축을 세라믹이나 수지 등의 절연체로 구성해서 급전 전극과 장치 부재를 전기적으로 절연하는 것이 바람직하다. 이때, 풀리, 베어링, 축과도 높은 가공 정밀도가 필요하기 때문에 수지가 아닌 세라믹을 이용하는 것이 보다 바 람직하다.

상기한 바와 같은 급전 전극을 도금 장치의 급전 전극으로서 사용함으로써 급전 전극이 접촉하지 않는 부분의 표면 품위가 대단히 높은 도금막을 성막하는 것이 가능하게 되기 때문에 바람직하다. 또한, 급전 전극(141)과 필름 도전면(112)의 접촉부를 제품화 범위 밖으로 설정함으로써 대단히 고품위의 제품이 얻어지므로 보다 바람직하다. 이때, 도금조 외부에 급전 전극을 설치하면 급전 전극으로의 도금 금속의 석출을 억제할 수 있기 때문에 전극해 도금 공정 등의 부대 설비가 불필요하게 되므로 바람직하다. 또한, 도금조내에서 국부적으로 도금액면 레벨을 저하시켜서 필름 도전면을 노출시켜 거기에 접촉하도록 급전 전극을 배치하면 긴 도금조에 있어서도 필름 도전면의 막저항의 영향을 최소한으로 억제할 수 있으므로 바람직하다.

도 1에 도시된 바와 같은 다단식 도금 장치에 있어서는 필름 도전면(112)의 도전층 두께가 얇은 도금 전반에 있어서 급전 전극(141)의 접촉 면적을 크게 하고, 하류측도 접촉 면적을 작게 함으로써 각각 필요 최소한의 크기로 콤팩트한 설계를 할 수 있어 장치 가격의 면에서 바람직하다.

상기한 바와 같은 도금 장치에 의해 성막된 도금 표면은 대단히 표면 품위가 높기 때문에 특히 높은 표면 품위가 요구되는 플렉서블 회로 기판 용도의 도금막 부착 플라스틱 필름의 제조에 적합하게 사용된다.

상기한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면 대상 환상체나 웹을 대상 환상체와의 사이에서 닙핑하고, 반력 부여 수단이나 지지 회전체 등에 도금용 전원을 접속 하고, 도금용 급전 전극으로서 사용함으로써 웹 도전면에 전극을 안정적으로 밀착시키는 것이 가능하게 되기 때문에 전극과 웹 도전면의 접촉 저항을 낮게 억제할 수 있음으로써 전극 근방에서의 발열에 의한 막의 변색이나 변질, 소손 등을 억제할 수 있고, 또한, 전극과 웹 도전면의 사이에 도금액이 대부분 억지로 들어갈 수 없으므로 전극으로의 도금 금속의 석출을 억제할 수 있기 때문에 표면 품위가 극히 높은 도금막을 성막하는 것이 가능하게 된다. 또한, 급전 전극이 회전체이므로 웹의 주행을 저해하는 힘의 발생이 억제되어 안정 주행이 가능하고, 또한 마모분 등의 오염물을 발생시키는 것도 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 의하면 급전 전극 자체의 크기가 작아질 수 있으므로 급전 장치 자체의 크기를 콤팩트하게 하는 것이 가능하게 된다. 이것은 같은 장치전장에서도 도금 처리조를 보다 길게하는 것으로 연결되고, 생산성 향상 및 장치 코스트 다운에 기여한다.

또한, 본 실시형태에 의하면 도금 처리조 외에만 급전 전극을 설치함으로써 급전 전극 자체로의 도금 금속의 석출이 억제되기 때문에 급전 성능이 안정됨과 아울러 해 도금 공정 등의 부대 공정이 불필요하게 되어 장치 코스트 다운에 기여한다. 또한, 급전 전극이 접촉하는 영역에도 도금 처리가 실시됨으로써 급전 전극 접촉부의 막저항에 기인하는 발열도 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 의하면 도금 처리조내에 있어서, 도금액면 레벨을 국소적으로 내리고, 노출된 웹 단부에 접촉하도록 급전 전극을 설치함으로써 급전 전극 자체로의 도금 금속의 석출이 억제되면서 도금조내에서의 급전이 가능하게 된다. 이에 따라, 긴 도금조에 있어서도 웹 도전막 저항의 영향을 최소한으로 할 수 있고, 전류 밀도 분포를 최적화하는 것이 가능하게 되기 때문에 생산성을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시형태에 의하면 유연한 웹인 플라스틱 필름을 안정적으로 주행시키는 것이 가능하기 때문에 도금막 부착 플라스틱 필름의 제조에 적합한 것이다. 또한, 비교적 연하여 상처가 발생하기 쉬운 동을 도금할 경우에 있어서는 특히 적합하고, 높은 표면 품위가 요구되는 플렉서블 회로용 기판의 제조에는 본 발명의 표면 결점 억제 효과 및 웹의 주행 안정성의 효과가 가장 잘 얻어진다.

[실시예]

이하에 구체적인 실시예를 가지고 본 발명을 상세히 설명한다. 또한, 본 발명은 이들 구체적인 실시예에 한정되는 것이 아니다.

[실시예1]

급전부의 장치 구성은 도 2b에 도시된 바와 같다. 도 2b를 도면의 하측(필름의 도전면측)으로부터 본 개략도를 도 4a에 도시하였다.

급전 전극(141)에는 전주에서 제작한 폭 30㎜, 두께 0.1㎜의 순 니켈제 엔들리스 벨트를 사용하였다. 표면 거칠기는 중심선 평균 거칠기(Ra)에서 0.8㎛이었다. 풀리(201a, 201b)는 인탈산동(C1220)을 사용하여 제작하고, 각각 편측 축단부에 미국 메루코테크사제 "로터리 커넥터MODEL1250-SC"403을 부착하여 도금용 전원의 음극과 접속된 전원 케이블(404)과 접속했다. 풀리 외경 60㎜, 면장 35㎜, 전장 70㎜에서 양단의 축부분에 베어링을 부착한 것을 사용했다. 풀리면 전면에 고저차 0.3 ㎜의 크라운 가공을 실시했다. 양축단의 베어링에는 수지 베어링을 사용하고, 풀리를 파지하기 위한 브라켓(401)에 고정함으로써 브라켓 본체와 전기적으로 절연하는 구성으로 했다. 또한, 풀리(201c)는 SUS304를 사용하여 제작했다. 풀리 외경 60㎜, 면장 35㎜로 해서 고저차 0.3㎜의 크라운 가공을 실시했다. 풀리(201c)는 브라켓에 고정된 고정축에 자동 조심 베어링을 통해 회전ㆍ기울임 가능하게 부착되는 구조로 했다. 급전 전극(141)에 걸리는 장력은 각 풀리간에서 자연히 휨이 발생하지 않는 정도만 풀리(201c)를 멀리하도록 해서 설정했다. 풀리(201a)와 풀리(201b)의 중심간 거리는 150㎜로 했다.

수용측 회전체(142)에는 폭 30㎜, 두께 0.1㎜의 SUS304H의 강대(鋼帶)의 양단부를 용접으로 서로 연결시킨 SUS벨트를 사용했다. 풀리(202a, 202b)는 각각 SUS304로 제작하고, 풀리 외경 60㎜, 면장 35㎜로 해서 고저차 0.3㎜의 크라운 가공을 실시했다. 풀리(202a, 202b)는 심구옥(深溝玉) 베어링을 통해 브라켓에 고정된 고정축에 회전 가능하게 부착하는 구조로 했다. 또한, 풀리(202c)는 SUS304를 사용하여 제작했다. 풀리 외경 60㎜, 면장 35㎜로 해서 고저차 0.3㎜의 크라운 가공을 실시했다. 풀리(202c)는 브라켓에 고정된 고정축에 자동 조심 베어링을 통해 회전ㆍ기울임 가능하게 부착되는 구조로 했다. 수용측 회전체(142)의 장력은 계산상 200N 걸리도록 풀리(202c)를 멀리하도록 해서 설정했다. 풀리(202a)와 풀리(202b)의 중심간 거리는 200㎜로 했다.

면상 압력 부여 수단으로서 자력 발생 수단(203)을 이용했다. 자력 발생 수단(203)에는 폭 30㎜, 길이 10㎜, 두께 5㎜의 두께 방향으로 자화(磁化)한 잔류 자 속 밀도 350mT의 네오디뮴 자석을, 도 4b에 도시된 바와 같이, 길이 방향으로 15개, 모두 N극이 급전 전극(141)측이 되도록 1㎜씩 간극을 형성해서 나열하여 배치한 것을 사용했다. 또한, 네오디뮴 자석은 부식되기 쉽고, 도금액 비산 환경하에서는 붕괴의 우려가 있기 때문에 전면 니켈 도금을 실시한 것을 이용했다.

급전 전극(141)과 수용측 회전체(142)의 접촉 부분에 있어서의 급전 전극(141)과 수용측 회전체(142)의 간극은 필름을 끼우지 않고 있는 상태에서 제로가 되도록 조정했다. 또한, 자력 발생 수단(203)과 수용측 회전체(142)의 간극은 2.5㎜∼3㎜에 들어가도록 조정했다.

상기 급전부(14)를 도전막이 가장 얇을 때의 급전 능력의 검증을 위해 도 1의 도금 장치의 최초의 도금 처리부(16)와, 투입 전류가 가장 클 때의 급전 능력의 검증을 위해 도 1의 최후의 도금 처리부(16)에 사용하고, 도전막 부착 폴리이미드 필름의 동 도금 가공 실험을 실시했다. 또한, 최초와 최후에 끼워져 있었던 사이의 도금 처리부(16)에는 본 발명자들의 출원에 의한 일본 특허 출원 2007-076040호에 기재되어 있는 급전 전극을 사용했다. 최초의 도금 처리부의 투입 전류는 20A, 최후의 도금 처리부에 투입하는 전류는 200A로 설정했다. 투입한 도전막 부착 폴리이미드 필름의 구성은 폭 520㎜, 길이 500m, 두께 38㎛의 도레이듀퐁사제 폴리이미드 필름 "카푸톤EN"의 편측 표면에 0.1㎛의 동합금을 스퍼터링법에 의해 성막한 것이다. 최초의 도금 처리부, 최후의 도금 처리부 모두 급전 전극과 필름 도전면의 접촉 면적은 2250㎟로 하고, 접촉면의 필름 폭방향의 길이는 15㎜로 했다. 도금 조건으로서는 원반을 도금 장치에 투입하고, 도금 가공을 실시해서 최종적으로 8.5㎛의 동 도금막이 얻어지는 생산 조건으로 하고, 이때의 필름 주행 속도는 1.0m/min이었다. 또한, 스퍼터링법에 의해 성막된 도전막의 표면 저항률은 JIS K7194-1994에 준거하고, 미쓰비시화학제 표면 저항률 측정기 "로레스타-GP"MCP-T600을 사용하여 측정한 결과, 3.5×10^-1Ω/□이며, 8.5㎛ 도금후의 도전막의 표면 저항률은 1.92×10^-3Ω/□이었다. 또한, 스퍼터링법에 의해 성막된 도전막과 급전 전극의 접촉 저항을 측정한 결과 70mΩ이며, 8.5㎛ 도금후의 도전막과 급전 전극의 접촉 저항은 10mΩ이었다. 측정 방법은, 도 4c에 도시된 바와 같이, 급전 전극(405)과 도전막(406)의 접촉부의 길이 방향 중앙부 직하와 급전 전극 접촉면 이측(裏側) 중앙부에 전압계(407)와 직류 전원(408)을 병렬 접속하고, 직류 전원(408)으로부터 1A의 정전류를 투입했을 때의 전압을 측정해서 옴의 법칙으로부터 저항치를 계산해서 구했다.

도금 가공 실험에서 얻어진 도금 가공품 샘플의 중앙부 100㎜×100㎜의 범위의 표면 품위를 확인한 바, 높이/깊이 2㎛ 이상의 요철은 없고, 상처의 발생도 확인되지 않았다. 또한, 전극 근방에 있어서의 열에 의한 변색이나 도전막 소손 등의 열적 트러블도 확인되지 않고, 고품위의 도금막이 얻어지는 것을 확인했다.

[비교예1]

실시예1과 마찬가지의 도금 가공 실험을 급전부(14)를 원통상 회전체를 전극으로 하여 전면 접촉해서 급전하는 방식으로 변경하여 행하였다.

도금 가공 실험에서 얻어진 도금 가공품 샘플의 중앙부 100㎜×100㎜의 범위의 표면 품위를 확인한 바, 높이/깊이 2㎛ 이상의 요철은 각각 2개씩 발생하고, 상 처에 대해서는 큰 것의 발생은 확인되지 않았지만, 미소한 마모 형상의 결점은 무수하게 확인되었다. 전극 근방에 있어서의 열에 의한 변색이나 도전막 소손 등의 열적 트러블은 확인되지 않았지만 도금막의 품위로서는 그다지 좋지 않았다.

본 발명은 동 도금막 부착 필름의 제조에 한정되지 않고, 기타 금속의 전해 도금 장치, 수지 필름 이외의 기재를 사용한 전해 도금 장치 등에도 응용할 수 있지만 그 응용 범위가 이에 한정되는 것이 아니다.

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13. 표면에 도전성 박막을 부여한 웹을 연속적으로 주행시키면서 도금 처리조내에서 전해 도금을 시행해서 도금막 부착 웹을 제조하는 연속 전해 도금 장치에 이용되는 급전 방법으로서: 주행하고 있는 웹에 적어도 1개의 상기 웹의 주행에 맞춰서 접촉면이 회전하는 제 1 대상 환상체를 압접하며, 상기 제 1 대상 환상체의 상기 접촉면에 대하여 상기 웹의 측에 압접하는 면상의 압력을 부여하는 압접 방법에 의해 상기 제 1 대상 환상체를 상기 웹에 압접하고, 상기 제 1 대상 환상체 또는 상기 반력 부여 수단 또는 상기 지지 회전체로서 상기 웹과의 접촉면이 도전성을 갖고, 그리고 도금용 전원과 전기적으로 접속된 것을 이용하여 상기 제 1 대상 환상체 또는 상기 반력 부여 수단 또는 상기 지지 회전체를 경유해서 상기 웹의 도전면에 급전하며,

    상기 제 1 대상 환상체의 웹 도전면과의 접촉 면적을 다음식을 만족하는 범위내로 하는 것을 특징으로 하는 급전 방법.

    [수1]

    

    A : 상기 접촉면의 도전성 박막의 면으로의 접촉 면적[㎟]

    I : 투입하는 전류값[A]

    R : 접촉부의 접촉 저항치[Ω]

    t : 상기 접촉면이 접촉하는 도전막의 두께[㎜]

    Q_L : 한계 열량 계수[W/㎣]=8.5×10³W/㎣
14. 삭제
15. 주행하는 웹에 압접력을 부여하는 압접 장치로서: 적어도 1개의 제 1 대상 환상체와, 상기 제 1 대상 환상체의 내측 및/또는 외측에 배치되어 상기 제 1 대상 환상체에 장력을 부여하는 적어도 2개의 풀리와, 상기 제 1 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 부위로서 상기 풀리 중 인접하는 적어도 2개의 상기 풀리의 사이에 있어서의 상기 제 1 대상 환상체의 접촉면에 대하여 상기 웹의 주행 경로 측에 압접하는 면상의 압력을 부여하는 면상 압력 부여 수단을 구비하며,

    상기 제 1 대상 환상체는 자성 재료를 포함하는 것이며, 상기 면상 압력 부여 수단은 상기 제 1 대상 환상체와의 사이에 상기 웹의 주행 경로를 끼워서 배치되어 상기 제 1 대상 환상체와의 사이에 자력에 의해 인력이 발생하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
16. 삭제
17. 제 15 항에 있어서,

    상기 제 1 대상 환상체는 자성 재료의 표면에 내식성 도전성 박막을 부여한 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
18. 제 15 항 또는 제 17 항에 있어서,

    상기 제 1 대상 환상체는 자성 재료의 표면에 내식성 도전성 박막을 부여한 것이며, 상기 자성 재료의 폭방향 양단 에지부에 R 면취를 실시해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
19. 제 15 항 또는 제 17 항에 있어서,

    상기 면상 압력 부여 수단과 상기 웹의 주행 경로의 사이에 상기 자력에 의한 인력에 대한 반력을 부여하는 반력 부여 수단을 배치하는 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
20. 제 19 항에 있어서,

    상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 제 2 대상 환상체와, 상기 제 2 대상 환상체의 내측 및/또는 외측에 배치되어 상기 제 2 대상 환상체에 장력을 부여하는 적어도 2개의 풀리를 갖는 것이며, 상기 제 2 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 접촉면은 상기 제 1 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 부위와 상기 웹의 주행 경로를 끼워서 대향해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
21. 제 19 항에 있어서,

    상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 반력 부여 회전체인 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
22. 제 15 항에 있어서,

    상기 면상 압력 부여 수단은 상기 웹의 주행 경로를 상기 제 1 대상 환상체의 외주면과의 사이에 끼워서 상기 제 1 대상 환상체가 유지각을 갖고 접하도록 배치된 지지 회전체인 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
23. 제 15 항에 있어서,

    상기 지지 회전체를 복수개 구비한 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
24. 제 15 항에 있어서,

    상기 면상 압력 부여 수단은 상기 제 1 대상 환상체의 내주면측에 배치된 유체 토출체이며, 이 유체 분출체의 유체 분출구는 상기 제 1 대상 환상체 내주면을 향해서 유체를 분출하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
25. 제 24 항에 있어서,

    상기 웹의 주행 경로를 끼워서 상기 면상 압력 부여 수단과 반대측에 상기 유체의 분출에 의한 힘에 대한 반력을 부여하는 반력 부여 수단을 배치해서 이루어진 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
26. 제 25 항에 있어서,

    상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 반력 부여 회전체인 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
27. 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서,

    상기 반력 부여 수단은 적어도 1개의 제 2 대상 환상체와, 상기 제 2 대상 환상체의 내측 및/또는 외측에 배치되어 상기 제 2 대상 환상체에 장력을 부여하는 적어도 2개의 풀리를 갖는 것이며, 상기 제 2 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 접촉면은 상기 제 1 대상 환상체의 상기 웹의 주행 경로에 접하는 부위와 상기 웹의 주행 경로를 끼워서 대향해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 웹의 압접 장치.
28. 제 15 항, 또는 제 17 항, 또는 제 22 항 내지 제 26 항 중 어느 한 항에 기재된 웹의 압접 장치로서: 상기 제 1 대상 환상체, 상기 반력 부여 수단 또는 상기 지지 회전체는 상기 웹의 주행 경로에 접하는 면이 도전성을 갖는 것이며, 또한 도금용 전원과 전기적으로 접속된 전극으로서 구성된 것을 특징으로 하는 도금 장치용의 급전 장치.
29. 표면에 도전성 박막을 부여한 웹을 연속적으로 주행시키면서 도금 처리조내에서 전해 도금을 실시해서 도금막 부착 웹을 제조하는 연속 전해 도금 장치로서: 제 28 항에 기재된 급전 장치를 상기 웹의 주행 경로를 따라 적어도 1개소에 배치해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 웹용 전해 도금 장치.
30. 제 29 항에 있어서,

    상기 제 1 대상 환상체를 상기 웹의 폭방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 웹용 전해 도금 장치.
31. 제 29 항에 있어서,

    상기 급전 장치를 도금조 전 또는/및 후의 도금욕 이외에 1개소 이상 배치해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 웹용 전해 도금 장치.
32. 제 29 항에 있어서,

    상기 급전 장치를 도금조내의 도금욕상에 적어도 1개소 이상 배치해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 웹용 전해 도금 장치.
33. 제 29 항에 있어서,

    상기 웹의 폭방향이 중력 방향에 대하여 평행이 되도록 주행시키는 것을 특징으로 하는 웹용 전해 도금 장치.
34. 적어도 2개의 제 29 항에 기재된 웹용 전해 도금 장치를 구비한 다단식 전해 도금 장치로서: 상기 급전 장치의 상기 전극의 상기 도전성 박막의 면으로의 접촉 면적이 상류측보다도 하류측에 배치된 상기 급전 장치의 쪽이 작고, 또한 다음식을 만족하도록 구성된 것을 특징으로 하는 다단식 전해 도금 장치.

    [수2]

    

    A : 상기 전극의 도전성 박막의 면으로의 접촉 면적[㎟]

    I : 투입하는 전류값[A]

    R : 접촉부의 접촉 저항치[Ω]

    t : 상기 전극이 접촉하는 도전막의 두께[㎜]

    Q_L : 한계 열량 계수[W/㎣]=8.5×10³W/㎣
35. 제 29항에 기재된 웹용 전해 도금 장치를 사용해서 제조된 것을 특징으로 하는 도금막 부착 웹.

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